CN1572908A - 气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够持续最佳的电解状态并稳定操作，且无需靠人工就能够发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置。本发明是一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴(5)，用碳电极作为阳极(4a)进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，测定在气体发生装置上施加了一定电流后的阴极(4b)、阳极(4a)之间的电压变动幅度，并一边按照电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流。

Description

气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置

技术领域

本发明涉及发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置。

背景技术

通过如传统式(1)所示的含有HF等氟化物的熔化盐的电解可得到氟。

               式(1)(氟发生反应)

此时，如式(2)所示，从阴极产生氢。

(2)氢发生反应

            式(2)(氢发生反应)

但是，在如上所示的式(1)、(2)的反应中，在阳极上引起的氟发生反应伴随着如以下从式(3)至式(10)所示的极其复杂的副反应。

  式(3)(氟-石墨层间化合物生成反应)

式(3)的反应是在电极的碳晶体内部进行的反应，因此，晶体的表面能增大而与电解浴之间的浸润性增加，而且氟原子吸引碳原子的电子在晶体内发生空穴，从而产生空穴导电，由此改善了电极的导电性。

                式(4)(四氟化碳发生反应)

式(4)的反应表示通过电解所发生的氟气与电极表面上的碳进行反应发生四氟化碳气体。若该气体混入到含有氟的气体中特别是氟气中，则成为杂质而使氟气的纯度下降。由于该气体的性质(沸点等)接近于氟气，因此很难从氟气中除去，所以为了发生高纯度的气体，最好使用不容易引起该反应的碳阳极。

    式(5)(氧发生反应)

       式(6)(氧化石墨生成反应)

      式(7)(氟化石墨发生反应)

式(5)～(7)表示一连串的反应，若电解浴中存在水，则水的放电电位比HF的放电电位低，也就是说基于式(5)水比HF先电解。通过该电解反应发生的氧与电极的碳反应生成式(5)中的氧化石墨。该化合物不稳定，因此该化合物的氧容易与式(1)中所发生的氟进行置换发生式(7)中所示的氟化石墨。

因氟化石墨表面能非常低，所以若在电极表面生成该氟化石墨则该部分不能与电解浴接触，成为妨碍电解反应进行的极化的原因。如前所示，由于氟化石墨的表面能非常低，因此，若相对电极表面积该化合物的覆盖率超过20％，则即使在将电极浸入到电解浴中的状态，电极表面和电解浴也完全不浸润，从而变成所谓的“阳极效应”的状态。具体地说，因电极和电解浴不能接触而导致电极表面的电阻无限大，电解电流的路径被断开而导致电解电压也急剧上升，从而变成完全不能电解的状态。

该反应容易发生在刚调制完电解浴或刚供给电解原料即氟化氢的电解浴等电解浴中存在较多的水分的场合。另外，若在施加电解电流时向电极的有效表面积施加的电流量增加过于急剧，也容易引起这些反应。

若电解浴中的HF通过电解被消耗，则KF·xHF电解浴中的HF浓度下降，若x＜1.8则冰点上升到100℃以上，在电解槽的操作条件即90℃～100℃的控制温度下，电解浴在各阳极阴极的电极上析出，且在阴极(铜或镍)上析出的场合多于按式(7)发生氟化石墨的阳极。当产生这种现象时，因阴极的电阻上升而可见浴电压的上升。该浴电压的上升可通过将电解浴中的HF浓度调整到预定量来解决，但一旦其熔点上升而固化的电解浴中的浴就很难再次熔化。因此，在产生这种现象后调整已固化部分的HF浓度，需要大大多于调整通常熔化的电解浴中的HF浓度的时间。

     式(8)(熔出铁离子的氧化反应)

    式(9)(熔出镍离子的氧化反应)

如式(8)和式(9)所示，从构成电解槽的材料电化学地熔出出的铁或镍离子，在阳极上进一步氧化成Fe³⁺或Ni⁴⁺。这些离子的氟化物与浴中存在的KF生成络合物。这些络合物在电解时通过电泳附着在阳极上。这些绝缘性附着物成为阳极上的极化原因。在操作时所发生的现象是浴电压的波动或缓慢的上升。另外，在电解浴中这种杂质增加时，提高电解浴的粘度容易引起夹带雾沫。若发生夹带雾沫，则随时间的经过将改变电解浴中的浴成分，而且成为管道部分的堵塞原因从而引起电解槽内的压力变化。

    式(10)(H₂和F₂的还原反应)

式(10)是氟气和氢气混合时发生的反应。若在电解浴中发生这种反应，则发生原料回收，使氟发生反应的电流效率下降。总之，此反应不利于继续进行电解的主反应。

在上述的式(1)～(10)中除式(2)的反应均发生在阳极上。在发生这种竞争反应的阳极表面，通常包括气体的解吸在内表面状态改变，这表现为与施加电流对应的浴电压的变动。在这种状况下，即使采用进行了充分除去了浴中的H₂O的调理的浴，为了以95％以上的电流效率顺利地产生出氟，也必须采用充分考虑了这些反应的电流施加方法。

目前，在一般的工业用电解槽中，操作条件的控制靠人工来完成，监视员只有在电解电压等中产生明显异常时才为了调整操作条件而只进行应急措施，在电解槽的电解状态恶化时反复降低输出，从而最终停止电解并进行维修。在停止电解时，电极也被破损的场合很多，因此还需要更换电极。若计入这时装置的停止期间和维修所需人力等，则为进行该维修作业所需的成本非常大。综合以上所述可知，需要采用无人化的稳定的操作，从而由控制装置自动地常时监视电解槽的状态并根据电解槽的状态预防阻碍电解的因素。

对于这种情况，还有如下方法：例如在氟气发生中，通过设置在电解槽内的由浴面的液面水平传感器的信号进行控制的电流供给单元，按照浴的液面水平接通/断开电流供给单元，并通过控制电解条件使液面保持在一定的水平从而实现自动运行(例如参照日本专利文献1)。

[日本专利文献1]

特表平9-505853号公报

但是，目前在此日本专利文献1中所记载的方法中，直到能够以稳定的状态发生气体为止现场需要由作业员进行监视，并随着电解状态的变化控制电解条件。

发明内容

本发明鉴于以上问题而提出，其目的在于：提供一种能够持续最佳的电解状态、稳定操作且无需靠人工就能发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置。

为解决所述问题，本发明人重复进行了认真研究，通过测定电解中的阳极、阴极之间的电解电压，并精密地监视其电压波动幅度，预测电解槽内的状态，并基于该预测结果详细确定电解条件并加以执行，从而发现了能够常时稳定操作电解槽的方法。另外，还开发了采用此方法的控制装置，它能够无人自动地常时监视电解槽的状态并预防电解阻碍因素、实施稳定操作的，从而完成了本发明。

也就是说，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，是一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴，用碳电极作为阳极进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，其特征在于：测定在所述气体发生装置上施加一定电流时的阴极、阳极之间的电压变动幅度，并按照所述电压变动幅度改变投入电流量同时施加电流。

为了在发生氟或氟化物气体的气体发生装置中实施电解，在阳极、阴极之间施加了一定电流时，测定作为电解条件之一的阳极、阴极之间的电解电压变动幅度。若该波动幅度小则可确认电解状态正常，从而能够进一步施加一定的电流。另外，在电解中发生异常时，大体上表现为阳极、阴极之间的电解电压变动幅度的增大。此时可知气体发生装置中发生了异常，可以暂时停止根据所述电解电压变动幅度的大小进一步施加电流并确认其状态，或者在降低之前所施加的一定的电流之后确认该状态是否还发生异常。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，是一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴，用碳电极作为阳极进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，该方法测定在所述气体发生装置上施加一定电流时的阴极、阳极之间的电压变动幅度，并一边按照所述电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流直至达到目标操作电流。

通过一边重复上述发明的方法一边重复施加一定电流的动作，能够反复确认电解条件无异常同时使所施加的电流增加到最终的目标操作电流。因此能够非常安全地产生出氟或氟化物气体。再有，这里所谓的目标操作电流是指装置的电解电源能够施加到阳极、阴极之间的最大电流容量为止的范围，是为产生出所需气体量而在阳极、阴极之间施加的必要充分的电流值。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，在达到所述目标操作电流为止施加电流之后，为了继续进行电解，测定阳极、阴极之间的电压变动幅度并按照所述电压变动幅度改变投入电流量。

也就是说，在如上述的电解中发生异常时，大体上表现为阳极、阴极之间的电解电压变动幅度的增大或减小。此时确认气体发生装置中发生了异常而将操作电流减少一定的电流。此时，在气体发生装置的电流控制方法中，重复与有关本发明的第二方面相同的动作，再次以操作电流为目标施加电流。在达到目标操作电流为止施加电流之后，为连续产生气体而继续进行正常电解时，也可以测定阳极、阴极之间的电压变动幅度，若波动幅度在预定的电压变动幅度内时电解状态则可确认为正常，可以继续施加操作电流。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，一边重复增加、减少或维持投入电流量一边施加电流直至达到设定值。

也就是说，在电解中发生异常时，大体上表现为阳极、阴极之间的电解电压变动幅度的增大或减小。此时，在气体发生装置的电流控制方法中，确认气体发生装置中发生了异常，从而暂时停止根据所述电解电压变动幅度再施加电流并确认其状态，或者减少前面施加的一定的电流之后确认是否在该状态也发生异常。因此，设定比操作电流低的电流并达到该设定值为止施加电流时，也可以测定阳极、阴极之间的电解电压变动幅度，并确认波动幅度在预定的电压变动幅度内时电解状态为正常，从而可以进一步施加一定的电流。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，相对于阳极电极上的对电解有效的表面积，一次施加的电流量为5A/dm²以下。

在发生氟或氟化物气体的气体发生装置中，若在制造现场等中因急于生产而导致一次施加的电流过大时，在式(4)～(10)所示的反应中，式(7)中所示的成为极化原因的(CF)_n的生成速度变大，从而成为发生极化的原因。另外在发生这种异常时，即使测定阳极、阴极之间的电解电压，也因电流投入所引起的变化过于急剧而很难检测出基于由电极状态的恶化所引起的异常的电解电压的变化。另外，即使在检测出了这种异常的场合，也因症状已恶化到极限而很难避免或消除电流量的下降等所导致的异常状态或者从该状态恢复。另外，若一次施加的电流量太少，则到达目标操作电流需要很长的时间，并且成为使所需要的气体供给延迟的原因。因此，通过对于阳极电极上的对电解有效的表面积一次施加5A/dm²以下的电流量，最好是1～3A/dm²，能够防止这种检测的延迟或状态的恶化。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，有多个独立电源。

在1000A～5000A等大电流容量的发生氟或氟化物气体的气体发生装置中，通常装10～32枚电极。电极的安装方法也以1～10枚为单位固定在多个集电部上。因此，虽然在电解中发生异常时，可通过测定阳极、阴极之间的电解电压变动幅度来检测出其状态，但即使在进行了减少所施加的电流等动作也不能使电极或电解槽的状态返回到正常的场合，异常通常也从所有电极中的一部分开始发生。因此，通过采用多个电源，并对该每一个电源测定以集电部为单位的阳极、阴极之间的电解电压变动幅度，能够容易指定发生异常的部分。若能够指定发生异常的部分，则只对与该异常部分连接的电源进行与异常程度相应的运行，而其它电源能够以通常的设定进行操作。也就是说，如果相对装置的电流容量使每个电解电源的容量变小并使其台数增加得越多，就能够进行更细致的与多个电极的每一个状态对应的控制。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制装置，其中设有：用以电解由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴的碳电极；在阳极、阴极之间施加电流的恒流源；与所述恒流源连接并控制所施加的电流的电流控制单元；测量电解电流施加开始后的时间的第一测量单元；在经过由所述第一测量单元测量的预定时间之后，测定阳极、阴极之间的电压变动值的电压测定单元；测量所述电压变动幅度的测定时间的第二测量单元；以及基于所述阳极和阴极之间的电压变动幅度，确定接着施加的电流量的电流确定单元。

在氟电解中，首先在阳极、阴极之间施加一定的电流时，即使在电解状态正常的场合，电解电压最初过大地波动然后表现为大致与施加的电流对应的一定的电压。因此，如图3所示，用第一测量单元(计时器1)测定忽视一定时间的阳极、阴极之间的电解电压变动幅度使最初的过大波动不作为异常检测的时间(ST-3)。该时间如果太长则不能检测异常，如果太短则将施加电流后最初的电压变动幅度作为异常检测。因此，作为具体的测定时间，可设定为1秒至5分钟、最好设定为6秒至1分钟的范围。在由该第一测量单元测定时间后，开始测定阳极、阴极之间的电压变动幅度。该时间由第二测量单元(计时器2)测定，如果太短则由于电解电压的变化相对较慢而不能进行检测，于是很难检测到异常，如果太长则延迟了异常发生后的应对，在施加下一个一定量电流之前需要必要以上的时间，从而导致生产效率下降。因此，作为具体的测定时间，可设定为1秒至120分钟、最好设定为3分钟至30分钟的范围。

对于阳极、阴极之间的电解电压变动幅度，以由第二测量单元开始测定电压测定时间时的电压作为“基准电压”，将结束测定电压测定时间时的电压相对该“基准电压”变化多少即这些电压值之差作为电解电压变动幅度。通过至今为止的对操作条件的考察，可将施加一定量电流时的阳极、阴极之间的电解电压变动幅度分为正常范围(ST-5)、注意范围(ST-6)、异常范围(ST-7)，并对各自进行判断。这些可根据电解槽的形状、电解的控制条件适当变化，例如，可以将正常范围的变动幅度设定为“基准电压±0～0.5V”、最好“基准电压±0～0.3V”，设定注意范围的变动幅度在比正常范围大的值“基准电压±0.2～1.0V”、最好“基准电压±0.3～0.5V”，设定异常范围的变动幅度为“比注意范围大的值”。这些设定值，如果变动幅度太小则尽管电解电压的变动在正常范围内也判断为异常从而妨碍操作，如果太大则不能检测到异常的发生，从而很难将电解状态改善到正常范围内。

通过用这些第一测量单元和第二测量单元及阳极、阴极之间的电解电压测定单元判定如图2所示是电解电压变动幅度，若所述变动幅度在正常范围内，则进一步施加一定量的电流(ST-2)，然后重复同样的测定，最终达到由发生氟或氟化物气体的气体发生装置所采用的电解电源设想的操作电流为止进行施加，产生出必要量的氟或氟化物气体。若阳极、阴极之间的电解电压变动幅度在注意范围内，则中断电解电流的进一步施加(ST-6)，并由第一测量单元和第二测量单元及阳极、阴极之间的电解电压测定单元重复测定电解电压变动幅度(ST-6、ST-7)，若能够在测定结果中判定所述变动幅度在正常范围内，则进一步施加电解电流。若阳极、阴极之间的电解电压变动幅度在异常范围(ST-7)，则将之前所施加的一定量的电解电流减少到施加之前的值上，用第一测量单元和第二测量单元及阳极、阴极之间的电解电压测定单元测定电解电压变动幅度，若能够在测定结果中判定所述变动幅度在正常范围内则进一步施加电解电流，若判定为在注意范围内则执行所述注意范围的动作。在具有这些所有功能的装置中，能够设定操作电流的目标设定值，并达到目标电流量为止自动地向阳极、阴极之间施加每次一定量的电流，在达到目标电流量之后通过继续进行同样的控制，也能够自动地进行操作并常时稳定地推进电解条件。另外，即使在操作中发生异常的场合，也能够按照阳极、阴极之间的电解电压变动幅度的测定结果提早检测出，并通过调整电流量来防止操作状态的恶化。

另外，有关本发明的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制装置有多个所述恒流源。

如上所述，通过采用多个恒流源，并对该每一个电源测定以集电部为单位的阳极、阴极之间的电解电压变动幅度，能够容易指定发生异常的部分。若能够指定发生异常的部分，则只对与该异常部分连接的电源进行与异常程度相应的运行，而其它电源以通常的设定进行操作。也就是说，如果相对装置的电流容量使每个电解电源的容量变小并使其台数增加得越多，就越能更细致地进行与多个电极的各自状态对应的控制。

附图说明

图1是有关本发明的气体发生装置的一实施例的主要部分的大概模式图。

图2是说明有关本发明的气体发生装置的施加电流与电压之间的关系的图。

图3是用以说明向电极施加电流的工序的流程图。

图4是说明有关本发明的气体发生装置的另一实施例的图。

具体实施方式

以下，基于附图就有关本发明的气体发生装置的电流控制方法的一例实施例进行说明。图1是表示有关本发明的气体发生装置的大概结构的图。如图1所示，有关本发明的气体发生装置，将含有恒流源3的气体发生部1和与恒流源3连接并控制向电极4施加的电流的电流控制装置2作为主要构成部分。

气体发生部1设有恒流源3和电解槽6，其中恒流源3与由用碳电极形成的阳极4a和阴极4b构成的电极4连接，电解槽6中容纳由含有氟化氢的混合熔化盐等构成的电解浴5。电解槽6由Ni、蒙乃尔合金、纯铁、不锈钢等金属制成。电解槽6通过由Ni或蒙乃尔合金构成的分隔壁7分成阳极室8和阴极室9。阴极使用Ni等。再有，虽然图中未示出，但电解槽6中设有加热电解槽6内部的温度调整单元。另外，在电解槽6的上盖10上分别设有放出通过电解从阳极、阴极发生的气体的气体放出口。

电流控制装置2与恒流源3连接，并由以下单元构成：控制达到预先设定的目标电流量为止施加的电流的电流控制单元；在施加预先设定的一定量电流之后，测量预先设定的时间的第一测量单元；在经过该时间之后测定阳极4a、阴极4b之间的电压变动幅度的电压测定单元；测量预先设定的电压测定时间的第二测量单元；判定阳极、阴极之间的电压变动幅度是否正常，并基于该结果确定接着施加的电流量的电流确定单元。

这里，如图4所示，对包括阳极4a和阴极4b的电极(阳极)组4，恒流源3可以将总电流量分别分配给各电极(阳极)组4地独立设置。因此，能够各自控制向各电极(阳极)组4施加的电流量。另外，即使任意的电极(阳极)组4因电解中所发生的任何异常或其它意想不到的异常而不能使用时，也能够通过其它可使用的电极组4继续进行电解，因此，在电解装置内发生异常也能够将其影响抑制到最小，从而实现稳定的操作。另外，在处理异常时，也可以只对发生异常的电极组4进行处理，然后再起动，从而，发生异常的电极组4进行稳妥的起动而正常的电极组4进行相对较快的起动，可以说能够以各自不同的条件进行操作，因此改善了其维护性能。当然，也可以用一个电源与多个电极组4相对应。

以下，参照图2和图3，就如以上构成的氟气发生装置的电流控制方法进行说明。

首先，根据电解槽6的容量确定操作所需的最大电流(图3(ST-1))。接着，设定为通过多次达到其最大电流而每次施加的一定量的电流，并施加一次份额的电流(图3(ST-2))。相对于阳极电极上的对电解有效的表面积，一次施加的电流量设定在5A/dm²以下，最好设定在1～3A/dm²。并且，以一次以上最好三次以上的步骤来施加电流，达到定为目标的最大操作电流。因此，即使阳极4a采用碳电极，也能够抑制阳极效应的发生，即便发生了阳极效应，通过将电流密度设定在低值能够抑制该现象的发展，而且，由于从判断阳极、阴极之间的电解电压变动幅度不正常的时刻开始抑制电流的施加或减少电流量，所以能够安全稳定地运行。如图2所示，若施加一定量的电流，则首先阳极、阴极之间的电解电压上升，迎来峰值后以比上升量小的范围下降并稳定。因此，在从刚施加电压波动幅度大的电流到0.1～10分钟之间，第一测量单元即计时器1的工作将忽视电压波动幅度(图3(ST-3))。然后，在经过由计时器1设定的预定时间之后，监视阳极4a、阴极4b之间的电压变动幅度的第二测量单元即计时器2工作(图3(ST-4))。

以计时器2开始时的阳极、阴极之间的电压作为“基准电压”，将计时器2结束时的电压变动多少即这些电压值之差作为电解电压变动幅度。然后测定电压变动幅度是否在正常范围“基准电压±0～0.5V”最好“基准电压±0～0.3V”内(图3(ST-5))。若此时电压变动幅度在正常范围内，则进入到图3(ST-8)。然后返回至图3(ST-2)，重复该工序直至达到设定上限电流。而且，在图3(ST-8)判定该电流是否为开始设定的目标操作电流。如果是目标操作电流，则继续监视电解电压变动幅度同时维持电流继续进行电解(图3(ST-3))。如果不是目标操作电流，则返回至图3(ST-2)施加一定电流并重复工序，从而进入到下一个施加电流的步骤。

另外，在图3(ST-5)中，若电压变动幅度在正常范围之外，则进入到图3(ST-6)，判定该电压变动幅度是否在注意范围“基准电压±0.2～1.0V”最好“基准电压±0.3～0.5V”内(图3(ST-5))。这里，若电压变动幅度在注意范围内，则在图3(ST-6)维持跟随电流并返回至图3(ST-3)重复相同的工序。若电压变动幅度超过注意范围，则判定为“异常范围”从图3(ST-7)减少跟随电流，并返回至图3(ST-3)重复相同的工序。

通过重复这些动作，能够常时安全且可靠地自动运行来操作发生氟或氟化物气体的气体发生装置。再有，上述的工序可通过众所周知的程序控制等来实施。

本发明如上所述构成，因此能够自动控制向气体发生装置的碳阳极的电流施加，该气体发生装置通过含有氟化氢的电解浴的电解产生出氟或氟化物气体。在传统的工业用的气体发生装置中，需要作业员的熟练操作，在一旦发生异常时也需要对该操作条件变更进行仔细的条件判断，而且，在因异常而停止气体发生装置并进行维修时需要很大的费用和人力。于是，通过采用本发明人所发明的电流控制方法和装置，能够稳定操作发生氟或氟化物气体的气体发生装置，并在发生异常时也能够自动处理，从而将异常的影响抑制到最低限度。

Claims (8)

1.一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴，用碳电极作为阳极进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，

测定在所述气体发生装置上施加一定电流时的阴极、阳极之间的电压变动幅度，并一边按照所述电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流。

2.一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴，用碳电极作为阳极进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，

测定在所述气体发生装置上施加一定电流时的阴极、阳极之间的电压变动幅度，并一边按照所述电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流直至达到目标操作电流。

3.如权利要求2所述的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，其特征在于：

为了在施加电流达到所述目标操作电流为止后继续进一步电解，测定阳极、阴极之间的电压变动幅度并按照所述电压变动幅度改变投入电流量。

4.如权利要求2或3所述的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，其特征在于：

一边重复增加、减少或维持投入电流量，一边施加电流直至达到设定值。

5.如权利要求1～4中任一项所述的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，其特征在于：

相对于阳极电极上的对电解有效的表面积，一次施加的电流量为5A/dm²以下。

6.如权利要求1～5中任一项所述的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，其特征在于：

有多个独立电源。

7.一种发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制装置，其中设有：

用以电解由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴的碳电极；

在阳极、阴极之间施加电流的恒流源；

与所述恒流源连接并控制所施加的电流的电流控制单元；

测量电解电流施加开始后的时间的第一测量单元；

在经过由所述第一测量单元测量的预定时间之后，测定阳极、阴极之间的电压变动值的电压测定单元；

测量所述电压变动幅度的测定时间的第二测量单元；以及

基于所述阳极和阴极之间的电压变动幅度，确定接着施加的电流量的电流确定单元。

8.如权利要求7所述的发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制装置，其特征在于：

有多个所述恒流源。

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