CN1982175A - 传送装置 - Google Patents

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CN1982175A CNA2006101318106A CN200610131810A CN1982175A CN 1982175 A CN1982175 A CN 1982175A CN A2006101318106 A CNA2006101318106 A CN A2006101318106A CN 200610131810 A CN200610131810 A CN 200610131810A CN 1982175 A CN1982175 A CN 1982175A
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金琎其
金仁哲
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Abstract

本发明涉及一种传送装置，依据本发明所提供的传送装置包含：导轨，该导轨具有由一对轨道部件形成的主轨道和从所述主轨道分岔而形成的分岔轨道；在所述分岔轨道的分岔区域沿所述分岔轨道设置的辅助导轨；搬运车单元，该搬运车单元具有沿所述导轨运行的搬运车主体和结合于所述搬运车主体并与所述辅助导轨的两侧接触而引导所述搬运车主体改变运行轨迹的导轮。由此，可以在分岔区域减小搬运车单元的振动及噪音，并可以防止冲击带来的损伤等，从而可以更加稳定而迅速地传送作业物。

Description

传送装置
技术领域
本发明涉及一种传送装置，尤其涉及在分岔区域可以减小振动及噪音的传送装置。
背景技术
通常，传送装置在各领域中用于传送作业物，并分为自动型、高架型(Overhead type)等多种类型。下面说明具有高架型搬运车单元的传送装置，该高架型搬运车单元在半导体生产线上的各工艺之间或从储藏场所自动传送中间掩模(Reticle)、晶片传送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod)等作业物。这种传送装置的速度直接影响到作业物的传送速度，进而影响整个工艺时间，因此在竭尽全力使其能够迅速而稳定地传送作业物。
通常，这种传送装置为了在各工艺之间传送作业物，包含：由一对轨道部件构成的主轨道、在主轨道上运行的搬运车主体以及从主轨道分岔以使搬运车主体沿与主轨道不同的方向运行的分岔轨道。目前已经研究出多种形成这种主轨道及分岔轨道的方法或使搬运车主体进入分岔轨道的方法。
韩国公开专利公报“第2004-49574号(2004.06.12)”中公开了这种现有的高架型传送装置。现有装置包含：具有主轨道和从主轨道分岔的分岔轨道的导轨；位于从主轨道分岔到分岔轨道的分岔区域上方并沿分岔轨道设置的辅助导轨。现有装置包含：传送体，该传送体包含传送主体、至少一对沿导轨移动的车轮、用于驱动车轮的驱动电机；设置在所述传送体上由辅助导轨引导的一个辊子，当辊子上升时传送体向分岔轨道运行，当辊子下降时使传送体向主轨道运行。
由此，现有装置具有通过辊子的升降使传送体向分岔轨道或主轨道运行的结构。
但是，在现有装置中当辊子在具有曲线部分的分岔轨道上运行时会发生较多的振动及噪音，而且可能会因为冲击等原因导致其它部件受损。由此，传送体在分岔轨道上的运行速度也将明显减小，导致整体运行时间增加较多。
发明内容
本发明的目的在于提供一种减小搬运车分岔过程中产生的振动及噪音，并且可以节减安装费用的传送装置。
为了实现上述目的，依据本发明所提供的传送装置包含：导轨，该导轨具有由一对轨道部件形成的主轨道和从所述主轨道分岔而形成的分岔轨道；在所述分岔轨道的分岔区域沿所述分岔轨道设置的辅助导轨；搬运车单元，该搬运车单元具有沿所述导轨运行的搬运车主体和结合于所述搬运车主体并与所述辅助导轨的两侧接触而引导所述搬运车主体改变运行轨迹的导轮。
在此，将所述搬运车主体设置成相互连接并可以相对转动的一对，以使所述搬运车主体沿所述导轨顺序移动，由此可以稳定地传送作业物。
并且，所述辅助导轨沿着所述导轨的各分岔轨道上方相互分离而设置，从而便于安装。
并且，各搬运车主体上至少结合一对所述导轮，所述导轮在运行方向的横向相对而设置，从而可以使运行更加顺利。
并且，所述各搬运车主体最好包含向所述导轮提供驱动力的导轮移动部，以使所述导轮在运行位置和分岔位置之间移动。
并且，最好还包含控制部，该控制部控制所述导轮移动部的驱动及停止驱动动作，以使所述搬运车主体选择性地运行在所述分岔轨道上。
所述导轮移动部最好包含连接到所述导轮的滚珠丝杠单元和向所述滚珠丝杠单元提供驱动力的驱动电机。
并且，所述搬运车主体最好包含接触所述导轨的轨道部件内侧而引导运行的至少一对运行引导辊子。
并且，所述导轨最好包含汇合到所述主轨道的汇合轨道；所述辅助导轨最好还包含在所述汇合轨道汇合到所述主轨道的汇合区域沿所述汇合轨道设置的部分。
附图说明
图1为依据本发明所提供的传送装置的布置图；
图2为位于分岔轨道上的搬运车单元的示意图；
图3为搬运车单元的俯视图；
图4为传送装置的正面图；
图5为表示搬运车向直线部分分岔过程的局部俯视图；
图6为表示搬运车向曲线部分分岔过程的局部俯视图；
图7为传送装置的控制框图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选实施例。在多种传送装置中，举例说明在半导体生产工艺中用于传送中间掩模(Reticle)、晶片传送盒(FOUP：Front Opening Unified Pod)等的高架型传送装置。
如图2至图4所示，传送装置10包含：导轨20，该导轨20具有由一对轨道部件形成的主轨道21和从主轨道21分岔而形成的分岔轨道23；在分岔轨道23的分岔区域沿分岔轨道23设置的辅助导轨30；搬运车单元40，该搬运车单元40具有沿导轨20运行的搬运车主体41、结合于搬运车主体41并与辅助导轨30的两侧接触而引导搬运车主体41改变运行轨迹的导轮47。传送装置10还包含控制导轮移动部51的驱动及停止驱动动作的控制部60，以使搬运车主体41选择性地运行在分岔轨道23上。传送装置10包含与搬运车单元40相连接而用于抓持中间掩模(未图示)等并可以使其上下升降的驱动部(未图示)。
导轨20如图1及图2所示，包含由一对轨道部件形成的主轨道21和从主轨道21分岔的分岔轨道23。导轨20由“ㄈ”字型的卡箍(yoke)59加以支持。由此，搬运车单元40沿导轨20运行。
主轨道21由一对轨道部件形成。主轨道21与分岔轨道23及汇合轨道29相连接。
分岔轨道23与汇合轨道29如图1所示，从主轨道21分岔，并汇合到主轨道21。分岔轨道23包含从主轨道21按直线分岔的直线分岔轨道25和按曲线分岔的曲线分岔轨道27。分岔轨道23不仅可以分岔为两个方向，而且根据需要还可以分岔为三个方向、四个方向等。并且，直线分岔轨道25根据需要还可以再进行分岔。由此，搬运车单元40可以选择性地运行在直线分岔轨道25或曲线分岔轨道27上。
辅助导轨30如图1及图2所示，在主轨道21分岔为分岔轨道23的分岔区域沿着分岔轨道23按预定长度设置在主轨道21的轨道部件的上方。即，辅助导轨30沿着分岔轨道23在分岔轨道23的上方相互分离而设置。由此，辅助导轨30起到将搬运车单元40导向分岔轨道23方向的作用。并且，由于辅助导轨30分离而设置，因此可以方便而迅速地进行安装，从而可以减少安装时间及劳动力成本而降低成本。
搬运车单元40如图4所示，具有沿导轨20运行的搬运车主体41和结合于搬运车主体41并与辅助导轨30的两侧接触而引导搬运车主体41改变运行轨迹的导轮47。搬运车单元40的各搬运车主体41具有向导轮47提供驱动力的导轮移动部51，以使导轮47在运行位置和分岔位置之间移动。搬运车单元40具有至少一对运行引导辊子57，以使搬运车主体41接触导轨20的轨道部件内侧而运行。由此，可以减小搬运车单元40在分岔轨道23上运行时的冲击及振动。随之，在分岔区间也能够提高搬运车单元40的运行速度。
搬运车主体41如图2至图4所示，具有结合于该搬运车主体41侧面的运行轮45，以使搬运车主体41沿着导轨20顺序移动，搬运车主体41设置成相互连接并可以相对转动的一对。搬运车主体41具有向导轮47提供驱动力的导轮移动部51，以使导轮47在运行位置和分岔位置之间移动。搬运车主体41具有通过接触导轨20的轨道部件内侧而引导运行的至少一对运行引导辊子57。由此，搬运车主体41可以在导轨20上稳定地运行。
导轮47如图4所示，与辅助导轨30的两侧接触并结合于搬运车主体41以引导搬运车主体41改变运行轨迹。各搬运车主体41上结合多对导轮47，这些导轮47与辅助导轨30的两侧接触并相对于搬运车主体41的运行方向相对而设置，以引导搬运车主体41沿辅助导轨30改变运行轨迹。最好在各搬运车主体41上相对而设置两对导轮47，使得搬运车主体41可以更加稳定地运行。在此，可以根据搬运车主体41的大小、传送物品的大小等，在各搬运车主体41上中间隔着辅助导轨30相对而设置一对、三对等数量的导轮47。导轮47通过导轮移动部51可以在运行位置与分岔位置之间移动。由此，可以减小搬运车主体41改变运行轨迹过程中发生的振动或噪音。即，如图6所示，尤其在向曲线部分移动的过程中，在下部产生的离心力引起的力矩由设置在上方的导轮47接触辅助导轨30而产生的反作用力相抵消，从而减小运行过程中发生的振动或噪音。由此，在搬运车主体41改变运行轨迹的过程中也能提高搬运车主体41的运行速度。
导轮移动部51提供驱动力使贴附在搬运车主体41上方的导轮47在运行位置与分岔位置之间移动。导轮移动部51包含连接到导轮47的滚珠丝杠单元55和向滚珠丝杠单元55提供驱动力的驱动电机53。由此，搬运车主体41可以选择性地运行在分岔轨道23上。
滚珠丝杠单元55设置在搬运车主体41上，一侧与导轮47结合，另一侧与驱动电机53结合。滚珠丝杠单元55可以被替换为使导轮47在运行位置与分岔位置之间移动的电磁铁结构。
在搬运车主体41的下部设置至少一对运行引导辊子57，该运行引导辊子57与导轨20的轨道部件内侧接触而引导搬运车主体41运行。由此，搬运车主体41可以稳定地运行。
卡箍59呈“ㄈ”字型，可以支持导轨20和辅助导轨30。
如图7所示，控制部60控制导轮移动部51进行驱动及停止驱动，以使搬运车主体41选择性地运行在分岔轨道23上。控制部60控制主体驱动部43，以使搬运车主体按预定速度沿导轨20运行或停止。控制部60基于可以由用户输入信息或数据的输入部61进行控制，例如在分岔轨道23上的运行速度等。
下面参照图5至图7说明具有上述构成的依据本发明所提供的传送装置10的分岔过程。在此，为了便于说明，对汇合到主轨道21的汇合轨道29省略其说明，只对从主轨道21分岔到分岔轨道23的情况予以说明。
首先，说明如图5所示移动到直线分岔轨道25的过程。搬运车单元40接通电源以后，主体驱动部43开始工作。由此，搬运车主体41首先以预定速度运行，然后在进入直线分岔轨道25之前减小运行速度，从而可以减小分岔动作所带来的冲击及噪音。与此同时，控制部60如图7所示，对导轮移动部51进行操作使导轮47与直线分岔轨道25的辅助导轨30相一致。由此，前方的搬运车主体41进入到直线分岔轨道25，并由导轮47与辅助导轨30相接触而引导搬运车主体41改变运行轨迹。由此，后续进入直线分岔轨道25的后方的搬运车主体41也同样沿辅助导轨30改变运行轨迹。
然后，说明如图6所示移动到曲线分岔轨道27的过程。搬运车单元40接通电源以后，主体驱动部43开始工作。由此，搬运车主体41首先以预定速度运行，然后在进入曲线分岔轨道27之前减小运行速度，从而可以减小分岔动作所带来的冲击及噪音。与此同时，如图7所示的控制部60对导轮移动部51进行操作使导轮47与曲线分岔轨道27的辅助导轨30相一致。由此，前方的搬运车主体41进入到曲线分岔轨道27，并由导轮47与辅助导轨30相接触而引导搬运车主体41改变运行轨迹。由此，后续进入曲线分岔轨道27的后方的搬运车主体41也相对于前方的搬运车主体41进行转动，并沿辅助导轨30改变运行轨迹。此时，通过结合在搬运车主体41上部的导轮47与辅助导轨30的滚动接触所产生的反作用力而减小或消除沿曲线运行而产生的搬运车主体41的离心力。由此，可以减小在分岔的曲线部运行而产生的振动及噪音，并可以预防冲击所导致的损伤。由于振动、噪音及损伤得到减小及预先防止，因此可以提高搬运车单元40的运行速度。
实际应用本发明的结果显示，在曲线分岔轨道27进行分岔运行时，作为作业物的中间掩模的上下位移量下降至应用本发明之前的50％以下，这表明确实减小了振动等现象。并且，在曲线分岔轨道27上的运行速度由应用本发明之前的0.8m/sec增加到应用本发明之后的1.4m/sec。
搬运车单元40在主轨道21、分岔轨道23及汇合轨道29上运行时通过贴附在下部的升降单元(hoist)(未图示)将中间掩模等预定的作业物迅速而稳定地传送到如图1所示的进行预定工艺的位置(station)A、B或用作作业物储藏空间的储藏室(storage room)A、B、C。
综上所述，依据本发明可以在分岔区域减小搬运车单元的振动及噪音，并可以防止冲击带来的损伤等。由此，搬运车单元可以迅速而稳定地运行，而且因运行速度提高，从而可以更加稳定而迅速地传送作业物。
并且，由于分岔轨道的安装及调节比较简便，因此减少了安装费用等成本，并易于替换现有设备。

Claims (9)

1、一种传送装置，其特征在于包含：
导轨，该导轨具有由一对轨道部件形成的主轨道和从所述主轨道分岔而形成的分岔轨道；
在所述分岔轨道的分岔区域沿所述分岔轨道设置的辅助导轨；
搬运车单元，该搬运车单元具有沿所述导轨运行的搬运车主体和结合于所述搬运车主体并与所述辅助导轨的两侧接触而引导所述搬运车主体改变运行轨迹的导轮。
2、根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于所述搬运车主体设置为相互连接并可以相对转动的一对，以沿着所述导轨顺序移动。
3、根据权利要求2所述的传送装置，其特征在于所述辅助导轨沿着所述导轨的各分岔轨道的上方相互分离而设置。
4、根据权利要求2或3所述的传送装置，其特征在于各搬运车主体上至少结合一对所述导轮，所述导轮在运行方向的横向相对而设置。
5、根据权利要求4所述的传送装置，其特征在于所述各搬运车主体包含向所述导轮提供驱动力的导轮移动部，以使所述导轮在运行位置和分岔位置之间移动。
6、根据权利要求5所述的传送装置，其特征在于还包含控制部，该控制部控制所述导轮移动部的驱动及停止驱动动作，以使所述搬运车主体选择性地运行在所述分岔轨道上。
7、根据权利要求5所述的传送装置，其特征在于所述导轮移动部包含：
连接到所述导轮的滚珠丝杠单元；
向所述滚珠丝杠单元提供驱动力的驱动电机。
8、根据权利要求4所述的传送装置，其特征在于所述搬运车主体包含接触所述导轨的轨道部件内侧而引导运行的至少一对运行引导辊子。
9、根据权利要求1所述的传送装置，其特征在于：
所述导轨包含汇合到所述主轨道的汇合轨道；
所述辅助导轨还包含在所述汇合轨道汇合到所述主轨道的汇合区域沿所述汇合轨道设置的部分。
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