CN201941086U - 切断装置 - Google Patents

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cutting
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秦洪强
刘学
杨长剑
陈斯奇
乔晓东
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Zhejiang Yuhui Yangguang Energy Resources Co Ltd
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Zhejiang Yuhui Yangguang Energy Resources Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种切断装置,主要包括:机头;设置机头上的切断锯条;设置在机头的平板上的托盘;设置在托盘上的基准板机构;与托盘处于同一水平面上的托板;设置在托板上的夹具。基准板机构的基准面可以检测单晶硅棒经切断锯条切断后产生的端面是否是斜面,如果检测到有斜面产生可以通过调整夹具,使单晶硅棒与切断锯条保持垂直,防止再次切断单晶硅棒时斜面的产生。如果检测到没有斜面产生时,将单晶硅棒的端面与基准板机构的基准面对齐保证单晶硅棒的端面与基准面之间没有间隙,再调整夹具夹紧单晶硅棒,然后切断单晶硅棒,因此,该切断装置可以有效的避免切断时斜面的产生,提高了单晶硅棒的切断生产效率,降低了生产成本。

Description

切断装置
技术领域
[0001] 本实用新型涉及切断装置技术领域,特别是涉及一种硅棒切断装置。 背景技术
[0002] 随着科技发展,单晶体硅片广泛应用于微电子或光伏电池领域,单晶体硅片是由硅料拉直制成的单晶硅棒,再经过切块切片后得到的,其中单晶硅棒切断是连接单晶生产和切片加工的重要生产环节。
[0003] 在单晶硅棒切断过程中,由于单晶硅棒的直径不规则,切断时,很容易产生斜面, 即很难将一根长尺寸的单晶硅棒分割成几段较短的标准的圆柱单晶硅棒,切断时产生的斜面将造成单晶硅棒在长度方向上的浪费,从而导致生产成本的提高,降低了单晶硅棒的切断生产效率。而现有的切断机在切断单晶硅棒时,不能有效的判断分断后的单晶硅棒是否存在斜面,切断后的单晶硅棒存在高度差不是标准的圆柱体。现在,急需一种可以减少切断过程产生斜面的单晶硅棒切断装置。
实用新型内容
[0004] 为解决上述技术问题,本实用新型实施例提供一种切断装置,以解决现有的单晶硅棒切断装置在切断时产生斜面的问题,技术方案如下:
[0005] 一种切断装置,包括:[0006] 机头;[0007] 设置所述机头上的切断锯条;[0008] 设置在所述机头的平板上的托盘;[0009] 设置在所述托盘上的基准板机构;[0010] 与所述托盘处于同一水平面上的托板;[0011] 设置在所述托板上的夹具。[0012] 优选地,所述基准板机构包括:[0013] 设置在所述托盘上的直线导轨;[0014] 设置在所述直线导轨上的滑块;[0015] 设置在所述滑块上的基准板。[0016] 优选地,所述基准板为10mm-30mm厚的钢板。[0017] 由以上本实用新型实施例提供的技术方案可见,所述切断装置至少包括:机头、托
盘、基准板机构、夹具和切断锯条,将待切断的单晶硅棒夹持在所述夹具上,且保证装夹平衡。基准板机构的基准面可以检测单晶硅棒经切断锯条切断后产生的端面是否是斜面,如果检测到有斜面产生可以通过调整夹具,使单晶硅棒与切断锯条保持垂直,防止再次切断单晶硅棒时斜面的产生;如果检测到没有斜面产生时,将单晶硅棒的端面与基准板机构的基准面对齐保证单晶硅棒的端面与基准面之间没有间隙,再调整夹具夹紧单晶硅棒,然后切断单晶硅棒,由于基准板机构的基准面是铅直方向,因此将待切断单晶硅棒的端面与基准面对齐,再利用切断锯条切断单晶硅棒得到的端面也处于铅直方向上,从而得到的较短的单晶硅棒是标准的圆柱体。因此,该切断装置可以有效的避免切断时斜面的产生,提高了单晶硅棒的切断生产效率,降低了生产成本。
附图说明
[0018] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019] 图1为本实用新型实施例一种切断装置的结构示意图;
[0020] 图2为本实用新型实施例一种装夹有单晶硅棒的切断装置的结构示意图
[0021] 图3为本实用新型实施例一种基准板的结构示意图;
[0022] 图4为本实用新型实施例一种直线导轨的结构示意图;
[0023] 图5为本实用新型实施例一种滑块的结构示意图。
具体实施方式
[0024] 为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然, 所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本实用新型保护的范围。
[0025] 请参见图1,图1所示为本实用新型实施例一种切断装置的结构示意图,该切断装置主要包括:机头1、基准板机构4、夹具6、切断锯条7。
[0026] 具体地,在机头1所在的平板2上设置有托盘3,该托盘与机头1相接触;在所述托盘3上设置有基准板机构4,该基准板机构的基准面处于与水平板2垂直的铅直方向。夹具6设置在与平板2处于同一水平面上的托板5上,用来装夹单晶硅棒,机头1上还设置有切断锯条7,该切断锯条的切断方向与基准板机构4的基准面平行。
[0027] 参见图2,图2为本实用新型实施例提供的装夹有单晶硅棒的切断装置结构示意图。
[0028] 在使用本实用新型实施例提供的切断装置时,首先将待切断的单晶硅棒8夹持在所述夹具6上,且保证装夹平衡,将单晶硅棒8的端面与基准板机构4的基准面对齐,保证单晶硅棒8的端面与基准面之间没有间隙,再调整夹,6夹紧单晶硅棒8,然后利用切断锯条 7切断单晶硅棒8,由于基准板机构的基准面位于铅直方向,因此将待切断单晶硅棒8的端面与基准面对齐,再利用切断锯条7切断单晶硅棒8在切断处的端面是标准的圆面,从而得到的较短的单晶硅棒8是标准的圆柱体,因此,本实施例提供的切断装置可以有效的避免切断时斜面的产生,提高了单晶硅棒的切断生产效率,降低了生产成本。
[0029] 参见图1、图3-图5,图3为本实用新型实施例提供的一种基准板的结构示意图, 图4为本实用新型实施例提供的一种直线导轨的结构示意图,图5为本实用新型实施例一种滑块的结构示意图。[0030] 参见图3-图5,并结合图1,基准板机构4包括基准板41、直线导轨42、滑块43,参见图1,直线导轨42设置在托盘3上,滑块43设置在直线导轨42上能够在直线导轨42上滑动;基准板41设置在滑块43上,能够跟随滑块43 —起在直线滑轨42上滑动。
[0031] 参见图3-图5,基准板41为多半圆的形状,底部的平面上设置有螺孔40,并可以通过螺栓固定在滑块43上,该基准板具体可以采用10mm-30mm厚的钢板加工而成。直线滑轨42的截面为“I”形,滑块43卡接在直线导轨42上,直线导轨42处于水平方向,基准板 41与直线导轨相垂直,处于铅直方向,基准板41能够跟随滑块43在直线导轨42上滑动。
[0032] 具体实施时,可以根据待切断单晶硅棒的长度调节滑块43在直线滑轨42上的位置,使基准板41与待切断的单晶硅棒的端面相接触,调节单晶硅棒的位置保证单晶硅棒的端面与基准板41之间没有间隙,利用切断方向与基准板41所在方向平行的切断锯条切断单晶硅棒,得到的切断处的端面为标准的圆面,得到较短的单晶硅棒为标准的圆柱体。
[0033] 本实施例提供的切断装置,其基准板机构上的基准板主要用来检测单晶硅棒经切断锯条切断后产生的端面是否是斜面,如果检测到有斜面产生通过调整夹具,使切断锯条与单晶硅棒保持垂直,防止再次切断单晶硅棒时斜面的产生。因此,基准板机构能够保证单晶硅棒在长度方向上处于水平方向,这样切断处的端面是标准的圆面,得到较短的单晶硅棒就是标准的圆柱体,避免了切断生产时斜面的产生,提高了单晶硅棒的切断生产效率,降低了生产成本。
[0034] 以上所述仅是本实用新型的具体实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1. 一种切断装置,其特征在于,包括: 机头;设置所述机头上的切断锯条; 设置在所述机头的平板上的托盘; 设置在所述托盘上的基准板机构; 与所述托盘处于同一水平面上的托板; 设置在所述托板上的夹具。
2.根据权利要求1所述的切断装置,其特征在于,所述基准板机构包括: 设置在所述托盘上的直线导轨;设置在所述直线导轨上的滑块; 设置在所述滑块上的基准板。
3.根据权利要求2所述的切断装置,其特征在于,所述基准板为10mm-30mm厚的钢板。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102837370A (zh) * 2012-07-31 2012-12-26 昆明冶研新材料股份有限公司 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法
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CN110774466A (zh) * 2019-10-18 2020-02-11 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司 安全高效的半导体无损切割夹持方法

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