CN1920507A - 压力传感器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种压力传感器，能克服为了降低成本而使圆筒型成型波纹管配置成串联状或同心圆状的压力传感器的缺点，即对来自与轴向垂直的方向的冲击的强度降低。该压力传感器具备：具有第一压力输入口(3a)和第二压力输入口(4a)的气密壳体(2)；具有与第一压力输入口连通的轴孔的圆筒型第一波纹管(10)；具有与第二压力输入口连通的轴孔、且与第一波纹管串联状配置的圆筒型第二波纹管(12)；固定配置于第一和第二波纹管各自的另一端之间的振动元件粘接底座(15)；由振动元件粘接底座支撑的薄板状压电振动元件(20)，压电振动元件的一端固定在第二壁面，另一端固定于振动元件粘接底座，气密壳体的内壁和振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件(50)连接。

Description

压力传感器
技术领域
本发明涉及压力传感器的改良，该压力传感器使用在石英基板等压电基板上形成有电极图案的压电振动元件，特别涉及使用通过在轴向施加压力来改变共振频率的压电振动元件的压力传感器。
背景技术
以往，公知有水压计、气压计、差压计等使用石英振动元件作为检测元件的压力传感器。石英振动元件具有在板状的石英基板上形成电极图案的结构，其中利用在其轴向施加压力时共振频率发生变化的性质来检测压力变化的是压力传感器。
在使用石英振动元件的压力传感器中，共振频率与所施加的压力大致成比例(二次曲线)地变化，因此使用二次方程式对频率变化量和施加压力的关系进行校正而能够实现高精度的压力测定。
但是，为了实现高精度的压力测定，产生了结构复杂化、制造成本增加的问题。即，专利文献1的第4图所示的现有的压力传感器，构成为具备：在壁面上具有压力输入口且内部保持为真空或惰性气体气氛的壳体；使一端开口侧固定于所述壳体的壁面上的电沉积波纹管；连接于所述波纹管另一端上的力传递部件；通过挠性铰链与力传递部件连接的振动元件支撑部件；以及通过力传递部件和振动元件支撑部件分别支撑两端部的板状的石英振动元件。振动元件支撑部件的基部固定于壳体内壁，并且在与力传递部件的连接部上具有挠性铰链(枢轴)。
在该现有例中，为了实现高精度的测定，需要采用将气体和液体的压力变换为机械力的弹簧常数非常小的电沉积波纹管和中间变细部的较细的挠性铰链，由于这些零件成本较高而导致产品整体成本增加。另外，专利文献1的第7图所示的类型是在壳体的相对的壁面之间串联配置有两个电沉积波纹管，其与上述现有例同样地，需要采用弹簧常数非常小的电沉积波纹管和中间变细部的较细的挠性铰链，成本更高。
为了降低成本，也提出了使用廉价的成型波纹管或取消了挠性铰链的结构的力传递部件的类型的压力传感器，但是在该类型的压力传感器中，当所施加的压力增加时，由于对石英振动元件产生了轴向力以外的弯曲应力分量，不能获得线性的频率变化(二次方程式)，而产生含有三次系数的三次曲线关系，因此存在通过二次方程式对频率变化量和施加压力的关系进行校正的精度降低的缺点。
本申请人为了克服该缺点而在日本特愿2004-205566中提出一种压力传感器，在气密壳体内将两个廉价的圆筒型的成型波纹管配置为串联状或者同心圆状，并且通过配置于两波纹管端部之间的底座来支撑石英振动元件。
但是这种类型的压力传感器的缺点在于，对抗来自与圆筒型的波纹管的轴向垂直的方向(X轴方向)的冲击的强度较弱。
专利文献1：日本特开昭56-119519号公报
专利文献2：日本特愿2004-205566
发明内容
本发明针对上述问题而提出，目的在于提供一种压力传感器，能够克服为了降低成本而使圆筒型的成型波纹管配置为串联状或同心圆状的压力传感器的缺点，即对抗来自与轴向垂直的方向的冲击的强度降低。
为了实现上述目的，本发明的第一方面为一种压力传感器，该压力传感器具备：气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口；圆筒型的第一波纹管，该第一波纹管的一端固定在该第一壁面上，且该第一波纹管具有与第一压力输入口连通的轴孔；圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管的一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔，且该第二波纹管与第一波纹管串联状配置；振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一和第二波纹管的各自的另一端之间；薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，其特征在于，所述压电振动元件的一端固定在所述第二壁面上，且另一端固定于所述振动元件粘接底座上；在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面和所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板；在所述气密壳体的内壁和所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。
本发明的第二方面为一种压力传感器，该压力传感器具备：气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口；圆筒型的第一波纹管，该第一波纹管的一端固定在该第一壁面上，且该第一波纹管具有与第一压力输入口连通的轴孔；圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管的一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔；振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一和第二波纹管的各自的另一端之间；薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，其特征在于，所述第一波纹管的直径比第二波纹管小，并且在第一波纹管的另一端从第二波纹管的另一端进入轴孔内的位置，利用所述振动元件粘接底座将该第一波纹管的另一端与第二波纹管的另一端之间进行固定；所述压电振动元件的一端被利用所述第二壁面固定，而且另一端固定于所述振动元件粘接底座上；在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面和所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板；在所述气密壳体的内壁和所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。
本发明之三为一种压力传感器，该压力传感器具备：气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口，并且具有将该第一和第二壁面之间进行连接的侧壁；平面型的第一波纹管，将该第一波纹管的外周缘固定在设置于第一壁面或侧壁上的支撑部上，从而在该第一波纹管的外周缘与第一壁面之间、或与第一壁面及侧壁之间，形成与第一压力输入口连通的第一气密空间，并且在侧壁与第二壁面之间形成第二气密空间；圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管配置于所述第二气密空间内，一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔，且与第一波纹管串联状配置；振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一波纹管的中心部与该第二波纹管的另一端之间；薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，其特征在于，所述压电振动元件的一端固定在所述第二壁面上，且另一端固定于所述振动元件粘接底座上；在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面与所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板；在所述气密壳体的内壁与所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。
本发明的第四方面为，根据本发明的第一方面、第二方面或第三方面，其特征在于，所述加强用弹性部件是加强用板簧，在所述振动元件粘接底座的外周上以预定的周向间隔配置有多个该加强用弹性部件。
本发明的第五方面为，根据本发明的第一方面至第四方面中的任一项，其特征在于，所述加强用弹性部件配置在与所述压电振动元件的配置部位对应的振动元件粘接底座的周向位置上以及与压电振动元件相对的振动元件粘接底座的周向位置上。
根据本发明第一、第二方面的压力传感器，利用如下原理：在保持为真空或惰性气体气氛的壳体内，串联或同轴状地配置两个圆筒型的波纹管，将由于施加于各波纹管的轴孔内的压力而产生的各波纹管的轴向位移力向配置在壳体内的压电振动元件传递，从而改变压电振动元件的共振频率，无需使用昂贵的电沉积波纹管和复杂的支撑机构，实现了廉价而高精度的压力传感器。另外，通过在振子粘接底座和气密壳体的内壁之间配置加强用弹性部件，能够提高对抗来自X轴方向的冲击的强度。
根据本发明之三，通过使一方的波纹管为平面型波纹管，能够减小压力传感器的轴向长度，另外即使对于另一方的圆筒型波纹管也能够使用具有必要的最小限度的直径尺寸的小型波纹管，从而能够减小径向尺寸。另外，通过在振子粘接底座和气密壳体的内壁之间配置加强用弹性部件，能够提高对抗来自X轴方向的冲击的强度。
根据本发明的第四方面，使加强用板簧在振子粘接底座的外周以预定的周向间隔配置有多个，从而能够应对来自X轴方向的多种冲击。
根据本发明第五方面，加强用弹性部件的配置部位选定为与压电振动元件相同的周向位置以及与压电振动元件相对的周向位置，能够提高对抗从X轴方向向压电振动元件施加的冲击、振动的耐久性。
附图说明
图1是表示本发明第一实施方式的压力传感器结构的剖面图。
图2(a)和(b)是表示本发明第二实施方式的压力传感器结构的内部结构说明图和剖面图。
图3是表示本发明第三实施方式的压力传感器结构的剖面图。
图4是表示第三实施方式的变形例的主要部分的结构的图。
标号说明
1压力传感器；2气密壳体；3、4壁面；3a、4a压力输入口；3A支撑部；5侧壁；5a支撑部；10、12第一波纹管；11第二波纹管；12a外周缘部；12b中心部；15振动元件粘接底座；16连接部件；20压电振动元件；21压电加强板；30振荡电路；50加强用板簧(加强用弹性部件)。
具体实施方式
下面根据附图所示实施方式对本发明进行详细说明。
图1是表示本发明第一实施方式的压力传感器结构的剖面图。
该压力传感器1具备：内部真空或者为惰性气体气氛的气密壳体2；在气密壳体2的相对的第一和第二壁面3、4上分别贯通形成的第一压力输入口3a和第二压力输入口4a；在第一壁面3上固定一端开口且具有与第一压力输入口3a连通的轴孔的圆筒型的第一波纹管10；在该第二壁面4上固定一端开口而具有与第二压力输入口4a连通的轴孔且与第一波纹管10串联状配置的圆筒型的第二波纹管11；固定配置于该第一和第二波纹管10、11的各另一端10a、11a之间的振动元件粘接底座15；由该振动元件粘接底座15支撑的薄板状的压电振动元件20；配置在与压电振动元件20之间夹着第二波纹管11且与压电振动元件20相对的位置上的压电加强板21；以及与压电振动元件上的电极图案导通的振荡电路30。压电振动元件20的一端固定在第二壁面4上而将另一端固定于振动元件粘接底座15。通过第二壁面4和振动元件粘接底座15来固定压电加强板21的两端部。
压电振动元件20例如构成为在石英基板上形成电极。
振动元件粘接底座15具有：在被两波纹管10、11的另一端部10a、11a夹持的状态下被固定的基部15a；以及从基部15a的外周朝向第二壁面4突出的支撑片15b，压电振动元件20和压电加强板21的另一端部都固定于支撑片15b。
各压力输入口3a、4a与各波纹管10、11内部的轴孔连通，并且各波纹管内的轴孔彼此通过振动元件粘接底座15的基部15a被保持为非连通状态。因此，由于从两压力输入口3a、4a输入的压力P1、P2的压力差而引起的波纹管的伸缩，使振动元件粘接底座15的位置向波纹管的轴向进退。在振动元件粘接底座15上固定一端而在第二壁面4上固定另一端的压电振动元件20，由于自振动元件粘接底座15传递来的压力而受到向轴向的机械应力，发生变形而使固有的共振频率改变。即，在将以气密状态配置于气密壳体2的适当位置上的振荡电路21，与构成压电振动元件20的、压电基板上的激励电极进行了连接的状态下，通过对激励电极通电而对压电基板进行激励，并根据此时的输出频率计算压力P1或压力P2。
根据本实施方式，当压力P1输入第一压力输入口3a时，对应于该压力的力施加于压电振动元件20和压电加强板21。由于压电加强板21的存在，仅对压电振动元件20施加来自长边方向(石英振动元件的情况下为Y轴方向)的力，压电振动元件原本的压力-频率特性表示为二次曲线。因此，压电振动元件20的共振频率对应于压力P1而呈线性变化，能够获得高精度的压力传感器。特别是由于波纹管可使用廉价的成型波纹管，从而不需要使用昂贵的电沉积波纹管。并且，由于对压电振动元件仅施加长边方向的力而不需要使用挠性铰链结构，能够简化压电振动元件的支撑结构。
另外，当串联配置该圆筒型波纹管时，在与波纹管的轴向垂直的方向(X轴方向)上施加冲击的情况下存在耐久性的问题，与上述相同。
为了缓和该冲击并防止压电振动元件20的破损，在本发明中，将由金属或其他弹性材料构成的加强用板簧(加强用弹性部件)50，在振动元件粘接底座15的适当位置，在该例中为跨过基部15a的外周和气密壳体2的内壁之间，以预定的周向间隔配置于多个位置。加强用板簧50例如以180度间隔配置两个，或者90度间隔配置四个等，可以配置任意个数。
即，各加强用板簧50将外侧端部固定于气密壳体的内壁，并且将内侧端部固定于振动元件粘接底座15，因此能够限制向振动元件粘接底座15的X轴方向的振动，从而发挥吸收和减弱施加自外部的来自同方向的冲击的作用。另外，加强用板簧50对于来自X轴方向的冲击、振动能够确保足够的强度并显著改善压力传感器的耐冲击性、耐振动性，同时由于加强用板簧50在Y轴方向上强度较低而相对于来自Y轴方向的压力能够维持与没有加强用板簧时同样的高灵敏度。即，加强用板簧50消除缓和从X轴方向对振动元件粘接底座15的冲击，因此相对于压电振动元件20仅施加来自Y轴方向的力，压电振动元件原本的压力-频率特性表示为二次曲线。
另外，通过将多个(例如两个或四个)加强用板簧50以预定的间隔(180度或90度间隔)配置于振子粘接底座的外周，从而能够充分应对来自X轴方向的多种冲击。
特别地，加强用板簧50的配置位置选定为与压电振动元件20的配置位置对应的振动元件粘接底座的周向位置以及与压电振动元件20相对的振动元件粘接底座的周向位置，从而能够进一步提高压电振动元件20对来自X轴方向的冲击、振动的耐久性。
其次，在上述第一实施方式中，在壳体内串联配置两个圆筒型波纹管，但是由于单纯地使两个圆筒型波纹管的轴向长度组合，而导致壳体大型化，从而不利于实现压力传感器的小型化。
图2(a)和(b)是表示本发明第二实施方式的压力传感器的结构的内部结构说明图和剖面图。
该压力传感器1具备：内部为真空或者惰性气体气氛的气密壳体2；在气密壳体2的相对的第一和第二壁面3、4上分别贯通形成的第一压力输入口3a和第二压力输入口4a；一端固定在第一壁面3上、且具有与第一压力输入口3a连通的轴孔的圆筒型的第一波纹管10；一端固定在第二壁面4上、且具有与第二压力输入口4a连通的轴孔的圆筒型的第二波纹管11；固定配置于第一和第二波纹管10、11各自的另一端10a、11a之间的振动元件粘接底座15；由振动元件粘接底座15支撑的薄板状的压电振动元件20；配置在与压电振动元件20之间夹着第二波纹管11、且与压电振动元件20相对的位置上的压电加强板21；以及与压电振动元件上的电极图案导通的振荡电路30。压电振动元件20的一端固定在第二壁面4上，且另一端固定于振动元件粘接底座15上。通过第二壁面4和振动元件粘接底座15来固定压电加强板21的两端部。
第一波纹管10的直径比第二波纹管11小，第一波纹管10的另一端10a从直径大的第二波纹管的另一端11a同轴状地进入第二波纹管的轴孔内。
振动元件粘接底座15由以下部分构成：固定于第一波纹管10的另一端部10a上的中央板15A；从中央板15A的外周缘向第一壁面3侧筒状地延伸的筒状部15B；以及使筒状部15B的前端向外侧折返的折返部15C。第二波纹管11的另一端11a抵接并固定于折返部15C的内侧面上。
即，振动元件粘接底座15为了同轴状地支撑直径不同的两个波纹管10、11，而具有如下结构，即一体地具有：支撑第一波纹管11的另一端10a的中央板15A；支撑第二波纹管11的另一端11a的折返部15C。位于内径侧的中央板15A和位于外径侧的折返部15C的特征在于轴向位置不同，利用这种结构能够使两个波纹管的轴向长度部分重叠，缩短两波纹管总的轴向长度，实现壳体的小型化。
折返部15C的前端的支撑片分别固定压电振动元件20和压电加强板21的一个端部。压电振动元件20和压电加强板21的另一端分别固定于第二壁面4上。
另外，第一实施方式所示的振荡电路21虽然在图3中没有图示，也同样地将振荡电路21以气密状态组装进壳体2的适当位置上。
根据本实施方式，例如当将压力P1从第一压力输入口3a输入时，由于该压力而使得相应的力通过振动元件粘接底座15施加到压电振动元件20和压电加强板21上。此时，由于压电加强板21的存在，对压电振动元件20仅施加来自长边方向(石英振动元件的情况下为Y轴方向)的力，压电振动元件原本的压力-频率特性表示为二次曲线。因此，压电振动元件20的共振频率对应于压力P1而呈线形变化，能够获得高精度的压力传感器。特别是由于波纹管可使用廉价的成型波纹管，从而不需要使用昂贵的电沉积波纹管。并且，不需要采用用于对压电振动元件仅施加长边方向的力的挠性铰链结构，能够简化压电振动元件的支撑结构。
另外由于不是串联配置两个圆筒型波纹管，而是构成为在一个波纹管的轴孔内嵌合配置另一个波纹管，从而能够实现压力传感器的小型化。
另外，图2的压力传感器也是对来自X轴方向的冲击的耐久性比对来自Y轴方向的冲击的耐久性差。因此，如图所示，优选在振子粘接底座15和气密壳体2的内壁之间配置加强用板簧(加强用弹性部件)50，来提高对来自X轴方向的冲击的强度。
在图2的实施方式的压力传感器中，由于以嵌套子的方式同轴状地配置直径不同的两个圆筒型波纹管，因此能够缩短轴向长度，但由于构成为在一个波纹管的外侧配置另一个波纹管，从而必须增大外侧的波纹管的径向尺寸，并且存在振动元件粘接底座15的结构复杂化、组装工时增加的问题。
图3所示的第二实施方式的压力传感器克服了该缺点。即，该传感器1的结构的特征在于，作为配置于气密壳体2内的第一和第二波纹管中的一方即第一波纹管，使用平面型波纹管。
即，该压力传感器1具备：在相对的第一和第二壁面3、4上分别具有第一压力输入口3a和第二压力输入口4a，并且具有将第一和第二壁面3、4之间进行连接的侧壁5的气密壳体2；通过将外周缘12a固定于侧壁5上，从而在侧壁5和第一壁面3之间形成与第一压力输入口3a连通的第一气密空间S 1的平面型的第一波纹管(加工为平面型的受压部)12；一端固定在第二壁面4上，且具有与第二压力输入口4a连通的轴孔，且与第一波纹管12串联状配置的圆筒型的第二波纹管11；固定配置于第一波纹管12的中心部12b和第二波纹管11的另一端11a之间的振动元件粘接底座15；由振动元件粘接底座15支撑的薄板状的压电振动元件20；以及与压电振动元件20上的电极图案导通的未图示的振荡电路。另外，压电振动元件20的一端固定在第二壁面4上，且另一端固定于振动元件粘接底座15上。另外，在与压电振动元件20之间夹着第二波纹管11且与压电振动元件20相对的位置、在第二壁面4和振动元件粘接底座15之间固定有压电加强板21。
第一波纹管12的外周缘12a的整周被设置于侧壁5内周上的阶梯状支撑部5a固定地支撑，从而形成第一气密空间S1，另一方面，在相反侧形成收纳第二波纹管11等的第二气密空间S2。
另外，第一波纹管12的外周缘12a构成为在预定宽度上具有预定刚性以上的刚性，从而能够确保被侧壁5支撑时的稳定性。另外，第一波纹管12的中心部12b也构成为在预定范围内具有预定刚性以上的刚性，从而能够确保与位于振动元件粘接底座15的中心部的突起状连接部件16连接时的稳定性。外周缘12a、中心部12b以外的波纹管部分构成为能够挠曲变形。
另外，在上述实施方式中，采用了利用侧壁5的内壁来支撑第一波纹管12的外周缘12a的结构，但是也可以如图4所示，通过设置使第一壁面3的外周的一部分下垂而成的阶梯状支撑部3A，从而利用第一壁面3的一部分来支撑第一波纹管的外周缘12a。
在上述结构中，当从第一压力输入口3a输入压力P1时，对应于该压力的力通过第一和第二波纹管12、11被转换，施加于压电振动元件20和压电加强板21上。当施加了与压力对应的力时，压电振动元件20的共振频率与该力成比例地以二次曲线的关系发生变化，因此通过测量输出的频率变化量，利用二次方程式进行校正运算，能够进行高精度的压力测定。
另外，由于压电加强板21位于和压电振动元件20相对的位置上，所以对压电振子20仅施加来自长边方向(石英振动元件的情况下为Y轴方向)的力，压电振动元件原本的压力-频率特性表示为二次曲线。因此，压电振动元件20的共振频率对应于压力P1而呈线形变化，能够获得高精度的压力传感器。特别是第一波纹管12可使用平面型的波纹管，因此不仅能够缩短总轴向长度，并且能够使第二波纹管11的直径尺寸为必要的最小限度的尺寸，从而能够使压力传感器的径向尺寸减小至必要最低限度。
另外，由于使用平面型波纹管，能够获得对来自横向(X轴方向)的冲击的足够的强度，显著改善耐冲击性和耐振动性，可提高可靠性。
另外，在图3的压力传感器中，对来自X轴方向的冲击的耐久性比对来自Y轴方向的冲击的耐久性差。因此优选如图所示在振动元件粘接底座15和气密壳体2的内壁之间配置加强用板簧(加强用弹性部件)50来进一步提高对来自X轴方向的冲击的强度。
在上述各实施方式中说明的各压力传感器能够适用于水压传感器(水深传感器)、气压传感器、差压传感器等。

Claims (5)

1.一种压力传感器，该压力传感器具备：气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口；圆筒型的第一波纹管，该第一波纹管的一端固定在该第一壁面上，且该第一波纹管具有与第一压力输入口连通的轴孔；圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管的一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔，且该第二波纹管与第一波纹管串联状配置；振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一与第二波纹管的各自的另一端之间；薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，其特征在于，
所述压电振动元件的一端固定在所述第二壁面上，且另一端固定于所述振动元件粘接底座上，
在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面与所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板，
在所述气密壳体的内壁与所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。
2.一种压力传感器，该压力传感器具备：气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口；圆筒型的第一波纹管，该第一波纹管的一端固定在该第一壁面上，且该第一波纹管具有与第一压力输入口连通的轴孔；圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管的一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔；振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一与第二波纹管的各自的另一端之间；薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，其特征在于，
所述第一波纹管的直径比第二波纹管小，并且在第一波纹管的另一端从第二波纹管的另一端进入轴孔内的位置，利用所述振动元件粘接底座对该第一波纹管的另一端与第二波纹管的另一端进行固定，
所述压电振动元件的一端被利用所述第二壁面固定，而且另一端固定于所述振动元件粘接底座上，
在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面与所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板，
在所述气密壳体的内壁与所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。
3.一种压力传感器，该压力传感器具备：
气密壳体，该气密壳体在相对的第一和第二壁面上分别具有第一压力输入口和第二压力输入口，并且具有将该第一与第二壁面之间进行连接的侧壁；
平面型的第一波纹管，将该第一波纹管的外周缘固定在设置于第一壁面或侧壁上的支撑部上，从而在该第一波纹管的外周缘与第一壁面之间、或与第一壁面及侧壁之间，形成与第一压力输入口连通的第一气密空间，并且在侧壁与第二壁面之间形成第二气密空间；
圆筒型的第二波纹管，该第二波纹管配置于所述第二气密空间内，一端固定在该第二壁面上，且该第二波纹管具有与第二压力输入口连通的轴孔，且与第一波纹管串联状配置；
振动元件粘接底座，该振动元件粘接底座固定配置于该第一波纹管的中心部与该第二波纹管的另一端之间；
薄板状的压电振动元件，该压电振动元件由该振动元件粘接底座支撑；以及
振荡电路，该振荡电路与该压电振动元件上的电极图案导通，
其特征在于，所述压电振动元件的一端固定在所述第二壁面上，且另一端固定于所述振动元件粘接底座上，
在与所述压电振动元件之间夹着所述第二波纹管且与所述压电振动元件相对的位置、在所述第二壁面与所述振动元件粘接底座之间固定压电加强板，
在所述气密壳体的内壁与所述振动元件粘接底座之间使用加强用弹性部件来连接。
4.根据权利要求1、2或3所述的压力传感器，其特征在于，所述加强用弹性部件是加强用板簧，在所述振动元件粘接底座的外周上以预定的周向间隔配置有多个该加强用弹性部件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述加强用弹性部件配置在与所述压电振动元件的配置部位对应的振动元件粘接底座的周向位置上以及与压电振动元件相对的振动元件粘接底座的周向位置上。
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