CN1432470A

CN1432470A - 丝网印刷机

Info

Publication number: CN1432470A
Application number: CN02124898A
Authority: CN
Inventors: 神田真治
Original assignee: Micro Tec Co Ltd
Current assignee: Micro Tec Co Ltd
Priority date: 2002-01-11
Filing date: 2002-06-24
Publication date: 2003-07-30
Anticipated expiration: 2022-06-24
Also published as: US6776089B2; HK1056341A1; US20030131742A1; JP2003205595A; CN1223456C; EP1344647A1; KR100610700B1; JP3825695B2; TW583095B; KR20030061276A

Abstract

课题：其目的是提高印刷精度。其另一个目的是，与现有技术相比，可以缩小丝网印版，压低丝网印版的成本。此外，另外一个目的是延长丝网印版的寿命。解决方案：在用丝网模版进行丝网印刷的丝网印刷机中，其特征为，它配备有：与上述丝网模版对向配置的工作台，将上述丝网模版与上述工作台之间的空间基本上密封的丝网密封部。

Description

丝网印刷机

技术领域

本发明涉及向基板进行导线布线的印刷及在腐蚀时的抗蚀剂的印刷等时使用的丝网(screen)印刷机，更详细地说，本发明涉及一种其特征为采用网孔与工件之间的气体的压力比网孔在刮板印刷面侧的气体压力高的丝网印刷方法的丝网印刷机。

现有技术

图9是表示现有技术的图示。

在图9中，1为丝网印版，3为刮板，5是丝网框，6是工件，8是油墨，10是工作台。

在现有技术的丝网印刷中，如图9所示，在丝网印版与所印刷的工件6之间，通常有2～6毫米的间隙，当向丝网印版1供应油墨8之后，一面利用刮板3向下方推压丝网印版1，将丝网印版1拉长，一面使作为加工基板的工件6与丝网印版1贴紧，把刮板移到靠近操纵者处，借助丝网印版的张力使丝网印版1离开作为加工基板的工件6，对作为加工基板的工件6进行印刷。

在现有技术的丝网印版1与工件6之间有2～6毫米的间隙进行印刷的方法中，由于将丝网印版1拉长进行印刷，所以存在着印刷精度差的问题，由于需要拉长丝网印版1进行印刷，所以需要加大丝网印版1，因此存在着提高丝网成本的问题，以及由于拉长丝网印版1进行印刷，因此存在着缩短丝网印版1的寿命的问题。

发明内容

本发明的目的是提高印刷精度。

同时，其目的还在于与现有技术的加工图形相比，可以制作小的丝网印版，压低丝网印版的成本。

此外，本发明的目的是延长丝网印版的寿命。

本发明的丝网印刷机，

在采用丝网模版进行丝网印刷的丝网印刷机中，其特征为，它配备有，

与上述丝网模版对向配置的工作台，

将上述丝网模版与上述工作台之间的空间基本上密封的丝网密封部，

上述丝网密封部具有相对于上述丝网模版配置的丝网支承部，以及

相对于上述工作台配置的密封辅助部。

此外，上述丝网印刷机，其特征为，它进一步配备有弹性体，

上述密封辅助部与上述工作台可自由滑动地配置，借助上述工作台中间经过上述弹性体压紧到上述丝网的支承部上。

此外，本发明的丝网印刷机的特征为，上述丝网密封部进一步具有衬垫材料，

上述丝网支承部具有形成环状的凸出部，上述凸出部中间经过衬垫材料压紧到上述密封辅助部上。

本发明的丝网印刷机

在利用丝网模版及刮板印刷配置在工作台上的工件、相当于上述丝网模版与上述工作台之间的空间提供比与对向配置的工作台相反侧具有的周围气体的压力高的气体的丝网印刷机中，其特征为，

它具有一个配置在上述工作台上、用于向上述丝网模版供应气体并且位于配置在上述工作台上的工件外侧的很长的长孔状的开口部，所述开口部至少形成于相对于上述刮板的印刷行进方向而言的前方及后方的至少其中的一个方向上，并且所述开口部在上述工作台的台面上相对于上述刮板的印刷行进方向而言基本成直角。

此外，上述丝网印刷机，其特征为，它进一步包括：调节上述气体的压力的调节器，以及

将由供应给上述丝网模版与上述工作台之间的空间的上述气体所提高的压力释放的释放阀。

此外，上述丝网印刷机，在利用刮板印刷工件的丝网印刷机中，其特征为，

上述工作台在配置在上述工作台上的工件的外侧，具有形成在相对于上述刮板的印刷行进方向的前方与后方中至少一个方向上、在工件侧以倾斜的角度向丝网模版供应气体用的供应孔。

此外，上述丝网印刷机的特征为，上述供应孔进而形成于配置在上述工作台的工件的外侧、相对上述刮板的印刷行进方向而言的两侧中至少其中的一个方向上，并向上述丝网模版供应气体。

此外，上述丝网印刷机的特征为，它进一步包括：

将供应给上述被大致密封的上述丝网模版与上述工作台之间的空间的上述气体进行过滤用的过滤器，以及

压缩气体生成部，用于提高由上述过滤器进行过过滤的上述气体的压力、将已提高压力的上述气体供应给上述供应口。

此外，上述丝网印刷机，在利用含有溶剂的油墨进行丝网印刷的丝网印刷机中，其特征为，

上述气体为含有上述溶剂的气体。

此外，上述丝网印刷机的特征为，它进一步配备有向由上述丝网模版与上述工作台与上述丝网密封部基本上密封起来的空间内供应气体用的供应孔。

附图的简单说明

图1、实施形式1的丝网印刷机工作台的俯视图。

图2、实施形式1的丝网印刷机工作台的剖视图。

图3、实施形式1的丝网印刷机工作台的剖视图。

图4、是表示省略丝网密封部的实施形式1的印刷时的状态的图示。

图5、压缩气体的配管系统图。

图6、用使丝网印版下部高于大气压的高压气体进行印刷的说明图。

图7、用使丝网印版上部比大气压低的低压气体进行印刷的说明图。

图8、在丝网印版上吹空气进行印刷的说明图。

图9、现有技术的丝网印刷的说明图。

图10、实施形式5的丝网印刷机工作台的俯视图。

图11、是表示图10的剖面A-A的图示。

图12、是实施形式6的丝网印刷机的工作台的俯视图。

图13、是表示图12的剖面B-B的图示。

图14、是压缩气体的循环流。

图15、是实施形式7的配管系统图。

发明的实施形式

实施形式1.

图1是实施形式1的丝网印刷机工作台部的俯视图。

在图1中，10是工作台，121作为供应孔的一个例子的开口部，123是吸引口。开口部121在工作台10的台面上在相对于印刷行进的方向大致垂直的方向形成很长的长孔状。吸引口123通过吸引将被印刷物配置固定到工作台上。开口部121形成于在利用吸引口123进行吸引把被印刷物固定到工作台上时，不与印刷物接触的位置处。形成长孔状的开口部121，其长度等于或大于工件6的上表面的四个边中相对于印刷行进方向而言靠近操作者侧的一个边的边长。即，开口部121向印刷行进方向至少具有超出配置在上述工作台上的工件的宽度以上的宽度。如后面将要谈及的，开口部121向丝网模版100供应气体。

图2是实施形式1的丝网印刷机工作台部的剖视图。

在图2中，1是丝网印版，5是丝网框，11是弹簧支架，100是丝网模版，131是丝网支承部，132是密封辅助部，133是凸出部，141是作为第一个衬垫材料的一个例子的海绵，142是作为第二个衬垫材料的一个例子的海绵，150是作为弹性体的一个例子的弹簧件。丝网模版100配备有丝网印版1和丝网框5。此外，丝网密封部配备有丝网支承部131与密封辅助部132。丝网支承部131配备有凸出部133。工作台10与图1相同。

在图2中，工作台10与丝网模版100对向配置。工作台10大致为四方柱形，密封辅助部132以动配合的方式保持在工作台10的侧面上。即，密封辅助部132可自由滑动地配置在工作台10上。密封辅助部132形成与工作台10一致的基本上为方形的框状，密封辅助部132借助其下面用多个螺钉固定到工作台10上的弹簧支架11经过多个弹簧件150保持在工作台10的侧面上。密封辅助部132中间经由其上表面与密封辅助部132的上表面形状相一致的大致为方形框状的海绵142利用丝网支承部131压紧加以保持。丝网支承部131固定到印刷机机体上。作为丝网支承部131的一部分的凸出部133以不从密封辅助部132的框超出到内侧及外侧的方式，形成大致的方形框的形状。凸出部133呈环状，为将海绵142压紧形成向下的凸起。通过形成向下的凸起，与用大的平面推压海绵142的情况相比，其推压面积小，相对于某个一定的推压力而言，比起用大的平面推压海绵142的情况来，可提高其压强。密封辅助部132利用弹簧件150的回弹力由弹簧支架11与中间经过海绵142的凸出部133进行夹持，压紧凸出部133。即，密封辅助部132利用工作台10经由弹性体压紧到上述丝网支承部131上。此外，相反地，上述凸出部经由海绵142压紧到上述密封辅助部132上。工作台10为了与被印刷物的尺寸相一致进行上下位置的调整而进行的移动，为了即使工作台10移动时密封辅助部132也压紧到凸出部133上，使用比工作台的移动量10大的伸缩量的弹簧件150。

从而，在凸出部133与密封辅助部132之间，即使工作台10移动也被密封(seal)。

丝网支承部131的上表面以夹持海绵141压紧海绵141的方式固定到丝网模版100的丝网框5上。海绵141形成大致的四方框的形状，以便与丝网支承部131及丝网框5相接触的形状一致。

从而，丝网支承部131与丝网框5之间被密封(seal)。

从而，丝网密封部将丝网模版100与上述工作台10之间的空间基本上密封。

图3是实施形式1的丝网印刷机的工作台的剖视图。

在图3中，122是作为供应孔的一个例子的压缩空气供应部。在图3中表示出了在图2中没有示出但图2中也有的压缩空气供应部122。工作台10也和图1，2中所示的相同。丝网模版100也与图2相同。压缩空气供应部122设在工作台10的下部，通过图1中所示的工作台10的上部开口部121向丝网模版100供应气体。

图4是表示省略丝网密封部的实施形式1的印刷机在印刷时的状态的图示。

在图4中，3是刮板，8是油墨，6是工件。开口部121与图1相同。丝网印版1，丝网框5，丝网模版100与图2相同。压缩空气供应部122与图3相同。工作台10与图1、图2及图3相同。

在图4中，借助刮板3从一面压紧工件6一面将油墨8挤出到工件6上的方式移动，印刷工件6。即，上述刮板3的印刷行进方向与图1中所说明的印刷方向相同。

在图4中，如图1的说明中所描述的，开口部121形成于当借助吸引口123的吸引将作为被印刷物的工件6固定到工作台上时不与工件6接触的位置处，也就是，开口部121形成于配置在工作台上的工件6的外侧、相对于上述刮板3的印刷行进方向而言后方的位置处。开口部121向丝网模版100提供由压缩空气供应部122供应的气体。如果借助所供应的气体使丝网印版1下部的环境气体的压力高于丝网印版1上部的环境气体的压力的话，也就是如果压力高于相对丝网模版100对向配置的工作台相反侧所具有的周围气体的压力的话，即使丝网印版1与工件6的间隙少，在利用刮板印刷时，也能够很容易地一面使丝网印版1与工件6脱离一面进行印刷。

这里，所供应的气体优选地为空气或氮气中的任何一种。为了不污染工件6，空气最好是净化空气。为了不污染工件6或作为惰性气体的氮气一样，也可以用氩气等。

图5是压缩空气的配管系统。

在图5中，200是调节器，210是作为释放阀的一个例子的阀，220是压缩气体生成供应部。压缩空气供应部122与图3，图4中的相同，压缩气体生成供应部220配备有调节器200及阀210。

在图5中，调节器200调节所供应的气体的压力。阀210在印刷后释放因供应给上述基本上密封的上述丝网模版100与上述工作台10之间的空间的上述气体引起的上升的压力。

压缩气体生成供应部220将压力比相对于上述丝网模版对向配置的工作台10的反向侧所具有的周围气体的压力高的气体供应给压缩空气供应部122。

如上所述，根据本实施形式1的丝网印刷机，是这样一种丝网印刷机，即，是利用丝网模版进行丝网印刷的丝网印刷机中，配备有

与上述丝网模版100对向配置的工作台10，

将上述丝网模版100与上述工作台10之间的空间基本上密封的丝网密封部。

此外，根据本实施形式1的丝网印刷机是这样一种丝网印刷机，即，

上述丝网密封部具有第一及第二衬垫材料，进而，上述丝网密封部具有：

中间经由上述第一衬垫材料相对于上述丝网模版100配置的丝网支承部131，以及

中间经由上述第二衬垫材料相对于上述丝网支承部131配置的密封辅助部132。

此外，根据本实施形式1的丝网印刷机进一步配备有弹性体，

上述密封辅助部132与上述工作台10可自由滑动地配置，并借助上述工作台中间经由上述弹性体压紧到上述丝网支承部131上。

此外，根据本实施形式1的上述丝网支承部131具有形成环状的凸出部133，上述凸出部133具有第二衬垫材料压紧到上述密封辅助部132上。

此外，根据本实施形式1的上述弹性体是弹簧件。

此外，根据本实施形式1的上述工作台10具有向上述丝网模版100供应气体的供应孔。

此外，根据本实施形式1的丝网印刷机，在利用刮板印刷工件6的丝网印刷机中，

上述供应孔位于配置在上述工作台10上的工件6的外侧，形成于相对刮板3的印刷行进方向的前方和后方中的至少一个方向处。

此外，根据本实施形式1的上述供应孔具有位于上述工作台台面上、相对于上述刮板3的印刷行进方向大致为直角的很长的长孔状的开口部320。

此外，根据本实施形式1的上述开口部320是指向上述刮板3的印刷行进方向、其宽度大于配置在上述工作台10上的工件6的宽度的开口部320。

此外，在本实施形式1的上述气体为空气或氮气中的任何一种。

此外，根据本实施形式1的上述丝网印刷机进一步配备有压缩气体生成供应部，上述压缩气体生成供应部供给高压气体，比起与上述丝网模版100对向配置的工作台10的相反侧所具有的周围气体的压力高的气体。

此外，根据本实施形式1的上述压缩气体生成供应部具有：调整上述气体的压力的调节器200，以及

将由于向上述基本上密封的上述丝网模版100与上述工作台10之间的空间所供应的上述气体而引起的上升的压力释放的释放阀。

实施形式2.

图6是利用使丝网印版下部相对于大气压高的气压进行印刷的说明图。

在图6中，1是丝网印版，3是刮板，5是丝网框，6是工件，10是工作台，12是压力保持框，13、15是高压气体供应管。在图6中的丝网印刷方法，是这样一种丝网印刷方法，即，在通过于丝网印版1与工件6之间导入高于大气压的压力的高压气体，使丝网印版1与工件6之间的气压高于丝网印版1在刮板3侧的气压进行印刷的方法中，在丝网印版1的丝网框5与工作台10之间设置压力保持框12，借助压力保持框12将丝网印版1与工作台10之间与丝网印版1的开口部以外密闭，从高压气体供应管15导入压力高于大气压的高压气体使丝网印版1与工件6之间的气压高于大气压。

将工件6与丝网印版1的间隙优选地设定在2毫米以下0.01毫米以上。

向丝网印版1供应油墨8，利用刮板3在工件6上进行印刷。

在印刷时，借助与大气压的压力差，总是在丝网印版1上作用有向工件6的相反侧鼓起的作用力，即使丝网印版1与工件6之间的间隙很小，在用刮板3进行印刷时也能够很容易地一面使印版1与工件6脱离一面进行印刷。

实施形式3.

图7是利用丝网印版的上部比大气压低的低气压进行印刷的说明图。

图7所示的是一种利用丝网印版1在刮板3侧的气压与大气压相比较为负压、使丝网印版1与工件6之间的气压高于丝网印版在刮板3侧的气压进行印刷的方法，在该方法中，设置压力保持箱20，以便将丝网印版1在工件6的相反侧的气压保持在降低气压的状态。

在压力保持箱20内，利用抽风机或真空泵等利用吸引管16进行吸引，使其内部的气压低于大气压。

优选地，工件6与印版1之间的间隙被设定为2毫米以下0.01毫米以上。

向丝网印版1供应油墨8，使用刮板3在工件6上进行印刷。

在印刷时，利用与大气压的压力差总是向丝网印版1上作用一个向工件6的相反侧鼓起的作用力，即使丝网印版1与工件6之间的间隙很少，在用刮板3印刷时，也可以很容易地一面使丝网印版1与工件6脱离一面进行印刷。

实施形式4.

图8表示一种通过在丝网印版1与工件6之间的间隙内、沿着刮板的行进方向或者沿着丝网印版1刮板行进的方向吹高压气体，在印刷时将丝网印版1与工件6脱离的方法。

在丝网印版1的下部设置气体喷嘴，以便在丝网印版1与工件6之间的间隙之间沿着刮板的行进方向或者沿着丝网印版1刮板行进的方向流过高压气体。

工件6与丝网印版1之间的间隙优选地设定在2毫米以下0.01毫米以上。

向丝网印版1供应油墨8，使用刮板3在工件6上进行印刷。

在印刷时，通过从气体喷嘴向丝网印版1上吹压力高于大气压的高压气体，使丝网印版1脱离工件6，即使丝网印版1与工件6之间的间隙很小，在用刮板3印刷时，可以一面很容易地使丝网印版1与工件6脱离一面进行印刷。

实施形式5.

图10是实施形式5的丝网印刷机的工作台部分的俯视图。

在图10中，300为孔(供应孔的一个例子)，301是狭缝。

图11是表示图10的剖面A-A的图示。

其他结构与实施形式1相同。

在图10、11中，工作台10除图1中所示的开口部121之外，还有另一个很长的长孔状的开口部121(供应孔的一个例子)，所述另一个开口部121位于配置在上述工作台10上的工件6的外侧，位于上述刮板3的印刷行进方向的前方，且基本上垂直于上述刮板3的印刷行进方向。

位于上述刮板3的印刷行进方向的前方或后方的两个开口部121形成方式为以向工件6侧倾斜的角度向上述丝网模版100的丝网印版1供应气体。即，其形成方式为，以倾斜的方式吹出气体，以便使气体流入丝网印版1与工作台10之间的间隙。在开口部121上，设置狭缝301，它可以用于调节流量，并且为了以向工件6侧倾斜的角度向上述丝网模版100的丝网印版1供应气体，将开口部121的上部的一部分堵塞。

此外，孔300位于配置在上述工作台10上的工件6的外侧，并形成于上述刮板3的印刷行进方向的两侧，向上述丝网模版100的丝网印版1供应气体。

孔300在两侧以规定的间隔设置多个，但只位于一侧也没有什么关系。此外，孔300向丝网印版1沿向上的方向供应气体。

这里，如图3所示，压缩气压供应部122可以位于一个部位处，也可以有多个供应孔。

如上所述，在实施形式5中，其特征为，为了从各个方向供应气体，设置多个气体供应孔。

此外，在实施形式1中，开口部121向丝网印版1向上方供应气体，而像实施形式5中的开口部121那样，则最好是为了气体流入丝网印版1与工作台10之间，以倾斜的方式吹出气体。

如上所述，则实施形式5中的上述丝网印刷机，在利用刮板3印刷工件6的丝网印刷机中，

上述供应孔位于配置在上述工作台10上的工件6的外侧，并形成于上述刮板3的印刷行进方向的前方和后方的至少其中的一个方向上。

此外，在实施形式5中的丝网印刷机中，在利用刮板3印刷工件6的丝网印刷机中，

上述工作台10具有以向工件6侧倾斜的角度向上述丝网模版100供应气体的供应孔，所述供应孔位于配置在上述工作台上的工件6的外侧，并形成于上述刮板3的印刷行进方向的前方与后方中的至少一个方向上。

此外，实施形式5中的上述供应孔进而形成与配置在上述工作台10上的工件6的外侧、相对于上述刮板3的印刷行进方向的两侧中至少其中的一侧上，向上述丝网模版100供应气体。

实施形式6.

图12是实施形式6的丝网印刷机的工作台部分的俯视图。

图13是表示图12的剖面B-B的图示。

在图13中，320是开口部。

在图12、13中，实施形式5中的前方与后方的开口部121分别被分割成两个。在工作台10的安装螺栓之间设置开口121。此外，代替实施形式5中的孔300，工作台10具有开口部320，该开口部320形成于相对于上述刮板3的印刷行进方向的两侧的上述工作台10的侧面上，向由上述丝网模版100与工作台10以及丝网支承部131以及海绵142包围起来的空间供应气体。即，开口部320向侧面吹出。

其它与实施形式5相同。

通过上述方式，对于规定的工作台10，可以加大印刷面积。

实施形式7.

图14是压缩气体的循环流。

在图14中，401是过滤器，402是压缩气体发生源(压缩气体生成部的一个例子)，403是印刷部。

实施形式7是一个循环系统，它将供应给上述基本上密封的上述丝网模版100与上述工作台10之间的空间的上述气体送往过滤器401，除去异物，即进行过滤，将利用上述过滤器401过滤过的上述气体送往压缩气体发生源402，提高气体的压力，把已提高压力的上述气体供应给位于印刷部403处的压缩空气供应部122。

在实施形式1中，从外部提供干空气或氮气生成压缩气体，将供应给装置的基本密封的空间的压缩气体借助阀210释放到外部，是一次性的。

但是，当总是使用从外部导入的空气及新的氮气时，与不用压缩气体时的情况相比有可能增大包含在油墨8中的挥发性溶剂等的蒸发量。

因此，如图14所示，可以构成循环系统使所供应的气体在装置内部循环。

图15是实施形式7的配管系统图。

图15中，501是泵(压缩气体生成部的一个例子)，502是阀，503是阀。401与图14一样，是过滤器。其它结构与图5一样。

在本实施形式7中，采用泵501，但也可以用抽风机。

开始时，打开阀503，关闭阀502。调节器200调节供应给压缩空气供应部122的气体的压力。当一旦供应气体时，关闭阀503，打开阀502。在印刷之后，阀210释放由于供应给上述基本上密封的上述丝网模版100与上述工作台10之间的空间的上述气体所引起的上升的压力。

被释放的气体在用过滤器401过滤后，被泵501压缩，经由阀502返回到调节器200，将曾经使用过的气体循环进行再利用。

在本实施形式7中，为了抑制含有油墨的挥发性的溶剂等的蒸发量，采用循环的方式，但除了循环方式以外，也可以使用就含有用于油墨8的溶剂的气体。

如上所述，根据本实施形式7的丝网印刷机配备有压缩气体生成供应部220，

上述压缩气体生成部220具有：

对供应给上述基本上密封的上述丝网模版100与上述工作台10之间的空间的气体进行过滤的过滤器401，以及，

压缩气体生成部，该压缩气体生成部提高利用上述过滤器过滤过的上述气体的压力、将已提高压力的上述气体供应给上述供应口。

此外，根据本实施形式7的丝网印刷机，在利用含有溶剂的油墨进行丝网印刷的丝网印刷机中，

上述气体是含有上述溶剂的气体。

实施例.

在20英寸的等离子体显示器的背面板上使用银浆形成地址电极。

将丝网印版1与玻璃基板的间隙设定为0.5毫米，在丝网框与吸附基板用的工作台的间隙之间设置压力保持框，在丝网框的下部利用高压气体供应管导入0.1Mpa压力的高压空气。

丝网印版1的尺寸设定成比印刷图形的尺寸约大80mm。

使用ナミックス(株)制的银浆，利用不锈钢320目的丝网进行印刷。

在现有技术中用3～5毫米大间隙间隙印刷，但在本实施例中即使间隙只有0.5毫米也没有问题，可以一面使玻璃基板与丝网印版脱离一面进行印刷。

如上面所述，通过使丝网印版1与工件6之间的气压高于丝网印版1在刮板印刷面侧的气压，向丝网网孔作用一个向与工件6相反方向鼓起的作用力，在用印版1借助刮板印刷工件6时，利用气体的压力差使工件6离开印版1，使得丝网网孔与基板之间的间隙比现有技术的间隙小也可以进行印刷。

作为使丝网印版1与工件6之间的气压高于印版1的刮板印刷侧的气压的方法，通过将丝网印版1和工件6之间与丝网印版1的开口部以外的外部密封，在印版1与工件6之间导入气压高于大气压的高压气体，使丝网印版1与工件6之间的压力高于大气压，也可以将刮板移动及刮板印刷面侧的丝网印版1的开口部以外的外部密闭利用抽风机或真空泵等使丝网印版1的刮板印刷面侧的气压与大气压力相比成为负压。

此外，作为利用高压气体在丝网印刷时使丝网印版1脱离工件6的方法，也可以向丝网印版1吹气压比大气压高的高压气体，使高压气体在丝网印版1与工件6之间的间隙沿刮板行进方向或者沿着丝网印版1在刮板的行进方向流动。

优选地，丝网午版1与工件6之间的间隙设定在2毫米以上0.01毫米以下。

如上所述，在上述各实施形式中，从印刷前开始供应气体，或者，通过使丝网印版1与工件6之间的压力相对于丝网印版1在刮板3接触侧的压力而言为负压，在印刷前、印刷时和印刷后的一系列动作中，除了用刮板3压紧的部分之外的部位，可以一面保持丝网印版1与工件6之间的小的间隙，一面进行印刷。

此外，在上述实施形式中，列举了从工作台10或丝网框5供应气体的例子，但并不局限于此。只要是将气体供应给丝网印版1与工件6之间的基本上密闭的空间，从哪里供应气体都可以。例如，可以从丝网支承部131，密封辅助部132，海绵141，142供应气体。

如上所述，根据各种实施形式的丝网印刷机，是一种其特征为配备有向由上述丝网模版100和上述工作台10以及上述丝网密封部基本上密封的空间内供应气体的供应孔的丝网印刷机。

在丝网印刷中，通过使丝网印版1与工件6之间的气体压力高于丝网印版1位于刮板印刷面侧的气压，在用丝网印刷1借助刮板在工件6上印刷时，借助气压的压力差使丝网印版1离开工件6，使得丝网网孔与基本之间的间隙小于现有技术中的所述间隙也能够进行印刷，提高丝网印版的寿命并且提高印刷精度。

1 丝网印版，3 刮板，5 丝网框，6 工件，8 油墨，10 工作台，11 弹簧支架，12 压力保持框，100 丝网模版，121 开口部，122 压缩空气供应部，123 吸引口，131 丝网支承部，132 密封辅助部，133凸出部，141、142 海绵，150 弹簧件，200 调节器，210 阀，220 压缩气体生成供应部，300 孔，301 狭缝，320 开口部，401 过滤器，402 压缩气体发生源，403 印刷部，501 泵，502 阀，503 阀。

Claims

1.丝网印刷机，在采用丝网模版进行丝网印刷的丝网印刷机中，它配备有，

与上述丝网模版对向配置的工作台，

相对于上述工作台配置的密封辅助部。

2.如权利要求1所述的丝网印刷机，其特征为，上述印刷机进一步配备有弹性体，上述密封辅助部与上述工作台可自由滑动地配置，借助上述工作台、经过上述弹性体压紧到上述丝网支承部上。

3.如权利要求1所述的丝网印刷机，其特征为，上述丝网密封部进一步具有衬垫材料，

上述丝网支承部具有形成环状的凸出部，上述凸出部经过衬垫材料压紧到上述密封辅助部上。

4.丝网印刷机，在利用丝网模版及刮板印刷配置在工作台上的工件、相当于上述丝网模版与上述工作台之间的空间提供比与对向配置的工作台相反侧具有的周围气体的压力高的气体的丝网印刷机中，

具有配置在上述工作台上、用于向上述丝网模版供应气体并且位于配置在上述工作台上的工件外侧的很长的长孔状的开口部，所述开口部至少形成于相对于上述刮板的印刷行进方向而言的前方及后方的至少其中的一个方向上，并且所述开口部在上述工作台的台面上相对于上述刮板的印刷行进方向而言基本成直角。

5.如权利要求4所述的丝网印刷机，其特征为，它进一步包括：调节上述气体的压力的调节器，以及

6.如权利要求1所述的丝网印刷机，在利用刮板印刷工件的丝网印刷机中，其特征为，

7.如权利要求6所述的丝网印刷机，其特征为，上述供应孔进而形成于配置在上述工作台的工件的外侧、相对上述刮板的印刷行进方向而言的两侧中的至少其中的一个方向上，并向上述丝网模版供应气体。

8.如权利要求5所述的丝网印刷机，其特征为，上述丝网印刷机进一步配备有：

9.如权利要求4所述的丝网印刷机，其特征为，在利用含有溶剂的油墨进行丝网印刷的丝网印刷机中，

上述气体为含有上述溶剂的气体。

10.如权利要求1所述的丝网印刷机，其特征为，上述丝网印刷机进一步配备有向由上述丝网模版与上述工作台与上述丝网密封部基本上密封起来的空间内供应气体用的供应孔。