CN1713787A - 有机el装置及其制造方法以及电子仪器 - Google Patents

Abstract

提供一种能够在避免互溶的情况下形成均匀的膜。空穴注入层或空穴输送层(140A)和发光层(140B)可以用液滴喷出法形成。提高空穴注入层或空穴输送层(140A)与发光层(140B)之间亲和性的亲和膜(155)，处于空穴注入层或空穴输送层(140A)与发光层(140B)之间。

Description

有机EL装置及其制造方法以及电子仪器

技术领域

本发明涉及有机EL装置及其制造方法和电子仪器。

背景技术

近年来作为替代液晶显示器的发光型显示器，加速开发了使用有机物的电场发光元件。作为使用有机物的有机EL元件，主要开发了在《应用物理通讯》51卷12期(1987年9月12日)第913页上所示的用蒸镀法将低分子制膜的方法，和《应用物理通讯》71卷1期(1997年7月7日)第34页上所示的涂布高分子的方法。特别是在高分子体系中彩色化时，采用喷墨法容易实现图案化的这一点受到的注目。采用高分子的情况下，大多在阴极与发光层之间形成空穴注入层或空穴输送层。过去，作为上述缓冲层或空穴注入层，大多采用导电性高分子，例如聚噻吩衍生物或聚苯胺衍生物。在低分子体系中大多采用苯基胺衍生物作为空穴注入层或空穴输送层。

而且正如专利文献1所示，还有人提出高分子系材料的采用喷墨方式(液滴喷出方式)的图案形成，和低分子系材料的采用蒸镀法以层叠结构形成的方式。

在形成高分子层时，喷墨法能够将涂布和图案化一次完成。而且使用的材料能以最低限度完成。另一方面对于其他涂布法来说，具有使用的机械是旋涂器等简单设备完成的优点。

专利文献1：特开平1-153967号公报

然而，上述的已有技术中存在以下问题。

采用上述的涂布法图案化和进行层叠的情况下，由于空穴注入层和发光层相邻地制膜，所以涂布液的溶剂将会溶解已经形成的有机膜，所谓存在互溶性的问题。因此，形成这些层的情况下，必须使用不同溶剂(例如空穴输送层用水系溶剂，发光层用芳香族系溶剂)。

这种情况下，因为重复涂布时的亲和性低，湿润扩展性差，所以难于形成均匀的膜。

发明内容

本发明正是考虑到上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够回避互溶并形成均匀膜的有机EL装置及其制造方法，以及具备这种有机EL装置的电子仪器。

为了达成上述目的，本发明采用了以下构成。

本发明的有机EL装置，是用液滴喷出法形成空穴注入层或空穴输送层和发光层的有机EL装置，其特征在于，在空穴注入层或空穴输送层和所述发光层之间存在使其间亲和性提高的亲和膜。

而且本发明的有机EL装置的制造方法，是具有用液滴喷出法形成空穴注入层或空穴输送层的工序，和用液滴喷出法形成发光层工序的有机EL装置的制造方法，其特征在于，其中具有在空穴注入层或空穴输送层，和发光层的任一层上形成使其间亲和性提高的亲和膜的形成工序。

因此，对于本发明的有机EL装置及其制造方法来说，为避免互溶而即使采用互相不同的溶剂以液滴喷出法形成空穴注入层或空穴输送层和发光层的情况下，在空穴注入层或空穴输送层，和发光层的任一层上，借助于亲和膜液滴喷出空穴注入层或空穴输送层和发光层中任一层时，因为其间的亲和性提高，所以能使上述他方的液滴湿润扩展，形成均匀的上述他方的膜。

作为上述的亲和膜，可以适当采用含有硅烷偶合剂等硅烷化合物或表面活性剂的。

而且将亲和膜制膜之际，可以适当采用化学气相沉积法、浸渍法、旋涂法、液滴喷出方式等的用任一液相方式进行的方法。

本发明的有机EL装置中，优选具有分区所述空穴注入层或所述空穴输送层，与所述发光层的分区隔壁，所述隔壁对于所述亲和膜的形成材料具有疏液性。而且本发明的有机EL装置的制造方法中，优选具有对于所述亲和膜的形成材料具有疏液性，分区所述空穴注入层或所述空穴输送层，与所述发光层的分区隔壁的形成工序。

这样一来，对于本发明的有机EL装置及其制造方法而言，当对所述空穴注入层或所述空穴输送层，和所述发光层制膜之际，通过向分区隔壁中喷出液滴，能够在不会混色的情况下形成所定颜色的像素。而且本发明中，即使在形成亲和膜时也能防止亲和膜在分区隔壁上制膜。

另一方面，本发明的电子仪器，其特征在于：其中具备上述的有机EL装置。

因此，本发明能够得到一种具有均匀膜厚的所述空穴注入层或所述空穴输送层和所述发光层，显示品质、发光效率等元件特性均优良的显示装置的电子仪器。

附图说明

图1是本发明的实施方式涉及的有机EL装置的电路构成图。

图2是表示一个像素的平面构成图。

图3是图2中沿着A-A直线的剖面构成图。

图4是表示中间层结合状态的图。

图5是实施方式涉及的液滴喷出装置的立体图。

图6是液滴喷头的分解立体图。

图7是液滴喷头放大的分解立体图。

图8是表示实施方式涉及的制造工序的剖面工序图。

图9是表示实施方式涉及的制造工序的剖面工序图。

图10是表示发光层形成材料液滴的湿润扩散状态的图。

图11是表示本发明涉及的电子仪器实例的图。

图中：

70…有机EL装置，140A…空穴输送层，140B…发光层，150…贮格围堰(分区隔壁)，155…中间层(亲和膜)，200…有机EL元件，600…移动电话机主体(电子仪器)，700…信息处理装置(电子仪器)，800…钟表主体(电子仪器)

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的有机EL装置及其制造方法和电子仪器的实施方式。在以下的实施方式中，以将本发明涉及的有机EL装置作为像素在基体上排列而成的有机EL装置为例来进行说明。这种有机EL装置，例如能够作为电子仪器等的显示机构而适当加以采用。

(有机EL装置)

图1是本实施方式的有机EL装置的电路构成图，图2是表示该有机EL装置具备的各像素71的平面结构的图，表示除去了反射电极和有机功能层后状态的图。而且图3是表示沿着图2中A-A直线的剖面构成的图。

如图1所示，有机EL显示装置70，是由在透明基板上，分别设有多条扫描线(配线、电流导通部分)131、沿着与这些扫描线131交叉方向延伸的多条信号线(配线、电流导通部分)132、与这些信号线132并列延伸的多条共用供电线(配线、电流导通部分)133，在扫描线131和信号线132的每个交点上设有像素(像素区域)71而构成的。

对于信号线132而言，设有其中具备移位寄存器、电平移位器、视频线和模拟开关等的数据侧驱动电路72。另一方面，对于扫描线131而言，设有其中具备移位寄存器和电平移位器等的扫描侧驱动电路73。而且在每个像素区域71上，设有借助于扫描线131向栅电极供给扫描信号(电力)的开关用TFT(薄膜晶体管)142、保持借助于此开关薄膜晶体管142由信号线132供给的像素信号(电力)的保持电容cap、将被保持电容cap保持的像素信号供给栅电极的驱动用TFT143、借助于此电流薄膜晶体管143与共用供电线133电连接时，从共用供电线133流入驱动电流(电力)的像素电极141、和被夹持在此像素电极141与共用电极154之间的发光部140。于是，由上述像素电极141、共用电极154和发光部140构成的元件，就是本发明涉及的有机EL元件(有机EL元件)。

在这种构成下，一旦扫描线131被驱动使开关薄膜晶体管142处于开启的状态，此时信号线132的电位(电力)就被保持电容cap所保持，根据该保持电容cap的状态，决定电流薄膜晶体管143的开·关状态。而且电流(电力)通过电流薄膜晶体管143的通道，从共用供电线133向像素电极141流过，电流进而通过发光部140流到共用电极154，从而形成发光部140根据流过其中的电流量而发光的构成。

进而参照图2所示的像素71的平面构成，像素71的配置如下：俯视大体呈矩形的像素电极141的四边，被信号线132、共用供电线133、扫描线131和未图示的其他像素电极用扫描线所包围。而且若观察图3所示的像素71的剖面构成，则可以发现：在基板(基体)P上设有驱动用TFT143，在将驱动用TFT143覆盖形成的中间介有多个绝缘膜的基板P上，形成有机EL元件200。有机EL元件200，被设置在事先在基板P上垂直设置的贮格围堰(bank分区隔壁)150所包围的区域内，具备在像素电极141与共用电极154之间夹持有机功能层140的构成。

驱动用TFT143，主要由在半导体层上形成的源区143a、漏区143b、和通道区域143c、以及借助于在半导体层的表面上形成的栅绝缘膜220与通道区域143c相对向的栅电极143A构成的。事先形成有将半导体层210和栅绝缘膜220覆盖的第一层间绝缘膜230，分别将漏电极236和源电极238埋设在贯通此第一层间绝缘膜230抵达半导体层210的接触孔232、234内，分别将各电极与漏区143b和源区143a电连接导通。在第一层间绝缘膜230上形成有第二层间绝缘膜240，将像素电极141的一部分埋设在贯通设置在此第二层间绝缘膜240上的接触孔内。于是在将像素电极141与漏电极236电连接的情况下，将驱动用TFT143与像素电极141(有机EL元件200)电连接。而且在此像素电极141的周缘部，形成由无机绝缘材料组成的无机贮格围堰149，使一部分向上凸起，在此无机贮格围堰149上形成着由有机材料构成的贮格围堰150。

构成有机EL元件200的有机功能层140，包括空穴输送层140A和发光层140B，在这些空穴输送层140A与发光层140B之间存在作为亲和膜的中间层155。空穴输送层140A，是为提高对发光层140B的电荷输送性，提高发光效率而设置的层，作为其形成材料，可以举出联苯胺衍生物、苯乙烯基胺衍生物、三苯甲烷衍生物、三苯基(或芳基)胺衍生物和腙衍生物等低分子化合物，聚苯胺、聚噻吩、聚乙烯基咔唑、聚(3，4-乙烯二氧噻吩)与聚苯乙烯磺酸的混合物(PEDOT/PSS；Polyethylendioxythiophene/Polystyrenesulfonete(Baytron P拜尔株式会社的商标))等高分子化合物。这些物质中，特别优选使用α-NPD(α-萘酚二胺)。

作为有机EL装置200的主要发光部的发光层140B的形成材料，可以使用能够发出荧光或磷光的公知的发光材料。而且在本实施方式的情况下，这种发光层140B是用液滴喷出法等液相法形成的层。

若要列举发光层140B的形成材料的具体实例，则可以适当使用(聚)荧烷衍生物(PF)、(聚)对苯撑乙烯撑(PPV)、聚苯撑衍生物(PP)、聚对苯撑衍生物(PPP)、聚乙烯基咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基苯基甲硅烷(PMPS)等聚甲硅烷系等。而且也可以使用在这些高分子材料中掺杂了二萘嵌苯(perylene)系色素、香豆素系色素、罗丹明系色素等高分子系材料，以及红荧烯、二萘嵌苯、9，10-二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖酮等低分子材料的。

而且作为这种有机化合物中发出红色光的，例如可以举出在聚乙烯撑苯乙烯衍生物的苯环上有烷基或烷氧基取代基的高分子化合物，或在聚乙烯撑苯乙烯衍生物的亚乙烯基上具有氨基的高分子化合物等。作为发出绿色光的有机化合物，例如可以举出在苯环上导入了烷基、烷氧基或芳基的在聚乙烯撑苯乙烯衍生物等。作为发出蓝色光的有机化合物，例如可以举出二烷基芴与蒽的共聚物之类的聚芴衍生物等。

此外，还可以使用过去已知的低分子材料代替上述的高分子材料。而且必要时也可以在发光层140B上设置氟化锂和钙的层叠膜等的电子注入层。

而且在形成发光层140B之际，将上述列举的形成材料溶解在溶剂中制成液体材料后，将其配置在后述的中间层155上，适当采用使溶剂蒸发的方法。作为上述溶剂，可以举出甲苯、二甲苯、环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等非极性溶剂。

被设置空穴输送层140A与发光层140B之间的中间层155，是具有使空穴输送层140A与发光层140B间的亲和性提高的表面改质作用的层。本实施方式的情况下，设置中间层155的情况下，空穴输送层140A的表面特性得到改善，因此可以改善形成发光层140B用液体材料的覆盖性能，得到具有均匀膜厚及膜质的发光层140B。以下说明中间层155的作用。

首先，为了用液相法形成空穴输送层140A而使用PEDOT/PSS的分散液的情况下，因为这种分散液是使用了极性溶剂的溶液，所以所得到的空穴输送层140A的表面将会变成亲和性的。在这样的空穴输送层140A上用液相法形成发光层140B的情况下，一旦在该液体材料中使用芳香族溶剂(非极性溶剂)，因与空穴输送层140A的亲和性低而使湿润性恶化。其结果，液体材料会偏在表面上，使得到的发光层140B的膜厚和膜质的均匀性降低。

与此相比，若设置像本发明那样的中间层155，则由于能够对空穴输送层140A的表面进行改质，例如将其做成亲油性的，所以能够提高与发光层140B液体材料的亲和性，能够提高因液体材料的涂布性改善而形成发光层140B膜厚和膜质的均匀性。

另外，中间层155的膜厚一旦过厚，由于有可能达到电子与空穴不能结合的距离，所以优选的厚度为1～10个左右分子层。

而且中间层155，优选由分子构成内有极性基团和非极性基团的、所谓双亲介质性分子构成。而且，当这种双亲介质性分子沿着层厚方向取向的情况下，能使上述极性基团乃至非极性基团排列在表面上，获得表面该值的作用。

也就是说，如果使上述双亲介质性分子的极性基团结合在空穴输送层140A的表面上形成中间层155，则中间层155的表面配置有非极性基团的状态，可以将空穴输送层140A的表面改质。其结果，发光层140B形成用液体材料的涂布性将会变得良好。

作为这种中间层155的形成材料，可以适当使用硅烷偶合剂(硅烷化合物)或表面活性剂。使用硅烷化合物的情况下，在形成中间层155的空穴输送层140A的表面上因硅烷化合物的一部分水解性基团水解而吸附生成的SiOH。或者空穴输送层140A的表面原子M与硅烷化合物直接或间接反应而结合。例如，硅烷化合物的一部分水解性基团水解而生成的SiOH，与表面的原子M(或MOH等)反应而形成Si-O-M键。

其中在中间层155的实施方式中，使用由通式(I)表示的一种或两种以上硅烷化合物(成分)：

(A)通式(I)

R¹SiX¹ _mX² _(3-m)…(I)

(式中，R¹表示有机基团，X¹和X²表示-OR²、-R²、-Cl，R²表示1～4个碳原子的烷基，m是1～3的整数)或

(B)通式(II)表示的双亲介质性化合物，

R¹Y¹…(II)

(式中，Y¹是亲水性的极性基团、-OH、-(CH₂CH₂O)nH、-COOH、-COOK、-COONa、-COONH₂、-SO₃H、-SO₃Na、-OSO₃H、-OSO₃Na、-PO₃H₂、-PO₃Na₂、-PO₃K₂、-NO₂、-NH₂、-NH₃Cl(铵盐)、-NH₃Br(铵盐)、≡NHCl(吡啶翁盐)、≡NHBR(吡啶翁盐)等)。

由通式(I)表示的化合物，硅烷原子上有机基团置换，其余的结合基团是烷氧基、烷基或氯原子取代的。R¹是具有提高与发光层材料的亲和性和附着性的效果的。这种亲和性和附着性是因在空穴输送层之间，存在与溶剂的亲和力或范德华力、静电引力等亲和力，或者共价键、离子键、配位键、氢键等键的形成而引起的。作为有机基团R¹的实例，例如可以举出苯基、苄基、苯乙基、羟基苯基、氯代苯基、氨基苯基、萘基、蒽基、芘基、噻嗯基、吡咯基、环己基、环己烯基、环戊基、环戊烯基、吡啶基、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、十八烷基、正辛基、氯代甲基、甲氧基乙基、羟基乙基、氨基乙基、氰基、巯基丙基、乙烯基、烯丙基、丙酰氧基乙基、甲基丙酰氧基乙基、环氧丙氧基丙基、乙酰氧基等。X1是形成烷氧基和氯代基团、Si-O-Si价键等用的官能团，因水的水解形成醇或酸而脱离。作为烷氧基，例如可以举出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、异丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等。R²的碳原子数与脱离的醇的分子量相比较小，容易除去，抑制所形成膜的致密性降低的观点来看，优选处于1～4范围内。

作为通式(I)表示的化合物，可以举出二甲基二甲氧基硅烷、二乙基二乙氧基硅烷、1-丙烯基甲基二氯硅烷、丙基二甲基氯代硅烷、丙基甲基二氯硅烷、丙基三氯代硅烷、丙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、苯乙烯基乙基三甲氧基硅烷、十四烷基三氯代硅烷、3-硫代氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、对甲苯基二甲基氯代硅烷、对甲苯基甲基二氯代硅烷、对甲苯基三氯代硅烷、对甲苯基三甲氧基硅烷、对甲苯基三乙氧基硅烷、二正丙基二正丁氧基硅烷、二异丙基二异丙氧基硅烷、二正丁基二正丁氧基硅烷、二仲丁基二仲丁氧基硅烷、二叔丁基二叔丁氧基硅烷、十八烷基三氯代硅烷、十八烷基甲基二乙氧基硅烷、十八烷基三乙氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、十八烷基二甲基氯代硅烷、十八烷基甲基二氯代硅烷、十八烷基甲氧基二氯代硅烷、7-辛烯基二甲基氯代硅烷、7-辛烯基三氯代硅烷、7-辛烯基三甲氧基硅烷、辛基甲基二氯代硅烷、辛基二甲基氯代硅烷、辛基三氯代硅烷、10-十一碳烯基二甲基氯代硅烷、十一烷基三氯代硅烷、乙烯基二甲基氯代硅烷、甲基十八烷基二甲氧基硅烷、甲基十二烷基二乙氧基硅烷、甲基十八烷基二甲氧基硅烷、甲基十八烷基二乙氧基硅烷、正辛基甲基二甲氧基硅烷、正辛基甲基二乙氧基硅烷、三十烷基二甲基氯代硅烷、三十烷基三氯代硅烷、甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三正丙氧基硅烷、甲基异丙氧基硅烷、甲基正丁氧基硅烷、甲基三仲丁氧基硅烷、甲基三叔丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、乙基三正丙氧基硅烷、乙基异丙氧基硅烷、乙基正丁氧基硅烷、乙基三仲丁氧基硅烷、乙基三叔丁氧基硅烷、正丙基三甲氧基硅烷、异丁基三甲氧基硅烷、正己基三甲氧基硅烷、十六烷基三甲氧基硅烷、正辛基三甲氧基硅烷、正十二烷基三甲氧基硅烷、正十八烷基三甲氧基硅烷、正丙基三乙氧基硅烷、异丙基三乙氧基硅烷、正己基三乙氧基硅烷、十六烷基三乙氧基硅烷、正辛基三乙氧基硅烷、正十二烷基三甲氧基硅烷、正十八烷基三乙氧基硅烷、2-[2-(三氯硅烷基)乙基]吡啶、4-[2-(三氯硅烷基)乙基]吡啶、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、1，3-(三氯硅烷基甲基)二十七碳烷、二苄基二甲氧基硅烷、二苄基二乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基甲基二甲氧基硅烷、苯基二甲基甲氧基硅烷、苯基二甲氧基硅烷、苯基二乙氧基硅烷、苯基甲基二乙氧基硅烷、苯基二甲基乙氧基硅烷、苄基三乙氧基硅烷、苄基三甲氧基硅烷、苄基甲基二甲氧基硅烷、苄基二甲基甲氧基硅烷、苄基二甲氧基硅烷、苄基二乙氧基硅烷、苄基甲基二乙氧基硅烷、苄基二甲基乙氧基氧基硅烷、苄基三乙氧基硅烷、二苄基二甲氧基硅烷、二苄基二已氧基硅烷、3-乙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、4-氨基丁基三乙氧基硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、6-(氨基己基氨基丙基)三甲氧基硅烷、对氨基苯基三甲氧基硅烷、对氨基苯基三乙氧基硅烷、间氨基苯基三甲氧基硅烷、间氨基苯基三乙氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、ω-氨基十一碳烷基三甲氧基硅烷、戊基三乙氧基硅烷、苯并氧杂硅烷基二甲酯(benzooxasilepin dimetyl ester化学式：C₁₁H₁₆O₃Si)、5-(双环庚烯基)三乙氧基硅烷、双(羟基乙基)-3-氨基丙基三乙氧基硅烷、8-溴代辛基三甲氧基硅烷、溴代苯基三甲氧基硅烷、3-溴代丙基三甲氧基硅烷、正丁基三甲氧基硅烷、2-氯代甲基三乙氧基硅烷、氯代甲基甲基二乙氧基硅烷、氯代甲基甲基二异丙氧基硅烷、对(氯代甲基)苯基三甲氧基硅烷、氯代甲基三乙氧基硅烷、氯代苯基三乙氧基硅烷、3-氯代丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯代丙基三乙氧基硅烷、3-氯代丙基三甲氧基硅烷、2-(4-氯代磺酰基苯基)乙基三甲氧基硅烷、2-氰基乙基三乙氧基硅烷、2-氰基乙基三甲氧基硅烷、氰基甲基苯乙基三乙氧基硅烷、3-氰基丙基三乙氧基硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三乙氧基硅烷、3-环己烯基三氯代硅烷、2-(3-环己烯基)乙基三氯代硅烷、2-(3-环己烯基)乙基二甲基氯代硅烷、2-(3-环己烯基)乙基甲基二氯代硅烷、环己基二甲基氯代硅烷、环己基乙基二甲基硅烷、环己基甲基二氯代硅烷、环己基甲基二甲氧基硅烷、(环己基甲基)三氯代硅烷、环己基三氯代硅烷、环己基三甲基硅烷、环辛基三氯代硅烷、(4-环辛烯基)三氯代硅烷、环庚烯基三氯代硅烷、环戊烯基三氯代硅烷、环戊烯基三甲氧基硅烷、1，1-二乙氧基-1-硅烷基环戊-3烯、3-(2，4-二硝基苯基氨基)丙基三乙氧基硅烷、(二甲基氯代硅烷基)甲基-7，7-二甲基降蒎烷、(环己基氨基甲基)甲基二乙氧基硅烷、(3-环戊二烯基丙基)三乙氧基硅烷、(N，N-二乙基-3-氨基丙基)三甲氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、(糠醛氧基甲基)三乙氧基硅烷、2-羟基-4-(3-三乙氧基丙氧基)二苯酮、3-(对甲氧基苯基)丙基甲基二氯代硅烷、3-(对甲氧基苯基)丙基三氯代硅烷、对(甲基苯乙基)甲基二氯代硅烷、对(甲基苯乙基)三氯代硅烷、对(甲基苯乙基)二甲基氯代硅烷、3-吗啉子基丙基三甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、1，2，3，4，7，7-六氯代-6-甲基二乙氧基硅烷-2-降冰片烯、1，2，3，4，7，7-六氯代-6-三乙氧基硅烷-2-降冰片烯、3-碘代丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、(巯基甲基)甲基二乙氧基硅烷、3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基三乙甲氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-甲基丙酰氧基丙基三甲氧基硅烷、甲基{2-(3-三甲氧基硅烷基丙基氨基)乙基氨基}-3-丙酸酯、7-辛烯基三甲氧基硅烷、R-N-α-苯乙基-N’-三乙氧基硅烷基丙基脲、S-N-α-苯乙基-N’-三乙氧基硅烷基丙基脲、苯乙基三甲氧基硅烷、苯乙基甲基二甲氧基硅烷、苯乙基二甲基甲氧基硅烷、苯乙基二甲氧基硅烷、苯乙基二乙氧基硅烷、苯乙基甲基二乙氧基硅烷、苯乙基二甲基乙氧基硅烷、苯乙基三乙氧基硅烷、(3-苯基丙基)二甲基氯代硅烷、(3-苯基丙基)甲基二氯代硅烷、N-苯基氨基丙基三甲氧基硅烷、N-(三乙氧基硅烷基丙基)丹酰胺、N-(3-三乙氧基硅烷基丙基)-4，5-二氢咪唑、2-(三乙氧基硅烷基乙基)-5-(氯代乙酰氧基)双环庚烷、(S)-N-三乙氧基硅烷基丙基-邻-薄荷醇甲酸酯、3-(三乙氧基硅烷基丙基)-对-硝基苯酰胺、3-(三乙氧基硅烷基)丙基琥珀酸酐、N-[5-(三甲氧基硅烷基)-2-氮杂-1-氧代-戊基]己内酰胺、2-(三甲氧基硅烷基乙基)吡啶、N-(三甲氧基硅烷基乙基)苄基-N，N，N-三甲基氯化铵、苯基乙烯基二乙氧基硅烷、3-硫酸酯基丙基三乙氧基硅烷、(十三氟代-1，1，2，2-四氢辛基)三乙氧基硅烷、N-{3-(三乙氧基硅烷基)丙基}邻苯二甲酰胺酸、(3，3，3-三氟丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3，3，3-三氟丙基)三甲氧基硅烷、1-三甲氧基硅烷基-2-(氯代甲基)苯基乙烷、2-(三甲氧基硅烷基)乙基苯基磺酰基叠氮、β-三甲氧基硅烷基乙基-2-吡啶、三甲氧基硅烷基丙基二亚乙基三胺、N-(3-三甲氧基硅烷基丙基)吡咯、N-三甲氧基硅烷基丙基-N，N，N-三丁基溴化铵、N-三甲氧基硅烷基丙基-N，N，N-三丁基氯化铵、N-三甲氧基硅烷基丙基-N，N，N-三甲基氯化铵、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基二甲基甲氧基硅烷、乙烯基二甲基乙氧基硅烷、乙烯基甲基二氯代硅烷、乙烯基苯基二氯代硅烷、乙烯基苯基二乙氧基硅烷、乙烯基苯基二甲基硅烷、乙烯基苯基甲基氯代硅烷、乙烯基三苯氧基硅烷、乙烯基三叔丁氧基硅烷、金刚烷基乙基三氯代硅烷、烯丙基苯基三氯代硅烷、(氨基乙基氨基甲基)苯乙基三甲氧基硅烷、3-氨基苯氧基甲基乙烯基硅烷、苯基三氯代硅烷、苯基二甲基氯代硅烷、苯基甲基二氯代硅烷、苄基三氯代硅烷、苄基二甲基氯代硅烷、苄基甲基二氯代硅烷、苯乙基二异丙基氯代硅烷、苯乙基三氯代硅烷、苯乙基二甲基氯代硅烷、苯乙基甲基二氯代硅烷、5-(双环庚烯基)三氯代硅烷、5-(双环庚烯基)三乙氧基硅烷、2-(双环庚烯基)二甲基氯代硅烷、2-(双环庚烯基)三氯代硅烷、1，4-双(三甲氧基硅烷基乙基)苯、溴代苯基三氯代硅烷、3-苯氧基丙基二甲基氯代硅烷、3-苯氧基丙基三氯代硅烷、叔丁基苯基氯代硅烷、叔丁基苯基甲氧基硅烷、叔丁基苯基二氯代硅烷、对-(叔丁基)苯乙基二甲基氯代硅烷、对-(叔丁基)苯乙基三氯代硅烷、1，3-(-氯二甲基硅烷基甲基)二十七碳烷、[(氯代甲基)苯基乙基]二甲基氯代硅烷、[(氯代甲基)苯基乙基]甲基二氯代硅烷、[(氯代甲基)苯基乙基]三氯代硅烷、[(氯代甲基)苯基乙基]三甲氧基硅烷、氯代苯基三氯代硅烷、2-氰基乙基三氯代硅烷、2-氰基乙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-氰基丙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基二甲基乙氧基硅烷、3-氰基丙基甲基二氯代硅烷、3-氰基丙基三氯代硅烷等。

由通式(II)表示的双亲介质性化合物，是在亲油性有机基团R¹上结合了亲水性官能团的化合物。Y¹表示亲水性的极性基团，是在亲水面上吸附用的官能团，表面活性剂的亲油基团R¹通过排列在亲水面的反侧，可以在亲水面上形成亲油面。R¹是具有提高与发光层材料的亲和性和附着性效果的。这种亲和性和附着性，是因在空穴输送层140A之间，存在与溶剂的亲和力或范德华力、静电引力等亲和力，或者形成共价键、离子键、配位键、氢键等引起的。作为有机基团R¹的实例，例如可以举出苯基、苄基、苯乙基、羟基苯基、氯代苯基、氨基苯基、萘基、蒽基、芘基、噻嗯基、吡咯基、环己基、环己烯基、环戊基、环戊烯基、吡啶基、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、十六烷基、正辛基、氯代甲基、甲氧基乙基、羟基乙基、氨基乙基、氰基、巯基丙基、乙烯基、烯丙基、丙酰氧基乙基、甲基丙酰氧基乙基、环氧丙氧基丙基、乙酰氧基等。

作为以通式(II)表示的双亲介质性化合物，可以举出正癸基三甲基氯化铵、正癸基三甲基溴化铵、正十二烷基三甲基氯化铵、正十二烷基三甲基溴化铵、正十六烷基三甲基氯化铵、正十六烷基三甲基溴化铵、正十八烷基三甲基氯化铵、正十八烷基三甲基溴化铵、二-正十二烷基三甲基氯化铵、二-正十二烷基三甲基溴化铵、正癸基吡啶翁氯化物、正癸基吡啶翁溴化物、正十二烷基吡啶翁氯化物、正十二烷基吡啶翁溴化物、正十二烷基吡啶翁碘化物、正十四烷基吡啶翁氯化物、正十四烷基吡啶翁溴化物、正十六烷基吡啶翁氯化物、正十六烷基吡啶翁溴化物、正十六烷基吡啶翁碘化物、正十八烷基吡啶翁氯化物、正十八烷基吡啶翁溴化物、正十二烷基皮考啉(picolinium)氯化物、正十二烷基皮考啉溴化物、正十二烷基皮考啉碘化物、正十八烷基皮考啉氯化物、正十二烷基皮考啉溴化物、正十二烷基皮考啉碘化物、N，N’-二甲基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N，N’-二甲基-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N，N’-二甲基-4，4’-双联吡啶翁二(甲基硫化物)、N，N’-二甲基-4，4’-双联吡啶翁二(对甲苯磺酸盐)、N，N’-二(正丙基)-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N，N’-二(正丙基)-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N，N’-二(正丙基)-4，4’-双联吡啶翁二(对甲苯磺酸盐)、N，N’-二苄基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N，N’-二苄基-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N，N’-二苄基-4，4’-双联吡啶翁二碘化物、N，N’-二苄基-4，4’-双联吡啶翁二(对甲苯磺酸盐)、N，N’-二苯基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N，N’-二苯基-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N，N’-二(3-磺酸盐丙基)-4，4’-双联吡啶翁、1，3-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四氯化物、1，3-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四溴化物、1，3-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四氯化物、1，3-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四溴化物、1，4-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四氯化物、1，4-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四溴化物、1，4-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四氯化物、1，4-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}丙烷四溴化物、α，α-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}邻二甲苯四氯化物、α，α-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}邻二甲苯四溴化物、α，α-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}邻二甲苯四氯化物、α，α-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}邻二甲苯四溴化物、α，α-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}间二甲苯四氯化物、α，α-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}间二甲苯四溴化物、α，α-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}间二甲苯四氯化物、α，α-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}间二甲苯四溴化物、α，α-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}对二甲苯四氯化物、α，α-双{N-(N’-甲基-4，4’-双联吡啶基)}对二甲苯四溴化物、α，α-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}对二甲苯四氯化物、α，α-双{N-(N’-苄基-4，4’-双联吡啶基)}对二甲苯四溴化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁溴碘化物、N-正十二烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁溴化物甲基硫化物、N-正十二烷基-N’-苄基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N-正十二烷基-N’-苄基-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N-正十二烷基-N’-苄基-4，4’-双联吡啶翁氯溴化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁溴碘化物、N-正十六烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁溴化甲基硫化化物、N-正十六烷基-N’-苄基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N-正十六烷基-N’-苄基-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁二氯化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁溴化碘化物、N-正十八烷基-N’-甲基-4，4’-双联吡啶翁溴化甲基硫化物、N-正十八烷基-N’-苄基-4，4’-双联吡啶翁二溴化物、N，N’-二正十二烷基-4，4’-双联吡啶二氯化物、N，N’-二正十二烷基-4，4’-双联吡啶二溴化物、N，N’-二正十六烷基-4，4’-双联吡啶二氯化物、N，N’-二正十六烷基-4，4’-双联吡啶二溴化物、1，3-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]丙烷四氯化物、1，3-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]丙烷四溴化物、1，4-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]丁烷四溴化物、1，6-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]己烷四溴化物、1，3-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]丙烷四溴化物、1，4-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]丁烷四溴化物、1，6-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]己烷四溴化物、α，α’-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]邻二甲苯四氯化物、α，α’-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]邻二甲苯四溴化物、α，α’-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]间二甲苯四氯化物、α，α’-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]间二甲苯四溴化物、α，α’-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]对二甲苯四氯化物、α，α’-双{N-[(N’-正十二烷基-4，4’-双联吡啶基)]对二甲苯四溴化物、α，α’-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]邻二甲苯四氯化物、α，α’-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]邻二甲苯四溴化物、α，α’-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]间二甲苯四氯化物、α，α’-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]间二甲苯四溴化物、α，α’-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]对二甲苯四氯化物、α，α’-双{N-[(N’-正十六烷基-4，4’-双联吡啶基)]对二甲苯四溴化物、丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸环己酯、环己基丙烯酰胺、环己基甲基丙烯酰胺、N-环己基-N-甲基丙烯酰胺、N-环己基-N-甲基甲基丙烯酰胺、环己基甲基丙烯酸酯、环己基甲基甲基丙烯酸酯、环己基甲基丙烯酰胺、环己基甲基甲基丙烯酰胺、N-环己基甲基-N-甲基丙烯酰胺、N-环己基甲基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、苯基丙烯酰胺、苯基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基丙烯酰胺、N-甲基-N-苯基甲基丙烯酰胺、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、苄基丙烯酰胺、苄基甲基丙烯酰胺、N-苯甲醇-N-甲基丙烯酰胺、N-苄基-N-甲基甲基丙烯酰胺、1-降冰片烯基丙烯酸酯、1-降冰片烯基甲基丙烯酸酯、1-降冰片烯基丙烯酰胺、1-降冰片烯基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-降冰片烯基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-降冰片烯基)甲基丙烯酰胺、丙烯酸环辛酯、甲基丙烯酸环辛酯、环辛基丙烯酰胺、环辛基甲基丙烯酰胺、N-环辛基-N-甲基丙烯酰胺、N-环辛基-N-甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸金刚烷酯、甲基丙烯酸金刚烷酯、金刚烷基丙烯酰胺、金刚烷基甲基丙烯酰胺、N-金刚烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-金刚烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、1-萘基丙烯酸酯、1-萘基甲基丙烯酸酯、1-萘基丙烯酰胺、1-萘基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-萘基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-萘基)甲基丙烯酰胺、2-萘基丙烯酸酯、2-萘基甲基丙烯酸酯、2-萘基丙烯酰胺、2-萘基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(2-萘基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(2-萘基)甲基丙烯酰胺、正十二烷基丙烯酸酯、正十二烷基甲基丙烯酸酯、正十二烷基丙烯酰胺、正十二烷基甲基丙烯酰胺、N-正十二烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十二烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、环十二烷基丙烯酸酯、环十二烷基甲基丙烯酸酯、环十二烷基丙烯酰胺、环十二烷基甲基丙烯酰胺、N-环十二烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-环十二烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、正十六烷基丙烯酸酯、正十六烷基甲基丙烯酸酯、正十六烷基丙烯酰胺、正十六烷基甲基丙烯酰胺、N-正十六烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十六烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、正十八烷基丙烯酸酯、正十八烷基甲基丙烯酸酯、正十八烷基丙烯酰胺、正十八烷基甲基丙烯酰胺、N-正十八烷基-N-甲基丙烯酰胺、N-正十八烷基-N-甲基甲基丙烯酰胺、二正辛基丙烯酰胺、二正辛基甲基丙烯酰胺、二正癸基丙烯酰胺、二正癸基甲基丙烯酰胺、二正十二烷基丙烯酰胺、二正十二烷基甲基丙烯酰胺、9-蒽甲基丙烯酸酯、9-蒽甲基甲基丙烯酸酯、9-蒽甲基丙烯酰胺、9-蒽甲基甲基丙烯酰胺、9-菲甲基丙烯酸酯、9-菲甲基甲基丙烯酸酯、9-菲甲基丙烯酰胺、9-菲甲基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(9-菲甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(9-菲甲基)甲基丙烯酰胺、1-芘甲基丙烯酸酯、1-芘甲基甲基丙烯酸酯、1-芘甲基丙烯酰胺、1-芘甲基甲基丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-芘甲基甲基)丙烯酰胺、N-甲基-N-(1-芘甲基甲基)甲基丙烯酰胺、4-丙烯酰氧基甲基酞菁等。

为了用以上列举的中间层形成材料形成中间层155，可以适当采用后述的化学气相蒸镀法的气相法或液滴喷出法、旋涂法、浸渍法(蘸涂法)等液相法。

作为基板P，在所谓顶部出射型的有机EL装置的情况下，由于采用从配置了有机EL元件200的一侧取出光的构成，所以除了玻璃等透明基板以外，也可以使用不透明基板。作为不透明基板，例如可以举出对氧化铝等陶瓷、不锈钢等金属片材实施了表面氧化处理的，或者热固性树脂或热塑性树脂、进而其薄膜(塑料薄膜)等。

像素电极141，在顶部出射型的情况下，不必用ITO等透明导电性材料形成，可以采用金属材料等适当的导电性材料形成。

共用电极154，可以在基板P上形成得将发光层140B和贮格围堰150的上面，以及形成贮格围堰150的侧面部分的壁面覆盖的状态。作为形成此共用电极154用的材料，在顶部出射型的情况下，可以使用透明导电性材料。虽然ITO适于作为透明导电性材料，但是也可以采用其他透光性材料。

在共用电极154的上层侧也可以形成阴极保护层。设置有关阴极保护层的情况下，在制造过程中可以获得防止共用电极154被蚀刻的效果，可以采用无机化合物，例如硅氧化物、硅氮化物、硅氮氧化物等硅化合物形成。通过由无机化合物构成的阴极保护层将共用电极154覆盖，能够充分防止氧等侵入由无机氧化物构成的阴极中。

(有机EL装置的制造方法)

以下参照图5至图7说明本发明涉及的有机EL装置的制造方法的实施方式。

<液滴喷出装置>

首先说明本实施方式涉及的制造方法采用的液滴喷出装置。图5是示意表示本发明的有机EL装置制造时使用的液滴喷出装置的立体图，图6和图7是表示被设置在液滴喷出装置上的液滴喷头的图。

图5中，液滴喷出装置IJ，是能将液滴(油墨滴)配置在基板P表面上的成膜装置，备有基座12，被设置在基座12上支持基板P的台架ST，处于基座12与台架ST之间能够移动支持台架ST的第一移动装置14，对被台架ST支持的基板P能够定量喷出(滴下)含有所定材料之液滴的液滴喷头20，和能够移动支持液滴喷头20的第二移动装置16。包括液滴喷头20的液滴喷出动作，或第一移动装置14和第二移动装置16的移动动作在内的液滴喷出装置IJ的动作，由控制装置CONT所控制。

第一移动装置14被设置在基座12上，可以沿着Y轴方向定位。第二移动装置16，被在基座12的后部直立的支柱16A、16B支持在第一移动装置14的上方。第二移动装置16的X轴方向，是与第一移动装置14的Y轴方向正交的方向。其中Y轴方向是沿着基座12的前部12B和后部12A方向的方向。与此相比，X轴方向是沿着基座12左右方向的方向，分别处于水平位置。而且Z轴方向是与X轴和Y轴方向垂直的方向。

第一移动装置14例如由线型马达构成，其中备有两根导轨40，和能够沿着这些导轨40，40移动的滑块42。这种线型马达形式的第一移动装置14的滑块42，能够沿着导轨40在Y轴方向移动并定位。滑块42备有沿着Z轴旋转(θZ)用的马达44。马达44的转子被固定在台架ST上。由此，一旦向马达44供电，转子与台架ST就能沿着θZ方向旋转，使台架ST变址(旋转分度)。也就是说，第一移动装置14能使台架ST沿着Y轴方向和θZ方向移动。

台架ST是保持基板P和在预定位置定位用的部件。台架ST具有吸附保持装置50，使吸附保持装置50动作，通过被设置在台架ST上的吸入孔46A能将基板P吸附保持在台架ST上。

第二移动装置16，由线型马达构成，其中备有被固定在支柱16A、16A上的立柱16B、被这种立柱16B支持的导轨62A、和能够沿着导轨62A在X轴方向移动支持的滑块60。滑块60可以沿着导轨62A在XZ轴方向移动并定位，液滴喷头20被安装在滑块60上。

液滴喷头20具有马达62、64、66和68作为摆动位置定位装置。若使马达62动作，则液滴喷头20可以沿着Z轴上下移动并定位。这种Z轴相对于X轴和Y轴分别处于正交方向(上下方向)上。一旦使马达64动作，液滴喷头20就会沿着Y轴四周的β方向摆动并定位。一旦使马达66动作，液滴喷头20就会沿着X轴四周的γ方向摆动并定位。一旦使马达68动作，液滴喷头20就会沿着Z轴四周的α方向摆动并定位。也就是说，第二移动装置16能够在X方向和Y方向上移动支持液滴喷头20，同时能够在θX方向、θY方向和θZ方向上移动支持这种液滴喷头20。

如此，图5所示的液滴喷头20，在滑块60中能够沿着Z轴方向直线移动并定位，而且能够沿着α、β、γ方向摆动并定位，液滴喷头20的喷出面20P，能够被控制得相对于台架ST侧的基板P处于正确位置和姿态下。而且，在液滴喷头20的喷出面P上设置有喷出液滴的多个喷嘴。

图6是表示液滴喷头20的分解立体图。液滴喷头20，具备具有多个喷嘴81的喷嘴板80、具有振动板85的压力室基板90、和嵌入有这些喷嘴板80和振动板85而支持的筐体88而构成。液滴喷头20的主要部结构，如图7所示，是由喷嘴板80和振动板85将压力室基板90夹持的结构。喷嘴板80的喷嘴81，分别与压力室基板90所分区而成的压力室(空腔)91对应。在压力室基板90上，通过对硅单晶基板等进行蚀刻，设置有多个能够起着压力室作用的空腔91。空腔91之间被侧壁92所分割。各空腔91通过供给口94与作为共用通路的储槽93相连。振动板85例如由热氧化膜等构成。

振动板85上设有储罐口86，能够从图5所示的储罐30经由管道(通路)31供给任意的液滴。在相对于振动板85上的空腔91的位置上，设置有压电元件87。压电元件87具备用上部电极和外部设备电极(未图示)将PZT元件等压电陶瓷晶体夹持的结构。压电元件87构成得能够与控制装置CONT供给的喷出信号对应地发生体积变化。

为使液滴喷头20喷出液滴，首先向液滴喷头20供给控制装置CONT使液滴喷出用的喷出信号。事先流入液滴喷头20的空腔91中，接收到喷出信号的液滴喷头20，其压电元件87因施加在上部电极和下部电极之间的电压而产生体积变化。这种体积变化使振动板85变形，从而使空腔91的体积发生变化。其结果，可以从该空腔91的喷嘴81喷出液滴。喷出了液滴的空腔91因喷出而减少的液体材料，由储罐30重新供给。

本实施方式涉及的液滴喷出装置IJ所具备的液滴喷头20，虽然采用了因使压电元件产生体积变化而喷出液滴的构成，但是也可以采用借助于发热体加热液体材料，使其膨胀而喷出液滴的构成。

回到图5，被设置在基板P上的液体材料，可以用液体材料调整装置S生成。液体材料调整装置S，具备可以容纳液体材料的储罐30，被安装在储罐30上、被此储罐30容纳的调整液体材料温度的温度调整装置32，和被储罐30容纳的搅拌液体材料的搅拌装置33。温度调整装置32由加热器构成，能将储罐30内的液体材料调整到任意温度下。温度调整装置32，由控制装置CONT加以控制，储罐30内的液体材料在被温度调整装置32的温度调整下，可以达到所需的粘度。

储罐30通过管道(通路)31与液滴喷头20相连接，从液滴喷头20喷出液体材料的液滴，借助于管道31由储罐30供给。而且流过管道31的液体材料，被未图示的管道温度调整装置控制在所需温度下，粘度得到调整。此外，从液滴喷头20喷出的液滴温度，由设置在液滴喷头20上的未图示的温度调整装置加以控制，可以调整到所需的粘度下。

<有机EL装置的制造顺序>

以下参照图8和图9，说明用上述的液滴喷出装置IJ制造本发明涉及的有机EL装置的顺序。

首先如图8(a)所示，在玻璃基板等基板P上形成驱动用TFT143，形成与其电连接的像素电极141后，沿着像素电极141的周边形成无机贮格围堰149和(有机)贮格围堰150。

贮格围堰150是起着分区隔壁作用的部件，贮格围堰150的形成可以采用光刻法和印刷法等任意方法进行。例如采用光刻法的情况下，可以利用旋涂法、喷涂法、辊涂法、模涂法、蘸涂法等所定方法，在基板P上涂布与贮格围堰高度吻合的有机系感光材料，在其上涂布抗蚀剂层。而且按照贮格围堰形状(像素配置)放置掩模，通过曝光和显影使与贮格围堰形状一致的抗蚀剂残留。最后蚀刻除去掩模以外部分的贮格围堰材料。而且，也可以以下层为无机物或有机物，对功能液显示亲液性的材料，而上层是有机物、显示疏液性的材料构成的两层以上来形成贮格围堰(凸部)。

形成贮格围堰的有机材料，也可以是与原来一样对液体材料(空穴输送层形成材料、发光层形成材料、中间层形成材料)显示疏液性的材料。正如后述的那样，也可以是经等离子处理能疏液化、与基底基板的密接性优良、利用光刻法容易图案化的绝缘有机材料。例如丙烯树脂、聚酰亚胺树脂、烯烃树脂、三聚氰胺树脂等高分子材料。

接着为除去在贮格围堰间贮格围堰形成时的抗蚀剂残渣(有机物)，对基板P实施残渣处理。

作为残渣处理虽然可以选择通过照射紫外线进行残渣处理的紫外线(UV)照射处理或在大气气氛中以氧作为处理气体的O₂等离子体处理等，但是这里将实施O₂等离子体处理。通过这种处理能够提高像素电极141上的亲液性。

进而对贮格围堰150进行疏液化处理，对其表面赋予疏液性。作为疏液化处理，例如可以采用在大气气氛下以四氟甲烷作为处理气体的等离子体处理(CF₄等离子体处理法)。

其中作为处理气体，并不限于四氟甲烷(四氟化碳)，也可以采用SF₆、CHF₃等其他氟碳系气体。

通过这种疏液化处理，能够在贮格围堰150上构成其的树脂中导入含氟基团，赋予高的疏液性。而且作为上述亲液化处理用的O₂等离子体处理，虽然也可以在贮格围堰150形成后进行，但是对于丙烯树脂和聚酰亚胺树脂等而言，由于进行O₂等离子体处理的前处理具有更加容易氟化(疏液化)的性质，所以优选在贮格围堰150形成前作O₂等离子体处理。

另外，即使在基体的一侧实施这种疏液处理，由ITO膜和金属膜构成的无机材料的像素电极141或无机贮格围堰149的表面，也比由有机材料构成的贮格围堰150的表面更难疏液化，所以仅在贮格围堰150的表面上进行选择性的疏液化处理，在被贮格围堰150包围的区域内形成对液体材料亲和性不同的多个区域。

另外，关于上述的驱动用TFT143或像素电极141、贮格围堰149，都可以采用公知的制造方法，所以在本说明书中省略关于该制造工序的说明。

然后如图8(b)所示，在基板P的上面(贮格围堰150的开口部)朝上的状态下，通过液滴喷头20在被贮格围堰150包围的涂布为止上选择性涂布含有前面记载的空穴输送层形成材料的液体材料114a。形成空穴输送层用的液体材料114a，通过图5所示的液体材料调整装置S制备，是含有空穴输送层形成材料和溶剂的液体，例如使用PEDOT/PSS的分散液。本实施方式中，虽然采用液滴喷出法形成空穴输送层，但是也可以利用在基板上形成了非亲和性(疏液性)的部位和显示亲和性(亲液性)的部位，借助于狭缝涂布法(或者帘涂法)、蘸涂法形成空穴输送层。

含有上述的空穴输送层形成材料的液体材料114a，一旦用液滴喷头20喷出在基板P上，就会因流动性强而向水平方向扩展，形成将涂布位置包围的贮格围堰150，所以液体材料114a会越过贮格围堰150而向其外侧扩展。

接着通过加热或光照使液体材料114a的溶剂蒸发，在像素电极141上形成固体形状的空穴输送层140A。或者也可以在大气环境下或者在氮气气氛下于所定温度下和时间内(例如200℃、10分钟)进行烧成。

进而在空穴输送层140A上对中间层155制膜。

本实施方式中，将就采用化学气相蒸镀法、浸渍法、旋涂法和液体喷出法对中间层155制膜的情况进行说明。

(化学气相蒸镀法)

将按照上述制造顺序形成了空穴输送层140A的基板P放入300毫升聚四氟乙烯容器中，将20微升作为中间层的有机薄膜形成用材料，即苯基三乙氧基硅烷放入取样瓶中后，在不盖盖子的情况下与基板一起放入聚四氟乙烯容器中。然后将聚四氟乙烯容器密封，放入电炉中。使温度上升至120℃保持1小时，然后从电炉中取出，如图9(a)所示，在空穴输送层140A上形成中间层155。

用椭圆仪测定了膜厚。经原子力显微镜(AFM)和X射线测定(XPS)，经鉴定形成了苯基三乙氧基硅烷膜。经过1小时沉积的苯基三乙氧基硅烷膜的制膜前后，相对于水和发光层形成材料的接触角示于表1之中。

表1

经确认，由于对水的接触角增加，对发光材料的接触角减小，所以形成了亲油性的亲和膜。而且从与水、二碘甲烷、十六碳烷的接触角计算出苯基三乙氧基硅烷膜的表面能量为35mN/m。没有形成化学吸附膜的Si-OH为80mN/m。

这种中间层155，例如当含有苯基三乙氧基硅烷作为中间层形成材料的情况下，水解性基团(X”基)优先吸附在空穴输送层140A的表面上，作为极性基团的苯基变成整齐排列在中间层155表面上的单分子膜或其层叠膜。该中间层155优选单分子层～10分子层左右来形成得极薄，若形成这样薄，则可以获得在无损于空穴输送层140A与发光层140B间电荷移动度的充分的效果。

(浸渍法)

将玻璃染色垫(44×98×41mm)浸渍在溶解有1重量％苄基三甲氧基硅烷的甲苯溶液100毫升中，将基板放入其中在25℃下浸渍1小时。取出的基板用五水甲苯洗涤两次，除去多余的有机薄膜，在空穴输送层140A上将形成中间层155。

在浸渍法中，与化学气相蒸镀法同样，也可以在空穴输送层140A上得到中间层155的薄膜。

(液滴喷出法)

如图8(c)所示，在基板P的上面朝上的状态下，通过液滴喷头20在贮格围堰150内的空穴注入层140A上选择性涂布含有前面记载的中间层形成材料和溶剂的液体材料115。此时由于贮格围堰150已经被赋予对于液体材料115的疏液性，所以即使液体材料115弹落在贮格围堰150上的情况下，也可以离开落入贮格围堰150内，所以能够防止在贮格围堰的表面上形成中间层155。

然后一旦将溶剂蒸发，就可以得到如图9(a)所示的中间层155。

如此，一旦在空穴输送层140A上形成中间层155，进而如图9(b)所示，从液滴喷头20喷出含有发光层形成材料的液体材料114b，就能将含有发光层形成材料和溶剂的液体材料114b涂布在贮格围堰150内的中间层155上。本实施方式的情况下，这种液体材料114b的溶剂，也可以使用环己基苯、二氢苯并呋喃、三甲基苯、四甲基苯等非极性溶剂。因为上述的苯基三乙氧基硅烷的非极性基团的亲和性优良。

一旦这样涂布液体材料114b，液体材料114b在中间层155的作用下，将会在中间层155的表面上很好地扩展，被均匀充填在贮格围堰150内。

此时，在没有形成中间层155的状态下在空穴输送层140A上喷出含有发光层形成材料114b的情况下，由于亲和性低，如图10(a)所示，液滴的湿润扩展就不充分，但是借助于中间层155在空穴输送层140A上喷出含有发光层形成材料的液体材料114b的情况下，因亲和性提高，所以如图10(b)所示，能够得到液滴充分湿润扩展的均匀厚度的发光层。

此外，在制造多个颜色的有机EL元件在基板上排列而成的可以进行彩色显示的有机EL装置的情况下，发光层用液体材料114b喷出法的形成，采用将含有发出红色光的发光层形成材料(例如氰基聚苯撑乙烯撑)、含有发出绿色光的发光层形成材料(例如聚苯撑乙烯撑)、和含有发出蓝色光的发光层形成材料(例如聚苯撑乙烯撑和聚烷基苯撑，这些都是由剑桥显示器技术公司制造的，能以买到)，在分别对应的贮格围堰150内部喷出涂布的方式进行。而且与各种颜色对应的像素71，可以事先决定其配置规则。

如果这样喷出涂布含有各种颜色的发光层形成材料的液体材料114b，则使液体材料114b中的溶剂蒸发。通过这种工序，如图9(c)所示，可以在空穴注入层140A上形成固体形态的发光层140B。由于上述中间层155而使液体材料114b得到均匀涂布，所以所得到的发光层140B其膜厚和膜质也将变得均匀。

这样一来，可以得到由空穴注入层140A与发光层140B构成的有机功能层140。其中关于含有发光层形成材料的液体材料114b中溶剂的蒸发，虽然必要时采用加热或减压等处理的方式进行，但是由于发光层形成用材料通常干燥性良好是速干性的，所以在不特别进行这种处理的情况下，通过依次喷出涂布各种颜色的发光层形成材料，能够以该涂布顺序形成各种颜色的发光层140B。

然后如图9(c)所示，在透明基板P的全部表面上或者以条状形成由ITO等透明导电性材料构成的共用电极154。这样能够制成有机EL元件200。此外在本实施方式中，有机EL元件200包括像素电极141、空穴注入层140A发光层140B和共用电极154。

综上所述，本实施方式中由于中间层155使空穴输送层140A与发光层140B的亲和性提高，所以当考虑到相容性而采用不同溶剂以液滴喷出法形成发光层140B之际，可以使含有发光层形成材料的液体材料114b湿润扩展，因而能够在空穴输送层140A上形成均匀的发光层140B。

而且在本实施方式中，贮格围堰150由于对空穴输送层形成材料、发光层形成材料和中间层形成材料都具有疏液性，所以能够防止在贮格围堰150上形成中间层。

(电子仪器)

图11是表示本发明涉及的电子仪器实例的立体图。

图11(a)是表示移动电话机一例的立体图。图11(a)中，符号600表示移动电话机主体，符号601表示作为显示机构采用了上述有机EL装置70的显示部。图11(b)是表示文字处理器、个人电脑等便携式信息处理装置的立体图。图11(b)中，符号700表示信息处理装置，符号701表示键盘等输入部，符号702表示用上述EL装置作为显示机构的显示部，符号703表示信息处理装置主体。图11(c)是手表型电子仪器一例的立体图。在图11(c)中，符号800表示手表主体，符号801表示采用上述有机EL装置70作为显示机构的显示部。

图11(a)～(c)所示的电子仪器，由于备有上述实施方式的有机EL装置70，所以能够实现高画质、均匀明亮的显示。

另外，本发明的技术范围并不限于上述实施方式，可以在不超出本发明要点的范围内作出各种变更，在实施方式中列举的具体材料或层构成等只不过是一个实例，可以适当变更。

例如，在上述实施方式中虽然采用借助于中间层155使空穴输送层140A与发光层140B相邻的构成，但是并不限于此，也可以适当设置空穴注入层代替空穴输送层140A的构成。

而且在上述实施方式中，有机功能层140虽然决定由空穴输送层140A和发光层140B两层构成，但是并不限于此，也可以采用三层以上的多层结构，例如在像素电极141与空穴输送层140A之间设置空穴注入层，或者在必要时在发光层140B与共用电极154之间设置电子输送层或电子注入层等。设置这些层的情况下，能够控制驱动电压的上升，还能延长驱动寿命(半衰期)。

此外中间层155就有机EL元件200而言不必仅有一层，还可以在空穴输送层140A和发光层140B之外，于像素电极141与共用电极154之间的任意层间设置多个中间层155。

不仅如此，上述实施方式中，决定采用从基板P侧将空穴输送层140A、发光层140B制膜的构成，但是也可以采用从基板P侧将发光层140B、空穴输送层140A制膜的构成。这种情况下，还可以在发光层140B上将作为亲和膜的中间层155制膜，进而在中间层155上将空穴输送层140A制膜。

Claims (9)

1.一种有机EL装置，是用液滴喷出法形成空穴注入层或空穴输送层和发光层的有机EL装置，其特征在于：其中使所述空穴注入层或所述空穴输送层和所述发光层之间亲和性提高的亲和膜，处于所述空穴注入层或所述空穴输送层与所述发光层之间。

2.根据权利要求1所述的有机EL装置，其特征在于：所述亲和膜含有硅烷化合物或表面活性剂。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL装置，其特征在于：其中具有分区所述空穴注入层或所述空穴输送层，和所述发光层的隔壁，

所述隔壁对于形成所述亲和膜的材料具有疏液性。

4.根据权利要求1～3的任一项所述的有机EL装置，其特征在于：所述亲和膜利用化学气相沉积法、浸渍法、旋涂法、液滴喷出法中的任一方法制膜。

5.一种电子仪器，其特征在于：其中具备权利要求1～4的任一项所述的有机EL装置。

6.一种有机EL装置的制造方法，是具有用液滴喷出法形成空穴注入层或空穴输送层的工序，和用液滴喷出法形成发光层工序的有机EL装置的制造方法，其特征在于，其中具有：

在所述空穴注入层或空穴输送层，和所述发光层的任一层上形成使所述空穴注入层或所述空穴输送层与所述发光层间亲和性提高的亲和膜的形成工序。

7.根据权利要求6所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于：其中所述亲和膜含有硅烷化合物或表面活性剂。

8.根据权利要求6或7所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于：其中具有对形成所述亲和膜的材料具有疏液性，分区所述空穴注入层或所述空穴输送层，与所述发光层的硅烷隔壁的形成工序。

9.根据权利要求6～8的任一项所述的有机EL装置的制造方法，其特征在于：其中所述亲和膜制膜的工序，利用化学气相沉积法、浸渍法、旋涂法和液滴喷出法中的任一方法进行。

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