CN202318623U - 用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置 - Google Patents

用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及一种用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，包括：固定在所述带锯床的工作台上的安装架；两块相对设置的用于夹持单晶棒的压块，所述压块靠近所述单晶棒的一侧设有平行于所述单晶棒长度方向的凹槽；固定贴附于所述压块的凹槽上的多个垫块；固定在所述安装架上的用于驱动所述压块相向运动或反向运动的驱动装置。该夹持装置能够快速夹紧，夹持力大，而且无需调整单晶棒的水平定位，减少工件夹紧的时间，提高工效，减少浪费。

Description

用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置
技术领域
本实用新型涉及太阳能级半导体单晶硅片加工技术领域，特别涉及一种用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置。
背景技术
目前，在单晶棒截断过程中采用的夹紧定位方式主要是三点环绕固定夹紧，这种夹紧固定是靠用手转动手轮实现的，当间距大时，手轮需要转动很多圈才能够有效固定，而且每根单晶棒的压紧需要3个点接触，很费时费力，并且3个点很难调节单晶棒的水平定位，甚至会导致单晶棒锯斜，影响切片质量，浪费人力物力；另外，执行单晶棒的水平位移很困难，难以定位，急需发明一种新的夹持装置来替换原有夹持装置。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，提供一种能够快速夹紧单晶棒，并且夹持力大的夹持装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：
一种用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，包括：固定在所述带锯床的工作台上的安装架，用于支撑所述夹持装置的其他部件；两块相对设置的用于夹持单晶棒的压块，所述压块靠近所述单晶棒的一侧设有平行于所述单晶棒长度方向的凹槽，用于夹紧固定待加工的单晶棒；固定贴附于所述压块的凹槽上的多个垫块，用于避免与单晶棒硬接触；固定在所述安装架上的驱动装置，用于驱动所述压块相向运动或反向运动。
优选地，一个所述压块为与所述安装架固定连接的固定压块，另一个所述压块为与所述驱动装置连接的运动压块。该结构能够提高夹紧单晶棒时的定位准确性，避免单晶棒与锯条不垂直而导致锯斜。
优选地，所述驱动装置包括多个并列设置的气缸，每个气缸的缸体固定在所述安装架上，每个气缸的活塞杆与所述运动压块未开设凹槽的一侧固定连接。
优选地，所述压块的凹槽的横截面的形状为梯形。
优选地，所述压块的凹槽的横截面的形状为V字形。
优选地，所述垫块的材料为尼龙。
优选地，进一步包括用于支撑所述单晶棒的多个水平托辊，所述多个水平托辊平行排列。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：
1、由于手动夹紧单晶棒比较困难，现改为驱动装置自动夹紧，从而实现了快速夹紧并且提高了夹持力。
2、原来压紧需要转动手轮3次，现在只需启动驱动装置的开关，即可完成夹紧操作。
3、原来单晶棒在水平位移时很困难，难以定位，现在单晶棒可以很方便地前后移动及定位。
附图说明
图1为本实用新型的一个实施例的夹持装置的待机状态的示意图；
图2为本实用新型的一个实施例的夹持装置的工作状态的示意图。
附图标记说明
10单晶棒      20水平托辊
31安装架      32运动压块
33固定压块    34垫块
35气缸        40工作台
具体实施方式
下面将参照附图说明本实用新型的优选实施例。
如图1和图2所示，根据本实用新型的一个优选实施例的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，包括安装架31、运动压块32、固定压块33、垫块34、气缸35和水平托辊20，其中，所述安装架31固定在带锯床的工作台40上，固定压块33固定在安装架31上，气缸35的缸体固定在安装架31上，运动压块32与气缸35的活塞杆相连接并与活塞杆一起运动。运动压块32和固定压块33相对的一侧分别开设有平行于单晶棒长度方向的凹槽。凹槽的横截面可以为如图1所示的梯形，还可以为V字形或其他适合与单晶棒表面配合的形状，如弧形。多个垫块34固定贴附在运动压块32和固定压块33的凹槽与单晶棒10接触的面上。在工作状态下，运动压块32在气缸35的作用下朝向固定压块33的方向运动以夹紧单晶棒10。如图1所示，水平托辊20固定在工作台40上，用于承托单晶棒10，以便于在水平方向移动单晶棒10，准确定位。
使用本实施例的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置截断单晶棒10的工艺步骤如下：
1、如图1所示，将单晶棒10放置到水平托辊20上，前后移动单晶棒10，调整单晶棒10的水平位置，使单晶棒10上的划线与锯条(图中未示出)对齐。
2、如图2所示，打开气缸的控制开关，气缸35推动运动压块32朝向固定压块33的方向压向单晶棒10，运动压块32和固定压块33共同作用夹紧定位单晶棒10。
3、完成夹紧定位后，开动锯床，沿划线锯断单晶棒。在锯断工作完成后，气缸35带动运动压块32远离固定压块33，松开单晶棒10，通过转动水平托辊20调整单晶棒10水平的位置，为下一次锯断工作做准备。
在本实施例中，分别设置有三个平行排列的水平托辊20和三个并列的气缸35，由一个开关同时控制三个气缸35动作。在其他实施例中，水平托辊的数量可以为三个以上，而且气缸的数量也不限于三个。
作为本实施例的一个可选方案，两块压块可以都是运动压块，工作时，两块压块由驱动装置推动相向运动或相反运动以夹紧或松开固定位于二者之间的单晶棒。其中，驱动装置可以如本实施例所示的只与其中一块压块连接，并在两块压块之间设置联动装置，使其同步运动。驱动装置可由本领域的技术人员根据实际需要选取气缸、液压缸或者电机等。
本实用新型的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置可以广泛应用于太阳能级单晶硅棒加工技术领域。因此，本实用新型可以在不偏离其特性的情况下体现为多种形式，上述实施例应当在所附的权利要求书限定的范围内做广义地解释。

Claims (7)

1.一种用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于，包括：
固定在所述带锯床的工作台上的安装架；
两块相对设置的用于夹持单晶棒的压块，所述压块靠近所述单晶棒的一侧设有平行于所述单晶棒长度方向的凹槽；
固定贴附于所述压块的凹槽上的多个垫块；
固定在所述安装架上的用于驱动所述压块相向运动或反向运动的驱动装置。
2.根据权利要求1所述的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于，其中一个所述压块为与所述安装架固定连接的固定压块，另一个所述压块为与所述驱动装置连接的运动压块。
3.根据权利要求2所述的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于，所述驱动装置包括多个并列设置的气缸，每个气缸的缸体固定在所述安装架上，每个气缸的活塞杆与所述运动压块未开设凹槽的一侧固定连接。
4.根据权利要求1所述的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于，所述压块的凹槽的横截面的形状为梯形。
5.根据权利要求1所述的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于，所述压块的凹槽的横截面的形状为V字形。
6.根据权利要求1所述的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于，所述垫块的材料为尼龙。
7.根据权利要求1-6任一项所述的用于单晶棒截断用带锯床的夹持装置，其特征在于：包括用于支撑所述单晶棒的多个水平托辊，所述多个水平托辊平行排列。
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