CN207587717U - 一种硅片夹爪及硅片夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片夹爪及硅片夹持机构，属于硅片清洗技术领域。夹爪包括横梁、两个连接杆和承载横梁，横梁的两端分别与两个连接杆的上端连接，承载横梁的两端分别与两个连接杆的下端连接，承载横梁上设有一组以上硅片夹持槽，每组硅片夹持槽均包括多个硅片夹持槽，且同一组内相邻的两个硅片夹持槽之间的距离相等，硅片夹持槽为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上；硅片夹持机构包括两个驱动杆和两个上述硅片夹爪，两个硅片夹爪相对设置，两个驱动杆相平行，两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆通过固定夹具连接。该硅片夹爪和硅片夹持机构对硅片的夹持稳定，改变了以往对硅片清洗的方法，提高了硅片的清洗质量。

Description

一种硅片夹爪及硅片夹持机构

技术领域

本实用新型属于硅片清洗技术领域，特别是涉及一种硅片夹爪及硅片夹持机构。

背景技术

现有技术中，硅片在清洗时，通常是将硅片放置在硅片承载花篮里，然后将硅片承载花篮放置在清洗槽内对硅片进行清洗。因为硅片承载花篮对硅片具有一定的遮挡，导致清洗液对硅片的清洗不够彻底，影响硅片的清洗质量。

发明内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型的目的是提供一种硅片夹爪及硅片夹持机构，用于解决清洗液对硅片的清洗不够彻底的问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的：

一种硅片夹爪，包括横梁、两个连接杆和承载横梁，所述横梁的两端分别与两个连接杆的上端连接，所述承载横梁的两端分别与两个连接杆的下端连接，所述承载横梁上设有一组以上硅片夹持槽，每组硅片夹持槽均包括多个硅片夹持槽，且同一组内相邻的两个硅片夹持槽之间的距离相等，所述硅片夹持槽为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上。

优选的，所述硅片夹持槽有两组。

优选的，所述横梁包括第一横梁和第二横梁，所述第一横梁的两端和第二横梁的两端均与两个连接杆的上端连接，且第一横梁处于第二横梁的上方。

优选的，所述横梁呈圆柱状。

优选的，所述两个连接杆的上端均经过圆角处理。

优选的，所述两个连接杆的下端均呈尖角状，所述承载横梁的下表面设有横截面为倒三角形的凸条。

一种硅片夹持机构，包括两个驱动杆和两个上述硅片夹爪，所述两个硅片夹爪相对设置，所述两个驱动杆相平行，所述两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆通过固定夹具连接，所述两个固定夹具均包括固定座，所述固定座的上端设有第一夹持槽，所述固定座的另一端设有夹爪夹持机构，所述夹爪夹持机构包括滑动座和盖板，所述盖板与滑动座连接，所述滑动座与盖板相对的一面设有第一凹槽，所述盖板与滑动座相对的一面设有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽均与第一夹持槽相平行，所述第一凹槽和第二凹槽相对设置，所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的夹持部，所述固定座上设有条形孔，所述紧固螺栓的上端穿过条形孔与滑动座螺纹连接，所述固定座的上表面设有调节机构，所述调节机构包括固定块和调节螺栓，所述固定块与固定座的上表面固定连接，所述固定块上设有水平螺栓孔，所述调节螺栓的首端穿过水平螺栓孔与夹爪夹持机构连接。

优选的，所述第一凹槽和第二凹槽的纵剖面均为半圆形。

优选的，所述第一夹持槽的槽底的纵剖面呈圆形，所述第一夹持槽的槽口处设有用于调节第一夹持槽大小的锁紧机构。

优选的，所述锁紧机构包括一个以上锁紧螺栓，所述第一夹持槽的槽口两侧设有一组以上对穿螺栓孔，所述锁紧螺栓穿设于对穿螺栓孔内。

优选的，所述盖板和滑动座通过第一螺栓连接。

优选的，所述固定块与固定座通过第二螺栓连接。

优选的，每个固定夹具的第一凹槽和第二凹槽均有两个，同一个固定夹具的两个第一凹槽分别与两个第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的两个夹持部。

优选的，同一个固定夹具的两个第一凹槽相互平行，同一个固定夹具的两个第二凹槽相互平行。

本实用新型的有益效果是：利用该夹爪将硅片夹持起来进行清洗，改变了传统的硅片清洗的方法，可以有效避免硅片因为片盒的遮挡而导致的清洗不彻底的情况，提高了硅片的清洗质量。每个夹爪上设有多个硅片夹持槽，可以同时对多个硅片进行夹持，提高了硅片的清洗效率。该硅片夹持机构对硅片的夹持稳定，且可以有效避免硅片的表面受到伤害，对硅片的表面起到良好的保护作用。

附图说明

图1为本实用新型硅片夹爪整体结构示意图。

图2为本实用新型硅片夹持机构固定夹具整体结构示意图。

图3为本实用新型硅片夹持机构固定夹具右视图。

图4为本实用新型硅片夹持机构固定夹具仰视图。

图5为本实用新型硅片夹持机构整体结构示意图。

图6为本实用新型硅片夹持机构左视图。

图1至图6中：1为连接杆，2为承载横梁，3为硅片夹持槽，4为第一横梁，5为第二横梁，6为驱动杆，21为固定座，22为第一夹持槽，23为滑动座，24为盖板，25为夹持部，26为条形孔，27为固定块，28为调节螺栓，29为锁紧螺栓，210为第一螺栓，211为第二螺栓，212为对穿螺栓孔。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施案例来对本实用新型硅片夹爪及硅片夹持机构做进一步的详细阐述，以求更为清楚明了地表达本实用新型的结构特征和具体应用，但不能以此来限制本实用新型的保护范围。

实施例1：一种硅片夹爪，包括横梁、两个连接杆1和承载横梁2，所述横梁的两端分别与两个连接杆1的上端连接，所述承载横梁2的两端分别与两个连接杆1的下端连接，所述承载横梁2上设有一组以上硅片夹持槽3，每组硅片夹持槽3均包括多个硅片夹持槽3，且同一组内相邻的两个硅片夹持槽3之间的距离相等，所述硅片夹持槽3为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上。

本实施例中，所述硅片夹持槽3有两组；所述横梁包括第一横梁4和第二横梁5，所述第一横梁4的两端和第二横梁5的两端均与两个连接杆1的上端连接，且第一横梁4处于第二横梁5的上方；所述横梁呈圆柱状；所述两个连接杆1的上端均经过圆角处理；所述两个连接杆1的下端均呈尖角状，所述承载横梁2的下表面设有横截面为倒三角形的凸条。

本实施例中，每个硅片夹持槽3可以夹持一个硅片，所述凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上，从而使硅片夹持槽3对硅片的下部进行承托和夹持。因为硅片为圆形片状结构，且硅片的表面不能受到损伤，因此硅片夹持槽3对硅片的下部承托和夹持，可以避免硅片夹持槽3对硅片的表面造成损伤。

所述横梁包括第一横梁4和第二横梁5，且第一横梁4和第二横梁5均通过固定夹具与驱动杆6连接，可以有效保证驱动杆6在转动过程中，夹爪绕驱动杆6的中心线转动，可以有效防止夹爪和固定夹具之间发生转动。连接杆1的上端经过圆角处理，可以有效避免连接杆1的上端对操作人员或者其他部件造成划伤。连接杆1的下端呈尖角状，可以使连接杆1上的清洗液快速的在连接杆1下端聚集并流下；所述承载横梁2的下表面设有横截面为倒三角形的凸条，可以使承载横梁2上的清洗液及时在凸条上聚集并流下。

实施例2：一种硅片夹持机构，包括两个驱动杆6和两个实施例1中的硅片夹爪，所述两个硅片夹爪相对设置，所述两个驱动杆6相平行，所述两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆6通过固定夹具连接，所述两个固定夹具均包括固定座21，所述固定座21的上端设有第一夹持槽22，所述固定座21的另一端设有夹爪夹持机构，所述夹爪夹持机构包括滑动座23和盖板24，所述盖板24与滑动座23连接，所述滑动座23与盖板24相对的一面设有第一凹槽，所述盖板24与滑动座23相对的一面设有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽均与第一夹持槽22相平行，所述第一凹槽和第二凹槽相对设置，所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的夹持部25，所述固定座21上设有条形孔26，所述紧固螺栓的上端穿过条形孔26与滑动座23螺纹连接，所述固定座21的上表面设有调节机构，所述调节机构包括固定块27和调节螺栓28，所述固定块27与固定座21的上表面固定连接，所述固定块27上设有水平螺栓孔，所述调节螺栓28的首端穿过水平螺栓孔与夹爪夹持机构连接。

本实施例中，所述第一凹槽和第二凹槽的纵剖面均为半圆形；所述第一夹持槽22的槽底的纵剖面呈圆形，所述第一夹持槽22的槽口处设有用于调节第一夹持槽22大小的锁紧机构；所述锁紧机构包括一个以上锁紧螺栓29，所述第一夹持槽22的槽口两侧设有一组以上对穿螺栓孔212，所述锁紧螺栓29穿设于对穿螺栓孔212内；所述盖板24和滑动座23通过第一螺栓210连接；所述固定块27与固定座21通过第二螺栓211连接；每个固定夹具的第一凹槽和第二凹槽均有两个，同一个固定夹具的两个第一凹槽分别与两个第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的两个夹持部25；同一个固定夹具的两个第一凹槽相互平行，同一个固定夹具的两个第二凹槽相互平行。

该硅片夹持机构用于夹持硅片，两个夹爪相对设置，使得两个夹爪上的硅片夹持槽3均可以对硅片的下部形成承托和夹持，两个驱动杆6均向上运动，从而将硅片夹持起来，避免了对硅片表面造成损伤。

在夹持前，两个夹爪之间的距离较远，夹持时，旋转两个驱动杆6，并使两个驱动杆6转动方向相反，两个夹爪下端相向运动，两个夹爪的硅片夹持槽3均对硅片的下部形成承托和夹持，两个驱动杆6均向上运动，从而将硅片夹持起来。

因为硅片的清洗过程较为精密，因此为了防止出现硅片夹持槽3对硅片的夹持不到位的情况，则需要严格控制驱动杆6与夹爪之间的距离，因此在固定夹具中设置调节机构，用于调节夹持部25与第一夹持槽22之间的距离，从而对夹爪与驱动杆6之间的距离进行调整。具体方法是，松动紧固螺栓，旋转调节螺栓28，使滑动座23在固定座21上移动，当滑块座移动到位后，紧固紧固螺栓。

在固定夹具中，设有两个夹持部25，从而实现固定夹具对夹爪第一横梁4和第二横梁5的稳定夹持，防止夹爪与固定夹具之间出现转动。

Claims (10)

1.一种硅片夹爪，其特征在于，该硅片夹爪包括横梁、两个连接杆（1）和承载横梁（2），所述横梁的两端分别与两个连接杆（1）的上端连接，所述承载横梁（2）的两端分别与两个连接杆（1）的下端连接，所述承载横梁（2）上设有一组以上硅片夹持槽（3），每组硅片夹持槽（3）均包括多个硅片夹持槽（3），且同一组内相邻的两个硅片夹持槽（3）之间的距离相等，所述硅片夹持槽（3）为开设在横梁侧面的凹槽，且凹槽的槽底均处于同一上弦弧面上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述硅片夹持槽（3）有两组。

3.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述横梁包括第一横梁（4）和第二横梁（5），所述第一横梁（4）的两端和第二横梁（5）的两端均与两个连接杆（1）的上端连接，且第一横梁（4）处于第二横梁（5）的上方。

4.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述横梁呈圆柱状。

5.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述两个连接杆（1）的上端均经过圆角处理。

6.根据权利要求1所述的一种硅片夹爪，其特征在于，所述两个连接杆（1）的下端均呈尖角状，所述承载横梁（2）的下表面设有横截面为倒三角形的凸条。

7.一种硅片夹持机构，其特征在于，该夹持机构包括两个驱动杆（6）和两个权利要求1至6中任一项所述的硅片夹爪，所述两个硅片夹爪相对设置，所述两个驱动杆（6）相平行，所述两个硅片夹爪的上端分别与两个驱动杆（6）通过固定夹具连接，所述两个固定夹具均包括固定座（21），所述固定座（21）的上端设有第一夹持槽（22），所述固定座（21）的另一端设有夹爪夹持机构，所述夹爪夹持机构包括滑动座（23）和盖板（24），所述盖板（24）与滑动座（23）连接，所述滑动座（23）与盖板（24）相对的一面设有第一凹槽，所述盖板（24）与滑动座（23）相对的一面设有第二凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽均与第一夹持槽（22）相平行，所述第一凹槽和第二凹槽相对设置，所述第一凹槽和第二凹槽相配合形成用于夹持横梁的夹持部（25），所述固定座（21）上设有条形孔（26），紧固螺栓的上端穿过条形孔（26）与滑动座（23）螺纹连接，所述固定座（21）的上表面设有调节机构，所述调节机构包括固定块（27）和调节螺栓（28），所述固定块（27）与固定座（21）的上表面固定连接，所述固定块（27）上设有水平螺栓孔，所述调节螺栓（28）的首端穿过水平螺栓孔与夹爪夹持机构连接。

8.根据权利要求7所述的一种硅片夹持机构，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽的纵剖面均为半圆形。

9.根据权利要求7所述的一种硅片夹持机构，其特征在于，所述第一夹持槽（22）的槽底的纵剖面呈圆形，所述第一夹持槽（22）的槽口处设有用于调节第一夹持槽（22）大小的锁紧机构。

10.根据权利要求9所述的一种硅片夹持机构，其特征在于，所述锁紧机构包括一个以上锁紧螺栓（29），所述第一夹持槽（22）的槽口两侧设有一组以上对穿螺栓孔，所述锁紧螺栓（29）穿设于对穿螺栓孔内。