CN1205040C - 喷墨打印头及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
一种喷墨打印头及其制造方法，在振动板靠近打印头主体部的那一个面上，形成其上设有将振动板的变位部暴露给压力室的窗部的中间层。用由电附着树脂形成的粘接剂将中间层和主体部的划分壁接合到一起。中间层由铜形成，为不使流出来的粘接剂沾到振动板的变位部上，而将中间层的厚度设在5μm。
Description
技术领域
本发明涉及用于喷墨式记录装置的一种喷墨打印头及其制造方法。
背景技术
利用压电元件的压电效果进行记录的喷墨式记录装置一直被应用在打印机、打字机以及传真机等上。如图14和图15所示，将多层薄膜层叠起来而构成的喷墨打印头，便是被应用到这类记录装置中的喷墨打印头的一个例子。
在上述喷墨打印头里，在打印头主体部108的内部形成有多个沿图中的L2方向排列着的压力室101，和在L2方向上呈细长状的共用墨汁室102。所形成的每一个压力室101的水平断面形状在L1方向上为细长的长方形。每一个压力室101通过每一条墨汁供给路105而和共用墨汁室102相通。在喷墨打印头的表侧(图14的下侧)形成有喷嘴103。该喷嘴103和压力室101通过墨汁喷出路104相通。压力室101的背侧(图14的上侧)被振动板112划分开。振动板112由铬(Cr)形成，它还能起向压电元件106施加电压的共用电极的作用。压电元件106接合在振动板112的背面。在压电元件106的背面设有专用电极111。向压力室101内的墨汁施加压力的执行元件部107是由专用电极111、压电元件106以及振动板112构成的。主体部108和振动板112是通过粘接剂120而相互接合在一起的。
近年来，打印头结构正在随着记录装置的高解像度化等而向细微化发展。与此相伴，如图15所示，相邻压电元件106间的间隔变短，划分压力室101的划分壁109也变得越来越薄。于是，如图15的假想线(双点划线)所示，在将主体部108和振动板112粘接在一起的时候，有时粘接剂120会从接合面上溢出来，其中的一部分114会粘到振动板112的变位部113上。在这样的情况下，振动板112的变位部113的变位量会减小且变位进行得不顺利，以致墨汁的喷出性能下降。还有，振动板112的变位部113相对于不同的压力室的变位量也有可能不一样。结果是会导致打印出来的文字的质量下降。
发明内容
本发明是以上述课题为出发点而开发出来的。对打印头主体部和振动板做一个使粘接剂不会妨碍振动板的变位动作的粘接，以解决上述问题。此乃本发明之目的所在。
为达成上述目的，本发明所涉及的喷墨打印头的具体情况如下：备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的打印头主体部，和为能与该打印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该打印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部，是一种能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出的喷墨打印头，在上述振动板和上述打印头主体部之间，设置有用来防止粘接剂沾到该振动板的变位部的中间层，并且，上述中间层的厚度在5μm以上，上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。
这样，即使在将打印头主体部和振动板接合到一起时粘接剂溢出来了，因在粘接剂和振动板之间设置了中间层，所以所溢出的粘接剂只会沾到该中间层上。因此，能防止溢出来的粘接剂沾到振动板的变位部，振动板也就能很好地进行变位动作了。结果是：参差不齐的变位被防止了，喷墨性能稳定了。
本发明所涉及的又一喷墨打印头的具体情况如下：备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的打印头主体部，和为能与该打印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该打印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部；是一能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出的喷墨打印头；在上述振动板靠近印头主体部的那一个面上，设置有其上形成有把该振动板的变位部暴露给上述压力室的窗部且由金属、陶瓷或者树脂形成的中间层，并且，上述中间层的厚度在5μm以上；上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。
这样，很容易地就能利用溅镀、CVD等薄膜形成技术，形成防止粘接剂沾到振动板的变位部的中间层。
因用铜的话，很容易形成较厚的膜，所以最好是用铜来形成中间层。这样做，很容易地就能形成确保粘接剂不沾到振动板的、膜厚也厚的中间层。还有，因铜具有易蚀刻等优良的加工性，所以窗部的形成也就容易了。
另一方面，也可以用钛形成中间层。这样做，因钛即使被暴露给墨汁也很难发生劣化，因此中间层的寿命会变长。还有，因钛和铬间的粘着性很高，所以在用铬来形成振动板的场合下，和振动板间的粘着性提高。结果是：不用形成提高中间层和振动板间的粘着性的粘着性改善层了，制造工序被缩短了。
若中间层太薄，粘接剂就容易沾到振动板的变位部。因此最好是形成厚度为5μm以上的中间层。这样做，就能有效地防止粘接剂沾到振动板的变位部。
形成厚度大于7μm的中间层就更理想了。这样做的话，能确保粘接剂不沾到振动板的变位部。
另一方面，因若中间层太厚，则中间层的形状很难形成得很完美，所以最好是形成厚度为30μm以下的中间层。这样做，很容易形成形状完好的中间层。
由于所使用材料的不同，有时中间层和振动板间的粘着性欠佳。若如此，则可在中间层和振动板之间，设置一提高该中间层和该振动板间的粘着性的粘着性改善层。这样在中间层和振动板间加上粘着性改善层后，它们的粘着性就被提高了。结果是：能防止中间层脱落。
可以用铬形成振动板，用铜形成中间层，用钛形成粘着性改善层。这样做，因钛和铬之间的粘着性很高，所以即使在振动板用铬，中间层用铜的情况下，也能将中间层和振动板牢固地粘接在一起。
为防止粘着性改善层成为小岛状，也就是为形成一良好的层来作粘着性改善层，最好是形成厚度在0.01μm以上的粘着性改善层。这样，粘着性改善层便将振动板和中间层牢固地粘接到一起了。
本发明所涉及的又一喷墨打打印头的具体情况如下：它备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的打印头主体部，和为能与该打印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该打印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部；它是能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出的喷墨打印头；在与上述打印头主体部相对的上述振动板的那个面上，设置有用来将上述振动板安装到上述打印头主体部上的突出部。
上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述突出部，通过粘接剂固定在一起，这样是可以的。
这样做，振动板的一部分，即突出部能起到上述中间层的作用。结果是：不用分别形成中间层和振动板了，还有，也不用往振动板上安装中间层了。
本发明所涉及的一种喷墨打印头的制造方法，即为利用压电体的压电效果让振动板变位，再利用该振动板的变位从喷嘴将压力室内的墨汁喷出，它包括：在振动板的表面上形成中间层的工序；在上述中间层对应于上述振动板的变位部的那一位置上形成开口的工序；在上述中间层的开口和打印头主体部的压力室用凹部重合的状态下，将该中间层和该打印头主体部接合到一起的工序。
这样做，上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。此时，即使有一部分粘接剂溢出来，这些溢出来的粘接剂也不会沾到中间层上，也就能防止它沾到振动板的变位部了。
本发明所涉及又一种喷墨打印头的制造方法，即为利用压电体的压电效果让振动板变位，再利用该振动板的变位从喷嘴将压力室内，它包括：在振动板的表面上形成粘着性改善层的工序；在上述粘着性改善层的表面上形成中间层的工序；至少在上述中间层与上述振动板的变位部相对应的那一位置上形成开口的工序；在上述中间层的开口和打印头主体部的压力室用凹部重合的状态下，将该中间层和该打印头主体部接合到一起的工序。
这样做，在振动板和中间层之间就形成了粘着性改善层，中间层便由所夹的粘着性改善层而被牢固地固定到振动板上了。于是，振动板和打印头主体部，其间夹着中间层，通过粘接剂而相互接合到一起。此时，即使有一部分粘接剂溢出来，这些溢出来的粘接剂只会沾到中间层上，也就能防止它沾到振动板的变位部了。
如上所述，根据本发明，在振动板和打印头主体部之间形成了中间层，所以在接合执行元件部和打印头主体部的时候，也就能防止粘接剂沾到振动板的变位部了。结果是：振动板的变位动作进行得很圆满，喷墨性能被提高。
用铜形成中间层，则很容易形成一形状完好的较厚的膜。因此也就很容易形成一适于防止粘接剂沾到振动板上的层。还有，很容易形成为振动板的变位部而设置的窗部。
用钛形成中间层，则能形成一即使被暴露在墨汁中也不会劣化的中间层。并且在用铬形成振动板的场合下，还能提高中间层和振动板之间的粘着性。
通过在中间层和振动板之间设置一粘着性改善层，便能提高中间层和振动板之间的粘着性，从而确防中间层脱落。
附图说明
图1是喷墨打印机的概略结构图。
图2是实施例1所涉及的喷墨打印头的立体图。
图3是实施例1所涉及的喷墨打印头的部分剖面图。
图4(a)及(b)示出了振动板的变位偏移率是怎样随粘接面积变化的。图4(a)示出了解析模型，图4(b)示出了解析结果。
图5(a)及(b)示出了振动板的变位偏移率是怎样随中间层的偏置率变化的。图5(a)示出了解析模型，图5(b)示出了解析结果。
图6(a)～(d)示出了实施例1所涉及的喷墨打印头的制造方法里的一部分工序。
图7(a)～(d)示出了实施例1所涉及的喷墨打印头的制造方法里的一部分工序。
图8(a)～(c)示出了实施例1所涉及的喷墨打印头的制造方法里的一部分工序。
图9(a)及(b)示出了实施例1所涉及的喷墨打印头的制造方法里的一部分工序。
图10是实施例2所涉及的喷墨打印头的部分剖面图。
图11(a)～(e)示出了实施例2所涉及的喷墨打印头的制造方法里的一部分工序。
图12(a)～(d)示出了实施例2所涉及的喷墨打印头的制造方法里的一部分工序。
图13是又一实施例所涉及的喷墨打印头的部分剖面图。
图14是现有的喷墨打印头的部分剖面图。
图15是沿图14中的X1-X1线剖开后的剖面图。
具体实施方式
(第1实施例)
-喷墨打印头的结构-
如图1所示，本实施例所涉及的喷墨打印头1被安装在喷墨打印机6上它能让所喷出的墨滴落在纸张等记录媒体4上，以此进行记录。喷墨打印头1被设置在沿滑架轴3来回移动的滑架2上，并和滑架2一起沿主扫描方向X来回移动。滑架2每沿主扫描方向X移动一个扫描量，滚筒5便沿副扫描方向Y将记录媒体4送一下。
如图2所示，喷墨打印头1备有：其上形成有共用墨汁室10、多个压力室12用凹部14以及多个喷嘴12的主体部15和向压力室11内的墨汁施加压力的执行元件部16。
沿副扫描方向Y且每隔一定的间隔设置有主体部15的压力室用凹部14。所形成的每一个压力室用凹部14的开口断面(XY断面)在主扫描方向X上呈细长的近似矩形状。在压力室用凹部14底部的长度方向的一端(图2的右端)形成有接通共用墨汁室10和压力室11的墨汁供给口21；在压力室用凹部14的另一端(图2的左端)形成有接通压力室11和喷嘴12的墨汁流路13。
执行元件部16备有：由厚2μm的铬(Cr)形成的振动板17、形成在振动板17上且由厚3μm的PZT薄膜构成的压电元件18、形成在压电元件18上且由厚0.1μm的铂(Pt)构成的专用电极19、以及填好相邻的压电元件18及专用电极19间的侧面缝隙的由聚笋亚胺薄膜形成的绝缘层20。为覆盖住主体部15上的所有的压力室用凹部14，通过后述的中间层22将振动板17固定到主体部15的背面(图2的上面)。
如图3所示，各压电元件18及专用电极19分别被设置在对应于各压力室用凹部14的那一位置上。压电元件18及专用电极19的水平剖面的面积比压力室用凹部14的小一圈。另外，绝缘膜20能防止相邻专用电极19之间发生短路。
用粘接剂23将执行元件部16和主体部15固定在一起。为防止粘接剂23沾到振动板17的变位部24，而在振动板17的表面(图3的下面)设置一由铜形成的中间层22，以便在振动板17和粘接剂23之间留出一定的间隔。为在墨滴喷出的时候，不妨碍振动板17的变位动作，而在中间层22上对应于各振动板17的变位部24的那一位置上形成窗部25。所形成的窗部25能让振动板17的变位部24暴露给压力室11，且是一个面积比压电元件18大一圈的开口。
粘接剂23由电附着树脂形成，且它被设在中间层22的表面和主体部15的背面之间。也就是说，通过用粘接剂23把中间层22和主体部15粘接起来，即可把执行元件部16和主体部15固定在一起。
中间层22上的将相邻窗部25隔开的隔离部26的宽度(即图3中，左右方向上的长度)，和将压力室11划分开的主体部15的划分壁27的宽度相等。且只要不妨碍振动板17的变位部24的变位，中间层22上的隔离部26的宽度可为任意值，例如，可使它的宽度比主体部15的划分壁27的宽。相反，还可使隔离部26的宽度比划分壁27的窄。
-中间层22的厚度-
从通过蚀刻等方法而使窗部25的形状完美的观点来看，最好是尽量地将中间层22做得薄一些；从防止粘接剂23沾到振动板17上以稳定振动板17的变位的观点来看，最好是尽量地将中间层22做得厚一些。因此，设定中间层22的厚度时，必须同时从这两个观点加以考虑。
图4(b)示出了利用图4(a)所示的结构解析模型而得出的解析结果。图4(b)示出了振动板17的变位偏移率是怎样随粘接剂23的粘接面积变化的。横轴表示粘接面积的百分比，纵轴表示不同的粘接面积下的变位对粘接面积为100％时的变位(理想变位)的偏移率。这里，所示的是分别以厚5μm的Cu膜(图中的实线)、厚3μm的Cu膜(虚线)、厚5μm的聚笋亚胺(Pl)膜(点划线)作中间层22的情况，和未设中间层22的情况(双点划线)。设铜的杨氏模量为1.22×1011[N/m2]，聚笋亚胺的杨氏模量为8.0×109[N/m2]。结果为：在以厚5μm以上的Cu膜形成中间层22的情况下，若将粘接剂的粘接面积保持在75％以上，则变位偏移率就能被控制在±2％以内。
图5(b)示出了振动板17的变位偏移率是怎样随中间层22的偏置率而变化的。这里，利用图5(a)所示的结构解析模型，对用厚5μm(图中的实线)及厚3μm(虚线)的Cu膜做中间层22的情形进行了解析。其结果为：在利用厚5μm以上的Cu膜的情况下，若偏置率在35％以内，则变位偏移率就能被控制在±2％以内。
于是，本实施例便以这些解析结果为依据，将中间层22的厚度设为5μm。不过，在对变位偏移率要求得并不十分严格的情况下，可以将中间层22的厚度设在5μm以下。相反，在对变位偏移率要求得很严格的情况下，最好是将中间层22的厚度设得厚一些(如7μm以上)。另外，若中间层22太厚，则它很难形成为一个形状齐整的均匀层，因此，中间层22的厚度最好在30μm以下，若能在15μm以下，就特别好了。
-喷墨打印头的制造方法-
其次，参照图6～图9，说明本喷墨打印头1的制造方法。
首先，准备氧化镁(MgO)基板30(参见图6(a))，在该基板30的表面上形成厚0.1μm的铂膜31(参见图6(b))。然后，在铂膜31的表面上形成c轴取向的厚3μm的PZT薄膜32(参见图6(c))。
之后，如图6(d)所示，为仅在对应于各压力室的那一位置上留下铂膜31和PZT薄膜32，而对铂膜31和PZT薄膜32进行分割图案化，以形成由该铂膜31和PZT薄膜32形成的专用电极19和压电元件18。
其次，如图7(a)所示，为防止相邻专用电极19之间发生短路，而在通过上述图案化被除去而空下来的地方填入聚笋亚胺20。然后，再将它的表面平坦化。这之后，如图7(b)所示，在已被平坦化的压电元件18及聚笋亚胺20上，形成作振动板17用的厚2μm的Cr膜。
其次，如图7(c)所示，在该振动板17上形成厚5μm的Cu膜33。之后，进行蚀刻并将Cu膜33图案化，以在对应于振动板17的变位部24的那一位置上形成开口。于是，形成了内有窗部25的中间层22(参见图7(d))。中间层22及执行元件部16就这样得到了。
其次，将上述执行元件部16固定到已经形成有各压力室11用开口的感光性玻璃基板34上。需提一下，该玻璃基板34是主体部15的一个构成部分。具体而言，如图8(a)所示，将由电附着树脂形成的粘接剂23涂到中间层22或者玻璃基板34上，使中间层22及玻璃基板34贴紧，于是通过该粘接剂23将中间层22及玻璃基板34固定在一起(参照图8(b))。这时，因有了中间层22，所以振动板17的变位部24离粘接剂23就很远，因此即使一部分粘接剂23会如图3中假想线所示的那样溢出来，溢出来的这一部分粘接剂35也不会沾到振动板17的变位部24上。故在执行元件部16的工作期间，振动板17的变位部24的变位动作不会受到妨碍。
之后，如图8(c)所示，将执行元件部16和玻璃基板34倒过来以后，再除去氧化镁基板30(图9(a))。然后，如图9(b)所示，把玻璃基板34接合到其内已形成有压力室用凹部14、共用墨汁室10以及喷嘴12等的主体块36上。需提一下，主体部15是由该主体块36和玻璃基板34构成的。
如上所述，可得到主体部15和执行元件部16(二者之间夹着中间层22)被粘接在一起的喷墨打印头1。
于是，因在该喷墨打印头1中，在振动板17和主体部15之间设置了中间层22，故即使一部分粘接剂23会溢出来，溢出来的那一部分也不会沾到振动板17的变位部24上。因此，在喷墨的时候，振动板17能平滑地变位，不会受到任何妨碍。因而即使使用高密度的打印头，喷出性能也能维持得很好。
在本实施例中，用铜形成中间层22，所以窗部25很容易形成。而且也很容易形成一个较厚的中间层22。还有，这里将中间层22的厚度设在5μm，所以即使在粘接剂23的粘接面积很小或者粘接位置偏了的情况下，振动板17的变位偏差也很小。因此，喷墨性能很稳定。
(实施例2)
如图10所示，在振动板17和中间层22之间夹上一层粘着性改善层37，即构成了实施例2所涉及的喷墨打印头51。粘着性改善层37能提高振动板17和中间层22之间的粘着性，是由厚0.05μm(500)的钛膜形成的。
在中间层22的隔离部26上形成有由厚0.2μm的钛膜而构成的第1覆盖膜38。在中间层22的表面，即靠近粘接剂23的那一个面上形成有由厚0.05μm的Cr膜构成的第2覆盖膜39。另外，本实施例中的粘着性改善层37和第2覆盖膜39都非常薄，所以它们对振动板17的变位动作的影响很小。因此，就让形成在对应于振动板17的变位部24的那一位置上的粘着性改善层37和第2覆盖膜39原封不动地留下来。当然，为使振动板17的变位动作进行得更加平滑，将形成在变位部24表面上的粘着性改善层37和第2覆盖膜39除去，也是完全可行的。
需要说明的是，为不妨碍振动板17的动作，最好尽量将粘着性改善层37做得薄一些。但若粘着性改善层37的厚度太薄，则膜的形状会成为“小岛状”，也就很难形成良好的膜了。于是，要想既防止它成为“小岛状”又尽量使它薄一些，则最好是使粘着性改善层37的厚度在0.01μm～0.2μm之间，0.01μm～0.1μm之间就特别好了。
下面，来说明本喷墨打印头51的制造方法。首先，和实施例1一样，在氧化镁基板30的表面上顺序形成厚0.1μm的铂膜31及厚2.5μm的PZT薄膜32(参见图11(a))。将它们图案化以形成压电元件18和专用电极19(参见图11(b))。之后，在铂膜31及PZT薄膜32已被除去的地方填入聚笋亚胺，以形成绝缘膜20(参见图11(c))。再在它上面形成由厚2μm的Cr膜而形成的振动板17(参见图11(d))。
其次，在振动板17的表面上形成作粘着性改善层37的厚0.05μm的钛膜(参见图11(e))。再在该粘着性改善层37的表面上形成厚5μm的Cu膜33(参见图12(a))。之后，将Cu膜33图案化以形成中间层22(参见图12(b))。再在中间层22的表面形成作第1覆盖膜38的厚0.2μm的钛膜(参见图12(c))。然后，在对应于粘着性改善层37和第1覆盖膜38上的中间层22的那一位置上，形成作第2覆盖膜39的厚0.05μm的Cr膜(参见图12(d))。
之后，和实施例1一样，通过由电附着树脂形成的粘接剂23将执行元件部16的中间层22和主体部15的玻璃基板34粘接在一起。换句话说，将玻璃基板34固定到主体块36上。这样，就制成了喷墨打印头51。
如上所述，在本喷墨打印头51中，在振动板17和中间层22之间形成了粘着性改善层37，所以振动板17和中间层22就贴得很紧。这样，中间层22便不易脱落，寿命和可靠性都提高了。相反，因粘着性改善层37能使粘着性提高，所以可用相互间粘着性较低的材料来形成振动板17和中间层22，从而提高设计自由度。
还有，因设置了覆盖中间层22的隔离部26的第1覆盖层38，所以由铜等形成的中间层22不会直接接触压力室11内的墨汁。因此中间层22也就不会因沾上墨汁而发生劣化了。
还有，因在中间层22和粘接剂23之间设置了由Cr形成的第2覆盖膜39，所以其间夹有粘接剂23的中间层22和玻璃基板34间的粘着性就很高。因此，可以使执行元件部16和主体部15接合得很牢固。
(实施例3)
用钛膜来形成实施例1中的中间层22，即可构成实施例3。虽然钛比铜难加工，但它对铬的粘着性比铜大。所以若用钛膜来形成中间层22，则即使不设置实施例2那样的粘着性改善层37，也能对振动板17牢固地形成一个中间层22。结果是，若采用本实施例，形成粘着性改善层37的工序就不要了，因而制造工序可被缩短。
(其他实施例)
另外，中间层22的材料并不限于铜、钛。其他金属、陶瓷或者树脂等都可作中间层22的材料。
在上述各个实施例中，主体部15的材料并不限于玻璃，不锈钢(SUS)等金属也可以作它的材料。
粘接剂23并不限于电附着树脂，环氧树脂等其他粘接剂也可作。
在上述各实施例中，所形成的中间层22和振动板17是分体的，除此以外，将中间层22和振动板17形成为一体也是可以的。也就是说，可拿出振动板17的一部分来形成中间层22。例如，如图13所示，在振动板17靠近主体部15的那一个面上，设置一用来将振动板17安装到主体部15上的突出部60，让该突出部60起中间层的作用，这样做也是可以的。若这样做，便可通过振动板17的一部分，即突出部60获得上述效果。这样就不用分别形成中间层和振动板了。
本发明可以在不脱离上述精神或者主要特点的情况下，以其他的各种形式来实施。
也就是说，上述实施例从各方面而言无非是一些示例而已，不应该对它进行限定性的分析本发明的要求范围是以权利要求的形式表示出来了，不受说明书本文的限制。另外，等同于权利要求的变形或者变更，也都应属于本发明的范围内。
Claims (13)
1.一种喷墨打印头，它备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的打印头主体部，和为能与该打印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该打印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部，它能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出，其中：
在上述振动板和上述打印头主体部之间，设置有用来防止粘接剂沾到该振动板的变位部的中间层，并且，上述中间层的厚度在5μm以上；
上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。
2.一种喷墨打印头，它备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的打印头主体部，和为能与该打印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该打印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部，它能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出，其中：
在上述振动板靠近打印头主体部的那一个面上，设置有其上形成了把该振动板的变位部暴露给上述压力室的窗部且由金属、陶瓷或者树脂形成的中间层，并且，上述中间层的厚度在5μm以上；
上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述中间层，通过粘接剂固定在一起。
3.根据权利要求1或者2所述的喷墨打印头，其中：
用铜形成上述中间层。
4.根据权利要求1或者2所述的喷墨打印头，其中：
用钛形成上述中间层。
5.根据权利要求1所述的喷墨打印头，其中：
所形成的上述中间层的厚度大于7μm。
6.根据权利要求1所述的喷墨打印头，其中：
所形成的上述中间层的厚度在30μm以下。
7.根据权利要求1或者2所述的喷墨打印头，其中：
在上述中间层和上述振动板之间，设置有用来提高该中间层和该振动板间的粘着性的粘着性改善层。
8.根据权利要求7所述的喷墨打印头，其中：
用铬形成上述振动板，用铜形成上述中间层，用钛形成上述粘着性改善层。
9.根据权利要求7所述的喷墨打印头，其中：
所形成的上述粘着性改善层的厚度在0.01μm以上。
10.一种喷墨打印头，它备有其上形成有压力室用凹部及喷嘴的打印头主体部，和为能与该打印头主体部共同划分并形成压力室，其中有覆盖该打印头主体部的压力室用凹部的振动板及被固定在该振动板上的压电体的执行元件部，它能通过该压电体的压电效果使该振动板变位，以从上述喷嘴将上述压力室内的墨汁喷出，其中：
在与上述打印头主体部相对的上述振动板的那个面上，设置有用来将上述振动板安装到上述打印头主体部上的突出部。
11.根据权利要求10所述的喷墨打印头，其中：
上述振动板和上述打印头主体部，其间夹着上述突出部，通过粘接剂固定在一起。
12.一种喷墨打印头的制造方法，该喷墨打印头能利用压电体的压电效果让振动板变位，再利用该振动板的变位从喷嘴将压力室内的墨汁喷出，其中包括：
在振动板的表面上形成中间层的工序；
在上述中间层对应于上述振动板的变位部的那一位置上形成开口的工序；
在上述中间层的开口和打印头主体部的压力室用凹部重合的状态下，将该中间层和该打印头主体部接合到一起的工序。
13.一种喷墨打印头的制造方法，该喷墨打印头能利用压电体的压电效果让振动板变位，再利用该振动板的变位从喷嘴将压力室内的墨汁喷出，其中包括：
在振动板的表面上形成粘着性改善层的工序；
在上述粘着性改善层的表面上形成中间层的工序；
至少在上述中间层与上述振动板的变位部相对应的那一位置上形成开口的工序；
在上述中间层的开口和打印头主体部的压力室用凹部重合的状态下，将该中间层和该打印头主体部接合到一起工序。
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