CN201336302Y - 硅片自动装片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片自动装片机，按照本实用新型提供的技术方案，所述硅片自动装片机，包括水箱与花篮盒，在水箱侧壁通过固定导轨横档架设有导轨，小车的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板，在导轨上通过滚轮滚动连接有装片小车，在装片小车上通过固定螺钉固设有花篮盒，在水箱上通过支承滑片槽装置设置有滑片槽，滑片槽的出料端向下倾斜并指向导轨上滑动的花篮盒，在滑片槽的进料端通过出水接头连接有滑片槽进水管。本实用新型具有装片效率高、装片时对准片槽方便、大大减少硅片破碎概率与提高生产效率等优点。

Description

硅片自动装片机

技术领域

本实用新型涉及一种硅片自动装片机，用于安装硅片。

背景技术

目前，我国对硅片的装片还是处于人工装片状态。硅片又薄又脆，一不小心就会碎片。若用人工装片每天8小时不停地机械式装片一是人要始终处于高度集中，二是人容易疲劳，三是花篮盒片槽距离和片格尺寸有一定要求，由于人们长期处于疲劳工作中，人的四肢会僵化、大脑反应迟钝、眼花缭乱，导致装片时对不准片槽，装片效率低，稍不留神硅片就碎了，造成很大浪费。四是工人的劳动强度大。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种装片效率高、装片时对准片槽方便、大大减少硅片破碎概率、提高生产效率的硅片自动装片机。

按照本实用新型提供的技术方案，所述硅片自动装片机，包括水箱与花篮盒，在水箱侧壁通过固定导轨横档架设有导轨，导轨的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板，在导轨上通过滚轮滑动连接有装片小车，在装片小车上通过固定螺钉固设有花篮盒座，花篮盒直接放入花篮盒座内，在水箱上通过支承滑片槽装置设置有滑片槽，滑片槽的出料端向下倾斜并指向导轨上滚动的花篮盒，在滑片槽的进料端通过出水接头连接有滑片槽进水管。

在水箱上设有回水管，回水管的出水端连接有蓄水箱，在蓄水箱的底端侧壁设有通磁力泵接口。导轨与滑片槽呈垂直设置。在滑片槽一侧的水箱侧壁固定有水槽，在水槽侧壁开设有水槽进水口。

通磁力泵接口通过管道连接有磁力泵，磁力泵的出水管道上设有过滤机，过滤机的出水管分叉并分别与滑片槽进水管、水槽进水口相连接，与滑片槽进水管的进水端相连的管道上设有第一开关阀，与水槽进水口的进水端相连的管道上设有第二开关阀。

本实用新型为机电一体化产品，由伺服电机、滚珠丝杠实现精确传动，通过数控装置可靠地实现自动装片。由于采用PLC可编程控制器，程序运行可靠，功能齐全，各种运行模式均可在控制面板上调节、设定。可多工位装片，一次可装75片，自动化程度高，能大大减轻工人劳动强度，能替代人工自动将硅片放入盒内。适用范围宽，根据不同硅片尺寸，只要更换少量零件，就能快速变换所需工装。操作调整方便，设备设有工作零位和工作位置校准功能，当不同用户使用不同花篮盒时，每片格的位置略有不同，这时可通过面板上的校准键进行微调，快速、准确、精度高，按确认键后便可使用。能大大降低装片破损率，提高效能和利用率，减少浪费。硅片放入水槽经粗清洗后再经水流自动装入盒子后，硅片已经过了两次清洗，为下道工序创造了良好的条件。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的水路图。

图3是本实用新型的电气控制框图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图所示：本实用新型主要由通磁力泵接口1、蓄水箱2、回水管3、水箱4、导轨5、与丝杠传动部分连接板6、工作零位7、花篮盒8、装片小车9、花篮盒工装10、支承滑片槽装置11、滑片槽12、出水接头13、水槽进水口14、水槽15、工作起始位16、固定螺钉17、滑片槽进水口18、滚轮19、固定导轨横档20、电磁阀21、第三开关阀22、第二开关阀23、第一开关阀24、过滤机25与磁力泵26等构成。

本实用新型的硅片自动装片机，包括水箱4与花篮盒8，在水箱4侧壁通过固定导轨横档20架设有导轨5，小车9的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板6，滚轮19连接于小车9并在导轨5上滚动，在小车9上通过固定螺钉17固设有花篮盒8，在水箱4上通过支承滑片槽装置11设置有滑片槽12，滑片槽12的出料端向下倾斜并指向导轨5上移动的花篮盒8，在滑片槽12的进料端通过出水接头13连接有滑片槽进水管18。

在水箱4上设有回水管3，回水管3的出水端连接有蓄水箱2，在蓄水箱2的底端侧壁设有通磁力泵接口1。导轨5与滑片槽12呈垂直设置。在滑片槽12一侧的水箱4侧壁固定有水槽15，在水槽15侧壁开设有水槽进水口14。

通磁力泵接口1通过管道连接有磁力泵26，磁力泵26的出水管道上设有过滤机25，过滤机25的出水管分叉并分别与滑片槽进水管18、水槽进水口14相连接，与滑片槽进水管18的进水端相连的管道上设有第一开关阀24，与水槽进水口14的进水端相连的管道上设有第二开关阀23。

通磁力泵接口1固定在蓄水箱2上；回水管3通过水箱4与蓄水箱2固定；导轨5通过螺钉、机架与固定导轨横档20固定；连接板6与滚珠丝杠传动部分固定；装片小车9通过滚珠丝杠转动由滚轮19沿导轨5作滚动式上下移动；花篮盒工装10由固定螺钉17固定在装片小车9上，支承滑片槽装置11固定在水箱4上；滑片槽12通过螺钉固定在支承滑片槽装置11上；出水接头13通过螺钉固定在滑片槽12上；水槽进水口14固定在水槽15上；滑片槽进水口18固定在水箱4上；滚轮19固定在装片小车9上；固定导轨横档20固定在水箱4上；电磁阀21固定在机架上；第三开关阀22固定在管路上；第二开关阀23通过水槽进水口14固定在管路上；第一开关阀24通过滑片槽进水口18固定在管路上；过滤机25固定在机架上并连接与管路中；磁力泵26固定在机架上并连接与管路中。

本实用新型的设备为整体立式框架结构，装片为三工位，每次装片75片。装片小车9为小角度倾斜安装，由伺服电机、减速机、滚珠丝杠带动装片小车9作上下移动，滑片槽12与装片小车9相垂直。

将整叠粘在一起的硅片放入水槽15内，通过水槽15内的水一方面起到初清洗的作用，另一方面由于水对硅片起到了润滑作用，使操作者能从粘结在一起的硅片中一片一片快速地取出；然后将取出的硅片放入带有水流的滑片槽12内，经过滤后的水作为介质柔性接触硅片，将硅片轻微托起，再利用水的流动并借助倾斜面使硅片无阻力地滑入花篮盒8内，由高灵敏度传感器扫描发讯后使伺服电机带动滚珠丝杠按设定片格距离向上移动完成自动装片。

本实用新型的工作过程如下：

打开电磁阀21，自来水进水向水箱4注水，回水管3溢流至蓄水箱2内，蓄水箱2注水满后，电磁阀21关闭，打开第二开关阀23，磁力泵26起动，经过滤机25向水槽15注水至一定水位后，关闭第二开关阀23，打开滑片槽12的进水第一开关阀24，进入水循环，人工将整叠硅片放入水槽15内，点按“循环起动”按钮，伺服系统工作，丝杠旋转，装片小车9从工作零位7下降至工作起始位16，从水槽15内人工取出一片硅片送入滑片槽12由水流送入花篮盒8的片槽内，传感器发讯，伺服系统工作，装片小车9向上移动一片格距离，如此反复取片装片，直至三工位自动装片结束，装片小车9上升至工作零位7取下满盒，装上空的花篮盒8，工作循环结束。

本实用新型中配置全套进口交流伺服系统进行高精度定位，并采用OMRON高灵敏度传感器进行扫描监控。水槽15内设有水加热系统，主要用于冬季，使水保持常温，做到了人性化操作。本实用新型工作过程中设有水工作状态监控、水位自动调节功能、极限位置保护、装料保护、紧急停止功能、漏电保护等安全保障装置。

Claims (5)

1、一种硅片自动装片机，包括水箱(4)与花篮盒(8)，其特征是：在水箱(4)侧壁通过固定导轨横档(20)设有导轨(5)，小车(9)的顶端部设有与丝杠传动的连接板(6)，在导轨(5)上通过滚轮(19)滚动连接有装片小车(9)，在装片小车(9)上通过固定螺钉(17)固设有花篮盒(8)，在水箱(4)上通过支承滑片槽装置(11)设置有滑片槽(12)，滑片槽(12)的出料端向下倾斜并指向导轨(5)上移动的花篮盒(8)，在滑片槽(12)的进料端通过出水接头(13)连接有滑片槽进水管(18)。

2、如权利要求1所述的硅片自动装片机，其特征是：所述水箱(4)上设有回水管(3)，回水管(3)的出水端连接有蓄水箱(2)，在蓄水箱(2)的底端侧壁设有通磁力泵接口(1)。

3、如权利要求1所述的硅片自动装片机，其特征是：所述导轨(5)与滑片槽(12)呈垂直设置。

4、如权利要求1所述的硅片自动装片机，其特征是：所述滑片槽(12)一侧的水箱(4)侧壁固定有水槽(15)，在水槽(15)侧壁开设有水槽进水口(14)。

5、如权利要求2所述的硅片自动装片机，其特征是：所述通磁力泵接口(1)通过管道连接有磁力泵(26)，磁力泵(26)的出水管道上设有过滤机(25)，过滤机(25)的出水管分叉并分别与滑片槽进水管(18)、水槽进水口(14)相连接，与滑片槽进水管(18)的进水端相连的管道上设有第一开关阀(24)，与水槽进水口(14)的进水端相连的管道上设有第二开关阀(23)。

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