CN1807013A

CN1807013A - 控制装置

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Publication number: CN1807013A
Application number: CNA2006100014866A
Authority: CN
Inventors: 田肇; 岩下平辅; 猪饲聪史; 河村宏之
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2005-01-20
Filing date: 2006-01-19
Publication date: 2006-07-26
Anticipated expiration: 2026-01-19
Also published as: EP1684139B1; EP1684139A1; JP2006202019A; JP4299793B2; CN100417492C; US7348745B2; DE602006021352D1; US20060158143A1

Abstract

提供一种控制装置。在被驱动体的第1部位、第2部位安装第1、第2加速度检测单元，来检测被驱动体的移动方向的加速度值α1、α2。根据这些加速度值α1、α2的差或和，对驱动控制被驱动体时的位置指令、速度指令、电流指令中的至少1个进行补正。

Description

控制装置

技术领域

本发明涉及由伺服电动机驱动大型的被驱动体，控制该被驱动体的位置和速度的控制装置。

背景技术

在机床中，为了控制由伺服电动机所驱动的被驱动体的位置和速度，通常进行位置反馈控制、速度反馈控制还有电流反馈控制。图5是控制上述伺服电动机的伺服控制部的方框图。在伺服电动机2或由该伺服电动机2所驱动的被驱动体3中，设置有检测其速度及位置的位置检测单元6、速度检测单元5。并且，设置有检测驱动伺服电动机2的电流值的电流检测单元4，将上述检测单元4、5、6的检测信号反馈。

电动机控制部1，进行由处理器控制的数字控制，并由进行位置环路处理的位置控制处理部11、进行速度环路处理的速度控制处理部12、进行电流环路处理的电流控制处理部13构成。在位置控制处理部11，根据位置指令和来自位置检测单元6的位置反馈信号求得位置偏差，将所求得的位置偏差乘以位置环路增益，求得速度指令。另外，在速度控制处理部12，根据从位置控制处理部11输出的速度指令和来自速度检测单元5的速度反馈信号求得速度偏差，并进行比例、积分(或者从速度偏差的积分中减去速度反馈信号的比例)等速度反馈控制，求得电流指令。在电流控制处理部13，根据上述电流指令和电流反馈信号进行电流反馈控制，通过伺服放大器驱动控制伺服电动机2。

以上是通常进行的机床的进给轴等被驱动体3的位置、速度、电流的控制处理，通常该处理由处理器进行。在进行这样的位置、速度、电流的反馈控制来驱动控制伺服电动机2时，在伺服电动机2的角加速度急剧变化的情况下，有时在被驱动体3发生振动。因此，作为防止发生这种振动的对策，提出了一种控制方法，即设置检测被驱动体3的加速度的加速度传感器，从通过速度反馈控制输出的电流指令中减去来自该加速度传感器的信号来补正电流指令，并使用该补正后的电流指令来执行电流反馈控制。

在上述的控制方法中，在被驱动体发生振动时，由加速度传感器所检测出的被驱动体的加速度信号中的振动成分，相对于针对电流反馈控制的电流指令存在误差，因此，为了消除该误差而从电流指令中减去上述振动成分来补正电流指令，并使用该补正后的电流指令来控制伺服电动机的驱动电流，从而抑制振动(参照特开平6-91482号公报)。

在大型的机床等中，当由伺服电动机所驱动的被驱动体为大型时，即使进行速度和电流的反馈控制并且进行位置的反馈控制，来驱动伺服电动机控制被驱动体的位置和速度，也因为被驱动体较大，所以难以将该被驱动体作为1个刚体看待，加速度因被驱动体的部位不同而不同，有时被驱动体自身发生振动。

另外，有时由多台伺服电动机驱动大型的被驱动体，在这种驱动状态下，各伺服电动机相互干扰，有时被驱动体发生振动。这种情况下，现有虽然利用速度反馈进行干扰补正，但是，由于仅限于得到速度反馈的被驱动体的部位，所以抑制在被驱动体上发生振动的部位的振动较困难。

发明内容

本发明的控制装置的第1实施方式，其具有检测被驱动体的位置及/或速度的位置/速度检测单元，并根据该位置/速度检测单元，来控制被驱动体的位置及/或速度，其具有：至少2个加速度检测单元，其配置在上述被驱动体的不同部位，检测各个部位的加速度；和指令补正单元，其根据由上述加速度检测单元所检测出的各个同一方向的加速度，来补正位置指令、速度指令或电流指令中的任意1个或多个。

本发明的控制装置的第2实施方式，其具有检测被驱动体的位置及/或速度的位置/速度检测单元，并根据该位置/速度检测单元，来控制被驱动体的位置及/或速度，其具有：至少2个加速度检测单元，其配置在上述被驱动体的不同部位，检测各个部位的加速度；和指令补正单元，其根据由上述加速度检测单元所检测出的各个同一方向的加速度的差，来补正位置指令、速度指令或电流指令中的任意1个或多个。

在该第2实施方式的控制装置中，在上述加速度检测单元中，可以使用检测多个方向的加速度的加速度检测单元，并根据由该加速度检测单元所检测出的各方向的加速度值，求得上述被驱动体的移动方向的加速度值，进而求得其移动方向的加速度值的差。

本发明的控制装置的第3实施方式，其由多台伺服电动机在同一方向驱动被驱动体，具有检测上述被驱动体的位置及/或速度的位置/速度检测单元，并根据该位置/速度检测单元的检测值来控制被驱动体的位置及/或速度；其具有：至少2个加速度检测单元，其配置在上述被驱动体的不同部位，检测各个部位的加速度；和指令补正单元，其使用由上述加速度检测单元所检测出的加速度，来补正各伺服电动机的位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个。

在该第3实施方式的控制装置中，上述被驱动体由第1、第2伺服电动机驱动，上述加速度检测单元配置在由第1、第2伺服电动机分别驱动的上述被驱动体的部位附近。而且，上述指令补正单元，通过从由配置在第1伺服电动机侧的加速度检测单元所检测出的加速度中减去由配置在第2伺服电动机侧的加速度检测单元所检测出的加速度，可以求得加速度差，并将该求得的加速度差负反馈给第1伺服电动机侧，来补正位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个，并且将该加速度差正反馈给第2伺服电动机侧，来补正位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个。

进而，在该第3实施方式的控制装置中，上述加速度检测单元分别配置在由各伺服电动机驱动的上述被驱动体的部位附近，上述指令补正单元，可以求得由各加速度检测单元所检测出的加速度值的和，进而将该求得的加速度的和负反馈给各伺服电动机的位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个，来补正位置指令、速度指令或电流指令。

根据本发明，即使是大型的被驱动体，因为根据在多个部位检测出的加速度值来补正伺服电动机的位置指令、速度指令、电流指令地进行控制以免发生加速度差，所以可以抑制被驱动体的振动发生。

附图说明

本发明上述的以及其他的目的及特征，参照附图，从以下实施例的说明中可以明确，在这些附图中，

图1是本发明的控制装置的第1实施方式的主要部分方框图。

图2是表示图1所示的电动机控制部的处理器按规定周期实施的位置/速度环路处理的流程图。

图3是本发明的控制装置的第2实施方式的主要部分方框图。

图4是本发明的控制装置的第3实施方式的主要部分方框图。

图5是现有的、控制伺服电动机的伺服控制部的主要部分方框图。

具体实施方式

图1是驱动大型被驱动体的本发明的控制装置的第1实施方式的主要部分方框图。

在该实施方式中，大型的被驱动体3由伺服电动机2驱动。驱动控制该伺服电动机2的电动机控制部1的构成，虽然与图5所示的现有的电动机控制部大致相同，但是，在根据由设置在被驱动体3上的2个加速度检测单元7-1、7-2所检测出的加速度来补正速度指令或电流指令而构成这一点上，与现有的伺服控制部不同。

构成被驱动体3的构件的刚性有时因部位而不同，在这种情况下，由于伺服电动机2的驱动而在部位间产生加速度的差异，并且构件整体为一体且不移动，其结果是有时导致部分发生振动。因此，在该第1实施方式中，为了避免发生这样的振动，而在被驱动体3上配置多个加速度检测单元来进行控制。这些加速度检测单元，在被驱动体3上，配置在可能发生振动的部位、和位置、速度被特别重视的特定的部位等处。在图1所示的例子中，在与被驱动体3由伺服电动机2驱动并移动的方向正交的方向上的两端部，配置有加速度检测单元7-1、7-2。

在该图1所示的例子中所使用的加速度检测单元7-1、7-2，是检测多个方向(正交的2轴方向或正交的3轴方向)的加速度的加速度检测单元。根据由这些加速度检测单元7-1、7-2所检测出的各轴方向的加速度值，由加速度运算单元21、22分别运算并求得被驱动体3的移动方向(由伺服电动机2驱动的方向)的加速度值α1、α2。但是，在图1所示的例子中所使用的加速度检测单元7-1、7-2是只检测被驱动体3的移动方向的加速度的加速度检测单元时，不必设置上述加速度运算单元21、22，加速度检测单元7-1、7-2的输出本身就是被驱动体3的移动方向的加速度值α1、α2。

接下来，使用加速度差运算单元23，求得上述求得的加速度值α1、α2的差的绝对值，并将该加速度差的绝对值乘以常数k2求得补正值，使用该补正值来补正速度指令。在图1中，如实线所示，表示有只补正速度指令的例子。但是，可以取代只补正速度指令，如虚线所示，补正位置指令或电流指令。在这种情况下，如虚线所示，将加速度差运算单元23的输出(加速度的绝对值)乘以常数k1，求得位置指令的补正值，来补正位置指令，或将加速度差运算单元23的输出乘以常数k3，求得电流指令的补正值，来补正电流指令。

另外，可以同时补正位置指令、速度指令、电流指令的任意2个或多个。

电动机控制部1，进行由处理器控制的数字控制，该处理器，按规定周期实施：在位置控制处理部11的位置环路处理；在速度控制处理部12的速度环路处理，在电流控制处理部13的电流环路处理；由加速度差运算单元23，根据由加速度检测单元7-1、7-2所检测出的各轴方向的加速度来运算被驱动体3的移动方向的加速度值α1、α2，并且求得上述加速度值的加速度差(α1-α2)的绝对值的处理；还有，将加速度度差的绝对值(|α1-α2|)乘以常数k2，求得速度指令的补正值(进而，将加速度差的绝对值乘以常数k1、k3，求得位置指令、电流指令的补正值)，来进行补正的处理。

图2是上述图1所示的电动机控制部1的处理器按规定周期实施的位置/速度环路处理的流程图。

电动机控制部1的处理器，与现有的处理器一样，实施位置控制处理部11的位置环路处理，求得速度指令(步骤100)。即，从由数值控制装置等上位控制装置输出的位置指令中，减去来自检测被驱动体3位置的位置检测单元6的位置反馈，求得位置偏差，根据该求得的位置偏差求得速度指令。

另外，处理器，读取由加速度检测单元7-1、7-2所检测出的各轴的加速度值(步骤101)，根据该各轴加速度值，执行算出被驱动体3的移动方向的加速度值α1、α2的加速度运算单元21、22的处理(步骤102)，进而，由加速度差运算单元23求得上述算出的加速度值α1与α2的差的绝对值(步骤103)。接下来，将求得的加速度差的绝对值乘以常数k2，求得补正值(步骤104)。之后，通过从在步骤100求得的速度指令中减去该求得的补正值，来补正速度指令(步骤105)。然后，通过该补正的速度指令和来自检测被驱动体3的速度的速度检测单元5的速度反馈求得速度偏差，使用该求得的速度偏差执行速度控制处理部12的速度环路处理，由此来求得电流指令(转矩指令)(步骤106)。接下来，将该求得的电流指令输出给执行电流环路处理的电流控制处理部13(步骤107)。

电动机控制部1的处理器，按规定周期实施上述的处理，并向电流控制处理部13输出电流指令。在电流控制处理部13，按规定周期，根据所指令的电流指令和来自电流检测单元4的电流反馈，进行与现有相同的电流环路处理，求得向伺服电动机2的指令，并通过伺服放大器来驱动伺服电动机2。

上述的电动机控制部1的处理，除了在图2的流程中增加步骤101～105的处理这一点之外，即除了增加根据检测加速度来补正速度指令这一点之外，与现有的处理相同。在本实施方式中，根据该检测加速度来补正速度指令，由此可抑制在被驱动体3发生的振动。

在根据由加速度检测单元7-1、7-2检测出的各轴方向加速度求得的被驱动体3的移动方向的加速度值α1与α2的差的绝对值较大时，即在配置了加速度检测单元7-1、7-2的部位的加速度的差较大时，从速度指令中被减去的补正值也变大，输出给速度控制处理部12的速度指令减少，其结果是由速度控制处理部12输出的电流指令也减少，因为由该减少的电流指令驱动伺服电动机2，所以被驱动体3的振动被抑制。

另外，在补正位置指令时，可以在步骤100之前执行步骤101～103的处理，将加速度差乘以常数k1求得位置指令的补正值，并从所指令的位置指令中减去该补正值，求得所补正的位置指令，根据该所补正的位置指令执行步骤100的处理。另外，在补正电流指令时，可以将加速度差乘以常数k3求得电流指令，从在步骤106所求得的电流指令中减去该补正值，求得所补正的电流指令并移交给电流环路。

图3是本发明的控制装置的第2实施方式的主要部分方框图。

在该第2实施方式中，大型的被驱动体3由2台伺服电动机(驱动主轴M的伺服电动机2m和驱动从动轴S的伺服电动机2s)在同一方向驱动。驱动主轴M、从动轴S的伺服电动机2m、2s的电动机控制部1m、1s，与现有的电动机控制部一样，具有位置控制处理部11m、11s、速度控制处理部12m、12s、电流控制处理部13m、13s。另外，在由各电动机控制部1m、1s所驱动控制的伺服电动机2m、2s，具有位置检测单元6m、6s、速度检测单元5m、5s、电流检测单元4m、4s，进行各个位置、速度、电流的反馈。上述的构成，与由2台伺服电动机在同一方向驱动被驱动体的现有的控制系统相同。

在由这样的2台伺服电动机在同一方向驱动被驱动体3的情况下，当伺服电动机2m、2s间的被驱动体3的机械刚性低时，在由各伺服电动机2m、2s所驱动的部位间发生扭曲，成为发生振动的原因。该扭曲是由于如下逆相位关系：在主轴M侧转过时从动轴S侧未转过，或者，在主轴M侧未转过时从动轴S侧转过。由于因该扭曲而导致的振动，产生不能较高地取得位置控制处理部11m、11s、速度控制处理部12m、12s、电流控制处理部13m、13s的增益的问题。

因此，在该第2实施方式中，在被驱动体3的、由主轴M侧的伺服电动机2m所驱动的部位附近安装加速度检测单元7m，在被驱动体的、由从动轴S侧伺服电动机2s所驱动的部位附近安装加速度检测单元7s。而且，将由各加速度检测单元7m、7s所检测出的检测加速度的差作为反馈信号利用，来抑制被驱动体3的振动。另外，在该第2实施方式中使用的加速度检测单元7m、7s，是检测被驱动体3移动的方向(由伺服电动机2m、2s所驱动的方向)的加速度的加速度检测单元。但是，加速度检测单元7m、7s，虽然可以使用如在第1实施方式中那样检测多个方向的加速度的加速度检测单元，但是在该情况下，根据检测出的多个方向的加速度来运算并求得被驱动体的移动方向的加速度。

从由主轴M侧的加速度检测单元7m所检测出的加速度值中减去由从动轴S侧的加速度检测单元7s所检测出的加速度值，求得加速度差(减法器31的处理)。将该加速度差(减法器31的输出)负反馈给主轴M侧，通过从位置指令中减去将加速度差乘以常数a1所得的值，来补正位置指令；通过从速度指令中减去将加速度差乘以常数a2所得的值，来补正速度指令；通过从电流指令中减去将加速度差乘以常数a3所得的值，来补正电流指令。

再者，将该加速度差(减法器31的输出)正反馈给从动轴S侧，通过在位置指令上加上加速度差乘以常数b1所得的值，来补正位置指令；通过在速度指令上加上加速度差乘以常数b2所得的值，来补正速度指令；通过在电流指令上加上加速度差乘以常数b3所得的值，来补正电流指令。

根据这样所补正的位置指令、速度指令、电流指令，来进行与现有一样的位置控制处理(11m、11s)、速度控制处理(12m、12s)、电流控制处理(13m、13s)，驱动控制各伺服电动机2m、2s。

即，主轴、从动轴的电动机控制部1m、1s的处理器，按位置/速度环路处理周期，读取加速度检测单元7m、7s的输出，通过从由主轴M侧的加速度检测单元7m所检测出的加速度值Am中减去由从动轴S侧的加速度检测单元7s所检测出的加速度值，来求得加速度差。

接下来，在主轴M侧，通过从位置指令中减去将加速度差乘以常数a1所得的值，来求得所补正的位置指令。根据该所补正的位置指令和从位置检测单元6m所反馈的位置反馈，进行位置环路处理，求得速度指令。通过从该速度指令中减去将加速度差乘以常数a2所得的值，来求得所补正的速度指令。根据该所补正的速度和来自速度检测单元5m的速度反馈，进行速度环路处理，求得电流指令。之后，通过从该电流指令中减去将加速度差乘以常数a3所得的值，求得所补正的电流指令，并将该所补正的电流指令移交给电流控制处理部13m。

另一方面，在从动轴S侧，在位置指令上加上将加速度差乘以常数b1所得的值，来求得所补正的位置指令。根据该所补正的位置指令和从位置检测单元6s所反馈的位置反馈，进行位置环路处理，求得速度指令。通过在该速度指令上加上将加速度差乘以常数b2所得的值，来求得所补正的速度指令。根据该所补正的速度和来自速度检测单元5s的速度反馈，进行速度环路处理，求得电流指令。之后，通过在该电流指令上加上将加速度差乘以常数b3所得的值，求得所补正的电流指令，并将该所补正的电流指令移交给电流控制处理部13s。

如上所述，处理器按位置/速度环路处理周期执行上述的电动机控制部1m、1s的处理。接下来，处理器按电流环路处理周期，在主轴以及从动轴的各个上，根据所指令的电流指令和来自电流检测单元4m、4s的电流反馈，进行电流环路处理，驱动控制各伺服电动机2m、2s。

在被驱动体3发生由于扭曲而导致的振动时，加速度检测单元7m的加速度检测值和加速度检测单元7s的加速度检测值表现为逆相位的振动波形。

在主轴M侧转过而从动轴S侧未转过时，主轴M侧的加速度变大，从动轴S侧的加速度变小。这时，在本实施方式中，因为从主轴M侧的加速度中减去从动轴S侧的加速度，将求得的加速度差乘以常数(a1、a2、a3)，向主轴M侧进行负的反馈，所以可以得到将主轴M侧向从动轴S侧拉回的效果。另一方面，在从动轴S侧，由于对将上述加速度差乘以常数(b1、b2、b3)得到的值进行正反馈，由此可以得到将从动轴S侧向主轴M侧推出的效果。这种情况，在主轴M侧未转过，从动轴S侧转过时也同样，可以得到使主轴M侧向从动轴S一致、使从动轴S侧向主轴M侧一致的效果。

这样，为了抑制主轴M侧和从动轴S侧的扭曲，通过进行反馈控制，使主轴M侧与从动轴S侧的加速度一致、使从动轴S侧与主轴M侧的加速度一致，可以抑制扭曲。

在上述的第2实施方式中，虽然将基于加速度差的负反馈、正反馈的补正适用于位置指令、速度指令、电流指令的各个，但是，取代这种情况，可以将基于加速度差的负反馈、正反馈的补正只适用于位置指令、只适用于速度指令，或只适用于电流指令，或者可以适用于位置指令、速度指令、电流指令的任意2个或多个(即，在图3中，常数a1、a2、a3中的1个或2个，另外，常数b1、b2、b3中的1个或2个也可以为零)。这样，通过抑制被驱动体的振动，可以较高地取得位置控制处理部11m、11s、速度控制处理部12m、12s、电流控制处理部13m、13s的各增益。

图4是本发明的控制装置的第3实施方式的主要部分方框图。

该第3实施方式，与第2实施方式一样，是由2台伺服电动机将大型的被驱动体向同一方面驱动的实施方式，但是，特别是在伺服电动机间的被驱动体的刚性高时适用。

在本实施方式中，虽然可以较高地取得位置、速度、电流控制处理部的增益，但是，如果将增益提高到某种程度来进行，则被驱动体出现振动。该振动在主轴侧和从动轴侧为同方向。为了抑制该同方向的振动，利用来自安装在主轴附近的加速度检测单元的加速度检测值与来自安装在从动轴附近的加速度检测单元的加速度检测值的和。另外，因为该加速度的和除以2所得的值是主轴侧的加速度与从动轴侧的加速度的平均值，所以该加速度的和，是与主轴侧的加速度和从动轴侧的加速度的平均值对应的值。接下来，将该加速度的和作为加速度反馈来利用。在图4所示的实施方式中，通过从位置指令、速度指令、电流指令中减去将该检测加速度的和乘以常数所得的值，可以得到抑制被驱动体的振动的效果。

该图4所示的第3实施方式与图3所示的第2实施方式的不同点，只是取代求得来自在由主轴M侧、从动轴S侧的各伺服电动机所驱动的部位附近配置的加速度检测单元7m、7s的检测加速度的差，而求得来自加速度检测单元7m、7s的检测加速度的和这一点，以及将该检测加速度的和一起负反馈给主轴M侧、从动轴S侧这一点。其他的与图3所示的第2实施方式相同。

在该第3实施方式中，求得由主轴M侧、从动轴S侧各个的加速度检测单元7m、7s所检测出的加速度的和(加法器32的处理)，通过从位置指令中分别减去将该加速度值的和乘以在主轴M侧常数a1所得的值、乘以在从动值S侧常数b1所得的值，来补正位置指令，另外，通过从速度指令中分别减去将该加速度值的和乘以在主轴M侧常数a2所得的值、乘以在从动值S侧常数b2所得的值，来补正速度指令，进而，通过从电流指令中分别减去将该加速度值的和乘以在主轴M侧常数a3所得的值、乘以在从动值S侧常数b3所得的值，来补正电流指令。

根据这样所补正的位置指令、速度指令、电流指令，进行与现有一样的位置控制处理(11m、11s)、速度控制处理(12m、12s)、电流控制处理(13m、13s)，来驱动控制各伺服电动机2m、2s。

主轴、从动轴的电动机控制部1m、1s的处理器，按位置/速度环路处理周期，读取加速度检测单元7m、7s的输出，对由主轴M侧的加速度检测单元7m以及从动轴S侧的加速度检测单元7s所检测出的加速度进行加算，求得两者的和。

接下来，在主轴M侧，通过从位置指令中减去将检测加速度的和乘以常数a1所得的值，来求得所补正的位置指令。根据该所补正的位置指令和从位置检测单元6m所反馈的位置反馈，进行位置环路处理，求得速度指令。通过从该速度指令中减去将检测加速度的和乘以常数a2所得的值，来求得所补正的速度指令。根据该所补正的速度和来自速度检测单元5m的速度反馈，进行速度环路处理，求得电流指令。之后，通过从该电流指令中减去将检测加速度的和乘以常数a3所得的值，求得所补正的电流指令，并将该所补正的电流指令移交给电流控制处理部13m。

另一方面，在从动轴S侧，通过从位置指令中减去将检测加速度的和乘以常数b1所得的值，来求得所补正的位置指令。根据该所补正的位置指令和从位置检测单元6m所反馈的位置反馈，进行位置环路处理，求得速度指令。通过从该速度指令中减去将检测加速度的和乘以常数b2所得的值，来求得所补正的速度指令。根据该所补正的速度指令和来自速度检测单元5s的速度反馈，进行速度环路处理，求得电流指令。之后，通过从该电流指令中减去将检测加速度的和乘以常数b3所得的值，求得所补正的电流指令，并将该所补正的电流指令移交给电流控制处理部13s。

按位置/速度环路处理周期执行上述的处理。接下来，处理器按电流环路处理周期，根据各个所指令的电流指令和来自电流检测单元4m、4s的电流反馈，分别进行电流环路处理，驱动控制各伺服电动机2m、2s。

另外，也考虑了将来自主轴侧附近的加速度检测单元的加速度检测值只反馈给主轴侧，将来自从动轴侧附近的加速度检测单元的加速度检测值只反馈给从动侧的方法，即在主轴侧和从动轴侧独立地进行控制的方法，但是，在该方法中，在主轴与从动轴之间会产生干扰。因此，还是如上述的第3实施方式那样，根据来自主轴侧附近的加速度检测单元的加速度检测值和来自从动轴侧附近的加速度检测单元的加速度检测值的和(平均值)，来补正位置指令、速度指令、电流指令，驱动控制被驱动体的方法，在抑制被驱动体的振动这一点上有利。

另外，在该第3实施方式的情况下，与上述的第2实施方式的情况下一样，可以将基于加速度检测值的和的反馈信号的补正只适用于位置指令、只适用于速度指令、或只适用于电流指令，或者可以适用于位置指令、速度指令、电流指令中的任意2个或多个。

根据由主轴以及从动轴所驱动的被驱动体的刚性，通过将控制方式从图3所示的第2实施方式向图4所示的第3实施方式切换，或从图4所示的第3实施方式向图3所示的第2实施方式切换，可以抑制反相位的振动、同相位的振动。

在上述的各实施方式中，虽然说明了控制被驱动体的位置、速度的例子，但是，本发明也可适用于只进行位置控制的控制装置、只进行速度控制的控制装置。

在上述的各实施方式中，虽然说明了根据来自伺服电动机的检测器的信号得到被驱动体的位置、速度的例子，但是，在被驱动体上安装了标尺(scale)的情况下，本发明也适用。标尺因为构造上决定了其安装位置，所以其只能检测被驱动体一部分的位置、速度。因此，可以说，如果将来自上述的各实施方式的伺服电动机的检测器的信号置换为来自标尺的信号，则安装有标尺的情况下，同样也可以达到本发明的效果。

Claims

1.一种控制装置，其具有检测被驱动体的位置及/或速度的位置/速度检测单元，并根据该位置/速度检测单元的检测值，来控制被驱动体的位置及/或速度，其具有：

至少2个加速度检测单元，其配置在所述被驱动体的不同部位，检测各个部位的加速度；和

指令补正单元，其根据由所述加速度检测单元所检测出的各个同一方向的加速度，来补正位置指令、速度指令或电流指令中的任意1个或多个。

2.一种控制装置，其具有检测被驱动体的位置及/或速度的位置/速度检测单元，并根据该位置/速度检测单元的检测值，来控制被驱动体的位置及/或速度，其具有：

指令补正单元，其根据由所述加速度检测单元所检测出的各个同一方向的加速度的差，来补正位置指令、速度指令或电流指令中的任意1个或多个。

3.如权利要求2所述的控制装置，其中，

所述加速度检测单元是检测多个方向的加速度的加速度检测单元，

所述控制装置具有运算单元，该运算单元根据由该加速度检测单元所检测出的各方向的加速度值，求得所述被驱动体的移动方向的加速度值，进而求得其移动方向的加速度值的差。

4.一种控制装置，其由多台伺服电动机在同一方向驱动被驱动体，具有检测所述被驱动体的位置及/或速度的位置/速度检测单元，根据该位置/速度检测单元的检测值，来控制被驱动体的位置及/或速度，其具有：

指令补正单元，其使用由所述加速度检测单元所检测出的加速度，来补正各伺服电动机的位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个。

5.如权利要求4所述的控制装置，其中，

所述被驱动体由第1、第2伺服电动机驱动，所述加速度检测单元，分别配置在由这些第1、第2伺服电动机驱动的所述被驱动体的部位附近，

并且，所述指令补正单元从由配置在第1伺服电动机侧的加速度检测单元所检测出的加速度中减去由配置在第2伺服电动机侧的加速度检测单元所检测出的加速度，由此求得加速度差，

进而，将该求得的加速度差负反馈给第1伺服电动机侧，来补正位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个，并且将该加速度差正反馈给第2伺服电动机侧，来补正位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个。

6.如权利要求4所述的控制装置，其中，

所述加速度检测单元，分别配置在由各伺服电动机所驱动的所述被驱动体的部位附近，

所述指令补正单元求得由各加速度检测单元所检测出的加速度值的和，进而将该求得的加速度的和负反馈给各伺服电动机的位置指令、速度指令、电流指令中的任意1个或多个，来补正位置指令、速度指令或电流指令。