CN201456258U - 一种用于切断单晶硅棒料的组合夹具 - Google Patents

一种用于切断单晶硅棒料的组合夹具 Download PDF

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赵士锋
张学强
李旭超
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Abstract

一种用于切断单晶硅棒料的组合夹具,用于提高单晶硅棒料切割质量。其技术方案是:所述组合夹具设置在带锯切割机工作台上,它由分别位于带锯两侧的夹卡装置和扶正装置组成,夹卡装置由导轨、滑块和三组并列的夹紧机构组成,导轨与工作台托板固定,滑块与导轨滑动连接,夹紧机构位于滑块上,扶正装置由两组并列的扶正机构组成。本实用新型在带锯两侧对单晶硅棒料分别夹紧、扶正,解决了切割端面掰断裂痕及垂直度误差问题,它以夹紧汽缸为夹紧件,实现三点定位夹紧,具有夹紧力均衡可靠、操作简便快捷的特点。采用本实用新型可有效降低单晶硅棒料切割不合格率、提高单晶硅使用率。

Description

一种用于切断单晶硅棒料的组合夹具
技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种夹具,特别是用于单晶硅棒料切断的组合夹具,属半导体材
料加工技术领域。 背景技术
[0002] 在半导体材料单晶硅的生产过程中,需要将单晶硅棒料按所需尺寸切断,通用方 法是在带锯切割机上对单晶硅棒料进行切割。目前在切割时,单晶硅棒料的夹卡方式采用 正反丝杠夹具,这种夹具操作繁琐、耗时费力,而且因单晶硅材质较脆,且被切割的单晶硅 棒料直径不均匀,对被切断一侧的单晶硅棒料缺乏合适的定位方式,经常会出现切断后的 单晶硅端面出现掰断裂痕,或者切断面相对单晶硅棒料轴线垂直度误差过大的问题,上述 问题均会造成单晶硅质量不合格,降低产品的使用率。
发明内容
[0003] 本实用新型用于解决上述已有技术之缺陷而提供一种夹卡方便、固定准确可靠的 用于切断单晶硅棒料的组合夹具。
[0004] 本实用新型所称问题是通过以下技术方案解决的:
[0005] —种用于切断单晶硅棒料的组合夹具,设置在带锯切割机工作台上,其特别之处 是:它由分别位于带锯两侧的夹卡装置和扶正装置组成,所述夹卡装置由导轨、滑块和三组 并列的夹紧机构组成,其中导轨与工作台托板固定,滑块与导轨滑动连接,夹紧机构位于滑 块上,所述扶正装置由两组并列的扶正机构组成。
[0006] 上述用于切断单晶硅棒料的组合夹具,所述扶正机构包括竖直扶正汽缸、水平扶
正汽缸和水平支架,竖直扶正汽缸位于汽缸架上,两水平扶正汽缸对称设置在带锯切割机
的工作台上,水平扶正汽缸活塞杆固接水平支架,水平支架内设有支承辊。
[0007] 上述用于切断单晶硅棒料的组合夹具,所述夹紧机构包括槽板、尼龙支承棒、汽缸
架和夹紧汽缸,槽板固定在滑块上,夹紧汽缸竖直设置在汽缸架上,汽缸架与槽板固定,两
尼龙支承棒位于槽板的凹槽内、相对夹紧汽缸对称配制。
[0008] 本实用新型针单晶硅棒料切断过程不易夹卡定位而影响切割质量问题设计了一 种组合夹具,该组合夹具在带锯两侧对单晶硅棒料分别夹紧、扶正,解决了原夹具因固定方 式不妥而造成的切割端面掰断裂痕及垂直度误差问题。本实用新型摒弃传统丝杠夹紧方 式,以夹紧汽缸为主要夹紧件,实现三点定位夹紧,其夹紧和松开操作简便快捷,并具有夹 紧力均衡可靠的特点。采用本实用新型在有效降低单晶硅棒料切割不合格率、提高单晶硅 使用率的同时,还可提高生产效率,降低人工操作强度。
附图说明
[0009] 图1是本实用新型结构示意图; [0010] 图2是图1的A向视图;
3[0011] 图3是图1的B向视图; [0012] 图4是图1的C向视图。
[0013] 附图中标号如下:l.带锯切割机,2.单晶硅棒料,3.竖直扶正汽缸,4.夹紧汽缸,
5. 汽缸架,6.槽板;7.滑块,8.导轨,9.水平扶正汽缸,IO.水平支架,ll.支承辊,12.工作 台托板,13.尼龙支承棒,14.带锯。
具体实施方式
[0014] 参看图1、图2,本实用新型设置在带锯切割机工作台上,它由夹卡装置和扶正装 置组成,夹卡装置和扶正装置分别位于带锯两侧,定位夹紧被加工的单晶硅棒料2。位于带 锯右侧的夹卡装置由三组并列的夹紧机构定位夹紧单晶硅棒料右侧;位于带锯左侧的扶正 装置由两组并列的扶正机构定位夹紧单晶硅棒料左侧。
[0015] 参看图3,所述扶正机构包括竖直扶正汽缸3、水平扶正汽缸9和水平支架10,竖直 扶正汽缸位于汽缸架上,两水平扶正汽缸对称设置在带锯切割机的工作台面上,水平扶正 汽缸活塞杆固接水平支架,水平支架内设有支承辊11。该机构由三个汽缸对单晶硅棒料在 三个方向均压夹持,即使单晶硅棒料外圆有误差,也不会对夹持定位产生影响。在两组扶正 机构的夹持下,避免了单晶硅棒料切断后端面出现掰断裂痕,并减少了切断面相对单晶硅 棒料轴线垂直度误差。
[0016] 参看图1、图2、图4,所述夹卡装置由导轨8、滑块7和三组夹紧机构组成,其中导 轨与工作台托板12固定,滑块与导轨滑动连接,夹紧机构位于滑块上。夹紧机构包括槽板
6、 尼龙支承棒13、汽缸架5和夹紧汽缸4,槽板固定在滑块上,夹紧汽缸竖直设置在汽缸架 上,汽缸架与槽板固定,两尼龙支承棒位于槽板的凹槽内、相对夹紧汽缸对称配制,夹紧汽 缸和尼龙支承棒对汽缸形成三点环绕固定夹紧。夹紧装置可通过调整滑块相对导轨的位置 改变夹紧机构的工作位置,以满足夹紧不同长度单晶硅棒料的要求。如图所示,本实施例滑 块设置了两块,其中靠近带锯14的滑块上设置两组夹紧机构,远离带锯的滑块上设置一组 夹紧机构。
[0017] 本实用新型使用时配合带锯切割机对单晶硅棒料实施切断加工,根据加工要求, 调整扶正机构和夹紧机构的工作位置,将单晶硅棒料定位夹紧,随单晶硅棒料分段切断,夹 紧装置可随工作台托板水平移动,实现对带锯切割机输料。

Claims (3)

  1. 一种用于切断单晶硅棒料的组合夹具,它设置在带锯切割机工作台上,其特征在于:它由分别位于带锯两侧的夹卡装置和扶正装置组成,所述夹卡装置由导轨(8)、滑块(7)和三组并列的夹紧机构组成,其中导轨与工作台托板(12)固定,滑块与导轨滑动连接,夹紧机构位于滑块上,所述扶正装置由两组并列的扶正机构组成。
  2. 2. 根据权利要求1所述的用于切断单晶硅棒料的组合夹具,其特征在于:所述扶正机构包括竖直扶正汽缸(3)、水平扶正汽缸(9)和水平支架(IO),竖直扶正汽缸位于汽缸架 上,两水平扶正汽缸对称设置在带锯切割机的工作台上,水平扶正汽缸活塞杆固接水平支 架,水平支架内设有支承辊(11)。
  3. 3. 根据权利要求1或2所述的用于切断单晶硅棒料的组合夹具,其特征在于:所述夹紧机构包括槽板(6)、尼龙支承棒(13)、汽缸架(5)和夹紧汽缸(4),槽板固定在滑块上,夹 紧汽缸竖直设置在汽缸架上,汽缸架与槽板固定,两尼龙支承棒位于槽板的凹槽内、相对夹 紧汽缸对称配制。
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GR01 Patent grant
C14 Grant of patent or utility model
EE01 Entry into force of recordation of patent licensing contract

Assignee: Xingtai Jinglong Electronic material Co., Ltd.

Assignor: Ningjin Saimei Ganglong Electronic Material Co., Ltd.

Contract record no.: 2012130000012

Denomination of utility model: Combined clamp for cutting single-crystal silicon bar materials

Granted publication date: 20100512

License type: Exclusive License

Record date: 20120223

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Granted publication date: 20100512

Termination date: 20160616

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