CN1391424A - 有机el显示器及其制造方法 - Google Patents
有机el显示器及其制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1391424A CN1391424A CN02122124A CN02122124A CN1391424A CN 1391424 A CN1391424 A CN 1391424A CN 02122124 A CN02122124 A CN 02122124A CN 02122124 A CN02122124 A CN 02122124A CN 1391424 A CN1391424 A CN 1391424A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- electrode
- organic layer
- color
- electron transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 255
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 102
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 claims description 84
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 45
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 15
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 15
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 abstract description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
- H10K59/353—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels characterised by the geometrical arrangement of the RGB subpixels
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本发明涉及一种进行全彩色显示的有机EL显示器，消除了形成于有机层上的第2电极的局部的不良电阻和切断。该有机EL显示器是按照跨于多个第1电极之间的方式，在第1电极和绝缘膜上，形成空穴注入层和空穴传输层。选择各种颜色的区域，在不同的区域，分别形成发光层，电子传输层，电子注入层，由该空穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，电子注入层形成的有机层按照将针对每种颜色而选择的区域连接的方式，形成连续层。使每种颜色的有机层的膜厚不同以便调整发光效率，由此，在有机层表面，形成台阶部，设定第2电极的膜厚大于发光层和电子传输层之和的总厚度的最大值。
Description
技术领域
本发明涉及一种有机EL(电致发光)显示器及其制造方法，更具体地说，本发明涉及一种具有用于进行全彩色显示的结构的有机EL显示器及其制造方法。
背景技术
有机EL显示器以有机EL元件作为基本组件，通过点亮或不点亮形成于平面基板上的有机EL元件，进行图象显示。有机EL元件是指使规定面积的电极对向设置，其中一个作为施加正电压的阳极，另一个作为施加负电压的阴极，在该电极之间设置有具有由有机发光材料形成的发光层的有机层，其是通过在电极之间施加电压，分别从阴极注入电子、从阳极注入空穴到发光层中，通过在该发光层中电子与空穴的再次耦合而实现发光的面发光组件。该有机EL元件作为单位面发光组件，在平面基板上形成为矩阵状，通过点阵驱动该组件，可以形成能够显示高精细图象的平板显示器。
另外，根据有机发光材料的研究，人们开发了表示色纯度较高的R，G，B的各发光颜色的有机EL元件，从而由此开发了针对每个像素配置所述的各种颜色发光元件，进行全彩色显示的有机EL显示器。图4和图5表示其一个实例，其表示通过点阵驱动进行全彩色显示的有机EL显示器的结构。图4是表示该结构的说明图，图5是图4中的x-x剖视的示意图。
在这些附图中，在由透明的玻璃等形成的基板1上，在晶体管区域T中，形成有TFT的半导体层，另外，由ITO等的透明导电材料形成的多个第1电极2(阳极)针对每个像素独立地形成。在该第1电极2之间的基板1上，沿1个方向，形成数据行L1和电源行L2，沿与它们垂直的方向，形成扫描行L3。另外，在形成有所述各行的第1电极2之间，形成由聚酰亚胺等形成的绝缘膜3。另外，在该第1电极2上，形成有多个有机层4，形成有覆盖于该有机层4上面、由Al等形成的第2电极(阴极)5。
下面通过图5对形成于第1电极2上的有机层4的结构进行描述(在这里，省略上述各行L1，L2，L3)，在基板1上的第1电极2和绝缘膜3上，形成空穴注入层40和空穴传输层41，在该空穴传输层41上，选择形成第1颜色的第1电极2上的区域，在该区域上，依次形成第1发光层42a，电子传输层43a，电子注入层44a。另外，在作为第2颜色而选择的第1电极2上的区域，依次形成第2发光层42b，电子传输层43b，电子注入层44b，在作为第3颜色而选择的第1电极2上的区域，依次形成第3发光层42c，电子传输层43c，电子注入层44c。另外，连接形成于针对每种颜色而选择的区域的有机层而形成有机层4，以覆盖于该有机层4上的方式，形成第2电极5，在该第2电极5和第1电极2的交叉区域，形成各种颜色的发光区域45a，45b，45c。
在这里，为了完全包括发光区域45a，45b，45c，上述有机层4以不仅仅重合于第1电极2上，而且还重合于绝缘膜3上的方式形成，由此，确保充分的发光量。另外，为了在有机层4上覆盖，形成第2电极5，必须确保层的连续性，为此，将针对每种颜色而选择的区域连接而形成连续的层。
在上面的描述中，以有源矩阵型的有机EL显示器为实例进行了描述，但是纯矩阵(无源)型的有机EL显示器的本身结构也没有大的差别。在此场合，在由透明的玻璃等形成的基板1上，由ITO等的透明导电材料形成的多个第1电极2(阳极)呈条带状，在这些第1电极2之间，形成由聚酰亚胺等形成的绝缘膜3。另外，按照与该第1电极2相垂直的方式，呈条带状形成多个有机层4，按照在有机层4上覆盖的方式，呈条带状形成由Al等形成的第2电极(阴极)5。
在上述的有机EL显示器中，为了进行色平衡性良好的全彩色显示，针对与红(R)，绿(G)，蓝(B)的各种颜色相对应的，第1发光层42a，电子传输层43a，电子注入层44a，第2发光层42b，电子传输层43b，电子注入层44b，以及第3发光层42c，电子传输层43c，电子注入层44c，针对每种颜色形成不同的膜厚。该情况是考虑到针对每种颜色，有机发光材料的发光效率不同的情况，相对发光效率较低的颜色，形成较大的膜厚，按照相对同一驱动电压和电压外加时间，每种颜色的发光量不产生差别的方式设定上述膜厚。在图5所示的实例中，使发光层和电子传输层的膜厚不同，考虑各种颜色的发光效率，按照ta＞tb＞tc的方式，设定第1颜色的膜厚ta，第2颜色的膜厚tb，第3颜色的膜厚tc。层厚的设定通过调整成形时的蒸镀时间而进行。
在象这样调整发光效率的有机EL显示器中，象图5中的a1～a4的各部分所示的那样，在针对每种颜色而选择的区域的边界部分，在有机层4的表面，产生台阶部。与此相对，对于形成于有机层4上的第2电极5，通常，与各有机层的成形相同，在基板的正下方设置蒸镀源，蒸镀电极材料，由此，在形成台阶部的边界部分，不能形成必要的厚度的电极层。
由此，在形成有该台阶部的部分，第2电极5的层厚在局部处较薄，电阻值变大，造成各种颜色的发光特性的降低，另外，象a1和a4的各部分所示的那样，在台阶部较大的部分，在第2电极5上，产生切断，由此，还造成非发光部分的产生。如果给出具体实例，设定发光层为R＝40nm，G＝30nm，B＝25nm，电子传输层为R＝40nm，G＝25nm，B＝20nm，进行蒸镀，在对电子注入层进行蒸镀后，将第2电极设定为60nm，在基板的正下方设置蒸镀源，进行蒸镀时，确认有发光不良，或非发光的部位。
即，在已有的进行全彩色显示的有机EL显示器中，在形成第2电极的有机层的表面形成为平坦的情况下，具有下述问题，即，在各种颜色的发光层中，产生发光效率的差别，难于获得所要求的色平衡和对比度，为了消除该问题，在各种颜色的发光层，或电子传输层中形成膜厚的差别的情况下，使形成于有机层上的第2电极的膜厚在局部变薄，则产生发生显示不良，像素缺陷的不利情况，由此，不能够充分的显示高质量的图象。
发明内容
本发明是为了解决这样的问题而提出的，本发明的目的在于提供一种具有用于进行高品质的全彩色显示的结构的有机EL显示器及其制造方法。
为了实现上述目的，本发明具有下述的特征。
本发明所述的有机EL显示器，所述有机EL显示器包括多个第1电极，所述多个第1电极形成于基板上；有机层，所述有机层具有形成于所述第1电极上的空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；第2电极，所述第2电极按照覆盖于所述有机层上的方式形成，其中，所述有机层形成于针对每种颜色而选择的区域之连接层上，所述第2电极的膜厚大于所述有机层中的发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。
本发明所述的有机EL显示器，所述有机EL显示器包括多个第1电极，所述多个第1电极形成于基板上；有机层，所述有机层具有形成于所述第1电极上的空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；第2电极，所述第2电极按照覆盖于所述有机层上的方式形成，其中，所述有机层形成于针对每种颜色而选择的区域之连接层上，所述电子传输层由形成于针对每种颜色而选择的区域的第1层，和按照各种颜色共享的方式形成的第2层形成。
本发明所述的有机EL显示器的制造方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成多个第1电极；在所述第1电极上形成有机层，所述有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；按照覆盖于所述有机层上的方式形成第2电极，其中，在针对每种颜色而选择的区域之连接层上形成所述有机层，按照下述方式在所述有机层上蒸镀所述第2电极，即，所述第2电极的膜厚大于所述有机层中的发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。
本发明所述的有机EL显示器的制造方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成多个第1电极；在所述第1电极上形成有机层，所述有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；按照覆盖于所述有机层上的方式形成第2电极，其中，在针对每种颜色而选择的区域之连接层上形成所述有机层时，在针对每种颜色而选择的区域上蒸镀第1电子传输层之后，按照各种颜色共享的方式，均匀地蒸镀第2电子传输层。
本发明所述的有机EL显示器的制造方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成多个第1电极；在所述第1电极上形成有机层，所述有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；按照覆盖于所述有机层上的方式形成第2电极，其中，在针对每种颜色而选择的区域之连接层上形成所述有机层时，在针对每种颜色而选择的区域上蒸镀第1电子传输层之后，按照各种颜色共享的方式，均匀地蒸镀第2电子传输层；在所述有机层上按照下述方式蒸镀所述第2电极，即，所述第2电极的膜厚大于所述有机层中的发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。
本发明所述的有机EL显示器的制造方法，其中，所述第2电极的形成是通过倾斜蒸镀之方式进行的。
具有上述特征的本发明具有下述的作用。
根据本发明所述的有机EL显示器及其制造方法，即使在有机层中产生台阶部的情况下，由于形成于其上的第2电极的膜厚大于台阶部，故防止在台阶部分，电极切断。由于有机层中的发光层的调整主要通过调节发光层和电子传输层的厚度而进行，则形成于有机层中的台阶部的最大值，小于发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。由于如果将第2电极的厚度设定在该最大值以上，则形成于构成台阶部的底侧的表面上的电极的厚度大于构成台阶部的顶侧的表面，故可确保下述状态，即，形成于顶侧的表面上的电极层与形成于底侧的表面上的电极层经常性保持连接。在通过蒸镀而形成第2电极的情况下，通过调整蒸镀时间，将膜厚设定为上述厚度。
根据本发明所述的有机EL显示器及其制造方法，相对于使有机层中的发光层与第1电子传输层形成为针对每种颜色而不同的厚度，进行发光量的调整的情况，采用与用作第1电子传输层的材料相同的材料或不同的材料，在第1电子传输层上，以各种颜色共享的方式，形成均匀的第2电子传输层，通过针对每种颜色形成的发光层和第1电子传输层而形成的台阶部，通过设置第2电子传输层，使台阶的坡度变缓。由此，几乎没有形成于有机层上的第2电极的台阶部。
根据本发明所述的有机EL显示器及其制造方法，象以针对各种颜色而不同的厚度，形成有机层中的空穴传输层，发光层和电子注入层的各层，进行发光量的调整的情况的那样，应对在有机层中形成较大的台阶部的情况。由此，同时采用使上述的第2电极的厚度增加的应对措施，以及在每种颜色的第1电子传输层上，设置各种颜色共享的第2电子传输层的应对措施，使形成于有机层上的第2电极为基本上均匀的层。
根据本发明所述的有机EL显示器及其制造方法，由于第2电极的形成采用倾斜蒸镀方式，故即使相对于台阶部分，仍确保足够的膜厚。另外，由于还具有形成于有机层表面上的台阶部不沿一个方向形成的情况，故采用具有多个方向性的倾斜蒸镀的措施是有效的。
根据本发明所述的有机EL显示器及其制造方法，该有机EL显示器包括多个第1电极，该多个第1电极形成于基板上；有机层，该有机层具有形成于第1电极上的空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；第2电极，该第2电极按照覆盖于该有机层上的方式形成，首先由于有机层形成于针对每种颜色而选择的区域之连接层上，故有机层按照完全包含形成于第1电极和第2电极之间的发光区域的方式形成，即使在以较密的方式形成发光区域，进行高密度处理的情况下，仍可确保足够的发光量。此外，即使在针对每种颜色而选择的区域，使有机层的厚度不同，进行发光量的调整的情况下，仍可象上述那样使形成于有机层上的第2电极的膜厚足够大。因此，可使色平衡性和对比度良好，不会产生显示不良，像素缺陷的情况，另外，可进行高密度的显示，故可进行高品质的全彩色显示。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施例的有机EL显示器的结构的说明图；
图2是表示本发明的第2实施例的有机EL显示器的结构的说明图；
图3是表示本发明的第3实施例的有机EL显示器的结构的说明图；
图4是表示通过有源矩阵驱动，进行全彩色显示的有机EL显示器的结构的说明图；
图5是图4中的x-x剖视的示意图。
具体实施方式
下面参照附图，对本发明的实施例进行描述(另外，与已有技术相同的部分采用同一标号，部分重复的说明省略。)。图1是表示本发明的第1实施例的有机EL显示器的结构的说明图(在这里，与图5相同，各行L1，L2，L3省略。)。在玻璃等的透明的基板1的一个面的多个部位上，形成有由ITO等的透明导电材料形成的第1电极2。在该第1电极2之间的基板1上，按照以一定程度覆盖第1电极2的周边的方式形成有由聚酰亚胺等形成的绝缘膜3。
另外，按照跨于多个第1电极2之间的方式，在第1电极2和绝缘膜3上，形成空穴注入层40和空穴传输层41。此外，选择每种颜色的区域60a，60b，60c，在相应的区域，形成发光层42a，42b，42c，电子传输层43a，43b，43c，电子注入层44a，44b，44c，由这些空穴注入层，空穴传输层，发光层，电子传输层，电子注入层形成的有机层按照将针对每种颜色而选择的区域60a，60b，60c连接的方式形成连续层。此外，在这里，形成于发光层和第1电极之间的层为空穴注入层40和空穴传输层41的双层形式，但是在本实施例和后面将要描述的各实施例中，空穴注入层40和空穴传输层41也可为进行来自第1电极的空穴注入，空穴传输，向发光层的空穴注入的单层的空穴传输层的类型。
在按照这样的方式形成的有机层中，在作为第1颜色选择的区域60a，分别以40nm的膜厚，形成用于获得比如红色(R)发光的发光层42a和电子传输层43a，在作为第2颜色选择的区域60b，分别以30nm，25nm的膜厚，形成用于获得比如绿色(R)发光的发光层42b和电子传输层43b，在作为第3颜色选择的区域60c，分别以25nm，20nm的膜厚，形成用于获得比如蓝色(B)发光的发光层42c和电子传输层43c。象这样，通过按照针对每种颜色而不同的方式，形成发光层和电子传输层，消除各种颜色的发光效率的差异，由此，如上所述在有机层的表面上，在针对每种颜色而选择的区域60a，60b，60c的边界，形成台阶部。
在该有机层上，按照覆盖最顶层的电子注入层44a，44b，44c的方式，形成用作由Al等形成的反射电极的第2电极50。另外，通过在第1电极2和第2电极50之间，施加驱动电压，从针对每种颜色而选择的区域60a，60b，60c的发光区域45a，45b，45c，通过基板1，有选择地获得RGB的各发光颜色。
在这里，在本实施例中，设定第2电极50的膜厚te大于发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚度中的最大值tm。如果按照上述各层的设定实例，则第2电极50的膜厚te大于80nm，最好设定为100nm。由此，即使在有机层上形成台阶部的情况下，第2电极50的膜厚也几乎没有由台阶部造成的影响，在局部不会形成较薄部分或断线部位。
下面以有源型(有源矩阵驱动)的装置为实例，对上述的第1实施例的有机EL显示器的制造方法进行描述。
(第1电极和绝缘膜形成工序)在透明玻璃制的基板1的一个面上，通过溅射等的物理的成膜法将透明导电材料，比如ITO成膜，通过已知的平版印刷技术和蚀刻技术，形成针对每个像素而划分的第1电极2。接着，以有选择地覆盖该第1电极2的形成区域的状态，通过旋转镀膜法等在基板1上涂敷绝缘材料(聚酰亚胺等)，在多个第1电极2之间，形成绝缘膜3。
(空穴注入层和空穴传输层形成工序)接着，采用规定的掩模，在第1电极2和绝缘膜3上，全面蒸镀空穴注入层40。另外，在该空穴注入层40上全面蒸镀空穴传输层41。
(各种颜色发光层，电子传输层和电子注入层形成工序)然后，在基板上设定掩模，该掩模具有第1颜色的选择区域开口的图案，在空穴传输层41上，蒸镀第1颜色，比如R的发光层42a。此时，通过蒸镀时间的调整，将膜厚设定为比如40nm。接着，保持掩模，按照形成所需的膜厚，比如40nm的方式，蒸镀电子传输层43a，然后，按照所需的膜厚形成电子注入层44a。然后，改变掩模，或使上述掩模滑动，有选择地使第2颜色(G)的区域开口，以比如30nm的膜厚蒸镀发光层42b，以比如25nm的膜厚蒸镀电子传输层43b，然后，以所需的膜厚形成电子注入层44b。另外，改变掩模，或使上述掩模滑动，有选择地使第3颜色(B)的区域开口，以比如25nm的膜厚蒸镀发光层42c，以比如20nm的膜厚蒸镀电子传输层43c，然后，以所需的膜厚形成电子注入层44c。
(第2电极形成工序)接着，将掩模改变为与在上述空穴注入层和空穴传输层形成工序中所采用的相同的形式，在电子注入层上，全面蒸镀Al等的金属材料，而形成第2电极50。此时，第2电极50的膜厚tm如上所述设定为下述膜厚值，即大于发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值，按照获得该膜厚的方式，设定蒸镀时间。另外，在形成该第2电极50时，具有多个方向性的倾斜蒸镀是有效的，由此，即使在形成有台阶部的部位，仍可形成足够的膜厚的第2电极层。针对具有多个方向性的倾斜蒸镀，可采用已知的各种方法，特别是可例举，相对基板，在斜下方设置多个蒸镀源的方法，和相对基板，在斜下方设置蒸镀源，使基板旋转的方法等。
接着，通过图2，对本发明的第2实施例进行描述。另外，与第1实施例相同的说明部位采用同一标号，省略部分重复的描述。
根据本实施例，其特征在于形成于各种颜色发光层上的电子传输层的结构和形成方法，通过针对每种颜色所形成的层以及形成各种颜色共同的层的多个层，形成电子传输层。即，在第1颜色的选择区域60a，在发光层42a上，以比如20nm的膜厚形成第1电子传输层46a，在第2颜色的选择区域60b，在发光层42b上，以比如5nm的膜厚形成第1电子传输层46b。另外，在第3颜色的选择区域60c，不形成第1电子传输层。另外，在其上，以比如20nm的膜厚，均匀地形成各种颜色共同的电子传输层47，而且在其上，按照所需的膜厚，形成电子注入层44和第2电极51。
根据该实施例，各种颜色所必需的电子传输层的膜厚是通过第1电子传输层46a，46b和第2电子传输层47的总和而获得。另外，在形成第1电子传输层46a，46b的阶段产生的较陡的台阶部通过设置各种颜色共同的第2电子传输层47而变得平缓。由此，在其上，通过电子传输层44而形成的第2电极51难于受到台阶部的影响，在局部不会形成较薄的部分或切断的部分。
下面与第1实施例相同，以有源型的装置为实例，对上述第2实施例的有机EL显示器的制造方法进行描述。第1电极和绝缘膜形成工序，空穴注入层和空穴传输层形成工序与第1实施例相同。然后，在基板上，设定具有第1颜色的选择区域开口的图案的掩模，以比如40nm的膜厚，在空穴传输层41上，蒸镀第1颜色的发光层42a。接着，保持掩模，以形成所需的膜厚，比如20nm的方式，蒸镀第1电子传输层46a。然后，改变掩模，或使上述掩模滑动，有选择地使第2颜色的区域开口，以比如30nm的膜厚蒸镀发光层42b，接着，以比如5nm的膜厚，蒸镀第1电子传输层46b。再接着，又改变掩模，或使上述掩模滑动，以比如25nm的膜厚，蒸镀第3颜色的发光层42c。
接着，将掩模改变为与在上述空穴注入层和空穴传输层形成工序所采用的掩模相同的形式，以比如20nm的膜厚，以与第1电子传输层46a，46b相同的材料，或不同的材料，全面蒸镀各种颜色共同的电子传输层47。然后，保持该掩模状态，以所需的膜厚，全面蒸镀电子注入层44和第2电极51。在形成第2电极51时，与第1实施例相同，具有多个方向性的倾斜蒸镀是有效的。
下面通过图3，对本发明的第3实施例进行描述。另外，在与上述实施例相同的说明部位采用同一标号，省略部分重复的描述。
本实施例在于有机层上形成的台阶部较大时是有效的，比如，在下述情况下是有效的，即，根据形成发光层的材料的种类，每种颜色的发光效率有较大差别，为了消除该情况，在针对每种颜色而选择的区域形成的有机层的膜厚必须在空穴传输层，发光层，电子传输层这3个层中，针对每种颜色而不同。由此，通过针对每种颜色所形成的层，以及形成各种颜色共同的层的多个层，形成电子传输层，并且第2电极的膜厚，大于发光层和电子传输层之和的总厚度的最大值。
即，在第1颜色的选择区域60a，以比如40nm的膜厚，形成第1颜色的空穴传输层41a，以40nm的膜厚，形成发光层42a，在其上，以比如20nm的膜厚，形成第1电子传输层46a，在第2颜色的选择区域60b上，以比如25nm的膜厚形成第2颜色的空穴传输层41b，以30nm的膜厚形成发光层42b，在其上，以比如5nm的膜厚形成第1电子传输层46b。另外，在第3颜色的选择区域60c，以20nm的膜厚，形成第3颜色的空穴传输层41c，以25nm的膜厚形成发光层42c，在这里，不形成第1电子传输层。接着，在其上，以比如20nm的膜厚均匀地形成各种颜色共同的电子传输层47，再在其上，以所需的膜厚形成电子注入层44。
在这里，按照覆盖电子注入层44的方式形成的第2电极52的膜厚te，设定为大于发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值tm。如果采用上述各层的设定实例，第2电极52的膜厚tm大于80nm，最好设定为100nm。由此，即使是在有机层上形成较大的台阶部的状态，第2电极50的膜厚仍几乎没有由台阶部造成的影响，在局部不会形成较薄的部分或切断部位。
在对上述第3实施例的有机EL显示器的制造方法进行描述时，除了在形成空穴传输层的阶段，选择每种颜色的区域情况以外，其它的方面与上述第2实施例的制造方法相同，在形成第2电极52时，其膜厚按照te＞tm的方式设定。另外，当然，同样在本实施例中，在形成第2电极52时，与上述实施例相同，具有多个方向性的倾斜蒸镀是有效的。
根据上述各实施例，通过在平面基板上，呈矩阵状设置针对每种颜色而选择的区域60a，60b，60c，可构成全彩色显示器。另外，由于针对每种颜色而选择的区域60a，60b，60c形成象上述那样保持连续的有机层，故可确保以较高密度形成各像素，同时可确保足够的发光区域，可形成高亮度与高精细的显示器。另外，由于在每种颜色的区域，考虑到每种颜色的发光层的发光效率有差异，故使促进发光量的有机层(发光层和电子传输层，或空穴传输层)的膜厚不同，由此，可在不调整各种颜色的驱动条件的情况下，实现色平衡和对比度良好的全彩色显示。还有，由于使通过每种颜色的有机层膜厚的设定而形成的有机层表面的台阶部按照下述方式形成，即，该台阶部不对形成于有机层表面的第2电极的膜厚造成影响，故在第2电极中，不形成不良的电阻部位和切断部位，可完全消除显示不良和像素缺陷的不利情况。因此，由上述各实施例形成的有机EL显示器可进行高品质的全彩色显示。
还有，在上面的描述中，主要以有源型(有源矩阵驱动)的装置为实例进行了描述，但是本发明的结构和制造方法并不限于此，其还适合于按照平行方式设置条带状的透明电极的无源型(纯矩阵驱动)的有机EL显示器。另外，以下述的情况为实例进行了描述，即，以第1电极作为透明电极，第2电极作为反射电极，通过透明基板进行显示，但是即使与此相反，以第1电极作为反射电极，第2电极作为反射电极，在基板的相反侧进行显示，仍可获得相同的作用。
本发明按照前述的方式形成，本发明涉及有机EL显示器和其制造方法，该有机EL显示器包括多个第1电极，该多个第1电极形成于基板上；有机层，该有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层，该空穴传输层形成于第1电极上；第2电极，该第2电极按照覆盖于该有机层上的方式形成，可形成良好的色平衡和对比度，不产生显示不良和像素缺陷，另外可进行高密度的显示，由此，可进行高品质的全彩色显示。
Claims (6)
1.一种有机EL显示器，所述有机EL显示器包括多个第1电极，所述多个第1电极形成于基板上；有机层，所述有机层具有形成于所述第1电极上的空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；第2电极，所述第2电极按照覆盖于所述有机层上的方式形成，其特征在于：
所述有机层形成于针对每种颜色而选择的区域之连接层上，所述第2电极的膜厚大于所述有机层中的发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。
2.一种有机EL显示器，所述有机EL显示器包括多个第1电极，所述多个第1电极形成于基板上；有机层，所述有机层具有形成于所述第1电极上的空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；第2电极，所述第2电极按照覆盖于所述有机层上的方式形成，其特征在于：
所述有机层形成于针对每种颜色而选择的区域之连接层上，所述电子传输层由形成于针对每种颜色而选择的区域的第1层，和按照各种颜色共享的方式形成的第2层形成。
3.一种有机EL显示器的制造方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成多个第1电极；在所述第1电极上形成有机层，所述有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；按照覆盖于所述有机层上的方式形成第2电极，其特征在于：在针对每种颜色而选择的区域之连接层上形成所述有机层，按照下述方式在所述有机层上蒸镀所述第2电极，即，所述第2电极的膜厚大于所述有机层中的发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。
4.一种有机EL显示器的制造方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成多个第1电极；在所述第1电极上形成有机层，所述有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；按照覆盖于所述有机层上的方式形成第2电极，其特征在于：在针对每种颜色而选择的区域之连接层上形成所述有机层时，在针对每种颜色而选择的区域上蒸镀第1电子传输层之后，按照各种颜色共享的方式，均匀地蒸镀第2电子传输层。
5.一种有机EL显示器的制造方法，该方法包括下述步骤：在基板上形成多个第1电极；在所述第1电极上形成有机层，所述有机层具有空穴传输层，按照RGB中的任何颜色发光的发光层和电子传输层；按照覆盖于所述有机层上的方式形成第2电极，其特征在于：在针对每种颜色而选择的区域之连接层上形成所述有机层时，在针对每种颜色而选择的区域上蒸镀第1电子传输层之后，按照各种颜色共享的方式，均匀地蒸镀第2电子传输层；
在所述有机层上按照下述方式蒸镀所述第2电极，即，所述第2电极的膜厚大于所述有机层中的发光层和电子传输层之和的各种颜色膜厚中的最大值。
6.根据权利要求3或4或5所述的有机EL显示器的制造方法，其特征在于：所述第2电极的形成是通过倾斜蒸镀之方式进行的。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169650 | 2001-06-05 | ||
| JP2001169650A JP2002367787A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 有機ｅｌ表示装置及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1391424A true CN1391424A (zh) | 2003-01-15 |
Family
ID=19011697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN02122124A Pending CN1391424A (zh) | 2001-06-05 | 2002-05-31 | 有机el显示器及其制造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002367787A (zh) |
| KR (1) | KR100789199B1 (zh) |
| CN (1) | CN1391424A (zh) |
| TW (1) | TW541856B (zh) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100419519C (zh) * | 2003-10-21 | 2008-09-17 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光器件 |
| CN100429782C (zh) * | 2004-06-17 | 2008-10-29 | 友达光电股份有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
| US7449252B2 (en) | 2004-08-20 | 2008-11-11 | Seiko Epson Corporation | Organic electroluminescent device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus |
| CN100459210C (zh) * | 2003-05-30 | 2009-02-04 | 三星Sdi株式会社 | 有机电致发光显示器件及其制造方法 |
| US7659660B2 (en) | 2004-03-22 | 2010-02-09 | Tohoku Pioneer Corporation | Organic EL panel having film layers with overlap deviations |
| US7667388B2 (en) | 2004-07-22 | 2010-02-23 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic electroluminescent display device and method for fabricating the same |
| CN101005116B (zh) * | 2005-12-20 | 2010-05-19 | 三星移动显示器株式会社 | 有机电致发光显示器件及其制备方法 |
| CN101252171B (zh) * | 2007-02-20 | 2011-07-27 | 三星移动显示器株式会社 | 有机发光器件、其制造方法以及形成有机层的方法 |
| CN1822382B (zh) * | 2004-11-22 | 2011-11-23 | 三星移动显示器株式会社 | 有机电致发光显示器 |
| US8183561B2 (en) | 2009-06-24 | 2012-05-22 | Au Optronics Corporation | OLED panel with broadened color spectral components |
| CN102724780A (zh) * | 2004-09-13 | 2012-10-10 | 株式会社半导体能源研究所 | 光发射器件 |
| US8974918B2 (en) | 2006-07-04 | 2015-03-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and electronic device |
| CN108539029A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-09-14 | 昆山国显光电有限公司 | 显示基板及显示基板制备方法 |
| CN109411506A (zh) * | 2017-08-18 | 2019-03-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled背板及制备方法、oled显示装置及驱动方法 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100864758B1 (ko) * | 2002-06-19 | 2008-10-22 | 오리온오엘이디 주식회사 | 풀 컬러 유기 전기 발광 소자 |
| JP4230258B2 (ja) | 2003-03-19 | 2009-02-25 | 東北パイオニア株式会社 | 有機ｅｌパネル、有機ｅｌパネルの製造方法 |
| JP4651918B2 (ja) | 2003-05-21 | 2011-03-16 | 東北パイオニア株式会社 | 有機ｅｌパネルの製造方法 |
| JP2004355975A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
| JP4476073B2 (ja) * | 2004-04-08 | 2010-06-09 | 東北パイオニア株式会社 | 有機ｅｌ素子の製造方法及び製造装置 |
| KR100611756B1 (ko) | 2004-06-18 | 2006-08-10 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법 |
| JP2008530810A (ja) * | 2005-02-17 | 2008-08-07 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | パターニングされた発光層厚を持つｏｌｅｄ装置 |
| JP2006237038A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Seiko Epson Corp | 発光装置、および発光装置の製造方法 |
| JP2006344774A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Rohm Co Ltd | 有機ｅｌ素子、これを用いた有機ｅｌ表示装置、および有機ｅｌ素子の製造方法 |
| JP4789737B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-10-12 | 京セラ株式会社 | 有機ｅｌ素子およびその製造方法 |
| JP2007059250A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Rohm Co Ltd | 有機ｅｌ素子 |
| JP2007134165A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Nippon Seiki Co Ltd | 有機ｅｌパネルの製造方法 |
| JP4721049B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2011-07-13 | 日本精機株式会社 | 有機ｅｌパネルの製造方法 |
| JP5783780B2 (ja) * | 2010-06-03 | 2015-09-24 | キヤノン株式会社 | 表示装置 |
| WO2012168974A1 (ja) | 2011-06-08 | 2012-12-13 | パナソニック株式会社 | 発光パネル、発光パネルの製造方法、および成膜システム |
| WO2020089999A1 (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | シャープ株式会社 | 発光素子、発光素子の製造方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3899566B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2007-03-28 | セイコーエプソン株式会社 | 有機ｅｌ表示装置の製造方法 |
| JP3224352B2 (ja) * | 1997-02-21 | 2001-10-29 | 出光興産株式会社 | 多色発光装置 |
| JP2848371B2 (ja) * | 1997-02-21 | 1999-01-20 | 日本電気株式会社 | 有機ｅｌ表示装置及びその製造方法 |
| JPH10330911A (ja) * | 1997-06-05 | 1998-12-15 | Toray Ind Inc | シャドーマスクおよびその製造方法 |
| JP3496537B2 (ja) * | 1997-10-17 | 2004-02-16 | 東レ株式会社 | 有機電界発光装置 |
| TW439387B (en) * | 1998-12-01 | 2001-06-07 | Sanyo Electric Co | Display device |
| JP4136185B2 (ja) * | 1999-05-12 | 2008-08-20 | パイオニア株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス多色ディスプレイ及びその製造方法 |
-
2001
- 2001-06-05 JP JP2001169650A patent/JP2002367787A/ja active Pending
-
2002
- 2002-05-20 KR KR1020020027840A patent/KR100789199B1/ko active IP Right Grant
- 2002-05-31 CN CN02122124A patent/CN1391424A/zh active Pending
- 2002-05-31 TW TW091111764A patent/TW541856B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100459210C (zh) * | 2003-05-30 | 2009-02-04 | 三星Sdi株式会社 | 有机电致发光显示器件及其制造方法 |
| CN100419519C (zh) * | 2003-10-21 | 2008-09-17 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光器件 |
| US7659660B2 (en) | 2004-03-22 | 2010-02-09 | Tohoku Pioneer Corporation | Organic EL panel having film layers with overlap deviations |
| US9048202B2 (en) | 2004-03-22 | 2015-06-02 | Tohoku Pioneer Corporation | Organic EL panel |
| CN100429782C (zh) * | 2004-06-17 | 2008-10-29 | 友达光电股份有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
| US7667388B2 (en) | 2004-07-22 | 2010-02-23 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic electroluminescent display device and method for fabricating the same |
| US7449252B2 (en) | 2004-08-20 | 2008-11-11 | Seiko Epson Corporation | Organic electroluminescent device, manufacturing method thereof, and electronic apparatus |
| CN102724780A (zh) * | 2004-09-13 | 2012-10-10 | 株式会社半导体能源研究所 | 光发射器件 |
| CN1822382B (zh) * | 2004-11-22 | 2011-11-23 | 三星移动显示器株式会社 | 有机电致发光显示器 |
| CN101005116B (zh) * | 2005-12-20 | 2010-05-19 | 三星移动显示器株式会社 | 有机电致发光显示器件及其制备方法 |
| US8974918B2 (en) | 2006-07-04 | 2015-03-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and electronic device |
| CN102222781A (zh) * | 2007-02-20 | 2011-10-19 | 三星移动显示器株式会社 | 有机发光器件、其制造方法以及形成有机层的方法 |
| US8052497B2 (en) | 2007-02-20 | 2011-11-08 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting device, method of manufacturing the same, and method of forming organic layer |
| CN101252171B (zh) * | 2007-02-20 | 2011-07-27 | 三星移动显示器株式会社 | 有机发光器件、其制造方法以及形成有机层的方法 |
| CN102222781B (zh) * | 2007-02-20 | 2016-08-03 | 三星显示有限公司 | 有机发光器件、其制造方法以及形成有机层的方法 |
| US8183561B2 (en) | 2009-06-24 | 2012-05-22 | Au Optronics Corporation | OLED panel with broadened color spectral components |
| CN109411506A (zh) * | 2017-08-18 | 2019-03-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | Oled背板及制备方法、oled显示装置及驱动方法 |
| CN108539029A (zh) * | 2018-03-29 | 2018-09-14 | 昆山国显光电有限公司 | 显示基板及显示基板制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100789199B1 (ko) | 2007-12-31 |
| JP2002367787A (ja) | 2002-12-20 |
| TW541856B (en) | 2003-07-11 |
| KR20020092793A (ko) | 2002-12-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1391424A (zh) | 有机el显示器及其制造方法 | |
| US8018137B2 (en) | Organic el element, organic el display device, and process for producing organic el element | |
| US6911960B1 (en) | Active-type electroluminescent display | |
| EP2206104B1 (en) | Tiled passive matrix electro-luminescent display | |
| CN1276404C (zh) | 电激发光显示装置 | |
| EP0956593A1 (en) | Organic light emitting diode colour display | |
| KR20110108050A (ko) | 유기전계발광소자 및 이의 제조방법 | |
| CN1636235A (zh) | 有源矩阵型有机电致发光显示装置及其制造方法 | |
| CN100351691C (zh) | 平板显示器中使用的薄膜晶体管的新颖导电元件 | |
| CN1798458A (zh) | 液晶显示器件及其制造方法 | |
| CN1886014A (zh) | 配线基底和显示装置 | |
| US7741760B2 (en) | Display apparatus | |
| CN1713786A (zh) | 有机电致发光显示设备及其制造方法 | |
| CN1315201C (zh) | 电致发光显示装置 | |
| CN1640201A (zh) | 有机场致发光显示装置及其制造方法 | |
| US20100317250A1 (en) | Method of fabricating a color backlight device | |
| CN1404345A (zh) | 电激发光显示板的制造方法及蒸镀遮罩 | |
| JP4213169B2 (ja) | 有機ｅｌ発光素子およびそれを用いた発光装置 | |
| CN1384696A (zh) | 半导体装置和半导体装置制造用掩模 | |
| CN1443027A (zh) | 制造有机电致发光显示器的方法 | |
| CN1523936A (zh) | 场致发光显示装置 | |
| US7215305B2 (en) | Electroluminescent element and display | |
| JP2006344606A (ja) | 有機ｅｌ発光素子およびそれを用いた発光装置 | |
| CN1851956A (zh) | 包括亮度补偿板的有机发光二极管器件 | |
| CN1251557C (zh) | 电致发光显示装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Open date: 20030115 |