CN1801452A - 平板显示器、栅电极结构和栅电极结构制造方法 - Google Patents

Abstract

平板显示器包括基片、前玻璃、阴极、栅电极、多个前肋条、磷光膜和金属背面膜、以及栅肋条。前玻璃布置成与基片相对，并且与基片一起形成真空外壳。前玻璃至少是部分透明。阴极布置在基片上。栅电极布置在基片和前玻璃之间，并且包括电子传输空穴，从阴极发射的电子穿过电子传输空穴。前肋条按照预定间隔从前玻璃向栅电极垂直延伸。磷光膜和阳极堆叠在前玻璃被前肋条夹在中间的区域内。栅肋条从栅电极向前玻璃垂直延伸，并且与前肋条接触。还公开了栅电极结构和栅电极结构制造方法。

Description

平板显示器、栅电极结构和栅电极结构制造方法

技术领域

本发明涉及一种控制从场致发射型电子源中发射电子的栅电极结构及其制造方法，以及具有这种栅电极结构的平板显示器。

背景技术

近年来，作为平板显示器，例如FED(场致发射显示器)或平面真空荧光显示器，其中从电子发射源发射的电子用作对反电极上由磷光体制成的发光部分的阴极轰击以便发光，已经提出使用纳米管纤维的各种类型作为电子发射源，例如碳纳米管或碳纳米纤维(例如，参见日本专利公开文本JP2002-343281和JP2004-193038)。图15表示常规平板显示器的实例，其使用纳米管纤维作为电子发射源。

这种平板显示器具有阴极基片120、阳极基片130和栅极基片110，阴极基片120具有由玻璃或类似物制成的基片121，阳极基片130具有前玻璃131，而栅极基片110布置成基本上平行于基片121和前玻璃131。阴极基片120的基片121和阳极基片130的前玻璃131形成外壳。外壳的内部保持成真空状态。

阴极基片120还具有多个基片肋条122和阴极123，基片肋条122相互平行地形成在基片121的表面上，而阴极123形成在基片121上被基片肋条122夹在中间的区域内，并且从顶部观察时基本上形成矩阵。作为阴极123，能使用由上述纳米管纤维制成的电子发射源。

阳极基片130还具有多个黑矩阵132、磷光膜133R、133G和133B、金属背面膜134、以及多个前肋条135，黑矩阵132形成在前玻璃131上以便平行于基片肋条122，磷光膜133R、133G和133B形成在前玻璃131上被黑矩阵132夹在中间的区域上，金属背面膜134形成在磷光膜133R、133G和133B上以便用作阳极，多个前肋条135形成在黑矩阵132上。黑矩阵132用来防止从相邻磷光体中发出的光泄漏，以便提高平板显示器的对比度。理想地，黑矩阵132形成为尽可能的薄以防平板显示器的亮度降低。同样理想地，前肋条135形成为薄的。

栅极基片110包括玻璃板111、扁平电极112、带状栅电极113和绝缘层114，扁平电极112形成在玻璃板111位于阳极基片130侧的表面上，带状栅电极113形成在玻璃板111位于阴极基片120侧的表面上，以便与磷光膜133R、133G和133B对应，而绝缘层114形成在栅电极113上。栅极基片110具有电子传输空穴115，从顶部观察时基本上为圆形，这些电子传输空穴115形成在带状栅电极113和矩阵状阴极123重叠的区域上，并且穿过玻璃板111、扁平电极112、栅电极113和绝缘层114。栅极基片110被阴极基片120的基片肋条122和阳极基片130的前肋条135夹在中间。

与前肋条135接触的扁平电极112保护阴极123和栅电极113不受阳极生成的电场影响。这能防止栅电极113和用作阳极的金属背面膜134之间的电位差产生电场，并且防止阴极123和金属背面膜134之间的异常放电，从而防止漏光。

在这种平板显示器中，当将预定的电位差施加在栅极基片110和阴极123之间以便栅极基片110侧具有正电位时，从电子传输空穴115中发射从阴极123与栅电极113交叉的那些区域中提取的电子。

更具体地，首先，将电压施加到扁平电极112以便将它设定成电位比阴极123的电位更高，以便预先在阴极123的表面上形成电场。当进一步将电压施加到栅电极113以便将它设定成电位比阴极123的电位更高时，电场形成在阴极123上以便伸出栅电极113的外表面，栅电极113的外表面形成电子传输空穴115，以便从阴极123表面上的电子发射源中提取电子。电子由扁平电极112进行加速，已经将电压施加到扁平电极112以便将它设定成关于栅电极113具有正电位，并且电子从电子传输空穴115向前玻璃131发射。

如果将高于扁平电极112上电位的正电位(加速电压)施加到金属背面膜134，则向金属背面膜134加速从电子传输空穴115中发射的电子，并且穿过金属背面膜134来轰击磷光膜133R、133G和133B。因此磷光膜133R、133G和133B发光。

将描述形成图15中所示平板显示器的各个构成元件的方法。

将按照下面方式形成阴极基片120。首先，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将绝缘浆料例如玻璃状浆料印刷在基片121上，以便在基片121的一个表面上形成基片肋条122。随后，将阴极123布置在基片121被基片肋条122夹在中间的那些区域上，阴极123在它们的表面上布置有电子发射源。这形成阴极基片120。通过利用CVD或类似方法将电子发射源布置在它们的表面上，能形成上述阴极123。

将按照下面的方式形成阳极基片130。首先，制备前玻璃131。利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将绝缘浆料例如玻璃状浆料印刷在前玻璃131上，以便在前玻璃131的一个表面上形成黑矩阵132。随后，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将磷光材料印刷在前玻璃131上被黑矩阵132夹在中间的那些区域上，以便形成磷光膜133R、133G和133B。利用公知的沉积方法将金属背面膜134形成在磷光膜133R、133G和133B上。最后，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将玻璃浆料重复印刷在黑矩阵132上以便形成前肋条135。作为选择，通过使用烧结浆料进行粘结或通过使用金属膜进行接触粘结，将由玻璃或陶瓷材料制成的元件固定成预定形状，前肋条135可以形成在黑矩阵132上。

将按照下面的方式形成栅极基片110。首先，制备玻璃板111，并且通过印刷或喷射将扁平电极112形成在玻璃板的一个表面上。随后，通过印刷或喷射将带状栅电极113形成在玻璃板111的另一表面上。通过印刷或类似方法将绝缘层114形成在玻璃板111的另一表面上以便覆盖栅电极113。最后，通过喷砂来形成电子传输空穴115，电子传输空穴115穿过扁平电极112、玻璃板111、栅电极113和绝缘层114。

在平板显示器中，通过增加流经阳极的电流(阳极电流)量或施加到阳极的电压(阳极电压)能实现高亮度。如果阳极电流增加，则磷光体将分解。因此，为了实现高亮度，增加阳极电压是有效的。当阳极电压增加时，由于阳极内生成的电场的影响，扁平电极112不能完全电屏蔽栅电极113和阴极123，并且在阳极和阴极123之间可能出现异常放电。为了防止这个，前肋条135必须这样形成以便阳极和扁平电极112之间的距离足够大。例如，当阳极电压是10KV时，理想地，阳极和扁平电极112之间的距离约为3.0mm。

如上所述，前肋条135形成杆或板，与它们的长度相比它们非常薄，以便防止平板显示器亮度降低。因此，用常规的重复印刷方法难以使前肋条135形成为预定高度。例如，当前肋条135是形成为宽度约200μm时，它们的高度至多约为2.0mm。当前肋条135是形成为宽度约50μm时，它们的高度至多约为1.0mm。

当用粘结或接触粘结将条状玻璃板固定在黑矩阵132上以便形成前肋条135时，不能形成与约50μm一样薄的薄玻璃板，并且不能获得高分辨率平板显示器。假设通过粘结来固定比较薄的玻璃板。烧结玻璃或银浆料用来固定玻璃板。因此，即使将玻璃板高度精确地布置在黑矩阵132上，它们在退火期间也受到前玻璃131的热膨胀等的反作用。因此，难以高度精确地布置形成的前肋条135。

发明内容

已经提出本发明来解决上述问题，并且它的目的是提供能实现高亮度的平板显示器、栅电极结构和栅电极结构制造方法。

为了实现上述目的，根据本发明，提供一种平板显示器，包括：基片；前玻璃，所述前玻璃布置成与所述基片相对，并且与所述基片一起形成真空外壳，所述前玻璃至少部分透明；阴极，所述阴极布置在所述基片上；栅电极，所述栅电极布置在所述基片和前玻璃之间，所述栅电极包括电子传输空穴，从所述阴极发射的电子穿过所述电子传输空穴；多个前肋条，所述多个前肋条从所述前玻璃向所述栅电极垂直延伸，所述多个前肋条按照预定间隔垂直延伸；磷光膜和阳极，所述磷光膜和阳极堆叠在所述前玻璃被所述前肋条夹在中间的区域内；支撑元件，所述支撑元件从所述栅电极向所述前玻璃垂直延伸，并且与所述前肋条接触。

根据本发明，也提供一种栅电极结构，包括：栅电极；支撑元件，所述支撑元件在所述栅电极的一个表面上垂直延伸。

根据本发明，也提供一种栅电极结构制造方法，包括下列步骤：形成具有栅电极的板状体；形成支撑元件，所述支撑元件在所述板状体的一个表面上垂直延伸。

附图说明

图1是表示依据本发明实施例的平板显示器排列的局部分解剖视图；

图2是表示图1内的栅极基片排列的透视剖视图；

图3A、4A、5A、6A、7A和8A是表示制造图1的栅极基片的步骤的局部平面图，而图3B、4B、5B、6B、7B和8B分别是沿图3A、4A、5A、6A、7A和8A的线I-I的剖视图；

图9是表示依据本发明图1中所示实施例的平板显示器排列的主体剖视图；

图10、11、12A和12B是表示栅极基片变型的透视剖视图；

图13和14是各自表示配备有聚焦基片的平板显示器排列的局部分解剖视图；

图15是表示常规平板显示器排列的局部分解图。

具体实施方式

将参考附图详细地描述本发明的实施例。

如图1中所示，依据本实施例的平板显示器1具有阴极基片20、阳极基片30和栅极基片(栅电极结构)10，阴极基片20具有由玻璃或类似物制成的基片21，阳极基片30具有至少部分透明的前玻璃31，栅极基片10布置成基本上平行于基片21和前玻璃31。阴极基片20的基片21和阳极基片30的前玻璃31通过框架状间隔玻璃排列成彼此相对，并且用低熔烧结玻璃粘结到间隔玻璃来形成外壳。外壳的内部保持大约10-5Pa的真空度。

阴极基片20具有上述基片21、多个基片肋条22和阴极23。基片肋条22在基片21的表面上垂直延伸以便相互平行，基片21与栅极基片10按照预定间隔相对。阴极23布置在基片21的那些被基片肋条22夹在中间的区域上，以便从顶部观察时基本上形成矩阵。作为阴极23，能使用通过将纳米管纤维如碳纳米管或碳纳米纤维制成的电子发射源固定到金属元件如42-6合金元件的表面上而获得的阴极。阴极23的上表面具有与基片肋条22的上表面相同的高度。

阳极基片30具有上述前玻璃31、具有矩形剖面的多个黑矩阵32、发射红色、绿色和蓝色的磷光膜33R、33G和33B、用作阳极的金属背面膜34、以及具有矩形剖面的多个前肋条35。黑矩阵32形成在前玻璃31与栅极基片10相对的那个表面上，以便沿着平行于阴极基片20的基片肋条22的方向按照预定间隔形成条纹。磷光膜33R、33G和33B形成在前玻璃31被黑矩阵32夹在中间的那些区域内。金属背面膜34形成在前玻璃31被磷光膜33R、33G和33B夹在中间的那些区域内。前肋条35在黑矩阵32上按照预定间隔向栅极基片10延伸。

前肋条35形成杆或板，与它们的长度相比它们非常薄。考虑到前肋条35中的二次电子发射，前肋条35由二次电子发射比率小的材料制成，或者由微导电材料制成，因此前肋条35将不积累电子。例如，能使用含氧化铬或类似物的玻璃浆料，更具体地，为NP-7800系列之一(由NoritakeKizai K.K.制造)，例如NP-7833。

栅极基片10由阴极基片20的基片肋条22和阳极基片30的前肋条35夹在外壳内。栅极基片10具有第二绝缘层11、多个平行肋条12、栅电极13、第一绝缘层14、扁平电极15以及多个栅肋条16，第二绝缘层11排列成与阴极基片20相对，多个平行肋条12形成在第二绝缘层11的阳极基片30侧的表面上以便相互隔开预定间隔，栅电极13布置在这些肋条12之间，第一绝缘层14形成在肋条12和栅电极13上，扁平电极15布置在第一绝缘层14上以便用作场控制电极，多个栅肋条16在扁平电极15上按照预定间隔向前玻璃31垂直延伸，沿垂直于前肋条35的方向前进，并且各自具有矩形剖面。栅极基片10具有电子传输空穴17，电子传输空穴17形成在栅电极13和阴极23相交的区域上，并且穿过第二绝缘层11、栅电极13、第一绝缘层14和扁平电极15。不包括栅肋条16的栅极基片10将称为“板状体”。

第二绝缘层11由例如烧结玻璃或PPSQ(聚苯倍半硅氧烷(SilsesQuioxane))制成，并且具有多个开口11a(参见下述图7A和7B)，它们沿着前肋条35的横向和纵向相互隔开预定间隔。开口11a连同下述栅电极13、第一绝缘层14和扁平电极15的开口一起形成部分电子传输空穴17。

肋条12由玻璃状绝缘浆料制成各自具有矩形剖面的杆或板。在沿横向或纵向相邻的开口11a的中间部分上，肋条12形成在第二绝缘层11上。因此，肋条12排成行以与相邻肋条隔开预定间隔。这样的肋条12用作导向器以便将栅电极13布置成相互隔开预定间隔。

栅电极13由条状平板制成，例如由导体制成的平板，如42-6合金。栅电极13沿纵向按照预定间隔具有开口13a(参见下述图6A和6B)以便形成部分电子传输空穴17。

第一绝缘层14由例如烧结玻璃制成。第一绝缘层14按照与第二绝缘层11的开口11a相等的间隔具有开口14a(参见下述图4A和4B)，从顶部观察时它们基本上为矩形。开口14a形成部分电子传输空穴17。

扁平电极15由平板制成，平板由导体例如42-6合金制成。扁平电极15按照与第二绝缘层11的开口11a和第一绝缘层14的开口14a相等的间隔具有开口15a，从顶部观察时它们基本上为矩形。开口15a形成部分电子传输空穴17。扁平电极15不但加速从阴极23的电子发射源中提取的电子，而且屏蔽用作阳极的金属背面膜34的电场以防漏光。

栅肋条16形成各自具有矩形剖面的杆或板。在沿横向或纵向相邻的电子传输空穴17的中间部分上，栅肋条16形成在扁平电极15上。例如，栅肋条16直接形成在肋条12上。因此，栅肋条16排成行以与相邻栅肋条隔开预定间隔。在图1的情形下，栅肋条16沿垂直于前肋条35的方向形成。考虑到栅肋条16中的二次电子发射，栅肋条16由二次电子发射比率小的材料制成，或者由微导电材料制成，因此栅肋条16将不积累电子。例如，能使用含氧化铬或类似物的玻璃浆料，更具体地，使用NP-7800系列之一(由Noritake Kizai K.K.制造)，例如NP-7833。

将参考图3A和3B至图8A和8B来描述形成栅极基片10的方法。首先，如图3A和3B中所示，制备扁平电极15。预先用公知的蚀刻方法，例如，湿蚀刻、干蚀刻、或电场蚀刻，在扁平电极15内形成从顶部观察时基本上为矩形的多个开口15a，以便它们相互隔开预定间隔。

使用预定的掩模图案，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将烧结玻璃印刷和煅烧在扁平电极15上。如图4A和4B中所示，这样形成第一绝缘层14，第一绝缘层14在与扁平电极15的开口15a对应的位置上具有形成电子传输空穴17的开口14a。

随后，使用预定的掩模图案，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将玻璃状绝缘浆料印刷在第一绝缘层14上。如图5A和5B中所示，这样在第一绝缘层14上形成肋条12。由于肋条12，能精确地定位栅电极13。

如图6A和6B中所示，将栅电极13布置在被肋条12夹在中间的第一绝缘层14上的那些区域内，预先用公知的蚀刻方法，例如，湿蚀刻、干蚀刻、或电场蚀刻，在栅电极13内形成开口13a。栅电极13位于第一绝缘层14侧上的表面通过使用烧结玻璃或类似物的粘结完全固定到第一绝缘层14，以便开口13a与第一绝缘层14的开口14a重叠。

使用预定的掩模图案，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将烧结玻璃印刷和煅烧在肋条12和栅电极13上。如图7A和7B中所示，这样形成第二绝缘层11，第二绝缘层11在与栅电极13的开口13a对应的位置上具有形成电子传输空穴17的开口11a。

随后，使用预定的掩模图案，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将烧结玻璃重复印刷和煅烧在扁平电极15与已经形成有第一绝缘层14的表面相对的表面上。如图8A和8B中所示，这样在扁平电极15上形成栅肋条16。

作为选择，能按照下列方式形成栅肋条16。首先，制备通过紫外线照射而固化且混合有树脂的玻璃状浆料。将这个浆料从锥形喷嘴排在扁平电极15与已经形成有第一绝缘层14的表面相对的表面上。用紫外线照射浆料，从而固化它的表面。在这种情况下，煅烧浆料以便将它固化到它的内部。因此，例如，能形成宽度为50μm-200μm和高度为1mm-2mm的栅肋条16。通过对排出浆料、紫外线照射和煅烧的系列步骤只实施一次就能形成具有上述高度的栅肋条16。作为选择，可以多次执行这个系列步骤以使栅肋条16形成为理想的高度。

在上面的描述中，形成肋条12之后，将栅电极13布置在第一绝缘层14上。作为选择，可以在形成栅肋条16之后将栅电极13布置在第一绝缘层14上。将在下文中描述这种情形。

首先，如图5A和5B中所示，肋条12形成在第一绝缘层14上，此后栅肋条16形成在扁平电极15上。第二绝缘层11形成在栅电极13的一个表面上。形成肋条12形成为具有与栅电极13的厚度基本相同的厚度。

然后，从没有形成第二绝缘层11的表面，将其上形成有第二绝缘层11的栅电极13装配在第一绝缘层14被肋条12夹在中间的那些区域内。此时，通过用烧结玻璃或类似物沿每个栅电极13的纵向将一端粘结在第一绝缘层14上，可以定位栅电极13。

也能以这种方式形成栅极基片10。在这种情形下，第二绝缘层11不形成在肋条12上。只要栅电极13没有与阴极23直接接触，第二绝缘层11就不需要形成在肋条12上。

到目前为止已经描述了形成栅极基片10的方法。按照与常规情形下相同的方式能形成阴极基片20和阳极基片30。通过使用已经针对栅肋条16描述的方法，包括对浆料进行紫外线照射和煅烧，能形成阴极基片20的基片肋条22和阳极基片30的前肋条35。

将参考图9描述依据本实施例的平板显示器内栅极基片10和阳极基片30(上面对两者进行了描述)之间的位置关系。根据本实施例，前肋条35形成在阳极基片30的前玻璃31上，而栅肋条16形成在栅极基片10的扁平电极15上。栅肋条16与前肋条35接触以便支撑阳极基片30。即，栅肋条16用作支撑元件。按照这种方式，在本实施例的平板显示器内，不但前肋条35而且栅肋条16都提供在阳极基片30和栅极基片10之间。因此，栅极基片10和阳极基片30之间的距离能增加成大于这种情形，其中如在常规平板显示器内只提供前肋条135。

按照惯例，栅肋条不能形成在栅极基片110上。这是因为下述原因。厚度约为0.1mm的玻璃板111用作使栅电极113与扁平电极112分开的绝缘层。如果分别将栅电极113和扁平电极112印刷在玻璃板111的两个表面上，并且通过重复印刷在扁平电极112上形成栅肋条，则玻璃板111可能破裂。考虑到这个，根据本实施例，扁平电极15由导电板制成。然后，即使通过重复印刷在扁平电极15上形成栅肋条16，第一绝缘层14将也不会破裂，因此栅肋条16能形成在栅极基片10上。

按照这种方式，根据本实施例，栅肋条16能形成在栅极基片10上。因此，栅极基片10和阳极基片30之间的距离能增加到这种程度，以便即使当高压施加到金属背面膜34时，异常放电也将不会出现在阴极23和金属背面膜34之间。

因此，如图所示，例如图9，如果栅肋条16和前肋条35形成为高度是1.5mm，则栅极基片10和阳极基片30之间的距离变成3.0mm。约10KV的高压能施加到金属背面膜34，以便能实现高亮度。此时，尽管栅肋条16和前肋条35形成为宽度是0.2mm，例如在图9中，但它们也能形成为0.05mm-0.2mm的宽度。结果，也能同时实现微图案结构。

将描述栅极基片10的变型。形成栅肋条16的方向不局限于垂直于前肋条35的方向，如图1中所示，而可以是只与前肋条35相交的方向。可以沿平行于前肋条35的方向形成栅肋条16，图10中图示了栅极基片10a的类似栅肋条16a。在这种情形下，关于栅肋条16a和前肋条35，位于相对位置的栅肋条16a和前肋条35相互接触。

栅肋条不局限于杆，如图1和10中所示，而从顶部观察时可以大致形成矩阵，这些矩阵在扁平电极15上垂直延伸，图11中图示了栅极基片10b的类似栅肋条16b。在这种情形下，使用预定的掩模图案，利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将烧结玻璃重复印刷和煅烧在扁平电极15上达到预定高度来形成栅肋条16b。由于矩阵形状，栅肋条16b能提高对来自阴极基片20和阳极基片30的压力的抵抗，这些压力由大气压等产生。

如在图12a中所示的栅极基片10c内，聚焦电极18可以形成在栅肋条16与前肋条35相对的远端面上。与施加到扁平电极15的电位相等的正电位施加到聚焦电极18。经过证实，由于聚焦电极18，从阴极23提取的和从电子传输空穴17发射的电子从前肋条35的侧表面向磷光膜33R、33G和33B的中心会聚。这可能是因为由用作阳极的金属背面膜34生成的电场强度被由聚焦电极18生成的电场改变。

聚焦电极18能屏蔽阴极23和栅电极13而不受由金属背面膜34生成的电场的影响，因此，栅电极13和用作阳极的金属背面膜34之间的电位差将不能产生电场。因此，能防止阴极23和金属背面膜34之间的异常放电以及漏光。

利用公知的印刷方法，例如丝网印刷，将例如银浆料印刷在栅肋条16上来形成聚焦电极18。形成聚焦电极18的位置将不局限于图12A中所示的垂直于前肋条35的栅肋条16上。如在图12B中所示的栅极基片10d内，聚焦电极18能形成在平行于前肋条35的栅肋条16a上。作为选择，聚焦电极18能形成在图11中所示的栅肋条16b上，从顶部观察时这些栅肋条16b基本上形成矩阵。聚焦电极也可以形成在前肋条35与栅肋条16、16a或16b相对的那些表面上。

代替上述聚焦电极18，如图13中所示，聚焦基片(聚焦电极)40可以排列在栅肋条16和前肋条35之间以便被它们夹在中间。聚焦基片40由导电板制成，导电板由例如42-6合金制成，用公知的蚀刻方法，例如，湿蚀刻、干蚀刻、或电场蚀刻，在与栅极基片10的电子传输空穴17对应的位置上，在聚焦基片40内形成开口40a。由于聚焦基片40，按照与配备有聚焦电极18的情形下相同的方式，能对栅电极13进行电屏蔽以便防止栅电极13和用作阳极的金属背面膜34之间的电位差产生电场。因此，能防止阴极23和金属背面膜34之间的异常放电以及漏光。不但如图13中所示当栅极基片10的栅肋条16垂直于前肋条35时，而且如图14中所示当栅极基片10的栅肋条16平行于前肋条35时，都不能形成聚焦基片40。

根据本实施例，当从顶部观察时，电子传输空穴17大致形成矩阵。电子传输空穴17不局限于此，而能进行任意和自由地设定，例如，当从顶部观察时基本为圆形。

根据本实施例，每个栅电极13沿纵向的一端用烧结玻璃粘结在第一绝缘层14上。作为选择，由烧结玻璃或类似物制成的粘结层可以形成在第一绝缘层14上，而栅电极13可以布置在粘结层上。在这种情形下，肋条12也形成在粘结层上。

如上所述，根据本发明，栅肋条16、16a或16b形成在栅极基片10、10a、10b、10c或10d的一个表面上，因此，栅极基片10、10a、10b、10c或10d与用作阳极的金属背面膜34之间的距离可以增加。即使当高压施加到阳极时，也能保护阴极23和栅电极13不受阳极生成的电场影响。因此，能防止阴极23和阳极之间的放电。结果，能实现高亮度。

Claims (18)

1、一种平板显示器，包括：

基片(21)；

前玻璃(31)，所述前玻璃布置成与所述基片相对，并且与所述基片一起形成真空外壳，所述前玻璃至少部分透明；

阴极(23)，所述阴极布置在所述基片上；

栅电极(13)，所述栅电极布置在所述基片和前玻璃之间，所述栅电极包括电子传输空穴(17)，从所述阴极发射的电子穿过所述电子传输空穴；

多个前肋条(35)，所述多个前肋条从所述前玻璃向所述栅电极垂直延伸，所述多个前肋条按照预定间隔垂直延伸；

磷光膜(33R，33G，33B)和阳极(34)，所述磷光膜和阳极堆叠在所述前玻璃被所述前肋条夹在中间的区域内；以及

支撑元件(16，16a，16b)，所述支撑元件从所述栅电极向所述前玻璃垂直延伸，并且与所述前肋条接触。

2、根据权利要求1所述的显示器，还包括：

第一绝缘层(14)，所述第一绝缘层形成在所述栅电极上；

扁平电极(15)，所述扁平电极形成在所述绝缘层上，所述扁平电极布置成与所述阳极相对，

其中所述支撑元件形成在所述扁平电极的阳极侧上。

3、根据权利要求1所述的显示器，其中所述支撑元件包括多个按照预定间隔排成行的栅肋条(16，16a)。

4、根据权利要求3所述的显示器，其中所述栅肋条布置成各自位于平行于所述前肋条的位置和交叉所述前肋条的位置之一上。

5、根据权利要求1所述的显示器，其中当从前玻璃侧观察时所述支撑元件基本上形成矩阵。

6、根据权利要求1所述的显示器，还包括聚焦电极(18)，所述聚焦电极形成在所述支撑元件与所述前肋条相对的表面上。

7、根据权利要求1所述的显示器，还包括聚焦电极(40)，所述聚焦电极被所述支撑元件和前肋条夹在中间。

8、一种栅电极结构(10，10a-10d)，包括：

栅电极(13)；

支撑元件(16，16a，16b)，所述支撑元件在所述栅电极的一个表面上垂直延伸。

9、根据权利要求8所述的结构，还包括：

绝缘层(14)，所述绝缘层形成在所述栅电极上；

扁平电极(15)，所述扁平电极形成在所述绝缘层上；

电子传输空穴(17)，所述电子传输空穴穿过所述栅电极、绝缘层和扁平电极，

其中所述支撑元件形成在所述扁平电极上。

10、根据权利要求8所述的结构，其中所述支撑元件包括多个按照预定间隔排成行的栅肋条(16，16a)。

11、根据权利要求8所述的结构，其中当从前玻璃侧观察时所述支撑元件基本上形成矩阵。

12、根据权利要求8所述的结构，还包括聚焦电极(18)，所述聚焦电极形成在所述支撑元件的远端面上。

13、一种栅电极结构制造方法，包括下列步骤：

形成具有栅电极(13)的板状体；

形成支撑元件(16，16a，16b)，所述支撑元件在所述板状体的一个表面上垂直延伸。

14、根据权利要求13所述的方法，其中：

形成板状体的步骤包括下列步骤：

在具有开口(15a)的扁平电极(15)的一个表面上形成绝缘层(14)，

在所述绝缘层上形成所述栅电极，

形成支撑元件的步骤包括在所述扁平电极的另一表面上形成所述支撑元件的步骤。

15、根据权利要求13所述的方法，其中所述支撑元件包括多个按照预定间隔排成行的栅肋条(16，16a)。

16、根据权利要求13所述的方法，其中当从前玻璃侧观察时所述支撑元件基本上形成矩阵。

17、根据权利要求13所述的方法，其中所述扁平电极包括导电板。

18、根据权利要求13所述的方法，其中形成支撑元件的步骤包括通过印刷形成支撑元件的步骤。

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