CN1942059B - 标记识别方法和印刷装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种印刷装置和标记识别方法，该下述识别方法为：用于将掩模片叠置在印刷台所保持的基板W上，经由该掩模片的开口向基板W涂敷糊剂，并在该印刷操作前使用摄像装置拍摄、识别基板W上所设置的多个标记M1、M4的印刷装置的标记M1、M4的识别方法。以标记M1、M4中距离摄像机的初始位置HP(待机位置)最远的标记为第1个拍摄标记，以此作为设定条件来设定标记识别顺序，并按照该顺序一边移动摄像机一边对各个标记M1、M4进行拍摄。此外，在拍摄上述标记M1、M4时，是在基板W向印刷台的搬入操作完成之前，使摄像机向第1个标记识别位置开始移动。采用本发明，可通过有效地进行掩模片或基板的标记识别，来缩短生产节拍时间。

Description

标记识别方法和印刷装置

技术领域

本发明涉及一种对基板印刷膏状焊料、导电糊剂等糊剂的印刷装置，特别涉及一种对被处理基板或掩模片上所设置的标记进行图像识别的方法。

背景技术

以往，一般已知的丝网印刷装置，是通过在固定于平台上的基板上叠置掩模片(mask sheet)，用刮板按压供给到掩模片上的膏状焊料、导电糊剂等糊剂，经由掩模片上所形成的开口部将糊剂涂敷(印刷)到基板上的规定位置。

在这种印刷装置中，例如日本专利公开公报第2682145号所示，利用设置在用于支撑基板的平台上的摄像机拍摄设置在掩模片上的基准标记，并使平台在设于规定位置的基板识别摄像机的下方移动，拍摄基板上的基准标记，根据上述图像来把握掩模片与基板的相对位置关系，从而使基板相对于掩模片准确地定位。

即，为避免在将掩模片叠置到基板上时与平台等发生干扰，基板识别摄像机配置在掩模片下方区域的外侧，将基板搬入并固定到平台上后，平台再从掩模片的下方区域向外侧移动，开始对基板上的基准标记进行拍摄。

然而，上述日本专利公开公报第2682145号所示的印刷装置，如上所述，在搬入新的基板并固定到平台上后，该平台再从掩模片的下方区域向外侧移动，即向与基板识别摄像机相对的位置移动，以开始对基板上的基准标记进行拍摄，所以从将基板搬入到平台上至开始识别第一个标记，需要时间，结果产生印刷作业的生产节拍时间变长的问题。此外，由于识别标记后，也需要使平台从与基板识别摄像机相对的位置向掩模片的下方区域移动，所以在该操作上耗费时间，也会导致印刷作业的生产节拍时间变长的问题。

另外，关于这种印刷装置，众所周知的是，与安装机及回流炉等一起使用而构成元件的安装生产线，近年来，关于这种安装生产线，考虑在位于上游工序的印刷装置中集中识别基板上所设置的各个标记，将其图像数据等传送给下游工序的安装机来使用。

即，在基板上，除定位用的基准标记外，还带有位于对精度有所要求的安装位置附近的局部基准标记及用于判断基板是否合格的坏板标记等各种标记(以下称局部标记等)，以往，由于安装生产线所包含的各个装置(有多个安装机时为上述各个安装机)分别进行必要的标记识别作业，例如针对坏板标记在所有装置中重复进行标记识别，所以效率很低。于是，近年来，考虑在位于上游工序的印刷装置中集中识别除定位用的基准标记以外的标记(或其中一部分)，将其图像数据等传送给下游工序的安装机，以削减用于识别标记的总时间，缩短生产节拍时间。

为此，印刷装置中，有时除掩模片或基板上所设置的定位用的基准标记外，还要求识别很多标记，相应地，要求高效地进行此类标记识别。特别是，对于所谓的多倒棱基板(多面取り基板)而言，由于标记数量多，高效进行识别对缩短生产节拍时间尤为重要。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的在于在印刷装置中高效地进行掩模片或基板的标记识别，以缩短生产节拍时间。

为解决上述课题，本发明的标记识别方法，是用于将掩模片叠置在印刷台所保持的基板上，经由上述掩模片印刷糊剂，并在该印刷操作之前使用可移动的摄像装置拍摄、识别基板上所设置的多个标记的印刷装置的上述标记的识别方法，其中，按照预先设定的识别顺序移动上述摄像装置，以拍摄各个标记，并使上述摄像装置在对象基板向上述印刷台的搬入操作完成之前开始向该标记识别操作过程中的第一个识别位置移动。

采用该方法，可利用把基板搬入到印刷台之前的时间将摄像装置移动至第一个标记识别位置，所以可缩短单独进行标记识别操作所需的时间。

在该方法中，较为理想的是，将上述标记中、当上述掩模片被叠置在基板上时距离位于该基板外侧区域中的上述摄像装置的待机位置最远的标记以外的标记作为最后一个识别标记，以此作为设定条件来设定标记识别顺序，并按照该设定顺序来移动摄像装置，由此对各个标记进行拍摄。

采用该方法，由于将最远标记以外的标记作为最后一个识别标记，所以在进行最后一个标记识别后，可使摄像装置更迅速地向待机位置移动，由此可使基板相对于掩模片的叠合操作尽早开始。

此外，较为理想的是，将上述标记中、当上述掩模片被叠置在基板上时距离位于该基板外侧区域中的上述摄像装置的待机位置最近的标记以外的标记作为第一个识别标记，以此作为设定条件来设定标记的识别顺序，并按照该设定顺序来移动摄像装置，由此对各个标记进行拍摄。

采用该方法，由于设定标记的识别顺序时，将距离摄像装置的待机位置最近的标记以外的标记作为第一个识别标记，所以可有效缩短上述的单独操作的时间。此时，具体而言，较为理想的是，以位置距离上述待机位置最远的标记作为第一个识别标记来设定标记的识别顺序。

另外，标记识别所需时间的长短，很大程度上取决于摄像装置的移动时间。因此，虽然也可以仅根据标记间的距离来决定拍摄顺序(即选择标记间距离近者来依次决定拍摄顺序)，但在这种情况下，有时根据与摄像装置的移动速度或加减速度的关系未必有效。所以，上述各个标记识别方法中，较为理想的是，设定上述标记的拍摄顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小。

此外，上述各个标记识别方法中，较为理想的是，在对象基板向上述印刷台的搬入操作完成之前，预先将摄像装置配置在第一个识别位置。

采用该方法，可以切实地缩短上述的单独操作的时间，节省了摄像装置从待机位置移动到第一个识别位置的移动时间的量。

此外，本发明的另一种标记识别方法，是用于将掩模片叠置在印刷台所保持的基板上，经由上述掩模片印刷糊剂，并在该印刷操作前使用可移动的摄像装置拍摄、识别掩模片或基板上所设置的多个标记的印刷装置的上述标记的识别方法，其中，设定上述标记的识别顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小，并按照该设定顺序来移动摄像装置，以对各个标记进行拍摄。

采用该方法，识别掩模片的标记或基板的标记时摄像装置的总移动时间最短，所以始终能以尽可能短的时间进行标记的识别。

此外，本发明的另一标记识别方法，是用于将掩模片叠置在印刷台所保持的基板上，经由上述掩模片印刷糊剂，并在该印刷操作之前使用可移动的摄像装置拍摄、识别掩模片和基板上所设置的多个标记的印刷装置的上述掩模片的识别方法，其中，使用具有从上述掩模片下侧拍摄该掩模片的标记的第1摄像部和从上述基板上侧拍摄该基板的标记的第2摄像部的上述摄像装置拍摄上述标记，并将上述掩模片的标记和上述基板的标记作为一体来设定上述标记的识别顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小，且按照上述设定顺序来移动摄像装置，以对各个标记进行拍摄。

采用该方法，由于不对掩模片和基板的各个标记进行区分，而一体地依次拍摄，所以与区分掩模片标记和基板标记(分别)进行拍摄的情况相比，可以高效地进行拍摄。由于在这种情况下，也按摄像装置的总移动时间最短来设定识别顺序，所以能以尽可能短的时间进行标记的识别。

本发明的印刷装置，包括：掩模片；印刷台，可以相对于上述掩模片相对移动；和摄像装置，在上述掩模片与印刷台分离的状态下，可在位于掩模片和印刷台之间的作业区域与处于该区域外侧的待机位置之间进行移动，并可对基板上所设置的标记进行拍摄；经由上述掩模片向上述印刷台所保持的基板上印刷糊剂，并在该印刷操作之前使用摄像装置拍摄、识别上述标记，其特征在于：包括：顺序设定装置，设定上述标记的拍摄顺序；和控制装置，按照上述顺序设定装置所设定的顺序来移动上述摄像装置，以拍摄各个标记，并对上述摄像装置进行驱动控制，以使该摄像装置在对象基板向上述印刷台的搬入操作完成之前开始向第一个识别位置移动。

该印刷装置中，较为理想的是，上述顺序设定装置，以上述标记中、距离摄像装置的上述待机位置最远的标记以外的标记作为最后一个识别标记，以此作为设定条件来设定标记的识别顺序。

此外，上述顺序设定装置，也可以将上述标记中、距离摄像装置的上述待机位置最近的标记以外的标记作为第一个识别标记，以此作为设定条件来设定上述标记的拍摄顺序。

此外，本发明的另一印刷装置，包括：掩模片；印刷台，可相对于上述掩模片相对移动；和摄像装置，在掩模片与印刷台分离的状态下，可在位于上述掩模片和印刷台之间的作业区域与位于该区域外侧的待机位置之间进行移动，且可对掩模片或基板上所设置的标记进行拍摄；经由上述掩模片向上述印刷台所保持的基板印刷糊剂，并且在该印刷操作前使用摄像装置拍摄、识别上述标记，其中，包括：顺序设定装置，设定标记的拍摄顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小；和

控制装置，对上述摄像装置进行驱动控制，使其按照上述顺序设定装置所设定的拍摄顺序来拍摄各个标记。

另外，本发明的另一印刷装置，包括：掩模片；印刷台，可相对于上述掩模片相对移动；和摄像装置，在掩模片与印刷台分离的状态下，可在位于上述掩模片和印刷台之间的作业区域与位于该区域外侧的待机位置之间进行移动，且可对掩模片或基板上所设置的标记进行拍摄；经由上述掩模片向上述印刷台所保持的基板印刷糊剂，并且在该印刷操作之前使用摄像装置拍摄、识别上述标记，其特征在于：具有上述摄像装置，其一体设有从上述掩模片的下侧拍摄该掩模片的标记的第1摄像部和从基板上侧拍摄基板的标记的第2摄像部；还包括：顺序设定装置，将上述掩模片的标记和上述基板的标记作为一体来设定上述标记的识别顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小；和控制装置，对上述摄像装置进行驱动控制，使其按照上述顺序设定装置所设定的顺序来拍摄各个标记。

采用上述结构，在印刷装置的一系列操作中，标记的拍摄顺序由顺序设定装置设定，控制装置按照该设定顺序控制摄像装置，从而对标记进行识别。因此，在印刷装置中，可促进技术方案1～3、7以及8所涉及的标记识别方法的自动化。

在上述的印刷装置中，较为理想的是，还包括：移动装置，使上述摄像装置在规定的可移动范围内移动，该摄像装置由具有摄像机的带有摄像机的移动部构成；和迂回移动装置，当上述带有摄像机的移动部通过上述移动装置从当前位置向目标位置移动时，若连接上述两个位置的直线上存在干扰物，则使上述摄像装置沿着绕过干扰物的迂回路线进行移动，以避免其与干扰物产生干扰。

这样一来，除上述效果外，还可以切实避免摄像装置(带有摄像机的移动部)在移动时与干扰物产生干扰，确保操作可靠性的同时，实现了装置的小型化。

此外，本发明的另一印刷装置，经由掩模片向基板印刷糊剂，包括：带有摄像机的移动部，具有用于在装置内进行拍摄的摄像机；移动装置，使上述带有摄像机的移动部在规定的可移动范围内进行移动；和迂回移动装置，当上述带有摄像机的移动部通过上述移动装置从当前位置向目标位置移动时，若连接上述两个位置的直线上存在干扰物，则使上述带有摄像机的移动部沿着绕过干扰物的迂回路线进行移动，以避免其与干扰物产生干扰。

采用该印刷装置，可以切实避免摄像装置(带有摄像机的移动部)在移动时与干扰物产生干扰，确保操作可靠性的同时，实现了装置的小型化。

该印刷装置中，较为理想的是，还包括直进移动装置，当上述带有摄像机的移动部通过上述移动装置从当前位置向目标位置移动时，若连接上述两个位置的直线上不存在干扰物，则使上述带有摄像机的移动部沿着该直线上的最短路线进行移动。

如此一来，可以摄像机可以高效地进行移动，提高了生产率。

此外，上述带有摄像机的移动部，较为理想的是，具有拍摄基板的基板摄像机和拍摄掩模片的掩模片识别摄像机。

如此一来，可用一台移动装置移动多台摄像机，通过共用移动装置进一步实现了装置的小型化。

此外，该印刷装置中，较为理想的是，在用于配置基板的印刷台上设置用于支撑基板的支撑销(backup pin)，在上述带有摄像机的移动部上设置相对于上述印刷台对上述支撑销进行插拔的支撑销插拔机构。

如此一来，不仅可以自动进行支撑销的插拔，还可以利用带有摄像机的移动部的移动装置使支撑销插拔机构进行移动。

附图说明

图1是表示本发明第1实施例所涉及的丝网印刷装置的侧视图。

图2是表示上述丝网印刷装置的正视图。

图3是表示上述丝网印刷装置的立体图。

图4是表示上述丝网印刷装置的摄像单元和清扫器(cleaner)部分的立体图。

图5是表示上述丝网印刷装置的控制系统的方框图。

图6是表示控制部主体中所包含的功能结构(主要与标记识别操作的控制相关的组成部分)的方框图。

图7(a)是表示掩模片的俯视图，(b)是表示基板的俯视图。

图8是以摄像机头部的移动路线来表示一例掩模片专用数据的示意图。

图9是以摄像机头部的移动路线来表示一例基板专用数据的示意图。

图10是以摄像机头部的移动路线来表示一例混合数据的示意图。

图11是表示控制装置对印刷操作的控制的流程图。

图12是表示基板固定标记识别处理的子程序的流程图。

图13是表示标记识别顺序数据的生成处理的子程序的流程图。

图14是表示标记识别处理的子程序的流程图。

图15是表示印刷操作中的一个状态的示意图，(a)表示摄像机头部在印刷作业区域中移动的状态，(b)表示印刷准备已完成的状态。

图16是本发明第2实施例所涉及的印刷装置的侧视图。

图17是概略表示上述印刷装置的俯视图。

图18是表示上述印刷装置的主要部分的立体图。

图19是表示上述印刷装置的夹紧单元(clamp unit)周边的侧视图。

图20是表示上述印刷装置的带有摄像机的单元和清扫器的立体图。

图21是表示上述印刷装置的控制系统的方框图。

图22是将上述印刷装置中的带有摄像机的单元移动至后端的状态的俯视图。

图23是将上述印刷装置中的带有摄像机的单元移动至前端的状态的俯视图。

图24是将上述印刷装置中的带有摄像机的单元移动至左端的状态的俯视图。

图25是将上述印刷装置中的带有摄像机的单元移动至右端的状态的俯视图。

图26是表示上述印刷装置的操作的流程图。

图27是表示上述印刷装置的基板标记识别操作的流程图。

图28是表示上述印刷装置的带有摄像机的单元的移动控制操作的流程图。

图29是表示上述印刷装置的模板标记(stencil mark)识别操作的流程图。

图30是表示上述印刷装置的带有摄像机的单元直进移动时的操作的概略俯视图。

图31是表示上述印刷装置的带有摄像机的单元迂回移动时的操作的概略俯视图。

图32是表示现有印刷装置的概略俯视图。

具体实施方式

第1实施例

利用图1～图5对本发明的第1实施例进行说明。

图1和图2概略地表示本发明所涉及的丝网印刷装置(使用本发明所涉及的标记识别方法的丝网印刷装置)，图1以拆除罩体时的要部侧视图表示丝网印刷装置，图2以正视图表示丝网印刷装置。另外，该丝网印刷装置，作为与图示省略的装料机、安装机、回流炉和卸料机等共同构成元件安装生产线的装置来进行说明。

如上述附图所示，在丝网印刷装置(以下简称为印刷装置)的基座1上，设有印刷台3，以该印刷台3为中心在其两侧沿着搬送线配置用于将印刷基板W(以下简称为基板W)搬入和搬出印刷台3的上游侧传送带2A和下游侧传送带2C。

另外，在以下的说明中，以上述传送带2A、2C搬送基板W的方向(搬送线的方向)为X轴方向、水平面上与其正交的方向为Y轴方向、与X轴和Y轴方向均正交的方向为Z轴方向来进行说明。

印刷台3，是保持基板W而使其相对于下述掩模片25从下侧定位的装置，主要由后述的主传送带2B、升降工作台18和夹紧机构4等构成。

该印刷台3，支撑在4轴单元10上，在该单元10的作用下，在X轴、Y轴、Z轴和R轴(围绕Z轴的转动)上移动。

具体而言，基座1上，在水平面内沿Y轴方向配置滑轨11，同时在该滑轨11上滑动自如地安装了Y轴工作台12。设置在基座1上的滚珠丝杠机构(图示省略)与Y轴工作台12相连，通过驱动该滚珠丝杠机构而使Y轴工作台12相对于基座1在Y轴方向上移动。

在Y轴工作台12上沿X轴方向配置滑轨13，同时在该滑轨13上滑动自如地安装了X轴工作台14。设置在Y轴工作台12上的滚珠丝杠机构(图示省略)与X轴工作台14相连，通过驱动该滚珠丝杠机构而使X轴工作台14相对于Y轴工作台12在X轴方向上移动。

在X轴工作台14上围绕铅垂线(Z轴方向)的轴线转动自如地设有R轴工作台16，该R轴工作台16在图示以外的驱动装置的驱动下相对于X轴工作台14围绕Z轴转动。

在R轴工作台16上沿上下方向(Z轴方向)滑动自如地安装有滑动支柱17，同时在该滑动支柱17的上部安装有升降工作台18。在升降工作台18与R轴工作台16之间设有滚珠丝杠机构19，通过驱动该滚珠丝杠机构19使升降工作台18在滑动支柱17的引导下相对于R轴工作台16在Z轴方向(上下方向)上移动。

这样，4轴单元10，通过分别驱动上述各个工作台12、14、16、18，使印刷台3在X轴、Y轴、Z轴和R轴(围绕Z轴的转动)上移动。

在升降工作台18上，沿X轴方向设有一对主传送带2B，同时还设有夹紧机构4、定位机构5和载置工作台20等。另外，如上所述，本实施例中，由上述升降工作台18、主传送带2B等构成用于保持基板W的上述印刷台3。

主传送带2B，随着升降工作台18的升降与其一体移动，升降工作台18在设定于规定的初始位置(home position)(为下降端位置，且为X轴、Y轴和R轴方向的预定原点位置)的状态下，与上游侧传送带2A和下游侧传送带2C在X轴方向上排成一列。这样一来，将升降工作台18设定在初始位置上，从而将基板W从上游侧传送带2A向印刷台3(主传送带2B)搬入和将基板W从印刷台3向下游侧传送带2C搬出。

夹紧机构4，是在作业过程中固定地保持基板W的机构，具有在Y轴方向上可靠近分离的一对夹片4a，由上述夹片4a从Y轴方向两侧夹住基板W加以固定。该夹紧机构4，以气缸为驱动源，可在该气缸的作用下，在夹片4a相互靠近的夹紧状态和两夹片4a相互分离的夹紧解除状态之间进行切换。

定位机构5，无详细图示，是在由上述夹紧机构4夹紧基板W之前，限制基板W的挠曲等并对基板W进行定位的机构。

载置工作台20，是对主传送带2B上的基板W从其下侧抬高而支撑基板W的装置。该载置工作台20，通过滑动支柱21可升降地支撑在升降工作台18上，同时与设置在该工作台20和升降工作台18之间的滚珠丝杠机构(图示省略)相连，通过驱动该滚珠丝杠机构使其相对于升降工作台18在Z轴方向(上下方向)上移动。

另一方面，在印刷台3等的上方，配置有掩模片保持单元6、刮板单元7、摄像单元8和清扫器9等。

掩模片保持单元6，是保持掩模片25的机构。该掩模片保持单元6，如图3和图4所示，具有分别固定在高架状的一对框架30上的掩模片支撑台26，其中所述一对框架30通过支柱60支撑在基座1上，由设置在上述掩模片支撑台26上的掩模片夹27夹紧掩模片25的框部，从而在上述印刷台3的上方，以水平架设的状态保持掩模片25。

刮板单元7，对由图示以外的吸嘴供给到上述掩模片25上的膏状焊料、导电糊剂等糊剂，一边进行滚压(混合)一边进行扩展。

该刮板单元7，分别固定在上述各个框架30上，包括：在Y轴方向上延伸的滑轨31，以横跨上述滑轨31的状态安装、并受图示以外的驱动机构的驱动而在Y轴方向上移动的横梁32，用于在掩模片25上扩展糊剂的一对刮板33、33，和设置在横梁32上并单独使刮板33、33进行升降的升降机构；印刷时，横梁32一边在Y轴方向上往复移动，一边使上述刮板33、33交替地沿着掩模片25的表面滑动，从而在掩模片25上扩展糊剂。

摄像单元8，是用于拍摄基板W和掩模片25的机构，设置在掩模片保持单元6的下侧。

摄像单元8，作为一体设有掩模片识别摄像机41和基板识别摄像机42的摄像装置，具有摄像机头部40和使该摄像机头部40移动的驱动机构，通过使上述摄像机头部40在X轴方向和Y轴方向上平面移动来拍摄掩模片25和基板W。

具体而言，在上述各个框架30的下表面，分别设有在Y轴方向上延伸的一对滑轨35，上述滑轨35上可移动地安装了沿X轴方向延伸的横梁36，同时将支撑在框架30上且由电动机37驱动转动的滚珠丝杠轴38螺合插入到该横梁36的图示以外的螺母部分。此外，在横梁36上设有在X轴方向上延伸的一对滑轨39，在上述滑轨39上可移动地安装有摄像机头部40，同时将装载在横梁36上的由电动机驱动的未图示的滚珠丝杠轴螺合插入到摄像机头部40的图示以外的螺母部分。即，随着上述各个滚珠丝杠轴的转动，横梁36相对于上述框架30在Y轴方向上移动，摄像机头部40相对于横梁36在X轴方向上移动，从而使摄像机头部40在印刷作业区域WE及其外侧的区域(退避区域)之间平面移动。

掩模片识别摄像机41和基板识别摄像机42，都由包括照明的CCD摄像机等构成。上述摄像机中，掩模片识别摄像机41(相当于本发明所涉及的第1摄像部)朝上设置，以便对设置在掩模片25的下表面上的基准标记进行拍摄，同时可根据需要拍摄掩模片的污垢等。另一方面，基板识别摄像机42(相当于本发明所涉及的第2摄像部)则朝下设置，以便拍摄设置在基板W上的基准标记、局部基准标记、坏板标记等各种标记。另外，上述摄像机41、42，光轴排列在同一轴线上地上下对称设置在摄像机头部40中，由此可拍摄X-Y坐标平面的相同位置上的上下互异的对象物。

清扫器9，是从掩模片25的下表面侧对其进行清扫的装置，一体安装在摄像单元8的上述横梁36上。

清扫器9，具有受图示以外的驱动机构驱动而进行升降的清扫头部(cleaning head)44，清扫时，该清扫头部44设定在上升位置上，以便使该头部44随着上述横梁36的移动滑接掩模片25进行清扫。另外，虽然未具体图示，但是清扫头部44，保持有卷绕擦拭纸的卷轴，通过从该卷轴拉出擦拭纸，来吸取并拭去掩模片的下表面和开口部上残留的糊剂等。

图5用方框图概略地表示上述印刷装置的控制系统。

在该印刷装置中，设有同图所示的对上述各单元的驱动进行集中控制的控制装置50。该驱动装置50，包括：控制部主体51、键盘/鼠标等输入装置58、液晶监视器等显示装置59、控制电路61、图像处理电路62、照明控制电路63和光磁盘等外部存储装置57等。

控制部主体51，包括：执行逻辑运算的众所周知的CPU52，预先存储控制该CPU52的各种程序等的ROM53，临时存储装置运行过程中的各种数据的RAM54，存储各种程序、OS以及生产程序等各种数据的HDD55，和I/O控制器(IOC)56等，上述CPU52等构成由内部总线互相连接的结构。

IOC56上，连接有上述输入装置58和显示装置59，同时连接有摄像单元8的电动机37等的控制电路61、上述摄像机41、42的图像处理电路62和照明控制电路63等。根据CPU52基于从输入装置58输入的各种输入信息而发出的指令，由该IOC56对控制电路61等与控制部主体51之间的各种控制信号和各种数据的输入进行控制，从而通过控制部主体51控制各单元的动作。

另外，该图中，为了方便起见，伺服电机虽然仅显示了摄像单元8的电动机37，此处还包含除此以外的驱动各种单元的装置，例如在X轴方向上驱动摄像机头部40的未图示的电动机，4轴单元10的X轴、Y轴、Z轴和R轴的各种驱动装置，上游侧传送带2A、下游侧传送带2C、主传送带2B、刮板33、33的升降装置等的各种促动器，此外还分别包含，各促动器由电动机驱动时的该电动机，以气缸为驱动源时气压电路中的电动切换阀。

图6用方框图概略地表示，控制部主体51所包含的功能结构中与摄像单元8的标记识别的操作控制相关的部分。

如该图所示，控制部主体51，包含有主控制部511、识别顺序设定部512(相当于本发明所涉及的顺序设定装置)和存储部513。

主控制部511，通过控制电路61对各种单元的电动机等进行集中控制，同时进行该印刷处理所需的各种运算，以便按照预先存储的程序执行一系列印刷处理。此外，还用作信息发送装置，将后述标记识别操作过程中所识别出的基板W的标记中的、下游工序的安装机所使用的标记的图像数据或由该图像数据所求出的标记位置的相关数据发送到该安装机一侧。

识别顺序设定部512，对标记识别操作时的标记识别顺序、即用摄像机头部40拍摄设置在掩模片25上的标记和设置在基板W上的标记时的顺序进行设定，上述主控制部511，按照在此设定的顺序来控制摄像机头部40的移动，以便拍摄标记。

具体而言，在掩模片25的下表面上，例如图7(a)所示，在掩模片的角部设有定位用的基准标记Ma。另一方面，在基板W上，虽然根据其种类会有所不同，例如图7(b)所示，在具有多个(图示的例子中为6个)组块(block)B的所谓多倒棱基板的情况下，在基板W的角部上设有整个基板定位用的基准标记M1，并在各组块B的角部上设有位置识别用的基准标记M2。此外，各组块B，还设有，例如安装精度要求高的布线图形用的局部基准标记M3(以下，为与基准标记M1、M2相区分，称为局部标记M3)、用于判断组块B是否合格的坏块标记M4等。

换言之，识别顺序设定部512，根据存储在存储部513中的掩模片25及基板W的各个标记Ma、M1～M4的位置(坐标)的有关信息、各单元的驱动条件相关信息，例如关于摄像机头部40的移动速度、加减速度等驱动条件的相关数据等，对识别顺序进行演算，在存储部513中更新存储该数据(称为识别顺序数据)，以便能高效地拍摄上述标记Ma、M1～M4。

在此，识别顺序设定部512，作为识别顺序数据，例如根据操作者用输入装置58输入的指示生成3种数据，具体而言，分别生成，仅依次拍摄掩模片25的基准标记Ma的数据(称为掩模片专用数据)，仅依次拍摄基板W的标记M1～M4的数据(称为基板专用数据)，依次一体拍摄掩模片25和基板W双方的标记Ma、M1～M4的数据(称为混合数据)，且生成各数据时的条件为：

(1)选择标记识别动作过程中的摄像机头部40的总移动时间最小者。

此外，对于基板专用数据而言，生成数据时的条件还包括：

(2)以摄像机头部40的初始位置HP(待机位置)为基准，将距离该位置最远的位置(坐标)上的标记作为第一个的拍摄标记，

(3)以摄像机头部40的初始位置HP为基准，将距离该位置最近或至少在Y轴方向上最近的位置(坐标)上的标记作为最后一个拍摄标记。

图8～图10，按照摄像机头部40的移动路线来表示识别图7所示的掩模片25和基板W的各个标记Ma、M1～M4时的识别顺序数据的内容。

具体而言，图8是掩模片专用数据的例子，将拍摄顺序设定为：首先，拍摄远离摄像机头部40的初始位置HP一侧的基准标记Ma，然后拍摄初始位置HP一侧的基准标记Ma。另外，该图中的符号WE表示印刷作业区域WE，摄像机头部40的初始位置HP如该图所示设定在该区域WE的外侧。

图9是基板专用数据的例子，将拍摄顺序设定为：首先，拍摄远离摄像机头部40的初始位置HP一侧的基准标记M1，依次拍摄各个组块B的坏板标记M4后，再拍摄初始位置HP一侧的基准标记M1。另外，该图中为了说明的方便，表示仅拍摄基准标记M1和各组块B的坏块标记M4的情况(图10也同样)。

图10是混合数据的例子，将拍摄顺序设定为：首先，拍摄远离摄像机头部40的初始位置HP一侧的掩模片25的基准标记Ma，接着拍摄最近的基板W的基准标记M1后，依次拍摄基板W的各组块B的坏板标记M4。然后，依次拍摄基板W的其余的基准标记M1和掩模片25的其余的基准标记Ma。

另外，图8～图10所示的各个数据的内容(拍摄顺序)，是为了方便而设定的，不一定与图示的标记Ma、M1～M4的实际拍摄顺序一致。

存储部513，如上所述，存储生产程序、各个单元的驱动条件相关信息、掩模片的相关信息、基板的相关信息等该印刷装置的作业所必需的各种数据，同时在作业过程中，更新存储由识别顺序设定部512设定的识别顺序数据(掩模片专用数据、基板专用数据、混合数据)。

下面，按照图11～图14的流程图对上述控制装置50对基板W的印刷操作控制进行说明。

图11是以时间序列表示对印刷操作的控制的流程图。

该印刷装置开始生产后，首先读入生产程序，进而读入各种数据，从而在识别顺序设定部512中生成标记的识别顺序数据(步骤S1、S2)。此时，印刷台3，以未保持基板W的状态固定在初始位置上(4轴单元10中升降工作台18位于下降端位置，且固定在X轴、Y轴和R轴方向上的预定原点位置上的状态)，此外，摄像机头部40固定在上述初始位置HP上。另外，刮板单元7也以将两刮板33、33保持在上升位置的状态固定于规定的初始位置上。

图13是表示步骤S2(标记识别顺序数据的生成)的子程序的流程图。

在该处理中，首先，获取摄像机头部40的移动速度、加减速度等的驱动条件相关数据，判断是否需要生成基板专用数据，即安装生产线中是否使用(识别)基板W的标记M1～M4(步骤S21、S22)。

此处判断为是时，获取基板W的标记相关数据，生成如用图9说明的标记M1～M4的识别顺序数据(基板专用数据)，将该数据存储到存储部513中(步骤S23～S25)。另外，步骤S32中判断为否时，移至步骤S26。

接着，判断是否需要生成掩模片专用数据，即安装生产线是否使用(识别)掩模片25的标记Ma(步骤S26)。

此处判断为是时，获取掩模片25的标记相关数据，生成如用图8说明的标记Ma的识别顺序数据(掩模片专用数据)，将该数据存储到存储部513中(步骤S27～S29)。另外，步骤S26中判断为否时，移至步骤S30。

进而，在步骤S30中判断是否需要生成混合数据(步骤S30)，此处判断为是时，获取掩模片25和基板W的标记相关数据，生成如用图10说明的标记Ma、M1～M4的识别顺序数据(混合数据)，将该数据存储到存储部513中(步骤S31～S32)。

由此结束步骤S2的子程序。另外，步骤S30中判断为否时，跳过步骤S31、32，结束处理。

返回图11，当标记识别顺序数据的生成结束时(T1时刻)，将基板W搬入印刷台3并加以固定，同时如图15(a)所示，使摄像机头部40从初始位置HP向印刷作业区域WE移动，依次拍摄基板W的各个标记M1～M4，同时拍摄掩模片25的基准标记Ma。关于对该标记识别操作的控制，稍后用图12详细说明。

另外，首先，使载置工作台20上升，以抬高搬入主传送带2B的基板W，一边由定位机构5对基板W进行定位，一边由夹紧机构4夹住基板W，从而将基板W固定到印刷台3上。由此，如图15(a)所示，基板W以由载置工作台20从下侧进行支撑的状态、且由夹紧机构14从两侧夹住的状态保持水平。

标记的识别结束后，摄像机头部40从印刷作业区域WE复位到初始位置HP(图15(a)中的双点划线所示)，4轴单元10工作，使基板W与印刷台3一起上升，由此从掩模片25的下侧将基板W叠置到掩模片25上(步骤S4)。此时，根据步骤S3中的标记Ma、M1的识别结果，求取掩模片25和基板W的相对位置关系，根据该位置关系对4轴单元等进行驱动控制，使基板W相对于掩模片25进行定位。

此外，基本与该叠置操作并行地将刮板单元7的刮板33、33移动到规定的印刷开始位置上，同时使其中一个刮板33下降，与掩模片25的表面接触(步骤S5)。完成上述操作时(T2时刻)，向掩模片25上供给糊剂后(参照图15(b))，使刮板33向Y轴方向移动以扩展糊剂(步骤S6)。由此通过掩模片25的图形孔在基板W的规定位置上印刷(涂敷)糊剂。

对基板W的印刷作业结束后，使印刷台3下降一些，以使基板W脱离掩模片25(离版)，迅速复位到初始位置上(步骤S7)。

当印刷台3复位至初始位置时(T3时刻)，解除夹紧机构4对基板W的固定，在通过传送带2B、2C的工作将基板W搬出的同时，与此并行地开始对掩模片25进行清扫(步骤S9、S10)。具体而言，通过驱动横梁36，一边使与横梁36形成一体的清扫器9在Y轴方向上往复移动，一边使清扫头部44从掩模片25的下侧与掩模片25滑动接触。此外，与上述操作并行地使刮板33上升(步骤S11)。

步骤S9～S11的各个操作开始后(T4时刻)，判断是否已完成规定的生产块数(步骤S12)，此处判断为否时返回步骤S3、S5，重复上述T1时刻以后的处理。与此相对，步骤S12中判断为是时，等待清扫器9结束清扫操作并结束生产。

下面，利用图12的流程图对上述步骤S3的处理(基板固定、标记识别处理)的操作控制进行更为详细的说明。

首先，在上述标记的识别顺序数据生成完成后(T1时刻)，从控制装置50向上游工序的装置(装料机)输出基板要求信号，判断是否要求搬入基板(步骤S301、S302)。此处，判断要求搬入基板时，使传送带2A、2B工作，将基板W搬入到印刷台3上，同时如上所述，由夹紧机构4等对基板W进行固定(步骤S303、S304)。另外，步骤S302中判断为否时，返回步骤S301，进入基板W的搬入待机状态。

在进行上述操作控制的同时，等待清扫器9结束清扫操作(步骤S305是)，清扫结束后，判断是否识别掩模片25的基准标记Ma(步骤S306)。这是由于，本实施例中，仅在生产开始时和生产规定块数时，才对掩模片25的基准标记Ma进行识别。

此处判断为否时，从上述3种识别顺序数据中读入基板专用数据(参照图9)，根据该数据驱动摄像单元8，使摄像机头部40在印刷作业区域WE内移动，配置到第一个标记识别(拍摄)位置上。

另外，清扫器9的清扫操作时间，是印刷结束后，从开始搬出基板W到完成下一块基板W向印刷台3的搬入为止的时间，具体而言，大大短于到夹紧机构4完成对基板W的固定(完成步骤S304的处理)为止的时间，控制装置50，对摄像单元8进行驱动控制，使得在完成基板W向印刷台3的搬入前，将摄像机头部40配置到第一个标记识别位置上。另外，生产开始之后，清扫器9并不是立即执行对掩模片25的清扫操作，所以跳过步骤S305的处理，移至步骤S306，所以此时，控制装置50对摄像单元8进行驱动控制，使得在首次完成基板W向印刷台3的搬入之前，将摄像机头部40配置到第一个标记识别位置上。

与此相对，步骤S306中判断为是时，判断是否已完成基板W向印刷台3的搬入(步骤S310)，此处判断为否时，驱动摄像单元8，拍摄掩模片25的基准标记Ma(步骤S311)。

图14是表示步骤S311(标记识别操作)的子程序的流程图。在该处理中，首先从识别顺序数据中读入掩模片专用数据(参照图8)，将标记的计数器值i置为“1”，将摄像机头部40移动到标记识别位置(Pi)上拍摄标记(步骤S41～S44)。判断标记的识别是否成功(步骤S45)，此处判断为是时，计数器值i加1(步骤S46)。然后判断是否全部标记的识别都已完成(步骤S47)，此处判断为否时，移至步骤S43重复步骤S43～步骤S46的处理。与此相对，步骤S47中判断为是时，即判断全部标记的识别都已完成时，结束标记的识别操作。另外，步骤S45中判断为否时，用规定的警示灯亮灯等方式通知操作者，同时使印刷装置停止。

返回图12，步骤S311中，掩模片25的标记识别完成后，读入基板专用数据(参照图9)，根据该数据使摄像机头部40向第一个标记识别位置移动(步骤S312)。

完成基板W向印刷台3的搬入、且完成摄像机头部40向基板W的第一个标记识别位置的配置后(T1′时刻)，根据基板专用数据对摄像单元8进行驱动控制，利用基板识别摄像机42依次拍摄基板W的各个标记M1～M4。此时的操作控制，与之前说明的对掩模片25的标记识别操作的控制(参照图14)基本相同。但是，步骤S308的处理，由于是将摄像机头部40配置到第一个标记识别位置上后的处理，所以在最初的循环中跳过图14中的步骤S43的处理。

这样，各个标记M1～M4中，摄像机头部40对最后一个标记拍摄完成后，以最短的移动距离使摄像机头部40复位到初始位置HP上。

另一方面，步骤S310中判断为是时，从识别顺序数据中读入混合数据(参照图10)，根据该数据移动摄像机头部40，利用掩模片识别摄像机41拍摄掩模片25的基准标记Ma，利用基板识别摄像机42拍摄基板W的各个标记M1～M4，从而对掩模片25和基板W的各个标记Ma、M1～M4进行拍摄。此时，对标记识别操作的控制，与之前说明的对掩模片25的标记识别操作的控制(参照图14)是相同的。

然后，在掩模片25和基板W的各个标记Ma、M1～M4的拍摄完成后，摄像机头部40复位到初始位置HP上，由此结束对掩模片25和基板W的标记识别。另外，进行步骤S308和步骤S313的处理后，根据所拍摄的各个标记Ma、M1～M4的图像求取掩模片25和基板W的相对位置关系，生成叠置掩模片时(图11的步骤S4)的修正数据，同时根据需要将基板W的各个标记M2～M4的识别结果发送给下游工序的安装机等。

采用本发明所涉及的上述印刷装置(本发明所涉及的标记识别方法)，在将基板W搬入印刷台3到搬出的一系列印刷操作中，可以高效地进行掩模片25及基板W的标记识别，其结果，具有能够缩短元件安装生产线的生产节拍时间的优点。

即，在该印刷装置中，虽然在开始印刷作业之前对搬入印刷台3的基板W的各个标记M1～M4进行识别，但此时，由于与基板W向印刷台3的搬入操作并行地将摄像机头部40移动到第一个标记识别位置(图12的步骤S307、S312)，所以可以相应地缩短标记识别单独操作的时间。特别是，仅拍摄基板W的标记M1～M4时(步骤S307)，由于对摄像单元8进行驱动控制，使得在完成基板W向印刷台3的搬入之前，将摄像机头部40配置到第一个标记识别位置上，所以例如与完成基板W向印刷台3的搬入后再将摄像机头部40移动到第一个标记识别位置上的情况相比，可以缩短标记识别单独操作所需的时间，缩短了摄像机头部40从初始位置HP移动到第一个标记识别位置的时间量。

而且，在该印刷装置中，关于标记的识别顺序，设定基板W或掩模片25的标记识别顺序时的条件为，以摄像机头部40的初始位置HP为基准，将距离该位置最远的位置(坐标)上的标记作为第1个拍摄标记(上述条件(2))，即，将摄像机头部40移动所需时间最长的位置上的标记设定为第一个标记，如此使耗时的移动操作与基板的搬入操作并行地进行(使之在完成基板W向印刷台3的搬入之前开始)，所以可以有效地缩短标记识别单独操作所需的时间。

此外，关于标记识别顺序的设定，根据掩模片25的标记Ma的位置(坐标)、基板W的M1～M4的位置、摄像机头部40的移动速度或加减速度等驱动条件等，以标记识别所需的摄像机头部40的总移动时间最短为条件(上述条件(1))来设定该顺序，所以可以以尽可能短的时间进行标记识别操作本身。

此处，例如，也可仅考虑标记间的距离，选择距离近者来设定依次识别顺序，但此时，未必能利用与摄像机头部40的移动速度或加减速度等驱动条件等的关系在尽可能短的时间内进行标记识别。与此相对，如果采用上述实施例，由于将该顺序设定为使摄像机头部40的总移动时间最小，所以能切实地以尽可能短的时间实施标记的识别，从而可以有效缩短标记识别操作本身的时间。

此外，标记识别操作后，可迅速地使摄像机头部40从掩模片25和基板W之间的空间移动退避到初始位置HP，可以尽早实施基板W上升而与掩模片25叠合的操作，结果可以缩短生产节拍时间。

另外，在该印刷装置中，由于作为识别顺序数据预先生成混合数据，该混合数据为一体识别基板W的标记M1～M4和掩模片25的基准标记Ma的识别顺序数据、且满足上述条件(1)，在完成基板W向印刷台3的搬入后再识别掩模片25和基板W的各个标记Ma、M1～M4时(步骤S313)，根据该混合数据识别各个标记Ma、M1～M4，所以例如与分别识别掩模片25的基准标记Ma和基板W的各个标记M1～M4的情况相比，可以有效地缩短标记识别操作的时间。

如此，采用该印刷装置(标记识别方法)，可以有效地缩短一系列的印刷操作时间(生产节拍时间)中的标记识别单独操作所需的时间，而且由于可以有效缩短标记识别操作本身的时间，还可以有效地缩短元件安装生产线中的生产节拍时间。

此外，上述印刷装置是本发明所涉及的印刷装置(采用本发明所涉及的标记识别方法的印刷装置)的一个实施例，其具体结构或标记识别方法可以在不脱离本发明主旨的范围内适当进行变更。例如也可应用如下的结构(方法)。

在上述实施例中，关于基板专用数据的生成(仅识别基板W的标记M1～M4时的识别顺序的设定)，虽然以摄像机头部40的初始位置HP为基准，将距离该位置最远的位置(坐标)上的标记作为第一个识别标记，以此作为条件来生成该数据(上述条件(2))，但是也可以设定为离初始位置HP最远的标记以外的标记。但是，利用完成基板W向印刷台3的搬入之前的时间将摄像机头部40移动到第一个标记识别位置上，由此缩短标记识别单独的操作时间，从该观点出发，较为理想的是，将距离初始位置HP最近的标记以外的标记作为第一个识别标记，最为理想的是，像实施例那样设定为离初始位置HP最远的标记。

此外，在实施例中，除该条件(上述条件(2))以外，虽然以选择标记识别操作中的摄像机头部40的总移动时间最小者(上述条件(1))作为条件来生成基板专用数据，但是也可仅根据条件(1)或(2)中的其中一个条件来生成该基板专用数据。

此外，在实施例中，作为识别掩模片25的基准标记Ma时的识别顺序数据，虽然生成掩模片专用数据和混合数据这两种数据，但是例如也可仅生成混合数据来进行标记识别。

即，在实施例中，当需要识别掩模片25的基准标记Ma时，且基板W向印刷台3的搬入未完成时(图12的步骤S310中为否)，仅对该标记Ma实施识别操作，以利用完成基板W的搬入之前的时间对该标记Ma进行识别(步骤S311)。因此，虽然从仅对该标记Ma实施识别操作的必要性出发，需要采用掩模片专用数据，但是例如也可以仅生成混合数据，始终一体识别掩模片25和基板W的各个标记Ma、M1～M4。此时，基板W向印刷台3的搬入无论是否完成都开始标记的拍摄操作，当基板W的搬入完成时依次拍摄全部的各个标记Ma、M1～M4，另一方面，当基板W的搬入未完成时，按照可拍摄的顺序对标记Ma、M1～M4进行拍摄，关于其余的标记Ma、M1～M4，等待基板W的搬入完成后再进行拍摄即可。例如，作为后者的一个具体例子，当第一个标记为掩模片25的标记Ma、第二个标记为基板W的掩模片M1时，拍摄掩模片25的标记Ma后，预先将摄像机头部40配置到基板W的标记M1的识别位置上，基板W向印刷台3的搬入完成后，依次拍摄该标记M1以后的各个标记Ma、M1～M4即可。

此外，摄像机头部40的初始位置HP(待机位置)，也可以不仅仅固定在横梁36的X轴方向中央。印刷结束后，基板W下降，解除与掩模片25的叠合，在摄像机头部40可以向掩模片25和基板W之间的空间移动前，也可使摄像机头部40先在X轴方向上移动，与第一个标记的X轴坐标一致。此时，在设定第一个标记时，将在Y轴方向上距离X轴方向上具有长度(宽度)的初始位置HP最远的位置(坐标)的标记作为第一个拍摄标记。同样，在设定最后拍摄的标记时，将在Y轴方向上具有X轴方向上具有长度的初始位置HP最近的位置的标记作为最后一个拍摄标记。

此外，在设定第一个标记时，虽然较为理想的是选择距离初始位置HP最远的位置的标记，但是选择距离初始位置HP最近位置的标记以外的标记，也可以缩短生产节拍时间。同样，在设定最后一个标记时，虽然较为理想的是选择距离初始位置HP最近的位置的标记，但是选择距离初始位置HP最远的位置的标记以外的标记也可以缩短生产节拍时间。

第2实施例

利用图16～图32对本发明的第2实施例进行说明。

本实施例，当使构成摄像装置的带有摄像机的移动部从当前位置向目标位置移动时，如果连接两个位置的直线上存在干扰物，则使上述带有摄像机的移动部沿着绕过干扰物的迂回路线进行移动，从而避免与该干扰物发生干扰。

较为理想的是，像第1实施例那样，力求拍摄、安装作业的高效化地生成标记识别顺序数据，同时使摄像装置在完成对象基板向上述印刷台的搬入之前开始向第一个识别位置移动，并在带有摄像机的移动部移动时，通过本实施例的方式避免与干扰物发生干扰。

图16～图20表示本实施例的印刷装置的机械结构。与第1实施例相同的部分标注相同的符号，并省略说明。

在本实施例的印刷装置中，在升降工作台18上，对应于一对主传送带2B之间，设有可通过滑动支柱21在上下方向上升降自如的支撑工作台(backup table)29。此外，在该支撑工作台29和升降工作台18之间设有滚珠丝杠机构(图示省略)，通过驱动该滚珠丝杠机构使支撑工作台19相对于升降工作台18在上下方向上移动。如图19所示，在该支撑工作台19的上表面一侧，以矩阵状设有多个销安装孔(图示省略)，在规定的销安装孔内，垂直配置地插着用于支撑基板W的多个支撑销29a。通过支撑工作台29的上升将主传送带2B上的基板W移送到支撑销29a上，使其向上方移动，并通过下降将支撑销29a上的基板W移送到主传送带20一侧。

此外，在配置于掩模片保持单元6下方的可移动的横梁36上，在Y轴方向的一侧(后侧)安装有清扫器9，同时在Y轴方向的另一侧(前侧)，设有沿横梁长度方向(X轴方向)移动自如的滑块361，在该滑块361上安装有作为带有摄像机的移动部(摄像装置)的带有摄像机的单元70。

滑块361由未图示的伺服电机(驱动装置)进行驱动，沿着横梁36在X轴方向上移动。因此，带有摄像机的单元70，可以通过滑块361在X轴方向上的移动和横梁36在Y轴方向上的移动而在X轴和Y轴方向上移动。

带有摄像机的单元70，具有掩模片识别摄像机71、基板识别摄像机72和印刷状态检查摄像机73共3台摄像机及支撑销插拔机构79。

掩模片识别摄像机71，例如由包括照明的CCD摄像机等构成，其朝上设置，可以拍摄位于带有摄像机的单元70的上侧的掩模片25。该掩模片识别摄像机71，在安装了新的掩模片25等情况下，通过拍摄设置在掩模片25上的定位标记，进行用于检测掩模片位置的拍摄，或在由清扫器9对掩模片51进行清扫时，进行用于确认其清扫是否正常进行等清扫状态的拍摄等。

掩模片识别摄像机71形成下述结构：随着借助移动横梁36向X轴方向移动和借助滑块361向Y轴方向移动的带有摄像机的单元7的移动，在XY方向(水平方向)上自如地移动，可在对应于掩模片25的印刷面整个区域的范围内移动。

基板识别摄像机72，例如由包括照明的CCD摄像机等构成，其朝下设置，以便可以拍摄位于带有摄像机的单元70下侧的基板W。该基板识别摄像机72，为了与掩模片25对准位置，通过拍摄印刷台3上的基板W上设置的位置标记等，进行用于检测基板位置的拍摄。

基板识别摄像机72形成下述结构：随着带有摄像机的单元70的移动，在水平面内自由移动，可以在对应于印刷台上的基板整个区域的范围内移动。

印刷状态检查摄像机73，例如由包含照明的CCD摄像机等构成，其朝下设置，以便可以拍摄位于带有摄像机的单元70下侧的基板W。

该印刷状态检查摄像机73，进行用于确认印刷在基板W上的膏状焊料S是否正常涂敷等印刷状态的拍摄。

印刷状态检查摄像机73，同上所述，形成下述结构：随着带有摄像机的单元70的移动，在水平面内自由移动，可以在对应于印刷台上的基板整个区域的范围内移动。

另外，在本实施例中，基板摄像机包括基板摄像机72和印刷状态检查摄像机73。

支撑销插拔机构79，具有可以自由地对上述支撑工作台29上的支撑销29a进行夹持或解除夹持的卡盘(chuck)装置(图示省略)。

另外，支撑销插拔机构79，形成下述结构：随着借助移动横梁36和滑块361的移动而进行移动的带有摄像机的单元70的移动，在水平面内自由移动，可以在支撑工作台29上的支撑销插装区域(基板支撑区域)的范围内移动。

此外，在印刷台3的前部设有用于储存支撑销29a的销站(pinstation)791(参照图22等)，支撑销插拔机构79，形成可随着移动横梁36和滑块31的移动进入销站791的结构。

通过支撑销插拔机构79，可以在支撑工作台29上附加支撑销29a，或从支撑工作台29上拆除规定的支撑销29a，或将支撑工作台29上的规定的销29a更换到别的位置上。即，在支撑工作台29上附加支撑销29a时，使支撑销插拔机构79移动到销站791，用支撑销插拔机构79的卡盘装置来保持支撑销29a。然后，在该保持状态下，使支撑销插拔机构79移动到支撑工作台29上的销附加位置，将销29a插装到该位置上后，解除对销29a的保持。由此可以附加新的支撑销29a。另外，在支撑工作台29上拆除规定的销29a时，使支撑销插拔机构79移动到该销上，保持该销29a。然后，在该保持状态下，使支撑销插拔机构79移动到销站791，将销29a插装到销站791中以后，解除对销29a的保持，从而可以拆除支撑工作台29上的支撑销29a，移动到销站791中。此外，将支撑工作台29上的规定的销29a更换到别的位置上时，由销插拔机构29保持更换前的销29a，移动到预定的更换位置后插装在该处。

这样通过设置支撑销插拔机构79，可以根据需要适当变更支撑工作台79上的支撑销29a的配置或个数。

下面，对本实施例中的带有摄像机的单元70和清扫器9的移动范围进行说明。

首先，如图22所示，带有摄像机的单元70的掩模片识别摄像机71，如上所述，需要对应于掩模片25的印刷面整个区域进行移动，此外，如图22所示，为避免印刷过程中与印刷台3发生干扰，需要移动退避到印刷台3的后方，另外，为方便操作者进行保养检查等，如图23所示，需要移动到印刷面附近。在图中标出该移动所需的范围，为该图中虚线所包围的移动所需范围A1。

此外，带有摄像机的单元70的基板摄像机72、73，如前所述，需要对应于基板W进行移动，此外，还需要从后端的退避位置移动到前端的保养检查位置。此处，对应于基板W的区域，由于设定为与上述掩模片25的印刷面区域基本相同，所以基板摄像机72、73移动所需的范围(移动所需范围)，同上所述，与图22、图23的移动所需范围A1一致。

另外，支撑销插拔机构79，同上所述，包含与基板W对应的区域，需要在从后端的退避位置(参照图22)到前端的保养检查位置(参照图23)的范围内进行移动，该移动所需的范围，同上所述，与图22、图23的移动所需范围A1一致。

另外，清扫器9，如前所述，需要在掩模片25的印刷面整个区域内移动，此外，还需要从后端的退避位置(参照图22)移动到前端的保养检查位置(参照图23)，至于Y轴方向，与上述移动所需范围A1一致。

此处，在将带有摄像机的单元70移动到移动所需范围A1的后端的状态下，如图22所示，清扫器9超出了移动所需范围A1，配置在该范围A1的后方。另外，如图24所示，在将配置在带有摄像机的单元70右侧的印刷状态检查摄像机73移动到移动所需范围A1的左端的状态下，配置在带有摄像机的单元70左侧的支撑销插拔机构79超出了移动所需范围A1，配置在该范围A1的左方。反之，如图25所示，在将配置在带有摄像机的单元左侧的支撑销插拔机构79移动到移动所需范围A1右端的状态下，带有摄像机的单元右侧的印刷状态检查摄像机73向右超出了移动所需范围A1。此外，如图23所示，在为了方便保养检查而将清扫器9移动到移动所需范围A1前端的状态下，配置在清扫器9前方的带有摄像机的单元70向前超出了移动所需范围A1。

这样，带有摄像机的单元70和清扫器9，可在比移动所需范围A1大出一圈的范围内进行移动，该可移动的范围，在图22～25中用虚线所包围的可移动范围A2表示。

在本实施例中，在可移动范围A2中的移动所需范围A1的外侧，具体而言，在装置附近的两侧，如上所述，配置有支撑刮板保持单元7、掩模片保持单元6、带有摄像机的单元70等的支柱60。这样，在本实施例中，在带有摄像机的单元70的可移动范围A2内配置有支柱60，虽然表面上看来，带有摄像机的单元70有可能与支柱60发生干扰，但实际上通过后述的迂回移动装置，可以切实地防止带有摄像机的单元7与支柱60发生干扰。

图21是表示该印刷装置的控制系统的方框图。如该图所示，在该装置中，设有CPU100作为控制整个装置的操作的控制装置。

CPU100，通过电动机驱动部101和电动机驱动电路111对各种伺服电机的驱动进行控制。作为受控制的电动机驱动部，例如，除了用于使摄像机71～73等带有摄像机的单元70及清扫器9移动的伺服电机37等之外，还有用于使各传送带11、12、20进行移动的移动用伺服电机、各个工作台21、22、23、24、29的移动用伺服电机等。

另外，CPU100，通过I/O处理部102和I/O驱动电路112，对各种气缸等各种促动器的驱动进行控制，同时获取来自各种传感器的信息，并对该信息进行处理。

此外，CPU100，通过图像处理部103和图像处理电路113从各摄像机71～73获取图像信息，并对该图像信息进行处理。另外，CPU100，通过程序处理部104从程序存储部114获取程序信息，同时通过输入装置控制部106获取来自键盘等各种输入装置的输入信息，对上述信息进行处理，并通过图像显示输出部105将规定的信息显示在显示器等图像显示装置115上。

另外，CPU100，以带有摄像机的单元7的初始位置作为基准，根据用于使带有摄像机的单元70移动的伺服电机37的转数数据等信息，通过测量X轴和Y轴方向的移动量，可以把握带有摄像机的单元70的位置(当前位置)。另外，CPU100，通过带有摄像机的单元的干扰判定部107，使带有摄像机71～73等摄像机的单元70移动时从当前位置、目标位置和干扰物(支柱60)的位置关系出发，如后所述，事先对带有摄像机的单元70是否会与支柱60发生干扰做出判断。并根据该判定结果，使带有摄像机的单元70避免与支柱60发生干扰，移动到目的位置上。在此，在本实施例中，由CPU100、电动机驱动部101、电动机驱动电路111、带有摄像机的单元干扰判定部107等构成移动控制装置。而且，该移动控制装置中，包含迂回移动装置和直进移动装置。

在本实施例的印刷装置中，CPU100响应来自键盘等输入装置的指令而工作，自动地执行以下操作。

首先，印刷极板W从上游侧传送带2A被搬入到主传送带2B，该基板W由主传送带2B一直搬送到规定位置(图26的步骤ST1)。

接着，支撑工作台29上升，以将主传送带2B上的基板W支撑在支撑销29a上，进而在基板W的上表面高度位置与夹片4a、4a的上表面高度位置基本一致的状态下，闭合夹片4a、4a，将基板W夹入并保持在夹片4a、4a中(步骤ST2)。

然后，由基板识别摄像机72对基板W上形成的标记进行拍摄，从而在固定在印刷台3上的状态下识别基板W的位置或基板W的种类(步骤S3)。具体而言，如图27所示，识别次数(拍摄次数)的计数器清零(步骤ST31)，由CPU100获取基板W上应第一个识别的标记位置(步骤ST32)。接着，基板识别摄像机72移动到该识别位置(拍摄位置)上(步骤ST33)。

另外，如上所述，基板识别摄像机72并非单独移动，而是通过带有摄像机的单元70的移动，与其他摄像机71、73和支撑销插拔机构79一起在X轴和Y轴方向上一体移动，而且在Y轴方向上，还包含清扫器9地一体进行移动。

接着，拍摄标记，进行标记识别(步骤ST34)。标记识别失败，未能识别出标记时(步骤ST35)，发生识别错误，装置操作(印刷操作)停止(步骤ST38)，根据需要在监视器等上显示错误，或发出警示音。

此外，如果标记识别正确(步骤ST35中为是)，则将识别次数加1(步骤ST36)，同上所述，进行下一标记的识别(步骤ST37中为否，S32～S36)。这样一来，基板W的全部标记识别完成后(步骤ST37中为是)，可以正确把握基板W的位置。

在此，本实施例中，当在由基板识别摄像机72进行识别处理的过程中(步骤ST3)移动带有摄像机的单元70时，按照图28所示的移动控制处理进行移动。首先，由CPU100获取带有摄像机的单元70的当前位置、目标位置(下一拍摄位置)(步骤ST101)。

接着，由CPU100，求出连接当前位置和目标位置的直线，判定该直线上是否配置有作为干扰物的支柱60(步骤ST102)。

另外，当求取带有摄像机的单元70的位置时，以带有摄像机的单元70的基准点Ps(参照图22等)的位置作为基准来测量当前位置及目标位置并求取连接两位置的直线。此时，该直线虽然通常作为不具有面积的线段进行处理，但在本实施例中连接两位置的直线作为具有与带有摄像机的单元的尺寸相对应的面积的线段来处理。即，本实施例中，连接两位置的直线上配置有支柱60的情况是指，带有摄像机的单元70沿着该直线平行移动时，从俯视看，带有摄像机的单元70至少有一部分与支柱60发生干扰的情况(叠合的情况)。此外，本实施例中连接两位置的直线上未配置有支柱60的情况是指，带有摄像机的单元在该直线上平行移动时，带有摄像机的单元70未与支柱60发生干扰的情况(未叠合的情况)。

如图30所示，判定在连接当前位置P1和目标位置P2的直线上未配置有支柱60时(图28的步骤ST102为否)，带有摄像机的单元70沿着直线L上的最短路线(直进路线)Q1从当前位置P1移动到目标位置P2(步骤ST103)。

此外，如图31所示，在连接当前位置P1和目标位置P2的直线L上配置有支柱60时(步骤ST102为是)，带有摄像机的单元70沿着绕过支柱60的迂回路线Q2从当前位置P1移动到目标位置P2，以避免与支柱60发生干扰(步骤ST104)。

另外，在本实施例中，迂回路线Q2的求法不受特别限制，例如可采用从能避免与支柱60发生干扰且由2条直线构成的折线状路线中确定距离最短的路线作为迂回路线Q2的方法等。

此外，在本发明中，迂回路线Q2的结构不受特别限制，可以是由3条以上的直线构成的折线状路线、曲线状路线或折线和曲线的组合路线。

通过拍摄上述基板(图26的步骤ST3)识别基板W的位置以后，由掩模片识别摄像机71拍摄在掩模片25上形成的标记，以识别掩模片25的种类或位置(步骤ST4)。具体而言，如图14所示，将识别次数(拍摄次数)的计数器清零(步骤ST41)，由CPU100获取掩模片25上的应第一个识别的标记位置(步骤ST42)。接着，掩模片识别摄像机71移动到该识别位置(拍摄位置)上(步骤ST43)。

另外，该摄像机的移动，也与上述图28、图30、图31的摄像机移动控制处理同样地进行。即，获取当前位置和目标位置(步骤ST101)，当连接两位置的直线上未配置有干扰物(支柱60)时(步骤ST102为否)，带有摄像机的单元70沿着该直线上的最短路线Q1移动(步骤ST103)，另一方面当连接两位置的直线上配置有干扰物时(步骤ST102为是)，带有摄像机的单元70沿着绕过干扰物的迂回路线Q2移动。

摄像机完成移动后(图14的步骤ST43)，由摄像机71拍摄标记，开始识别标记(步骤ST44)。当标记识别失败，未能识别出标记时(步骤ST45为否)，发生识别错误，停止操作(步骤ST48)，根据需要进行错误显示等。

此外，如果标记识别正确(步骤ST45为是)，则将识别次数加1(步骤ST46)，同上所述进行下一标记的识别(步骤ST47为否，ST42～ST46)。这样，掩模片25的全部标记识别完成后(步骤ST47为是)，可以正确地把握掩模片25的位置。

掩模片标记的识别(图26的步骤ST4)，通常是在设置了新掩模片25时进行的，对一种掩模片25只识别一次。

另外，如图26所示，简单地按步骤ST1～ST4的顺序执行基板搬入、固定和标记识别的处理，较为理想的是，如上述第1实施例那样，在完成基板的搬入、固定之前，开始向标记识别位置移动。此外，较为理想的是，在该流程图的处理之前，生成上述第1实施例所示的标记识别顺序数据(图11的步骤S2、图13)。

通过拍摄上述掩模片(图13的步骤ST4)识别掩模片标记以后，升降工作台24上升一些，主传送带2B向两侧传送带2A、2C的上方脱出，然后根据需要，Y轴工作台12、X轴工作台14和R轴工作台16适当地在Y轴、X轴和R轴方向上移动，对基板W相对于掩模片25在水平方向上的位置进行微调。随后，升降工作台18上升，使基板W的上表面与掩模片25的下表面叠合地进行叠置(步骤ST5)。

随后，刮板单元7的其中一侧的刮板33下降，沿掩模片25在Y方向上移动，从而扩展供给到掩模片25上的作为糊剂的膏状焊料S，使膏状焊料S通过掩模片25的图形孔印刷(涂敷)到基板W的规定位置上(步骤ST6)。

另外，本实施例中，对接受印刷处理的每个基板W，交替使用一侧和另一侧的刮板33、33。即，使一侧刮板33从一端区域向印刷区域滑动的一个方向移动的印刷处理和使另一侧刮板33从另一端区域向印刷区域滑动的另一方向移动的印刷处理，在接受处理的每个基板W上交替进行。

在基板W上涂敷膏状焊料S后，升降工作台18下降，基板W脱离掩模片25而离版(步骤ST7)。

接着，由印刷状态检查摄像机73拍摄基板W，确认印刷状态(步骤ST8)。即，通过带有摄像机的单元70的移动，使印刷状态检查摄像机73移动到基板W上的应第一个确认的位置，对该位置进行拍摄，确认印刷状态。以下同样地，摄像机73向下一个应确认的位置移动，对该位置进行拍摄，确认印刷状态。这样，在基板W上的所需的多个位置上确认印刷状态。

在本实施例中，进行该印刷状态确认处理的摄像机的移动，也与上述图28、图30、图31的摄像机移动控制处理同样地进行。即，获取当前位置和目标位置(步骤ST101)，当连接两位置的直线上未配置有干扰物(支柱60)时(步骤ST102为否)，带有摄像机的单元70沿着该直线上的最短路线Q1移动(步骤ST103)，另一方面当连接两位置的直线上配置有干扰物时(步骤ST102为是)，带有摄像机的单元70沿着绕过干扰物的迂回路线Q2移动。

在该印刷状态确认处理过程中，当未能正确进行印刷状态的确认时，发生印刷状态确认错误，例如装置操作(印刷操作)停止，在显示器等上显示错误，或发出警示音。

另外，在本实施例中，虽然分别设置识别基板位置的摄像机72和识别印刷状态的摄像机73，但本发明中，也可以由1台摄像机兼用作上述两台摄像机。

确认印刷状态后(步骤ST8)，基板W的水平位置返回原位置，升降工作台18下降，同时夹片4a、4a放开，解除对基板W的保持(步骤ST9)。一边使升降工作台18降至初始的下降位置，一边使支撑工作台29下降，基板W从支撑工作台29上移送到主传送带2B上。

随后，基板W从主传送带2B转移到下游侧传送带2C，由该下游侧传送带2C搬出到规定位置(步骤ST10)。

接着，进行对掩模片25的清扫处理(步骤ST11)。即，通过移动横梁36的移动，使清扫器9移动到掩模片25的后端位置，清扫头部44上升，与掩模片25的下表面抵接。清扫器9在该状态下向掩模片25的前方移动，在前端位置处折返，返回后端位置，由此对掩模片25进行清扫。

清扫处理完成后，确认清扫是否正常进行。即，掩模片识别摄像机71，移动到掩模片25上应第一个确认的位置，对该位置进行拍摄，确认粘污情况等清扫状态。以下同样地，摄像机71向下一应确认的位置移动，对该位置集进行拍摄，确认清扫状态。如此，在掩模片25上的所需的多个位置上确认清扫状态。另外，在清扫状态不佳时，再次进行清扫。

进行该清扫状态确认处理的摄像机的移动，也与上述图28、图30、图31的摄像机移动控制处理同样地进行，当连接当前位置和目标位置的直线上未配置有干扰物时，带有摄像机的单元70沿着该直线上的最短路线Q1移动，另一方面当连接两位置的直线上配置有干扰物时，带有摄像机的单元70沿着绕过干扰物的迂回路线Q2移动。

另外，在本实施例中，虽然将用于识别掩模片位置的摄像机71作为用于确认掩模片25的清扫状态的摄像机，但并非仅限于此，本发明中，也可分别设置掩模片位置确认用的摄像机和掩模片清扫状态确认用的摄像机。

清扫处理(步骤ST11)完成后，变更支撑工作台29上的支撑销29a的插装配置状态时，例如从下次开始处理形状或尺寸不同的基板W等情况下，对支撑销29a进行插拔处理(步骤ST12)。

支撑销29a的插拔处理，如上所述，是从销站791将支撑销29a附加到支撑工作台29上，或从支撑工作台29上拆除规定的支撑销29a并移送到销站791中，或将支撑工作台29上的规定的销29a更换到别的位置上。

另外，在本实施例中，进行该支撑销插拔处理时的支撑销插拔机构79的移动(带有摄像机的单元的移动)，也与上述图28、图30、图31的带有摄像机的单元移动控制处理同样地进行。即，当连接当前位置和目标位置的直线上未配置有干扰物时，带有摄像机的单元70沿着该直线上的最短路线Q1移动，另一方面当连接两位置的直线上配置有干扰物时，带有摄像机的单元70沿着绕过干扰物的迂回路线Q2移动。

此外，本实施例中，当为了检查摄像机71～73、支撑销插拔机构79、清扫器9，而使装置临时停止工作，使带有摄像机的单元70向前方移动时，也执行上述移动控制处理。即，该移动时也是同样的，当连接当前位置和目标位置的直线上存在有干扰物时，带有摄像机的单元70沿着绕过干扰物的迂回路线Q2移动。

如上所述，如果采用本实施例的印刷装置，由于在带有摄像机的单元70的可移动范围A2内还配置了支柱60等装置构成元件，所以与以往支柱60等配置在可移动范围A2外侧的装置相比，可以有效地配置支柱60等构成元件，实现装置的小型化。即使可移动范围A2扩大到能够处理尺寸特别大的基板W，也可以切实地防止装置的大型化，进而可以节省整个安装生产线的空间。

作为参考，在现有印刷装置中，如图32所示，通常是在可移动范围A2内一概不配置支柱等干扰物，而将支柱60等配置到可移动范围A2外侧，该现有装置，与图30、图31的本实施例的印刷装置相比，装置趋于大型化。另外，为了容易理解发明，图32中，相当于本实施例的装置的部分，标注相同的符号。

此外，采用本实施例的印刷装置，在移动带有摄像机的单元70时，如果连接当前位置P1和目标位置P2的直线L上不存在支柱60，则沿着该直线上的最短路线Q1移动带有摄像机的单元70，所以可以快速有效地进行带有摄像机的单元70的移动，改善生产效率。而且，在连接当前位置P1和目标位置P2的直线L上存在支柱60的情况下，沿着绕过支柱60的迂回路线Q2移动带有摄像机的单元70，以避免与支柱60发生干扰，所以可以切实地防止带有摄像机的单元70与支柱60发生干扰这类问题，从而确保足够的操作可靠性。

此外，本实施例中，在带有摄像机的单元70上安装有3台摄像机71～73和支撑销插拔机构79，用一台移动装置(移动横梁36、滑块361)使上述部件在规定范围内移动，所以与摄像机71～73和支撑销插拔机构79分别借助不同的移动装置进行移动时相比，可以削减零件数，实现装置的简化、小型化和轻量化。

另外，本实施例中，清扫器9的移动装置(移动横梁36)兼用作带有摄像机的单元70的移动装置，所以可以进一步削减零件数，可以进一步实现简化、小型化和轻量化。

另外，在上述实施例中，虽然以带有摄像机的单元70中安装有3台摄像机71～73和支撑销插拔机构79的情况为例进行了说明，但并非仅限于此，本发明中，带有摄像机的单元70上至少安装1台以上的摄像机即可，也可以不设置支撑销插拔机构等。另外，摄像机安装单元70中还可以安装摄像机及支撑销插拔机构以外的元件。

此外，上述实施例中，作为支撑基板的机构，虽然采用了销类机构，但并非仅限于此，在本发明中，作为支撑机构，也可使用平坦的工作台类型的机构。

Claims (18)

1.一种标记识别方法，是用于将掩模片叠置在印刷台所保持的基板上，经由上述掩模片印刷糊剂，并在该印刷操作前使用可移动的摄像装置拍摄、识别基板上所设置的多个标记的印刷装置的上述标记的识别方法，其特征在于：

按照预先设定的识别顺序移动上述摄像装置，以拍摄各个标记，并使上述摄像装置在对象基板向上述印刷台的搬入操作完成之前开始向该标记识别操作过程中的第一个识别位置移动。

2.根据权利要求1所述的标记识别方法，其特征在于：

将上述标记中、当上述掩模片被叠置在基板上时距离位于该基板外侧区域中的上述摄像装置的待机位置最远的标记以外的标记作为最后一个识别标记，以此作为设定条件来设定标记的识别顺序，并按照该设定顺序来移动摄像装置，由此对各个标记进行拍摄。

3.根据权利要求1或2所述的标记识别方法，其特征在于：

将上述标记中、当上述掩模片被叠置在基板上时距离位于该基板外侧区域中的上述摄像装置的待机位置最近的标记以外的标记作为第一个识别标记，以此作为设定条件来设定标记的识别顺序，并按照该设定顺序来移动摄像装置，由此对各个标记进行拍摄。

4.根据权利要求3所述的标记识别方法，其特征在于：

以位置距离上述待机位置最远的标记作为第一个识别标记来设定标记的识别顺序。

5.根据权利要求1或2所述标记识别方法，其特征在于：

设定上述标记的拍摄顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小。

6.根据权利要求1或2所述的标记识别方法，其特征在于：

在对象基板向上述印刷台的搬入操作完成之前，预先将摄像装置设置在第一个识别位置。

7.根据权利要求1所述的标记识别方法，其特征在于：

预先设定上述识别顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小。

8.根据权利要求1所述的标记识别方法，其特征在于：

上述摄像装置，除了上述基板的标记之外，还可移动地拍摄设在掩模片上的多个标记，并一体设有从上述掩模片的下侧拍摄该掩模片的标记的第1摄像部和从上述基板的上侧拍摄该基板的标记的第2摄像部；

将上述掩模片的标记和上述基板的标记作为一体来预先设定上述识别顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小。

9.一种印刷装置，包括：掩模片；印刷台，可以相对于上述掩模片相对移动；和摄像装置，在上述掩模片与印刷台分离的状态下，可在位于掩模片和印刷台之间的作业区域与处于该区域外侧的待机位置之间进行移动，并可对基板上所设置的标记进行拍摄；经由上述掩模片向上述印刷台所保持的基板上印刷糊剂，并在该印刷操作前使用摄像装置拍摄、识别上述标记，其特征在于：

包括：顺序设定装置，设定上述标记的拍摄顺序；和

控制装置，按照上述顺序设定装置所设定的顺序来移动上述摄像装置，以拍摄各个标记，并对上述摄像装置进行驱动控制，以使该摄像装置在对象基板向上述印刷台的搬入操作完成之前开始向第一个识别位置移动。

10.根据权利要求9所述的印刷装置，其特征在于：

上述顺序设定装置，将上述标记中、距离摄像装置的上述待机位置最远的标记以外的标记作为最后一个识别标记，以此作为设定条件来设定标记的识别顺序。

11.根据权利要求9所述的印刷装置，其特征在于：

上述顺序设定装置，将上述标记中、距离摄像装置的上述待机位置最近的标记以外的标记为第一个识别标记，以此作为设定条件来设定上述标记的拍摄顺序。

12.根据权利要求9所述的印刷装置，其特征在于：

上述控制装置包括移动装置，该移动装置使上述摄像装置在规定的可移动范围内进行移动，该摄像装置由具有摄像机的带有摄像机的移动部构成；

上述移动装置包括迂回移动装置，当上述带有摄像机的移动部通过上述移动装置从当前位置向目标位置移动时，若连接上述两个位置的直线上存在干扰物，该迂回移动装置则使上述带有摄像机的移动部沿着绕过干扰物的迂回路线进行移动，以避免其与干扰物产生干扰。

13.根据权利要求9所述的印刷装置，其特征在于：

上述顺序设定装置设定上述标记的拍摄顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小。

14.根据权利要求9所述的印刷装置，其特征在于：

上述摄像装置，除了上述基板的标记之外，还可移动地拍摄设在掩模片上的多个标记，并一体设有从上述掩模片的下侧拍摄该掩模片的标记的第1摄像部和从上述基板的上侧拍摄该基板的标记的第2摄像部；

上述顺序设定装置将上述掩模片的标记和上述基板的标记作为一体来设定上述标记的识别顺序，以使上述摄像装置的总移动时间为最小。

15.根据权利要求14所述的印刷装置，其特征在于：

上述控制装置包括移动装置，该移动装置使摄像装置在规定的可移动范围内进行移动，该摄像装置由具有摄像机的带有摄像机的移动部构成；

上述移动装置包括迂回移动装置，当上述带有摄像机的移动部通过上述移动装置从当前位置向目标位置移动时，若连接上述两个位置的直线上存在干扰物，该迂回移动装置则使上述带有摄像机的移动部沿着绕过干扰物的迂回路线进行移动，以避免其与干扰物产生干扰。

16.根据权利要求12所述的印刷装置，其特征在于：

上述移动装置还包括直进移动装置，若连接上述两个位置的直线上不存在干扰物，该直进移动装置则使上述带有摄像机的移动部沿着该直线上的最短路线进行移动。

17.根据权利要求12所述的印刷装置，其特征在于：

上述带有摄像机的移动部，具有用于拍摄基板的基板摄像机和用于拍摄掩模片的掩模片识别摄像机。

18.根据权利要求12所述的印刷装置，其特征在于：

在用于配置基板的印刷台上设置了用于支撑基板的支撑销，

在上述带有摄像机的移动部上设置了相对于上述印刷台对上述支撑销进行插拔的支撑销插拔机构。

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