CN201913087U - 聚四氟乙烯清洗花篮改良结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种应用于半导体清洗工艺中的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其包括把手和一个以上花篮本体，所述把手上设置一个以上卡槽，所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。所述卡槽优选采用T型卡槽。所述花篮本体上端面上分布二个以上可以容置硅片的浅槽。所述浅槽的槽底部设置复数个竖直通孔。本实用新型在保有现有聚四氟乙烯清洗花篮各种优点的同时，还可用于同时清洗多品种、多规格的多片小片，且其底部设置的通孔还提高了清洗的效率，再者，利用卡槽，尤其是T型卡槽固定花篮本体和把手，使得清洗花篮更加坚固耐用，且便于安装拆卸，并使得清洗花篮还易于运输和收储。

Description

聚四氟乙烯清洗花篮改良结构

技术领域

本实用新型涉及一种用于清洗硅片的聚四氟乙烯花篮，尤其涉及一种可清洗多片、多规格的硅片的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构。

背景技术

在现代半导体制造技术中，清洗硅片是贯穿工艺制造流程中必不可少的关键步骤。如果硅片表面的洁净度质量达不到要求，无论其它工艺步骤控制的多优秀，也不可能获得高质量的半导体器件。

清洗花篮是硅片清洗工艺的重要工具。众所周知，聚四氟乙烯具有优良的化学稳定性，耐腐蚀性，高润滑不粘性、电绝缘性、抗老化耐力以及耐高温性，是制作清洗花篮的最好材料之一。目前市面上的聚四氟乙烯清洗花篮一般用于大尺寸的硅片清洗，比如6寸、8寸等。然而在实验室探索新器件、新工艺流程的时候，为了节省材料，通常用2cm×2cm、1cm×1cm，甚至更小的片子，有些还是不规则的，特别是使用砷化镓，氮化镓等价格昂贵的材料，因此小片的清洗是不可避免的。而这种用于小片清洗的花篮在市面上很少看到。

一般市场上的小片清洗用花篮往往存在这样几个问题：第一，不宜同时洗几个小片。如果花篮只有一个凹槽的话，刚放几个小片的时候不会重叠，一旦泡进水里，小片滑动，很容易接触到别的片子。片子之间容易造成摩擦损伤。第二，无法使片子的两面都得到充分的清洗。小片放入花篮后，正面可以充分的接触水，但是背面往往一直贴着花篮，无法得到充分的清洗。第三，花篮长期使用容易导致把手和篮子的接触部位脱落。一般为了机械加工方便和节省聚四氟乙烯材料，把手和篮子都是分开制作，然后使用一种简单的机械卡槽将两个部分固定在一起。虽然聚四氟乙烯材料虽然抗高温抗酸碱能力很强，但是长时间使用后接触部分仍不可避免的发生形变，使把手和篮子的接触部位松动，篮子较容易脱落。目前发现市面上的产品用半年或一年就会产生篮子脱落的情况，无法继续使用。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其针对现有的小片用清洗花篮的不足，着重解决了其清洗数量受限制，清洗效率低和使用寿命短的问题。

为实现上述发明目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，包括把手和一个以上花篮本体，其特征在于：所述把手上设置一个以上卡槽，所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。

进一步地讲：

所述卡槽为燕尾形卡槽或阶梯式卡槽。

所述卡槽采用T型卡槽。

所述T型卡槽为三个以上，其沿轴向平行分布于所述把手上。

所述花篮本体上端面上分布二个以上可以容置硅片的浅槽。

所述花篮本体上端面上均匀分布九个矩形浅槽。

所述花篮本体上端面为矩形面，所述矩形浅槽的长边与矩形面的长边平行。

所述花篮本体上端面上均匀分布六个正方形浅槽。

所述浅槽的槽底部设置复数个竖直通孔。

所述花篮本体上端面为矩形面，所述突出部设置于所述矩形面长边所在一侧。

由于采用了上述方案，使得本实用新型较之现有技术，具有如下积极效果：

(1)由于花篮的每个部分得到了充分的隔离，使得多片的清洗成为了可能；

(2)花篮的底部有小孔，可以保证片子与水的充分接触，提高了清洗的效果；

(3)花篮与把手采用T型卡槽结构配合的形式，既方便了安装、拆卸和保存，也使得花篮经久耐用，不易脱落。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式中一种聚四氟乙烯清洗花篮的结构示意图；

图2是图1中所示一种花篮本体的结构示意图；

图3是图1中所示另一种花篮本体的结构示意图；

图4是图1中所示把手的示意图；

图5是另一种把手的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图及一较佳实施例对本实用新型的技术方案作详细说明。

如图1所示，该较佳实施例所披露之聚四氟乙烯清洗花篮包括由聚四氟乙烯制成的一把手1以及与把手固定连接的三个花篮本体2、2’、3。

其中，第一、二花篮本体2、2’的结构完全相同，如图2所示，该两个花篮本体均为矩形体，其上端面上均匀分布有九个浅槽4，其可经由该工艺制成，即：对花篮首先沿短边方向分割成三部分，再在长边方向用很浅的槽分别隔成三段。这样的好处是把整个花篮分割成互相隔开的九个部分，每个部分可以分别放小片(小规格的硅片)进行清洗。小片可以斜着靠在槽的边上，以便充分地浸入水中。每个部分底下打10个小孔5，这样也有助与水和片子的充分接触，改善清洗的效果。

如图3所示系为第三花篮本体3的结构示意图，该花篮本体亦为矩形体，但其上端面上均匀分布六个浅槽6，其由如下工艺制成，即：对花篮先沿短边方向分割成两部分，再在长边方向用浅槽隔成三段，这样就能得到互相隔开的六个部分。然后再在底下打上9个小孔7。除了具有以上第一、二花篮本体的优点以外，该花篮本体分割后每个部分呈正方形，面积稍大的花篮还有一个特殊的用途，就是可以把小片横着整个放进这一个个区域，而不用斜着放。这主要是用来进行工艺中的剥离，由于剥离的时候只需要溶液和片子的一个面充分作用，经实践，横着放片子比斜着放更有利于剥离的快速进行。此外，片子的长边方向只用很浅的槽隔离，这主要是为了放大一点的片子，这样设计，即使是1寸2寸片子也可以放在槽中清洗。进一步地，如果需要用这套设备经常清洗2寸片的话，还可以在第三花篮本体结构设计的基础上，在短边方向上挖一个窄槽，就可以把二寸片卡进槽中清洗。

上述两种花篮本体的一侧部，尤其是矩形长边所在一侧部还设置有一突出部，与之相应的，所述把手上可设有三个以上T型卡槽8、9、10，通过将上述两种花篮本体的凸出部分11、12、13分别插进相应的卡槽中，即可使花篮本体与把手紧固连接，而当要拆卸花篮时，只需将花篮本体从把手的卡槽中拔出即可。如此，清洗花篮可随时安装或者拆卸，方便了移动和保管。且根据实际工作的需要，可随时选择增减连接在把手上的花篮本体的数量和规格，这样对清洗的容错性和效率都有很大的提高。另外相对于简单的机械卡住或者是一个凸出部分套一个圆孔的办法，这种方式卡的更紧，很难由于形变导致脱落，从而使得清洗花篮更加经久耐用。

藉本较佳实施例的清洗花篮，操作人员每次至少可同时清洗24个片子，若统一采用第一、二花篮本体，则每次最少可同时清洗27个片子，既增加了清洗的数量，也提高了清洗的效率。

需要说明的是，本实用新型中，花篮本体亦可采用除矩形体之外的其他形态，且花篮本体上设置的浅槽也可根据实际需要采用圆形、菱形或其他任意不规则形态，此外，所述把手1’上的卡槽亦可采用台阶形、燕尾形卡槽14(如图5所示)或其他类似具有卡扣功能之形态。

因此，以上实施例仅用于说明本实用新型的内容，除此之外，本实用新型还有其他实施方式，但凡本领域技术人员因本实用新型所涉及之技术启示，而采用等同替换或等效变形方式形成的技术方案均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，包括把手和一个以上花篮本体，其特征在于：所述把手上设置一个以上卡槽，所述花篮本体的一侧部设置可与所述卡槽紧密插接配合的突出部。

2.根据权利要求1所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述卡槽为燕尾形卡槽或阶梯式卡槽。

3.根据权利要求1所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述卡槽采用T型卡槽。

4.根据权利要求3所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述T型卡槽为三个以上，其沿轴向平行分布于所述把手上。

5.根据权利要求1所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述花篮本体上端面上分布二个以上可以容置硅片的浅槽。

6.根据权利要求1或5所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述花篮本体上端面上均匀分布九个矩形浅槽。

7.根据权利要求6所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述花篮本体上端面为矩形面，所述矩形浅槽的长边与矩形面的长边平行。

8.根据权利要求1或5所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述花篮本体上端面上均匀分布六个正方形浅槽。

9.根据权利要求5所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述浅槽的槽底部设置复数个竖直通孔。

10.根据权利要求5所述的聚四氟乙烯清洗花篮改良结构，其特征在于：所述花篮本体上端面为矩形面，所述突出部设置于所述矩形面长边所在一侧。 

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