CN202779046U - 一种蓝宝石衬底专用清洗篮 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种蓝宝石衬底专用清洗篮,广泛应用于蓝宝石衬底加工过程中的各个超声波清洗环节。该清洗篮包括有侧板、上挡杆、下支撑杆和齿型杆,所述侧板设有两块,所述上挡杆、下支撑杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接;所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。本实用新型蓝宝石衬底专用清洗篮,容量大,易清洗,耐腐蚀,适合规模化生产的需要。

Description

一种蓝宝石衬底专用清洗篮
技术领域
本实用新型涉及一种蓝宝石衬底专用清洗篮,广泛应用于蓝宝石衬底加工过程中的各个超声波清洗环节。 
背景技术
蓝宝石衬底具有制备工艺成熟,价格低、易清洗和处理,高温下有很好的稳定性。随着生长工艺的不断改进,蓝宝石衬底上生长的GaN外延膜晶体质量有了很大提高,目前已能在蓝宝石上外延出高质量的GaN材料,并已研制出GaN基蓝色发光二极管及激光二极管。在六方GaN的外延生长中,蓝宝石是使用最普遍的一种衬底材料。 
由于在衬底晶片生产中,几乎每道工序都有清洗问题,所以蓝宝石晶片清洗的好坏对LED的发光性能有严重的影响,处理不当,可能使全部蓝宝石晶片报废,做不出LED管子来,或者制造出来的LED性能低劣、稳定性和可靠性很差。因此弄清楚蓝宝石晶片清洗的方法和原理,不管是对从事蓝宝石晶片加工还是LED生产的人来说都具有十分重要的工程意义。 
研磨过程中宝石片是粘在加工盘上的,会形成凹槽,现有技术手工清洗工艺用刷子很难将凹槽中的微粉洗净,造成死角,容易把上道工序中使用的较粗金刚石微粉带到下道工序中,造成研磨、抛光时出现异常的粗深痕迹,导致返工,影响加工质量。 
发明内容
本实用新型针对上述现有技术的不足,提供了一种蓝宝石衬底专用清洗篮,容量大,易清洗,耐腐蚀,适合规模化生产的需要。 
本实用新型的具体技术方案是: 
一种蓝宝石衬底专用清洗篮,其特征在于该清洗篮包括有侧板、上挡杆、下档杆和齿型杆,所述侧板设有两块,所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接;所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。 
所述齿型杆、上档杆上的齿槽水平正对设置;下档杆上的齿槽垂直向上设置。 
所述侧板与上挡杆、齿型杆连接形成一个长条形通孔;所述侧板与下挡杆连接的竖条形通孔设有22个,这些通孔互相平行,且与长条形通孔垂直。 
本实用新型将每道清洗改用超声波清洗。超声波清洗是基于超声振动在清洗液中传播时,液体分子往复高频振动产生冲击波,当声强达到一定数值时,液体中急剧生长微小空化气泡并瞬时强烈闭合,使宝石片表面的油脂及金刚石微粉遭到分散和渗透,使其脱离工件溶解到清洗液中。 
在蓝宝石镜面加工中,采用了超声波清洗工艺后,具有如下几方面优点: 
① 宝石片表面质量明显提高。 
② 在粗研磨、精研磨及抛光工序中,不再留有异常粗深残留痕迹,免去不必要的重复返工,提高了生产效率。 
 降低工人清洗劳动强度,同时降低了宝石片的加工成本。 
以前使用的清洗篮为25片装:容量小,不能满足规模化生产的要求;晶片与清洗篮接触处较多,清洗效果差;尺寸单一固定,不能适用不同规格的晶片。 
本实用新型有如下优点:在晶片超声波清洗机中,作为承载晶片的工装夹具,是设备的关键部件,直接影响设备的产能。本实用新型耐酸碱腐蚀,使用简单方便,且容量大,能满足规模化生产的要求;晶片与清洗篮间接触少,清洗效果好;尺寸可根据晶片进行调节,适用不同规格的晶片。 
附图说明
图1 为本实用新型结构的立体结构示意图; 
图2 为本实用新型侧板的放大图; 
图3 为本实用新型的侧视图。 
其中:上挡杆1;齿型杆2;下挡杆3;长条形通孔4;竖条形通孔5 。 
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。 
如图1、2和3所示的一种蓝宝石衬底加工专用清洗篮,该清洗篮包括有侧板,上挡杆1,下档杆3和齿型杆2。其中,侧板设有两块,上挡杆1,下档杆3和齿型杆2的两端分别与两块侧板连接,形成篮状。上、下挡杆和齿型杆上设有放置蓝宝石衬底片的齿槽。图中所示的齿型杆有两个,上挡杆有两个,下档杆有三个,齿型杆、上档杆上的齿槽水平正对设置;下档杆上的齿槽垂直向上设置,将蓝宝石衬底片插在齿槽中,衬底片与齿槽的接触面积小,从而清洗效果好。 
将上述清洗篮进行改进:移动上挡杆1和齿型杆2在长条形通孔4上的安装位置,并移动下挡杆3在竖条形通孔5上的安装位置,可放置不同规格的衬底片和异形片,从而实现一篮多用的目的,充分发挥清洗篮的功能。 

Claims (3)

1.一种蓝宝石衬底专用清洗篮,其特征在于该清洗篮包括有两块侧板、一个上挡杆、一个下档杆和一个齿型杆,所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接;所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底专用清洗篮,其特征在于所述齿型杆和上档杆上的齿槽水平正对设置,下档杆上的齿槽垂直向上设置。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底专用清洗篮,其特征在于所述侧板与上挡杆、齿型杆连接形成一个长条形通孔;所述侧板与下挡杆连接的竖条形通孔设有22个,这些通孔互相平行,且与长条形通孔垂直。
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