CN1246877C

CN1246877C - 荫罩、阴极射线管、荫罩的制造方法

Info

Publication number: CN1246877C
Application number: CNB001377558A
Authority: CN
Inventors: 竹内裕; 平山和成; 小林正男
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1999-12-27
Filing date: 2000-12-27
Publication date: 2006-03-22
Anticipated expiration: 2020-12-27
Also published as: KR20010062620A; JP2001185049A; CN1728322A; KR100425033B1; CN1302078A; US6731054B1

Abstract

本发明揭示一种荫罩、阴极射线管、荫罩的制造方法和制造装置。阴极射线管的荫罩，包括具有形成多个电子束穿通孔的荫罩有效部分和设置在这种荫罩有效部分周围的裙边部的荫罩主体，和在所述裙边部的外侧上重叠配置的荫罩框。在多个地方电阻焊接荫罩框和裙边部。在各焊接地方，在电阻焊接用的电极对接的裙边部的内面部分上，形成具有面积分别比所述电极的对接面的面积小的多个凹部或者凸部的至少一种。

Description

荫罩、阴极射线管、荫罩的制造方法

技术领域

本发明涉及在阴极射线管中使用的荫罩、具有这种荫罩的阴极射线管、荫罩的制造方法。

背景技术

一般地，在彩色电视机等中使用的阴极射线管，包括具有玻板与玻锥的真空管壳。在玻板的内面上形成蓝色(B)、绿色(G)和红色(R)的3色荧光体，以及具有在这些荧光体间的间隙中形成的黑色膜的荧光面。此外，在玻板的内侧上配置与荧光面相对的荫罩。

这种荫罩包括具有形成多个电子束穿通孔的荫罩面和这种荫罩面的周围端部的裙边部的荫罩主体，以及焊接在荫罩主体的裙边部上的荫罩框。将支承构件焊接在荫罩框的角部上。并且，借助于将嵌设在玻板的内壁上的玻板脚、嵌合在在这种支承构件上形成的安装孔中，用对于玻板的内面规定的位置关系，将荫罩安装在玻板上。

这样，利用熔融玻璃，将安装荫罩后的玻板整体地焊接在玻锥上，构成作为真空外壳的玻璃外壳。此外，将电子枪安装在玻锥的玻颈内，将偏转线圈设置在玻锥的外周面上。

利用压力成型，将荫罩主体形成规定的形状。在规则地配置多个穿通孔的同时用规定的曲率形成荫罩面。此外，曲折荫罩面的周围部分，形成裙边部。然后，在压力成型后对荫罩主体进行洗净以及黑化处理后，将氧化膜的黑化膜的覆盖膜设置在表面上。这种黑化膜具有防锈和防反射作用的功能。

此外，荫罩的荫罩框在压力成型后，同样地进行洗净以及黑化处理，并将支承构件焊接在其角部和边上。在多个地方，将这种荫罩框焊接在荫罩主体的裙边部的外面。这里，在荫罩主体和荫罩框的焊接中，使用基于电子焊接的点焊。

采用这种点焊中使用的焊接装置，则荫罩主体在沿着其荫罩面的曲面加工的下金属铸模中，用荫罩面向下的状态着屏。然后，用将荫罩主体压紧在这种下金属铸模中的状态，将荫罩框重叠在荫罩主体的裙边部的外面，使设置在焊接头上的一对电极、即加压侧电极与背面电极，在相互接近的方向上移动。根据这种动作，用由一对加压侧电极与背面电极规定的压力，夹持荫罩的裙边部与荫罩的结合部分。然后，利用对这些电极之间进行通电，对裙边部和荫罩进行电阻焊接。也就是说，如果在加压侧电极与背面电极间流过电流，则作为在裙边部的表面和荫罩框的表面上分别形成的氧化膜的黑化膜被破坏，然后焊接裙边部和荫罩框，形成所谓的熔核的焊接部。

这里，通常在荫罩框上使用铁，在荫罩主体上使用铁和殷钢材料。此外，在焊接时，因将导电性差的黑化膜介在加压侧电极与焊接材料之间，所以当这种黑化膜被破坏时以及在金属之间焊接时，发生溅射。此外，这种溅射飞散到荫罩面上会发生孔堵塞。

也就是说，在荫罩主体的荫罩面的表里上分别穿设做成直径为100-200μm左右的研钵状的多个圆形或者长方形的开孔。这些开孔相对于玻板11的荧光面的一侧为大孔径、相对于电子枪的一侧为小孔径。此外，因在与荫罩面的电子枪的相对面向上的状态、即小孔径面对焊接部侧的状态，进行裙边部与荫罩框的焊接，所以从焊接部飞散的溅射容易进入到小孔径中，成为孔堵塞的原因。

此外，荫罩被使用于荧光面的形成工序，即通过荫罩的开孔对荧光面进行曝光处理。也就是说，利用通过荫罩的1个开孔的光，对蓝、绿和红的3色荧光体进行曝光。因此，如果荫罩本体的开孔由于溅射和垃圾以及其它异物堵塞，则形成具有缺陷的荧光面。

此外，在焊接时，在这种焊接部分黑色膜被破坏的同时电流流过多，所以焊接部的温度上升。因此，因加压侧电极的前端磨损、容易进一步氧化，所以有必要频繁地对加压侧电极进行研磨，同时有电极的寿命缩短的问题。

发明内容

本发明鉴于前述问题，其目的在于提供一种荫罩、备有该荫罩的阴极射线管、荫罩的制造方法和制造装置，这种荫罩能降低溅射的飞散，并能防止由于溅射的荫罩主体的孔堵塞。

为达到前述目的，本发明的荫罩，包括

具有形成多个电子束穿通孔的荫罩有效部分和设置在所述荫罩有效部分周围的裙边部的荫罩主体，和

配置在所述裙边部的外侧上并且在多个地方与所述裙边部电阻焊接的荫罩框，

所述裙边部，包括在与所述荫罩框对接的外面，位于所述外面的相对侧的内面和所述各焊接地方，在电阻焊接用的电极对接的所述裙边部的内面部分上，形成具有面积分别比所述电极的对接面的面积小的多个凹部或者凸部的至少一种。

此外，本发明的阴极射线管，包括

将荧光体屏幕设置在内面上的玻板，

相对于所述荧光体屏幕设置的荫罩，和

通过所述荫罩将电子束照射在所述荧光体屏幕上的电子枪，

所述荫罩包括

此外，本发明的荫罩的制造方法，包括下述步骤

准备具有形成多个电子束穿通孔的荫罩有效部分和设置在所述荫罩有效部分周围的、在内面形成多个凹部或者凸部的至少一种的裙边部的荫罩主体，

将荫罩框重叠配置在所述裙边部的外侧上，

在规定的焊接位置上，利用与形成多个凹部或者凸部的至少一种的所述裙边部的内面对接的第1电极，和与荫罩框的外面对接的第2电极，用规定的压力夹持所述裙边部和荫罩框，所述凹部或者凸部分别具有比所述第1电极的对接面的面积小的面积，

在所述第1电极和第2电极之间通电，对所述裙边部和荫罩框进行电阻焊接。

采用如前所述结构的荫罩、阴极射线管和荫罩的制造方法，则借助于在荫罩主体的裙边部和荫罩框的焊接部中，将分别具有比所述电极的对接面的面积小的面积的多个凹部或者凸部的至少一种，设置在与焊接用电极对接的裙边部的内面上，能在焊接时减小裙边部与电极的对接面的接触面积，使每单位面积的压力增大，并使电流密度增大。其结果，由焊接部发生的溅射量减少。此外，因借助于形成多个凹部或者凸部对裙边部的表面部分进行细分，使与电极的接触面积减小，所以发生的溅射的大小也变小。因此，即使比在荫罩主体上形成的电子束穿通孔小的溅射飞散到荫罩有效部分，也能不发生孔堵塞。

附图说明

图1表示与本发明实施例相关的阴极射线管的剖视图。

图2表示前述阴极射线管的荫罩的一部分的立体图。

图3表示前述荫罩的焊接部和电子束穿通孔部分的剖视图。

图4表示与本发明实施例相关的焊接装置的部分剖视侧视图。

图5表示前述焊接装置的加压用电极的分解立体图。

图6表示前述荫罩的焊接部和前述加压用电极的立体图。

图7表示前述加压用电极与前述荫罩的焊接部对接状态的剖视图。

图8表示前述加压用电极变形例的分解立体图。

图9表示对前述荫罩的荫罩主体的裙边部和荫罩框进行点焊的工序的剖视图。

图10表示对前述裙边部内面和加压用电极的接触部分进行放大的剖视图。

图11表示对前述裙边部内面的一部分进行放大的剖视图。

图12表示将凸部设置在前述裙边部的内面上场合的变形例的平面图。

图13表示将凹部设置在前述荫罩的裙边部的两面上场合的焊接部的剖视图。

图14表示荫罩的焊接部的焊接条件与溅射发生量的关系图。

图15表示荫罩的焊接部的焊接条件与焊接状态是否良好的关系图。

图16表示荫罩的焊接部的焊接条件与焊接状态的灵敏度的关系图。

图17表示在前述焊接部上设置凹部和不设置凹部的场合发生的溅射大小的比较图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明实施例的阴极射线管详细地进行说明。

如图1所示，阴极射线管包括真空外壳10。这种真空外壳包括在周围具有裙边部2并且外面平坦的大致长方形的玻板1，与玻板的裙边部连接的玻锥4，与玻锥的直径小的部分连接的圆筒状的玻颈3。

在玻板1的内面上形成分别对红、绿、蓝进行发光的多个点状的荧光体层和由在这些荧光体层之间形成的黑色层构成的荧光体屏幕6。从玻颈3到玻锥4在其外周面上，安装具有水平、垂直偏转线圈的偏转装置7。此外，在玻颈3内，配置向着荧光体屏幕6的荧光体层发射出3电子束8G、8R、8B的电子枪9。

将荫罩12相对于荧光体屏幕6配置在真空外壳10内。荫罩12包括由铁和殷钢等组成的长方形的荫罩主体13和安装在荫罩主体周围的荫罩框14。如图1和图2所示，荫罩主体13具有相对于荧光体屏幕6并形成多个电子束穿通孔20的长方形的荫罩有效部分13a和折转这种荫罩有效部分13a的周围部分形成裙边部13b。此外，例如用铁形成荫罩框14，并将其配置在荫罩主体13的裙边部13b的外侧，并在多个地方的焊接点19与裙边部13b焊接。

此外，将作为弹性支承体的支承构件15焊接在荫罩框14的各角部。在这种支承构件15上形成安装孔15a。并且，借助于将突出设置在玻板1的裙边部2内面上的螺柱脚16嵌合在支承构件15的安装孔15a中，装卸自如地支承在对于玻板1的内面的规定的位置上。

此外，在前述结构的彩色阴极射线管中，利用安装在玻锥4的外侧的偏转线圈7，对由电子枪9发射出的3电子束8G、8R、8B进行偏转，利用水平、垂直扫描，并通过荫罩12的电子束穿通孔20显示彩色图像。

下面，对荫罩12的结构详细地进行说明。

如图1到图3所示，规则地形成多个电子束穿通孔20，并用规定的曲率形成荫罩主体13的荫罩有效部分13a。此外，荫罩主体13的板厚是0.1-0.2mm，并利用压力形成规定的形状。此外，在荫罩主体13的内面和外面上形成黑化膜22的覆盖膜。这种黑化膜具有防锈和防电子束反射的功能。

各电子束穿通孔20是直径为100-200μm左右的研钵状的多个圆形或者长方形的开孔，并由相对于玻板1的荧光面6的一侧的大孔径20a和位于相对于电子枪9的一侧的小孔径20b构成。

此外，支承荫罩主体13的荫罩框14的板厚是0.8-1.2mm，并利用压力形成大致长方形的形状，并在其表面上形成黑化膜。此外，荫罩框14在多个焊接点19与荫罩主体13的裙边部13b焊接。

这里，在荫罩主体13与荫罩框14的焊接中使用基于电阻焊接的点焊。如图3所示，在各焊接点19的位置，至少在荫罩主体13的裙边部13b的内面，形成多凹部24。用面积比后述的焊接装置的加压侧电极的端面面积小的凹坑状、并且经过比加压侧电极的端面面积大的区域，分别形成这些凹部24。

下面，结合焊接装置对前述结构的彩色阴极射线管的制造方法，特别是荫罩的制造方法进行说明。

首先，对用于荫罩主体13的裙边部13b与荫罩框14的点焊的焊接装置进行说明。如图4所示，这种焊接装置包括支承荫罩12的下金属铸模21和未图示的支承框支承的焊接头26。在作为支承单元功能的下金属铸模21的上面，形成具有对应于荫罩主体13的荫罩有效部分13a的曲面的凹部23。此外，焊接装置的焊接头26包括一对电极、即细长的棒状加压侧电极28和背面电极30，以及使这些电极相互接近的方向上移动、并作为由这些电极用规定的压力夹持焊接部的压紧单元的气缸32。

如图5和图6所示，在加压侧电极28的周围，设置在焊接时捕获溅射防止飞散的筒状的滑盖33。这种滑盖33滑动自如地保持在安装在加压侧电极28的前端附近的筒状的固定盖34内，并在滑盖33的内侧部分与固定盖34的内底部分之间设置压缩弹簧35。

如图4所示，在焊接时，用其荫罩有效部分13a的凸部的外面与凹部23接触的状态、即向下的状态，将荫罩主体13安装在下金属铸模21上。并且，用将荫罩有效部分13a压紧在这种下金属铸模21上的状态，将荫罩框14重合在荫罩13的裙边部13b的外面上。

此外，如图6所示，将焊接头26的背面电极30位置决定在与荫罩框14的焊接部外面接触的状态，并将加压侧电极28相对于荫罩本体13的裙边部13b的内面。接着，利用气缸32，使焊接头26的加压侧电极28与背面电极30向相互接近的方向移动。

根据这种动作，利用一对加压侧电极28与背面电极30，用规定的压力夹持裙边部13与荫罩框14的结合部分。这时，加压侧电极28的滑盖33通常由加压侧电极28的前端突出，在焊接时先行于加压侧电极28与作为焊接部的裙边部13b的内面接触，包围加压侧电极28的前端部分的压接地方、即焊接部周围。

这样，用将焊接部夹持在背面电极30与加压侧电极28之间的状态，借助于对这些电极进行通电，对裙边部13b和荫罩框14进行电阻焊接。如果在加压侧电极28与背面电极30之间流过焊接电流，则作为分别在裙边部13b和荫罩框14的表面上形成的氧化膜的黑化膜被破坏，然后，裙边部和荫罩框被焊接，形成所谓的熔核40(参照图3)的焊接部。

这里，通常在荫罩框14中使用铁，在荫罩主体13中使用铁和殷钢材料。并且，因为在焊接时，将导电性差的黑化膜介在加压侧电极28与焊接材料之间，所以在这种黑化膜被破坏时和金属之间焊接时，发生溅射。

但是，因为由滑盖33包围加压侧电极23前端部分的压接地方、即焊接部周围，所以即使伴随着焊接动作发生溅射，也能由这种滑盖33确实地捕获溅射，并能防止向周围飞散。

如图5到图7所示，采用本实施例，则在固定盖34的前端部分的外侧，形成穿通孔37。此外，在能滑动地设置在固定盖34的内侧的滑盖33中，形成在盖的轴向延伸的缝隙38。通过配管41，将冷却媒体供给单元42连接在穿通孔37中。

此外，在焊接时，从冷却媒体供给单元42通过配管41、穿通孔37和缝隙38，将冷却用的惰性气体、例如氮气(N₂)提供给滑盖33内，也可以对于焊接单元通过气流。这样，如果用惰性气体流过焊接部，则能对加压侧电极28进行冷却，并能防止氧化，使溅射难于发生。因此，焊接条件稳定，能使加压侧电极28的寿命长。

此外，将与这种穿通孔37和缝隙38相同的东西，分别设置在固定盖34和滑盖33的其它位置上，借助于连接这些真空装置，也能使用滑盖33捕获的溅射不会飞散到外部，并能用真空装置确实地进行吸收去除。

此外，在上述实施例中，虽然用设置在固定盖34上的穿通孔37和设置在滑盖33上的缝隙，构成惰性气体的供给单元42或者溅射的吸收手段，但也可以如图8所示，在加压侧电极28自身上形成在前端附近的外周面上开口并穿通轴心部分到达基端部上的通路43。用作惰性气体的供给通路或者溅射的吸收通路。

此外，在前述焊接装置中，虽然利用滑盖33捕获用焊接部发生的溅射，防止向周围飞散，但以根本地减少焊接部中的溅射的发生量自身为佳。

因此，采用本实施例，则因减少来自焊接部的溅射的发生量自身，所以在焊接部至少将多个凹部24设置在荫罩主体13的裙边部13b内面上。也就是说，如图9到图11所示，在裙边部13b和荫罩框14的焊接部，至少在裙边部的内面、即加压侧电极28的前端面对接的面上，形成比这种加压侧电极28的前端面28a小的多个凹部24。例如，形成多个凹坑状的凹部24。

利用例如光刻，与荫罩12的电子束穿通孔20同时形成这些凹部24。也就是说，在制造荫罩12时，将光刻胶涂敷在作为材料的铁或者殷钢材料的带状体的表里上，在曝光工序中，将所要的图案烧结在这些表里的光刻胶上。然后，显象，并借助于利用氯化铁溶液的蚀刻工序，形成图3所示的剖面为研钵状的多个电子束穿通孔20。

这里，在荫罩12的制造工序中，在利用蚀刻，将电子束穿通孔20形成在荫罩主体13上时，在裙边部13b的内面上也与这些电子束穿通孔一起，形成凹坑状的凹部24。这里，各电子束穿通孔20在荫罩有效部分13a的表面上，成为相对于荧光体屏幕的外面侧为大径孔20a，相对于电子枪的的内面侧为小径孔20b。

如图9到图11所示，与加压侧电极28对接的是裙边部13b的内面侧，与形成小径孔20b的面是相同的面。因此，在荫罩主体13的制造工序中，借助于将所要的图案也烧结在裙边部13b的内面上，并与小径孔同时地蚀刻，能在焊接部中，能在裙边部13b的内面上形成不穿通裙边部地仅蚀刻厚度方向的一部分的半蚀刻面，并形成多个凹部24。

借助于变化曝光时的负图案，能任意地设定凹部24的间隔。深度0.01-0.1mm、直径0.2-0.6mm、间隔0.3-0.8mm地形成这些凹部24。例如，在使用板厚0.25mm的荫罩材料和前端部28a的直径为3mm的加压侧电极28的场合，深度0.05mm、直径0.45mm、间隔0.6mm左右地形成各个凹部24。并且，经过比加压侧电极28的前端面对接区域广的范围，在裙边部13b内面上形成这些凹部24。此外，在以没有将凹部形成在裙边部13b的内面的场合的加压侧电极28的前端面与裙边部内面的接触面积为100％的场合，用制造接触面积为50％-10％的间隔、直径，形成凹部24。

如前所述，在荫罩主体13上形成电子束穿通孔20和凹部24后，在荫罩主体的内面和里面形成黑化膜。

这样，在焊接部，与前述相同，用将多个凹部24形成在裙边部13b的内面上的状态，利用焊接装置的背面电极30和加压侧电极28，用规定的压力夹持裙边部13和荫罩框14，并在这些电极之间通电，进行电阻焊接。

采用这种结构，则借助于在焊接部设置多个凹部24，使焊接时，裙边部13b上的黑化膜22与加压侧电极28的前端面28a的接触面积减小，每单位面积的压力增大，焊接电流也变大。其结果，从焊接部发生的溅射量减少。此外，因为黑化膜22与加压侧电极28的前端面28a的接触面积减小，所以能减少熔融溅射飞出的黑化膜自身的绝对量。此外，借助于形成多个凹部24，对黑化膜22进行细分，因与加压侧电极28的接触面积也小，所以发生的溅射的大小也变小。此外，比小径孔20b小的溅射飞散到荫罩有效部分，也能不发生孔堵塞。

此外，这些凹部24具有良好地保持荫罩框14和与加压侧电极28的裙边部13b的接触状态。也就是说，与没有凹部24的场合比较，在用加压侧电极28对裙边部13b进行加压时，每单位面积的压力变大，能容易地使裙边部变形，以便与加压侧电极28的前端面28a的形状相合，能改善荫罩框14的密接性。因此，焊接部的接触阻抗减小。一般地，因溅射在焊接部的施加压力不充分、电气阻抗大的场合发生，所以如前所述，借助于减小电气阻抗，能大幅度地减少溅射的发生。

此外，借助于减少溅射的发生，因为没有用于使溅射飞出的焊接能量，而使用在本来的焊接中，所以能改善焊接强度。

其结果，与没有设置凹部24的场合相比，溅射的发生量大约为一半，作为焊接部的熔核40(参照图3)的大小其直径从1.3mm增大到1.9mm，改善了焊接部的强度。此外，伴随着溅射的减少，能防止焊接用电极的氧化和磨损，能进一步延长电极的寿命。此外，因能同时形成凹部24和荫罩12的电子束穿通孔20，所以不增加制造工序也能容易地形成。

此外，如图12所示，在前述的实施例中，在焊接部也可以裙边部13b的内面上形成圆柱形状的凸部44来代替凹部24。取凸部直径0.6mm左右、相对于加压侧电极28的前端面28a的直径2-3mm，这些凸部44的大小为充分地小。利用光刻也能容易地形成这些凸部44。

此外，即使在使用这些凸部44的场合，也能得到与前述相同的效果。此外，作为凸部44与加压侧电极28接触的部分成为岛状离散，所以能进一步减小溅射的大小。

此外，如图13所示，在焊接部，也可以不仅在荫罩13的裙边部13b的内面，而且在与荫罩框14连接的外面设置同样的凹部24。利用光刻也能容易地形成这些凹部24。

此外，在这种焊接部，借助于在裙边部13b的内外面上设置凹部24，能进一步改善点焊时与荫罩框14之间的每单位面积的压力和密接性。因此，能伴随着接触压力的提高和接触电阻的减小，减少溅射的发生量，并能进一步提高作为焊接部的熔核面积的增大的焊接强度的提高。

此外，在本发明中，各凹部24不限于对荫罩主体进行半蚀刻，也可以作为穿通裙边部13的穿通孔。这种穿通孔也与前述实施例相同，能利用光刻荫罩主体13形成。此外，在焊接部，借助于在裙边部13b上形成这种穿通孔，能在焊接时增大加压侧电极28与荫罩框14的接触面的每单位面积的压力，而且借助于提高密接性减小接触电阻。因此，能大幅度地减少溅射的发生量，提高焊接部的焊接强度。

此外，在荫罩框与裙边部的焊接部，增加在裙边部内面上形成的凹部24和凸部44，也可以在荫罩框的内面、即与裙边部的接触面上形成与前述相同的凹部或者凸部。

图14到图16表示在对荫罩框与荫罩主体的裙边部进行焊接时，对于焊接用电极有水冷A1、在裙边部有凹部A2、对焊接部有氮气流A3、焊接用电极没有水冷B1、在裙边部没有凹部B2、对焊接部没有氮气流B3的场合，比较各自的效果。在各图中，纵坐标轴表示SN比，数值越大、即按照在纵坐标轴向上的随机噪声越强，则称为有所谓的强(robust)性的条件。

首先，图14表示溅射的发生数，表示纵坐标轴的数值越大，即按照在纵坐标轴向上溅射减少，溅射的个数的离散小。此外，焊接用电极中有水冷A1与在焊接用电极中没有水冷B1相比，在裙边部有凹部A2与在裙边部没有凹部B2相比，对焊接部有氮气流A3与对焊接部没有氮气流B3相比，可见各自的溅射量减少，并且溅射个数的离散减少。

此外，图15表示焊接状态是否良好，表示按照在纵坐标轴向上焊接的熔核的面积大焊接强度高，并且熔核的面积离散小。焊接用电极中有水冷A1与在焊接用电极中没有水冷B1相比，在裙边部有凹部A2与在裙边部没有凹部B2相比，对焊接部有氮气流A3与对焊接部没有氮气流B3相比，可见各自的熔核面积大焊接强度高，熔核的面积的离散小。

此外，图16表示焊接状态的灵敏度，表示按照在纵坐标轴向上熔核大小的平均值大。焊接用电极中没有水冷B1与在焊接用电极中有水冷A1相比，在裙边部有凹部A2与在裙边部没有凹部B2相比，对焊接部有氮气流A3与对焊接部没有氮气流B3相比，可见各自的熔核大小的平均值大。

由图14到图16可见，对于任何一种场合，借助于在荫罩主体的裙边部上设置凹部，能显示对于各要素的优良的效果。

此外，图17分别表示对于荫罩主体的裙边部上有前述凹部的场合A4与没有的场合B4，对溅射的大小进行比较时的溅射大小的分布图、即方框图，方框图的上侧是3/4位数，方框图的下侧是1/4位数，方框图的横线是中央值，0是平均值，向上延伸的线是最大值，向下延伸的线是最小值。此外，有前述凹部的场合A4与没有的场合B4相比，可见溅射的大小非常小。

此外，本发明不限于前述实施例，可以在本发明范围内进行种种变形。能对应于需要，例如阴极射线管的各结构要素的形状、大小和焊接装置中的焊接用电极的大小、形状等，进行各种选择。

Claims

1.一种阴极射线管的荫罩，其特征在于，包括

2.如权利要求1所述的荫罩，其特征在于，

所述裙边部，包括在所述各焊接地方，在所述外面形成的具有面积分别比所述电极的对接面的面积小的多个凹部或者凸部的至少一种。

3.如权利要求1所述的荫罩，其特征在于，

所述多个凹部或者凸部的间隔和直径形成为使得所述电极的对接面与所述裙边部内面的接触面积为所述电极的对接面的面积的50％到10％。

4.如权利要求1所述的荫罩，其特征在于，

所述荫罩主体具有覆盖其全部表面的氧化膜，所述荫罩框具有覆盖其全部表面的氧化膜。

5.一种阴极射线管，其特征在于，包括

将荧光体屏幕设置在内面上的玻板，

相对于所述荧光体屏幕设置的荫罩，和

通过所述荫罩将电子束照射在所述荧光体屏幕上的电子枪，

所述荫罩包括

6.如权利要求5所述的阴极射线管，其特征在于，

7.如权利要求5所述的阴极射线管，其特征在于，

8.如权利要求5所述的阴极射线管，其特征在于，

9.一种荫罩的制造方法，其特征在于，包括下述步骤

将荫罩框重叠配置在所述裙边部的外侧上，

10.如权利要求9所述的荫罩的制造方法，其特征在于，

利用同一蚀刻工序，在所述荫罩主体上形成所述多个凹部或者凸部的至少一种以及所述电子束穿通孔。

11.如权利要求9所述的荫罩的制造方法，其特征在于，

所述多个凹部或者凸部的间隔和直径形成为使得所述第1电极的对接面与所述裙边部内面的接触面积为所述第1电极的对接面的面积的50％到10％。

12.如权利要求10所述的荫罩的制造方法，其特征在于，

利用蚀刻工序，在所述荫罩主体上形成所述多个凹部或者凸部的至少一种以及所述电子束穿通孔后，用氧化膜覆盖所述荫罩主体的外面。