CN1514133A - 真空泵的控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空泵的控制装置，该真空泵(20)具有为使排气目标空间具有预定真空度而进行排气的泵机构(21)以及用于驱动该泵机构(21)的电动机(22)。在所述真空泵(20)每单位时间的负荷转矩的增加量发生急剧上升变化时，真空泵(20)的控制装置进行减速控制以使电动机(22)的旋转速度下降。

Description

真空泵的控制装置

技术领域

本发明涉及一种真空泵的控制装置，该真空泵具有为使排气目标空间成为预定真空度进行排气的泵机部分以及驱动该泵机部分的电动机部分。

背景技术

过去，例如特开平9-306972公报中公开的半导体制造装置是为人所熟知的，此型半导体制造装置设有与对晶片(基板)进行成膜处理等的处理室相对的负载锁定室。

在这种装置中，经过负载锁定室来在处理室和半导体制造装置的外部之间进行晶片的交换。在负载锁定室中，通过阀门来连接使所述舱成为预定真空度的真空泵。这种阀门具有能够从外部进行的操作而使负载锁定室与真空泵的压力连通或隔断的构造。

负载锁定室和处理室之间的晶片交换，在负载锁定室被隔断来自半导体制造装置外部的压力、并且利用真空泵使其达到预定真空度的状态下来进行。另一方面，在负载锁定室和半导体制造装置的外部之间的晶片交换，在负载锁定室被隔断来自处理室的压力并且返回到大气压的状态下进行。

而且，负载锁定室和半导体装置外部之间的晶片交换操作当中，通过在与负载锁定室隔断压力的处理室中进行成膜处理等，可以提高半导体制造的生产效率。

将大气压状态的负载锁定室再减压至预定真空度的时候，通过使阀门从关闭状态变为打开状态，使负载锁定室与真空泵连通，对负载锁定室进行排气。此时，在真空泵被驱动的状态下，在阀门从关闭状态切换到打开状态相时，由于真空泵内部从所述的预定真空度急剧升压至大气压，真空泵的压力负荷(有关排气的压力负荷)急剧增大。在采用电动机作为真空泵的驱动源时，与所述压力负荷急剧增大相伴而来的是，电动机的输出转矩也就是真空泵的负荷转矩急剧增大。

当真空泵的负荷转矩急剧增大时，为了避免真空泵的构成材料发生破损，需要用能使真空泵的负荷转矩不超过预定上限值的控制装置对电动机进行控制。这种控制状态可以例如参见图2(a)和图2(b)所示的时序图。图2(a)中虚线91显示的是采用同步电机类型的无电刷电机作为电动机时的驱动频率。图2(b)中虚线92显示的是向该电动机供给的电流值。该电流值与电动机的输出转矩也就是真空泵的负荷转矩的大小相关。

如图2(a)，(b)所示，在时间点t1时，所述阀门从关闭状态向打开状态切换，由此，与真空泵的压力负荷急剧增大相伴而来的是，提供给电动机的电流值急剧增大。也就是真空泵的负荷转矩急剧增大。

当判断在时间点t2处电动机的电流值达到预定的上限值i2时，控制装置使电动机的驱动频率从电动机旋转速度的高速侧的驱动频率fmax向低速侧的驱动频率fmin急剧降低。通过这样降低驱动频率，使电动机的旋转速度降低，由此抑制真空泵的压力负荷的增加，与此相伴地，限制电动机输出转矩也就是真空泵的负荷转矩不超过预定的上限值，也就是与供给电流的上限值i2相对应的转矩的上限值。

但是，在前述的控制状态中，虽然避免了因为真空泵负荷转矩过大导致的真空泵构成材料的破损，但是在阀门从关闭状态切换到打开状态时发生负荷转矩的急剧上升。此时在上升的开始时间点t1的前后，产生很大的负荷转矩的增加速度差，也就是，产生负荷转矩增加速度的急剧上升变化，并且这种增加速度大的状态一直持续到电动机的电流值达到预定的上限值i2时。

因此，在前述的控制状态中，虽然避免了真空泵负荷转矩的过大，但是由于产生了负荷转矩的急剧上升变化，并且在这种上升变化后继续所述增加速度大的状态，因此担心真空泵构成材料受到大的冲击。这就是前述构成材料破损的原因。

为了避免前述构成材料的破损，考虑对该构成材料进行增强而使其坚固。但是在这种情况下，会带来了真空泵体积大和重量沉的不便。

本发明的目的是，提供一种真空泵的控制装置，它不会因真空泵的增强而导致体积大和重量沉，可提高真空泵的耐用性。

发明内容

为了解决上述问题，本发明一实施方案中提供一种真空泵的控制装置，该装置在真空泵每单位时间的负荷转矩的增加量发生急剧的上升变化的时候，控制电动机部分的旋转速度向下减速。

例如，在真空泵处于操作状态时，当向排气目标空间导入外气而使该空间的压力急剧上升的情况下，与真空泵的压力负荷(有关排气的压力负荷)的增加相伴而来的是，电动机的输出转矩，也就是真空泵的负荷转矩显示出增加的倾向。在这种情况下，例如真空泵每单位时间内的负荷转矩增加量(真空泵的负荷转矩增加速度)从大约0的状态上升至超过某值的状态，也就是真空泵每单位时间内的负荷转矩增加量发生急剧的上升变化。

本发明的控制装置中，当真空泵每单位时间的负荷转矩增加量发生急剧的上升变化时，控制电动机部分的旋转速度向下减速。由此，在所述的负荷转矩上升时，因为真空泵每单位时间的负荷转矩增加量的急剧上升变化、以及在这种上升变化后真空泵每单位时间的负荷转矩增加量继续保持大的状态而使真空泵构成材料受到的冲击就都可以减小。而且不必为提高耐冲击性而对真空泵构成材料进行增强，也防止了因为这种增强导致的真空泵体积增加和重量增加。

与基于真空泵每单位时间负荷转矩增加量而进行减速控制的方案相比较，根据本发明的实施方案，关于真空泵每单位时间负荷转矩的增加量，可以正确把握其在预定时间内发生何种变化。“真空泵每单位时间负荷转矩增加量的变化率”表示，真空泵每单位时间负荷转矩的增加量在单位时间内的变化。

附图说明

图1是半导体制造装置及真空泵的概要图；

图2(a)是表示电动机的驱动频率的时序图；

图2(b)是表示电动机的电流值的时序图；

图3(a)和3(b)是另一示例的时序图，其中图3(a)是表示电动机的驱动频率的时序图，图3(b)是表示电动机的电流值的时序图。

具体实施方式

以下描述本发明的半导体制造装置中负载锁定室排气用的真空泵的具体实施方案。

如图1所示，在半导体制造装置11中，并设处理室12和负载锁定室13。在处理室12中，例如对晶片进行真空镀覆以及溅射等成膜处理。这种处理要用图中没有显示的排气装置使处理室12成为预定真空度下来进行。

半导体制造装置11的外部空间(大气压空间)和处理室12之间的晶片交换要通过负载锁定室13来进行。也就是，在两个室12和13之间，设有在所述晶片交换时进行交接晶片所经过的路径，在这个路径中间，设有可以使两个室12和13之间压力连接以及隔断的门阀14。另外，半导体制造装置11中，设有在负载锁定室13和半导体制造装置11的外部空间之间进行晶片交换的路径，在该路径的中途，设有可以使负载锁定室13和所述外部空间之间压力连接或者隔断的门阀15。

在半导体制造装置11中，通过排气路径16与真空泵20连接。真空泵20以负载锁定室13作为排气目标空间。在排气路径16中途，设有可以通过从外部操作而使负载锁定室13和真空泵20之间压力连接或者隔断的第一阀17。

负载锁定室13通过外气导入路径18与半导体制造装置11的外部空间相通。在外气导入路径18中途，设有可以通过从外部操作而使负载锁定室13与所述外部空间之间压力连接或者隔断的第二阀19。

真空泵20设有为使负载锁定室13成为预定真空度而对该舱13进行排气的泵机构21，以及驱动该泵机构21的电动机22。电动机22是同步电机类型的无电刷电机，具体的说是无电刷DC电机，通过从构成控制装置的变频器30供电而进行驱动。通过调节从变频器30提供的电流的驱动频率(旋转速度指令值)，来调节电动机22的旋转速度。

在本实施方案中，在利用变频器30以一定的电压驱动电动机22的同时，提供给电动机22的供给电流值与电动机22的输出也就是真空泵20的负荷转矩的大小相关。

变频器30设有带微型计算机的电子控制单元31(ECU)和电流检测器32。ECU31以及电流检测器32构成电机的控制装置。电流检测器32对提供给电动机22的供给电流值进行检测，将该检测信息提供给ECU31。电流检测器32构成对提供给电动机22的供给电流值进行检测的检测装置。ECU31根据从电流检测器32提供的检测信息，调节提供给电动机22的供给电流的驱动频率。

ECU31根据从电流检测器32得到的检测信息(也就是提供给电动机22的供给电流值)来计算电动机22的输出转矩也就是真空泵20的负荷转矩。ECU31根据该负荷转矩计算出真空泵20的每单位时间的负荷转矩增加量(以下为方便起见，称为真空泵20的负荷转矩增加速度)。ECU31每隔预定时间反复监视真空泵20的负荷转矩增加速度。

ECU31判断真空泵20负荷转矩增加速度大于预定值，以及判断真空泵20的负荷转矩增加速度发生急剧的上升变化。根据这种判断，为了降低真空泵20的负荷转矩增加速度，ECU31将提供给电动机22的供给电流的驱动频率向电动机22的旋转速度的低速侧改变，也就是降低驱动频率。这种控制称为减速控制。

尽管在判断了真空泵20的负荷转矩增加速度发生急剧的上升变化之后，ECU31仍继续监视真空泵20的负荷转矩增加速度。具体的说，本实施方案的ECU31只要在其操作状态下就继续反复进行前述检测。在根据前述检测而判断真空泵20的负荷转矩增加速度发生急剧的上升变化的情况下由ECU31进行所述减速控制的同时，将通过这种控制而降低的驱动频率维持到接着判断增加速度是否大于预定值的时刻为止。

在判断真空泵20的负荷转矩的增加速度发生急剧的上升变化的情况下，ECU31在不优先进行所述减速控制的限度内反复进行所述减速控制。减速控制的优先处理中，例如有使向电动机22提供的供给电流不超过上限值i2的调节处理。这一内容将在后面进行描述。

以下参考图2(a)和图2(b)的时序图描述前述构成的真空泵20的作用。图2(a)中的实线51表示向本实施方案的电动机22提供的供给电流的驱动频率。图2(b)的实线52表示向本实施方案的电动机22提供的供给电流值。

利用真空泵20使负载锁定室13与处理室12成为同样的预定真空度，同时在门阀14打开的状态下，在处理室12和负载锁定室13之间进行晶片的交接。此时，门阀15以及第二阀19是关闭的。

在门阀14、15是关闭的状态下第二阀19打开，使负载锁定室13处在与所述外部空间同样的压力(大气压)之后，在打开门阀15的状态下进行，在负载锁定室13和半导体制造装置11的外部空间之间的晶片交换。此时，第一阀17关闭。

例如在向负载锁定室13内搬入晶片之后，利用真空泵20使负载锁定室13成为预定真空度的时候，真空泵20也就是电动机22处于被驱动状态，第一阀17打开，开始给负载锁定室13排气。图2(a)和图2(b)中的时间点t1表示第一阀17打开的时间点，在该时间点之前，ECU31以电动机22的旋转速度的高速侧的驱动频率fmax驱动电动机22。

在时间点t1之前，第一阀17处于关闭状态，真空泵20的与排气有关的压力负荷大约为0，给电动机22提供的供给电流是最小值i1。

在时间点t1，第一阀17打开，处于大气压状态下的负载锁定室13内的气体向泵机构21内急速地导入，因此真空泵20的压力负荷急剧增大。与此相伴的是，电动机22的输出转矩也就是真空泵20的负荷转矩上升。即在图2(b)中，电流值从时间点t1上升。此时，电流值的增加速度也就是真空泵20的负荷转矩的增加速度从0开始向不是0的增加速度上升变化。也就是，在时间点t1以前，电流值是一定的，电流值的增加速度是0。

ECU31利用来自电流检测器32的检测信息，计算真空泵20的负荷转矩的增加速度，判断该增加速度是否大于预定值，以及判断真空泵20的负荷转矩的增加速度是否发生急剧的上升变化。根据这种判断，为了将负荷转矩的增加速度向预定的目标值、例如与图2(b)中以点划线表示的直线61相对应的负荷转矩增加速度降低，ECU31降低电动机22的旋转速度。也就是，ECU31进行电动机22的减速控制。

通过反复进行所述减速控制，ECU31降低给电动机22提供的供给电流的驱动频率。通过这种渐减处理，可以缓慢降低电动机22的旋转速度。也就是，利用ECU31，以时间点t1为起点，将驱动频率从驱动频率fmax缓慢降低。

由于降低了驱动频率，因此降低了电动机22的旋转速度。通过降低旋转速度，抑制了真空泵20的压力负荷的增加倾向，与此相伴的是，降低了真空泵20的负荷转矩的增加速度。

为了使向电动机22提供的供给电流值不超过上限值i2，ECU31对驱动频率进行调节。优先于上述减速控制进行这种调节处理。亦即，ECU31判断电流值到达预定上限值i2时，就将电动机22的驱动频率从该时间点(该实施方案中为时间点t3)的驱动频率f1向低速侧的驱动频率fmin急剧降低。

通过根据该驱动频率的急剧减小而降低电动机22的旋转速度，抑制了这种增加倾向，限制电动机22的输出转矩、也就是真空泵20的负荷转矩不超过与上限值i2相对应的上限转矩。而且，为了在电流值处于不超过上限值i2的范围内实现负载锁定室13的高效排气，ECU31对驱动频率进行调整，以尽可能将电动机22的旋转速度维持在高速，。

所述电流值的上限值i2是为了避免因为电动机22的输出转矩也就是真空泵22的负荷转矩过大导致真空泵20的构成材料破损来设定的。

随着利用真空泵20对负载锁定室13进行减压，真空泵20的压力负荷降低后，为了在电流值处于不超过上限值i2的范围内，尽可能使电动机的旋转速度成为高速，ECU31将驱动频率向驱动频率fmax增加(时间点t4-时间点t5之间)。此时，在本实施方案中，尽管驱动频率增加，但是仍显示伴随在真空泵20的压力负荷降低，真空泵20的负荷转矩(也就是电流值)减少的倾向。

在该实施方案中，获得以下的效果。

(1)在真空泵20的负荷转矩的增加速度发生急剧的上升变化的时候，ECU31对电动机22的旋转速度进行减速控制。这样，降低了真空泵20的负荷转矩上升时的增加速度。因此可以减小因为真空泵20的负荷转矩增加速度发生急剧的上升变化以及在该上升变化之后继续保持所述增加速度为大的状态而给真空泵20的构成材料带来的冲击。所以例如不必为了提高耐冲击性而对真空泵20的构成材料进行增强，可以防止因为增强所带来的真空泵20的大型化和重量化。

(2)ECU31根据给电动机22提供的供给电流值计算出真空泵20的负荷转矩。但是不必要设置用于检测真空泵负荷转矩的转矩传感器等特殊装置。这样可以降低成本并简化构造。

(3)ECU31每隔预定时间反复监视真空泵20的负荷转矩的增加速度，即使在判断真空泵20的负荷转矩增加速度发生急剧的上升变化之后，仍继续进行这种监视。即使在所述减速控制开始之后，仍可根据真空泵20的负荷转矩的增加速度的变化，对电动机22的旋转速度进行适当控制。

(4)当真空泵20的负荷转矩的增加速度大于预定值时，ECU31判断真空泵20的负荷转矩的增加速度发生急剧的上升变化，则进行所述的减速控制。这与用例如在预定时间点的真空泵20的负荷转矩的增加速度和与所述预定时间点不同的另一个预定时间点的所述增加速度之差来进行减速控制的方案相比，可以省去为了计算增加速度的差而进行的处理。也就是可以简化ECU31的计算，从而减轻了负担。

图2(b)的时序图中，在真空泵20的负荷转矩上升开始的时间点t1之前，因为真空泵20的有关排气的压力负荷大概是一定的(大约是0)，因此负荷转矩增加速度值也是一定的(0)。在这种情况下，通过判断负荷转矩的增加速度是否大于预定值，就可以正确判断负荷转矩的增加速度是否发生急剧的上升变动。因此在这种情况下，不必计算所述增加速度的差，就可以正确判断真空泵20的负荷转矩的增加速度是否发生急剧的上升变化。

(5)为了将真空泵20的负荷转矩增加速度朝着预定的目标值降低，ECU31进行所述减速控制。也就是为了使真空泵20的负荷转矩的增加速度与预定的目标值接近或者一致而进行控制。通过这种控制，真空泵20的负荷转矩上升时的增加速度可比传统技术中的增加速度降低。

(6)为了使真空泵20的负荷转矩不超过预定的上限值也就是不超过与供给电流的上限值i2相对应的负荷转矩的上限值，ECU31进行电动机22的控制。也就是利用ECU31来限制作用在真空泵20上的负荷转矩的最大值，从而可以避免因为过大的负荷转矩导致真空泵20的构成材料发生变形和破损等。

(7)利用ECU31进行的减速控制，是将向电动机22提供的供给电流的驱动频率向电动机22的旋转速度的低速侧改变。这样，通过将驱动频率向低速侧改变，降低了电动机22的旋转速度，与此相应，真空泵20的压力负荷降低。因为该压力负荷降低，因此实现了真空泵20的负荷转矩的增加速度的降低。

(8)电动机22是由同步电机类型的无电刷DC电机构成的。这样，与有电刷的电机相比较，容易将电动机22设置为耐久性高的电动机。另外，不管作用在真空泵20上的负荷转矩有多大，均可通过调节供给电流的驱动频率来调整电动机22的旋转速度。

(9)负载锁定室13是作为包围半导体制造装置11的大气压空间和处理室12之间交接晶片时的中转点的舱。负载锁定室13频繁的从预定真空度升压至大气压。也就是，对负载锁定室13进行排气的真空泵20中，频繁的发生与其压力负荷急剧增加相伴而来的负荷转矩的急剧增加。在这个方案中，采用有本实施方案的电机控制装置的变频器30，对真空泵20的耐用性的提高特别有效。

在不脱离本发明的精神的范围内，可以实施以下方案。

在上述实施方案中，在判断真空泵20的负荷转矩的增加速度大于预定值时，判断真空泵20的负荷转矩的增加速度发生急剧的上升变化，则ECU31对电动机22的旋转速度进行减速控制。作为这种方案的替代是，ECU31计算出关于真空泵20的负荷转矩增加速度的变化率，也就是每单位时间内上述增加速度的变化量，在判断这种计算结果大于预定值时，进行上述减速控制。这样，在真空泵20的负荷转矩在时间点t1之前的增加速度不是一定值的情况下，也可以正确的把握真空泵20的负荷转矩的增加速度在预定时间间隔内发生什么量的变化。

在这种情况下，例如ECU31计算出现在的负荷转矩的增加速度和从现在开始预定时间之前的时间点处的负荷转矩增加速度之间的差。当判断在从现在的负荷转矩的增加速度中减去预定时间之前的时间点处的负荷转矩的增加速度所得到的结果(增加速度差)大于预定值时，可以判断真空泵20的负荷转矩的增加速度发生急剧的上升变化。根据这种判断，ECU31为降低真空泵20的负荷转矩的增加速度而进行上述减速控制。

在利用ECU31将驱动频率降低的开始时间点(t1)至电动机22的电流值达到上限值i2的过程中，真空泵20的负荷转矩的增加速度没有必要设为线性的增加倾向。例如，从时间点t1的负荷转矩的增加速度比传统的低，随后到电流值达到上限值i2的过程中，负荷转矩的增加速度比传统的高。这样，例如就在真空泵20的负荷转矩刚刚上升之后，增加速度降低，而电流值达到上限值i2的时间却能比传统的更短。

为了将真空泵20的负荷转矩的增加速度变化率(每单位时间内上述增加速度的变化量)朝着预定的目标值降低，ECU31进行上述减速控制即可。在这种情况下，例如使图3(b)中点划线所示的曲线62相对应的负荷转矩的增加速度的变化率成为上述预定目标值。图3(a)是表示在这种情况下电动机22的驱动频率的时序图，图3(b)是表示电动机22的电流值的时序图。图3(a)中的虚线所示的线91与图2(a)相同，表示传统的电动机的驱动频率。图3(b)中虚线所示的线92与图2(b)相同，表示传统的电动机的电流值。

这样为了使真空泵20的负荷转矩的增加速度的变化率与预定的目标值接近或者一致而进行控制。通过这种控制，真空泵20的负荷转矩的至少上升开始时的增加速度比原来的增加速度降低。因此，在真空泵20的构成材料受到的冲击中，因为真空泵20的负荷转矩的增加速度的变化率导致的冲击可以变小。

可以在ECU31判断所述增加速度急剧发生上升变化之后立即停止，或者在从该判断结束时刻之后的预定时间之后停止利用ECU31监视真空泵20的负荷转矩的增加速度。这样一来，例如，与ECU31继续处于动作状态而反复进行所述监视的情况相比，停止所述监视可以减轻ECU31的负担。

另外，在这种情况下，也可以对利用ECU31进行所述减速控制的重复次数有所限制。这样，在真空泵20的负荷转矩上升时，真空泵20的构成材料受到的冲击小，虽如此却能够使电动机22的旋转速度尽早回到例如真空泵20的排气效率高的高的旋转速度。

另外，若设定电动机22的驱动频率的下限，同时不降至该下限之下地对电动机22进行驱动，则可以不必限制所述减速控制的重复次数。

电动机22的驱动频率降低时，可质该驱动频率不是逐渐减少而是从驱动频率fmax向驱动频率fmin急剧减少。在这种情况下，可以使真空泵20的负荷转矩上升时的增加速度降低。

也可以设置对电动机22提供的供给电流的上限值i2。也就是限制真空泵20中的负荷转矩的最大值。

例如，也可以为了检测真空泵负荷转矩而设置转矩传感器，以根据电动机22的供给电流以外的方法来掌握所述负荷转矩。

电动机22也可以由无电刷DC电机以外的同步电机类型的无电刷电机构成。这种电机的示例是，磁阻同步电机、步进电机、感应型同步电机、永磁体同步电机、磁滞同步电机等。并且，电动机22也可以采用电感电机类型的无电刷电机或者由上述电机之外的无电刷电机。另外，还可以采用有电刷电机，例如DC电机和通用电机等。

电动机22只要是可通过调节提供给电动机22的供给电流的电压值调节电动机22的旋转速度的类型即又。在这种情况下，所述电压值与旋转速度指令值相当。

在上述实施方案中，真空泵20是用于负载锁定室13的，但也可以用于处理室12。或者可以用于半导体制造装置11之外的装置。

上述实施方案是在负载锁定室13处于大气压状态下第一阀17打开的情况下以电动机22的控制为目标。但是不限于此。例如也可在电动机22起动时，为了降低真空泵20的负荷转矩的增加速度，进行电动机的减速控制。或者在本发明中，不只限于从真空泵20的负荷转矩的增加速度为0的状态上升，也包括在从比0大的增加速度向更大的增加速度上升时为了降低负荷转矩的增加速度，对电动机22进行减速控制的情况。

Claims (13)

1.一种真空泵控制装置，所述真空泵具有为使排气目标空间具有预定真空度而进行排气的泵机构以及用于驱动该泵机构的电动机，其特征在于，在所述真空泵每单位时间的负荷转矩的增加量发生急剧上升变化时，进行减速控制以使电动机的旋转速度下降。

2.如权利要求1所述的真空泵控制装置，其中根据提供给电动机的供给电流值而计算出所述真空泵的负荷转矩。

3.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中每隔预定时间反复监视所述真空泵每单位时间的负荷转矩的增加量，并且在判断了真空泵每单位时间的负荷转矩发生急剧上升变化之后继续这种监视。

4.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中在所述真空泵每单位时间的负荷转矩增加量大于预定值时，判断真空泵每单位时间的负荷转矩的增加量发生急剧的上升变化，进行所述减速控制。

5.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中在所述真空泵每单位时间的负荷转矩增加量的变化率大于预定值时，判断真空泵每单位时间内负荷转矩的增加量发生急剧的上升变化，进行所述减速控制。

6.如权利要求4所述的真空泵控制装置，其中为使所述真空泵每单位时间的负荷转矩增加量向预定目标值降低而进行所述减速控制。

7.如权利要求5所述的真空泵控制装置，其中为使所述真空泵每单位时间的负荷转矩增加量的变化率向预定目标值降低而进行所述减速控制。

8.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中为使所述真空泵的负荷转矩不超过预定上限值而进行电动机的控制。

9.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中所述电动机具有同步电机类型或者感应电机类型的无电刷电机结构。

10.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中所述真空泵以在半导体制造装置中与处理室并设的负载锁定室作为排气目标空间。

11.如权利要求1或2所述的真空泵控制装置，其中每隔预定时间反复监视所述真空泵每单位时间的负荷转矩增加量，并在判断了真空泵每单位时间负荷转矩增加量发生急剧上升变化之后停止这种监视。

12.如权利要求11所述的真空泵控制装置，其中限制所述减速控制的重复次数。

13.一种真空泵控制方法，所述真空泵具有为使排气目标空间具有预定真空度而进行排气的泵机构以及用于驱动该泵机构的电动机，其特征在于，在所述真空泵每单位时间的负荷转矩的增加量发生急剧上升变化时，进行减速控制以使电动机的旋转速度下降。

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