CN202779046U - 一种蓝宝石衬底专用清洗篮 - Google Patents
一种蓝宝石衬底专用清洗篮 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202779046U CN202779046U CN 201220327734 CN201220327734U CN202779046U CN 202779046 U CN202779046 U CN 202779046U CN 201220327734 CN201220327734 CN 201220327734 CN 201220327734 U CN201220327734 U CN 201220327734U CN 202779046 U CN202779046 U CN 202779046U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sapphire substrate
- cleaning basket
- flute profile
- profile bar
- lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种蓝宝石衬底专用清洗篮，广泛应用于蓝宝石衬底加工过程中的各个超声波清洗环节。该清洗篮包括有侧板、上挡杆、下支撑杆和齿型杆，所述侧板设有两块，所述上挡杆、下支撑杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接；所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。本实用新型蓝宝石衬底专用清洗篮，容量大，易清洗，耐腐蚀，适合规模化生产的需要。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种蓝宝石衬底专用清洗篮，广泛应用于蓝宝石衬底加工过程中的各个超声波清洗环节。
背景技术
蓝宝石衬底具有制备工艺成熟，价格低、易清洗和处理，高温下有很好的稳定性。随着生长工艺的不断改进，蓝宝石衬底上生长的GaN外延膜晶体质量有了很大提高，目前已能在蓝宝石上外延出高质量的GaN材料，并已研制出GaN基蓝色发光二极管及激光二极管。在六方GaN的外延生长中，蓝宝石是使用最普遍的一种衬底材料。
由于在衬底晶片生产中，几乎每道工序都有清洗问题，所以蓝宝石晶片清洗的好坏对LED的发光性能有严重的影响，处理不当，可能使全部蓝宝石晶片报废，做不出LED管子来，或者制造出来的LED性能低劣、稳定性和可靠性很差。因此弄清楚蓝宝石晶片清洗的方法和原理，不管是对从事蓝宝石晶片加工还是LED生产的人来说都具有十分重要的工程意义。
研磨过程中宝石片是粘在加工盘上的，会形成凹槽，现有技术手工清洗工艺用刷子很难将凹槽中的微粉洗净，造成死角，容易把上道工序中使用的较粗金刚石微粉带到下道工序中，造成研磨、抛光时出现异常的粗深痕迹，导致返工，影响加工质量。
发明内容
本实用新型针对上述现有技术的不足，提供了一种蓝宝石衬底专用清洗篮，容量大，易清洗，耐腐蚀，适合规模化生产的需要。
本实用新型的具体技术方案是：
一种蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于该清洗篮包括有侧板、上挡杆、下档杆和齿型杆，所述侧板设有两块，所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接；所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。
所述齿型杆、上档杆上的齿槽水平正对设置；下档杆上的齿槽垂直向上设置。
所述侧板与上挡杆、齿型杆连接形成一个长条形通孔；所述侧板与下挡杆连接的竖条形通孔设有22个，这些通孔互相平行，且与长条形通孔垂直。
本实用新型将每道清洗改用超声波清洗。超声波清洗是基于超声振动在清洗液中传播时，液体分子往复高频振动产生冲击波，当声强达到一定数值时，液体中急剧生长微小空化气泡并瞬时强烈闭合，使宝石片表面的油脂及金刚石微粉遭到分散和渗透，使其脱离工件溶解到清洗液中。
在蓝宝石镜面加工中,采用了超声波清洗工艺后,具有如下几方面优点：
① 宝石片表面质量明显提高。
② 在粗研磨、精研磨及抛光工序中，不再留有异常粗深残留痕迹，免去不必要的重复返工，提高了生产效率。
降低工人清洗劳动强度，同时降低了宝石片的加工成本。
以前使用的清洗篮为25片装：容量小，不能满足规模化生产的要求；晶片与清洗篮接触处较多，清洗效果差；尺寸单一固定，不能适用不同规格的晶片。
本实用新型有如下优点：在晶片超声波清洗机中，作为承载晶片的工装夹具，是设备的关键部件，直接影响设备的产能。本实用新型耐酸碱腐蚀，使用简单方便，且容量大，能满足规模化生产的要求；晶片与清洗篮间接触少，清洗效果好；尺寸可根据晶片进行调节，适用不同规格的晶片。
附图说明
图1 为本实用新型结构的立体结构示意图；
图2 为本实用新型侧板的放大图；
图3 为本实用新型的侧视图。
其中：上挡杆1；齿型杆2；下挡杆3；长条形通孔4；竖条形通孔5 。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
如图1、2和3所示的一种蓝宝石衬底加工专用清洗篮，该清洗篮包括有侧板，上挡杆1，下档杆3和齿型杆2。其中，侧板设有两块，上挡杆1，下档杆3和齿型杆2的两端分别与两块侧板连接，形成篮状。上、下挡杆和齿型杆上设有放置蓝宝石衬底片的齿槽。图中所示的齿型杆有两个，上挡杆有两个，下档杆有三个，齿型杆、上档杆上的齿槽水平正对设置；下档杆上的齿槽垂直向上设置，将蓝宝石衬底片插在齿槽中，衬底片与齿槽的接触面积小，从而清洗效果好。
将上述清洗篮进行改进：移动上挡杆1和齿型杆2在长条形通孔4上的安装位置，并移动下挡杆3在竖条形通孔5上的安装位置，可放置不同规格的衬底片和异形片，从而实现一篮多用的目的，充分发挥清洗篮的功能。
Claims (3)
1.一种蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于该清洗篮包括有两块侧板、一个上挡杆、一个下档杆和一个齿型杆，所述上挡杆、下档杆和齿型杆的两端分别与两块侧板连接；所述齿型杆、上挡杆和下挡杆上都设有容纳蓝宝石衬底片的齿槽。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于所述齿型杆和上档杆上的齿槽水平正对设置，下档杆上的齿槽垂直向上设置。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底专用清洗篮，其特征在于所述侧板与上挡杆、齿型杆连接形成一个长条形通孔；所述侧板与下挡杆连接的竖条形通孔设有22个，这些通孔互相平行，且与长条形通孔垂直。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220327734 CN202779046U (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 一种蓝宝石衬底专用清洗篮 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201220327734 CN202779046U (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 一种蓝宝石衬底专用清洗篮 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202779046U true CN202779046U (zh) | 2013-03-13 |
Family
ID=47806388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201220327734 Expired - Fee Related CN202779046U (zh) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | 一种蓝宝石衬底专用清洗篮 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202779046U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103639141A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-03-19 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石触摸面板的清洗方法 |
| CN106847734A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-06-13 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石衬底清洗篮装置 |
-
2012
- 2012-07-06 CN CN 201220327734 patent/CN202779046U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103639141A (zh) * | 2013-11-26 | 2014-03-19 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石触摸面板的清洗方法 |
| CN103639141B (zh) * | 2013-11-26 | 2015-09-30 | 浙江上城科技有限公司 | 一种蓝宝石触摸面板的清洗方法 |
| CN106847734A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-06-13 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种蓝宝石衬底清洗篮装置 |
| CN106847734B (zh) * | 2017-03-23 | 2023-07-14 | 东旭集团有限公司 | 蓝宝石衬底清洗篮装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012006144A (ja) | ワイヤ切断装置用取付板、ワイヤ切断装置用取付板含むワイヤ切断装置、及びワイヤ切断装置によって実行されるワイヤ切断プロセス | |
| CN202779046U (zh) | 一种蓝宝石衬底专用清洗篮 | |
| CN102285010A (zh) | 一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶薄片及其切割方法 | |
| CN106079126A (zh) | 一种半导体单晶硅多线切割夹紧装置及方法 | |
| CN208853421U (zh) | 一种玻璃加工用的清洗装置 | |
| CN2925736Y (zh) | 四边形薄板件侧平面磨削夹具 | |
| CN101973081A (zh) | 利用mb线锯切截头不截尾8寸多晶块的方法 | |
| CN1562506A (zh) | 超声清洗万能夹具 | |
| CN215659367U (zh) | 用于金刚石单晶片平面研磨的固定工装及平面研磨装置 | |
| CN205765727U (zh) | 一种机械零件自动固定装置 | |
| CN204079209U (zh) | 一种扶梯的扶手带维护装置 | |
| CN107686779A (zh) | 半导体硅磨片清洗剂及其制备方法 | |
| CN110560908A (zh) | 一种激光去除蓝宝石表面镀层的装置及其工艺方法 | |
| CN202601600U (zh) | 太阳能硅片自动脱胶机用晶托固定框 | |
| CN202244733U (zh) | 一种硅片的放置装置 | |
| CN202159654U (zh) | 一种晶体硅太阳能硅片的脱胶清洗夹具 | |
| CN208279689U (zh) | 一种铜板表面处理装置 | |
| CN202762707U (zh) | 硅片清洗脱胶夹具 | |
| CN216606230U (zh) | 蓝宝石晶片的擦洗装置及擦洗系统 | |
| CN203170663U (zh) | 一种晶片清洗治具 | |
| CN101885161A (zh) | 用于太阳能电池用方形硅锭的抛光系统 | |
| CN205723478U (zh) | 一种组合式晶舟盒提篮 | |
| CN101174561A (zh) | 硅双面扩散衬底片加工方法 | |
| CN203527073U (zh) | 一种加工中心夹具 | |
| CN201732773U (zh) | 晶片承载器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130313 Termination date: 20150706 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |