CN1429994A

CN1429994A - 真空泵

Info

Publication number: CN1429994A
Application number: CN02154776A
Authority: CN
Inventors: 野中学; 三轮田透; 桦泽刚志
Original assignee: British Bock Edwards Tech Co Ltd
Current assignee: British Bock Edwards Tech Co Ltd
Priority date: 2001-12-04
Filing date: 2002-12-04
Publication date: 2003-07-16
Also published as: TW200300819A; KR20030045597A; US20030103847A1; JP2003172291A; EP1318308A3; EP1318308A2

Abstract

本发明提供防止在泵运转中的转动体的不平衡化、经过长时期还可得到稳定的动作的信赖性高成本低的真空泵。在泵壳(1)内设置有由多个圆筒体(4、5)呈同心圆状配置组成的多重圆筒体(2)、和在多重圆筒体(2)的中心轴线上可转动地设置的转子轴(8)，在形成多重圆筒体(2)的多个圆筒体(4、5)上分别形成安装部(10、11)的同时，通过此各安装部(10、11)，上述各圆筒体(4、5)被一体安装固定在转子轴(8)上。

Description

真空泵

技术领域

本发明是涉及用于半导体制造装置、电子显微镜、表面分析装置、质量分析装置、粒子加速器、核融合实验装置等的真空泵。

技术背景

目前作为这种真空泵，所知的是复合了涡轮分子泵和螺纹槽泵的形态的泵(以下称为[复合型真空泵])，在这样的复合型真空泵中，为提高泵的压缩比，且谋求泵整体的小型化，如图6或图7所示，螺纹槽泵的一连串的排气流路R1、R2、R3采用了折返构造。

在图6及图7所示的复合型真空泵中，由于螺纹槽泵的排气流路R1、R2、R3是如同图所示的折返构造，所以作为螺纹槽泵，将发挥机能的转子(旋转体)70的大致下半部分作成由2个圆筒体4、5构成的多重圆筒体2的构造，在其内外两圆筒体4、5之间与外侧圆筒体4的外侧上，设置带有螺纹槽的螺纹泵定子21、22。另外，在此图6及图7所示的复合型真空泵的情况下，在转子70的上半部分作为涡轮分子泵而发挥机能的构造的基础上，在该转子70的上部侧外周面上一体形成有多个转子叶片18。

在这里，如图6及图7所示的复合型真空泵的转子70都备有多重圆筒体2的构造和转子叶片18，关于如图6所示的复合型真空泵的转子70，是将由一个转子形成材料组成的多重圆筒体2和转子叶片18通过切削等切削成型，图7所示的复合型真空泵的转子70是在转子叶片18的最下段附近的后面，将2个圆筒体4、5通过粘接或烧嵌等安装接合的。

但是，在制造上述那样的备有多重圆筒体2的构造和转子叶片18的转子70时，在如前所述的将由一个转子形成材料组成的多重圆筒体2和转子叶片18通过切削等切削成型的方法中，由于切出的形状太过于复杂，所以转子70的成型加工非常困难，存在着导致泵整体的成本高的问题。

另外，在如上所述的在转子叶片18的最下段附近、在之后将2个圆筒体通过粘接或者烧嵌等安装的接合方法中，确保接合部的耐久性十分困难，需要很高的加工精度，从而导致泵整体的成本的提高。再有，在圆筒体4、5的安装接合部周边，即转子叶片18的最下段附近，在泵运转中特别是由于离心力而使位移变大，而且因泵运转中产生的压缩热在最下段的转子叶片18的附近也热膨胀而位移等，而使圆筒体4、5的安装过盈量变化，圆筒体4、5的安装状态变得不稳定，圆筒体4、5的转动中心从转子轴8及转子叶片18的转动中心轴线偏移，即，容易产生所谓的转子叶片18芯的偏移。若发生这样的转子叶片18芯的偏移，则转子70的不平衡增大，产生振动，使支撑转子70的轴承的寿命降低或发生破损。

特别是在圆筒体4、5和转子叶片18侧是由不同的材料形成的情况下，由于其不同材料之间的热膨胀率、弹性系数、泊松比的不同而产生的与位移差的关系，而使圆筒体4、5的安装状态更加不稳定化，转子70的不平衡化等就特别容易产生。

本发明就是为了解决上述问题点，其目的在于防止在泵运转中的转动体的不平衡化，提供一种经过长时期还可得到稳定的动作的信赖性高成本低的真空泵。

发明内容

为了达到上述目的，本发明的特征在于，有由多个圆筒体呈同心圆状配置而组成的多重圆筒体、和在上述多重圆筒体的中心轴线上可转动的设置的转子轴、及在与上述各圆筒体之间形成螺纹槽泵的排气流路的螺纹泵转子，在形成上述多重圆筒体的多个圆筒体上分别设置有安装部的同时，经此各安装部，上述各圆筒体被一体安装固定在转子轴上。

在本发明中，可以采用在上述转子轴的外周面上设有凸缘部，在构成上述多重圆筒体的各圆筒体中，在其每个圆筒体上，设置有向上述凸缘部侧的安装部的同时，上述各圆筒体的安装部和上述转子轴的凸缘部被一体接合的构造。

在如上所述的在转子轴的外周面上设有凸缘部构造的情况下，可以采用在上述凸缘部的表面侧上固定有上述外侧圆筒体的安装部的同时，在上述凸缘部的里侧上固定有上述内侧圆筒体的安装部的构成。

在如上所述的在转子轴的外周面上设有凸缘部构造的情况下，也可以采用在上述凸缘部的表面侧上配置上述内侧圆筒体的安装部后，在其安装部的上方配置上述外侧圆筒体的安装部的同时，通过贯通于此内外两圆筒体的两安装部的螺栓，将其两安装部拧紧固定在上述凸缘部侧的构成。

在如上所述的在转子轴的外周面上设有凸缘部构造的情况下，也可以采用在上述凸缘部设有阶梯部的同时，在此阶梯部的上段，将上述外侧圆筒体的安装部通过螺栓拧紧固定，另一方面，在该阶梯部的下段，将上述内侧圆筒体的安装部通过其他的螺栓拧紧固定的构成。

再有，在本发明中可以采用上述转子轴的前端部外周从转子轴的前端面侧到上述外侧圆筒体的安装位置形成锥状的同时，插入嵌合于此转子轴的锥部的锥孔，开设在上述外侧圆筒体的安装部上，通过上述锥孔与上述锥部嵌合的凹窝构造，上述转子轴与上述外侧圆筒体被一体接合的构成。

作为上述外侧圆筒体安装固定在上述转子轴的构造，可以采用在上述转子轴的前端面上，配置有与上述外侧圆筒体的安装部的锥孔周缘相接的推压环，且通过经此推压环的螺栓插孔将螺栓拧入转子轴的前端，而使上述外侧圆筒体安装固定在上述转子轴上的构成。

在本发明中可以采用转子轴的前端部外周，从转子轴的前端面侧经上述外侧圆筒体的安装位置到上述内侧圆筒体的安装位置之间，在形成锥状的同时，插入嵌合于此转子轴的锥部的锥孔，分别开设在上述外侧圆筒体和上述内侧圆筒体的各安装部上，通过上述锥孔与上述锥部嵌合的凹窝构造，上述转子轴和上述外侧圆筒体以及上述内侧圆筒体被一体接合的构成。

作为上述内侧圆筒体安装固定在上述转子轴的构成，可以采用作为上述转子轴的前端部外周，在比上述内侧圆筒体的安装位置稍高的位置上设置螺纹部的同时，通过从上述内侧圆筒体的安装部的上方拧紧上述螺纹部上的螺母，而使上述内侧圆筒体安装固定在上述转子轴上的构成。

另外，在本发明中也可以采用在上述多个圆筒体之中，在外侧圆筒体的外周上，交互设置有多个转子叶片和定子的叶片，且上述转子叶片被一体设置在外侧圆筒体的外周面上，上述定子叶片被安装固定在泵壳的内面的构成。

再有，在上述本发明中，有关上述多重圆筒体采用由外侧圆筒体和内侧圆筒体呈同心圆状配置的内外一对的圆筒体构成的构造，关于上述螺纹泵转子采用由在与上述外侧圆筒体的外周面呈对向位置上配置的第1螺纹泵定子，和配置在上述外侧圆筒体和内侧圆筒体之间的第2螺纹泵定子构成的构造，有关上述螺纹槽泵的排气流路采用由在上述第1螺纹泵定子和上述外侧圆筒体之间形成的第1气体排气流路，和在上述外侧圆筒体和上述第2螺纹泵定子之间形成的第2气体排气流路，及在上述第2螺纹泵定子和上述内侧圆筒体之间形成的第3气体排气流路构成的同时，还由上述第1气体排气流路和上述第2气体排气流路通过上述外侧圆筒体的下端部连通，上述第2气体排气流路和上述第3气体排气流路通过上述第2螺纹泵定子的上端部连通的构造。

附图说明

图1是表示有关本发明的真空泵的一个实施例的剖视图。

图2是表示有关本发明的真空泵的其他实施例的剖视图。

图3是表示有关本发明的真空泵的其他实施例的剖视图。

图4是表示有关本发明的真空泵的其他实施例的剖视图。

图5是表示有关本发明的真空泵的其他实施例的剖视图。

图6是原有的真空泵的剖视图。

图7是原有的真空泵的剖视图。

具体实施方式

下面，根据图1至图5详细说明将有关本发明的真空泵适用于复合型真空泵的实施例。

图1所示的复合型真空泵在圆筒状的泵壳1内作为旋转体配设有多重圆筒体2，此多重圆筒体2其上端侧与泵壳1上部的气体吸入口3侧面对配置。

在本实施例的情况下，上述多重圆筒体2是由2个圆筒体4、5呈同心圆状配置的2重的筒构造组成的，在这样的由内外一对的圆筒体4、5组成的多重圆筒体2的中心轴线上，通过径向轴承6和止推轴承7，转子轴8可转动地被立设。

转子轴8的上部侧外周面上一体设置有凸缘部9，另一方面，在构成多重圆筒体2的2个圆筒体4、5的上部侧中，在每个圆筒体上都设有向上述凸缘部9侧的安装部10、11，通过这样的各圆筒体4、5的安装部10、11与转子轴8的凸缘部9的一体接合，2个圆筒体4、5一体的被安装固定在转子轴8侧上。

关于上述那样的各圆筒体4、5和转子轴8的接合构造，经过了多种考虑，在本实施例中，作为其接合构造的一个方式的例子，是采用在内外两圆筒体4、5的各安装部10、11上开设安装孔10a、11a，通过此安装孔10a、11a，在转子轴8侧安装内外两圆筒体4、5的各安装部10、11的构成，和外侧圆筒体4的安装部10在凸缘部9的表面侧通过螺栓12拧紧固定，另一方面，内侧圆筒体5的安装部11在凸缘部9的里面侧通过其他的螺栓13拧紧固定而构成。

关于支撑转子轴8的径向轴承6和止推轴承7，在本实施例中，采用将径向轴承6和止推轴承7作为磁力轴承，通过此磁力轴承支撑转子轴8的径向和推力方向而构成。

转子轴8通过驱动马达14驱动转动。有关此驱动马达14的构造，在本实施例中，是在多重圆筒体2的内侧上设置的马达转子立柱15上，安装马达定子16的同时，在与此马达定子16面对的转子轴8的外周面侧上，设置马达转子17。

但是，在如图1所示的复合型真空泵的情况下，多重圆筒体2的大致上半部分作为涡轮分子泵而发挥机能，另一方面，多重圆筒体2的大致下半部分作为螺纹槽泵而发挥机能。

在这里，首先就作为涡轮分子泵而发挥机能的多重圆筒体2的大致上半部分的构成进行说明。

多重圆筒体2的上部侧外周，即内外一对的圆筒体4、5之中，在外侧圆筒体4的上部侧外周，设置有多个加工成叶片状的转子叶片18和定子叶片19，这些转子叶片18和定子叶片19沿多重圆筒体2的转动中心轴线被交互配设。

即，多重圆筒体2的上部侧外周，是在上下段的转子叶片18、18…之间配置定子叶片19、19…，另外，在上下段的定子叶片19、19…之间配置转子叶片18、18…而构成的。

转子叶片18通过与外侧圆筒体4的一体加工，在该外侧圆筒体4的上部侧外周面上被一体设置，且可以与内外两转动体4、5一体转动，定子叶片19在泵壳1的内面通过垫片20被安装固定。

在本实施例的复合型真空泵的情况下，若多重圆筒体2和转子轴8一体转动，则在多重圆筒体2的大致上半部分中，通过转子叶片18和定子叶片19的相互作用，从泵壳1上部的气体吸入口3侧向最下段的转子叶片18及定子叶片19侧，进行排出气体分子的动作。于是，此排出气体接着进入下一阶段，即输送到作为螺纹槽泵而发挥机能的多重圆筒体2的大致下半部分侧。

下面，对在如图1所示的复合型真空泵中的作为螺纹槽泵而发挥机能的多重圆筒体2的大致下半部分的构成进行说明。

多重圆筒体2如上所述是由内外一对的圆筒体4、5构成的。在这样的内外两圆筒体4、5之中，在与外侧圆筒体4的外周面相面对的位置上，配置有第1螺纹泵定子21，另外，在外侧圆筒体4和内侧圆筒体5之间，也配置有第2螺纹泵定子22。另外，第1及第2螺纹泵定子21、22均与构成多重圆筒体2的圆筒体4、5相同，形成圆筒形状。

在第1螺纹泵定子21中，其内面，即在与外侧圆筒体4的外周面相面对的面上形成螺纹槽23，另外，在第2螺纹泵定子22中，其内外两面，即在与外侧圆筒体4的内周面相面对的面和与内侧圆筒体5的外周面相面对的面上分别形成螺纹槽23、23。

在第1螺纹泵定子21和外侧圆筒体4之间形成第1气体排气流路R1，另外，在外侧圆筒体4和第2螺纹泵定子22之间形成第2气体排气流路R2，再有，在第2螺纹泵定子22和内侧圆筒体5之间形成第3气体排气流路R3。于是，第1气体排气流路R1和第2气体排气流路R2在外侧圆筒体4的下端部连通，第2气体排气流路R2和第3气体排气流路R3在第2螺纹泵定子22的上端部连通而构成。

在本实施例的复合型真空泵的情况下，若多重圆筒体2和转子轴8一体转动，则此多重圆筒体2的大致下半部分作为螺纹槽泵而发挥机能。即，在多重圆筒体2的大致下半部分中，通过2个圆筒体4、5与螺纹泵定子21、22侧的螺纹槽23、23、23的相对的运动，进行排出气体的动作。此时，若对排出的气体的流动进行说明，则如下所述。

排出的气体首先从最下段的转子叶片18及定子叶片19侧流入第1气体排气流路R1，且在图上其气体排气流路R1流向下方。于是，此向下方流动的气体在外侧圆筒体4的下端部侧反转180°折返后，流入第2气体排气流路R2，且在图上其气体排气流路R2是流向上方。接着此向上方流动的气体在第2螺纹泵定子22的上端部侧反转180°折返后，流入第3气体排气流路R3，且在图上其气体排气流路R3是流向下方，最后从内侧圆筒体5的下端部侧向气体排气口24侧转换排出。

在本实施例的复合型真空泵的情况下，如前所述，多重圆筒体2的大致下半部分作为螺纹槽泵而发挥机能，在此螺纹槽泵中的一连串的气体排气流路(气体排气流路R1、R2、R3)为在如上所述的上下两点，即外侧圆筒体4的下端部侧和第2螺纹泵定子22的上端部侧折返的构造。

另外，泵壳1上部侧的气体吸入口3，例如将半导体制造装置的处理腔等，与成为高真空的真空容器侧连接，泵壳1的下部侧的气体排气口24被设置为与没有图示的辅助泵侧连通。因此，本实施例的复合型真空泵是，通过转子叶片18和定子叶片19的相互作用进行排气动作的涡轮分子泵的机能部位于成为高真空的一侧，且通过内外两圆筒体4、5和螺纹槽23的相互作用，进行排气动作的螺纹槽泵的机能部位于没有图示的辅助泵一侧而构成的。

下面，就如上述构成的本实施例的复合型真空泵的使用例及动作利用图1进行说明。另外，图中的箭头表示的是在本泵内排出气体的流动方向。

同图的复合型真空泵可以作为例如是将半导体制造装置的处理腔内排为真空的方法来使用的，在此使用例的情况下，本泵是将泵壳1的气体吸入口3接续到处理腔侧。

在如上述接续的复合型真空泵中，使与气体排气口24连接的没有图示的辅助泵动作，将处理腔内抽真空达到一定的真空度后，若打开运转开始开关，则驱动马达14动作，多重圆筒体2及转子叶片18、18…与转子轴8一体转动。

在这种情况下，在涡轮分子泵机能部的气体分子的排气动作是，以高速旋转的最上段的转子叶片18对从气体吸入口3射入的气体分子付与气体排气口24方向的运动量，具有此向下方向运动量的气体分子被移送到定子叶片19，接着向下一个的下段的转子叶片18侧输送的动作，通过反复这样的运动量付与，气体分子从气体吸入口3侧向最下段的定子叶片19侧被转换排出。

再有，如上述的到达最下段的定子叶片19侧的气体分子，通过气体排气流路(气体排气流路R1、R2、R3)向气体排气口24侧转换，在此转换过程中，该气体分子通过圆筒体4、5与螺纹槽23的相对的运动，从转换流被压缩到滞流。于是，这样被压缩的气体从气体排气口24通过没有图示的辅助泵而被排出到泵外部。

在本实施例的复合型真空泵中，是采用在如上所述的形成多重圆筒体2的2个圆筒体4、5上分别设置安装部10、11的同时，通过此各安装部10、11，各圆筒体4、5被一体安装固定在转子轴8上的构造。因此，在制造由带有转子叶片18的外侧圆筒体4和不带转子叶片18的内侧圆筒体5构成的多重圆筒体2的旋转体(转子)时，没有必要象原来那样将由一种转子形成材料构成的多重圆筒构造的部分和转子叶片18通过切削等切削成型，在进行形成带有转子叶片18的外侧圆筒体4的加工、和不带转子叶片18的内侧圆筒体5的成形加工后，由于仅仅将其两外两圆筒体4、5组合成同心圆状，安装固定在转子轴8上就可以，所以与原有相比加工变得简单，可以谋求泵整体的成本的减低。

另外，在泵运转中，由于泵压缩热等，转子轴8的位移与转子叶片18等相比较小，在本实施例中，由于采用了在其位移小的转子轴8上安装固定各圆筒体4、5的构造，所以施加在圆筒体4、5的安装固定部上的负荷小，可以长期稳定地维持各圆筒体4、5的安装状态，可以防止由于其安装状态不稳定而产生的故障，例如，一体设置在外侧圆筒体4上的转子叶片18的转动中心轴线，从转子轴8及转子叶片18的几何学的中心轴线上偏移，即所谓的转子叶片18的芯偏移、或据此而产生的多重圆筒体2的不平衡化，从而得到有长期稳定的动作的信赖性的高的真空泵。

但是，有关圆筒体4、5和转子轴8的接合构造，除图1所示的上述实施例外，也可以采用图2至图5所示的其他的接合构造，在采用这些接合构造的情况下，也可以得到同上述相同的效果。

图2的接合构造是在凸缘部9的表面侧配置内侧圆筒体5的安装部11后，从其上侧配置外侧圆筒体4的安装部10的同时，通过贯通于其内外两圆筒体4、5的安装部10、11的螺栓12，将该安装部10、11拧紧固定在转子轴8的凸缘部9侧的构造。

图3的接合构造是在凸缘部9上设置阶梯部25的同时，在此阶梯部25的上段25a上，外侧圆筒体4的安装部10通过一个螺栓12拧紧固定，另一方面，在该阶梯部25的下段25b上，内侧圆筒体5的安装部11通过另外的螺栓13拧紧固定的构造。

图4的接合构造是将外侧圆筒体4的安装部10通过螺栓12拧紧固定在转子轴8的前端中央部的中央锁止构造。在此中央锁止构造的情况下，转子轴8的前端部的外周从转子轴前端面侧到外侧圆筒体4的安装位置形成锥状，且插入嵌合于这样的转子轴8的锥部26的锥孔27，开设在外侧圆筒体4的安装部10上，通过其锥孔27和锥部26嵌合的凹窝构造，转子轴8和外侧圆筒体4被一体接合。

在此图4的接合构造中，在将外侧圆筒体4安装固定到转子轴8上时，通过外侧圆筒体4的安装部10的锥孔27，将外侧圆筒体4的安装部10安装到转子轴8的外侧圆筒体4的安装位置后，将与其安装部10的锥孔27周缘相接的推压环28配置在转子轴8的前端面，且经该推压环28的螺栓插入孔，将螺栓12拧入转子轴8的前端即可。这样，通过推压环28，此拧入力作用于外侧圆筒体4的安装部10，且在锥部26和锥孔27之间产生斜楔效果，据此，外侧圆筒体4坚固地拧紧固定在转子轴8上。

另外，在此图4的接合构造中，内侧圆筒体5不采用外侧圆筒体4那样的中央锁止构造，而采用将其圆筒体5的安装部11通过螺栓13拧紧固定在转子轴8外周面的凸缘部9上的构造。

图5的接合构造是有关内外两圆筒体4、5双方均采用了中央锁止构造。在此构造的情况下，转子轴8的前端部外周从转子轴前端面侧经外侧圆筒体4的安装位置到内侧圆筒体5的安装位置之间形成锥状，且插入嵌合于这样的转子轴8的锥部26的锥孔27开设在内侧圆筒体5的安装部上，通过此锥孔27和锥部26嵌合的凹窝构造，转子轴8和内侧圆筒体5被一体接合。另外，在转子轴8的前端部外周，在较之内侧圆筒体5的安装位置稍高的位置上形成螺纹部30，形成螺母31嵌合于此螺纹部30的构造。

在此图5的接合构造中，在将内侧圆筒体5安装固定到转子轴8上时，通过内侧圆筒体5的安装部10的锥孔27，将内侧圆筒体5的安装部11安装到转子轴8的内侧圆筒体5的安装位置后，只要从此安装部11的上方拧紧螺纹部30上的螺母31即可。这样一来，由于螺母31的拧紧力在锥部26和锥孔27之间产生斜楔效果，据此内侧圆筒体5被牢固地拧紧固定在转子轴8上。另外，有关外侧圆筒体4的中央锁止构造，由于与图4所示的例相同，所以省略其详细的说明。

另外，在上述实施例中，就在螺纹泵转子21、22侧上形成的螺纹槽23的例子进行了说明，代替这个，也可以采用在圆筒体4、5侧上形成螺纹槽23的构造。

在上述实施例中，就有关采用由2个圆筒体4、5组成的多重圆筒体2的例子进行了说明，本发明也适用于由两个以上的圆筒体呈同心圆状配置所组成的多重圆筒体，构成多重圆筒体的圆筒体个数不限于2个。

另外，在上述实施例中，多重圆筒体2的上半部分是作为涡轮分子泵发挥机能的，多重圆筒体2的下半部分是作为螺纹槽泵发挥机能的，就所谓复合型真空泵的例子进行了说明，本发明是多重圆筒体2的全体作为涡轮分子泵而发挥机能的构造，即，转子叶片18设置在外侧圆筒体4的全外周面上，所谓的全叶片型的真空泵，或在外侧圆筒体4的全外周面的任何位置都没有转子叶片18，还可以适用于仅有作为螺纹槽泵发挥机能的构造的真空泵。

在本发明中，如上所述，是采用了在形成多重圆筒体的多个圆筒体上分别设置安装部的同时，通过此各安装部，上述各圆筒体被一体安装固定在转子轴上的构造。因此，例如在制造由带有转子叶片的外侧圆筒体和不带转子叶片的内侧圆筒体构成的多重圆筒体的旋转体(转子)的情况下，没有必要象原来那样将由一种转子形成材料构成的多重圆筒构造的部分和转子叶片通过切削等切削成型，由于分别进行加工形成带有转子叶片的外侧圆筒体、和不带转子叶片的内侧圆筒体的成形加工后，仅将其两圆筒体组合成同心圆状，安装固定在转子轴上就可以，所以与原有相比加工变得简单，可以谋求泵整体的成本的减低。

在泵运转中，根据泵压缩热等的转子轴的位移与转子叶片等相比较小，在本发明中，由于在其位移小的转子轴上安装固定了各圆筒体，所以施加在圆筒体的固定部上的负荷小，可以长期稳定的维持各圆筒体的安装状态，可以防止由于其安装固定状态不稳定而产生的故障，例如，在构成多重圆筒体的外侧圆筒体上有转子叶片，此转子叶片的转动中心轴线，从转子轴及转子叶片的几何学的中心轴线上偏移，即所谓的转子叶片的芯偏移、或据此而产生的多重圆筒体的不平衡化，从而得到具有长期稳定的动作的信赖性的高的真空泵。

Claims

1.一种真空泵，其特征在于，具有由多个圆筒体呈同心圆状配置而组成的多重圆筒体、和在上述多重圆筒体的中心轴线上可转动地设置的转子轴、及在与上述各圆筒体之间形成螺纹槽泵的排气流路的螺纹泵转子，在形成上述多重圆筒体的多个圆筒体上分别设置有安装部的同时，通过此各安装部，上述各圆筒体被一体安装固定在转子轴上。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述转子轴的外周面上设有凸缘部，在构成上述多重圆筒体的各圆筒体中，在其每个圆筒体上，设置向上述凸缘部侧的安装部的同时，上述各圆筒体的安装部和上述转子轴的凸缘部被一体接合。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，在上述凸缘部的表面侧上固定有上述外侧圆筒体的安装部的同时，在上述凸缘部的里侧上固定有上述内侧圆筒体的安装部。

4.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，在上述凸缘部的表面侧上配置上述内侧圆筒体的安装部后，在其安装部的上方配置上述外侧圆筒体的安装部的同时，通过贯通于此内外两圆筒体的两安装部的螺栓，将其两安装部拧紧固定在上述凸缘部侧。

5.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，在上述凸缘部设有阶梯部的同时，在此阶梯部的上段，将上述外侧圆筒体的安装部通过螺栓拧紧固定，另一方面，在该阶梯部的下段，将上述内侧圆筒体的安装部通过其他的螺栓拧紧固定。

6.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述转子轴的前端部外周从转子轴的前端面侧到上述外侧圆筒体的安装位置形成锥状的同时，插入嵌合于此转子轴的锥部的锥孔，开设在上述外侧圆筒体的安装部上，通过上述锥孔与上述锥部嵌合的凹窝构造，上述转子轴与上述外侧圆筒体被一体接合。

7.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，在上述转子轴的前端面上，配置有与上述外侧圆筒体的安装部的锥孔周缘抵接的推压环，且通过经此推压环的螺栓插入孔将螺栓拧入转子轴的前端，而使上述外侧圆筒体安装固定在上述转子轴上。

8.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述转子轴的前端部外周，从转子轴的前端面侧经上述外侧圆筒体的安装位置到上述内侧圆筒体的安装位置之间，在形成锥状的同时，插入嵌合于此转子轴的锥部的锥孔，分别开设在上述外侧圆筒体和上述内侧圆筒体的各安装部上，通过上述锥孔与上述锥部嵌合的凹窝构造，上述转子轴和上述外侧圆筒体以及上述内侧圆筒体被一体接合。

9.如权利要求8所述的真空泵，其特征在于，在上述转子轴的前端部外周，在比上述内侧圆筒体的安装位置稍高的位置上设置螺纹部的同时，通过从上述内侧圆筒体的安装部的上方拧紧上述螺纹部上的螺母，而使上述内侧圆筒体安装固定在上述转子轴上。

10.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，在上述多个圆筒体之中，在外侧圆筒体的外周上，交互设置有多个转子叶片和定子叶片，且上述转子叶片被一体设置在外侧圆筒体的外周面上，上述定子叶片被安装固定在泵壳的内面。

11.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，上述多重圆筒体由外侧圆筒体和内侧圆筒体呈同心圆状配置的内外一对的圆筒体构成，上述螺纹泵定子由配置在与上述外侧圆筒体的外周面相面对的位置上的第1螺纹泵定子、和配置在上述外侧圆筒体和内侧圆筒体之间的第2螺纹泵定子构成；上述螺纹槽泵的排气流路由形成在上述第1螺纹泵定子和上述外侧圆筒体之间的第1气体排气流路、和形成在上述外侧圆筒体和上述第2螺纹泵定子之间的第2气体排气流路，及形成在上述第2螺纹泵定子和上述内侧圆筒体之间的第3气体排气流路构成的同时，还由上述第1气体排气流路和上述第2气体排气流路通过上述外侧圆筒体的下端部连通，上述第2气体排气流路和上述第3气体排气流路通过上述第2螺纹泵定子的上端部连通的构造所构成。