CN1314832A - 放电表面处理方法及放电表面处理用放电电极 - Google Patents
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Abstract
在一种以金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形后的压粉体电极或金属电极作为放电电极,在加工液中,使以预定放电间隙对置的放电电极与工件间产生脉冲放电,由该放电能量在工件表面形成电极材料或其反应物质组成的硬质被膜的放电表面处理方法中,使用圆筒形放电电极作为上述放电电极。
Description
技术领域
本发明涉及放电表面处理方法及放电表面处理用放电电极,尤其涉及通过液体中间隙放电进行的放电表面处理方法和放电表面处理用放电电极。
背景技术
以金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形后的压粉体电极或者金属电极作为放电电极,在加中液中使以预定放电间隙对置的放电电极与工件间产生脉冲状放电,由该放电能量在工件表面形成由电极材料或其反应物质构成的硬质被膜的放电表面处理方法,已由日本公开公报(特开平8-300227号、特开平9-19829号和特开平9-192937号)公知。
以往的放电表面处理方法中,不使用成形电极,而使用圆棒等易于制作的简单形状的实心放电电极,采取边使放电电极对工件扫描边进行处理的方法。
但是,如图4(a)所示,如果由圆棒形放电电极进行处理,则扫描方向的电极面长度L,在电极中心部分长,随着向侧方移动逐渐变短,因而,在放电电极通过时,中心部分通过的区域与放电电极相对的时间长,而侧端部分通过区域与放电电极相对的时间短,由此,如图4(b)所示,电极面长度L长的电极中心部分通过区域,被膜厚度厚,而电极面长度L短的电极侧端部分通过区域,被膜厚度薄,在一次电极通过时,形成被膜厚度有偏差的条纹状被膜C,而不能形成均匀厚度的被膜面。
在对直线部分形成被膜时,可使用剖面形状为四棱柱的放电电极,但是,如果使用棱柱形放电电极,则在改变放电电极的扫描方向时,如捆包那样,必须进行使放电电极方向旋转这种费事的作业。
而且,用圆棒形放电电极在金属模的边缘部分进行处理时,如图5所示,随着处理进展,电极端面消耗,电极端面A包围工件W的边缘部分e,放电集中在边缘部分e,从而会产生边缘的角部变圆的边缘塌边。
为解决该问题,虽然有使放电电极绕其自身的中心轴线旋转这种方法,但即使让放电电极旋转,也不能解决放电电极通过位置不同引起的被膜厚度偏差问题。
在电极前端轻轻接触工件并通过放电能量一点一点转移微小量电极材料进行熔敷被覆的放电被覆加工法中,如日本发明公开公报(特开平8-53777号公报、特开平1-139774号公报)所示,使用中空管状电极。
本发明为解决上述问题而作出,其目的在于通过提供一种液体中间隙放电进行的、可形成均匀厚度被膜且形成被膜时不产生边缘塌边的放电表面处理方法及实施该放电表面处理方法所使用的放电表面处理用放电电极。发明揭示
本发明提供一种放电表面处理方法,该方法以金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形后的压粉体电极或金属电极作为放电电极,在加工液中,使以预定放电间隙对置的放电电极与工件间产生脉冲放电,由该放电能量在工件表面形成电极材料或其反应物质组成的硬质被膜,在该方法中,使用圆筒形放电电极,使放电电极与工件间产生脉冲放电,在工件表面形成硬质被膜。
因此,扫描方向的电极面长度,在电极中心部分与电极侧端部分变得大致相等,可在电极中心部分与电极侧端部分形成大致等厚度的被膜,从而形成均匀厚度的被膜面。此外,该放电电极是圆筒形,不像四方形,对扫描方向(馈送方向)有方向性,因而,即使放电电极扫描方向改变,也不必使放电电极方向转动。
本发明可提供一种使上述圆筒形放电电极绕自身中心轴线旋转,形成硬质被膜的放电表面处理方法。
从而,通过绕放电电极自身中心轴线旋转,放电电极消耗均匀,可使被膜厚度均匀并防止边缘部分塌边。
此外,本发明作为一种以金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形后的压粉体电极或金属电极作为放电电极,在加工液中,使以预定放电间隙对置的放电电极与工件间产生脉冲放电,由该放电能量在工件表面形成电极材料或其反应物质组成的硬质被膜的放电表面处理中使用的放电电极,可提供构成圆筒形的放电表面处理用放电电极。
从而,扫描方向的电极面长度,在电极中心部分与电极侧端部分变得大致相等,可在电极中心部分与电极侧端部分形成大致等厚度的被膜,从而形成均匀厚度的被膜面。此外,该放电电极是圆筒形,不像四方形,对扫描方向(馈送方向)有方向性,因而,即使放电电极扫描方向改变,也不必使放电电极方向转动。
附图概述
图1是实施本发明放电表面处理方法所使用的放电加工装置的构成图,图(2b)是本发明放电表面处理用放电电极的纵剖面图和端面图,图2(c)是本发明放电表面处理方法形成的被膜的示意剖面图,图3是本发明放电表面处理方法实施要领的说明图,图4(a)是以往放电电极的纵剖面图,图4(b)是以往放电表面处理方法形成的被膜示意剖面图,图5是以往放电表面处理方法中边缘处理状态的说明图。
实施发明的最佳形态
参照附图,说明本发明的最佳实施形态。
图1中,1表示储油、水等加工液的加工槽,3表示圆筒形放电电极,5表示向放电电极3与配置在加工槽1中的工件W间施加脉冲放电电压的电源,7表示开关放电电极3与工件W间施加的放电电压和电流的开关元件,9表示对开关元件7的通断进行控制的控制电路,11表示电阻器。
在通过液体中间隙放电进行的放电表面处理中,由放电加工装置通常装备的未图示的公知位置控制机构,在加工液中,把放电电极3与工件W的间隙,即放电间隙,控制成适当的间隙(10μm~几十μm),向放电电极3与工件W之间间歇施加放电电压,在水中使放电电极3与工件W间产生脉冲型放电。一旦放电,该放电能量消耗放电电极3,放电电极3的消耗熔融物质,堆积并附着在工件W的表面,在工件表面形成电极材料或其反应物构成的被膜。
作为放电电极3,可使用金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形成圆筒形的压粉体电极,或者圆筒形的金属电极等,作为具体例子,可考虑把TiN粉末与Co粉末混合成的粉末压缩成形成圆筒状的压粉体电极,此外,也可考虑把含WC、TiC、TaC、ZrC、SiC、VC等金属碳化合物或TiN、ZrN等氮化合物或TiB2、ZrB2等硼化物粉末的粉末材料压缩成圆筒形的压粉体电极。
作为放电电极3,还可使用把Ti、Zr、V、Ta等硬质金属的粉状体或这些金属的氢化物的粉状体压缩成形后的压粉体电极,或者使用这些金属制成的金属电极。含HC的放电加工油用作加工液,通过电极材料与放电加工油中的HC反应,可形成TiC、ZrC、VC、TaC等金属碳化合物构成的硬质被膜。
如图2(a)、2(b)所示,放电电极3构成圆筒形,换言之,构成为中空管状,扫描方向的电极面长度L,在电极中心部分与电极侧端部分大致相等。由此,可形成电极中心部分与电极侧端部分大致等厚的被膜C,即形成均匀厚度的被膜面。
此外,该放电电极3为圆筒形状,不像四方形,对扫描方向(馈送方向)有方向性,因而,即使放电电极扫描方向变化,也不必旋转放电电极的方向。
可边使圆筒形放电电极3绕其自身的中心轴线旋转,边对工件W作扫描移动,从而形成被膜。
这时,如图3所示,通过绕放电电极3自身的中心轴线旋转,放电电极的消耗均匀,电极端面A不会包围工件W的边缘部分e,从而可避免放电集中于边缘部分e,防止边缘部分角部变圆使边缘塌边。
如上所述,通过组合圆筒形的放电电极3与电极旋转,可使被膜厚度均匀并防止边缘部分塌边。
产业利用可能性
本发明可用于在各种机械部件表面形成被膜的场合。
Claims (3)
1.一种放电表面处理方法,以金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形后的压粉体电极或金属电极作为放电电极,在加工液中,使以预定放电间隙对置的放电电极与工件间产生脉冲放电,由该放电能量在工件表面形成电极材料或其反应物质组成的硬质被膜;其特征在于,使用圆筒形放电电极,使放电电极与工件间产生脉冲放电,从而,在工件表面形成硬质被膜。
2.如权利要求1所述的放电表面加工方法,其特征在于,使所述圆筒形放电电极绕自身的中心轴线旋转,从而形成硬质被膜。
3.一种以金属粉末、金属化合物粉末或陶瓷粉末压缩成形后的压粉体电极或金属电极作为放电电极,在加工液中,使以预定放电间隙对置的放电电极与工件间产生脉冲放电,由该放电能量在工件表面形成电极材料或其反应物质组成的硬质被膜的放电表面处理中使用的放电表面处理用放电电极,其特征在于,该放电表面处理用放电电极构成圆筒形状。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102388164A (zh) * | 2009-04-14 | 2012-03-21 | 株式会社Ihi | 放电表面处理用电极及其制造方法 |
CN112222544A (zh) * | 2020-08-31 | 2021-01-15 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种蜂窝封严环的高效加工电极及其设计方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3227454B2 (ja) * | 1998-05-13 | 2001-11-12 | 三菱電機株式会社 | 放電表面処理用電極及びその製造方法並びに放電表面処理方法及び装置 |
CH694156A5 (de) * | 1998-11-13 | 2004-08-13 | Mitsubishi Electric Corp | Elektrode, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung zur Oberflaechenbearbeitung einer Form mittels elektrischer Entladung. |
WO2004029329A1 (ja) * | 2002-09-24 | 2004-04-08 | Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. | 高温部材の擦動面のコーティング方法および高温部材と放電表面処理用電極 |
US9284647B2 (en) * | 2002-09-24 | 2016-03-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method for coating sliding surface of high-temperature member, high-temperature member and electrode for electro-discharge surface treatment |
EP1550741A4 (en) * | 2002-10-09 | 2011-05-25 | Ihi Corp | ROTOR AND COATING PROCESS FOR THE SAME |
CA2525761A1 (en) * | 2003-06-04 | 2004-12-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Electrode for electric discharge surface treatment, method for manufacturing the same, and method for storing the same |
EP1640476B1 (en) * | 2003-06-05 | 2012-09-12 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Discharge surface treating electrode, discharge surface treating device and discharge surface treating method |
TWI270427B (en) * | 2003-06-10 | 2007-01-11 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Metal component, turbine component, gas turbine engine, surface processing method, and steam turbine engine |
CN100497736C (zh) * | 2003-06-11 | 2009-06-10 | 三菱电机株式会社 | 放电表面处理方法及放电表面处理装置 |
JPWO2004113748A1 (ja) * | 2003-06-11 | 2006-08-03 | 石川島播磨重工業株式会社 | 回転部材、筐体、軸受け、ギヤボックス、回転機械、軸構造および表面処理方法 |
CN102119241B (zh) * | 2008-08-06 | 2013-04-17 | 三菱电机株式会社 | 放电表面处理方法 |
JP6171139B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-08-02 | 毛利 尚武 | コーティング方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01139774A (ja) | 1987-11-25 | 1989-06-01 | Inoue Japax Res Inc | 表面拡散被覆加工用パイプ |
US5434380A (en) * | 1990-07-16 | 1995-07-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Surface layer forming apparatus using electric discharge machining |
DE69300988T2 (de) * | 1992-02-12 | 1996-08-08 | Charmilles Technologies | Verfahren und Vorrichtung zum elektroerosiven Herstellen hohler 3-D-Kontouren mit einer dünnen rotierenden Elektrode |
JP3193475B2 (ja) | 1992-07-31 | 2001-07-30 | 石福金属興業株式会社 | 放電被覆加工方法及びその実施のために用いる放電被覆加工用電極 |
CH688850A5 (fr) * | 1993-08-19 | 1998-04-30 | Charmilles Technologies | Electrodes-outil pour fraisage par électro-érosion. |
JP3002621B2 (ja) * | 1993-10-15 | 2000-01-24 | 尚武 毛利 | 放電加工による表面処理方法およびその装置 |
JP3525143B2 (ja) | 1995-03-23 | 2004-05-10 | 独立行政法人 科学技術振興機構 | 放電表面改質方法及びその装置 |
JP3363284B2 (ja) | 1995-04-14 | 2003-01-08 | 科学技術振興事業団 | 放電加工用電極および放電による金属表面処理方法 |
JP3376174B2 (ja) * | 1995-07-04 | 2003-02-10 | 三菱電機株式会社 | 放電加工による表面処理方法および装置 |
JP3289575B2 (ja) * | 1995-10-19 | 2002-06-10 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置および方法 |
JP3537939B2 (ja) | 1996-01-17 | 2004-06-14 | 独立行政法人 科学技術振興機構 | 液中放電による表面処理方法 |
JP3563203B2 (ja) * | 1996-06-12 | 2004-09-08 | 独立行政法人 科学技術振興機構 | 放電加工による表面処理方法及びその装置 |
JP3567619B2 (ja) * | 1996-06-19 | 2004-09-22 | 三菱電機株式会社 | 放電加工装置及び方法 |
WO1999058280A1 (fr) * | 1998-05-13 | 1999-11-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Procede et appareil utilises pour traiter la surface d'un outil |
-
1998
- 1998-11-13 KR KR10-2001-7005546A patent/KR100411453B1/ko not_active IP Right Cessation
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-
2001
- 2001-03-30 US US09/822,026 patent/US6492611B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102388164A (zh) * | 2009-04-14 | 2012-03-21 | 株式会社Ihi | 放电表面处理用电极及其制造方法 |
CN102388164B (zh) * | 2009-04-14 | 2013-11-13 | 株式会社Ihi | 放电表面处理用电极及其制造方法 |
US9410250B2 (en) | 2009-04-14 | 2016-08-09 | Ihi Corporation | Discharge surface treatment electrode and method of manufacturing the same |
CN112222544A (zh) * | 2020-08-31 | 2021-01-15 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种蜂窝封严环的高效加工电极及其设计方法 |
CN112222544B (zh) * | 2020-08-31 | 2021-11-26 | 中国航发南方工业有限公司 | 一种蜂窝封严环的高效加工电极及其设计方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1094407C (zh) | 2002-11-20 |
KR100411453B1 (ko) | 2003-12-18 |
KR20010107939A (ko) | 2001-12-07 |
DE19883016T1 (de) | 2002-01-31 |
US20010013508A1 (en) | 2001-08-16 |
US6492611B2 (en) | 2002-12-10 |
WO2000029156A1 (fr) | 2000-05-25 |
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