CN1790772A - 图案形成基板、电光学装置以及电光学装置的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了使液滴干燥形成的层叠图案的均匀性改善，同时改善其生产效率的图案形成基板、电光学装置和电光学装置的制造方法。通过将具有下层官能团26a和上层官能团26b的表面活性剂26混合于下层溶剂生成下层形成溶液25L，将由该下层形成溶液25L组成的下层液滴25D干燥形成空穴输送层。然后，设法在空穴输送层上，通过润湿并铺展由含有发光层形成材料的上层形成溶液组成的上层液滴层叠发光层。

Description

图案形成基板、电光学装置以及电光学装置的制造方法

技术领域

本发明涉及一种图案形成基板、电光学装置以及电光学装置的制造方法。

背景技术

以往作为具有发光元件的显示器所公知的是，具有有机电致发光元件(有机EL元件)的电光学装置即有机电致发光显示器(有机EL显示器)。

有机EL元件的制造方法通常因其有机EL层的构成材料存在较大区别。即，当把低分子有机材料作为有机EL层的构成材料时，采用的是将该低分子有机材料蒸镀而形成有机EL层的所谓气相工艺。另一方面，当把高分子有机材料作为有机EL层的构成材料时，采用的是将把该高分子有机材料溶解于有机溶剂后所形成的溶液涂布、干燥的所谓液相工艺。

其中，该液相工艺中的喷墨法由于使上述溶液形成微小的液滴而喷出，所以与其它的液相法(例如，旋涂法等)相比，可以以更高的精度控制有机EL层的形成位置和膜厚等。另外，由于喷墨法中只在形成有机EL层的区域(元件形成区域)喷出上述液滴，所以可以降低作为原材料的高分子有机材料的使用量。

可是，在喷墨法中，液滴相对于上述元件形成区域的接触角如果变大(如果润湿性变差)，则喷出的液滴就会偏向图案形成区域的一部分。其结果，有机EL层中由于各液滴间的边缘等，会导致损害其形状均匀性(例如，有机EL层的膜厚均匀性和有机EL层间的膜厚均匀性等)的问题。

因此，针对这种喷墨法，以往提出了改善所喷出的液滴的润湿性的方案(例如，专利文献1)。在专利文献1中，在喷出液滴之前，对图案形成区域(透明电极上)进行亲液性的等离子体处理(氧等离子体处理)。由此可以改善液滴的润湿性，并可以改善图案形成区域内的图案形状的均匀性。

[专利文献1]特开2002-334782号公报

通常有机EL层由至少具有发出有色光的发光层、和在该发光层和阳极(例如，ITO膜)之间形成的空穴输送层的层叠图案形成。当形成这种层叠图案时，就喷墨法来说，为了避免下层图案溶解(相溶)于形成上层图案的液滴中，由不同极性的材料构成上层图案和下层图案。例如，通过使亲油性的发光材料溶解或者分散于芳香族系的有机溶剂中形成上层图案，通过使亲水性的空穴输送层溶解或者分散于水中形成下层图案。

即，作为形成上层图案的材料，可选择相对于下层图案的润湿性低的材料。因此，要想确保形成上层图案的液滴的润湿性，必须对下层图案实施上述亲液性的等离子体处理。

但是，由于下层图案(例如，空穴输送层)由耐等离子体性较低的有机物形成，所以如果对该下层图案进行等离子体处理等，则会给该下层图案带来损伤。另外，由于需要追加等离子体处理工序，也会相应地影响有机EL显示器的生产效率。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供能改善将液滴干燥而成的层叠图案的均匀性的同时改善了其生产效率的图案形成基板、电光学装置以及电光学装置的制造方法。

本发明的图案形成基板，其具有通过将图案层叠而成的层叠图案，所述图案是通过将含有图案形成材料的液滴干燥而形成的，且下层图案含有相对于形成上层图案的所述液滴具有亲液性的表面活性剂。

根据本发明的图案形成基板，由于下层图案中含有表面活性剂，就可以相应地改善形成上层图案的液滴相对于下层图案的润湿性。因此，可以在不追加各种表面处理工序的条件下，在下层图案上层叠形状均匀的上层图案。进而还可以改善图案形成基板的生产效率。

在该图案形成基板中，上述表面活性剂具备了相对于形成上层图案的液滴具有亲液性的官能团、和相对于形成下层图案的液滴具有亲液性的官能团。

根据该图案形成基板，由于表面活性剂具有相对于形成下层图案的液滴具有亲液性的官能团，所以可以使该表面活性剂均匀混合于形成下层图案的液滴内。另外，由于表面活性剂具有相对于形成上层图案的液滴具有亲液性的官能团，所以可以通过该表面活性剂改善形成上层图案的液滴的润湿性。因此，可以在下层图案上层叠形状均匀的上层图案，从而可以改善图案形成基板的生产效率。

在该图案形成基板中，上述表面活性剂是具备具有亲水性的官能团和具有亲油性的官能团的有机化合物，可以使用具备相对于形成上层图案的液滴具有亲液性的官能团的硅烷偶合剂的水解产物等。

在该图案形成基板中，上述图案形成材料是发光元件形成材料，上述层叠图案是发光元件。

根据该图案形成基板，可以形成均匀形状的发光元件，从而可以改善具有该发光元件的图案形成基板的生产效率。

本发明的电光学装置，其具备通过层叠薄膜层而成的发光元件，所述薄膜层是将含有薄膜层形成材料的液滴干燥而形成的，且下层薄膜层含有相对于形成上层薄膜层的所述液滴具有亲液性的表面活性剂。

根据本发明的电光学装置，由于下层薄膜层含有表面活性剂，可以相应地改善形成上层薄膜层的液滴相对于下层薄膜层的润湿性。因此，可以在不增加各种表面处理工序等的条件下，在下层薄膜层上层叠均匀形状的上层薄膜层。另外，可以改善电光学装置的生产效率。

在该电光学装置中，上述表面活性剂具有相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团、和相对于形成下层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团。

根据该电光学装置，由于表面活性剂具有相对于形成下层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团，所以可以使该表面活性剂均匀混合于形成下层薄膜层的液滴内。另外，由于表面活性剂具有相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团，所以可以通过该表面活性剂改善形成上层薄膜层的液滴的润湿性。因此，可以在下层薄膜层上层叠均匀形状的上层薄膜层，从而可以改善电光学装置的生产效率。

在该电光学装置中，上述表面活性剂是具备了具有亲水性的官能团和具有亲油性的官能团的有机化合物，可以使用具备了相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团的硅烷偶合剂的水解产物等。

在该电光学装置中，上述发光元件是在透明电极和背面电极之间层叠有上述薄膜层的电致发光元件。

根据该电光学装置，可以改善具有电致发光元件的电光学装置的生产效率。

在该电光学装置中，上述发光元件是具有由有机材料组成的上述层叠膜的有机电致发光元件。

根据该电光学装置，可以改善具有有机电致发光元件的电光学装置的生产效率。

在该电光学装置中，上述上层薄膜层是由可以溶解或者分散于疏水性液体的发光层形成材料组成的发光层，下层薄膜层是由可以溶解或者分散于亲水性液体的空穴输送层形成材料组成的空穴输送层。

根据该电光学装置，由于可以溶解或者分散于亲水性液体的空穴输送层含有表面活性剂，所以可以在该空穴输送层的上层均匀层叠可以溶解或者分散于疏水性液体的发光层。

本发明的电光学装置的制造方法，其中将含有薄膜层形成材料的液滴干燥而形成薄膜层，并通过层叠所述薄膜层而形成发光元件，其中，在形成下层薄膜层的液滴中，混合相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的表面活性剂，并通过将混合了所述表面活性剂的液滴干燥而形成所述下层薄膜层，之后通过在所述下层薄膜层上将形成所述上层薄膜层的液滴干燥而在所述下层薄膜层上层叠所述上层薄膜层。

根据本发明的电光学装置的制造方法，由于在形成下层薄膜层的液滴内混合表面活性剂，可以相应地改善形成上层薄膜层的液滴相对于下层薄膜层的润湿性。因此，可以在不增加各种表面处理工序的条件下，在下层薄膜层上层叠均匀形状的上层薄膜层。进而还可以改善电光学装置的生产效率。

在该电光学装置的制造方法中，上述表面活性剂具有相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团、和相对于形成下层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团。

根据该电光学装置的制造方法，由于表面活性剂具有相对于形成下层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团，所以可以使该表面活性剂均匀混合于形成下层薄膜层的液滴内。另外，由于表面活性剂具有相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团，所以可以通过该表面活性剂改善形成上层薄膜层的液滴的润湿性。因此，可以在下层薄膜层上层叠均匀形状的上层薄膜层，从而可以改善电光学装置的生产效率。

在该电光学装置的制造方法中，上述表面活性剂是具备了具有亲水性的官能团和具有亲油性的官能团的有机化合物，可以使用具备了相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团的硅烷偶合剂等。

在该电光学装置的制造方法中，上述发光元件是在透明电极和背面电极之间层叠有上述薄膜层的电致发光元件。

根据该电光学装置的制造方法，可以改善具有电致发光元件的电光学装置的生产效率。

在该电光学装置的制造方法中，上述发光元件是具有由有机材料组成的上述薄膜层的有机电致发光元件。

根据该电光学装置的制造方法，可以改善具有有机电致发光元件的电光学装置的生产效率。

在该电光学装置的制造方法中，通过在含有空穴输送层形成材料的亲水性液体中混合上述表面活性剂，并将由混合了上述表面活性剂的液体组成的液滴干燥，从而在形成下层的空穴输送层后在上述空穴输送层上将由含有发光层形成材料的疏水性液体组成的液滴干燥来层叠了上层的发光层。

根据该电光学装置的制造方法，由于空穴输送层含有表面活性剂，所以可以在将亲水性的液滴干燥形成的空穴输送层上，使含有发光层形成材料的疏水性液体润湿并铺展，从而可以均匀层叠发光层。因此，可以改善具有由空穴输送层和发光层组成的有机电致发光元件的电光学装置的生产效率。

在该电光学装置的制造方法中，上述亲水性液体的主成分是具有极性的液体，上述疏水性液体的主成分是具有非极性的液体。

根据该电光学装置的制造方法，可以在将具有极性的液体干燥形成的空穴输送层上，均匀层叠将非极性的液体干燥形成的发光层。

在该电光学装置的制造方法中，上述液滴由液滴喷出装置喷出。

根据该电光学装置的制造方法，由于由液滴喷出装置形成微小液滴，因此可以相应地形成形状更加均匀的发光元件，从而可以改善电光学装置的生产效率。

附图说明

图1是表示将本发明具体化的有机EL显示器的俯视示意图。

图2是同样表示像素的俯视示意图。

图3是同样表示控制元件形成区域的截面示意图。

图4是同样表示控制元件形成区域的截面示意图。

图5是同样表示发光元件形成区域的截面示意图。

图6是同样说明电光学装置的制造工序的流程图。

图7是同样说明电光学装置的制造工序的说明图。

图8是同样说明电光学装置的制造工序的说明图。

图9是同样说明电光学装置的制造工序的说明图。

图10是同样说明电光学装置的制造工序的说明图。

图中，

10…作为电光学装置的有机EL显示器，11…作为图案形成基板的透明基板，15…发光元件形成区域，20…作为透明电极的阳极，22…隔壁层，24…隔壁，25…作为下层图案和下层薄膜层的空穴输送层，25D…下层液滴，25s…构成薄膜层形成材料的空穴输送层形成材料，26…表面活性剂，26a…下层官能团，26b…上层官能团，27…作为上层图案和上层薄膜层的发光层，27s…作为薄膜层形成材料的发光层形成材料，27D…上层液滴，30…作为层叠图案的有机EL层，31…作为背面电极的阴极，35…构成液滴喷出装置的液体喷头。

具体实施方式

下面，根据图1～图10对将本发明具体化的一个实施方式进行说明。图1是表示作为电光学装置的有机电致发光显示器(有机EL显示器)的俯视示意图。

如图1中所示，在有机EL显示器10中，具有作为图案形成基板的透明基板11。透明基板11是形成为四方形的无碱玻璃基板，在其表面(元件形成面11a)上，形成有四方形的元件形成区域12。在该元件形成区域12上，相隔规定间隔形成有沿上下方向(列方向)延伸的多个数据线Ly。各数据线Ly分别与在透明基板11的下侧设置的数据线驱动电路Dr1保持电连接。数据线驱动电路Dr1，根据由未图示的外部装置供给的显示数据生成数据信号，并以规定的时间将该数据信号输出至对应的数据线Ly。

另外，在元件形成区域12上，隔规定间隔与各数据线Ly并行设置有沿列方向延伸的多个电源线Lv。各电源线Lv分别与在元件形成区域12的下侧形成的共用电源线Lvc保持电连接，从而可将由未图示的电源电压生成电路生成的驱动电源供给至各电源线Lv。

此外，在元件形成区域12上，隔规定间隔形成有沿与数据线Ly和电源线Lv正交的方向(行方向)延伸的多个扫描线Lx。各扫描线Lx分别与在透明基板11的左侧形成的扫描线驱动电路Dr2保持电连接。扫描线驱动电路Dr2，根据由未图示的控制电路供给的扫描控制信号，在规定时间内选择驱动多个扫描线Lx中的规定的扫描线Lx，向该扫描线Lx输出扫描信号。

在这些数据线Ly和扫描线Lx的交差位置，形成有通过与对应的数据线Ly、电源线Lv和扫描线Lx连接而排列为矩阵状的多个像素13。在该像素13内，分别分区形成有控制元件形成区域14和发光元件形成区域15。另外，通过用四方形的密封基板16(图1中的双点划线)覆盖元件形成区域12的上侧，来保护像素13。

另外，本实施方式中的各像素13是分别发出对应的颜色的光的像素，是发红色光的红色像素或者发绿色光的绿色像素或者发蓝色光的蓝色像素。另外，通过这些各个像素13，在透明基板11的背面(显示面11b)一侧显示出彩色图像。

下面对上述的像素13进行说明。图2是表示控制元件形成区域14和发光元件形成区域15的线路图(layout)的俯视示意图。图3和图4是表示分别沿图2的点划线A-A和B-B剖开的控制元件形成区域14的截面示意图，图5是表示沿图2的点划线C-C剖开的发光元件形成区域15的截面示意图。

首先，对控制元件形成区域14的结构进行以下说明。如图2中所示，在各像素13的下侧，分别形成有控制元件形成区域14，在该控制元件形成区域14上，分别形成有第1晶体管(转换用晶体管)T1、第2晶体管(驱动用晶体管)T2和保持电容器Cs。

如图3中所示，转换用晶体管T1在其最下层具有第1沟道膜B 1。第1沟道膜B1是形成在元件形成面11a上的岛状的p型多晶硅膜，在其中央位置上形成有第1沟道区域C1。在夹着该第1沟道区域C1的左右两侧形成有活性化的n型区域(第1源极区域S1和第1漏极区域D1)。即，转换用晶体管T1是所谓的多晶硅型TFT。

在第1沟道区域C1的上侧，按照从元件形成面11a开始的顺序，形成有栅极绝缘膜Gox和第1栅极电极G1。栅极绝缘膜Gox是硅氧化膜等具有光透过性的绝缘膜，堆积在第1沟道区域C1的上侧和元件形成面11a的大致整个面上。第1栅极电极G1是钽或铝等低电阻金属膜，形成在与第1沟道区域C1相对向的位置上，如图2中所示，与扫描线Lx保持电连接。该第1栅极电极G1如图3中所示，由堆积在栅极绝缘膜Gox上侧的第1层间绝缘膜IL1被实施电绝缘。

然后，如果扫描线驱动电路Dr2通过扫描线Lx向第1栅极电极G1输入扫描信号，则转换用晶体管T1根据该扫描信号处于接通状态。

在第1源极区域S1上，电连接有贯穿上述第1层间绝缘膜IL1和栅极绝缘膜Gox的数据线Ly。另外，在第1漏极区域D1上，电连接有贯穿第1层间绝缘膜IL1和栅极绝缘膜Gox的第1漏极电极Dp1。这些数据线Ly和第1漏极电极Dp1如图3中所示，被堆积在第1层间绝缘膜IL1上侧的第2层间绝缘膜IL2实施电绝缘。

然后，如果扫描线驱动电路Dr2根据线顺序扫描依次选择每根扫描线Lx，则像素13的转换用晶体管T1依次仅在选择期间处于接通状态。转换用晶体管T1如果处于接通状态，则由数据驱动电路Dr1输出的数据信号通过数据线Ly和转换用晶体管T1(沟道膜B1)输出至第1漏极电极Dp1。

如图4中所示，驱动用晶体管T2是具备了具有第2沟道区域C2、第2源极区域S2和第2漏极区域D2的沟道膜B2的多晶硅型TFT。在该第2沟道膜B2的上侧，通过栅极绝缘膜Gox形成有第2栅极电极G2。第2栅极电极G2是钽或铝等低电阻金属膜，如图2中所示，与转换用晶体管T1的第1漏极电极Dp1和保持电容器Cs的下部电极Cp1保持电连接。这些第2栅极电极G2和下部电极Cp1如图4中所示，由堆积在栅极绝缘膜Gox上侧的上述第1层间绝缘膜IL1被实施电绝缘。

第2源极区域S2与贯穿该第1层间绝缘膜IL1的保持电容器Cs的上部电极Cp2保持电连接。该上部电极Cp2如图2中所示，与对应的电源线Lv保持电连接。即，在驱动用晶体管T2的第2栅极电极G2和第2源极区域S2之间，如图2和图4中所示，连接有把第1层间绝缘膜IL1作为电容膜的保持电容器Cs。第2漏极区域D2与贯穿该第1层间绝缘膜IL1的第2漏极电极Dp2保持电连接。这些第2漏极电极Dp2和上部电极Cp2由堆积在第1层间绝缘膜IL1上侧的第2层间绝缘膜IL2被实施电绝缘。

然后，如果由数据线驱动电路Dr1输出的数据信号通过转换用晶体管T1输出至第1漏极区域D1，则保持电容器Cs存储相对于输出的数据信号的电荷。接着，当转换用晶体管T1处于接通状态时，相对于存储在保持电容器Cs中的电荷的驱动电流通过驱动用晶体管T2(沟道膜B2)输出至第2漏极区域D2。

下面，对发光元件形成区域15的结构进行以下说明。

如图2中所示，在各像素13的上侧分别形成有四方形的发光元件形成区域15。如图5中所示，在该发光元件形成区域15的上述第2层间绝缘膜IL2的上侧形成有作为透明电极的阳极20。

阳极20是ITO等具有光透过性的透明导电膜，其一端如图4中所示，贯穿第2层间绝缘膜IL2与第2漏极区域D2保持电连接。该阳极20的上面20a通过后述的亲液化处理(图6中的步骤12)与下层液滴25D(参考图9)具有亲液性。

在该阳极20的上侧，堆积有使各阳极20相互绝缘的硅氧化膜等第3层间绝缘膜IL3。在该第3层间绝缘膜IL3上，形成有开口对应于阳极20大致中央位置的上侧的四方形的贯穿孔21，在该第3层间绝缘膜IL3的上侧形成有隔壁层22。

隔壁层22由所谓的正型感光性材料形成，当用由规定波长组成的曝光光Lpr(参考图7)进行曝光时，所述正型感光性材料中只有被曝光的部分可溶于碱性溶液等显影液中，该隔壁层22同时由对后述的下层形成溶液25L(参考图9)和上层形成溶液27L(参考图10)具有疏液性的感光性聚酰亚胺等树脂形成。

在该隔壁层22上，形成有以与贯穿孔21相对向的位置为上侧开口的锥形的收容孔23。收容孔23按照可以在对应的发光元件形成区域15内收容后述的下层液滴25D(参考图9)和上层液滴27D(参考图10)的大小形成。另外，由该收容孔23内部圆周面，形成包围发光元件形成区域15(阳极20和贯穿孔21)的隔壁24。

在发光元件形成区域15内的阳极20的上侧，形成有作为下层图案的下层薄膜层(空穴输送层)25。空穴输送层25是由构成图案形成材料和薄膜层形成材料的空穴输送层形成材料25s(参考图9)组成的图案。

还有，本实施方式中的空穴输送层形成材料25s是例如联苯胺衍生物、苯乙烯胺衍生物、三苯基甲烷衍生物、三苯胺衍生物、和腙衍生物等低分子化合物，或者局部含有这些结构的高分子化合物，或是聚苯胺、聚噻吩、聚乙烯咔唑、α-萘基苯基二胺、聚(3，4-亚乙二氧基噻吩)和聚苯乙烯磺酸的混合物(PEDOT/PSS)(Baytron P，バィエル社商标)等高分子化合物。

在该空穴输送层25内含有表面活性剂26。表面活性剂26具有相对于后述的下层液滴25D具有亲液性(在本实施方式中是亲水性)的下层官能团26a和相对于后述的上层液滴27D具有亲液性(在本实施方式中是亲油性)的上层官能团26b。表面活性剂26如下所述地含有上述官能团，即使该下层官能团26a位于空穴输送层25的旁边，使上层官能团26b在该空穴输送层25的上面露出。

下层官能团26a是能提高与后述的亲水性的下层溶剂(或者空穴输送层形成材料25s)的亲合性的基团，该亲合性是在与下层溶剂(或者空穴输送层形成材料25s)之间形成亲合力或范德瓦尔斯力、静电引力等亲合力、或者共价键、离子键、配位键、氢键等键而产生的。该下层官能团26a是例如羟基、草酸基、铵基、硫酸基、磷酸基、或者这些的钠盐或钾盐等。

另一方面，上层官能团26b是能提高与后述的疏水性的上层溶剂(或者发光层形成材料27s)的亲合性的基团。该上层官能团26b是例如苯基、苄基、苯乙基、羟基苯基、氯苯基、氨基苯基、萘基、蒽基(アンスレニル基)、芘基、噻嗯基、吡咯基、环己基、环己烯基、环戊基、环戊烯基、吡啶基等具有环状结构的有机基。或者，上层官能团26b也可以是甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十四烷基、十六烷基、十八烷基、氯甲基、甲氧基乙基、羟基乙基、氨基乙基、氰基、巯基丙基、乙烯基、烯丙基、丙烯酰氧基乙基、甲基丙烯酰氧基乙基、环氧丙氧基、乙酰氧基等有机基团，只要是能提高与上层溶剂(或者，发光层形成材料27s)的亲合性的有机基团即可。

在该空穴输送层25的上侧层叠有作为上层图案的上层薄膜层(发光层)27。发光层27是由图案形成材料和构成薄膜层形成材料的发光层形成材料27s(参考图10)组成的图案。

另外，本实施方式中的发光层27由对应于各颜色的发光层形成材料27s(发红色光的红色发光层形成材料、发绿色光的绿色发光层形成材料和发蓝色光的蓝色发光层形成材料)形成。红色用发光层形成材料是在聚亚乙烯基苯乙烯衍生物的苯环上具有烷基或者烷氧基取代基的高分子化合物、或在聚亚乙烯基苯乙烯衍生物的亚乙烯基上具有氰基的高分子化合物。另外，绿色用发光层形成材料是例如将烷基、或者烷氧基或者烯丙基的衍生物取代基引入苯环后形成的聚亚乙烯基苯乙烯衍生物等。蓝色用发光层形成材料是例如聚芴衍生物(二烷基芴和蒽的共聚物或二烷基芴和噻吩的共聚物等)。

然后，由这些空穴输送层25和发光层27形成作为层叠图案的有机电致发光层(有机EL层)30。

在有机EL层30上侧的隔壁层22(隔壁24)的上侧，形成有由铝等具有光反射性的金属膜组成的作为背面电极的阴极31。阴极31形成为覆盖元件形成面11a侧的整个面，通过使各像素13共有而可向各发光元件形成区域15供给共电势。

即，可由这些阳极20、有机EL层30和阴极31构成作为发光元件的有机电致发光元件(有机EL元件)。

于是，如果对应于数据信号的驱动电流通过第2漏极区域D2供给于阳极20，则有机EL层30以与该驱动电流对应的亮度进行发光。此时，由有机EL层30向阴极31侧(在图4的上侧)发射的光被该阴极31所反射。因此，由有机EL层30发射的光大部分透过阳极20、第2层间绝缘膜IL2、第1层间绝缘膜IL1、栅极绝缘膜Gox、元件形成面11a和透明基板11由透明基板11的反面(显示面11b)侧向外射出。即，基于数据信号的图像被显示于有机EL显示器10的显示面11b上。

在阴极31的上侧，形成有由环氧树脂等组成的接合层32，通过该接合层32粘贴有覆盖元件形成区域12的密封基板16。密封基板16是无碱玻璃基板，可防止像素13和各种布线Lx、Ly、Lv的氧化等。

(有机EL显示器10的制造方法)

下面，对有机EL显示器10的制造方法进行以下说明。图6是说明有机EL显示器10的制造方法的流程图，图7-图10是说明该有机EL显示器10的制造方法的说明图。

如图6中所示，首先进行有机EL层前工序(步骤S11)，即在透明基板11的元件形成面11a上形成各种布线Lx、Ly、Lv、Lvc和各晶体管T1、T2，形成隔壁层22的图案。图7是说明有机EL层前工序的说明图。

即，在有机EL层前工序中，首先在元件形成面11a的整个面上形成通过激元激光等结晶化的多晶硅膜，通过对该多晶硅膜实施图案形成工艺来形成各沟道膜B1，B2。接着，在各沟道膜B1，B2和元件形成面11a上侧的整个面上，形成由硅氧化膜等组成的栅极绝缘膜Gox，在该栅极绝缘膜Gox上侧整个面上堆积钽等低电阻金属膜。然后，通过对该低电阻金属膜实施图案形成工艺，形成各栅极电极G1、G2和保持电容器Cs的下部电极Cp1及扫描线Lx。

在形成各栅极电极G1、G2之后，则可通过以该栅极电极G1、G2为掩膜的离子掺杂法，分别在各沟道膜B1，B2上形成n型杂质区域。由此，可形成各沟道区域C1、C2、各源极区域S1、S2和各漏极区域D1、D2。在各沟道膜B1、B2上分别形成各源极区域S1、S2和各漏极区域D1、D2之后，在各栅极电极G1、G2和下部电极Cp1、扫描线Lx和栅极绝缘膜Gox上侧整个面上堆积由硅氧化膜等组成的第1层间绝缘膜IL1。

堆积第1层间绝缘膜IL1后，可在该第1层间绝缘膜IL1中的与各源极区域S1，S2和各漏极区域D1，D2相对的位置上形成一对接触孔。接着，在该接触孔内和第1层间绝缘膜IL1上侧的整个面上堆积铝等金属膜，通过对该金属膜实施图案形成工艺，来分别形成与各源极区域S1、S2对应的数据线Ly和保持电容器Cs的上部电极Cp2。同时，形成与各漏极区域D1、D2相对应的各漏极电极Dp1、Dp2。之后，在数据线Ly、上部电极Cp2和各漏极区域D1、D2及第1层间绝缘膜IL1上侧的整个面上堆积由硅氧化膜等组成的第2层间绝缘膜IL2。由此，形成转换用晶体管T1和驱动用晶体管T2。

堆积第2层间绝缘膜IL2之后，在该第2层间绝缘膜IL2的与第2漏极区域D2相对置的位置上形成通孔。接着，在该通孔内和第2层间绝缘膜IL2上侧整个面上堆积ITO等具有光透过性的透明导电膜，通过对该透明导电膜实施图案形成工艺来形成与第2漏极区域D2连接的阳极20。形成阳极20之后，在该阳极20和第2层间绝缘膜IL2上侧整个面上堆积由硅氧化膜等组成的第3层间绝缘膜IL3。

堆积第3层间绝缘膜IL3之后，如图7中所示，在第3层间绝缘膜IL3上侧整个面上涂布感光性聚酰亚胺树脂等来形成隔壁层22。然后，通过掩膜Mk用由规定波长组成的曝光光Lpr对与阳极20相对置的位置的隔壁层22进行曝光并显影，则可在该隔壁层22上形成以隔壁24为内周面的收容孔23。

形成收容孔23之后，以隔壁层22为掩膜对第3层间绝缘膜IL3实施图案形成工艺，从而在阳极20的上侧形成与收容孔23连通的贯穿孔21。

由此，完成了在元件形成面11a上形成各种布线Lx、Ly、Lv、Lvc和各晶体管T1、T2并形成收容孔23的有机EL层前工序。

如图6中所示，完成有机EL层前工序(步骤S11)之后，为了形成后述的下层液滴25D和上下层液滴27D，可进行对收容孔23内和隔壁层22的表面进行处理的表面处理工序(步骤S12)。图8是说明表面处理工序的说明图。

即，在表面处理工序中，首先进行亲水化处理，即，将元件形成面11a整个面暴露于氧系的等离子体Ps中，把收容孔23内的阳极20(上面20a)和第3层间绝缘膜IL3(贯穿孔21)改成呈亲水性。接着，进行上述的亲水化处理之后，通过将元件形成面11a整个面暴露于氟系的等离子体Ps中，进行把隔壁层22(隔壁24)再次变为疏液性的疏液化处理。

如图6中所示，完成表面处理工序(步骤S12)之后，进行形成空穴输送层25的下层形成工序(步骤S13)，即，在收容孔23内形成含有空穴输送层形成材料25s和表面活性剂26的下层液滴25D。图9是说明该下层形成工序的说明图。

首先，对用于形成下层液滴25D的液滴喷出装置的结构进行说明。

如图9中所示，在构成本实施方式的液滴喷出装置的液体喷头35中具有喷嘴板36。在该喷嘴板36的下面(喷嘴形成面36a)，向上方形成有喷出液体的多个喷嘴36n。在各喷嘴36n的上侧，形成有与未图示的液体收容槽连通的、可以向喷嘴36n内供给液体的液体供给室37。在各液体供给室37的上侧，配置有通过在上下方向往复振动而使液体供给室37内的容积扩大缩小的振动板38。在该振动板38上侧的与各液体供给室37相对向的位置上，分别设置有通过在上下方向进行伸缩而使振动板38振动的压电元件39。

还有，被输送至液滴喷出装置的透明基板11，如图9中所示，其位置被设定为元件形成面11a与喷嘴形成面36a平行，而且各收容孔23的中心位置分别位于喷嘴36n的正下方。

其中，向液体供给室37内供给下层形成溶液25L，所述下层形成溶液25L是，使空穴输送层形成材料25s溶解于下层溶剂后，将表面活性剂26与该溶液混合而生成的。

另外，本实施方式的下层溶剂是亲水性的液体，其主成分由例如水、乙醇、N-甲基吡咯烷酮或1，3-二甲基-2-咪唑烷酮等极性液体构成。因此，混合于下层形成溶液25L的表面活性剂26在其下层官能团26a的作用下可在下层形成溶液25L中均匀地溶解而不会发生不均现象。即，下层形成溶液25L是亲水性的溶液，是使表面活性剂26均匀混合的溶液。

然后，如果向液体喷头35输入用于形成下层液滴25D的驱动信号，则根据该驱动信号压电元件39进行伸缩，来扩大缩小液体供给室37的容积。此时，液体供给室37的容积如果缩小，则对应于缩小容积的量的下层形成溶液25L由各喷嘴36n作为微小下层液滴25b喷出。喷出的微小下层液滴25b分别弹落在收容孔23内的阳极20上面。接着，液体供给室37的容积如果扩大，则对应于扩大的容积量的下层形成溶液25L由未图示的液体收容槽被供给至液体供给室37内。即，液体喷头35通过液体供给室37的上述的扩大和缩小，将规定容量的下层形成溶液25L向收容孔23喷出。另外，此时，由液体喷头35喷出的微小下层液滴25b的量为，被含于下层液滴25D中的空穴输送层形成材料25s能形成所需膜厚的量。

然后，由于实施了上述的亲液化处理，被喷出至收容孔23内的微小下层液滴25b，可相应地均匀地润湿并铺展于阳极20上面和贯穿孔21整体上。均匀润湿并铺展的微小下层液滴25b不久如图9的两点划线所示，通过其表面张力和隔壁24的疏液性，形成为表面呈半球面状的下层液滴25D。

形成下层液滴25D之后，接着将透明基板11(下层液滴25D)置于规定的减压环境下而使该下层液滴25D的下层溶剂蒸发，在均匀含有表面活性剂26的状态下使空穴输送层形成材料25s固化。固化的空穴输送层形成材料25s由于在阳极20整个上面均匀地润湿并铺展，可形成具有均匀形状的空穴输送层25。

另外，干燥下层液滴25D时，使对下层溶剂不具有亲液性的上层官能团26b暴露于下层液滴25D的表面上。因此，空穴输送层25中将表面活性剂26配置为下层官能团26a朝内部，并露出上层官能团26b。

由此，在贯穿孔21(收容孔23)内的阳极20的整个上面，形成含有表面活性剂26的空穴输送层25。

如图6中所示，形成空穴输送层25(步骤S13)之后，进行上层形成工序(步骤S14)，即在各收容孔23内形成含有对应颜色发光层形成材料的上层液滴27D，形成发光层27。图10是说明上层形成工序的说明图。

在上层形成工序中，与下层形成工序相同，将由使各种颜色的发光层形成材料27s溶解于上层溶剂而成的上层形成溶液27L组成的微小上层液滴27b，由各喷嘴36n喷出至对应的空穴输送层25上。此时，由液体喷头35喷出的微小上层液滴27b的量为，发光层形成材料27s在收容孔23内能形成所需膜厚的量。

另外，本实施方式的上层溶剂是呈疏水性而且不溶解空穴输送层形成材料25s(不相容)的液体。另外，上层溶剂的主成分由例如苯、甲苯、二甲苯、环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等非极性的液体构成。即，上层形成溶液27L是与下层形成溶液25L相反的疏水性的溶液。

被喷至空穴输送层25上的疏水性的微小上层溶液27b，通过与上述表面活性剂26(上层官能团26b)的亲合力，因含有该表面活性剂26，而均匀地在空穴输送层25整个上面润湿并铺展开。然后，均匀地润湿并铺展的微小上层液滴27b不久如图10的两点划线所示，通过其表面张力和隔壁24的疏液性，形成表面呈半球面状的上层液滴27D。

形成上层液滴27D之后，与上述的下层形成工序相同，将透明基板11(上层液滴27D)置于规定的减压环境下而使上层溶剂蒸发，使发光层形成材料27s固化。固化的发光层形成材料27s由于在空穴输送层25整个上面均匀地润湿并铺展开，可形成形状(例如，发光元件形成区域15内的膜厚分布和发光元件形成区域15间的膜厚分布等)均匀的发光层27。即，形成具有均匀形状的有机EL层30。

如图6中所示，完成上层形成工序(步骤S14)之后，进行有机EL层后工序(步骤15)，即，在发光层27(有机EL层30)和隔壁层22上形成阴极31，密封像素13。即，在有机EL层30和隔壁层22上侧整个面上堆积由铝等金属膜组成的阴极31，从而形成由阳极20、有机EL层30和阴极31组成的有机EL元件。形成有机EL元件之后，通过在阴极31(像素13)上侧整个面上涂布环氧树脂等形成接合层32，并隔着该接合层32将密封基板16粘贴在透明基板11上。

由此，可以制造使有机EL层30的形状均匀的有机EL显示器10。

下面，如上所述地构成的本实施方式的效果记载如下。

(1)根据上述实施方式，将具有下层官能团26a和上层官能团26b的表面活性剂26与下层溶剂混合而生成下层形成溶液25L，并将由该下层形成溶液25L组成的下层液滴25D干燥而形成了空穴输送层25。因此，由于含有表面活性剂26(上层官能团26b)，可以使上层液滴27D在空穴输送层25整个上面润湿并铺展。

(2)另外，可以通过下层官能团26a，使表面活性剂26均匀混合于下层形成溶液25L中，可以使空穴输送层25均匀含有该表面活性剂26。其结果，回避了由等离子体等表面处理产生的空穴输送层25的破损，可使发光层27的形状变得均匀。另外，可以通过减少空穴输送层25的表面处理工序而使有机EL层30的形状变得均匀，从而可以改善有机EL显示器10的生产效率。

(3)根据上述实施方式，可利用在空穴输送层25中含有的表面活性剂26，只对该空穴输送层25上面进行亲液化。因此，与进行等离子体等全面处理的情况相比，可以保持隔壁层22等的表面状态(疏液性)。其结果，可以在各收容孔23内避免喷出的微小上层液滴27b的泄漏等，可以确保形成相对于该微小上层液滴27b的量的发光层27。另外，可以进一步地改善有机EL层间形状的均匀性。

(4)根据上述实施方式，以疏水性(非极性)且不溶解(不相容)空穴输送层形成材料25s的液体构成上层形成溶液27L的上层溶剂。因此，可以在保持空穴输送层25的形状的条件下形成上层液滴27D。其结果，可以保持空穴输送层25的均匀性，相应地可以使发光层27的形状、以及有机EL层30的形状变得均匀。

(5)根据上述实施方式，使下层液滴25D由从液滴喷出装置喷出的微小下层液滴25b形成。因此，可以在下层液滴25D(空穴输送层25)内确实含有所需量的表面活性剂26，可以与其他液相工艺(例如，旋涂法等)相比，形成更加均匀的有机EL层30。

另外，上述实施方式也可以进行如下改变。

·上述实施方式中的表面活性剂26，例如为五甘醇单苄醚、4-正戊基环己酸、4-苯氧基丁酸、2-苯氧基乙醇、1-苯氧基-2-丙醇、2-苯氧基丙醇、2-苯氧基丙酸、3-苯氧基丙酸、5-苯氧基戊酸、苯基苯胺、苯基アラニォ-ル、4-苯基-1-丁醇、4-苯基-2-丁醇、3-苯氧基-1，2-丙二醇、2-苯基丁酸、4-苯基丁酸、1，2-亚苯基二乙酸、1，3-亚苯基二乙酸、N-苯基二乙醇胺、2-苯基乙醇、2-苯基乙胺、N-苯基乙二胺、苯基乙二醇、2-苯基氨基醋酸、N-苯基氨基醋酸、2-苯基グリコノ-ル、6-苯基己酸、3-苯基乙酸、5-苯基-1-戊醇、5-苯基戊酸、5-苯基-4-戊炔-1-醇、2-苯基-1，3-丙二醇、3-苯基-1-丙醇、3-苯基丙醛、2-苯基丙酸、3-苯基丙胺、4-(3-苯基丙基)吡啶、1-苯基-1-丙炔-3-醇、(苯基硫代)乙酸、2-(苯基硫代)乙醇、5-苯基戊酸、1-萘氧基乙酸、2-萘氧基乙酸、2-(1-萘基)乙醇、1-(1-萘基)乙醇、1-(1-萘基)乙胺、N-1-萘基乙二胺、3-(2-萘基)丙氨酸、1-萘酸、2-萘酸、1-萘磺酸、2-萘磺酸、2-萘乙酸、1-蒽羧酸、2-蒽羧酸、3-蒽羧酸、1-芘丁酸、1-芘甲醇、2-吡啶甲醇、3-吡啶甲醇、4-吡啶甲醇、2-吡啶丙醇、3-吡啶丙醇、4-吡啶丙醇、2-吡啶乙酸、3-吡啶乙酸、4-吡啶乙酸、3-(3-吡啶基)丙烯酸、2-(2-吡啶基)乙磺酸、2-(4-吡啶基)乙磺酸、(4-吡啶硫基)乙酸、噻吩-2-乙酸、噻吩-3-乙酸、2-噻吩丙烯酸、2-噻吩乙醇、3-噻吩乙醇、3-噻吩丙二酸、2-噻吩甲醇、3-噻吩甲醇、正癸基三甲基氯化铵、正癸基三甲基溴化铵、正十二烷基三甲基氯化铵、正十二烷基三甲基溴化铵、正十六烷基三甲基氯化铵、正十六烷基三甲基溴化铵、正十八烷基三甲基氯化铵、正十八烷基三甲基溴化铵、二正十二烷基二甲基氯化铵、二正十二烷基二甲基溴化铵、正癸基吡啶鎓氯化物、正癸基吡啶鎓溴化物、正十二烷基吡啶鎓氯化物、正十二烷基吡啶鎓溴化物、正十二烷基吡啶鎓碘化物、正十四烷基吡啶鎓氯化物、正十四烷基吡啶鎓溴化物、正十六烷基吡啶鎓氯化物、正十六烷基吡啶鎓溴化物、正十六烷基吡啶鎓碘化物、正十八烷基吡啶鎓氯化物、正十八烷基吡啶鎓溴化物、正十二烷基甲基吡啶鎓氯化物、正十二烷基甲基吡啶鎓溴化物、正十八烷基甲基吡啶鎓氯化物、正十八烷基甲基吡啶鎓溴化物、正十八烷基甲基吡啶鎓碘化物、N，N’-二甲基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N，N’-二甲基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N，N’-二甲基-4，4’-二吡啶鎓双(甲基硫酸盐)、N，N’-二甲基-4，4’-二吡啶鎓双(p-甲苯磺酸酯)、N，N’-二(正丙基)-4，4’-二吡啶鎓二氯、N，N’-二(正丙基)-4，4’-二吡啶鎓二溴、N，N’-二(正丙基)-4，4’-二吡啶鎓双(p-甲苯磺酸酯)、N，N’-二苄基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N，N’-二苄基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N，N’-二苄基-4，4’-二吡啶鎓二碘、N，N’-二苄基-4，4’-二吡啶鎓双(p-甲苯磺酸酯)、N，N’-二苯基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N，N’-二苯基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N，N’-双(3-磺酸酯丙基)-4，4’-二吡啶鎓、1，3-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}四氯丙烷、1，3-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}四溴丙烷、1，3-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}四氯丙烷、1，3-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}四溴丙烷、1，4-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}四氯丁烷、1，4-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}四溴丁烷、1，4-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}四氯丁烷、1，4-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}四溴丁烷、α，α’-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}-o-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}-o-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}-o-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}-o-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}-m-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}-m-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}-m-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}-m-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}-p-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-甲基-4，4’-二吡啶基)}-p-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}-p-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-苄基-4，4’-二吡啶基)}-p-四溴二甲苯、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓溴碘化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓一溴甲基硫酸酯、N-正十二烷基-N’-苄基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N-正十二烷基-N’-苄基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N-正十二烷基-N’-苄基-4，4’-二吡啶鎓氯溴化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓溴碘化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓一溴甲基硫酸酯、N-正十六烷基-N’-苄基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N-正十六烷基-N’-苄基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓溴碘化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-二吡啶鎓一溴甲基硫酸酯、N-正十八烷基-N’-苄基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N，N’-二正十二烷基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N，N’-二正十二烷基-4，4’-二吡啶鎓二溴、N，N’-二正十六烷基-4，4’-二吡啶鎓二氯、N，N’-二正十六烷基-4，4’-二吡啶鎓二溴、1，3-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}四氯丙烷、1，3-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}四溴丙烷、1，4-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}四溴丁烷、1，6-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}四溴己烷、1，3-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}四溴丙烷、1，4-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}四溴丁烷、1，6-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}四溴己烷、α，α’-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}-o-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}-o-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}-m-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}-m-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}-p-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十二烷基-4，4’-二吡啶基)}-p-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}-o-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}-o-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}-m-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}-m-四溴二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}-p-四氯二甲苯、α，α’-双{N-(N’-正十六烷基-4，4’-二吡啶基)}-p-四溴二甲苯、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、环己基丙烯酰胺、环己基甲基丙烯酰胺、N-环己基-N-甲基丙烯酰胺、N-环己基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸环己基甲基酯、甲基丙烯酸环己基甲基酯、环己基甲基丙烯酰胺、环己基甲基甲基丙烯酰胺、N-环己基甲基-N-甲基丙烯酰胺、N-环己基甲基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、苯基丙烯酰胺、苯基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基甲基丙烯酰胺、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、苄基丙烯酰胺、苄基甲基丙烯酰胺、N-苄基-N-甲基丙烯酰胺、N-苄基-N-甲基甲基丙烯酰胺、1-降冰片烷基丙烯酸酯、1-降冰片烷基甲基丙烯酸酯、1-降冰片烷基丙烯酰胺、1-降冰片烷基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-降冰片烷基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-降冰片烷基)甲基丙烯酰胺、丙烯酸环辛酯、甲基丙烯酸环辛酯、环辛基丙烯酰胺、环辛基甲基丙烯酰胺、N-环辛基-N-甲基丙烯酰胺、N-环辛基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸金刚烷基酯、甲基丙烯酸金刚烷基酯、金刚烷基丙烯酰胺、金刚烷基甲基丙烯酰胺、N-金刚烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-金刚烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、1-萘基丙烯酸酯、1-萘基甲基丙烯酸酯、1-萘基丙烯酰胺、1-萘基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-萘基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-萘基)甲基丙烯酰胺、2-萘基丙烯酸酯、2-萘基甲基丙烯酸酯、2-萘基丙烯酰胺、2-萘基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(2-萘基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(2-萘基)甲基丙烯酰胺、丙烯酸正十二烷基酯、甲基丙烯酸正十二烷基酯、正十二烷基丙烯酰胺、正十二烷基甲基丙烯酰胺、N-正十二烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十二烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸环十二烷基酯、甲基丙烯酸环十二烷基酯、环十二烷基丙烯酰胺、环十二烷基甲基丙烯酰胺、N-环十二烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-环十二烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸正十六烷基酯、甲基丙烯酸正十六烷基酯、正十六烷基丙烯酰胺、正十六烷基甲基丙烯酰胺、N-正十六烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十六烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸正十八烷基酯、甲基丙烯酸正十八烷基酯、正十八烷基丙烯酰胺、正十八烷基甲基丙烯酰胺、N-正十八烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十八烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、二正辛烷基丙烯酰胺、二正辛烷基甲基丙烯酰胺、二正癸烷基丙烯酰胺、二正癸烷基甲基丙烯酰胺、二正十二烷基丙烯酰胺、二正十二烷基甲基丙烯酰胺、9-蒽甲基丙烯酸酯、9-蒽甲基甲基丙烯酸酯、9-蒽甲基丙烯酰胺、9-蒽甲基甲基丙烯酰胺、9-菲甲基丙烯酸酯、9-菲甲基甲基丙烯酸酯、9-菲甲基丙烯酰胺、9-菲甲基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(9-菲甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(9-菲甲基)甲基丙烯酰胺、1-芘甲基丙烯酸酯、1-芘甲基甲基丙烯酸酯、1-芘甲基丙烯酰胺、1-芘甲基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-芘甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-芘甲基)甲基丙烯酰胺、4-丙烯酰氧基甲基酞菁等。

·上述实施方式中，将具有下层官能团26a和上层官能团26b的表面活性剂26混合于下层形成溶液25L中，但是并不限于此，也可以将具有上层官能团26b的硅烷偶合剂混合于下层形成溶液25L中，使空穴输送层25含有硅烷偶合剂或者该硅烷偶合剂的水解产物。该硅烷偶合剂例如为二甲基二甲氧基硅烷、二乙基二乙氧基硅烷、1-丙烯基甲基二氯硅烷、丙基二甲基氯硅烷、丙基甲基二氯硅烷、丙基三氯硅烷、丙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、苯乙烯基乙基三甲氧基硅烷、四癸基三氯硅烷、3-硫氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、p-甲苯基二甲基氯硅烷、p-甲苯基甲基二氯硅烷、p-甲苯基三氯硅烷、p-甲苯基三甲氧基硅烷、p-甲苯基三乙氧基硅烷、二正丙基二正丙氧基硅烷、二异丙基二异丙氧基硅烷、二正丁基二正丁氧基硅烷、二仲丁基二仲丁氧基硅烷、二叔丁基二叔丁氧基硅烷、十八烷基三氯硅烷、十八烷基甲基二乙氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基二甲基氯硅烷、十八烷基甲基二氯硅烷、十八烷基甲氧基二氯硅烷、7-辛烯基二甲基氯硅烷、7-辛烯基三氯硅烷、7-辛烯基三甲氧基硅烷、辛基甲基二氯硅烷、辛基二甲基氯硅烷、辛基三氯硅烷、10-十一碳烯基二甲基氯硅烷、十一烷基三氯硅烷、乙烯基二甲基氯硅烷、甲基十八烷基二甲氧基硅烷、甲基十二烷基二乙氧基硅烷、甲基十八烷基二甲氧基硅烷、甲基十八烷基二乙氧基硅烷、正辛基甲基二甲氧基硅烷、正辛基甲基二乙氧基硅烷、三アコンチル二甲基氯硅烷、三アコンチル三氯硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三正丙氧基硅烷、甲基异丙氧基硅烷、甲基正丁氧基硅烷、甲基三仲丁氧基硅烷、甲基三叔丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三正丙氧基硅烷、乙基异丙氧基硅烷、乙基正丁氧基硅烷、乙基三仲丁氧基硅烷、乙基三叔丁氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、异丁基三甲氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、十六烷基三甲氧基硅烷、正辛基三甲氧基硅烷、正十二烷基三甲氧基硅烷、正十八烷基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、异丁基三乙氧基硅烷、正己基三乙氧基硅烷、十六烷基三乙氧基硅烷、正辛基三乙氧基硅烷、正十二烷基三甲氧基硅烷、正十八烷基三乙氧基硅烷、2-[2-(三氯甲硅烷基)乙基]吡啶、4-[2-(三氯甲硅烷基)乙基]吡啶、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、1，3-(三氯甲硅烷基甲基)二十七烷、二苄基二甲氧基硅烷、二苄基二乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基甲基二甲氧基硅烷、苯基二甲基甲氧基硅烷、苯基二甲氧基硅烷、苯基二乙氧基硅烷、苯基甲基二乙氧基硅烷、苯基二甲基乙氧基硅烷、苄基三乙氧基硅烷、苄基三甲氧基硅烷、苄基甲基二甲氧基硅烷、苄基二甲基甲氧基硅烷、苄基二甲氧基硅烷、苄基二乙氧基硅烷、苄基甲基二乙氧基硅烷、苄基二甲基乙氧基硅烷、苄基三乙氧基硅烷、二苄基二甲氧基硅烷、二苄基二乙氧基硅烷、3-乙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、4-氨基丁基三乙氧基硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、6-(氨基己基氨基丙基)三甲氧基硅烷、p-氨基苯基三甲氧基硅烷、p-氨基苯基乙氧基硅烷、m-氨基苯基三甲氧基硅烷、m-氨基苯基乙氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、ω-氨基十一烷基三甲氧基硅烷、戊基三乙氧基硅烷、ベンゾォキサシレピン二甲基酯、5-(二环庚烯基)三乙氧基硅烷、双(2-羟乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、8-溴辛基三甲氧基硅烷、溴苯基三甲氧基硅烷、3-溴丙基三甲氧基硅烷、正丁基三甲氧基硅烷、2-氯甲基三乙氧基硅烷、氯甲基甲基三乙氧基硅烷、氯甲基甲基三异丙氧基硅烷、p-(氯甲基)苯基三甲氧基硅烷、氯甲基三乙氧基硅烷、氯苯基三乙氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三乙氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、2-(4-氯磺酰基苯基)乙基三甲氧基硅烷、2-氰基乙基三乙氧基硅烷、2-氰基乙基三甲氧基硅烷、氰基甲基苯乙基三乙氧基硅烷、3-氰基丙基三乙氧基硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三乙氧基硅烷、3-环己烯基三氯硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三氯硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三甲基氯硅烷、2-(3-环己烯基)乙基甲基二氯硅烷、环己基二甲基氯硅烷、环己基乙基二甲氧基硅烷、环己基甲基二氯硅烷、环己基甲基二甲氧基硅烷、(环己基甲基)三氯硅烷、环己基三氯硅烷、环己基三甲氧基硅烷、环辛基三氯硅烷、(4-环辛烯基)三氯硅烷、环戊基三氯硅烷、环戊基三甲氧基硅烷、1，1-三乙氧基-1-シラシクロペンタ-3-烯、3-(2，4-二硝基苯基氨基)丙基三乙氧基硅烷、(二甲基氯甲硅烷基)甲基-7，7-二甲基降蒎烷、(环己基氨基甲基)甲基二乙氧基硅烷、(3-环戊二烯基丙基)三乙氧基硅烷、N，N-二乙基-3-氨基丙基)三甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、(糠基氧基甲基)三乙氧基硅烷、2-羟基-4-(3-三乙氧基丙氧基)二苯基酮、3-(p-甲氧基苯基)丙基甲基二氯硅烷、3-(p-甲氧基苯基)丙基三氯硅烷、p-(甲基苯乙基)甲基二氯硅烷、p-(甲基苯乙基)三氯硅烷、p-(甲基苯乙基)二甲基氯硅烷、3-吗啉代丙基三甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、1，2，3，4，7，7-六氯-6-甲基二乙氧基甲硅烷基-2-降冰片烷、1，2，3，4，7，7-六氯-6-三乙氧基甲硅烷基-2-降冰片烷、3-碘丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、(巯基甲基)甲基二乙氧基硅烷、3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基{2-(3-三甲氧基甲硅烷基丙基氨基)乙基氨基}-3-丙酸酯、7-辛烯基三甲氧基硅烷、R-N-α-苯乙基-N’-三乙氧基甲硅烷基丙基脲、S-N-α-苯乙基-N’-三乙氧基甲硅烷基丙基脲、苯乙基三甲氧基硅烷、苯乙基甲基二甲氧基硅烷、苯乙基二甲基甲氧基硅烷、苯乙基二甲氧基硅烷、苯乙基二乙氧基硅烷、苯乙基甲基二乙氧基硅烷、苯乙基二甲基乙氧基硅烷、苯乙基三乙氧基硅烷、(3-苯基丙基)二甲基氯硅烷、(3-苯基丙基)甲基二氯硅烷、N-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷、N-(三乙氧基甲硅烷基丙基)丹酰胺、N-(3-三乙氧基甲硅烷基丙基)-4，5-二氢咪唑、2-(三乙氧基甲硅烷基乙基)-5-(氯乙酰氧基)二环庚烷、(S)-N-三乙氧基甲硅烷基丙基-O-メントカルバメ-ト、3-(三乙氧基甲硅烷基丙基)-p-硝基苯甲酰胺、3-(三乙氧基甲硅烷基)丙基琥珀酸酐、N-[5-(三甲氧基甲硅烷基)-2-氮杂-1-氧代-戊基]己内酰胺、2-(三甲氧基甲硅烷基乙基)吡啶、N-(三甲氧基甲硅烷基乙基)苄基-N，N，N-三甲基氯化铵、苯基乙烯基二乙氧基硅烷、3-硫氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、(十三氟-1，1，2，2-四氢辛基)三乙氧基硅烷、N-{3-(三乙氧基甲硅烷基)丙基}酞胺酸、(3，3，3-三氟丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3，3，3-三氟丙基)三甲氧基硅烷、1-三甲氧基甲硅烷基-2-(氯甲基)苯基乙烷、2-(三甲氧基甲硅烷基)乙基苯基磺酰叠氮化物、β-三甲氧基甲硅烷基乙基-2-吡啶、三甲氧基甲硅烷基丙基二亚乙基三胺、N-(3-三甲氧基甲硅烷基丙基)吡咯、N-三甲氧基甲硅烷基丙基-N，N，N-三丁基溴化铵、N-三甲氧基甲硅烷基丙基-N，N，N-三丁基氯化铵、N-三甲氧基甲硅烷基丙基-N，N，N-三甲基氯化铵、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基二甲基甲氧基硅烷、乙烯基二甲基乙氧基硅烷、乙烯基甲基二氯硅烷、乙烯基苯基二氯硅烷、乙烯基苯基二乙氧基硅烷、乙烯基苯基二甲基硅烷、乙烯基苯基甲基氯硅烷、乙烯基三苯氧基硅烷、乙烯基三叔丁氧基硅烷、金刚烷基乙基三氯硅烷、烯丙基苯基三氯硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、3-氨基苯氧基二甲基乙烯基硅烷、苯基三氯硅烷、苯基二甲基氯硅烷、苯基甲基二氯硅烷、苄基三氯硅烷、苄基二甲基氯硅烷、苄基甲基二氯硅烷、苯乙基二异丙基氯硅烷、苯乙基三氯硅烷、苯乙基二甲基氯硅烷、苯乙基甲基二氯硅烷、5-(二环庚烯基)三氯硅烷、5-(二环庚烯基)三乙氧基硅烷、2-(环庚基)二甲基氯硅烷、2-(环庚基)三氯硅烷、1，4-双(三甲氧基甲硅烷基乙基)苯、溴苯基三氯硅烷、3-苯氧基丙基二甲基氯硅烷、3-苯氧基丙基三氯硅烷、叔丁基苯基氯硅烷、叔丁基苯基甲氧基硅烷、叔丁基苯基二氯硅烷、p-(叔丁基)苯乙基二甲基氯硅烷、p-(叔丁基)苯乙基三氯硅烷、1，3-(氯二甲基甲硅烷基甲基)二十七碳烷、((氯甲基)苯基乙基)二甲基氯硅烷、((氯甲基)苯基乙基)甲基二氯硅烷、((氯甲基)苯基乙基)三氯硅烷、((氯甲基)苯基乙基)三甲氧基硅烷、氯苯基三氯硅烷、2-氰基乙基三氯硅烷、2-氰基乙基甲基二氯硅烷、3-氰基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-氰基丙基甲基二氯硅烷、3-氰基丙基甲基二氯硅烷、3-氰基丙基二甲基乙氧基硅烷、3-氰基丙基甲基二氯硅烷、3-氰基丙基三氯硅烷等。

·上述实施方式中，使空穴输送层形成材料25s和发光层形成材料27s分别溶解于下层溶剂和上层溶剂来形成下层形成溶液25L和上层形成溶液27L。并不限于此，也可以使空穴输送层形成材料25s和发光层形成材料27s分别分散于对应的分散介质中，把各分散液作为下层形成溶液25L和上层形成溶液27L。

·上述实施方式中，虽然构成为有机EL显示器10的空穴输送层25含有表面活性剂26的结构，但是并不限于此，在有机EL显示器10的制造工序中，当形成发光层27时，空穴输送层25含有相对于上层液滴27D具有亲液性的表面活性剂26即可。即，表面活性剂26在形成上层液滴27D时能够表现出提高其润湿性的性质即可，当形成空穴输送层25时，或者形成发光层27后，可以不具有其表面活性能力。

·上述实施方式中，将层叠图案具体化为空穴输送层25和发光层27两层，但是并不限于此，例如也可以是将这两层重复层叠形成的多光子结构，只要是将多个薄膜层层叠形成的结构即可。

·上述实施方式中，将有机EL显示器10具体化为底部发射型，但是并不限于此，也可以具体化为顶部发射型。或者，也可以把发光层27作为下层薄膜层来构成，使该发光层27含有表面活性剂26。

·上述实施方式中，将空穴输送层形成材料25s和发光层形成材料27s具体化为有机高分子材料，但是并不限于此，也可以由公知的低分子材料构成。

·上述实施方式中，有机EL层30由空穴输送层25和发光层27构成，但是也可以在该发光层27的上层设置由氟化锂和钙的层叠膜等组成的电子注入层。另外，此时，也可以由液滴形成电子注入层，使发光层27含有表面活性剂。

·上述实施方式中，在控制元件形成区域14具有转换用晶体管T1和驱动用晶体管T2，但是并不限于此，也可以通过所需的元件设计，由由一个晶体管或多个晶体管、或者多个电容器构成。

·上述实施方式中，用喷墨法形成了有机EL层30的结构。并不限于此，形成有机EL层30时，也可以由用旋涂法等涂布的液体形成下层液滴25D和上层液滴27D，只要通过将液体干燥使其固化的方法形成有机EL层30即可。

·上述实施方式中，利用压电元件39喷出微小下层液滴25b，但是并不限于此，例如也可以在液体供给室37上设置电阻加热元件，利用通过该电阻加热元件加热形成的气泡的破裂喷出微小下层液滴25b。

·上述实施方式中，将层叠图案具体化为有机EL层30，但并不限于此，例如，可以是各色的滤色器，另外也可以是扫描线Lx或数据线Ly等各种布线图案。

·上述实施方式中，将电光学装置具体化为有机EL显示器10，但是并不限于此，例如也可以是安装在液晶面板上的背照光等，或者也可以是具有平面状的电子释放元件且利用了因由该元件释放出的电子所产生的荧光物质的发光的电场效果型显示器(FED和SED等)。

Claims (21)

1.一种图案形成基板，其具有通过将图案层叠而成的层叠图案，所述图案是通过将含有图案形成材料的液滴干燥而形成的，其特征在于，下层图案含有相对于形成上层图案的所述液滴具有亲液性的表面活性剂。

2.如权利要求1所述的图案形成基板，其中所述表面活性剂具备了相对于形成上层图案的液滴具有亲液性的官能团、和相对于形成下层图案的液滴具有亲液性的官能团。

3.如权利要求1或2所述的图案形成基板，其中所述表面活性剂是具备了具有亲水性的官能团和具有亲油性的官能团的有机化合物。

4.如权利要求1-3中的任何一项所述的图案形成基板，其中所述表面活性剂是具备了相对于形成上层图案的液滴具有亲液性的官能团的硅烷偶合剂或者所述硅烷偶合剂的水解产物。

5.如权利要求1-4中的任何一项所述的图案形成基板，其中所述图案形成材料是发光元件形成材料，所述层叠图案是发光元件。

6.一种电光学装置，其具备通过层叠薄膜层而成的发光元件，所述薄膜层是将含有薄膜层形成材料的液滴干燥而形成的，其特征在于，下层薄膜层含有相对于形成上层薄膜层的所述液滴具有亲液性的表面活性剂。

7.如权利要求6所述的电光学装置，其中所述表面活性剂具有相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团、和相对于形成下层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团。

8.如权利要求6或7所述的电光学装置，其中所述表面活性剂是具备了具有亲水性的官能团和具有亲油性的官能团的有机化合物。

9.如权利要求6-8中的任何一项所述的电光学装置，其中所述表面活性剂是具备了相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团的硅烷偶合剂或者所述硅烷偶合剂的水解产物。

10.如权利要求6-9中的任何一项所述的电光学装置，其中所述发光元件是在透明电极和背面电极之间层叠有所述薄膜层的电致发光元件。

11.如权利要求10所述的电光学装置，其中所述发光元件是具有由有机材料组成的所述薄膜层的有机电致发光元件。

12.如权利要求10或11所述的电光学装置，其中所述上层薄膜层是由可以溶解或者分散于疏水性液体的发光层形成材料组成的发光层，下层薄膜层是由可以溶解或者分散于亲水性液体的空穴输送层形成材料组成的空穴输送层。

13.一种电光学装置的制造方法，其中将含有薄膜层形成材料的液滴干燥而形成薄膜层，并通过层叠所述薄膜层而形成发光元件，其特征在于，在形成下层薄膜层的液滴中，混合相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的表面活性剂，并通过将混合了所述表面活性剂的液滴干燥而形成所述下层薄膜层，之后通过在所述下层薄膜层上将形成所述上层薄膜层的液滴干燥而在所述下层薄膜层上层叠所述上层薄膜层。

14.如权利要求13所述的电光学装置的制造方法，其中所述表面活性剂具有相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团、和相对于形成下层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团。

15.如权利要求13或14所述的电光学装置的制造方法，其中所述表面活性剂是具备了具有亲水性的官能团和具有亲油性的官能团的有机化合物。

16.如权利要求13-15中的任何一项所述的电光学装置的制造方法，其中所述表面活性剂是具备了相对于形成上层薄膜层的液滴具有亲液性的官能团的硅烷偶合剂。

17.如权利要求13-16中的任何一项所述的电光学装置的制造方法，其中所述发光元件是在透明电极和背面电极之间层叠有所述薄膜层的电致发光元件。

18.如权利要求17所述的电光学装置的制造方法，其中所述发光元件是具备了由有机材料组成的所述薄膜层的有机电致发光元件。

19.如权利要求17或18所述的电光学装置的制造方法，其中在含有空穴输送层形成材料的亲水性液体中混合所述表面活性剂，并将由混合了所述表面活性剂的液体组成的液滴干燥而形成下层的空穴输送层，之后通过在所述空穴输送层上将由含有发光层形成材料的疏水性液体组成的液滴干燥而层叠上层的发光层。

20.如权利要求19所述的电光学装置的制造方法，其中所述亲水性液体的主成分是具有极性的液体，所述疏水性液体的主成分是具有非极性的液体。

21.如权利要求13-20中的任何一项所述的电光学装置的制造方法，其中由液滴喷出装置喷出所述液滴。

Images