CN1259466C - 掺铈二硅酸镥闪烁晶体的生长方法 - Google Patents

掺铈二硅酸镥闪烁晶体的生长方法 Download PDF

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Abstract

一种掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,该单晶的结构式为:(CexReyLu1-x-y)2Si2O7,式中Re代表Sc、Er、La、Ho、Dy、Yb、Y或Gd等的一种或多种;x和y的取值范围分别为0.001≤x≤0.05,0≤y≤0.2。其生长方法的关键是:选用与完全解理面(110)平行,并与不完全解理面(001)夹角≤25°的LPS籽晶方向;以较慢的提拉速度0.5~1.5mm/hr生长;采取特殊收尾程序,晶体尾部的形状基本与晶体肩部对称一致。本发明方法解决了(CexReyLu1-x-y)2Si2O7晶体的解理爆裂问题,提高了晶体的成品率,可生长出较大尺寸、晶体质量高、完整无开裂的单晶体。

Description

掺铈二硅酸镥闪烁晶体的生长方法
技术领域
本发明涉及晶体生长,特别是一种掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法。
背景技术
无机闪烁晶体可广泛应用于高能物理核物理探测、影像核医学(PET、CT)、工业在线检测、安全稽查、地质考古、油井勘测和天文观测等研究等应用领域。近年来,随着无机闪烁晶体应用领域的不断拓宽,不同应用领域对闪烁晶体提出了更多更高的要求。因此,寻求具有高光输出快衰减的闪烁晶体已成为人们研究的热点。
BGO闪烁晶体是传统的无机闪烁晶体,其最大的优点是具有较大的密度和有效原子序数(ρ=7.13g/cm3,Zeff=74),因此在高能物理、核物理以及核医学诊断(PET)等领域具有广泛的应用背景。但BGO晶体存在光输出小(相对光输出约为7-10%NaI(T1))、衰减时间长(300ns)等缺点,这就大大限制了BGO晶体的应用范围。
最近,人们又发现了掺铈二硅酸镥晶体((CexReyLu1-x-y)2Si2O7简称Ce:LPS)是一种较好的无机闪烁晶体,该晶体属于单斜晶系,晶格参数分别为:a=6.765,b=8.839,c=4.715,β=101.96°,密度和有效原子序数分别为6.23g/cm3和Zeff=64。Ce:LPS闪烁晶体相较于LSO晶体具有较低熔点1900℃,降低了约200~300℃,更高光输出26300~33000ph/MeV,更快的光衰减(约为30ns),且无余辉,并能在高温450K下同样保持高的发光效率等优点,因此LPS晶体被认为是迄今为止综合性能最好的闪烁晶体,有着广阔的研究和应用前景。(参见:U.S.Pat.No:6,437,336,参见:J.Phys:Condens.Matter 2003年,第15卷,第2091页)。
铈离子掺杂的二硅酸镥晶体Ce:LPS为单斜C2/m空间群结构,存在(110)完全解理面和(001)不完全解理面,晶体解理面层与层间的结合力本来就弱,因此晶体较难生长。在先技术中,采用的籽晶不与解理面平行或成较小角度,是晶体在提拉生长、脱离液面和降温过程中解理爆裂一个重要原因。另外,在先技术中常常采用快速提拉生长,而且在晶体生长后期采用手动提拉将晶体与熔体脱离。由于固液界面温度较高(约1900℃),温度梯度较大(50-200℃/mm),在很短时间内受到较大的热冲击。晶体的下端常呈微凸或平坦的界面,此时晶体主要靠辐射和热对流与熔体进行热交换,同时晶体将热量通过晶体的肩部和籽晶导走,造成导热的不均匀性,也造成了很大的热应力,同样容易造成LPS晶体的解理爆裂。因此在先技术中生长的晶体质量差、易解理爆裂、尺寸小、成品率低。这样就限制了LPS晶体在各个应用领域里的研究和实用价值。L.Pidol等人所报道的LPS晶体样品尺寸较小约30×5×2mm3(参见:IEEE Trans.Nucl.Sci.2004年,第51卷第3期,第1084页)。另外,在先技术生长的Ce:LPS闪烁晶体中存在较多的晶格缺陷和包裹物等,从而降低了晶体的闪烁性能。
发明内容
本发明的目的是克服上述在先技术的缺点,提供一种掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,解决提拉法生长掺铈稀土二硅酸镥高温闪烁单晶(CexReyLu1-x-y)2Si2O7(其中Re代表Sc、Er、La、Ho、Dy、Yb、Y或Gd等的一种或多种;0.001≤x≤0.05,0≤y≤0.2)晶体在提拉生长、脱离液面和降温过程中的解理爆裂问题,并生长出较大尺寸、晶体质量高、完整无开裂的晶体。
本发明的技术解决方案如下:
一种掺铈二硅酸镥闪烁单晶,其特征在于该单晶的结构式为:(CexReyLu1-x-y)2Si2O7
式中Re代表Sc、Er、La、Ho、Dy、Yb、Y或Gd等的一种或多种;x和y的取值范围分别为0.001≤x≤0.05,0≤y≤0.2。
本发明掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,该方法的具体步骤如下:
<1>掺铈二硅酸镥闪烁单晶的化学式(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的各初始原料的纯度均大于99.99%,配料前先预烧原料以除去H2O和CO2,按各组分原料的摩尔配比Lu2O3∶Re2O3∶CeO2∶SiO2=(1-x-y)∶y∶2x∶2精准称料,并充分混合研磨均匀;
<2>在200MPa压力下压制成块,将料块放进马弗炉里,在1400℃下烧结15小时形成掺铈二硅酸镥多晶;
<3>将烧好的多晶料块装进炉膛中的铱金坩埚内,把二硅酸镥籽晶装入籽晶夹中,装入提拉单晶炉膛,该二硅酸镥籽晶的方向与完全解理面(110)平行,并与不完全解理面(001)的夹角≤25°;
<4>充入保护气氛,以300~500℃/hr的升温速度升温至2000~2100℃化料,再在此温度范围内恒温1~3小时,使坩埚内的熔体完全均化;
<5>将温度回降至(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的结晶温度下种,恒温0.5~1h后,缩径、放肩、等径程序,采用较低的提拉速度为0.5~1.5mm/hr生长,晶体转速为10~30RPM;
<6>等径晶体长度达到预定尺寸时,采用收尾程序进行生长:即通过缓慢的升温程序(5~50℃/hr)进行晶体的升温生长,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状,直径逐渐变细,待晶体尾部直径达到与籽晶尺寸相同时,进行恒温生长约5~20mm长后,开始采用缓慢的降温程序将(CexReyLu1-x-y)2Si2O7单晶降至室温。
所述的保护气氛为中性气氛,或氮气,或氩气。
所述的掺铈二硅酸镥闪烁单晶(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的结晶温度在1850-1950℃范围。
本发明的关键技术是:
<1>选用特定LPS籽晶方向,即籽晶与完全解理面(110)平行,并与不完全解理面(001)夹角≤25°,减小解理面层与层间的热应力;
<2>以较慢的提拉速度0.5~1.5mm/hr生长,避免晶体在短时间内受到大的热冲击;
<3>在提拉法中采取特殊收尾程序,通过缓慢的升温程序5~50℃/hr进行晶体的升温生长,由于晶体的吸热大于散热,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状,直径逐渐变细,待晶体尾部直径达到与籽晶尺寸相同时,进行恒温生长5~20mm长后,开始采用缓慢的降温程序将(CexReyLu1-x-y)2Si2O7降至室温。这样的收尾程序,可使晶体尾部的形状基本与晶体肩部对称一致,这样极大地提高了晶体的散热均匀性,减少晶体的开裂。
本发明与在先技术相比,其优点是:与完全解理面(110)平行,并与不完全解理面(001)夹角≤25°的LPS籽晶方向,在炉膛内的温场中,生长的晶体解理面层与层间所受到的热应力最小;以较慢的提拉速度0.5~1.5mm/hr生长,避免晶体在短时间内感受大的温度梯度,使热冲击最小化;在提拉法中采取特殊收尾程序,晶体尾部的形状基本与晶体肩部对称一致,这样极大地提高了晶体的散热均匀性。综合这三方面的技术将解决(CexReyLu1-x-y)2Si2O7晶体的解理爆裂问题,极大提高其成品率,并生长出较大尺寸、晶体质量高、完整无开裂的晶体。
具体实施方式
本发明掺铈二硅酸镥高温闪烁单晶体(CexReyLu1-x-y)2Si2O7(其中Re代表Sc、Er、La、Ho、Dy、Yb、Y或Gd等的一种或多种;0.001≤x≤0.05,0≤y≤0.2)
本发明方法的具体制备方案如下:
<1>掺杂三价铈离子二硅酸镥化学式(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的各初始原料的纯度均大于99.99%,配料前先预烧原料以除去H2O和CO2,选定x和y后,按各组分原料的摩尔配比:
Lu2O3∶Re2O3∶CeO2∶SiO2=(1-x-y)∶y∶2x∶2精准称料,并充分混合研磨均匀;
<2>在200MPa压力下压制成块,然后将料块放进马弗炉,在1400℃下烧结15小时形成LPS多晶;
<3>将烧好的多晶料块装进炉膛中的铱金坩埚内,把一定方向的LPS籽晶装入籽晶夹中,装入提拉单晶生长炉膛,该LPS籽晶方向:与完全解理面(110)平行,并与不完全解理面(001)夹角≤25°;
<4>充入中性气氛或氮气N2或Ar气作为保护气氛,以300~500℃/hr的升温速度升温至2000~2100℃化料,再在此温度范围内恒温1~3小时;使坩埚内的熔体完全均化;
<5>将温度回降至(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的结晶温度,一般在1850-1950℃范围内处下种,恒温0.5~1h后,缩径、放肩、等径程序采用较低的提拉速度为0.5~1.5mm/hr生长,晶体转速约为10~30RPM;
<6>等径晶体长度达到预定尺寸时,开始采用本发明的收尾程序进行生长:即通过缓慢的升温程序(5~50℃/hr)进行晶体的升温生长,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状,直径逐渐变细,待晶体尾部直径达到与籽晶尺寸相同时,进行恒温生长约5~20mm长后,开始采用缓慢的降温程序,将(CexReyLu1-x-y)2Si2O7降至室温。
实施例1:制备(Ce0.005Lu0.995)2Si2O7闪烁晶体
按照上述的制备工艺步骤<1>选择纯度为99.999%的干燥的Lu2O3、SiO2和CeO2为原料,以(Ce0.005Lu0.995)2Si2O7中的各组分原料的摩尔配比(Lu2O3∶CeO2∶SiO2=0.995∶0.01∶2)精准称料,共1500g,并充分混合研磨均匀;按工艺步骤<2>在200MPa压力下压制成块,然后将料块放进马弗炉里,在1400℃下烧结15h成(Ce0.005Lu0.995)2Si2O7多晶;按工艺步骤<3>将烧好的多晶料块装进炉膛中的Ir金坩埚内,把一定方向的LPS籽晶装入籽晶夹中,装入炉膛。LPS籽晶方向:分别与完全解理面(110)平行,和不完全解理面(001)夹角平行;按工艺步骤<4>充入中性氮气N2作为保护气氛,以300℃/hr的升温速度升温至2050℃化料,再在此温度范围内恒温3小时;使得坩埚内的熔体完全均化。按工艺步骤<5>将温度回降至(Ce0.005Lu0.995)2Si2O7的结晶温度1900℃处下种,恒温1h后,缩径、放肩、等径程序采用较低的提拉速度为0.5mm/hr生长,晶体转速约为10RPM。按工艺步骤<6>等径晶体长度达到30mm时,进行缓慢的升温程序50℃/hr进行晶体的升温生长,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状,直径逐渐变细,待晶体尾部直径达到4mm时,恒温生长约10mm长后,开始将(Ce0.005Lu0.995)2Si2O7缓慢的降温降至室温。晶体生长完成,即可获得30×30mm的(Ce0.005Lu0.995)2Si2O7晶体透明、完整、不开裂的晶体,可以广泛应用于高能物理、核医学、安全检测和油井勘探等领域。
实施例2:(Ce0.005Gd0.2Lu0.795)2Si207闪烁晶体
按照上述实施例1中工艺步骤<1>选择纯度为99.999%的干燥的Lu2O3、Gd2O3、SiO2和CeO2为原料,以(Ce0.005Gd0.2Lu0.795)2Si2O7中的各组分原料的摩尔配比精准称料,共1500g,并充分混合研磨均匀;重复上述实施例1中工艺步骤<2>,按照上述实施例1中工艺步骤<3>选择LPS籽晶方向:分别与完全解理面(110)平行,与不完全解理面(001)夹角=20°;按照上述实施例1中工艺步骤<4>以500℃/hr的升温速度升温至2000℃化料,再在此温度范围内恒温3小时;使得坩埚内的熔体完全均化。按照上述实施例1中工艺步骤<5>将温度回降至(Ce0.005Gd0.2Lu0.795)2Si2O7的结晶温度1850℃处下种,恒温1h后,缩径、放肩、等径程序采用较低的提拉速度为1.0mm/hr生长,晶体转速约为30RPM。按照上述实施例1中工艺步骤<6>等径晶体长度达到40mm时,进行缓慢的升温程序30℃/hr进行晶体的升温生长,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状,直径逐渐变细,待晶体尾部直径达到4mm时,恒温生长约10mm长后,开始将(Ce0.005Gd0.2Lu0.795)2Si2O7缓慢的降温降至室温。晶体生长完成,即可获得35×40mm的(Ce0.005Gd0.2Lu0.795)2Si2O7晶体透明、完整、不开裂的晶体,可以广泛应用于高能物理、核医学、安全检测和油井勘探等领域。
实施例3:(Ce0.005Y0.15Lu0.845)2Si2O7闪烁晶体
按照上述实施例2中工艺步骤<1>选择纯度为99.999%的干燥的Lu2O3、Y2O3、SiO2和CeO2为原料,以(Ce0.005Y0.15Lu0.845)2Si2O7中的各组分原料的摩尔配比精准称料,共1500g,并充分混合研磨均匀;重复上述实施例2中工艺步骤<2>,按照上述实施例2中工艺步骤<3>选择LPS籽晶方向:分别与完全解理面(110)平行,与不完全解理面(001)夹角=25°;按照上述实施例2中工艺步骤<4>以350℃/hr的升温速度升温至2050℃化料,再在此温度范围内恒温3小时;使得坩埚内的熔体完全均化。按照上述实施例2中工艺步骤<5>将温度回降至(Ce0.005Y0.15Lu0.845)2Si2O7的结晶温度1870℃处下种,恒温0.5h后,缩径、放肩、等径程序采用较低的提拉速度为1.5mm/hr生长,晶体转速约为20RPM。按照上述实施例2中工艺步骤<6>等径晶体长度达到50mm时,进行缓慢的升温程序30℃/hr进行晶体的升温生长,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状(直径逐渐变细),待晶体尾部直径达到4mm时,恒温生长约20mm长后,开始将(Ce0.005Y0.15Lu0.845)2Si2O7缓慢的降温降至室温。晶体生长完成,即可获得40×50mm透明、完整、不开裂的(Ce0.005Y0.15Lu0.845)2Si2O7晶体,可以广泛应用于高能物理、核医学、安全检测和油井勘探等领域。

Claims (4)

1一种掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,其特征在于是该方法的具体制备步骤如下:
<1>掺铈二硅酸镥闪烁单晶的化学式为(CexReyLu1-x-y)2Si2O7,式中Re代表Sc、Er、La、Ho、Dy、Yb、Y或Gd的一种或多种;x和y的取值范围分别为0.001≤x≤0.05,0≤y≤0.2,所述的(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的各初始原料的纯度均大于99.99%,配料前先预烧原料以除去H2O和CO2,按各组分原料的摩尔配比Lu2O3∶Re2O3∶CeO2∶SiO2=(1-x-y)∶y∶2x∶2精准称料,充分混合研磨均匀;
<2>在200MPa压力下压制成块,将料块放进马弗炉里,在1400℃下烧结15小时形成掺铈二硅酸镥多晶;
<3>将烧好的多晶料块装进炉膛中的铱金坩埚内,把二硅酸镥籽晶装入籽晶夹中,装入提拉单晶炉膛,该二硅酸镥籽晶的方向与完全解理面(110)平行,并与不完全解理面(001)的夹角≤25°;
<4>充入保护气氛,以300~500℃/hr的升温速度升温至2000~2100℃化料,再在此温度范围内恒温1~3小时,使坩埚内的熔体完全均化;
<5>将温度回降至(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的结晶温度下种,恒温0.5~1h后,缩径、放肩、等径程序,采用较低的提拉速度为0.5~1.5mm/hr生长,晶体转速为10~30RPM;
<6>等径晶体长度达到预定尺寸时,采用收尾程序进行生长:即通过缓慢的升温程序5~50℃/hr进行晶体的升温生长,使晶体形成与肩部相对称一致的圆锥形状,直径逐渐变细,待晶体尾部直径达到与籽晶尺寸相同时,恒温生长5~20mm长后,开始采用缓慢的降温程序将(CexReyLu1-x-y)2Si2O7单晶降至室温。
2、根据权利要求1所述的掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,其特征在于所述的保护气氛为中性气氛。
3、根据权利要求2所述的掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,其特征在于所述的中性气氛为氮气或氩气。
4、根据权利要求1或2或3所述的掺铈二硅酸镥闪烁单晶的生长方法,其特征在于所述的掺铈二硅酸镥闪烁单晶(CexReyLu1-x-y)2Si2O7的结晶温度在1850-1950℃范围。
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CN102021651B (zh) * 2009-09-11 2013-01-02 中国科学院上海硅酸盐研究所 铈掺杂稀土硼酸盐闪烁晶体及其坩埚下降法制备方法
CN105543963B (zh) * 2016-03-01 2018-06-01 中国科学院长春应用化学研究所 由低成本稀土原料制备的稀土闪烁晶体及其低成本生长工艺
CN106011998B (zh) * 2016-07-22 2018-11-09 苏州晶特晶体科技有限公司 一种提高掺铈闪烁晶体性能的装置及生产方法
CN109428257B (zh) 2017-09-01 2020-05-05 中国科学院福建物质结构研究所 一类铒离子掺杂的硅酸盐晶体及其1.5微米波段激光器件
CN109053175B (zh) * 2018-09-28 2021-05-07 浙江梵彼斯特轻纺发展有限公司 一种铈掺杂焦硅酸镥闪烁陶瓷及其制备方法
CN111910254A (zh) * 2020-08-04 2020-11-10 南昌大学 掺铈及掺铒的硅酸镱闪烁晶体及其制备方法
CN116333740B (zh) * 2023-02-27 2024-06-11 广东省科学院资源利用与稀土开发研究所 一种铈激活的稀土硅酸盐无机闪烁材料及其制备方法

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