CN106272123A - 抛光头以及具有其的抛光机 - Google Patents
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- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 8
- 230000003340 mental effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000001795 light effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
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Abstract
本发明公开了一种抛光头以及具有其的抛光机,抛光头包括:连接件;安装板,所述安装板设置在所述连接件的下侧;调心轴承,所述调心轴承具有内圈和外圈,所述内圈和所述外圈中的一个与所述连接件相连且另一个与所述安装板相连;周向同步件,所述周向同步件设置成用于在周向方向上同步所述安装板和所述连接件。该抛光头的安装板相对连接件角度可调,从而安装板可以补偿其工件安装面和工件表面之间的角度误差,以及可以补偿工件安装面和抛光盘之间的角度误差,进而可以提高抛光机的抛光效果。
Description
技术领域
本发明涉及抛光机技术领域,尤其涉及一种抛光头以及具有该抛光头的抛光机。
背景技术
相关技术中,抛光机在抛光过程中存在抛光头工件安装面与工件表面之间角度存在误差的现象,以及抛光头工件安装面与抛光盘之间角度存在误差的现象,上述两种角度误差将导致抛光机抛光效果较差。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明提出一种抛光头,该抛光头的安装板可以实现角度调节,从而可以补偿其与工件表面和抛光盘之间的角度误差,可以提高抛光机的抛光效果。
本发明进一步地提出了一种抛光机。
根据本发明的抛光头,包括:连接件;安装板,所述安装板设置在所述连接件的下侧;调心轴承,所述调心轴承具有内圈和外圈,所述内圈和所述外圈中的一个与所述连接件相连且另一个与所述安装板相连;周向同步件,所述周向同步件设置成用于在周向方向上同步所述安装板和所述连接件。
根据本发明的抛光头,调心轴承的内圈和外圈之间可以相对偏转一定角度,这样安装板可以相对连接件偏转,从而安装板上的工件安装面可以相对工件表面和抛光盘偏转一定角度,这样可以有效补偿工件安装面和工件表面之间的角度误差,以及可以补偿工件安装面和抛光盘之间的角度误差,进而可以有效提高抛光机的抛光效果。
另外,根据本发明的抛光头还可以具有以下附加技术特征:
在本发明的一些示例中,所述内圈与所述连接件相连,所述外圈与所述安装板相连。
在本发明的一些示例中,所述安装板设置有容纳槽,所述调心轴承和所述连接件的一部分伸入所述容纳槽内且所述外圈卡置在所述容纳槽的侧壁上。
在本发明的一些示例中,所述安装板包括:板体本体和轴承挡件,所述轴承挡件和所述板体本体共同限定出所述容纳槽,所述板体本体和所述轴承挡件上分别设置有台阶部且两个所述台阶部相对设置以卡置所述外圈。
在本发明的一些示例中,所述连接件包括:连接件本体和轴承端盖,所述连接件本体和所述轴承端盖分别设置有台阶部且两个所述台阶部相对设置以卡置所述内圈。
在本发明的一些示例中,所述周向同步件包括:传动件,所述连接件上设置有安装通孔,所述传动件与所述安装板固定且相对所述安装通孔可上下移动。
在本发明的一些示例中,所述周向同步件还包括:减震套,所述减震套套设置在所述传动件上并止抵在所述安装通孔的侧壁上。
在本发明的一些示例中,所述周向同步件为多个且在所述连接件的周向上分布。
在本发明的一些示例中,所述调心轴承为调心球轴承、调心滚子轴承或关节轴承。
根据本发明的抛光机,包括上述的抛光头,由于具有上述的抛光头,抛光机的抛光头可以自动补偿与工件表面和抛光盘之间的角度误差,这样抛光机的抛光效果较好。
附图说明
图1是根据本发明实施例的抛光头的剖视图;
图2是根据本发明实施例的抛光头的示意图。
附图标记:
抛光头100;
连接件10;连接件本体11;轴承端盖12;安装通孔13;
安装板20;容纳槽21;板体本体22;轴承挡件23;
调心轴承30;内圈31;外圈32;
周向同步件40;传动件41;减震套42;
台阶部50。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
下面参考附图详细描述根据本发明实施例的抛光头100,该抛光头100可以应用在抛光机上。
如图1所示,根据本发明实施例的抛光头100可以包括:连接件10、安装板20、调心轴承30和周向同步件40,其中,连接件10可以与传动机构相连,传动结构与驱动结构相连,驱动结构可以通过传动结构带动连接件10转动。其中传动机构可以为销、螺钉、轮齿、沟槽、摩擦副、铰链等。
如图1所示,安装板20设置在连接件10的下侧,调心轴承30具有内圈31和外圈32,内圈31和外圈32中的一个与连接件10相连,而且内圈31和外圈32中的另一个与安装板20相连。可以理解的是,内圈31可以与连接件10相连,外圈32可以与安装板20相连,或者内圈31可以与安装板20相连,外圈32与连接件10相连。调心轴承30的内圈31和外圈32之间可以相对偏转一定角度,这样安装板20可以相对连接件10偏转,从而安装板20上的工件安装面可以相对工件表面和抛光盘偏转一定角度,这样可以有效补偿工件安装面和工件表面之间的角度误差,以及可以补偿工件安装面和抛光盘之间的角度误差,进而可以有效提高抛光机的抛光效果。可选地,调心轴承30可以为调心球轴承、调心滚子轴承或者关节轴承。
周向同步件40设置成用于在周向方向上同步安装板20和连接件10,这样当驱动结构工作时,传动结构可以带动连接件10转动,连接件10可以通过周向同步件40带动安装板20转动,从而可以保证抛光头100的工作可靠性。可选地,如图2所示,周向同步件40可以为多个,而且多个周向同步件40可以分布在连接件10的外周上,从而可以保证连接件10和安装板20之间的同步可靠性。需要说明的是,周向同步件40不对安装板20相对连接件10的偏转进行干涉。
根据本发明的一个具体实施例,如图1所示,周向同步件40可以包括:传动件41,连接件10上设置有安装通孔13,传动件41与安装板20固定,而且传动件41相对安装通孔13可以上下移动。通过安装通孔13对传动件41的周向限位,可以使得连接件10带动安装板20同步转动,而当调心轴承30的内圈31和外圈32之间相对偏转时,安装板20可以相对连接件10偏转,这样传动件41相对安装通孔13可以上下移动,从而可以保证抛光头100的工作可靠性。其中,传动件41可以为销、螺钉、轮齿、沟槽、摩擦副、铰链、锁紧件等结构部件。
进一步地,如图1所示,周向同步件40还可以包括:减震套42,减震套42套设置在传动件41上,并且减震套42止抵在安装通孔13的侧壁上。通过设置减震套42,可以有效降低安装板20和连接件10之间的振动传递,从而可以有效降低抛光头100的噪音,以及可以提高抛光头100的可靠性。而且减震套42可以避免传动件41和安装通孔13的侧壁之间的直接接触,可以避免两者之间的碰撞,从而可以有效降低噪音。
根据本发明的一个优选实施例,如图1所示,安装板20可以设置有容纳槽21,调心轴承30和连接件10的一部分伸入容纳槽21内,而且外圈32卡置在容纳槽21的侧壁上。通过设置容纳槽21,容纳槽21的侧壁可以有效保护连接件10的一部分和调心轴承30,而且可以提高抛光头100的结构可靠性。通过将外圈32卡置在容纳槽21的侧壁上,可以使得外圈32和安装板20相固定,从而可以保证安装板20和外圈32之间的安装可靠性。
可选地,如图1所示,安装板20可以包括:板体本体22和轴承挡件23,轴承挡件23和板体本体22共同限定出容纳槽21,板体本体22和轴承挡件23上分别设置有台阶部50,而且两个台阶部50相对设置以卡置外圈32。这样两个台阶部50可以之间可以限定出一个卡置外圈32的环形卡槽,其中,板体本体22和轴承挡件23之间可以通过紧固件紧固连接,例如,板体本体22和轴承挡件23可以通过传动件41相互固定。
可选地,如图1所示,连接件10可以包括:连接件本体11和轴承端盖12,连接件本体11和轴承端盖12分别设置有台阶部50,而且两个台阶部50相对设置以卡置内圈31。其中,轴承端盖12和连接件本体11之间可以通过多个紧固件紧固连接,两个相对的台阶部50之间可以限定出一个卡置内圈31的环形卡槽,从而可以有效保证连接件10和内圈31之间的连接可靠性。由此,抛光头100结构简单且紧凑。
根据本发明实施例的抛光头100,调心轴承30的内圈31和外圈32之间可以相对偏转一定角度,这样安装板20可以相对连接件10偏转,从而安装板20上的工件安装面可以相对工件表面和抛光盘偏转一定角度,这样可以有效补偿工件安装面和工件表面之间的角度误差,以及可以补偿工件安装面和抛光盘之间的角度误差,进而可以有效提高抛光机的抛光效果。另外,该抛光头100无需人为调节,从而可以使得抛光机结构简单且操纵简单。
根据本发明实施例的抛光机,包括上述实施例的抛光头100,由于具有上述实施例的抛光头100,抛光机的抛光头100可以自动补偿与工件表面和抛光盘之间的角度误差,这样抛光机的抛光效果较好。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例,可以理解的是,上述实施例是示例性的,不能理解为对本发明的限制,本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (10)
1.一种抛光头,其特征在于,包括:
连接件;
安装板,所述安装板设置在所述连接件的下侧;
调心轴承,所述调心轴承具有内圈和外圈,所述内圈和所述外圈中的一个与所述连接件相连且另一个与所述安装板相连;
周向同步件,所述周向同步件设置成用于在周向方向上同步所述安装板和所述连接件。
2.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于,所述内圈与所述连接件相连,所述外圈与所述安装板相连。
3.根据权利要求2所述的抛光头,其特征在于,所述安装板设置有容纳槽,所述调心轴承和所述连接件的一部分伸入所述容纳槽内且所述外圈卡置在所述容纳槽的侧壁上。
4.根据权利要求3所述的抛光头,其特征在于,所述安装板包括:板体本体和轴承挡件,所述轴承挡件和所述板体本体共同限定出所述容纳槽,所述板体本体和所述轴承挡件上分别设置有台阶部且两个所述台阶部相对设置以卡置所述外圈。
5.根据权利要求2所述的抛光头,其特征在于,所述连接件包括:连接件本体和轴承端盖,所述连接件本体和所述轴承端盖分别设置有台阶部且两个所述台阶部相对设置以卡置所述内圈。
6.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于,所述周向同步件包括:传动件,所述连接件上设置有安装通孔,所述传动件与所述安装板固定且相对所述安装通孔可上下移动。
7.根据权利要求6所述的抛光头,其特征在于,所述周向同步件还包括:减震套,所述减震套套设置在所述传动件上并止抵在所述安装通孔的侧壁上。
8.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于,所述周向同步件为多个且在所述连接件的周向上分布。
9.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于,所述调心轴承为调心球轴承、调心滚子轴承或关节轴承。
10.一种抛光机,其特征在于,包括根据权利要求1-9中任一项所述的抛光头。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610912534.0A CN106272123B (zh) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 抛光头以及具有其的抛光机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610912534.0A CN106272123B (zh) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 抛光头以及具有其的抛光机 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106272123A true CN106272123A (zh) | 2017-01-04 |
CN106272123B CN106272123B (zh) | 2018-09-04 |
Family
ID=57720611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610912534.0A Active CN106272123B (zh) | 2016-10-20 | 2016-10-20 | 抛光头以及具有其的抛光机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106272123B (zh) |
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