CN214505459U

CN214505459U - 一种半导体固定花篮

Info

Publication number: CN214505459U
Application number: CN202120965186.XU
Authority: CN
Inventors: 王元樟; 徐宇祥; 周艳
Original assignee: Xiamen University of Technology
Current assignee: Xiamen University of Technology
Priority date: 2021-05-08
Filing date: 2021-05-08
Publication date: 2021-10-26
Anticipated expiration: 2031-05-08

Abstract

本实用新型涉及一种半导体固定花篮，包括相互连接的挂杆及载台，载台上设有多个插槽；每个插槽包括底部槽、左侧槽及右侧槽，放入的晶片与底部槽、左侧槽及右侧槽三个点接触；载台的左侧及右侧的侧壁分别开有进水通孔及出水通孔。这种方案在载台上设有多个包括底部槽、左侧槽及右侧槽的插槽，在晶片插入插槽内时，晶片仅仅与底部槽、左侧槽及右侧槽三个点接触。三点式的接触设置具有结构简易紧凑、应用方便、有效减少片源表面溶液残留及脏污问题的特点。同时，去离子水从进水孔流入载台内，经过出水孔流出，过程中，由于晶片与晶片之间空间狭小，去离子水在狭窄空间的流速将会变大，水流将从载台出水孔流出从而带走脏污以及残留溶液。

Description

一种半导体固定花篮

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，特别是涉及一种半导体固定花篮。

背景技术

无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。半导体工艺制造中使用花篮对片源进行固定，从而进行清洗是必不可少的也是最重要的步骤。

现有的半导体固定花篮，花篮上设有与晶片相适配的条形凹槽，晶片则插入到该凹槽内进行固定。但是此种花篮与晶片之间的接触面积较大，在冲洗时，接触面处时常会造成片源表面脏污或者表面溶液残留，从而影响整个器件的性能与寿命，也可能会造成后续表面钝化层脱落从而引起工艺故障，这对于整个半导体产线的影响是十分严重的。因此，如何设计一种与晶片接触面积小且固定紧固的花篮，是目前亟待解决的一个问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有花篮与晶片接触面积大，容易造成晶片表面溶液残留的问题，提供一种半导体固定花篮。

一种半导体固定花篮，包括相互连接的挂杆及载台，所述载台上设有多个插槽；每个所述插槽包括底部槽、左侧槽及右侧槽，插入的晶片与所述底部槽、所述左侧槽及所述右侧槽三个点接触；所述载台的左侧及右侧的侧壁分别开有进水通孔及出水通孔。

其中，为了进一步减少晶片的接触面积，同时又保证晶片固定牢固，所述插槽包括分别设置于底部、左侧及右侧位置且并排设置的多个凸起的限位块，相邻的两片所述限位块共同形成一所述底部槽、所述左侧槽或所述右侧槽。

其中，为了便于放置、拿取晶片，同时也为了加快冲洗水流的流速，所述插槽的前端设有晶片取放口，所述插槽的后端设有挡水板。

其中，为了便于拿取晶片，所述晶片取放口为半圆弧形开口。

其中，为了便于载台的固定、安装，所述挡水板的后方设有螺纹孔，所述挂杆的一端设有螺纹部，所述挂杆通过所述螺纹部及所述螺纹孔可拆卸地固定于所述载台上。

其中，为了便于拿取挂杆，所述挂杆远离所述螺纹部的一端设有把手。

其中，为了使得半导体固定花篮具有抗酸抗碱、耐高温、摩擦系数的特性，所述挂杆及所述载台都为特氟龙材料制成。

本实用新型技术方案，通过相互连接的挂钩及载台形成了一种半导体固定花篮，而载台上设有多个包括底部槽、左侧槽及右侧槽的插槽，在晶片插入插槽内时，晶片仅仅与底部槽、左侧槽及右侧槽三个点接触。三点式的接触设置具有结构简易紧凑、应用方便、有效减少片源表面溶液残留及脏污问题的特点。同时，去离子水从进水孔流入载台内，经过出水孔流出，过程中，由于晶片与晶片之间空间狭小，去离子水在狭窄空间的流速将会变大，水流将从载台出水孔流出从而带走脏污以及残留溶液。本方案能有效避免常规花篮对片源清洗的不到位导致溶液残留与脏污残留的缺点，且可有效减少堆积在卡槽内的脏污。

附图说明

图1为本实用新型的半导体固定花篮一实施例的整体示意图；

图2为图1所示中半导体固定花篮一实施例的正视图；

图3为图1所示中半导体固定花篮一实施例的侧视图；

图4为本实用新型的半导体固定花篮一实施例挂杆部分的结构示意图；

图5为本实用新型的半导体固定花篮一实施例载台部分的结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、载台；11、插槽；111、底部槽；112、左侧槽；113、右侧槽；114、限位块；12、进水通孔；13、出水通孔；14、挡水板；15、螺纹孔；2、挂杆；21、螺纹部。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做清楚、完整的描述。显然，以下描述的具体细节只是本实用新型的一部分实施例，本实用新型还能够以很多不同于在此描述的其他实施例来实现。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下，所获得的所有其他实施例，均属于本实用新型的保护范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。

在一实施例中，请参阅图1、图2及图3所示，一种半导体固定花篮，包括相互连接的挂杆2及载台1，载台1上设有多个插槽11；每个插槽11包括底部槽111、左侧槽112及右侧槽113，放入的晶片与底部槽111、左侧槽112及右侧槽113三个点接触；载台1的左侧及右侧的侧壁分别开有进水通孔12及出水通孔13。

本实用新型技术方案，通过相互连接的挂钩及载台1形成了一种半导体固定花篮，而载台1上设有多个包括底部槽111、左侧槽112及右侧槽113的插槽11，在晶片插入插槽11内时，晶片仅仅与底部槽111、左侧槽112及右侧槽113三个点接触。三点式的接触设置具有结构简易紧凑、应用方便、有效减少片源表面溶液残留及脏污问题的特点。同时，去离子水从进水孔流入载台1内，经过出水孔流出，过程中，由于晶片与晶片之间空间狭小，去离子水在狭窄空间的流速将会变大，水流将从载台1出水孔流出从而带走脏污以及残留溶液。有效避免常规花篮对片源清洗的不到位导致溶液残留与脏污残留的缺点，且可有效减少堆积在卡槽内的脏污。

在本实施例中，插槽11包括分别设置于底部、左侧及右侧位置且并排设置的多个凸起的限位块114，相邻的两片限位块114共同形成一底部槽111、左侧槽112或右侧槽113。

通过凸起的限位块114来形成插槽11，可进一步减少晶片的接触面积，同时又保证晶片固定牢固。

在本实施的基础上，进一步地，为了便于放置、拿取晶片，同时也为了加快冲洗水流的流速，插槽11的前端设有晶片取放口，插槽11的后端设有挡水板14。挡水板14可改变从进水通孔12进入的水流的大小，从而有效清洗表面。

具体地，为了便于拿取晶片，晶片取放口为半圆弧形开口。当然，晶片取放口还可以为其他形状，例如方形等，其形状不以本实施例中描述的为限制。

进一步地，挡水板14的后方设有螺纹孔15，挂杆2的一端设有螺纹部21，挂杆2通过螺纹部21及螺纹孔15可拆卸地固定于载台1上。通过螺纹配合可以便于载台1的固定、安装。当然，载台1和挂杆2之间还可以通过其他可拆卸结构连接，例如卡接等，其结构不以本实施例中描述为限制。

本技术方案中，为了便于拿取挂杆2，挂杆2远离螺纹部21的一端设有把手。

在本实施例基础上，进一步地，为了使得半导体固定花篮具有抗酸抗碱、耐高温、摩擦系数的特性，挂杆2及载台1都为特氟龙材料制成。

对花篮进行清洗时，载台1与水龙头，洁净皿平行放置，去离子水从进水通孔12流入载台内，经过出水通孔13流出，过程中，由于片与片之间空间狭小，去离子水在狭窄空间的流速将会变大，水流将从载台1出水通孔13流出从而带走脏污以及残留溶液。

使用本实用新型提供的技术方案，在晶片进行腐蚀等工艺后，在进行清洗过程中，可减少堆积在花篮卡槽的脏污；三点式的插槽11可以减小晶片与花篮的接触面积；通过挡板可加大流过片与片之间的水流，从而更有效的对片源表面的溶液进行清洗。本实用新型技术方案可以拆卸，为大批量的清洗花篮提供便利，方便于存储。具有结构简易紧凑、应用方便、可有效减少片源表面溶液残留及脏污的特点。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形、替换及改进，这些都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型专利的保护范围应以权利要求为准。

Claims

1.一种半导体固定花篮，其特征在于，包括：相互连接的挂杆及载台，所述载台上设有多个插槽；每个所述插槽包括底部槽、左侧槽及右侧槽，插入的晶片与所述底部槽、所述左侧槽及所述右侧槽三个点接触；所述载台的左侧及右侧的侧壁分别开有进水通孔及出水通孔。

2.根据权利要求1所述的半导体固定花篮，其特征在于，所述插槽包括分别设置于底部、左侧及右侧位置且并排设置的多个凸起的限位块，相邻的两片所述限位块共同形成一所述底部槽、所述左侧槽或所述右侧槽。

3.根据权利要求1所述的半导体固定花篮，其特征在于，所述插槽的前端设有晶片取放口，所述插槽的后端设有挡水板。

4.根据权利要求3所述的半导体固定花篮，其特征在于，所述晶片取放口为半圆弧形开口。

5.根据权利要求3所述的半导体固定花篮，其特征在于，所述挡水板的后方设有螺纹孔，所述挂杆的一端设有螺纹部，所述挂杆通过所述螺纹部及所述螺纹孔可拆卸地固定于所述载台上。

6.根据权利要求5所述的半导体固定花篮，其特征在于，所述挂杆远离所述螺纹部的一端设有把手。

7.根据权利要求1所述的半导体固定花篮，其特征在于，所述挂杆及所述载台都由特氟龙材料制成。