CN104625949A - 一种自动调平机构以及研磨抛光机 - Google Patents

一种自动调平机构以及研磨抛光机 Download PDF

Info

Publication number
CN104625949A
CN104625949A CN201510066517.5A CN201510066517A CN104625949A CN 104625949 A CN104625949 A CN 104625949A CN 201510066517 A CN201510066517 A CN 201510066517A CN 104625949 A CN104625949 A CN 104625949A
Authority
CN
China
Prior art keywords
price fixing
auto
leveling mechanism
levelling device
leveling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510066517.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104625949B (zh
Inventor
石会会
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Morinaga Optical and Electronic Equipment Co Ltd
Original Assignee
Morinaga Optical and Electronic Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Morinaga Optical and Electronic Equipment Co Ltd filed Critical Morinaga Optical and Electronic Equipment Co Ltd
Priority to CN201510066517.5A priority Critical patent/CN104625949B/zh
Publication of CN104625949A publication Critical patent/CN104625949A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104625949B publication Critical patent/CN104625949B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34—Accessories

Abstract

本发明提供一种自动调平机构以及研磨抛光机，其安装在研磨抛光机的上定盘压板上，所述自动调平机构包括驱动装置、感应装置以及用于使上定盘调平的调平装置，所述驱动装置分别与调平装置以及感应装置连接，在上定盘下降以及旋转的过程中，通过感应装置感应上定盘的倾斜情况，然后通过驱动装置控制调平装置实现上定盘自动调平，保证上定盘在下降以及工作的时候一直处于水平状态。

Description

一种自动调平机构以及研磨抛光机
技术领域
本发明涉及一种用于研磨抛光机的配件，具体涉及一种自动调平机构以及应用该机构的研磨抛光机。
背景技术
在气缸驱动上盘悬吊部分下降中，盘在降落过程中可能会产生高低不平现象，这样降在下盘上后，就是有一部分先压于产品上，可能会造成产品的损伤。
发明内容
为了克服以上的技术不足，本发明提供一种自动调平机构。
本发明提供一种自动调平机构，其通过水平的安装板固定安装在研磨抛光机上，所述自动调平机构包括感应装置以及用于使上定盘调平的调平装置，所述调平装置与感应装置连接，所述调平装置安装在安装板上，且一直处于水平状态。
所述感应装置包括设置在上定盘压板上端的顶触件以及与调平装置连接的感应器，所述顶触件与调平装置的传动杆连接，所述传动杆上设置感应器，所述顶触件具有上定盘倾斜顶触件顶触感应器的第一位置和上定盘水平时顶触件与感应器脱离的第二位置。
所述调平装置为气缸、液压缸或步进电机。
所述感应器为行程开关，其与传动杆接触。
所述顶触件为轴承，所述轴承固定连接在上定盘压板上，所述轴承与上定盘压板联动配合，所述轴承上端顶触传动杆。
所述调平装置三等分周向分布在安装板上。
本发明提供一种采用上述的自动调平机构的研磨抛光机，其包括上定盘、上定盘压板以及上定盘升降机构，所述上定盘压板上设有上述的自动调平机构。
发明的有益效果是：在上定盘下降以及旋转的过程中，通过感应装置感应上定盘的倾斜情况，一旦出现倾斜，就通过调平装置调平上定盘，实现自动调平的效果，保证上定盘在下降以及工作的时候一直处于水平状态，确保产品不受损伤。
附图说明
图1是本发明的结构示意图1。
图2是本发明的结构示意图2。
图3是本发明的主视图。
图4是安装板的上面的结构示意图。
图5是安装板的下面的结构示意图。
图6是安装板的正视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明实施例作进一步说明：
如图1、图2和图3所示，本发明提供一种自动调平机构，其通过水平的安装板5固定安装在研磨抛光机上，所述自动调平机构包括感应装置以及用于使上定盘调平的调平装置1，所述调平装置与感应装置连接，所述调平装置安装在安装板5上，且一直处于水平状态，安装板通过支架固定在研磨抛光机的气缸上，固定于研磨抛光机的气缸上，因为研磨抛光机的气缸是永远竖直的，通过垂直固定在该气缸上的安装板上，可以有效的保证自动调平机构的水平状态，同时，因为力臂原理，倾斜的角度被放大，精度更高。
所述感应装置包括设置在上定盘压板3上端的顶触件2以及与调平装置连接的感应器，所述顶触件2与调平装置1的传动杆连接，所述传动杆上设置感应器，所述顶触件2具有上定盘4倾斜顶触件顶触感应器的第一位置和上定盘水平时顶触件2与感应器脱离的第二位置
当下定盘4在下降过程中，其发生倾斜时，下定盘压板3上的顶触件2挤压调平装置1的传动杆，而传动杆与顶触件2是接触设置，即当下定盘4倾斜时，顶触件2升高挤压传动杆，所述传动杆上升时，其感应器接收到该信号，然后控制调平装置1反向工作，即将传动杆下降，将下定盘4调平。
当调平装置1为气缸时，即气缸内充气，将传动杆即活塞杆下降，顶触顶触件，从而使下定盘调平。
而当调平装置1为电缸时，则通过电机控制电缸的传动杆下降，顶触顶触件，从而使下定盘调平。
而当调平装置1为弹簧结构时，则通过压迫弹簧产生的形变力，推动下定盘恢复水平。
所述感应器为压力传感器，其与传动杆接触，即传动杆在运动时，压力传感器能够感应其受到的压力，从而控制调平装置1进行工作，实现调平。
所述感应器为位移开关，其可以感应传动杆移动的距离，然后控制调平装置1工作，实现调平。
所述感应器可以采用角度传感器，其检测上定盘压板3的倾斜角度，然后控制调平装置1工作，实现调平。
而调节装置1的传动杆运动的最大位置为刚好使上定盘压板3水平，即其运动行程固定，其运动的最终结果是将上定盘压板3顶平，通过周向三等分设定的3个自动调平机构，共同作用使其调平。
所述顶触件2为轴承，所述轴承固定连接在安装板下方，当上定盘压板倾斜时，其会挤压轴承，所述轴承上端顶触传动杆，使得轴承顶压传动杆，然后使传动杆连接的感应器感应传动杆的位置变化，从而控制调平装置实现调平。采用轴承作为顶触件，其为圆盘形状，当上定盘旋转时，其在倾斜的时候与轴承碰触时，能够使得轴承也一起转动，减少摩擦，实现在旋转的时候也能够进行调平。
所述调平装置2三等分周向分布在安装板5上，其通过安装板5固定安装在研磨抛光机上，并且能够保证其始终处于水平位置，然后采用三等分周向分布在上定盘压板上，则能保证其不管哪个方向倾斜都能够被感应，从而使其调平。
同时该自动调平机构在下定盘旋转时，也能通过感应装置感应其水平度，从而通过调平装置去调平，使得其在工作或下降过程中都能保证水平，提高研磨抛光的精准度。
本发明提供一种采用上述的自动调平机构的研磨抛光机，其包括上定盘、上定盘压板以及上定盘升降机构，所述上定盘压板上设有上述的自动调平机构。
能够保证上定盘在降落过程中一直是平稳水平下降的，采用该自动调节机构，能自动调节其水平，保证产品的完好。
实施例不应视为对本发明的限制，但任何基于本发明的精神所作的改进，都应在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种自动调平机构，其特征在于：其通过水平的安装板固定安装在研磨抛光机上，所述自动调平机构包括感应装置以及用于使上定盘调平的调平装置，所述调平装置与感应装置连接，所述调平装置安装在安装板上，且一直处于水平状态。
2.根据权利要求1所述的自动调平机构，其特征在于，所述感应装置包括设置在上定盘压板上端的顶触件以及与调平装置连接的感应器，所述顶触件与调平装置的传动杆连接，所述传动杆上设置感应器，所述顶触件具有上定盘倾斜顶触件顶触感应器的第一位置和上定盘水平时顶触件与感应器脱离的第二位置。
3.根据权利要求1或2所述的自动调平机构，其特征在于，所述调平装置为气缸、液压缸或步进电机。
4.根据权利要求1或2所述的自动调平机构，其特征在于，所述感应器为行程开关，其与传动杆接触。
5.根据权利要求2所述的自动调平机构，其特征在于，所述顶触件为轴承，所述轴承固定连接在上定盘压板上，所述轴承与上定盘压板联动配合，所述轴承上端顶触传动杆。
6. 根据权利要求1所述的自动调平机构，其特征在于，所述调平装置三等分周向分布在安装板上。
7.一种采用上述任意一条权利要求所述的自动调平机构的研磨抛光机，其特征在于：其包括上定盘、上定盘压板以及上定盘升降机构，所述上定盘压板上设有上述的自动调平机构。
CN201510066517.5A 2015-02-10 2015-02-10 一种自动调平机构以及研磨抛光机 Active CN104625949B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510066517.5A CN104625949B (zh) 2015-02-10 2015-02-10 一种自动调平机构以及研磨抛光机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510066517.5A CN104625949B (zh) 2015-02-10 2015-02-10 一种自动调平机构以及研磨抛光机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104625949A true CN104625949A (zh) 2015-05-20
CN104625949B CN104625949B (zh) 2016-11-30

Family

ID=53205423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510066517.5A Active CN104625949B (zh) 2015-02-10 2015-02-10 一种自动调平机构以及研磨抛光机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104625949B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106571313A (zh) * 2016-10-31 2017-04-19 北京七星华创电子股份有限公司 半导体热处理设备工艺门状态检测装置及检测方法
CN104985524B (zh) * 2015-07-03 2017-04-26 浙江工业大学 一种研磨抛光工件自适应多自由度调整机构
CN107452645A (zh) * 2016-05-31 2017-12-08 北京北方华创微电子装备有限公司 托盘调平机构、反应腔室及半导体加工设备
CN107813532A (zh) * 2017-09-12 2018-03-20 江苏理工学院 一种大型液压机横梁调平装置
CN108747709A (zh) * 2018-07-05 2018-11-06 陈永志 一种机械零件用润平装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08281550A (ja) * 1995-04-14 1996-10-29 Sony Corp 研磨装置及びその補正方法
CN2500468Y (zh) * 2001-09-19 2002-07-17 天津市锻压机床总厂 带有四角调平装置的玻璃钢制品液压机
CN2571539Y (zh) * 2002-09-30 2003-09-10 湖南宇晶机器实业有限公司 研磨盘自动调平装置
CN203003624U (zh) * 2013-01-15 2013-06-19 云南飞隆劳尔设备有限公司 一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构
CN203527236U (zh) * 2013-08-19 2014-04-09 浙江森永光电设备有限公司 研磨抛光设备上的气缸调平结构
CN104076828A (zh) * 2014-05-23 2014-10-01 北京航天发射技术研究所 一种平面翻转多点调平装置及方法
CN204525141U (zh) * 2015-02-10 2015-08-05 浙江森永光电设备有限公司 一种自动调平机构以及研磨抛光机

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08281550A (ja) * 1995-04-14 1996-10-29 Sony Corp 研磨装置及びその補正方法
CN2500468Y (zh) * 2001-09-19 2002-07-17 天津市锻压机床总厂 带有四角调平装置的玻璃钢制品液压机
CN2571539Y (zh) * 2002-09-30 2003-09-10 湖南宇晶机器实业有限公司 研磨盘自动调平装置
CN203003624U (zh) * 2013-01-15 2013-06-19 云南飞隆劳尔设备有限公司 一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构
CN203527236U (zh) * 2013-08-19 2014-04-09 浙江森永光电设备有限公司 研磨抛光设备上的气缸调平结构
CN104076828A (zh) * 2014-05-23 2014-10-01 北京航天发射技术研究所 一种平面翻转多点调平装置及方法
CN204525141U (zh) * 2015-02-10 2015-08-05 浙江森永光电设备有限公司 一种自动调平机构以及研磨抛光机

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104985524B (zh) * 2015-07-03 2017-04-26 浙江工业大学 一种研磨抛光工件自适应多自由度调整机构
CN107452645A (zh) * 2016-05-31 2017-12-08 北京北方华创微电子装备有限公司 托盘调平机构、反应腔室及半导体加工设备
CN107452645B (zh) * 2016-05-31 2019-11-29 北京北方华创微电子装备有限公司 托盘调平机构、反应腔室及半导体加工设备
CN106571313A (zh) * 2016-10-31 2017-04-19 北京七星华创电子股份有限公司 半导体热处理设备工艺门状态检测装置及检测方法
CN107813532A (zh) * 2017-09-12 2018-03-20 江苏理工学院 一种大型液压机横梁调平装置
CN107813532B (zh) * 2017-09-12 2019-06-11 江苏理工学院 一种大型液压机横梁调平装置
CN108747709A (zh) * 2018-07-05 2018-11-06 陈永志 一种机械零件用润平装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104625949B (zh) 2016-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104625949A (zh) 一种自动调平机构以及研磨抛光机
US10913359B2 (en) Positioning unit and contacting method
CN204525141U (zh) 一种自动调平机构以及研磨抛光机
US20200055417A1 (en) Positioning unit and method for contacting
CN106814755A (zh) 一种具有自调平地脚的电器及自动调平方法
CN104772261A (zh) 一种涂布机及其控制方法
CN203918407U (zh) 一种调角器扭簧落簧装置
CN210100683U (zh) 一种土工格栅平整度检测加工一体化装置
CN116105686A (zh) 一种建设工程施工检测装置
KR101654248B1 (ko) 온열치료기용 도자구조체
CN104802311A (zh) 一种混凝土预制叠合楼板生产线用表面拉毛装置
CN103511942A (zh) 车载灯具
CN105903786B (zh) 一种滑动式压靠钢板折弯机构
CN210547731U (zh) 一种针头校正机构
KR101205202B1 (ko) 건설공사용 거푸집 처짐 보정 장치
CN210997951U (zh) 打磨机器人
JP6075995B2 (ja) 研削砥石消耗量検出方法
CN113234919B (zh) 一种活塞淬火装置及其升降感应组件
CN104249160A (zh) 长辊加工支承装置
CN204725683U (zh) 一种混凝土预制叠合楼板生产线用表面拉毛装置
KR101976109B1 (ko) 곡면 디스플레이 라미네이팅을 위한 롤러 수평보정 가능한 롤러 장치
KR20150112278A (ko) 높이 조절이 가능한 중량물 지지장치
CN107650024A (zh) 一种单筒自动打蜡机
CN102836758A (zh) 一种立式辊磨料层检测与磨辊限位装置
KR20150051584A (ko) 수평 유지 장치

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Automatic leveling mechanism and grinding and polishing machine

Effective date of registration: 20171201

Granted publication date: 20161130

Pledgee: Agricultural Bank of China Limited by Share Ltd Jiaxing science and Technology Branch

Pledgor: MORINAGA OPTICAL & ELECTRONIC-EQUIPMENT CO., LTD.

Registration number: 2017330000220