CN109411398A - 一种硅片自动插片设备 - Google Patents
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Abstract
本发明创造提供了一种硅片自动插片设备，包括工作台架、电缸、水槽、片篮、滑道和水路系统，所述电缸上部固设有片篮支架，所述片篮放置于片篮支架之上，所述滑道与片篮相邻而设，靠近片篮的一侧向下倾斜，在片篮支架上放置空片篮，启动电缸，电缸上的活塞杆带动片篮移动，至片篮的第一个片槽位置对准滑道，把晶圆片放置于滑道上，晶圆片沿滑道滑到片篮内，此时电缸带动片篮下移一个片槽高度，继续放入晶圆片，如此循环操作，待片篮装满后再放入新的片篮。本发明创造能够将晶圆片自动沿滑道插入片篮中，采用自动化插片方法，降低人为插片误差，缩短工作时间、减少人工参与、提高工作效率。
Description
技术领域
本发明创造涉及半导体材料领域，特别是涉及一种硅片自动插片设备。
背景技术
在半导体材料领域，有一道工序是将半导体硅晶圆片插入片篮中，现有技术中，大多采用人为水中插篮，人为晶圆插篮容易出现误操作、划伤硅片的现象，且插篮效率低下，难以操作，随着半导体材料领域对硅片质量要求越来越高，人工插片已难以满足厂家的要求。
发明内容
有鉴于此，本发明创造旨在克服上述现有技术中存在的缺陷，提供一种硅片自动插片设备。
为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：
一种硅片自动插片设备，包括工作台架、电缸、水槽、片篮、滑道和水路系统，所述工作台架的上部设有控制箱，下部设有储物柜，控制箱与储物柜之间通过背板固定连接，所述背板位于控制箱与储物柜的同侧，所述水路系统位于储物柜之内，所述储物柜之上围设有工作台；
所述水槽置于工作台之内，水槽与背板之间留有空腔，所述电缸设于所述工作台架与水槽之间的空腔内，其下部穿过并固定于储物柜顶部，所述电缸包括外壳和活塞杆，所述活塞杆的一端插入外壳之内，另一端固定连接有片篮支架，所述片篮支架向下伸入水槽之中，与水槽内壁相依，其下部设有横板，所述片篮放置于横板之上；
所述滑道位于片篮远离片篮支架的一侧，由固设于水槽内壁的支撑结构支撑，所述滑道与片篮相邻，邻近片篮的一侧向下倾斜，所述滑道上表面高于片篮内底面且与片篮的底面平行。
进一步地，所述电缸、片篮支架、片篮和滑道沿同一角度倾斜，所述滑道远离片篮的一端高于水槽边缘，另一端伸入水槽之内。
进一步地，所述支撑结构包括支撑板和支撑台，支撑台位于支撑板的上方，所述支撑台的底部设有螺杆，所述支撑板上设有若干槽孔，所述螺杆从槽孔中穿过。
进一步地，两个所述支撑台之间设有内卡爪，两个所述支撑台的两侧设有外卡爪，内卡爪与外卡爪的下部均与支撑台固定连接，所述内卡爪的内部设有上下贯通的螺纹孔，螺纹孔内旋有贯穿卡爪的螺栓，所述外卡爪的上部垂直向外弯折，弯折部分上设有紧固螺栓。
进一步地，所述滑道设于支撑台上方，呈倾斜状，远离片篮的一端高于水槽边缘，另一端浸于水槽之内。
进一步地，所述滑道的两侧设有卡位板，所述卡位板远离片篮一端的内表面为外扩斜面。
进一步地，所述滑道上设有若干螺纹孔，两个所述卡位板通过螺栓与对应位置的螺纹孔相对靠近或远离。
进一步地，所述滑道靠近片篮的一端设有限位框，所述限位框的顶部设有光纤传感器。
进一步地，所述控制箱的底面设有光电传感器，所述光电传感器与片篮相对。
进一步地，所述水槽的底部与所述水路系统相连通，所述水路系统由若干水管组成，外接去离子水，通过上端溢流口向水槽内注入去离子水。
相对于现有技术，本发明创造的有益效果是：本发明创造所述的一种硅片自动插片设备，实现圆晶片沿轨道方向插入片篮中，有效地解决人工操作中划伤硅片、插篮效率低下、难以操作等弊端，节约人力，节省时间，具有高效性、稳定性、易操作等优点。
附图说明
构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：
图1为本发明创造所述的一种硅片自动插片设备立体结构示意图；
图2为本发明创造所述的一种硅片自动插片设备透视图；
图3为本发明创造所述的一种硅片自动插片设备工作台内部结构示意图；
图4为本发明创造所述的一种硅片自动插片设备水槽内部结构示意图；
图5为本发明创造所述的一种硅片自动插片设备水槽结构示意图。
附图标记说明：
1-工作台架；11-控制箱；111-光电传感器；12-储物柜；13-背板；2-电缸；21-活塞杆；22-外壳；3-水槽；31-支撑板；311-槽孔；32-穿孔；4-片篮；41-片篮支架；411-横板；5-滑道；51-支撑台；511-螺杆；512-外卡爪；513-紧固螺栓；514-螺栓；515-内卡爪；52-卡位板；521-螺纹孔；53-限位框；531-光纤传感器；6-水路系统；61-溢流口；7-工作台。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造：
一种硅片自动插片设备，包括工作台架1、电缸2、水槽3、片篮4、滑道5和水路系统6，所述工作台架1的上部设有控制箱11，下部设有储物柜12，控制箱11与储物柜12之间通过背板13固定连接，所述背板13位于控制箱11与储物柜12的同一侧，所述水路系统6位于储物柜12之内，所述储物柜12之上围设有工作台7，所述水槽3设于工作台7之内，水槽3与背板13之间留有空腔，电缸2设于空腔之内，其下部穿过并固定于储物柜12顶部，所述控制箱11的底面设有光电传感器111，所述光电传感器与片篮4相对，所述光电传感器111由sick公司提供，型号为WTB16；
所述电缸2包括外壳22和活塞杆21，由匹配的电机驱动，所述电缸2为现有技术，内部构造及工作原理不再赘述，所述外壳22从位于水槽3一侧的穿孔32中穿过，固定于储物柜12顶部，所述活塞杆的一端插入外壳22之内，另一端固定连接有片篮支架41，所述片篮支架41向下伸入水槽3之中，与水槽3内壁相依，其下部设有横板411，所述片篮4放置于横板411之上，可自由拆卸。
所述水槽3的底部与所述水路系统6相连通，所述水路系统6由若干水管组成，外接去离子水，通过上端溢流口61向水槽3内注满去离子水，对晶圆片进行润滑及养护，所述水槽3远离背板13的一侧内壁上设有支撑板31，所述支撑板31与水槽3的内壁垂直，其上设有若干槽孔311，所述支撑板31的上方设有支撑台51，支撑台51的底部设有螺杆511，所述螺杆511从所述槽孔311中穿过，两个所述支撑台51之间设有内卡爪515，两个所述支撑台51的两侧设有外卡爪512，内卡爪515与外卡爪512的下部均与支撑台51固定连接，所述内卡爪512的内部设有上下贯通的螺纹孔，螺纹孔内旋有贯穿卡爪512的螺栓514，所述外卡爪512的上部垂直向外弯折，弯折部分上设有紧固螺栓513，紧固螺栓513与工作台7的顶面相对，螺栓514与水槽3中部的支撑板31相对，所述支撑台51通过支撑台51上的螺杆511与外卡爪512、以及螺栓514与水槽3中部的支撑板31来固定位置。
当需要对晶圆片进行斜插操作时，需要调节紧固螺栓513和螺栓514使滑道5发生倾斜，具体操作步骤是，将螺栓514和紧固螺栓513旋松，然后将滑道5与支撑台51调整到需要的位置，即，使晶圆片滑入片篮4时其两侧分别插入片篮4不同高度片槽内的位置，拧紧螺栓514和紧固螺栓513，这种状态下，螺栓514与支撑板31、紧固螺栓513与工作台7的顶面之间均未完全贴合，只做应急使用。
所述滑道5设于支撑台51的上方，与片篮4相邻，邻近片篮4的一侧向下倾斜伸入水槽3之内，浸入去离子水中，所述滑道5与片篮4的底面平行，所述滑道5的两侧设有卡位板52，所述卡位板52远离片篮4的一端为外扩斜面，使晶圆片更容易放入，所述滑道5上设有螺纹孔521，所述卡位板52通过螺栓与滑道5固定连接，所述螺纹孔521有多个，由滑道5的两侧向内直线排列，分别对应不同尺寸的晶圆片，所述滑道5靠近片篮4的一端设有限位框53，晶圆片从所述限位框53中穿过滑入片篮4，防止晶圆片在滑动过程中翘起，所述限位框53的顶部设有光纤传感器531，所述光纤传感器531由基恩士公司提供，型号为FU-15。
本发明创造中所述电缸2、片篮支架41、片篮4和滑道5沿同一角度倾斜，如此设计的优点在于，活塞杆21带动片篮支架41和片篮4上下移动时，片篮4与滑道5之间的距离不会改变，晶圆片将始终沿着同一轨迹从滑道5滑入片篮4之内。
工作原理说明：
在横板上放置空片篮，光电传感器将信号反馈给电缸，电缸所带电机带动活塞杆向下移动，至空片篮的第一个晶圆片片槽位置对准晶圆滑道，然后将晶圆片放置于晶圆轨道上，晶圆片从滑道滑入片篮，当晶圆片从限位框滑过，光纤传感器将信号反馈给电缸，电缸带动片篮支架下移一个片槽高度，操作者继续在滑道内放入晶圆片，如此循环操作，片篮装满时，电缸带动片篮支架升高到初始位置，操作者将已经装满的片篮拿下，放入新的片篮。
以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种硅片自动插片设备，其特征在于：包括工作台架(1)、电缸(2)、水槽(3)、片篮(4)、滑道(5)和水路系统(6)，所述工作台架(1)的上部设有控制箱(11)，下部设有储物柜(12)，控制箱(11)与储物柜(12)之间通过背板(13)固定连接，所述背板(13)位于控制箱(11)与储物柜(12)的同侧，所述水路系统(6)位于储物柜(12)之内，所述储物柜(12)之上围设有工作台(7)；
所述水槽(3)置于工作台(7)之内，水槽(3)与背板(13)之间留有空腔，所述电缸(2)设于所述工作台架(1)与水槽(3)之间的空腔内，其下部穿过并固定于储物柜(12)顶部，所述电缸(2)包括外壳(22)和活塞杆(21)，所述活塞杆(21)的一端插入外壳(22)之内，另一端固定连接有片篮支架(41)，所述片篮支架(41)向下伸入水槽(3)之中，与水槽(3)内壁相依，其下部设有横板(411)，所述片篮(4)放置于横板(411)之上；
所述滑道(5)位于片篮(4)远离片篮支架(41)的一侧，由固设于水槽(3)内壁的支撑结构支撑，所述滑道(5)与片篮(4)相邻，邻近片篮(4)的一侧向下倾斜，所述滑道(5)上表面高于片篮(4)内底面且与片篮(4)的底面平行。
2.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述电缸(2)、片篮支架(41)、片篮(4)和滑道(5)沿同一角度倾斜，所述滑道(5)远离片篮(4)的一端高于水槽(3)边缘，另一端伸入水槽(3)之内。
3.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述支撑结构包括支撑板(31)和支撑台(51)，支撑台(51)位于支撑板(31)的上方，所述支撑台(51)的底部设有螺杆(511)，所述支撑板(31)上设有若干槽孔(311)，所述螺杆(511)从槽孔(311)中穿过。
4.根据权利要求3所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：两个所述支撑台(51)之间设有内卡爪(515)，两个所述支撑台(51)的两侧设有外卡爪(512)，内卡爪(515)与外卡爪(512)的下部均与支撑台(51)固定连接，所述内卡爪(512)的内部设有上下贯通的螺纹孔，螺纹孔内旋有贯穿卡爪(512)的螺栓(514)，所述外卡爪(512)的上部垂直向外弯折，弯折部分上设有紧固螺栓(513)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述滑道(5)的两侧设有卡位板(52)，所述卡位板(52)远离片篮(4)一端的内表面为外扩斜面。
6.根据权利要求5所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述滑道(5)上设有若干螺纹孔(521)，两个所述卡位板(52)通过螺栓与对应位置的螺纹孔(521)相对靠近或远离。
7.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述滑道(5)靠近片篮(4)的一端设有限位框(53)，所述限位框(53)的顶部设有光纤传感器(531)。
8.根据权利要求7所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述控制箱(11)的底面设有光电传感器(111)，所述光电传感器(111)与片篮(4)相对。
9.根据权利要求1所述的一种硅片自动插片设备，其特征在于：所述水槽(3)的底部与所述水路系统(6)相连通，所述水路系统(6)由若干水管组成，外接去离子水，通过上端溢流口(61)向水槽(3)内注入去离子水。
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|---|---|---|---|---|
| CN112735970A (zh) * | 2019-10-14 | 2021-04-30 | 天津环博科技有限责任公司 | 一种可分栏硅片的摆动机构 |
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| CN109411398B (zh) | 2023-10-31 |
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