CN202663538U - Mems麦克风 - Google Patents

Mems麦克风 Download PDF

Info

Publication number
CN202663538U
CN202663538U CN 201220188804 CN201220188804U CN202663538U CN 202663538 U CN202663538 U CN 202663538U CN 201220188804 CN201220188804 CN 201220188804 CN 201220188804 U CN201220188804 U CN 201220188804U CN 202663538 U CN202663538 U CN 202663538U
Authority
CN
China
Prior art keywords
mems microphone
mems
main sound
sound hole
utility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CN 201220188804
Other languages
English (en)
Inventor
庞胜利
宋青林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Goertek Microelectronics Inc
Original Assignee
Goertek Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Goertek Inc filed Critical Goertek Inc
Priority to CN 201220188804 priority Critical patent/CN202663538U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202663538U publication Critical patent/CN202663538U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Details Of Audible-Bandwidth Transducers (AREA)
  • Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种MEMS麦克风,包括:由外壳和线路板组成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板表面上设有MEMS声电芯片和ASIC芯片,所述封装结构上设有接收声音信号的主进声孔,其中,所述主进声孔设置在所述外壳侧壁上,利用上述根据本实用新型的MEMS麦克风,由于所述MEMS麦克风上的主进声孔设置在所述外壳侧壁上,此设计的MEMS麦克风在与胶套结合时减小了MEMS麦克风与胶套的整体高度,同时由于通过主进声孔的声压不会直接作用到MEMS声电芯片上防止进声的过程对MEMS声电芯片上的膜片的冲击,确保了产品的进声效果。

Description

MEMS麦克风
技术领域
本实用新型涉及一种声电转换装置,具体地说涉及一种MEMS麦克风。
背景技术
近年来利用MEMS(微机电系统)工艺集成的MEMS麦克风开始被批量应用到手机、笔记本电脑等电子产品中,其封装体积比传统的驻极体麦克风小。因此受到大部分麦克风生产商的青睐。
如图1所示,常规的MEMS麦克风,包括:由外壳11和线路板12组成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板12表面上设有MEMS声电芯片14和ASIC芯片15,所述MEMS声电芯片14和ASIC芯片15之间通过金属线16电连接,所述封装结构上设有接收声音信号的主进声孔13,通常情况下主进声孔13设置在外壳11底部或线路板12上,图1是将主进声孔13设置在外壳11底部,如图2所示,在应用时,一般通过胶套2与所述MEMS麦克风装配到一起,并将其固定电连接在终端线路板3上,胶套2上设有与MEMS麦克风主进声孔13相连通的声音通道21;这种结构必然要求在主进声孔13上方的胶套2上设有连通所述主进声孔13的空间,无形中增加了产品的整体高度,同时由于通过主进声孔13的声压会直接作用到MEMS声电芯片14上使进声的过程会使MEMS声电芯片14上的膜片会受到一定的冲击,由此需要设计一种新型的MEMS麦克风。
实用新型内容
鉴于上述问题,本实用新型的目的是提供一种即可以减小产品的整体高度又可以防止MEMS声电芯片上的膜片受到冲击的一种MEMS麦克风。
为解决上述问题,本实用新型采用以下技术方案:
一种MEMS麦克风,包括:由外壳和线路板组成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板表面上设有MEMS声电芯片和ASIC芯片,所述封装结构上设有接收声音信号的主进声孔,其中,所述主进声孔设置在所述外壳侧壁上。
一种优选方案,所述主进声孔设置在所述外壳开口端。
一种优选方案,所述外壳的形状为方形或圆形。
一种优选方案,所述主进声孔的数量为一个或两个以上。
一种优选方案,所述MEMS声电芯片、所述ASIC芯片以及线路板之间通过金属线电连接。
利用上述根据本实用新型的MEMS麦克风,由于所述MEMS麦克风上的主进声孔设置在所述外壳侧壁上,此设计减小了MEMS麦克风与胶套的整体高度,同时由于通过主进声孔的声压不会直接作用到MEMS声电芯片上防止进声的过程对MEMS声电芯片上的膜片的冲击,确保了产品的进声效果。
附图说明
通过参考以下结合附图的说明及权利要求书的内容,并且随着对本实用新型的更全面理解,本实用新型的其它目的及结果将更加明白及易于理解。
图1是本实用新型背景技术MEMS麦克风的结构示意图。
图2是本实用新型背景技术MEMS麦克风与胶套及终端线路板结合后的剖面图。
图3是本实用新型实施例一MEMS麦克风的结构示意图。
图4是本实用新型实施例一中MEMS麦克风与胶套及终端线路板结合后的剖面图。
图5是本实用新型实施例二MEMS麦克风的结构示意图。
图6是本实用新型实施例二MEMS麦克风外壳的结构示意图。
图7是本实用新型实施例MEMS麦克风与胶套及终端线路板结合后的剖面图。
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型的具体实施例进行详细描述。
实施例一
如图3所示,一种MEMS麦克风,包括:由外壳11和线路板12组成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板12表面上设有MEMS声电芯片14和ASIC芯片15,所述MEMS声电芯片14、所述ASIC芯片15以及线路板12之间通过金属线16电连接,所述封装结构上设有接收声音信号的主进声孔13,其中,所述主进声孔13设置在所述外壳11侧壁上。
如图4所示,MEMS麦克风在与胶套2及终端线路板3相结合后,将胶套2上的声音通道21直接与主进声孔13对应设置,此设计减小了MEMS麦克风与胶套2的整体高度,同时由于通过主进声孔13的声压不会直接作用到MEMS声电芯片14上防止进声的过程对MEMS声电芯片14上的膜片的冲击,确保了产品的进声效果。
为便于生产加工,将所述主进声孔13设置在所述外壳11开口端,设计简单,便于实现。
作为实现本实用新型一种优选的技术方案,所述外壳11的形状为方形,同时设计时也可以将外壳形状设计成圆形或其它形状。
作为实现本实用新型一种优选的技术方案,所述主进声孔13的数量为一个,能够确保产品的进声效果。
利用上述根据本实用新型的MEMS麦克风,由于所述MEMS麦克风上的主进声孔设置在所述外壳侧壁上,此设计减小了MEMS麦克风与胶套的整体高度,同时由于通过主进声孔的声压不会直接作用到MEMS声电芯片上防止进声的过程对MEMS声电芯片上的膜片的冲击,确保了产品的进声效果。
 实施例二
如图5所示,一种MEMS麦克风,包括:由外壳11和线路板12组成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板12表面上设有MEMS声电芯片14和ASIC芯片15,所述MEMS声电芯片14、所述ASIC芯片15以及线路板12之间通过金属线16电连接,所述封装结构上设有接收声音信号的主进声孔13,其中,所述主进声孔13设置在所述外壳11侧壁上。
如图6所示,本实施例与实施例一的区别在于所述外壳11侧壁上的主进声孔13的数量为四个,所述四个主进声孔13分别设置在方形外壳11开口端的四个端面上,由于MEMS麦克风四周分别设有主进声孔13,如图7所示,所述MEMS麦克风在与胶套2相装配时,只需将其中任何一个主进声孔13与胶套2上的声音通道21对应设置即可,便于MEMS麦克风1的安装。
MEMS麦克风在与胶套2及终端线路板3相结合后,将胶套2上的声音通道21直接与主进声孔13对应设置,此设计减小了MEMS麦克风与胶套2的整体高度,同时由于通过主进声孔13的声压不会直接作用到MEMS声电芯片14上防止进声的过程对MEMS声电芯片14上的膜片的冲击,确保了产品的进声效果,同时通过胶套2对其它主进声孔13的密封,使进声效果不会受到影响。
利用上述根据本实用新型的MEMS麦克风,由于所述MEMS麦克风上的主进声孔设置在所述外壳侧壁上,此设计减小了MEMS麦克风与胶套2的整体高度,同时由于通过主进声孔的声压不会直接作用到MEMS声电芯片上防止进声的过程对MEMS声电芯片上的膜片的冲击,确保了产品的进声效果。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种MEMS麦克风,包括:由外壳和线路板组成的封装结构,所述封装结构内部所述线路板表面上设有MEMS声电芯片和ASIC芯片,所述封装结构上设有接收声音信号的主进声孔,其特征在于:所述主进声孔设置在所述外壳侧壁上。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述主进声孔设置在所述外壳开口端。
3.如权利要求2所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述外壳的形状为方形或圆形。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述主进声孔的数量为一个或两个以上。
5.如权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述MEMS声电芯片、所述ASIC芯片以及线路板之间通过金属线电连接。
CN 201220188804 2012-04-28 2012-04-28 Mems麦克风 Expired - Lifetime CN202663538U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220188804 CN202663538U (zh) 2012-04-28 2012-04-28 Mems麦克风

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201220188804 CN202663538U (zh) 2012-04-28 2012-04-28 Mems麦克风

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202663538U true CN202663538U (zh) 2013-01-09

Family

ID=47458406

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201220188804 Expired - Lifetime CN202663538U (zh) 2012-04-28 2012-04-28 Mems麦克风

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202663538U (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103957498A (zh) * 2014-05-21 2014-07-30 苏州敏芯微电子技术有限公司 侧面进声的硅麦克风封装结构
CN105792083A (zh) * 2014-12-05 2016-07-20 财团法人工业技术研究院 微机电麦克风封装
CN106412783A (zh) * 2016-11-23 2017-02-15 上海传英信息技术有限公司 送话器结构和移动终端
CN110417967A (zh) * 2019-04-23 2019-11-05 深圳市趣创科技有限公司 一种侧出音的硅微麦克风贴片、工作方法及其适用终端
CN110545513A (zh) * 2019-09-19 2019-12-06 甬矽电子(宁波)股份有限公司 Mems传声器及其制备方法
CN112566006A (zh) * 2021-02-20 2021-03-26 甬矽电子(宁波)股份有限公司 硅麦克风及其制作方法和电子设备

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103957498A (zh) * 2014-05-21 2014-07-30 苏州敏芯微电子技术有限公司 侧面进声的硅麦克风封装结构
CN103957498B (zh) * 2014-05-21 2017-11-03 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 侧面进声的硅麦克风封装结构
CN105792083A (zh) * 2014-12-05 2016-07-20 财团法人工业技术研究院 微机电麦克风封装
CN105792083B (zh) * 2014-12-05 2019-01-18 财团法人工业技术研究院 微机电麦克风封装
CN106412783A (zh) * 2016-11-23 2017-02-15 上海传英信息技术有限公司 送话器结构和移动终端
CN106412783B (zh) * 2016-11-23 2022-04-12 上海传英信息技术有限公司 送话器结构和移动终端
CN110417967A (zh) * 2019-04-23 2019-11-05 深圳市趣创科技有限公司 一种侧出音的硅微麦克风贴片、工作方法及其适用终端
CN110545513A (zh) * 2019-09-19 2019-12-06 甬矽电子(宁波)股份有限公司 Mems传声器及其制备方法
CN111866681A (zh) * 2019-09-19 2020-10-30 甬矽电子(宁波)股份有限公司 Mems传声器的制备方法
CN111866681B (zh) * 2019-09-19 2021-04-27 甬矽电子(宁波)股份有限公司 Mems传声器的制备方法
CN112566006A (zh) * 2021-02-20 2021-03-26 甬矽电子(宁波)股份有限公司 硅麦克风及其制作方法和电子设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202663538U (zh) Mems麦克风
US20100290644A1 (en) Silicon based capacitive microphone
CN204761710U (zh) 一种mems麦克风
CN202799144U (zh) Mems麦克风
CN203883957U (zh) 扬声器模组
CN202679624U (zh) Mems麦克风
CN203748005U (zh) 一种mems麦克风
CN202663539U (zh) Mems麦克风
CN203225885U (zh) Mems麦克风
CN203225886U (zh) Mems麦克风
CN202679627U (zh) Mems麦克风
CN104780490A (zh) 一种mems麦克风的封装结构及其制造方法
CN203775411U (zh) 一种mems麦克风
CN202353807U (zh) Mems麦克风
CN202679629U (zh) Mems麦克风
CN103888881A (zh) Mems麦克风及电子设备
CN202679628U (zh) Mems麦克风
CN204145748U (zh) 一种mems麦克风
CN202957979U (zh) Mems麦克风
CN202587372U (zh) Mems麦克风
CN202799145U (zh) Mems麦克风
CN202799143U (zh) Mems麦克风
CN202085303U (zh) 一种硅麦克风
CN202679614U (zh) 驻极体电容式麦克风
CN202310096U (zh) Mems麦克风

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 261031 Dongfang Road, Weifang high tech Industrial Development Zone, Shandong, China, No. 268

Patentee after: Goertek Inc.

Address before: 261031 Dongfang Road, Weifang high tech Industrial Development Zone, Shandong, China, No. 268

Patentee before: Goertek Inc.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20200618

Address after: 266104 room 103, 396 Songling Road, Laoshan District, Qingdao, Shandong Province

Patentee after: Goer Microelectronics Co.,Ltd.

Address before: 261031 Dongfang Road, Weifang high tech Industrial Development Zone, Shandong, China, No. 268

Patentee before: GOERTEK Inc.

CX01 Expiry of patent term
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20130109