CN1582392A - 保持装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供保持装置，其设有：放置玻璃基板(1)的保持本体(4)；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10)；在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10)。

Description

保持装置

技术领域

本发明涉及保持装置，用于对例如液晶显示器等平板显示器(FPD)的玻璃基板等样品进行保持。

背景技术

液晶显示器的玻璃基板是照射宏观照明光来进行宏观检验的。这种宏观检验是将观测用的宏观照明光照射到玻璃基板面上，检测从玻璃基板面上反射的反射光的变化，用肉眼检验玻璃基板面上的损伤、缺口、污点、灰尘的附着等缺陷部分。

在液晶显示器的玻璃基板面上，有规则地形成譬如线状或长方形状的细长图形。例如在玻璃基板上形成加强肋作为构成长方形状TFT(thin film transistor：薄膜晶体管)的图形。

本申请人将宏观照明光照射到确实形成按规则排列成格子状的TFT图形的玻璃基板上，改变宏观照明光相对于该玻璃基板的入射角度，并观察这时的玻璃基板上的缺陷的能见度。

由上述观察的结果发现，当本申请人使宏观照明光的入射角度变化时，缺陷的能见度也变化。譬如，使玻璃基板的配置方向相对于宏观照明光的入射方向回转90度的角度时，玻璃基板上的图形方向就改变。这样，由于从玻璃基板反射的反射光方向发生变化，而且入射到缺陷上的宏观照明光的方向也发生变化，因而从图形上的缺陷反射的反射条件、即反射方向也发生改变。

例如，在玻璃基板上形成纵横比不同的长方形图形。随后，当使玻璃基板回转，并使宏观照明光的照射方向变成与长方形图形的长边方向相垂直的方向时，宏观照明光与加强肋的长边方向相垂直、且与短边方向相平行地照射。与此相对，在宏观照明光的照射方向变成与长方形图形的短边方向相垂直的方向时，宏观照明光是加强肋的短边方向相垂直、且与长边方向相平行地照射。

当宏观照明光相对于长方形图形的照射方向如上所述地发生90度变化时，由于宏观照明光的反射条件改变了，因而也改变了从玻璃基板产生散射光或衍射光的发生条件。本申请人从观察的结果完全证实了这点，即当宏观照明光的照射方向相对于格子状图形发生改变时，曾经看不到的缺陷就能被看到。

另一方面，设有宏观照射的基板检验装置，是通过将宏观照明光照射到玻璃基板面上，并对其反射光的变化进行检测来检验玻璃基板的。但使玻璃基板回转90度的回转装置由于下述的理由，不能组装在检验装置本体内。

玻璃基板被固定地设置在保持上。为了在玻璃基板被固定在保持上的状态下使保持回转，需要使尺寸比玻璃基板的尺寸大一圈的保持与将玻璃基板固定在保持上的固定部成一体地回转。

由于保持是形成譬如四边形的，因而保持的回转直径就是保持的对角线方向的长度。因此就使保持回转时的回旋直径增大，与此成比例地使检验装置本体的尺寸也增大。

作为从保持下部将玻璃基板托起之后使其回转的机构的设置方式，曾经考虑过将玻璃基板传送装置并排地设置在基板检测装置上，由该玻璃基板传送装置使玻璃基板回转例如90度的方式。这种方式是用玻璃基板传送装置的机械手，一将基板检验装置内的检验中的玻璃基板取出，就在基板检验装置外使玻璃基板回转例如90度，然后再将玻璃基板送回到基板检验装置内。因此，需要花费使玻璃基板回转例如90度的时间，就会损失较大的生产间隔时间。

发明内容

本发明的目的是提供保持装置，能将用于使玻璃基板回转的空间抑制到最小限度，在检验装置本体内就能使玻璃基板回转，能将检验装置本体的尺寸扩大量抑制到最小限度。

为了达到上述目的而作出的本发明的保持装置，其设有：放置样品的保持本体；设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方，将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构；在由升降机构将样品从保持本体托起的状态下，使样品回转的回转机构。

附图说明

图1是表示本发明第1实施方式的保持装置的正视结构图。

图2是表示上述装置的俯视图。

图3是表示上述装置的侧视图。

图4是表示上述装置的托起销机构的外观图。

图5是表示TFT液晶显示器的概略结构图。

图6是表示4个倒角的玻璃基板的示意图。

图7是表示6个倒角的玻璃基板的示意图。

图8是表示本发明第2实施方式的保持装置的分解结构图。

图9是表示收容在上述装置的保持本体内的回转支持构件的示意图。

图10是表示上述装置的回转支持构件的回转示意图。

图11是表示上述装置的回转支持构件的变形例的示意图。

具体实施方式

下面，参照着附图来说明本发明的第1实施方式。

图1～图3是保持装置的结构图，图1是正视图、图2是俯视图、图3是侧视图。该保持装置设置在基板检验装置上，该基板检验装置用于对一种例如FPD的液晶显示器的玻璃基板1进行宏观检验和微观检验。玻璃基板1具有大型显示器的尺寸，譬如1250×1100mm。

在检验装置本体2内设有底座3。在底座3上设置着保持本体4。在保持本体4上设置着用于放置玻璃基板1的保持框架部，该保持框架部由图2所示的配置成同心圆状的多个环状支持架5和连接这些环状支持架5的多个直线支持架6构成。多个环状支持架5分别呈同心圆状地设置着。多个直线支持架6分别从同心圆中心点开始，沿着半径方向呈放射状地设置着。这些直线支持架6与多个环状支持架5设置在同一平面上，将多个环状支持架5之间连接起来。

由这些环状支持架5和直线支持架6形成多个圆弧状引导用开口部8-1～8-4和多个开口部9。其中，各个引导用开口部8-1、8-2形成在最外周位置上，从正面侧F看，上述引导用开口部8-1、8-2相对于同心圆的中心点成左右对称配置，而且形成在从同心圆中心点看到的扩展角比90度大一些的刻度上。

各个引导用开口部8-3、8-4形成在各个引导用开口部8-1、8-2的内周侧，从正面侧F看，上述引导用开口部8-3、8-4相对于同心圆中心点成前后对称地配置，而且是形成在从同心圆中心点看到的扩展角比90度大一些的刻度上。

在保持本体4的下方，设置着如图1所示的升降·回转机构10。该升降·回转机构10通过保持本体4上所形成的各个引导用开口部8-1～8-4，将玻璃基板1托起到保持本体4的上方，并使玻璃基板1回转大致譬如90度，然后使玻璃基板1下降而放置在保持本体4上。

具体地说、升降·回转机构10由托起销机构13和使该托起销机构13升降回转的致动器部7构成。

如图4的外观图所示，托起销机构13具有：相互垂直的2根托起销支持杆15、16；分别直立地设置在与各个引导用开口部8-1～8-4相对应位置上的各个托起销17～20；直立地设置在各个托起销支持杆15、16的交叉部上的托起销21。

这些托起销17～20可以如图4所示地、与玻璃基板1的尺寸大小相对应的各个位置上，譬如可设置在与尺寸较小的玻璃基板1相对应的各个位置上。这些托起销17～20作成能装上或卸下的、还能根据玻璃基板1的尺寸大小而改变安装位置。另外，这些托起销17～20还能与玻璃基板1的各个尺寸大小完全预先设置。

托起销支持杆15作成与各个形成在最外周位置上的引导用开口部8-1、8-2的间隔大致相同的长度，而且，托起销支持杆16则作成与在各个引导用开口部8-1、8-2内侧形成的各个引导用开口部8-3、8-4的间隔大致相同的长度。

由此，各个托起销17、18设置在分别与最外周位置上形成的各个引导用开口部8-1、8-2相对应的位置上。而各个托起销19、20设置在分别与各个引导用开口部8-3、8-4相对应的位置上。而且托起销21设置在与最内周的托起支持架5内相对应的位置上。

因此，当致动器部7接受升降驱动器部11的控制而使杆14向上方移动时，将托起销机构13托起，使各个托起销17、18通过保持本体4的各个引导用开口部8-1、8-2、以规定的高度凸出在保持本体4的表面侧。与此同时，使各个托起销19、20通过保持本体4的各个引导用开口部8-3、8-4、以规定的高度凸出在保持本体4的表面侧。而且使托起销21通过最内周的托起支持架5内、以规定的高度凸出在保持本体4的表面侧。

当致动器部7进一步接受回转驱动器部12的控制而使杆14回转90度时，使各个托起销17、18沿着各个引导用开口部8-1、8-2的内部进行圆弧状移动，而且使各个托起销19、20也沿着各个引导用开口部8-3、8-4的内部进行圆弧状移动。托起销21在最内周的托起支持架5内进行回转。

如图3所示，在底座3的下方设置着使保持本体4摇动的摇动机构22。即，从正面侧F看，分别在底座3前侧的两端部设置着铰链(hinge)23，这些铰链23设置成能相对于各个铰链支持构件24进行自由回转。这些铰链支持构件24被固定在底座3上。这些铰链23的转动轴与正面侧F的底座前端面相平行(X方向)地设置，以便保持本体4能向正面侧F进行摇动。在这些铰链23的自由端部上设置着楔形槽状引导承受件，这些楔形槽状引导承受件与相互平行地设置在保持本体4背面的2根直线引导件25相嵌合、而使保持本体4沿着前后方向进行滑动。

在将保持本体4托起并向前方推出时，这些直线引导件25在铰链23的引导承受件上滑动。由此，使保持本体4向箭头ィ方向摇动，同时往正面侧F的上方推，将铰链23作为回转轴而进行转动。

在底座3的下侧，设置着用于使保持本体4向箭头ィ方向摇动的连杆26和千斤顶27。其中，连杆26作成固定的长度，设置在从底座3向下方伸长的支持构件28和设置在保持本体4下部的支持构件29之间。这个连杆26分别用2个支点28a、29a能转动地支持在各个支持构件28、29上。

千斤顶27具有伸缩杆30，伸缩杆30的前端能相对于连杆26转动地与支点32相连接，而且该伸缩杆的下端相对于在直线轨道31上能自由移动的可变部33、能转动地与支点34相连接。可变部33能在Y方向上所设置的直线轨道31上移动。当可变部33向正面侧F移动时，则使千斤顶27的伸缩杆30在仍然保持原有长度的状态下，以各个支点32、34为中心而进行转动的同时，按压连杆26。其结果，使连杆26以支点28a为中心而进行转动。

当连杆26转动时，支点29a以连杆26的长度为半径，在以支点28a为中心的圆弧上移动。因此，在连杆26以支点28a为中心而进行转动时，保持本体4以铰链23为摇动中心朝箭头ィ方向起来。

这时，不使连杆26两端部的各个支点28a、29a之间的间隔发生变化，而且，连杆26的支点28a和铰链23之间的间隔也不变化。当考虑到各个支点28a、29a和铰链23等3点构成的三角形时，则支点29a和铰链23之间的间隔就随着连杆26以支点28a为中心的回转而渐渐地缩短。

当支点29a和铰链23之间的间隔渐渐地缩短，安装在保持本体4背面上的各个直线引导件25在铰链23的引导承受件上向正面侧F滑动时，由此将构成保持本体4下端侧的边缘比底座3上表面的边缘部分更往正面侧F推出。而且，能借助使杆30的伸缩量的变化，改变摇动角度和摇动速度，能进行适于观察的调整。

在底座3上的两端侧，如图1所示地将保持本体4夹在中间、并相互平行地设置着Y方向的各个移动机构40、41。在这些移动机构40、41之间，跨越在保持本体4上方地设置门柱臂42。该门柱臂42被设置成能在各个移动机构40、41上沿着Y方向移动。在该门柱臂42上，能沿着X方向移动地设置着显微镜组件43。

在保持本体4的上方设置着图中没有表示的宏观照明装置，而且在保持本体4的下方如图2所示地设置着线型透射照明装置44。该线型透射照明装置44用光导纤维射出与X方向平行的线型照明光。该线型透射照明装置44在相互平行地沿着Y方向设置的2根照明系引导件45、46上，与门柱臂42向Y方向的移动同步地向Y方向移动。

另外，在保持本体4上还设置着3个位置传感器47～49。这些位置传感器47～49分别检验玻璃基板1的边缘位置，输出该边缘位置信号。

另外，在检验装置本体2的正面侧F还设置着操作部50，用于进行各种操作指示，以对玻璃基板1进行宏观检验和微观检验。

主控制部51对整个基板检验装置的动作进行控制。该主控制部51对升降驱动器部11、回转驱动器部12和摇动机构22分别送出动作控制信号，对显微镜组件43和线型透射照明装置44送出移动控制信号。

下面，对如上所述地构成的装置的动作进行说明。

将譬如1250×1100mm的大型尺寸的玻璃基板1，放置在处于水平状态的保持本体4上。千斤顶27使伸缩杆30伸长，使可变部33在直线轨道31上向正面侧移动，从而使保持本体4摇动。

这时的保持本体4起来的角度可根据伸缩杆30的伸缩尺寸大小和千斤顶27在直线轨道31上的移动距离而设定。而且，当使伸缩杆30连续地进行伸缩，而且使千斤顶27在直线轨道31上往复移动时，能使保持本体4向箭头ィ方向连续地摇动。

观察者是在如上所述地将保持本体4设定成任意起来的角度，或者使它连续地摇动时，观察从玻璃基板1射出的光的变化而进行宏观检验。由该观察结果能检验玻璃基板1表面上的譬如损伤、缺口、污点、灰尘附着等缺陷部分。

接着，在需要确实地检验玻璃基板1表面上的损伤、缺口、污点、灰尘附着等各种缺陷部分时，将玻璃基板1的配置方向回转例如90度之后进行检验。这时，将千斤顶27的伸缩杆30的伸出回复到原来的状态，而且将处在直线轨道31上的千斤顶27的另一端位置回复到原来的位置。由此将保持本体4回复到水平状态。

在将保持本体4变成水平状态时，致动器部7由升降驱动器部11控制而将托起销机构13托起到上方。当将托起销机构13托起时，各个托起销17、18从保持本体4背面侧插入到各个引导用开口部8-1、8-2中，通过这些引导用开口部8-1、8-2而凸出在保持本体4的背面侧上。而且，使各个托起销19、20从保持本体4的背面侧插入到各个引导用开口部8-3、8-4中，通过这些引导用开口部8-3、8-4而凸出在保持本体4的背面侧上。还使托起销21通过最内周的连杆支持架5内，并凸出在保持本体4的背面侧上。

由此，使各个托起销17～21分别与保持本体4上的玻璃基板1的背面相接触，借助进一步的托起，将玻璃基板1托起到保持本体4上方的规定高度上。

接着，致动器部7由回转驱动器部12的控制譬如借助向右回转或向左回转，而使托起销机构13回转例如90度。由此使玻璃基板1在保持本体4上方的配置方向回转90度。

接着，在致动器部7由升降驱动器部11控制而使杆14下降时，被保持在各个托起销17～21上的玻璃基板1再次被放置在保持本体4上。这时玻璃基板1虽然回转了90度，但由于它的形状是大致形成正方形，因而仍然能放置在保持本体4上。即使玻璃基板1被稍稍形成长方形，在回转90度之后还是能被再次放置在保持本体4上。

此后，致动器部7将杆14下降到原来的位置上之后停止运转。

接着，如上所述地，在使保持本体4摇动的同时，将宏观照明光照射到回转了90度的玻璃基板1的表面上。观察者观察从玻璃基板1反射的反射光的变化，宏观检验玻璃基板1表面上的譬如损伤、缺口、污点、灰尘附着等缺陷部分。

其结果，由于使玻璃基板1回转90度，因而由宏观照明光的入射方向和图形方向性的相对关系或与损伤缺口、裂缝等线形缺陷的方向性的相对关系，而把从不同的玻璃基板1反射的反射条件改变了。观察者能按所有这些反射条件确实地检验玻璃基板1表面上的损伤、缺口、灰尘、裂缝等各种缺陷部。

在这状态下，由各个移动机构40、41使门柱臂42沿着Y方向移动，而且使显微镜组件43相对于门柱臂42而沿着X方向移动，由此使显微镜组件43的物镜的光轴处于用宏观检验进行检验的玻璃基板1上的缺陷部分的上方。

这时，使线型透射照明装置44与门柱臂42的Y方向移动同步地沿着Y方向移动，沿着显微镜组件43的物镜在X方向移动的线上、将玻璃基板1透射照明。由此，显微镜组件43用物镜将玻璃基板1上的缺陷部分放大。由该物镜放大的像用摄像装置摄入而显示在譬如监控器装置上。而通过观察监控器装置上所显示的缺陷部分放大的像就能进行微观检验。

这样，在上述第1实施方式中，在保持本体4上至少形成多个圆弧状的引导用开口部8-1～8-4和中心的开口部9，使托起销机构13的各个托起销17～21分别通过引导用开口部8-1～8-4和中心的开口部9而上升，以一定高度将玻璃基板1托起到保持本体4的上方，在该状态下，使托起销机构13回转任意角度、譬如90度，此后使托起销机构13下降而将玻璃基板1放置在保持本体4上。

因此，由于不必使保持本体4自身回转，只要在玻璃基板1从保持本体4的上侧浮出的状态下使其回转，因而玻璃基板1的回转空间能比以前的使保持本体4自身回转时的小。玻璃基板1的回转空间就与保持本体4的设置空间大致相同。

其结果是玻璃基板1的回转不会占用多余的空间，能将玻璃基板1的回转空间抑制到最小限度，能使检验装置本体的尺寸大小缩小。由此，能使玻璃基板1在检验装置本体内回转任意的角度、譬如回转90度。而且，与保持本体4相比较能非常轻地使玻璃基板1进行回转，能使用小型的致动器，而且能使回转机构简单化。

这样，由于能使玻璃基板1回转任意角度、譬如回转90度，因而根据宏观照明光的入射方向和图形方向性的相对关系或与损伤缺口、裂缝等线形缺陷的方向性的相对关系，从不同的玻璃基板1反射的反射条件发生了改变，能确实地检验玻璃基板1表面上的损伤、缺口、灰尘、裂缝等各种缺陷部。

例如，图5是表示TFT液晶显示器的概略结构图。在玻璃基板1上按规则正确地排列着多个格子状的显示电极60(像素)，该显示电极60的形状是纵向尺寸比横向尺寸长的长方形。因此，当宏观照明光的相对于这些显示电极60的照射方向改变譬如90度时，散射光或衍射光的发生条件就发生变化。其结果就能确实地检验玻璃基板1表面上的缺陷部分。

另外，形成在玻璃基板1上的多个显示电极60的方向，因玻璃基板1的倒角方法而不同。譬如图6表示6个倒角的玻璃基板1，图7表示4个倒角的玻璃基板1。在这些玻璃基板1上，各个显示电极60的方向相差90度。

因此，在对这些倒角的各个玻璃基板1进行宏观检验时，如果不使任意一方的玻璃基板1的方向回转90度，则相对于显示电极60的排列方向有90度差异的多种玻璃基板1都是同样的反射条件，也就不能进行宏观检验。因此，如果采用本发明的保持装置，则由于能使玻璃基板回转90度，因而相对于譬如显示电极60的排列方向不同的各种玻璃基板1的宏观检验是有效的。

另外，在对TFT液晶显示器的玻璃基板1进行宏观检验时，由于不仅使玻璃基板1回转90度，而且可使玻璃基板1回转所有的角度，因而就能容易地检验玻璃基板1上的缺陷部分。由于本发明装置能使玻璃基板1回转成任意角度，因而在玻璃基板1的宏观检验中是有效的。

如果本发明装置与另一种玻璃基板的检验方式相比较，即、与设有玻璃基板传送装置，并用该玻璃基板传送装置的机械手暂时将玻璃基板1从基板检验装置的保持本体4取出，并在基板检验装置外使玻璃基板回转譬如90度而再放回到基板检验装置内的方式相比较，则本发明装置还能将玻璃基板1的检验的生产间隔时间缩短。

由于在将玻璃基板1托起并使其回转时，各个玻璃基板1由各个托起销17～21支持，因而是用点接触支持玻璃基板1，不会对玻璃基板1的背面产生影响。

由于玻璃基板1的支持是由5根托起销17～21进行的，它们是分别通过在最外周位置上形成的各个引导用开口部8-1、8-2、通过在它的内周侧形成的各个开口部8-3、8-4和最内周的环状支持架5，因而玻璃基板1由各个角部和中央部等5点支持，能稳定地进行回转。

由于在配置成同心圆状的环状支持架5和将这些支持架5连接的直线支持架6之间形成多个引导用开口部8-1～8-4以及开口部9，因而能使在保持本体4的下方设置的透射照明装置射出的透射照明光的光量稍微减少就照射到玻璃基板1上。

此外，由于用显微镜组件43进行微观检验时，托起销机构13处在保持本体4的下方进行待机的状态，因而在用显微镜组件43进行微观检验时，对线形透射照明装置44的移动不会产生影响。

另外，由于将玻璃基板1放置在保持本体4上时，能将玻璃基板1的位置对准基准位置。即、保持本体4上的3个位置传感器47～49能分别检验玻璃基板1的边缘位置，输出该边缘位置信号。

主控制部51接受从3个位置传感器47～49输出的各个边缘位置信号，根据这些边缘位置信号而求出玻璃基板1的倾角偏差量，将消除该倾角偏差量的动作控制信号送出到回转驱动器部12。由此，回转驱动器部12使托起销机构13进行微小的回转，就能够对玻璃基板1的倾角进行修正。

上述等1实施方式也可以作成如下所述的变形例。即、可将托起销机构13的托起销17～21作成至少是3个的结构；回转角度也不限于0～90度，譬如可以连续或分阶段地回转成0～120度之间的任意一个角度。

下面，参照着附图来说明本发明的第2实施方式。与图1～图3相同的部分都标上相同的符号，并省略对它们的详细说明。该实施方式中，保持装置的结构是不同的。图8是保持装置的分解结构图。保持本体4是形成四边形框架状，该四边形具有比玻璃基板1的尺寸还大的开口部4a。

该保持本体4的开口部4a上设置着用于支持玻璃基板1的多个支持片60、61。其中，各个支持片60是分别每隔一定间隔地设置在开口部4a内的相互面对着的各个内壁之间，譬如设置在与X方向面对着的各个内壁之间的侧壁上。在开口部4a内的X方向上的中央部没有设置这些支持片60。各个支持片61是每隔一定间隔地设置在开口部4a内的X方向的中央部上。在这些支持片60、61的上表面设置着多个基板支持销。

在支持片60、61上各自分别形成多个收容槽63、64(切口)，分别用于将下述的回转支持构件62收容在保持本体4内。各个收容槽63在各个支持片60上沿着X方向设置。各个收容槽64在各个支持片61上沿着Y方向设置。因此，这些收容槽63、64设置在相互垂直的X方向和Y方向上。

在保持本体4的开口部4a内的中央部形成开口部67，以便升降回转机构10的卡盘部66通过。该开口部67可以是圆形或四边形，形成能使卡盘部66通过的尺寸。

在保持本体4的上表面的开口周边部上，形成图中没有表示的多个吸附孔，用于吸附保持玻璃基板1的周边部。这些吸附孔与吸引机构相连通。

回转支持构件62沿着上述收容槽63、64的切口方向从上方被收容在各个收容槽63、64内，而且能从这些收容槽63、64中取出。即、回转支持构件62能与保持本体4分离地被收容。

该回转支持构件62形成以相互垂直的2个方向为轴的轴对称形状，即、被作成十字形状。上述相互垂直的2个轴通过回转中心c。因此，回转支持构件62形成即使以回转中心c为中心进行90度的回转，也还是同样的形状。

具体地说，回转支持构件62将2个支持构件片68、69相互垂直地设置。这些支持片构件68、69的最大高度尺寸被做成比各个收容槽63、64的深度尺寸还小。

在2个支持构件片68、69的各自前端部，分别设置着前端支持片70、71和72、73。各个前端支持片70、71分别设置成与支持构件片68的轴向构成直角。各个前端支持片72、73分别设置成与支持构件片69的轴向构成直角。设置这些前端支持片70、71和72、73是为了使玻璃基板1能不振动或不摇晃而能稳定地保持。在各个支持构件片68、69和前端支持片70～73的上表面设置着多个图中没有表示的基板支持销和吸附孔。

升降回转机构10由卡盘部66、使该卡盘部6升降回转的致动器部7构成。致动器部7借助杆14与卡盘部66相连接。升降回转机构10使杆14沿着上下方向(Z方向)升降并使其回转。

通常，致动器部7使杆14朝下方下降，使卡盘部66退到保持本体4的下方而处于待机状态。在致动器部7使玻璃基板1的配置方向回转譬如90度时，由升降驱动器部11的控制使杆14进行升降。在进行上升时，使该卡盘部66通过开口部67内而与回转支持构件62相结合。

再有，致动器部7由升降驱动器部11的控制进一步使杆14上升，将回转支持构件62托起到保持本体4的上方而使两者分离。在这状态下，升降回转机构10由回转驱动器部12的控制而使回转支持构件62连续地回转90度或360度。

此后，致动器部7使杆14下降、使卡盘部66在开口部67内通过而移动到保持本体4的下方。接着，当卡盘部66下降到保持本体4的下方时，与保持本体4的结合被解开，使回转支持构件62与保持本体4相结合。接着，致动器部7进一步使杆14下降，使卡盘部66退到下方的原来位置而进行待机。卡盘部66的待机部位是在透射照明装置的下方，该部位对配置在保持本体4下方的包括透射照明装置在内的各种装置都不会有妨碍。

卡盘部66作成圆板状，在它的上表面形成相互垂直的2条结合槽74、75。这些结合槽74、75的幅度(间隙)被作成比各个支持构件片68、69的厚度稍稍大一些，而且这些结合槽的深度被作成与各个支持构件片68、69的高度相等或稍稍深一些。

为了改善卡盘部66与回转支持构件62的结合度，可以采用对铁具有吸引或磁性的方法来保持回转支持构件。

下面，对具有上述结构的装置的作用进行说明。

如图9所示，将回转支持构件62收容在保持本体4内。即，回转支持构件62的一方的支持构件片68被收容在各个收容槽63内，另一方的支持构件片69被收容在各个收容槽64内。而且，各个前端支持片70、71被收容在各个支持片60之间所形成的空间里，各个前端支持片72、73被收容在各个支持片61和保持本体4的内壁之间所形成空间里。在上述图中，回转支持构件62标上了斜线，以便于理解。

在宏观观察时，将玻璃基板1放置在保持本体4上，而且由在保持本体4上的周边部设置的多个吸附孔将其吸附固定。在这样状态下，使保持本体4朝观测者侧前后摇动而进行宏观观察。

在将回转支持构件62收容在保持本体4内的场合下，该回转支持构件62的支持面(基板支持销的顶点)的高度位置低于保持本体4的与玻璃基板1的接触面的高度位置。因此，保持本体4上的玻璃基板1与回转注册构件62的基板支持销不接触。

这样，保持本体4上的玻璃基板1由各个支持片60、61的各个支持销保持成水平。另外，能使玻璃基板1避免由于与回转支承部62的接触而引起的振动。这时，也可以用磁场等方法将回转支持构件62保持成不从保持本体4的各个支持片60、61浮起。

在对玻璃基板1进行宏观检验时，在需要确实地检验玻璃基板1表面上的损伤、缺口、灰尘、裂缝等各种缺陷的场合下，使玻璃基板1的配置方向回转譬如90度。即，升降回转机构10的致动器部7通过升降驱动器部11的控制使杆14上升，使卡盘部66从保持本体4的下方通过保持本体4的开口部67而上升。

而且，随着该杆14的上升，使各个支持构件片68、69分别嵌合在卡盘部66的各个结合槽74、75内，使卡盘部66与回转支持构件62结合。这时，一旦致动器部7停止，就在该状态下将保持本体4和玻璃基板1的吸附解除。此后，由回转支持构件62的多个吸附孔将玻璃基板1吸附固定在回转支持构件62上。

接着，致动器部7由升降驱动器部11驱动控制，使杆14如图10所示地进一步上升，使回转支持构件62与保持本体4分离，将玻璃基板1托起到保持本体4的上方。将保持着玻璃基板1的回转支持构件62托起的高度是只要能使玻璃基板1安全地进行回转的位置，即、只要是玻璃基板1与保持本体4不干涉的高度就可以。

接着，致动器部7由回转驱动器部12控制，使杆14回转譬如90度。由此，使玻璃基板1回转90度。

此后，致动器部7由升降驱动器部11控制，使杆14下降。由此将回转支持构件62再次收容在保持本体4上。这时，由于回转支持构件62形成十字状，因而是以与90度回转前同样的状态收容在保持本体4上。

即，如图10所示，如果使回转支持构件62譬如向左(箭头ィ方向)回转90度，则能将一方的支持构件片68收容在各个收容槽64内；将另一方的支持构件片69收容在各个收容槽63内。将各个前端支持片70、71收容在各个支持片61和保持本体4的内壁之间形成的空间。将各个前端支持片72、73收容在各个支持片60之间形成的空间。

进而，当致动器部7由升降驱动器部11的控制而使杆14下降时，使卡盘部66退到透射照明装置的下方的原来部位而进行待机，使其不与配置在保持本体4下方的包括透射照明装置在内的各种装置发生干涉。

当将宏观照明光照射到已被回转90度的玻璃基板1的表面上时，使保持本体4朝观察者侧进行前后摇动。观察者观察从玻璃基板1反射的反射光的变化，对玻璃基板面上的例如损伤、缺口、污点、灰尘的附着等缺陷部分进行宏观检验。

作为宏观检验的方法，也可以不使保持本体4摇动而在水平状态下进行检验的方法。在致动器部7由升降驱动器部11控制而使杆14上升时，使卡盘部66上升。当该卡盘部66上升到保持本体4的位置时，使卡盘部66与回转支持构件62结合。进而致动器部7如图10所示地将卡盘部66托起到保持本体4的上方。这时保持本体4上的玻璃基板1被吸附固定在回转支持构件62上，被托起到比保持本体4的放置面还上方的部位。

在该状态下，升降回转机构10的致动器部7由回转驱动器部12控制而使杆14回转，使与卡盘部66结合着的回转支持构件62回转。由此使玻璃基板1以观察者容易观察的回转速度进行回转。在使该玻璃基板1回转到水平状态的同时，对玻璃基板1的表面进行宏观照明光的照射，观察从玻璃基板1反射的反射光的变化，就能检验玻璃基板面上的譬如损伤、缺口、污点、灰尘的附着等缺陷部分。这样，在使玻璃基板1以一定速度进行回转时，由于宏观照明光是从360度的方向对玻璃基板1进行照射，因而能良好地观察方向性不同的缺陷部分。

而且，也可以在升降回转机构10将回转支持构件62托起到保持本体4的上方的状态下，使卡盘部66以15度、30度、45度等回转角度、分阶段地回转。

这样，在上述第2实施方式中，由于将能与保持本体4分离的回转支持构件62收容、并退到保持本体4下方的卡盘部66上升，使卡盘部66与回转支持构件62结合，进而将回转支持构件62托起到保持本体4的上方使其只回转任意角度，此后使卡盘部66下降，将回转支持构件62收容在保持本体4内，因而能与上述第1实施方式取得同样的效果。

由于在回转支持构件62被收容在保持本体4内时的回转支持构件62的支持面的高度位置，低于保持本体4的与玻璃基板1相接触面的高度位置，因而回转支持构件62与被放置在保持本体4上的玻璃基板1不接触。因此，保持本体4上的玻璃基板1可由各个支持片60、61的基板支持销保持成水平，而且能避免由玻璃基板与回转支持构件62的接触而引起的振动。

由于能只使卡盘部66回转任意角度或连续地回转，因而从任意方向将观察用照明光照射到玻璃基板1的表面上，就能进行玻璃基板1的宏观检验。

本发明也可以进行如下所述的变形。虽然上述各个实施方式适用于液晶显示器的玻璃基板1的基板检验装置，但是本发明并不局限于此，本发明能适用于等离子显示器、EL显示器等平板显示器的透明基板的基板检验装置。

只要是用于改变各种基板或平板等样品的方向的设备，本发明就完全能适用。

只要将保持本体4和回转支持构件62作成这样的形状就可以，即、即使回转支持构件62只回转任意角度，都能在该回转角度状态下被收容在保持本体4内的形状。例如，如图11所示、可以作成使多根支持构件片80～87以回转中心c为中心，交叉在需要观察玻璃基板1上所形成的图形形状的每个角度上。这时，如果在保持本体4上、设置以回转中心c为中心、呈放射状地配置的多根支持片，就能形成在任意角度状态下将回转支持构件62收容的空间。

产业上的利用可能性

本发明用于对液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器的玻璃基板等半导体玻璃基板的表面缺陷进行检验、对形成在玻璃基板上的各个像素的各个显示电极的线幅度进行检验或对图形进行检验。

权利要求书

(按照条约第19条的修改)

1.一种保持装置，其特征在于，具有：

放置样品的保持本体；

设置于在上述保持本体上放置的上述样品的下方，将上述样品从上述保持本体托起、并且下降到上述保持本体上的升降机构；以及

在由上述升降机构将上述样品从上述保持本体托起的状态下，使上述样品回转的回转机构。

2.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述回转机构使上述样品回转任意角度。

3.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述回转机构使上述样品大致回转90度。

4.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体摇动，以便对从设置在上方的宏观照明装置照射的照明光，改变至上述样品的上述照明光的入射角。

5.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有：配置成同心圆状的多个环状支持构件；以及至少在3个位置上对这些环状支持构件之间进行连接的各个直线支持构件。

6.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有：配置成同心圆状的多个环状支持构件；以及从这些环状支持构件的同心圆中心点呈放射状地设置，且对上述各个环状支持构件进行连接的多个直线支持架；至少在3个位置有引导用开口部，这些引导用开口部是将上述各个环状支持构件和上述各个直线状支持构件所围成的多个圆弧状开口部中的一部分上述开口部，以上述同心圆中心点为中心在90度～120度的角度范围形成的；

上述升降机构具有：用于支持上述样品的多个托起销；支持这些托起销的托起销支持体；及使上述托起销支持体升降、并使各个托起销分别通过上述各个引导用开口部内而上下移动的升降驱动部；

上述回转机构在使上述托起销支持体上升而将上述各个托起销从上述各个保持本体的上述各个引导用开口部凸出的状态下，使上述托起销支持体回转90度～120度而使上述各个托起销分别沿着上述各个引导用开口部内进行圆弧状移动。

7.(修改)如权利要求6所述的保持装置，其特征在于，上述托起销支持体具有呈放射状延伸的至少3根托起销支持杆；

上述各个托起销对应于上述样品的尺寸直立地设置于上述各个托起销支持杆的预定位置上。

8.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述升降机构具有能被收容在用于支持上述样品的上述保持本体上的回转支持构件，且将上述回转支持构件与上述保持本体分离来向上方托起。

9.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述升降机构具有能被收容在用于支持上述样品的上述保持本体上的回转支持构件，且将上述回转支持构件与上述保持本体分离而向上方托起；

上述回转机构在由上述升降机构将上述回转支持构件托起到上述保持本体上方而使其回转后，使上述回转支持构件只回转能再次收容在上述保持本体上的角度。

10.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有：至少设置在放射状的3个方向上的多个收容槽；及上述升降机构进行升降的开口部；

上述升降机构具有：收容在上述保持本体的上述各个收容槽内、且由放射状延伸的至少3个支持构件片构成的回转支持构件；能与收容在上述各个收容槽内的上述回转支持构件相结合的卡盘部；以及使上述卡盘部与上述回转支持构件相结合，而托起到上述保持本体上方的升降驱动部；

上述回转机构在由上述升降驱动部将上述卡盘部托起到上述保持本体上方使上述回转支持构件回转之后，使上述回转支持构件只回转使其与上述各个收容槽的设置方向一致的角度。

11.(修改)如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有对形成矩形状的上述样品的边缘位置进行检测的位置传感器；

上述回转机构根据由上述位置传感器检测出的上述边缘位置的边缘位置信息而微小回转以修正上述样品的倾角偏差量。

12.(修改)如权利要求6所述的保持装置，其特征在于，上述托起销支持体具有相互垂直的2根托起销支持杆；上述各个托起销分别直立地设置于这些托起销支持杆的各个前端部分和交点部分，由这些托起销支持形成矩形状的上述样品的4角部和中心部。

13.(修改)如权利要求10所述的保持装置，其特征在于，上述回转支持构件由垂直的2根支持构件片构成，这些支持构件片的各个前端分别设置了相对该支持构件片的轴向成直角的各个前端支持片。

14.(增加)如权利要求13所述的保持装置，其特征在于，在上述各支持构件片和上述各前端支持片的上表面，分别设置吸附上述样品的各个支持销。

Claims (13)

1.一种保持装置，其特征在于，具有：

放置样品的保持本体；

设置于在上述保持本体上放置的上述样品的下方，将上述样品从上述保持本体托起、并且下降到上述保持本体上的升降机构；以及

在由上述升降机构将上述样品从上述保持本体托起的状态下，使上述样品回转的回转机构。

2.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有：配置成同心圆状的多个环状支持架；从这些环状支持架的同心圆中心点呈放射状地设置，且对上述各个环状支持架进行连接的多个直线支持架。

3.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有：配置成同心圆状的多个环状支持架；以及从这些环状支持架的同心圆中心点呈放射状地设置，且对上述各个环状支持架进行连接的多个直线支持架；至少在3个位置有引导用开口部，这些引导用开口部是将上述各个环状支持架和上述各个直线状支持架所围成的多个圆弧状开口部中的一部分形成90度～120度的角度而形成的；

上述升降机构具有：用于支持上述样品的多个托起销；支持这些托起销的托起销支持体；及使上述托起销支持体升降、并使各个托起销分别通过上述各个引导用开口部内而上下移动的升降驱动部；

上述回转机构在使上述托起销支持体上升而将上述各个托起销从上述各个保持本体的上述各个引导用开口部凸出的状态下，使上述托起销支持体回转，来使上述各个托起销分别沿着上述各个引导用开口部内进行圆弧状移动。

4.如权利要求3所述的保持装置，其特征在于，上述托起销支持体具有相互垂直的2根托起销支持杆；上述各个托起销至少分别直立地设置于上述各个托起销支持杆的各个前端部。

5.如权利要求1或3所述的保持装置，其特征在于，上述回转机构使上述样品回转任意角度。

6.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述升降机构具有能被收容在用于支持上述样品的上述保持本体上的回转支持构件，且将上述回转支持构件与上述保持本体分离而向上方托起。

7.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述升降机构具有能被收容在用于支持上述样品的上述保持本体上的回转支持构件，且将上述回转支持构件与上述保持本体分离而向上方托起；

上述回转机构在由上述升降机构将上述回转支持构件托起到上述保持本体上方的状态下，使上述回转支持构件只回转能再次收容在上述保持本体上的角度。

8.如权利要求1所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体具有：至少设置在相互垂直的2个方向上的多个收容槽；及上述升降机构进行升降的开口部；

上述升降机构具有：收容在上述保持本体的上述各个收容槽内、且至少由相互垂直的2个支持构件片构成的用于保持上述样品的回转支持构件；能与收容在上述各个收容槽内的上述回转支持构件相结合的卡盘部；以及使上述卡盘部与上述回转支持构件相结合，而托起到上述保持本体上方的升降驱动部；

在由上述升降驱动部将上述卡盘部托起到上述保持本体上方的状态下，上述回转机构使上述回转支持构件只回转使其与上述各个收容槽的设置方向一致的角度。

9.如权利要求8所述的保持装置，其特征在于，上述卡盘部和上述升降驱动部退避到上述保持本体的下方。

10.如权利要求8所述的保持装置，其特征在于，具有包括设置在上述保持本体下方的透射照明装置在内的各种装置；

上述卡盘部和上述升降驱动部退避到不妨碍上述各种装置的部位。

11.如权利要求1、3、6或8中的任意一项所述的保持装置，其特征在于，上述回转机构使上述样品大致回转90度。

12.如权利要求1、3、6或8中的任意一项所述的保持装置，其特征在于，上述升降机构在上述保持本体处于水平状态时，将上述样品从上述保持本体托起。

13.如权利要求1、3、6或8中的任意一项所述的保持装置，其特征在于，上述保持本体固定成水平状态或能摇动的任意一种或两种。

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