CN1914963A - 将导线结构布置在衬底上的方法和具有该导线结构的衬底 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于使一个导线结构(2)布置在一个衬底(1)上的方法。该方法可以称为转移压制方法。该方法执行下列的方法步骤：a)在至少一个转移载体(3)与导线结构(2)之间建立一个可分离的连接(4)；b)将具有导线结构(2)的转移载体(3)与衬底(1)放到一起，使得在导线结构(2)与衬底(1)之间建立一个连接(5)，该连接比转移载体(3)与导线结构(2)之间的可分离连接(4)更结实；c)使转移载体(3)与转移载体(3)的导线结构(2)之间的可分离的连接(4)分离，其中保留在导线结构(2)与衬底(1)之间的连接(5)。所述方法特别适用于在相对较低的温度下(T＜600℃)侧面布置具有纳米管的导线结构。由此产生一个具有一个导线结构(2)的衬底(1)，导线结构在衬底(1)的一个衬底接触面(10，11)上并且在衬底(1)的至少另一衬底接触面(11，10)上与衬底(1)连接。该衬底(1)的特征是，所述导线结构(2)在两个衬底接触面(10，11)之间具有纳米管(20)，纳米管从衬底接触面(10，11)指向另一衬底接触面(11，10)。所述纳米管(20)侧面地布置。通过侧面的布置产生纳米线。在此可以充分利用纳米管(2)的良好的电和热特性。

Description

将导线结构布置在衬底上的方法和具有该导线结构的衬底
本发明涉及一种用于使导线结构布置在一个衬底上的方法。此外给出具有导线结构的衬底，该导线结构在衬底的一个衬底接触面上并在衬底的至少另一衬底接触面上与衬底连接。
所述导线结构例如是一个具有一个金属式带状导线的电导线结构，借助于一个丝网压制工艺将带状导线施加到衬底上。但是丝网压制工艺不适合于任意的带状导线微型化。
由P.M.Ajayan et al.，Carbon Nanotubes，Topics Appl.Phys，80(2001)第391至425页已知碳纳米管(Carbon Nano Tubes，CNTs)和其应用。由A.Hirsch，Angew.Chem.，114(2002)第1933至1939页给出具有功能化管表面的碳纳米管。碳纳米管具有一个纳米级的管径。碳纳米管的长度从微米至毫米级。这些纳米管表现出高的导电性和导热性。由于小管径，这种纳米管适合于在衬底上制造很小的导线结构。在衬底表面上可以实现一个非常高的集成密度。但是目前没有合适的方法使很小的导线结构通过纳米管加工在一个衬底上，使得在微型化方面可以充分利用纳米管的高潜能。
纳米管目前主要通过CVD(化学汽相淀积)淀积工艺在超过600℃的温度时施加到一个衬底表面上。CVD淀积工艺适用于在一个衬底表面上局部形成结构，但是同时沉积不同的纳米管在结构上和电上的变化。例如淀积半导体和金属导电的纳米管。此外通常淀积具有不同管长的纳米管。主要是不能实现侧向淀积，而是只能实现水平淀积。在水平淀积时纳米管不是以一个优选方向(Vorzugsrichtung)对准地施加到衬底表面上。纳米管在平面中任意取向。但是对于高度微型化的前提是侧向淀积，其中纳米管对准地、即以一个优选方向施加到衬底表面上。在侧向淀积纳米管时纳米管的突出的电和/或热特性显得很好。
因此本发明的目的是，给出一种用于将一个导线结构布置在一个衬底上的方法，该方法适合于在衬底的衬底表面上实现纳米管的侧向导线结构。
为了实现该目的，使一个导线结构布置在一个衬底上的方法具有下列方法步骤：a)在至少一个转移载体与导线结构之间产生可分离的连接，b)将具有导线结构的转移载体与衬底放到一起，使得在导线结构与衬底之间建立连接，该连接比转移载体与导线结构之间的可分离连接更结实，c)使转移载体与转移载体的导线结构之间的可分离连接分离，其中保留在导线结构与衬底之间的连接。
按照本发明第二方面给出一个具有一个导线结构的衬底，该导线结构在衬底的一个衬底接触面上并在衬底的至少另一衬底接触面上与衬底连接。该衬底的特征是，所述导线结构在两个衬底接触面之间具有纳米管，它们由从一个衬底接触面指向另一衬底接触面。
所述用于安置导线结构的方法可以表征为转移压制工艺(Transfer druck verfahren)。借助于一个作为用于导线结构的模板的转移载体将一个导线结构施加到衬底(目标衬底)上。为此首先在转移载体上产生一个导线结构。接着将所产生的导线结构以一个压制工艺或者以一个类似压制的工艺从转移载体转移到衬底上。该转移载体不仅起到模板的作用而且起到压头的作用。
本方法可以用于布置一个任意的导线结构。该导线结构例如是一个热和/或电的导线结构。这种导线结构例如具有一个包括一个金属丝的电导线带。在一个特殊的方案中使用一个导线结构，它具有纳米管。通过本方法能够使导线结构的纳米管对准地施加到衬底上。因此在一个特殊的方案中使用一个导线结构，在导线结构中纳米管在至少一个导线结构截段中基本沿着一个优选方向取向。该截段例如在两个衬底接触面之间建立一个电的和/或热的导通连接。在这个截段内部所述纳米管几乎相互平行地对准。在此能够实现与平行取向成直到20°的微小偏差。所述导线结构通过相互平行取向的纳米管侧向设置在衬底上。通过这种形式的布置可以利用纳米管的特殊特性，即纳米管的小管径及沿着纳米管的伸展方向的电的和/或热的传导性。
对于本方法使用任意的纳米管。最好使纳米管至少由氮化铝纳米管、氮化硼纳米管和/或碳纳米管组中选择。由上述材料组成纳米管的一个基本晶格(Grundgerust)。管直径为几纳米。纳米管的管长从50μm至1000μm的范围中选择。所述纳米管的管长尤其为50μm至200μm。
所述导线结构可以由不同的纳米管构成。但是尤其使用一个导线结构，它由一种纳米管构成。一种纳米管表现为纳米管的基本晶格的一个确定化学组分，以及一个可以在确定范围内变化的确定管长和确定电的和/或热的特性。因此能够在衬底的两个衬底接触面之间只布置半导体的纳米管或者只布置金属式导通的纳米管。在此选择所述纳米管的长度，使得纳米管与衬底接触面接通。
对于用于使导线结构布置在一个衬底上的方法特别使用纳米管，纳米管具有至少一个功能(funktionalisierte)位置。每个纳米管最好具有多个功能化的位置。在一个功能化的位置上改变纳米管的管表面。通过改变管表面尤其影响纳米管在一种确定的溶剂中的溶解度。由此能够借助于溶液或借助于悬浮液执行用于布置导线结构的方法。例如使纳米管以极化基团作用，它们使纳米管在一个极化的溶剂中溶解或者悬浮。所述极化基团例如是一个羧基。所述极化的溶剂例如是水。通过管表面的功能化可以使纳米管溶解在水里面。也可以设想用非极化基团功能化纳米管，非极化基团能够实现纳米管在非极化溶剂中的溶解性。
所述功能化可以化学地或物理地实现。化学功能化分为疵点功能化和侧壁功能化。疵点功能化利用纳米管基本晶格中的疵点(缺陷)。该纳米管例如是一个碳纳米管，其基本晶格由碳六环构成。这种碳纳米管可以具有碳五环或碳七环形式的疵点。这种疵点比由碳六环构成的规则的基本晶格更易于通过化学物质起作用。对于碳纳米管的一个敞开的管端部同样是有效的。因此在功能化时起作用的化学基团在一个疵点或一个管端部与碳原子反应形成一个固定的化学键。如同在疵点功能化时一样在侧壁功能化时将附加的分子或分子组直接安置在一个纳米管的管表面上。但是与疵点功能化相反不是使纳米管基本晶格的疵点变化而是使纳米管基本晶格的规则部位变化。在碳纳米管的情况下这意味着使碳六环功能化。为了侧壁功能化尤其使用反应的化学物质，它们以或大或小的均匀间距以功能化的基团覆盖整个纳米管。所述侧壁功能化还可能对纳米管在某种溶剂中的溶解性具有明显的影响。
在物理功能化时纳米管含有一个附加的套，纳米管与该套松散地不产生化学键地连接。在纳米管与相应套之间形成聚合。该套例如由至少一种长形延伸的聚合物(大分子)制成，它“缠绕”一个纳米管。所谓的“π叠堆”是这种形式的功能化的特征特殊情况，π叠堆也称为“定向抽吸”。在此环绕的聚合物只在某些位置上附着在相应纳米管，而聚合物的其它部位自由地伸进空间。
所述导线结构可以直接设置在转移载体衬底上。为此转移载体衬底具有转移载体接触面，在其上结合导线结构。它产生导线结构的固定(不可移动)。在此固定可以通过共价键、通过亲和交互作用和通过亲水或疏水的交互作用实现。所述固定是可逆的。这意味着，导线结构可以再从转移载体衬底上去除。在转移载体与导线结构之间的连接可以再分离。这种连接的分离例如通过加温或者通过一种反应物质的作用实现。
为了固定，例如使用一个通过金层功能化的转移载体衬底表面段。这个表面段构成转移载体接触面。当纳米管通过具有例如至少一个硫原子的化学基团功能化的时候，可以使纳米管结合到金层上。形成金-硫键。具有至少一个硫原子的化学基团例如是硫醇基或硫化基。为了固定除了金以外也可以使用其它的层材料。例如使用一个表面段，它通过至少一个由铝、铜、镍和/或钛族中选择的金属覆层。
按照一个特殊的方案，使用一个具有至少一种转移载体材料的转移载体，该材料具有至少一个转移载体接触位置，用于在转移载体与导线结构之间建立可分离的连接。该转移载体由转移载体材料与一个转移载体衬底组成。所述转移载体材料与转移载体衬底可以相互连接并相互分离。
所述转移载体材料的任务是，识别一个功能化的纳米管并且与其结合。这种转移载体材料例如是一个施加到一个转移载体衬底上的、两维(层形)化学或生物的识别体系的组成部分。生物的识别系统例如具有抗体或核酸。该化学识别体系例如是水凝胶，它由一种聚合物如聚丙烯酰胺(Polyarcylamid)构成。抗体、核酸和水凝胶分别是转移载体材料。
最好使用转移载体材料，它为了产生转移载体接触位置在转移载体材料的至少一个位置上功能化。在此使转移载体材料功能化，使按照“锁匙原理”可以相应地识别和结合功能化的纳米管。
在第一步骤中可以使转移载体材料与导线结构连接并且一个接着的步骤中结合到转移载体衬底上。例如使转移载体材料与功能化的纳米管在含水的溶剂中放在一起。在溶剂中使转移载体材料与纳米管结合。在转移载体材料与纳米管之间形成相应的可分离的连接。在继续的过程中使溶剂或悬浮液在转移载体衬底旁边流过。所载体材料具有其它的适合的功能化位置，使得转移载体材料与纳米管一起在转移载体衬底上结合。
也可以设想，使转移载体材料首先结合到转移载体衬底上并且接着与导线结构的纳米管结合。例如在第一步骤中使转移载体材料的溶液在转移载体衬底旁边流过。产生转移载体材料结合。在下面的步骤中使一种具有纳米管的溶剂在转移载体衬底旁边流过。使纳米管结合到固定的转移载体材料上。同样可以设想转移载体衬底、转移载体材料和导线结构纳米管的结合顺序的混合形式。
为了使转移载体材料和/或纳米管功能化例如将具有至少一个路易斯(Lewis)基的基团结合到转移载体材料或纳米管上。一个路易斯基具有一个自由的电子对。在一个特殊的方案中使用转移载体材料的一个功能化的位置，它具有至少一个硫原子。硫原子是路易斯基，硫原子例如由硫醇基或硫基制备。硫醇或硫化物可以非常好地结合到金表面层上。也可以设想，使用许多路易斯基。例如功能化借助于由多个核苷酸单元组成的低聚核苷酸(低聚DNA)进行。核苷酸单元具有多个功能基团。这些基团是路易斯酸，例如伯胺(primre Amine)、和路易斯基、例如芳香氮杂环。这些路易斯基和路易斯酸适用于例如形成氢桥结合。
在一个特殊的方案中大分子用作为转移载体材料。大分子(大分子材料)由数百个共价结合的原子组成。例如大分子是一种人造的或天然的聚合物(生物聚合物)。在一个特殊的方案中使用至少一个由脱氧核糖核酸和/或蛋白质中选择的大分子。一个脱氧核糖核酸(Deoxyriboncleic Acid DNA)特别适合于作为转移载体材料，因为它可以有针对性地在某个位置上功能化。借助于有针对性的转移载体材料功能化实现具有功能化纳米管的导线结构在载体衬底上的定向复化合由此也实现具有纳米管的导线结构在目标衬底上的定向布置。
为了定向地布置具有纳米管的导线结构有利地使用纵向延伸的大分子。纵向延伸的大分子显示出一个纵向扩展。在此大分子可以由一个一维的、或多或少直链构成。纵向延伸的大分子也可以由螺旋体构成。
也可以设想，为了定向地布置具有纳米管的导线结构使用不是伸展的而是折叠的大分子。折叠的大分子例如构成一个线团(Knuell)。在一个特殊的方案中使用折叠的大分子，它在与导线结构放到一起前展开。在大分子与纳米管之间形成可分离的连接之前或期间实现展开。
在一个特殊的方案中借助于流动的流体使折叠的大分子展开。这一点例如由此实现，使折叠的大分子在转移载体衬底的一个位置上卷起(andocken)。通过在旁边流动的流体(可以是气体或液体)导致大分子去折叠。使大分子去线团或者展开。在此选择流体的流动速度，使得保留在大分子与转移载体衬底之间存在的连接。为此有利地由0.1μl/min至500μl/min的范围中选择流动速度。每分钟相应的流体体积直接在转移载体衬底旁边流过。以这种方式展开的大分子可以直接在转移载体衬底的另一位置上卷起，其中大分子的展开状态通过与转移载体衬底的交互作用“固定”。然后才在大分子与一个纳米管之间建立可分离的连接。也可以设想，在转移载体衬底的另一位置上在卷起展开的大分子之前使一个纳米管与展开的大分子连接。在这种情况下大分子的展开状态通过与纳米管的交互作用“固定”。
在转移载体衬底与具有纳米管的导线结构连接以后在一个转移压制工艺中使具有纳米管的导线结构从转移载体转印到目标衬底上。为此使转移载体与目标衬底这样近地放在一起，使得由于化学和/或物理的交互作用在具有纳米管的导线结构与衬底的衬底表面之间产生连接。为了连接，使用一个具有至少一个衬底接触面的衬底，用于在导线结构与衬底之间建立连接。在导线结构与衬底放在一起前最好使衬底表面的至少一个截段功能化，用于建立衬底接触面。例如在衬底表面上施加电极。借助于导线结构使电极导电地连接。尤其是为了建立衬底接触面在衬底表面的截段上覆金层。也可以设想，电极不完全是金的，而是只有一个金粘附剂层。也可以使用其它的导电金属层，例如铝、铜镍和钛。也可以设想一个由导电粘接剂制成的粘附剂层，它施加在衬底表面上或衬底的一个电极上。
本方法通常可以通过一个或多个粘附剂层有针对性地进行控制。因此在一个特殊的方案中为了影响转移载体与导线结构之间的可分离连接的强度和/或导线结构与衬底之间的连接的强度使用一个粘附剂层。借助于一个粘附剂层可以降低导线结构在转移载体上的可分离连接的强度。而借助于一个适合的粘附剂层可以提高导线结构与衬底之间的的连接强度。
所述方法可以用于将一个导线结构布置在一个任意的目标衬底上。同样可以使用一个具有一个任意的转移载体衬底的转移载体。例如所述衬底是一个具有陶瓷材料的衬底。在一个特殊的方案中所述衬底具有至少一个由半导体材料和/或塑料材料组中选择的衬底材料。使用一个半导体衬底和/或塑料衬底。正好这些衬底是热敏感的，因此在已知的借助于CVD淀积工艺淀积纳米管时不能使用。而所述的转移压制工艺可以在一个温度下进行，该温度明显低于在CVD淀积工艺中一般超过600℃的温度。因此也可以考虑温度敏感的衬底材料。
作为转移载体衬底和目标衬底也可以使用一个任意形状的衬底。该衬底不必具有设置导线结构的平面的表面段。此外也可以使用一个具有一个弹性衬底材料的衬底。这种衬底可以弹性变形。
总之通过本发明得到以下主要优点：
-在相对较低的温度(T＜600℃)下实现纳米管的一个侧向结构。
-可以加工确定的纳米管或纳米管的改型。
-基于有针对性地处理某些改型可以最佳地利用纳米管的电特性。
-所述方法是经济的并由此可以以微少的费用实现。
下面借助于附图详细描述本发明。附图是示意的且不按比例的视图。
图1以一个侧视横截面图示出一个具有导线结构的衬底，
图2从侧面示出一个纳米管的局部，
图3示出一种用于将导线结构布置在衬底上的方法，
图4示出一种用于加工一个转移载体衬底的方法，它用于将导线结构布置在一个衬底上。
一个导线结构2位于衬底1上(图1)。该导线结构2通过一个衬底接触面10和另一衬底接触面11与衬底1连接。该衬底接触面10和11由金电极12和13构成。
所述衬底1的衬底材料是塑料。在一个可选择的实施例中该衬底1的衬底材料是一种半导体材料。该半导体材料是硅。
所述导线结构2在衬底1的衬底接触面10与11之间建立导电连接。为此导线结构2在两个衬底接触面10与11之间具有纳米管20。这些纳米管20由一个衬底接触面10，11指向另一衬底接触面11，10。所述纳米管20具有一个优选方向22。这意味着，所述纳米管20侧向以优选方向22相对于衬底表面14指向。
在第一实施例中所述纳米管20由一种纳米管构成。这意味着，所述纳米管20由唯一一种管材料制成。所述管材料是碳。所述纳米管20是碳纳米管。碳纳米管具有相同的管长23(参见图2)。对于纳米管20的管径21也是如此。
此外导线结构2的纳米管20也显示出基本相同的物理特性。导线结构2的纳米管20基本上是金属式导通的。在一个可选择的实施例中纳米管20基本上是半导体。
在另一实施例中使导线结构2通过不同类型的纳米管20构成。对于纳米管20特征在于不同的化学和物理特性。
在另一实施例中所述纳米管20特征在于不同的管长23。这些纳米管20是不等长的。
为了在衬底上布置导线结构如下进行：(参见图3)在第一步骤中在转移载体3与导线结构2之间建立可分离的连接4。为此所述转移载体3具有一个转移载体衬底34和一个转移载体材料33。所述转移载体材料33是一种脱氧核糖核酸形式的大分子。所述转移载体材料33具有一个(未示出的)转移载体接触位置。该转移载体接触位置是大分子33的一个功能化位置(stelle)。大分子33的功能化位置具有带有硫原子的功能化学基团。硫原子起到路易斯(Lewis)基的作用并且由硫醇族构成。所述转移载体材料33与转移载体衬底34连接。为此该转移载体衬底34具有转移载体接触面31。这些转移载体接触面31由金的转移载体衬底34的粘附剂层构成。所述转移载体衬底34为了形成转移载体接触面31而功能化。同时大分子33具有功能化位置用于使大分子33与转移载体衬底34连接。
所述大分子33首先是线团(Knuel)。这个线团在转移载体接触面31上与转移载体衬底34结合以后在一种流体的流动中延伸。功能化的纳米管20位于这种流体中。所述纳米管20具有一个管表面24，在其上结合化学基团。这些功能化的纳米管20通过流动在延伸的大高分子33旁边流过。所述纳米管20具有功能化位置，它们适用于与大分子33的功能化位置进行结合。大分子33和纳米管20相互结合。这种结合和大分子33与转移载体衬底34的结合是可以分离的。
在下一步骤中将由转移载体34和大分子33组成的并与导线结构2可分离地连接的转移载体3与衬底1放到一起。所述转移载体3和衬底1的衬底表面14在此这样近地放到一起，使可以在导线结构2与衬底1的衬底接触面10，11之间产生连接5。在此产生一个比转移载体3与导线结构2之间的可分离的连接4更结实的连接5。在转移载体3与导线结构2之间的可分离连接4是可松开的。所述导线结构2保留在衬底1上。
在第一实施例中在转移载体3与导线结构2之间的可分离连接4由转移载体材料33和纳米管20构成。在连接4分离后在衬底1上只保留具有纳米管20的导线结构2。在另一实施例中可分离的连接由转移载体材料33和转移载体衬底34构成。在转移压制以后转移载体材料33与导线结构2一起保留在衬底1上。
作为转移载体34可以使用一个预加工的衬底。在图4中示出，如何通过一个辅助衬底40加工转移载体衬底34。在此成形辅助衬底40的结构41。为了成形，使用液体的可固化的聚合物。在聚合物固化后使辅助衬底40与固化的聚合物相互分离。固化的聚合物构成转移载体衬底34，它也可以称为主结构。为了制造转移载体接触面31，施加金的粘附剂层35。以这种方式制成的转移载体衬底34用于使导线结构2布置在衬底1上。

Claims (24)

1.一种用于使导线结构(2)布置在衬底(1)上的方法，其具有下列方法步骤：
a)在至少一个转移载体(3)与导线结构(2)之间建立可分离的连接(4)，
b)将具有导线结构(2)的转移载体(3)与衬底(1)放到一起，使得在导线结构(2)与衬底(1)之间建立连接(5)，该连接比转移载体(3)与导线结构(2)之间的可分离连接(4)更结实，
c)使转移载体(3)与转移载体(3)的导线结构(2)之间的可分离的连接(4)分离，其中保留在导线结构(2)与衬底(1)之间的连接(5)。
2.如权利要求1所述的方法，其中使用具有纳米管(20)的导线结构(2)。
3.如权利要求2所述的方法，其中使用导线结构(2)，在该导线结构中纳米管(20)在至少一个导线结构(2)截段中基本沿着一个优选方向(22)取向。
4.如权利要求2或3所述的方法，其中所述纳米管(20)至少由氮化铝纳米管、氮化硼纳米管和/或碳纳米管组中选择。
5.如权利要求2至4中任一项所述的方法，其中使用由一种纳米管构成的导线结构(2)。
6.如权利要求2至5中任一项所述的方法，其中使用具有至少一个功能化的位置的纳米管(20)。
7.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中使用具有至少一个转移载体材料(33)的转移载体(3)，该转移载体材料具有至少一个转移载体接触位置，用于在转移载体(3)与导线结构(2)之间建立可分离的连接(4)。
8.如权利要求7所述的方法，其中使用转移载体材料(33)，它为了产生转移载体接触位置在转移载体材料(33)的位置上功能化。
9.如权利要求8所述的方法，其中使用转移载体材料(33)的具有至少一个硫原子的功能化的位置。
10.如权利要求7至9中任一项所述的方法，其中作为转移载体材料(33)使用大分子。
11.如权利要求10所述的方法，其中使用至少一个由脱氧核糖核酸族和/或蛋白质中选择的大分子。
12.如权利要求10或11所述的方法，其中使用纵向延伸的大分子。
13.如权利要求10至12中任一项所述的方法，其中使用折叠的大分子，它在与导线结构放在一起前展开。
14.如权利要求13所述的方法，其中借助于流动的流体使折叠的大分子展开。
15.如权利要求1至14中任一项所述的方法，其中使用具有至少一个衬底接触面(10，11)的衬底(1)，用于在导线结构(2)与衬底(1)之间建立连接。
16.如权利要求15所述的方法，其中在使具有导线结构(2)的转移载体(3)与衬底(1)放到一起之前使衬底表面(14)的至少一个截段功能化，用于建立衬底接触面(10，11)。
17.如权利要求16所述的方法，其中为了建立衬底接触面(10，11)在衬底表面(14)的截段上施加金。
18.如权利要求1至17中任一项所述的方法，其中为了影响转移载体(3)与导线结构(2)之间的可分离连接和/或导线结构(2)与衬底(1)之间的连接的强度使用粘附剂层(35)。
19.如权利要求1至18中任一项所述的方法，其中使用至少一个由半导体衬底和/或塑料衬底中选择的衬底(1)。
20.具有导线结构(2)的衬底(1)，该导线结构在衬底(1)的一个衬底接触面(10，11)上并在衬底(1)的至少另一衬底接触面(11，10)上与衬底(1)连接，其特征在于，所述导线结构(2)在两个衬底接触面(10，11)之间具有纳米管(20)，纳米管从衬底接触面(10，11)指向另一衬底接触面(11，10)。
21.如权利要求20所述的衬底，其中所述导线结构(2)是电导线结构。
22.如权利要求20或21所述的衬底，其中所述纳米管(20)至少由氮化铝纳米管、氮化硼纳米管和/或碳纳米管组中选择。
23.如权利要求20至22中任一项所述的衬底，其中所述纳米管(20)是一种形式的纳米管。
24.如权利要求20至23中任一项所述的衬底，其中所述衬底(1)具有一个由半导体材料和/或塑料材料组中选择的衬底材料。
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