CN205723478U - 一种组合式晶舟盒提篮 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种组合式晶舟盒提篮，包括：机械勾手把手1、支撑杆2、固定用螺母3、活动导轨4、固定卡扣5、上边框6、固定用螺丝7、活动卡扣8、下边框9，上、下边框均与机械勾手把手1固定，用于承载晶舟盒；所述机械勾手把手1位于提篮两侧，用于固定上、下边框和在晶片清洗时夹持提篮；所述固定卡扣5与下边框9固定，所述活动卡扣8与上边框6固定，固定卡扣5和活动卡扣8均用于晶舟盒的定位与固定。本实用新型的提篮具备承载多层晶舟盒、多规格蓝宝石晶片的功能，可用于蓝宝石晶片的清洗，能实现多层晶舟盒、多规格蓝宝石晶片的同时清洗，大大提高了工作效率和清洗机的产能，缩短了清洗周期，降低了生产成本。

Description

一种组合式晶舟盒提篮

技术领域

本实用新型涉及一种晶片清洗机提篮，尤其涉及一种组合式晶舟盒提篮。

背景技术

蓝宝石具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高等一系列优点，被广泛应用于LED衬底。蓝宝石衬底的制造过程是先将蓝宝石晶棒切割成片状，然后对切割后的晶片进行一系列的研磨和抛光加工工序，最后到达超光滑无损伤的晶片表面。在不同的加工工序中因加工环节和加工方法的不同，会在晶片表面残留不同的杂质和污染物，这些前道工序产生的晶片表面残留物往往会对后一道工序产生不利影响。因此，在蓝宝石晶片的制备过程中，往往需要进行多道清洗。

在蓝宝石晶片传统的清洗过程中，往往是先将晶片放入晶舟盒中，然后将晶舟盒固定在清洗机提篮上，再放入清洗机中清洗。而目前用于晶片清洗的清洗机提篮一次只能装夹一层晶舟盒，并且每次装夹的晶片的规格必须相同。而在蓝宝石单晶片实际生产过程中，对清洗的需求量巨大，如果每次提篮只能装夹一层晶片，会严重影响清洗效能。同时，企业往往同时会生产不同规格的晶片，而不同规格晶片分开清洗不仅浪费时间，还要求增加清洗设备的数量，增加了生产成本。因此，设计一种能实现蓝宝石晶片多层晶舟盒、多规格同时清洗的清洗机提篮对提高清洗效率，降低清洗成本具有重要意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术之不足，提供一种组合式晶舟盒提篮，可用于蓝宝石晶片的清洗，能实现蓝宝石晶片多层晶舟盒、多规格同时清洗，大大提高了工作效率和单台清洗机的产能，缩短了清洗周期，降低了生产成本。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案是：提供一种组合式晶舟盒提篮，用于承载不少于两层的晶舟盒，晶舟盒用于承载晶片，提篮包括：机械勾手把手、支撑杆、固定用螺母、条形导轨、固定卡扣、上边框、固定用螺丝、活动卡扣、下边框；

边框分为上边框和下边框，两种边框均与机械勾手把手固定，用于支撑晶舟盒；所述机械勾手把手位于提篮两侧，用于上、下边框的固定和晶片清洗时提篮的夹持；卡扣分为活动卡扣和固定卡扣，所述活动卡扣与上边框固定，所述固定卡扣与下边框固定，活动卡扣与固定卡扣均用于晶舟盒的定位与固定。

优选的，所述机械勾手把手上设置有条形导轨，用于上边框位置的调整与固定，所述条形导轨长度根据所装夹晶片尺寸与层数设计确定。

优选的，所述边框分为上边框和底层边框，所述上边框与机械勾手把手配合的两侧面上各有两螺纹孔和两支撑杆，所述螺纹孔位置与机械勾手把手上条形导轨位置对应且与锁紧螺丝配合，用于上边框在机械勾手把手上的固定，所述支撑杆与机械勾手把手上条形导轨配合，可在条形导轨内上下滑动，用于上边框位置的调整；所述下边框固定于机械勾手把手底部，位置不可调。

优选的，所述卡扣分为活动卡扣和固定卡扣，所述活动卡扣与上边框固定，所述固定卡扣与底层边框固定，所述固定方式应可为晶舟盒提供可靠的支撑，各卡扣的位置由所夹持晶舟盒的尺寸设计确定。

优选的，所述活动卡扣为合页式设计，可旋转拨动，在放置下层晶舟盒时复位到180º，方便下层晶舟盒的放置；在放置上层晶舟盒时拨动到90º位置，为晶舟盒提供可靠支撑和定位。

优选的，所述提篮具备不少于一个的上边框6，通过调整活动卡扣8方向或所有上边框6的上下高度，实现调整提篮容量的功能，可通过选用固定有不同间距活动卡扣的上边框和调整各上边框的间距，实现多层晶舟盒、多规格蓝宝石单晶片的同时清洗。

优选的，所述提篮具备承载两寸晶舟盒或四寸晶舟盒或同时承载两寸、四寸晶舟盒的功能。

另一方面，提供了一种组合式晶舟盒提篮的使用方法：包括以下步骤：

A1、将上边框调节到所需位置后用锁紧螺丝锁紧固定；

A2、将上边框上的各个活动卡扣复位到180º然后放入底层晶舟盒，并卡好位置。

A3、将上一层各个活动卡扣拨到90º位置后，再把此层晶舟盒放入并卡好位置；

A4、重复步骤A3直至所有晶舟盒装夹完毕。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型的一种组合式晶舟盒提篮，采用多层同时清洗的方式，使每次清洗的晶片数量大大增加，提高了清洗效率，节约了生产成本；

2、同时生产多种尺寸的晶片时,可以利用此提篮同时进行清洗作业,提高了生产效率和单机产能，同时也大大缩短了晶片的生产周期，提高了清洗机的产出率；

3、各层晶舟盒间的间距可以通过支撑杆和锁紧螺丝进行调整，以实现对不同规格蓝宝石单晶片的装夹，具有很好的适应性；

4、活动卡扣为合页式设计，可旋转拨动，在放置下层晶舟盒时复位到180º，方便下层晶舟盒的放置，在放置此层晶舟盒时拨动到90º位置，为晶舟盒提供可靠支撑和定位。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步详细说明；但本实用新型的组合式蓝宝石晶片清洗机提篮不局限于实施例。

附图说明

图1是实施例的一种组合式晶舟盒提篮的整体示意图；

图2是实施例承载四寸晶舟盒双层示意图；

图3是实施例承载两寸与四寸晶舟盒示意图。

具体实施方式

实施例

参见图1所示，本实施例的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于，包括：机械勾手把手1、支撑杆2、固定用螺母3、活动导轨4、固定卡扣5、上边框6、固定用螺丝7、活动卡扣8、下边框9。

所述边框分为上边框6和下边框9，两种边框均与机械勾手把手1固定，用于晶舟盒的放置；所述机械勾手把手1位于提篮两侧，用于边框的固定和晶片清洗时提篮的夹持；所述卡扣分为活动卡扣8和固定卡扣5，所述活动卡扣8与上边框6固定，所述固定卡扣5与底层边框9固定，活动卡扣8与固定卡扣5均用于晶舟盒的定位与固定。

所述机械勾手把手1上开有条形导轨4，用于上边框6位置的调整与固定，所述条形导轨长度根据所装夹晶片尺寸与层数设计确定。

所述边框1分为上边框6和底层边框9，所述上边框6与机械勾手把手1配合的两侧面上各有两螺纹孔3和两支撑杆7，所述螺纹孔3位置与机械勾手把手1上条形导轨4位置对应且与锁紧螺丝7配合，用于上边框6在机械勾手把手1上的固定，所述支撑杆7与机械勾手把手1上条形导轨4配合，可在条形导轨4内上下滑动，用于上边框6位置的调整；所述下边框9固定于机械勾手把手2底部，位置不可调。

所述卡扣分为活动卡扣8和固定卡扣5，所述活动卡扣8与上边框固6定，所述固定卡扣5与下边框9固定，所述固定方式应可为晶舟盒提供可靠的支撑，各卡扣的位置由所夹持晶舟盒的尺寸设计确定。

所述活动卡扣8为合页式设计，可旋转拨动，在放置下层晶舟盒时复位到180º，方便下层晶舟盒的放置，在放置此层晶舟盒时拨动到90º位置，为晶舟盒提供可靠支撑和定位。

参见图2和图3，本实施例既可实现承载双层四寸晶舟盒，也可实现同时兼容承载两寸和四寸的晶舟盒，通过选用固定有不同间距活动卡扣8的上边框6和调整各上边框6的间距，实现多层晶舟盒、多规格蓝宝石单晶片的同时清洗。

本实施例还提供了一种组合式晶舟盒提篮的使用方法：包括以下步骤：

A1、将上边框6调节到所需位置后用锁紧螺丝7锁紧固定；

A2、将各上边框6上的活动卡扣8复位到180º然后放入底层晶舟盒，并卡好位置。

A3、将上一层活动卡扣8拨到90º位置后，再把此层晶舟盒放入并卡好位置；

A4、重复步骤A3直至所有晶舟盒装夹完毕。

上述实施例仅用来进一步说明本实用新型的一种组合式晶舟盒提篮，但本实用新型并不局限于实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型技术方案的保护范围内。

Claims (7)

1.一种组合式晶舟盒提篮，用于承载不少于两层的晶舟盒，所述晶舟盒用于承载晶片，其特征在于：提篮包括：机械勾手把手（1）、支撑杆（2）、固定用螺母（3）、条形导轨（4）、固定卡扣（5）、上边框（6）、固定用螺丝（7）、活动卡扣（8）、下边框（9）；

其中上边框（6）和下边框（9）均与机械勾手把手（1）固定配合，用于支撑晶舟盒，所述机械勾手把手（1）位于提篮两侧，用于固定上边框（6）、下边框（9）及在晶片清洗时夹持提篮，所述固定卡扣（5）与下边框（9）固定，所述活动卡扣（8）与上边框（6）固定，固定卡扣（5）与活动卡扣（8）具备定位、固定晶舟盒的功能。

2.根据权利要求1所述的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于：所述机械勾手把手（1）上设置有条形导轨（4），用于上边框（6）位置的调整与固定。

3.根据权利要求1或2所述的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于：所述上边框（6）与机械勾手把手（1）固定配合的两侧面上各有两螺纹孔和两支撑杆（2），所述螺纹孔位置与机械勾手把手（1）上条形导轨（4）位置对应，且与一锁紧螺丝配合，用于将上边框（6）固定在机械勾手把手（1）上，所述支撑杆（2）与机械勾手把手（1）上的条形导轨（4）配合，具备在条形导轨（4）内上下滑动的功能，用于上边框（6）位置的调整，所述下边框（9）固定于机械勾手把手（1）底部。

4.根据权利要求1所述的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于：所述固定卡扣（5）和活动卡扣（8）为晶舟盒提供可靠的支撑，固定卡扣（5）和活动卡扣（8）的位置与所支撑的晶舟盒尺寸相关。

5.根据权利要求1所述的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于：所述活动卡扣（8）为合页式设计，具备旋转拨动的功能，在提篮放置下层晶舟盒时，活动卡扣复位到180º，方便下层晶舟盒的放置；在放置上层晶舟盒时，活动卡扣（8）拨动到90º位置，为上层晶舟盒提供可靠支撑和定位。

6.根据权利要求1或4或5所述的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于：所述提篮具备不少于一个的上边框（6），通过调整活动卡扣（8）方向或所有上边框（6）的上下高度，实现调整提篮容量的功能。

7.根据权利要求6所述的一种组合式晶舟盒提篮，其特征在于：所述提篮具备承载两寸晶舟盒或四寸晶舟盒或同时承载两寸、四寸晶舟盒的功能。