CN1666095A

CN1666095A - 磁致伸缩扭矩传感器轴及其制造方法

Info

Publication number: CN1666095A
Application number: CN03815833.7A
Authority: CN
Inventors: 黑田明浩; 金田裕光; 水村雄一
Original assignee: Suzuki Motor Corp
Current assignee: Suzuki Motor Corp
Priority date: 2002-07-03
Filing date: 2003-04-23
Publication date: 2005-09-07
Also published as: DE10392889T5; US20050204830A1; JP2004037240A; AU2003235094A1; WO2004005873A1

Abstract

本发明改善了用于磁致扭矩传感器的扭矩传感器轴的磁化屏蔽特性。特别是，根据本发明，磁致伸缩扭矩传感器轴2具有磁致伸缩检测部分5和与动力传动轴啮合的啮合部分6，其中，扭矩传感器轴2包括磁致伸缩材料，并具有顺磁层，该顺磁层在包括除磁致伸缩检测部分5之外的至少啮合部分6范围内的表面含有残余奥氏体。还提供了一种制造磁致扭矩传感器轴的方法。

Description

磁致伸缩扭矩传感器轴及其制造方法

技术领域

本发明涉及用于采用逆磁致伸缩效应的磁致伸缩扭矩传感器的扭矩传感器轴，特别是，涉及中点值输出波动减小的磁致伸缩扭矩传感器轴。

背景技术

为适当地控制诸如汽车传动系统、4WD扭矩分配器和电子动力转向(EPS)系统之类的系统，必须检测扭矩。例如，EPS是动力转向系统，其中电子马达响应输入到汽车的转向轮的扭矩等而被控制，以便产生转向操作力，并且为实现这种控制必须检测施加于转向轮的扭矩。常规地，将扭矩传感器，特别是在探测应变上具有极高灵敏度并能探测极小应变的磁致伸缩扭矩传感器用于检测扭矩。日本待审专利申请公开JP H1-169983-A和日本已审专利申请公开JP H8-31636-B公开了磁致伸缩扭矩传感器的一些例子。

然而，对于这种磁致伸缩扭矩传感器，啮合部分不可避免地从装有扭矩检测部分的外壳内侧露出，该啮合部分位于扭矩传感器轴的端部并用于与其它动力传动轴啮合并传输动力。即，扭矩传感器轴上的扭矩检测部分可以在外壳内，该外壳起磁屏蔽作用，但是，这对于啮合部分是难以实现的，啮合部分对外面部分是磁开放的。由于这个原因，还存在扭矩传感器内的磁力线受外面部分影响的问题。特别是，当诸如结构钢(例如碳钢、铬钢、镍铬钢、镍铬鉬钢、锰钢和锰铬钢)的这类铁磁材料用于传感器轴时，扭矩传感器受到外部部分很大的影响，并且，当啮合部分接近铁磁材料或啮合部分与其它动力传动轴啮合时，扭矩传感器内的磁力线分布会发生变化。

通常，调整初始状态的扭矩传感器的中点值以便当扭矩为零时输出为零。但是，如上所述，由于常规的扭矩传感器轴的啮合部分没有被磁屏蔽，当将扭矩传感器轴连接到其它驱动轴时，存在扭矩传感器内的磁力线分布发生变化导致扭矩传感器输出的中点值波动的问题。

发明内容

根据上述情况创造出本发明，其目的是提供一种用于磁致伸缩扭矩传感器的扭矩传感器轴，它能够以低成本提供具有磁屏蔽的扭矩传感器轴而不损失扭矩检测精度或物理强度的额外优点。

本发明提供一种包括扭矩检测部分和用于与动力传动轴啮合的啮合部分的磁致伸缩扭矩传感器轴，其中，该扭矩传感器轴包括磁致伸缩材料，至少在啮合部分的表面还包括至少10％体积含量的残余奥氏体的顺磁层，但磁致伸缩检测部分除外。应当注意，顺磁层中残余奥氏体的体积含量优选为50％。还应注意，顺磁层的厚度优选为至少300μm。另外，扭矩传感器轴优选含有铁磁材料，进一步优选该铁磁材料含有3％-30％重量百分比的镍。

此处，“磁致伸缩检测部分”指的是磁致扭矩传感器轴上磁特性随扭矩变化的位置。例如，如日本专利169326-B中所公开的，通过设置与铁磁材料扭矩传感器轴的表面的轴向方向倾斜成45°的凹槽，由于该形状的影响使扭矩传感器轴具有磁各向异性，并且能够检测这些部分中的磁变化。这些部分就是通常所说的磁致伸缩检测部分。可选地，如日本专利271065-B和2965628-B所批露的，通过将磁致伸缩层加到扭矩传感器轴的表面也可以构成磁致伸缩检测部分。或者，如未审专利申请公开JP 2002-107240-A中所批露的，可以通过对其磁化强度随温度变化而变化的材料进行局部温度处理来构成磁致伸缩检测部分。不过，虽然根据本发明的磁致伸缩检测部分可以包括这些中的任一种，但是并不限于这些例子。

另外，“啮合部分”指的是磁致扭矩传感器轴上用于将其他的动力传动轴连接到该扭矩传感器轴的位置。其他动力传动轴的例子包括转向轴、传动轴和驱动轴等，但并不限于此。另外，通过在扭矩传感器轴上形成锯齿或多边形轮廓形状能够实现啮合部分。可选地，通过孔和轴的压配合或通过在法兰上设置的螺栓连接来构成啮合部分。不过，虽然根据本发明的啮合部分可以包括这些中的任一种，但是并不限于这些例子。

另外，“磁致伸缩材料”是指当受到物理力作用时具有其导磁率变化的性质的金属。可以使用诸如铁铝基合金、铁镍基合金和铁钴基合金的合金，但不限于此。优选地，磁致伸缩材料为铁磁材料。“铁磁材料”是指具有铁磁性的金属，并且可以使用诸如碳钢、铬钢、镍铬钢、镍铬钼钢、锰钢和锰铬钢的金属，但不限于此。另外，“残余奥氏体”是指淬火钢中保持为未转换的奥氏体的部分，并且残余奥氏体的体积百分比含量可以通过用X射线衍射测量残余奥氏体相中的衍射强度或者利用显微镜观测钢的剖面来测量。

根据本发明，磁致伸缩扭矩传感器轴的啮合部分用有含有残余奥氏体的顺磁层覆盖，并且被磁屏蔽，从而抑制外部部分对扭矩传感器内的磁力线的影响。

另外，本发明提供包括磁致伸缩扭矩传感器轴的磁致伸缩扭矩传感器。通过分别结合适当的激励装置、检测装置和屏蔽壳，扭矩传感器轴能实现更加有效的屏蔽。

此外，本发明提供一种制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法。

即，本发明提供一种制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，该磁致伸缩扭矩传感器轴包括磁致伸缩检测部分和用于与另一个动力传动轴啮合的啮合部分，其中，通过对除磁致伸缩检测部分之外的至少啮合部分的表面进行渗碳处理来形成含有残余奥氏体的顺磁层。优选地，渗碳处理中的碳势为至少0.8％重量百分比。另外，优选地，在渗碳处理前对磁致伸缩检测部分进行防渗碳处理，并且在渗碳处理后可将防渗碳处理部分去掉以露出磁致伸缩检测部分表面上的磁致伸缩材料。

这里，“渗碳处理”是指将碳扩散到金属表面的处理，除固体渗碳(活性炭)、气体渗碳和液体渗碳外，也可以用其他方法，包括真空渗碳(一种用真空炉进行渗碳的方法)、等离子渗碳(也称离子渗碳)和滴注法渗碳(其中基于C-H-O的液体有机媒剂被滴入炉子里并且使用热分解碳)，但不限于此。特别是，通常使用气体渗碳并且是优选的。另外，“碳势(CP)”也称作平衡碳的数量，并且是指炉内气氛的渗碳能力。例如，1.2％的碳势定义为碳的浓度允许渗碳达到1.2％的状态。因为炉内氧气、一氧化碳气体和碳势维持在平衡状态，所以可以通过测量氧气的分压来控制炉内的气氛。碳势越高，能够进行越强的渗碳。

另外，“防渗碳处理”是指在渗碳处理前预先在材料上进行的一种处理以便渗碳不会发生在该材料上。除了镀铜处理外，也可使用镀铬和镀镍等，但不限于此。此外，“防渗碳部分”是指通过上述防渗碳处理提供在矩传感器轴的磁致伸缩检测部分表面上的层。

通过利用渗炭处理形成含有残余奥氏体的顺磁层，可以容易地在除磁致伸缩检测部分之外的扭矩传感器的至少啮合部分的表面上形成磁屏蔽，而且，还有，这允许扭矩传感器轴材料一定的自由度。特别是，当通过对除磁致伸缩检测部分之外的扭矩传感器的至少啮合部分进行渗碳处理以形成顺磁层，由于在扭矩传感器轴结构的表面添加新层不是必须的，所以能够制造能承受过量扭矩输入的扭矩传感器。

另外，通过增加碳势，可以促进残余奥氏体的生产，并减少扭矩传感器轴结构中昂贵的镍的使用量。此外，通过在防渗碳处理后进行渗碳处理能够在只需要的位置形成顺磁层。

如下面描述中非常明显的，根据本发明的磁致伸缩扭矩传感器的扭矩传感器轴能以低成本提供具有磁屏蔽的扭矩传感器轴而不损失扭矩检测精度或物理强度的额外优点。

换言之，通过在与动力传动轴啮合的啮合部分的渗碳处理形成具有屏蔽磁效果的奥氏体层可以抑制中点值的波动，以便因此能够消除中点值调节并且提高检测灵敏度。此外，由于可以在需要的位置利用热处理形成具有磁屏蔽效果的奥氏体层，所以可以将结构钢用于传感器轴，其能够提供稳定的检测灵敏度，这是因为磁滞现象和非线性的原因，并且其对于额定扭矩具有极好的过载特性。另外，利用热处理只在必要的位置形成具有磁屏蔽效果的奥氏体层，因此不必使用含有大量昂贵的铬和镍的基于奥氏体的合金，因而可以提供低成本、高性能的扭矩传感器。

附图说明

图1是根据本发明的磁致伸缩扭矩传感器的示意图。

图2是根据本发明的扭矩传感器轴的示意图。

图3是根据本发明的扭矩传感器轴的啮合部分处的示意剖面图。

图4是示出残余奥氏体量和中点值波动之间的关系的曲线图。

图5是示出铁-碳基合金中碳的含量与产生的残余奥氏体之间的关系的曲线图。

图6是示出铁-碳-镍基合金中含镍量和碳的含量与产生的残余奥氏体之间的关系的曲线图。

图7是根据本发明的渗碳处理条件示意图。

具体实施方式

下面是参考附图根据本发明的磁致伸缩扭矩传感器的实施例的描述。下面描述的实施例决不是对本发明的限制。

图1是根据本发明的磁致伸缩扭矩传感器的示意图。图2是根据本发明的扭矩传感器轴的示意图。

如图1和图2所示，根据本发明的磁致伸缩扭矩传感器1的主要组成部分包括扭矩传感器轴2、激励螺线管线圈3和检测螺线管线圈4。该扭矩传感器轴具有其磁特性随应力(应变)变化的磁致伸缩部分5和用于将扭矩传感器轴2连接到其他动力传动轴(图中未示出)的啮合部分6。

通过围绕扭矩传感器轴2的整个圆周以预定间隔相对于扭矩传感器轴2的中心轴线设置以大约45°倾斜的凹槽(图中未示出)能够形成磁致伸缩部分5。应当注意，扭矩传感器轴2优选具有至少一对由相对于扭矩传感器轴2的中心轴线沿相反方向倾斜的凹槽形成的磁致伸缩部分5。

在上述构造中，由具有磁各向异性形状的凹槽提供的磁致伸缩部分5的导磁率随应力变化。应当注意，相对于中心轴线倾斜45°的角是沿扭矩传感器轴的表面拉伸方向上相对于扭力载荷的应力和沿压缩方向上的应力都是最大的方向，并且，通过沿该方向形成凹槽能够实现沿扭矩传感器轴表面拉伸方向的应力和沿压缩方向的应力的最有效的检测。

还应注意，优选形成高导磁率部分并通过在凹槽部分进行感应淬火或喷丸硬化将磁化特性调节到必须的程度。

将作为激励装置的激励螺线管线圈3设置在以便覆盖并施加交变磁场于磁致伸缩部分5的位置。检测装置包括检测螺线管线圈4和电子线路(图中未示出)，检测螺线管线圈4也设置在以便覆盖磁致伸缩部分5的位置。

激励螺线管线圈3产生沿磁致伸缩部分5的磁力线。如上所述，当应力施加于扭矩传感器轴2时，磁致伸缩部分5的导磁率变化，这个磁变化能被检测螺线管线圈4检测到。

应当注意，其为扭矩传感器轴2的磁各向异性部分的磁致伸缩部分5，与激励螺线管线圈3和检测螺线管线圈4等一起容纳在铝制的传感器外壳7内，该外壳能够屏蔽来自外部部分的磁化作用。

图3是沿图2中线A的扭矩传感器轴的示意剖面图。如图3所示，顺磁层8设在啮合部分6，其起屏蔽磁力线的作用并包含残余奥氏体。顺磁层能通过对扭矩传感器轴2进行渗炭处理，或者对除磁致伸缩检测部分之外的至少啮合部分6进行渗炭处理，以形成从表面到内部包含残余奥氏体的层来实现。由于具有面心的立方晶格的奥氏体是顺磁性的，所以能利用这种残余奥氏体来实现磁屏蔽。

通过将铁磁性的结构钢用于扭矩传感器轴2，可以实现使用价格低、加工性好的结构钢的额外的优点。而且，通将结构钢用于扭矩传感器轴2本身，可以实现扭矩传感器轴2较高的物理强度。

在其上设有顺磁层8的区域包括扭矩传感器轴2的至少啮合部分6，并且优选包括不在传感器外壳7内的部分。但是，当扭矩传感器轴2本身由铁磁材料制造时，其为磁各向异性部分的磁致伸缩部分5不应进行渗碳处理，原因是奥氏体的磁致伸缩性能还不足够。因此，在渗碳处理的时候，优选对磁致伸缩部分5进行防渗碳处理和在渗碳处理后进行诸如凹槽加工之类的必要的处理。通过用铜等进行电镀处理能够实现防渗碳处理。应当注意，铜镀层能通过机械处理或用酸除去。

图4是示出残余奥氏体的量与中心值波动之间关系的曲线图。如图4所示，当残余奥氏体的量超过10％的体积百分比时，磁化屏蔽效果开始变得明显。特别地，当残余奥氏体的量超过50％的体积百分比时，中心值波动的量显著下降。

从这点显然可以看出，在利用残余奥氏体提供顺磁层的情况下，残余奥氏体的量优选大于10％的体积百分比，或更优选为至少50％的体积百分比。在上面提到的渗炭处理中，优选地将诸如碳势的各种条件设定为使得残余奥氏体的量大于10％的体积百分比，或更优选为至少50％的体积百分。

图5是示出当铁-碳基合金在水中淬火时碳的含量与产生的残余奥氏体的量之间关系的曲线图。残余奥氏体的量相对于碳含量的增加成二次函数增加。

另外，图6是示出当铁-碳-镍基合金在油中淬火时钢中镍的含量和碳的含量与产生的残余奥氏体的量之间关系的曲线图。由于镍是一种显著降低Ms(马氏体转变的起始温度)点和Mf(马氏体转变的结束温度)点的元素，所以能通过在渗碳处理时同时存在镍和碳来显著地增加残余奥氏体的形成。如图6所示，当碳和镍同时存在时，由于这两种元素的相互作用，随着碳含量的增加或镍含量的增加，产生的残余奥氏体的量显著增加。特别是，即使镍含量很小通过增加碳含量也可以获得足量的残余奥氏体。

如上所述，残余奥氏体的量优选为至少10％的体积百分比，但在用作扭矩传感器轴结构的铁磁材料中通过选择适当的碳含量和镍含量，可以使残余奥氏体的量超过10％的体积百分比，并有效地抑制中心值波动。特别是，优选地碳势由于渗碳至少为0.8％的重量百分比，同时在用作扭矩传感器轴结构的铁磁材料中镍的含量至少为3％的重量百分比。但是，因为当镍的含量超过30％的重量百分比时钢材料本身变成奥氏体钢，并且不能获得磁致伸缩性质，所以镍含量的上限为30％的重量百分比。

如上所述，当使用含有3％-30％重量百分比的镍的铁磁材料时，可以促进残余奥氏体的产生并有效地抑制中心值波动。例如，诸如JIS的SNCM815或高镍合金钢等的含镍钢能用作铁磁材料，但不限于此。如上所述，当将镍加入到钢时，在渗碳处理时产生的残余奥氏体的量相对于镍的量增加。此外，通过在渗碳处理中增加碳势能够增加残余奥氏体的量。另外，淬火温度越高，在Ms(马氏体转变的起始温度)点附近的冷却速率越低，残余奥氏体的量越大。

应当注意，通过下面的过程能够实现渗碳处理，例如图7中示意地示出的过程，但不限于此。

1.将扭矩传感器轴2插入炉内，并经过1到2小时的时间将温度升高到920℃到950℃的范围，并维持该温度30到60分钟以进行均热处理。

2.将渗碳气体引入渗碳炉以便炉内碳势变成1％到2％重量百分比。

3.通过保持温度稳定3到6小时进行渗碳和扩散，并且从轴的表面到500μm的深处使碳的量为至少0.8％重量百分比。利用传感器进行测量并利用混合气体进行控制，以便将这时的碳势保持在1.0％到1.2％的重量百分比的范围内。

4.将温度降到840℃到860℃的范围，此后保持该温度10到30分钟，然后将扭矩传感器轴投入温度为120℃到150℃的油中进行淬火。

5.通过将温度保持在150℃到200℃的范围内2到4小时进行回火。

这里使用的渗碳气体优选为碳氢化合物气体，诸如与CO₂、CO、H₂、H₂O、NH₃、N₂、Ar等混合的甲醇、丙烷、碳酸(H₂CO₃)、甲烷(CH₄)、丁烷(C₄H₁₀)。

应当注意，顺磁层9的厚度优选为至少300μm，更优选为至少500μm。通常，高激励频率(约40Hz)的磁力线用在磁致伸缩螺线管线圈中。已知这种高激励频率的磁力线仅穿透传感器轴的表面层(大约300μm)。因此，通过利用渗碳处理提供至少300μm的顺磁层9，可以形成足够的磁化屏蔽层。

工作实例

下面是根据本发明的工作实例的描述。

利用车床，用JIS(日本工业标准)的SNCM815合金钢(组分列于表1中)的圆棒钢制成预定尺寸的棒形结构，该合金钢的镍含量在4.00％到4.50％重量百分比的范围内。

表1：SNCM815的组分(重量百分比)

C	Si	Mn	Ni	Cr	Mo	P	S	Cu
C	Si	Mn	Ni	Cr	Mo	P	S	Cu	0.14	0.26	0.41	4.07	0.77	0.15	0.09	0.007	0.08

在形成磁各向异性部分的位置使用镀铜进行防渗碳。在两端进行滚压以形成将成为啮合部分的部分结构的锯齿后，随后进行渗碳淬火。

首先，将扭矩传感器轴插入炉内，然后将温度升高到930℃并保持该温度30分钟以进行均热处理。其次，将混合有甲烷、丙烷和碳气体的气体引入渗碳炉以便炉内的碳势变成1.2％重量百分比。通过将温度保持在930℃达4小时之久进行渗碳和扩散。混合气体由碳传感器测量并被控制以便这时的碳势保持在1.2％重量百分比不变。其次，将温度降到850℃，此后保持该温度15分钟，然后通过将扭矩传感器轴投入温度为130℃的油中进行淬火。最后，通过将180℃的温度保持2小时进行回火。

利用渗碳处理，形成至少50％特定体积的残余奥氏体，并且从表面起厚度为500μm。

然后，在利用机械方法除去防渗碳部分上的铜镀层之后，利用滚压工艺在中心部分的表面形成相对于中心轴线倾斜成45°的凹槽(磁各向异性部分)。对磁各向异性部分进行高频硬化后进行喷丸硬化以提高磁滞和非线性。喷丸硬化的条件包括弧高度值为0.25mmA和尺寸为0.25mm的颗粒。

通过将该扭矩传感器轴装配到包含有螺线管线圈和电子线路的铝制外壳来构成扭矩传感器。这种传感器的规格为10N·m的额定值，并且在额定扭矩下输出电压为1V(0.1V/N·m)。如表2所示，关于扭矩传感器的基本特性(输出灵敏度、磁滞和非线性)，具有顺磁层的扭矩传感器轴与没有顺磁层的扭矩传感器轴类型相比保持不次于它的特性。

表2顺磁材料的存在/不存在与扭矩传感器特性之间的关系

	输出灵敏度(mv/kgf·cm)	磁滞(％FS)		非线性(％FS)		由于接近铁磁材料引起的中心值电压波动
		磁滞(％FS)		非线性(％FS)			CW	CCW	CW	CCW
		常规型	11.4	-0.6665	-0.6862		CW	CCW	CW	CCW	0.3223	-0.6194	20mv
使用残余奥氏体磁化屏蔽	11.4	常规型	11.4	-0.6665	-0.6862	0.5132	0.4993	0.4936	-0.53	6mv	0.3223	-0.6194	20mv

另外，由于顺磁层是利用残余奥氏体形成在从铝制外壳露出的扭矩传感器轴的表面上，当扭矩传感器轴与铁磁材料结构合金钢制成的轴啮合时，中心值波动能从20mv降低到6mv。因此，在传感器啮合时，能消除中心值调节，同时优化来自具有高灵敏度扭矩检测的马达的协助量，因而改进操作的感觉。另外，即使当施加15倍额定扭矩的150Nm超量扭矩时，传感器的性能也没有明显下降。

权利要求书

(按照条约第19条的修改)

1.一种磁致伸缩扭矩传感器轴，包括磁致伸缩检测部分和与动力传动轴啮合的啮合部分，其中，所述扭矩传感器轴包括磁致伸缩材料并且在除磁致伸缩检测部分之外的至少啮合部分的表面包括具有至少50％体积百分比的残余奥氏体的顺磁层。

2.如权利要求1所述的磁致伸缩扭矩传感器轴，其中，顺磁层的厚度至少为300μm。

3.如权利要求1或2所述的磁致伸缩扭矩传感器轴包括铁磁材料。

4.如权利要求3所述的磁致伸缩扭矩传感器轴，其中，所述铁磁材料含有3％到30％重量百分比的镍。

5.一种磁致伸缩扭矩传感器，包括如权利要求1到4中任一项所述的磁致伸缩扭矩传感器轴。

6.一种制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，所述磁致伸缩扭矩传感器轴包括磁致伸缩检测部分和用于与动力传动轴啮合的啮合部分，并含有3％到30％重量百分比的镍，该方法包括对除磁致伸缩检测部分之外的至少啮合部分的表面进行渗碳处理的步骤，以便形成含有残余奥氏体的顺磁层。

7.如权利要求6所述的制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，其中，在渗碳处理步骤中的碳势为至少0.8％重量百分比。

8.如权利要求6或7所述的制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，包括：在所述渗碳处理步骤前，对所述磁致伸缩检测部分进行防渗碳处理步骤；在所述渗碳处理步骤后，除去防渗碳处理的部分的步骤，以露出所述磁致伸缩检测部分表面上的磁致伸缩材料。

Claims

1.一种磁致伸缩扭矩传感器轴，包括磁致伸缩检测部分和与动力传动轴啮合的啮合部分，其中，所述扭矩传感器轴包括磁致伸缩材料并在除磁致伸缩检测部分之外的至少啮合部分的表面处包括具有超过10％体积百分比的残余奥氏体的顺磁层。

2.如权利要求1所述的磁致伸缩扭矩传感器轴，其中，顺磁层中残余奥氏体的含量为至少50％体积百分比。

3.如权利要求1或2所述的磁致伸缩扭矩传感器轴，其中，顺磁层的厚度为至少300μm。

4.如权利要求1到3中任一项所述的磁致伸缩扭矩传感器轴，包括铁磁材料。

5.如权利要求4所述的磁致伸缩扭矩传感器轴，其中，所述铁磁材料含有3％到30％重量百分比的镍。

6.一种磁致伸缩扭矩传感器，包括如权利要求1到5中任一项所述的磁致伸缩扭矩传感器轴。

7.一种制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，所述磁致伸缩扭矩传感器轴包括磁致伸缩检测部分和用于与动力传动轴啮合的啮合部分，该方法包括对除磁致伸缩检测部分之外的至少啮合部分的表面进行渗碳处理的步骤，以便形成含有残余奥氏体的顺磁层。

8.如权利要求7所述的制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，其中，在渗碳处理步骤中的碳势为至少0.8％重量百分比。

9.如权利要求7或8所述的制造磁致伸缩扭矩传感器轴的方法，包括：在所述渗碳处理步骤前，对所述磁致伸缩检测部分进行防渗碳处理步骤；在所述渗碳处理步骤后，除去防渗碳处理部分的步骤，以露出所述磁致伸缩检测部分表面上的磁致伸缩材料。