CN1562506A - 超声清洗万能夹具 - Google Patents

Abstract

一种用于超声清洗的超声清洗万能夹具，由滑动框架、固定框架、四根滑杆、若干夹件和一导水支撑棒组成，所述的滑动框架和固定框架为相同的矩形框架，其四角相同位置设有圆孔，且该两框架的上下两外边均设有滑槽，滑杆的一端分别与固定框架固定，所述的滑动框架通过四角圆孔套置在该滑杆上，该滑动框架对应于滑杆的位置共设有四个螺孔，所述的导水支撑棒的两端也设有圆孔，套设在下面两滑杆上，处于滑动框架和固定框架之间，多个夹件具有“[”形结构，其背脊为凸形，上下两端有螺孔，通过紧固螺钉可将该夹件随意地安装在滑动框架或固定框架上。本发明可提高镀膜基片超声清洗的效果和效率，提高所镀制的薄膜的质量。

Description

超声清洗万能夹具

技术领域：

本发明与玻璃镀膜有关，特别是一种超声清洗万能夹具，既可用于玻璃镀膜基片的超声清洗，也可以用于其他行业工件的超声清洗。

技术背景：

由于玻璃镀膜的基片在经过切割、抛光等很多个加工工序后，会在表面留下如抛光粉等残留物，同时在运输过程中也会产生很多污染，这些表面的污染物如果不清除干净就很容易在薄膜中形成微缺陷。现在大量实验表明，基片表面杂质在薄膜中形成的微缺陷是造成薄膜激光损伤的最主要源十之一，抑制微缺陷的形成，薄膜的性能就能大大提高。基片清洗的好坏直接影响所镀制薄膜的质量，特别对薄膜激光损伤阈值的提高至关重要。现在镀膜基片的清洗主要有人工擦洗和超声清洗两种方法。人工擦洗不但效率低，而且会在擦洗中重新造成污染，不能适应高质量镀膜的要求；现在的超声清洗中，有的在超声波清洗器底铺上纱布，直接将基片平放在上面超声清洗，不但每次可清洗基片的数量有限，而且基片上下两面清洗很不均匀，清洗完毕基片取出也不方便。而对于使用夹具的超声清洗，一般对不同规格的基片就要用不同的夹具，这显然不能满足基片规格千变万化的要求，造成很大的浪费。另外，现在的夹具在超声清洗最后一步用异丙醇慢拉脱水时，会在基片底部留下少许清洗液，这样清洗液挥发后将会在基片表面留有印记。其他领域如精密机械，微电子等等也有很多机械零件或硅片等需要清洗，同样也存在着和薄膜镀膜基片超声清洗同样的问题。

发明内容：

本发明要解决的技术问题在于克服上述现有超声清洗中的缺点，提供一种超声清洗万能夹具，以提高镀膜基片超声清洗的效果和效率，提高所镀制的薄膜的质量。

本发明的技术解决方案如下：

一种用于超声清洗的万能夹具，其特点是，该夹具由滑动框架、固定框架、四根滑杆、若干夹件和一导水支撑棒组成，所述的滑动框架和固定框架为具有相同尺寸的矩形框架，其四角相同位置设有圆孔，且该两框架的上下两外边均设有滑槽，四根滑杆分别插入固定框架的圆孔中并固定，所述的滑动框架通过四角圆孔套置在该滑杆上，该滑动框架的上下端面相对于滑杆的位置共设有四个螺孔，所述的导水支撑棒的两端也设有圆孔，套设在下面两滑杆上，处于滑动框架和固定框架之间，所述的夹件具有“[”形结构，其背脊为凸形，两边具有“”形缺口槽，上下两端有螺孔，通过紧固螺钉穿过该螺孔，可将该夹件安装在滑动框架或固定框架上。

所述的滑杆的形状可为圆形、方形或其他形状；相应的在固定框架上也设有固定该滑杆的圆孔、方孔或其他形状孔；所述滑杆也可以直接垂直地焊接在固定框架四角；相应的滑动框架上也设有套置该滑杆的圆孔、方孔或其他形状孔。

所述的导水支撑棒的背脊可为方形，也可以为“∩”形或其他形状。

本发明的技术效果：

1、由于本发明夹具中滑动框架可以在滑杆上自由滑动并固定，夹件又可沿框架的滑槽自由滑动并固定，可实现二维方向连续可调，这样对不同厚度，不同大小，不同形状的基片均可以有效夹持；

2、本夹具将使基片在竖立情况下进行超声清洗，基片两个面的清洗效果相同，避免平放清洗时，两面清洗不均匀的情况发生；此外这种基片的竖直放置比平放时所占面积大大减少，每次可以同时清洗多片基片，提高了工作效率；

3、本夹具设计了导水支撑棒，这样在超声清洗最后一步慢拉脱水时，由于液体的表面张力的作用，清洗液将会顺着该棒流下，不会因为在基片底部残留少量清洗液的而留下印记，提高了清洗效果；

4、本夹具中的夹件可以根据需要安装数个，可以对同样大小的多片基片同时夹持清洗，提高工作效率；

5、本夹具不但可以用于镀膜前基片的超声清洗，也可以用于如机械零件、微电子硅片等其他行业需要进行工件超声清洗的领域。

6、本发明装置使用简单，操作方便。

附图说明：

图1本发明超声清洗万能夹具实施例之一的结构示意图

图2本发明滑动框架示意图

图3本发明夹件示意图

图4本发明夹件在框架上安装示意图

具体实施方式

先请参阅图1，图1是本发明超声清洗万能夹具实施例之一的结构示意图，由图可见，本发明超声清洗万能夹具主要由以下几部分组成：滑动框架1，固定框架2，滑杆3，导水支撑棒5和一定数量的夹件8组成。滑动框架1和固定框架2为尺寸相同的矩形框架，在其四角的相同位置均设有圆孔7，两框架1、2的上下外边缘均设有滑槽4，滑动框架1的上下端面相对于滑杆3的位置共设有四个螺孔6，四根圆柱形滑杆3的直径与固定框架2四角的圆孔的直径相同，采用正公差，以便将滑杆3打入圆孔并固定在该固定框架2上，滑杆3要与固定框架2平面保持垂直，且四个滑杆3间相互平行。滑动框架1的四个圆孔7的直径比滑杆3直径略大，使滑动框架1能够在滑杆3上能自由滑动。导水支撑棒5两端开有两个圆孔，直径与滑动框架1四角的圆孔7的直径相同，位于滑动框架1和固定框架2之间，并套置于下面两滑杆3上可自由滑动。夹件8为“[”形结构，如图3所示，其背脊为凸形，两边具有“”形缺口9，这样两个夹件8合拢时正好形成一个沟槽，刚好可把基片卡在当中，夹件8上下端均开有螺孔10，紧固螺钉穿过该螺孔10将夹件8安装在滑动框架1或固定框架2上，防止夹件8脱落。

本发明超声清洗万能夹具的安装与使用方法如下：

本发明夹具在加工时四个圆柱形滑杆3已经通过套置或焊接方式固定在固定框架2上，再将夹件8分别卡在固定框架2或滑动框架1上，如图4所示，在其上下端通过螺孔10拧入紧固螺丝，防止其脱落，并且使其在两个框架1、2上沿滑槽4可以自由滑动。将导水支撑棒5套置于下面两滑杆3上，再把滑动框架1穿在滑杆3上，导水支撑棒5置于滑动框架1和固定框架2的正中间，并用紧固螺丝固定。根据基片的大小，调整滑动框架1在滑杆3上的位置，确定后拧紧滑动框架1上的紧固螺丝；根据基片的厚度，沿滑槽调整两夹件8之间的距离，基片放好后再分别拧紧夹件8上的紧固螺丝。

如果需要同时清洗多个基片，可以在框架1、2上安装多个夹件8。一个基片要四个夹件，两个基片要六个夹件，以此类推。这样就可以把装好基片的夹具一起放入超声波清洗器中进行超声清洗。

很显然，所述滑杆3的外形结构可为圆形、方形或其他形状；只要相应的在固定框架上也设有固定该滑杆的圆孔、方孔或其他形状孔；所述滑杆也可以直接垂直地焊接在固定框架四角；相应的滑动框架上也设有套置该滑杆的圆孔、方孔或其他形状孔。所述的导水支撑棒的背脊可为方形，也可以为“∩”形或其他形状。选用不锈钢作为制作材料，避免夹具在使用中受到清洗液的腐蚀。都可以实现本发明的目的，产生同样的技术效果。

本发明的特点是利用夹持基片的夹件分别在滑杆和滑槽内的二维移动来实现对不同大小、不同厚度和不同规格的基片有效夹持，以便进行超声清洗。实验证明避免了现有夹具固定不可调的缺点。

Claims (3)

1、一种用于超声清洗的超声清洗万能夹具，其特征在于该夹具由滑动框架(1)、固定框架(2)、四根滑杆(3)、夹件(8)和导水支撑棒(5)组成，所述的滑动框架(1)和固定框架(2)为具有相同尺寸的矩形框架，其四角相同位置设有圆孔(7)，且该框架(1、2)的上下两外边均设有滑槽(4)，四根滑杆(3)分别插入固定框架(2)的圆孔(7)中并固定，所述的滑动框架(1)通过四角圆孔(7)套置在该滑杆(3)上，该滑动框架(1)的上下端面相对于滑杆(3)的位置共设有四个螺孔(6)，所述的导水支撑棒(5)的两端也设有圆孔，位于滑动框架(1)和固定框架(2)之间，并套置于下面两滑杆(3)上，所述的夹件(8)具有“[”形结构，其背脊为凸形，两边具有“”形凹槽(9)，上下两端有螺孔(10)，穿过该螺孔(10)的紧固螺钉将夹件(8)安装在滑动框架(1)或固定框架(2)上。

2、根据权利要求1所述的超声清洗万能夹具，其特征在于所述的滑杆(3)的形状可为圆形、方形或其他形状；相应的在固定框架(2)上也设有固定该滑杆(3)的圆孔、方孔或其他形状孔；所述滑杆(3)也可以直接垂直地焊接在固定框架(2)四角；相应的滑动框架(1)上也设有套置该滑杆(3)的圆孔、方孔或其他形状孔。

3、根据权利要求1所述的超声清洗万能夹具，其特征在于所述的导水支撑棒(5)的背脊可为方形，也可以为“∩”形或其他形状。