CN1526670A - 加工光纤预制件用方法、燃烧器系统及含该系统的装置 - Google Patents

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Abstract

一种加工由玻璃加工机床的固定卡盘和活动卡盘支持的预制件的方法，包括提供一种类型的燃烧器，该燃烧器能够控制可燃气体和载气的流率来创造火焰控制条件，其中载气从至少一组被同轴地分为若干组的流出管道、分别相对于气体流率可控制地流出。预制件在火焰控制条件下加工。也描述了适宜实现该方法的燃烧器系统和包括该燃烧器系统的预制件加工装置。

Description

加工光纤预制件用方法、燃烧器系统及含该系统的装置
技术领域
本发明涉及光纤预制件的加工，更具体地，涉及用特殊类型的燃烧器系统来加工光纤预制件的方法，和适合于实施该加工方法的装置。本发明也涉及适合用于上述方法和装置中的燃烧器系统。
背景技术
对于光纤或光导纤维的制造，首先使用气相轴向沉积(VAD)法、外部气相沉积(OVD)法等类似技术沉积精细玻璃颗粒来制造多孔玻璃基体。然后将玻璃基体脱水并烧结或固结来得到纯净的玻璃化母棒(mother ingot)。接着将该母棒在电炉中进行粗拉伸，形成称做预制件的初加工产品，该预制件的直径被减小到适合用于光纤拉伸的范围。
随后采用例如玻璃加工机床来对以此方式获得的预制件进行次级加工处理。这种次级加工处理包括以高精度调整外直径的拉伸处理、将硅粉末(下文中称作硅斑)沉积在预制件表面和伴随预制件内余留热应力的消除而去除细小缺陷的火抛光过程、将预制件加工成适宜在一端进行光纤拉伸的形状的拉伸过程等。
预制件的外径应当被精确地调节。在预制件外径并不均匀的情况下，当这样的预制件被送进光纤拉伸装置的加热炉内并开始送入时，在加热炉的气密封组件和预制件之间就不可避免地会形成间隙。结果，因为由炉体材料的氧化、外部物质的沉积等引起的光纤破损可能性的增加，和由加热炉中气体流动变化造成的光纤直径增加的变化，会出现很多问题。由于这些原因，预制件沿长度方向外径的变化率通常应当被抑制在低于±1％的水平。
沉积在预制件表面上的硅斑和表面中的缺陷将导致光纤直径的突然变化，在最坏的情况下将导致预制件的破损。这样，理想的是在其加工阶段使预制件接受火抛光从而消除硅斑和缺陷。
为了缩短从开始预制件的光纤拉伸到光学光纤直径稳定的时间，较好的是将预制件的一个或两个末端处加工成如图6特别示出的锥形的形状。
如上面所述的，预制件的加工可以分为几个不同的过程，而为了容易而又可靠地控制每个过程，就需要根据各个步骤来设定适宜的发热能力和火焰形状或密集度(thickness)。
对于用于预制件加工的传统燃烧器单元来说，采用的是由硅玻璃或不锈钢制造的具有图7所示结构的小尺寸紧凑型燃烧器。在实际运用中，4至6个小尺寸燃烧器(例如，图8中的4个燃烧器B1至B4)如图8中所示排列提供了一个燃烧器单元U。或者，若干个如图所示类型的燃烧器可以排列成半圆形或圆形来使用。
这些燃烧器的每一个都在其中提供有载气和可燃气体。在燃烧器入口或出口处混合的气体的燃烧火焰被用来加热预制件，以达到预期的加工目的。一般地，氧气被用作载气，而氢气或甲烷或丙烷被用作可燃气体。在本领域中，燃烧器的类型大致地分为预混合型气体燃烧器，其中气体在燃烧器内预先混合然后在燃烧器尖端进行燃烧；和后混合型气体燃烧器，其中气体分别流入燃烧器的管道，然后才在燃烧器的尖端稍同时进行混合和燃烧。
当使用氢气作为可燃气体时，氢气在燃烧器内燃烧容易产生逆火。从这种意义上说，优选选择后一种燃烧器。例如日本公开专利申请第52-45740号就描述了这种类型的燃烧器。
日本公开专利申请第2000-220810号描述了用于加工预制件的另一种燃烧器的例子，其中若干个用于载气的载气喷嘴以特定的方式设置。更具体地，载气穿过的若干内管以不同的间隔容纳在一个外部圆筒中，这些间隔依赖于外部圆筒内的位置，其中可燃气体流入该外部圆筒内。也就是说，在越靠近圆筒外围的位置处，内管设置得越密集。在这种燃烧器中，载气和可燃气体在燃烧器的尖端混合，从而在该处获得潜在发热能力的火焰。
在传统的燃烧器中，通过分别改变载气和可燃气体的流率来改变气体火焰的密集度和强度。
当使用这种燃烧器在例如火焰减弱的情况下加工预制件时，气体的流率很小，这样发热能力变得很弱。更具体地，在稀薄的火焰条件下很难获得高的发热能力。
因此，在需要稀薄、强火焰的情况下，例如，当预制件在其末端处被以如图6所示的方式成锥形时，就需要对有限的狭窄区域单独进行加热，以将预制件的直径加工得很小。相反，当使用密集火焰的方式加热预制件时，就要在其较宽的区域上加热预制件，从而很难形成良好的锥形末端。
当然，当打开火焰并使其密集、以及扩大加热区域时，气体流率就增大，从而发热能力就提高。这样就很难获得弱的气体火焰。在调节外径的拉伸和火抛光过程中，将需要在预制件的很大区域上进行轻度加热。如果使用密集火焰，发热能力会变得太强烈而不能对预制件进行高精度的加工。对于如上所述情形中使用的燃烧器，理想的是气体火焰的密集度能够根据预制件的直径来任意地进行调节，并且火焰的加热能力也能够根据应用在预制件上的条件来任意地进行控制。
在例如日本公开专利申请第256027号中描述了一种通过火抛光过程来将残余应变极小化的火焰控制方法。
在日本公开专利申请第2000-143268号和2000-203864号中，描述了一种预制件末端的拉伸方法和实施该拉伸方法的装置。然而，这些不同的预制件加工过程都完全没有描述在大范围上控制燃烧火焰的任何方法。
如上文中所述的，对于预制件的加工，理想的是火焰的密集度和强度能够依据加工过程和条件而在大范围上可以改变。对于传统的燃烧器，极难由取决于加工过程和条件的相同燃烧器来形成不同类型的包括稀薄和密集、强烈和微弱的火焰。
发明内容
因此本发明的一个目的是提供一种借助于一个燃烧器单元、使用不同方式包括虚焊(dummy bonding)、拉长、火抛光、预制件的一个末端或两个末端处拉伸预制件、火焰切割等自动加工预制件的方法。
本发明的另一目的是提供一种特别适宜实现本发明方法和装置的燃烧器系统。
本发明更进一步的目的是提供一种适宜实施上述方法和包括上述燃烧器系统的装置。
通过本发明的由玻璃加工机床的固定卡盘和活动卡盘支撑的预制件加工方法的一个实施例能够实现上述目的，该加工预制件的方法包括提供一种类型的燃烧器，该燃烧器能够通过控制可燃气体和载气的流率来创造火焰控制条件，其中载气从至少一组同轴的、被分为分别相对于气体流率可控制的若干组的流出管道流出；和在所述火焰控制条件下加工预制件。
优选的，所述若干组流出管道设置在一个可燃气体通过的中空体内，所述若干组在中空体内由中空体的中心向外围同轴排列，所述流出管道以这种方式排列即使载气在每一组管道中以可控制的方式通过。
该中空体优选是中空圆筒并且该若干组流出管道(也称为若干组管道)在一端封闭另一端开放的中空圆筒内同心布置。
根据本发明的另一实施例，提供一种燃烧器系统，该燃烧器系统包括：包含供可燃气体通过的、一端封闭另一端开放的中空体，和供载气通过的、容纳在中空体内的若干组同轴排列的内部流出管道的结构体；气体流入管，其与所述中空体和每个都在各个气体流入管一端处的所述若干组分别连接；和气体源，所述气体源在气体流入管的另一端通过气体流入管与所述中空体和若干组分别连接，其中每一气体流入管具有一个用于控制通过其中的气体的流率的控制装置。
优选地，该中空体是中空圆筒并且该若干组内部流出管道在中空圆筒中分别同心排列。更具体地，内部流出管道被以同心方式分为许多组。
根据本发明更进一步的实施例，本发明也提供了一种包括如上面所定义的燃烧器系统的加工装置。
附图的简要说明
图1是根据本发明的玻璃加工机床的示意性侧视图；
图2是根据本发明的燃烧器单元实例的示意性透视图；
图3A和3B分别是图2中所示燃烧器的喷嘴部分的顶视图，其中图3A是内部喷嘴被分为3或4部分的示意图，图3B是喷嘴在最内部分排列的变形；
图4A是根据本发明的通过控制阀或部件来控制气体流率的气管实例的示意性视图，图4B是各种气体分配器结构的示意性视图。
图5A至5E是本发明的燃烧器单元所应用的预制件的不同加工过程。
图6是示出随后进行光纤拉伸时预制件末端的理想形状的示意性视图。
图7是传统紧凑型燃烧器的示意性剖面图；和
图8是有图7所示结构、包括有4个紧凑型燃烧器的传统燃烧器排列结构实例的透视图。
具体实施方式
参看下面附图特别是图1至5A至5E来详细地描述本发明的优选实施例。应当注意，在整个说明书和权利要求书中，相同的参考数字表示相同的部分或部件。
图1以简化的形式示出根据本发明、用于加工预制件的玻璃加工机床的一种典型配置。所示的玻璃加工机床GL包括在预制件相对端处用固定和活动卡盘12，14可旋转保持的预制件10。卡盘12由固定支架16支持、活动卡盘14由尾架18支持，以便如图所示以将预制件保持水平的方式拉或推预制件10。这些支架14，16按顺序安置在基体20上。燃烧器22安置在与移动工具26，例如一螺杆，连接的车架24上，使得车架24可以纵向移动。移动工具26与连接卡盘12，14的轴线平行设置，并通过链条29，齿轮(未示出)等由电机28驱动。尾架18类似地由一驱动单元(未示出)驱动。
燃烧器22通过管30和32连接在气源30，31上。管30具有分支管30a，30b，30c，它们分别通过阀34a，34b，34c和质量流量控制器36a，36b，36c连接到燃烧器22上。另一方面，管32也以类似方式通过阀34d和质量流量控制器36d连接到燃烧器22上。阀34a至34d和质量流量控制器36a至36d分别借助于下文所述的控制单元来控制。在本发明的实际运用中，燃烧器系统由燃烧器22；包括分支管30a，30b，30c的管30，32；及包括阀34a至34d和质量流量控制器36a至36d的流率控制装置组成。各个控制装置也可由其它任何的工具像连接在控制阀上的控制阀来构成，只要能够控制气体流率。需要注意的是术语“预制件”不仅指的是具有直径20至100mm的预制件，而且也指具有直径为100mm或以下的硅玻璃基体。
在图1中，预制件保持水平，但正如现有技术中那样，预制件可以保持垂直。
在操作中，在计算机控制条件下如图中箭头A所示向右边纵向移动尾架18，燃烧器例如沿着如箭头B所示与尾架18相反的方向移动，或者燃烧器沿与尾架18同样的方向停止或移动。也就是说，燃烧器22被装配为可以在相反的方向任意地移动。燃烧器22向预制件10提供发热能力，依据加工类型而有所不同。依据本发明，对预制件不同的加工处理包括虚焊、将外径拉长到预定值、火抛光、提供适宜光纤拉伸的良好形状的预制件的拉伸、火焰切割等，这些加工处理可以采用特定类型的燃烧器系统来实现，其中的燃烧器系统具有这样的结构，即能任意控制每一与燃烧器火焰密集度无关的载气流出管的发热能力的程度。
现在参考图2至4，其中示出用于实现本发明加工方法的燃烧器22。如图2中所示，燃烧器22包括允许火焰会聚的具有在其上部截去锥形头形状的中空外部中空圆筒40，和供载气排出的若干内管42。参考数字44表示外部中空圆筒40内除内管42外的空间，可燃气体从这些空间排出并在燃烧器口与来自内管42的载气混合。
在图3A中这些若干内管42被分为了三组。更具体地，从上面看，容纳在外部中空圆筒40内的内管42被分为三个同心的部分S1、S2和S3。S1部分表示同心圆线C1和C2之间的区域，S2部分表示同心圆线C2和C3之间的区域，S3部分表示同心圆线C3以内的区域。实际上，并不存在有圆形线C1，C2和C3，仅仅是为了描述方便的缘故。各部分内的内管42被作为一组，考虑气体的流率来分别控制各组内管42。当然，这些部分或组的数量可以是3个或更多。例如，外部中空圆筒可以被划分为同心的4个部分，其中S2部分在圆形线C2和C3之间以虚线C4的方式进一步二等分。
考虑最里面的部分，图3A中描述了至少一个内管42。内管42通常如图3A的方式容纳，虽然如图3B中所示的最里面部分S3设置多至3个内管，但是以这种方式使得从外部圆柱体的中心朝其外围方向可以有更高密度的内管。
外部中空圆筒22在其底部封闭并具有一个可燃气体的进口和若干个载气进口，在下文中将参看图4A和4B进行更详细的描述。在S1，S2和S3部分处设置的内管42分别与外部中空圆筒22的进口连接。
在上文中已经对外部中空圆筒22进行了说明。中空体可以具有例如矩形，多边形等不同的形状来代替中空圆筒。这样，内管就沿中空体的轮廓或外形排列，内管的各组也按照与中空体的外形相似的形式排列。更优选的是，内管沿中心向外部更致密地配置。中空体最好是圆柱形的。
在这种配置下，可燃气体例如氢气、甲烷、丙烷等穿过中空外部圆筒40，载气例如氧气穿过内管42。这样，载气和可燃气体分别单独流入燃烧器22并且在其尖端或燃烧器口处混合并燃烧。
为了控制通过内管42和各个部分S1至S3内空间44的气体流率，与载气源31相连的管道30被三分为三个分支管道30a、30b、30c，这些分支管道分别连接在接头50a、50b、50c上，以通过分流器结构D向外部中空圆筒22供给气体。用于可燃气体的管道32连接在接头50d上，接头50d附着在外部中空圆筒22的侧壁上。每一管道具有一个由34a、34b、34c或34d所示的手动阀和由36a、36b、36c或36d所示的质量流量控制器(下文有时称为MFC)，这样通过如图所示管道52a、52b、52c、52d的控制单元C输出的信号来分别控制气体流率。在现有技术中可以得知这种类型的控制单元，因此在这里没有进行详细的描述。
下面将说明设置手动阀34a、34b、34c或34d和在36a、36b、36c或36d处所示质量流量控制器的原因。当操作者手动控制各自的流率来加工预制件时，所有的MFC都完全打开，这样就以手动方式操作阀门按所需改变流率。另一方面，在例如由控制单元C中的计算机自动控制气体流率的情况下，阀门完全打开以便借助于质量流量控制器来分别控制流率。当然，如现有技术所知的，也可以用控制阀或其它的控制方式代替手动阀和质量流量控制器的组合。
现在描述分流器结构D。这在图4B中有具体的描述。图4B中的分流器结构D如下排列：接头50b直接与S3部分或区域中的内管42连接；穿过接头50c的载气流入S2区域中内管42中的一组；经过接头50a提供的载气通过S1部分中内管42中的一组；通过接头50d的可燃气体分配到除内管外的整个外部中空圆筒中。参考数字60，62分别表示确保将各接头中的气体完全分离保持密封的隔板。
燃烧器系统以如下的方式操作。来自气体源33的可燃气体通过管道32、MFC36d、阀34d和接头50d流入外部圆柱体40。另一方面，载气通过相应的MFC、手动阀和接头分配到内管42的各组中。
在上文中所描述的燃烧器结构中，通过外部区或S1(更靠近外围的区域)的载气的总量大于通过内部区域(更靠近中心区或S3的区域)的载气的总量，但是在更靠近外部圆柱体中心轴的部分流出的可燃气体的量较大。如图4A中56所示，所有的气体都在燃烧器口混合并燃烧。
由于载气在外围部分例如1处大量流出，图4A所示的火焰56就不会存在于超过外部圆筒开口的地方。这就允许每一部分的可燃气体和载气的流率易于控制。这样就保证了容易控制依赖于预制件加工过程类型的火焰形状或密集度、加热区域和温度分配。
如果增加燃烧器外部中空圆筒中的内管组的数量，就可以更加精确地控制火焰的强度，但是控制也将变得更加复杂。在本发明的实际运用中，优选设置三个或四个部分或内管组，如图3所示。
金属例如不锈钢、硅玻璃等可以作为燃烧器的材料。考虑到高的再现性和内部精细管道增加的方便性，除了在需要高清洁度的情形外金属是优选的。如果需要很高的清洁度，较好地是使用硅玻璃。
为了实现几种不同的预制件加工过程，外部圆柱体的内径通常在25至50mm范围内，内管的开口直径通常在1至3mm范围内。依据内管在每一部分排列的方式和数量，这些直径可以有所变化。由气体源提供的可燃气体的流率通常设置为500SLM(标准升每分钟)范围内的一个值，  载气的流率设置为0至300SLM范围内的一个值。然而关于这一点，内管的直径可以根据加工的部分和类型而有所变化。
在本发明中，内管以这样的方式被设置在数个部分内，即相对于流率在各个部分中是可控制的。如果必要，在给定的区域通过关闭相应的手动阀可以使气体流停止。从前面的叙述中可知，可燃气体和载气的流率都能任意控制，其中例如从上面观察的外部中空圆筒的被圆柱形分隔的不同区域或部分的载气的流率能任意控制。这样就可能非常精确地分别控制火焰的密集度和强度。对火焰的易于控制也就使得加工过程易于控制。特别是加工过程所需要的必要参数包括火焰的强度和密集度，在此情况中即是指氢氧火焰，和燃烧器与尾架的移动和移动速度。这些参数之间是相互关联的，通常在进行预制件的加工过程中，与其它的参数相比火焰的强度和密集度只需要相对粗略的控制。当然，对火焰更精确的控制将使得很多预制件的加工过程更加可靠和易于控制，该加工过程不需要调节预制件与燃烧器口之间的距离，也不需要进行燃烧器单元与用于选择的加工过程的火焰进行更精确地控制的其它类型燃烧器单元之间的改变。这就节省了不希望的调制和改变所需要的时间和工作。更具体地，如果火焰得不到精确可靠的控制，则就需要改变燃烧器与适宜每一加工循环的预制件之间的距离和用更加适当的燃烧器替换燃烧器。依据本发明，通过控制可燃气体和载气的流率从而对火焰条件进行适当控制的燃烧器能克服这个问题。控制通过例如是相互同心分隔的许多组内管的载气的流率能够实现对火焰的精确控制。
参考图5A至5E详细描述使用依据本发明燃烧器系统的预制件的加工过程。
图5A示意生示出包括加热步骤和压力连结步骤的虚焊。在图中，具有锥形尖端部分72并用于保持预制件10的模型杆70被加热以与预制件10接合，同时沿箭头所示方向移动尾架直至预制件部分熔化的范围而不移动燃烧器。这个过程所需要的发热能力是最强的。例如，当使用具有直径为60mmΦ的预制件和图3A所示类型的燃烧器，作为可燃气体的氢气和在S1、S2和S3处向内管供给氧气的流率如下面的表1所示。
表1
    氢气流率(SLM)                      氧气流率
  S1中的内管组   S2中的内管组   S3中的内管
    250     130     50     10
为了这个目的，氧气从所有的部分充分流出，氢气以相对大的的流率流出。当加热时间持续超过大约10分钟时，锥形部分将部分熔化，然后依靠瞬间压靠模型杆被连结在一起。在压力下的移动例如大约是60mm。其后火焰减弱，连结部分烘烤大约5分钟。实现这个目的的流率如下所示。
表2
    氢气流率(SLM)     氧气流率
    S1中的组     S2中的组     S3中的组
    250     65     25     5
上述描述的连结过程适用于具有60mmΦ的预制件。如果直径增加到80mmΦ，要达到相似的结果流率就必须是上述流率的两倍。
应当指出，虽然图5A示出的是在模型杆的一端连结，但是通常也将杆连结在预制件的相对端。
图5b示出包括加热和拉长步骤的预制件的拉长，其中尾架沿与图5a示出例子相反方向移动并且燃烧器也如所示相同方向移动。这样，就需要如表1所示的高发热能力，燃烧器如图5A所示以相同的方式充分打开。为了达到拉长的目的，将具有不均匀表面和直径例如67mmΦ的预制件拉长来获得具有直径为60mmΦ的具有平表面的预制件。当氧气的流率被确定后，尾架和燃烧器将依照控制单元C发出的信号以给定速度和给定动作自动地移动。该自动移动可以在这种或其它情况下以步进或连续方式来执行。
图5C示出对预制件外表面的火抛光。在图5C中尾架停止而燃烧器移动。进行这种火抛光就是为了从预制件表面去除硅斑，消除在预制件制造过程中形成的细微缺陷和预制件内部的热应变。在火抛光中，如果发热能力过高，则沉积在预制件表面的二氧化硅就会发生升华，且在多数情况下会再沉积形成预制件表面上的硅斑。另一方面，如果加热温度太低，缺陷和硅斑的去除将得不到满意的效果，或者不可能对预制件内部进行良好的加热，从而余留下残余应变。如果预制件内部的残余应变没有去除到一个令人满意的程度，则在完成火抛光后的冷却阶段上在预制件的表面附近可能会产生裂纹。
在火抛光中，发热能力的强度是一个重要的参数，而不用考虑燃烧器的移动速度。因此，应当依据预制件外部直径的参数使气体的流率和燃烧器的移动速度最优化。更具体地，气体流率、移动速度和预制件的外部直径是相互关联的。
在如图5D所示的拉伸下，初始加热是在高发热能力下进行的。在预制件被拉长到使得预制件就处于熔化断裂为条片之前的程度的阶段，适当地选择或决定可燃气体与载气的流率和载气通过的部分。在这些条件下，火焰的密集度被大大降低，这样尾架就进一步移动形成预期的拉伸形状。
在通常的实际运用中，拉伸可以包括初级加热、初级拉伸、次级加热和次级拉伸。分别确定气体的数量、燃烧器和尾架的移动和/或移动速度以得到适合各个步骤的最佳火焰条件。这些参数彼此关联且不总是关键的。为了应对宽加工范围中可能出现的问题，必须允许燃烧器装置或系统相对于燃烧器的发热能力来进行精确地控制，这是由于燃烧器和尾架的移动能够按预期控制。
在拉伸过程，根据进一步需要的发热能力条件来确定载气通过哪一或哪些部分是很重要的。更具体地，当由于在保持流过的载气的部分不变而气体总量减少、火焰的发热能力降低时，预制件被在很大区域上加热，从而导致不希望被拉伸的部分被拉长。为了按照需要地控制拉伸部分的长度，需要通过改变气体流过的一个或一些部分，或使气流停止流向一个或一些部分中的内管，来改变火焰本身的密集度。这在下文的实施例中将详细描述。
如上所述，在很容易地确定载气选择通过的一个或一些部分后，火焰的密集度、通过部分的可燃气体的流率和载气的流率能够按所需进行控制。这里所用的术语“火焰控制条件”是指在控制和决定有关尾架和燃烧器单元的移动和移动速度的情形下建立的那些条件。
图5E示出拉伸过程后的火焰切割，其中向预制件的深拉伸部分吹送稀薄火焰并将预制件熔化切割为两段。实现这一目的的火焰为变窄了的火焰并且具有相对高的流率。为此，用作可燃气体的氢气和在S1、S2和S3处供给至内管的氧气的流率如下表3所示。
表3
    氢气流率(SLM)     氧气流率
    S1中的组     S2中的组     S3中的组
    20     0     0     10
这个加工过程可以由手动燃烧器单独提供的火焰切割代替。使用一个依据本发明的燃烧器实现预制件的所有加工步骤，从节约劳动和易于自动控制预制件加工参数的观点来看都是非常有利的。
如上所述，依据本发明，并且使用一个包含特定类型燃烧器设置的装置同时按照需要控制加工条件或参数来进行几乎所有的预制件加工过程，从而加工出预期形式的、在一个大的区域内具有不同尺寸的预制件。
现在本发明将在实施例中进行更具体的描述，这些实施例不能认为是对本发明的限制。
实施例
将如图2所示类型的燃烧器装配到如图1所示的玻璃加工机床上，用于拉伸尺寸为60mmΦ的预制件。该燃烧器具有由SUS304制成的外部中空圆筒和供氢气通过的30mmΦ的内部直径。在外部圆柱体中，每一氧气通过的由SUS304制成的精细管道都具有3mmΦ的外径和1.5mmΦ的内径，这些精细管道同心排列并由内向外被分为三组。各部分中的精细管道组分别与不同的氧气流入管道相连。这样就提供了一个氢气流入管道和三个氧气流入管道，其中每一流入管道具有串联的手动阀和MFC。基于由控制单元输出的信号来控制各个MFC，对机床的自动操作能够设置燃烧器和尾架的移动以及从各自流入管道流入的气体数量。向燃烧器供给的氢气的流率最大值是500SLM(标准升每分钟)，三个氧气流的流率最大值分别是250SLM、150SLM和10SLM，其顺序是从外部圆柱体的外围开始，即图3A中从S1至S3。
如上文中所描述的拉伸过程可概括地分为四个步骤：初级加热、初级拉伸、次级加热和次级拉伸。在各个步骤中，适当设置气体的数量、燃烧器与尾架的移动和移动方向。在这个实施例中，这些参数的设置如下面的表4所示。
结果，拉伸部分(见图6)能够制成短到62mm的长度，基本上和预制件的直径相同。
表4
步骤   来自燃烧器的气体数量(SLM) 燃烧器的移动(mm) 尾架的移动(mm)
氢气 氧气(S1) 氧气(S2) 氧气(S3)
初级加热   250   130   50   10   0   0
初级拉伸   200   110   40   10   5   10
次级加热   130   0   60   7   5   10
次级拉伸   100   0   50   5   20   30
比较例
四个如图7所示类型的燃烧器装配到如图1所示的玻璃加工机床上，用于加工具有尺寸为60mmΦ的预制件。这种类型的燃烧器将氢气从燃烧器的外围部分吹出，将氧气从燃烧器的内部吹出。两种气体都在燃烧器的尖端混合和燃烧。与实施例1相同，气体流入燃烧器并以初级加热、初级拉伸、次级加热和次级拉伸的顺序分别改变，移动燃烧器和尾架形成拉伸部分。
流入各自燃烧器的气体进量设计为氢气最大值100SLM和氧气最大值50SLM，并且同时供给到各个燃烧器的气体流率彼此相等。同时通过改变流入所有燃烧器中的气体来控制所得火焰的强度。流入每单元燃烧器的气体进量如下表所示，总的气体进量是下面所示气体进量的四倍。
表5
步骤 燃烧器中气体数量(SLM) 燃烧器的移动(mm) 尾架的移动
    氢气     氧气
  初级加热     80     40     0     0
  初级拉伸     60     30     5     10
  次级加热     20     10     5     10
  次级拉伸     15     7     20     30
当预制件在如上表5所示的条件下拉伸时，特别是在次级加热之后，火焰在一段长度的预制件上延伸，而不考虑实际流入燃烧器的气体减少这样的事实。结果，预制件直径减小的部分被完全加热，从而拉伸部分被拉长到120mm。
因此，依据本发明，火焰的密集度和强度能够根据预制件的加工方式和条件来适当地控制，从而可以产生满足不同预制件加工过程的火焰控制条件。当考虑到预制件的直径时，火焰的密集度或形状和强度能够适当地控制。采用相同的装置仅需改变预置的条件就能够将预制件加工成所需的形状。

Claims (17)

1、一种加工由玻璃加工机床的固定卡盘和活动卡盘支持的预制件的方法，该方法包括：提供一种类型的燃烧器，该燃烧器能够通过控制可燃气体和载气的流率来创造火焰控制条件，其中载气从至少一组被同轴地分为若干组的流出管道流出，所述若干组分别相对于气体流率是可控制的；和在所述火焰控制条件下加工预制件。
2、根据权利要求1的方法，其中所述流出管道的所述若干组设置在可燃气体通过的中空体内，所述若干组在中空体内由中空体的中心向其外围同轴排列，以及，所述流出管道以这种方式排列：使载气在每组中以可控制的方式通过流出管道。
3、根据权利要求1的方法，其中所述中空体由中空圆筒和同心布置在一端封闭另一端开放的中空圆筒内的若干组流出管道构成。
4、根据权利要求1的方法，其中所述若干组的数目是三。
5、根据权利要求1的方法，其中所述若干组的数目是四。
6、根据权利要求1的方法，其中供给到所述若干组和除所述燃烧器内部的流出管道外的空间的气体的流率，根据所要加工的预制件的直径，分别进行控制。
7、根据权利要求6的方法，其中气体的流率以步进或渐进的方式改变。
8、一种燃烧器系统，包括：包含供可燃气体通过的、一端封闭另一端开放的中空体，和供载气通过的、容纳在中空体内的若干组同轴排列的内部流出管道的结构体；气体流入管，其与所述中空体和每个都在各个气体流入管一端处的所述若干组分别连接；和气体源，所述气体源在气体流入管的另一端通过气体流入管与所述中空体和若干组分别连接，其中每一气体流入管具有一个用于控制通过其中的气体的流率的控制装置。
9、根据权利要求8的燃烧器系统，其中所述中空体由中空圆筒构成，所述若干组内部流出管道分别同心地排列在中空圆筒内。
10、根据权利要求9的燃烧器系统，其中所述内部流出管道被以同心的方式分为所述若干组。
11、根据权利要求9的燃烧器系统，其中所述若干组内部流出管道同心地设置在所述外部中空圆筒内，所述最内组包含最多三个管道。
12、根据权利要求11的燃烧器系统，其中所述最内组包含一个管道。
13、根据权利要求8的燃烧器系统，其中所述可燃气体从由氢气和烃气组成的组中选择，所述载气基本上由氧气组成。
14、根据权利要求8的燃烧器系统，其中所述可燃气体基本上由氢气组成。
15、根据权利要求8的燃烧器系统，其中所述控制装置由手动阀和质量流量控制器构成。
16、根据权利要求8的燃烧器系统，进一步包括控制单元，从该控制单元发出的控制信号传输到所述控制装置，用来控制通过所述控制装置供给的气体流率。
17、一种包括权利要求8所定义的燃烧器系统的预制件加工装置。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102225840A (zh) * 2011-04-14 2011-10-26 杭州余杭振华日化玻璃有限公司 玻璃容器火焰抛光机
CN105084753A (zh) * 2015-08-17 2015-11-25 浙江富通光纤技术有限公司 一种光纤预制棒的拉丝预处理装置及方法
CN105621878A (zh) * 2014-11-20 2016-06-01 信越化学工业株式会社 光纤原材料的拉拔加工方法
CN106892555A (zh) * 2017-02-15 2017-06-27 天津富通集团有限公司 大尺寸光纤预制棒的制造工艺
CN107037100A (zh) * 2015-08-28 2017-08-11 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司 一种用于自动化生产包括隔膜的玻璃体的方法
CN110510858A (zh) * 2018-08-21 2019-11-29 浙江长兴杭华玻璃有限公司 一种玻璃器皿360度直火去毛刺装置
CN110966607A (zh) * 2019-12-26 2020-04-07 中天科技精密材料有限公司 一种天然气辅助火焰处理燃烧器
CN111545144A (zh) * 2020-04-03 2020-08-18 南通三晶玻璃仪器有限公司 一种双层玻璃反应釜的制造方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4358088B2 (ja) * 2004-01-14 2009-11-04 株式会社フジクラ 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
JP2005272234A (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用ガラス母材の加工方法及び加工装置
US20060185399A1 (en) * 2005-02-23 2006-08-24 Samsung Electronics Co., Ltd Apparatus for fabricating optical fiber preform through external vapor deposition process
US7384191B2 (en) * 2005-05-26 2008-06-10 Harris Corporation Method and apparatus for measuring spatial temperature distribution of flames
JP5036193B2 (ja) * 2006-02-28 2012-09-26 信越化学工業株式会社 石英ガラス製バーナの火炎調整方法
JP2010529397A (ja) * 2007-05-31 2010-08-26 コーニング インコーポレイテッド 自蔵式火炎作業装置
JP2010064915A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Shin-Etsu Chemical Co Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP5500687B2 (ja) * 2010-12-02 2014-05-21 株式会社Ｓｕｍｃｏ シリカガラスルツボの製造方法および製造装置
KR101426158B1 (ko) * 2012-11-21 2014-08-01 삼성전자주식회사 광섬유 모재의 제조 장치
CN103615719A (zh) * 2013-11-22 2014-03-05 沈丽荣 一种有环形火孔的燃烧器头部
RU2542061C1 (ru) * 2013-12-16 2015-02-20 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" Способ изготовления заготовок для световодов
JP6351175B2 (ja) * 2015-03-10 2018-07-04 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材の加工方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4622007A (en) * 1984-08-17 1986-11-11 American Combustion, Inc. Variable heat generating method and apparatus
US5699183A (en) * 1993-02-10 1997-12-16 Nikon Corporation Silica glass member for UV-lithography, method for silica glass production, and method for silica glass member production
US5554022A (en) * 1994-10-14 1996-09-10 Xothermic, Inc. Burner apparatus and method
US5599371A (en) * 1994-12-30 1997-02-04 Corning Incorporated Method of using precision burners for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds
DE69931825T8 (de) * 1998-11-05 2007-09-20 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer Vorform und einer optischen Faser aus der Vorform
JP3045719B1 (ja) * 1999-02-01 2000-05-29 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材加工用バ―ナ
DE19914507A1 (de) * 1999-03-30 2000-10-05 Siecor Fertigungsgesellschaft Vorrichtung zur Wärmebehandlung eines Objektes

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102225840A (zh) * 2011-04-14 2011-10-26 杭州余杭振华日化玻璃有限公司 玻璃容器火焰抛光机
CN102225840B (zh) * 2011-04-14 2016-06-22 杭州余杭振华日化玻璃有限公司 玻璃容器火焰抛光机
CN105621878A (zh) * 2014-11-20 2016-06-01 信越化学工业株式会社 光纤原材料的拉拔加工方法
CN105084753A (zh) * 2015-08-17 2015-11-25 浙江富通光纤技术有限公司 一种光纤预制棒的拉丝预处理装置及方法
CN107037100A (zh) * 2015-08-28 2017-08-11 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司 一种用于自动化生产包括隔膜的玻璃体的方法
CN107037100B (zh) * 2015-08-28 2019-11-15 恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司 一种用于自动化生产包括隔膜的玻璃体的方法
CN106892555A (zh) * 2017-02-15 2017-06-27 天津富通集团有限公司 大尺寸光纤预制棒的制造工艺
CN106892555B (zh) * 2017-02-15 2019-05-24 天津富通集团有限公司 大尺寸光纤预制棒的制造工艺
CN110510858A (zh) * 2018-08-21 2019-11-29 浙江长兴杭华玻璃有限公司 一种玻璃器皿360度直火去毛刺装置
CN110966607A (zh) * 2019-12-26 2020-04-07 中天科技精密材料有限公司 一种天然气辅助火焰处理燃烧器
CN111545144A (zh) * 2020-04-03 2020-08-18 南通三晶玻璃仪器有限公司 一种双层玻璃反应釜的制造方法

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AU2003271385A1 (en) 2004-07-15
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JP2004203670A (ja) 2004-07-22
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EP1440946B1 (en) 2006-04-05
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EP1440946A3 (en) 2004-08-25
DE60304440T2 (de) 2006-10-05
TW200508163A (en) 2005-03-01

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