CN118443108A - 微管流量传感器及微流量检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于智能传感技术领域，具体涉及微管流量传感器及微流量检测方法；微管流量传感器，包括：电阻膜基座，设置有微流管道；流量检测模组，设置在所述电阻膜基座上，所述流量检测模组位于所述微流管道的延伸路径上且用于检测所述微流管道内的流体流量；其中，所述微流管道凹陷在所述电阻膜基座的端部，使所述电阻膜基座的端部成型有悬臂梁，所述流量检测模组嵌入在所述悬臂梁上。在本发明中，通过将微流管道集成在电阻膜基座，待测流体并不是直接与流量检测模组流量检测模组接触，而是通过微流管道与悬臂梁接触后，微流管道内流动的待测流体将悬臂梁上的热量转移，进而通过流量检测模组检测悬臂梁上的温差，实现更高的测量精准度。

Description

微管流量传感器及微流量检测方法

技术领域

本发明属于智能传感技术领域，具体涉及微管流量传感器及微流量检测方法。

背景技术

流量传感器是一种用于测量流体(如气体或液体)通过管道或通道的流量或流速的设备。这种传感器通常用于各种工业应用，如过程控制、环境监测、化学分析等。

但是，传统的微观流量检测，如CN102445246A公开了流量传感器芯片和与流量传感器芯片键合在一起的盖帽，所述流量传感器芯片上设有传感器敏感区，所述传感器敏感区设有微热源和温度传感器，所述盖帽上设置流体流道，所述传感器敏感区位于盖帽的流体流道内，盖帽式结构缺乏一体成型的结构稳定性，并且流体管道和流量传感器芯片分开，使用时，传感芯片是直接放置在流体移动位置，进而实现流量感应，当气体流速低，流量弱时，气流难以穿过封装壳与芯片接触，导致传统的流量流量检测模组的测量精度存在缺陷，灵敏度低。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供具有微管流量传感器及微流量检测方法，以解决现有技术流量传感器的盖帽式结构缺乏一体成型的结构稳定性、测量精度存在缺陷，灵敏度低的问题。

本发明其中一方案提供了一种微管流量传感器，包括：

电阻膜基座，所述电阻膜基座上设置有微流管道；

流量检测模组，所述流量检测模组设置在所述电阻膜基座上，所述流量检测模组位于所述微流管道的延伸路径上且用于检测所述微流管道内的流体流量；

其中，所述微流管道凹陷在所述电阻膜基座的端部，使所述电阻膜基座的端部成型有悬臂梁，所述流量检测模组嵌入在所述悬臂梁上。

在其中一个方案中，所述电阻膜基座包括第一连接座和第二连接座，所述第一连接座和所述第二连接座互为相对的端面分别成型有第一凹槽和第二凹槽，当所述第一连接座和所述第二连接座盖合连接后，所述第一凹槽和所述第二凹槽连通形成所述微流管道，所述悬臂梁成型在所述第一连接座或所述第二连接座背向所述微流管道的端部。

在其中一个方案中，所述第一连接座和所述第二连接座均由硅晶圆片制作成型，所述第一连接座和所述第二连接座通过MEMS工艺键合成型。

在其中一个方案中，所述电阻膜基座包括两组支撑台，两组所述支撑台分别设置在所述悬臂梁的两端，所述微流管道成型在两组所述支撑台之间，所述悬臂梁和两组所述支撑台的整体截面呈匚形状结构设置，两组所述支撑台的厚度大于所述悬臂梁，两组所述支撑台之间形成一容纳槽，所述微流管道铺设在所述容纳槽的槽壁上，所述微流管道的两端延伸至所述容纳槽的外侧，所述微流管道与所述悬臂梁紧密贴合。

在其中一个方案中，所述电阻膜基座还包括限位座，所述限位座盖设在两组所述支撑台上，所述限位座的端部延伸至所述容纳槽内且将所述微流管道限位在所述容纳槽内。

在其中一个方案中，所述电阻膜基座由合金陶瓷制作成型，所述电阻膜基座的截面呈矩形状结构设置，所述电阻膜基座经压制或注塑一体成型，所述微流管道成型在所述电阻膜基座的内部，所述微流管道的两端与所述电阻膜基座的外侧连通，其中，所述微流管道的截面呈几形状结构设置，所述微流管道的中间段靠近所述电阻膜基座的顶端，所述电阻膜基座靠近所述微流管中间段的端部形成所述悬臂梁，所述流量检测模组设置在所述电阻膜基座的顶端。

在其中一个方案中，所述流量检测模组包括热敏电阻膜和发热单元，所述热敏电阻膜和所述发热单元沿所述悬臂梁的长度方向依次间隔地嵌入在所述悬臂梁远离所述微流管道的端部，所述热敏电阻膜与一控制系统电性连接且实时向所述控制系统反馈阻值，所述发热单元用于加热所述热敏电阻膜。

在其中一个方案中，所述热敏电阻膜的数量为两组，两组所述热敏电阻膜间隔分设于所述发热单元的两侧。

在其中一个方案中，所述电阻膜基座还包括隔热封盖，所述隔热封盖呈匚形状结构设置，所述隔热封盖的两端与所述悬臂梁的两端连接，所述隔热封盖的中间位置悬空在所述悬臂梁上方，所述隔热封盖与所述悬臂梁之间形成用于容纳所述热敏电阻膜和所述发热单元的隔绝型腔。

在其中一个方案中还指出了一种微流量检测方法，包括以下步骤：

发热单元工作，通过电阻膜基座的悬臂梁将热量传导至热敏电阻膜上，使两组热敏电阻膜同步升温；

待检测流体沿微流管道移动，流体与电阻膜基座的悬臂梁进行热传导，使悬臂梁的热量沿预设路径转移；

经流体影响后，两组热敏电阻膜的升温速度产生偏差，两组热敏电阻膜反馈至控制系统的阻值参数存在电阻差；

控制系统通过电阻差数值计算当前微流管道中的流体流量参数。

本发明以上方案所提供的微管流量传感器及微流量检测方法的有益效果如下：

1、通过将微流管道集成在电阻膜基座，待测流体并不是直接与流量检测模组接触，而是通过微流管道与悬臂梁接触后，微流管道内流动的待测流体将悬臂梁上的热量转移，干涉悬臂梁上的流量检测模组原有的热量流向，进而通过检测流量检测模组上的电阻的温差，实现更高的测量精准度。

2、通过发热膜的运行对悬臂梁进行加热，在无流动(静止)条件下，发热膜周围的温度分布是对称的，形成成对称分布的温度场，热敏膜的电阻值稳定不变；而当微流管道有流体流动时，流体将悬臂梁上的热量转移，与发热膜相邻设置的热敏膜的电阻值发生变化，进而通过电阻值变化获取温度变化，实现测量流体的流量。

3、设置于发热膜的两侧的热敏膜对温度变化非常敏感，能够检测到由流体流动引起的悬臂梁温度差异，通过测量悬臂梁温度差异，可以推导出流体的流速或流量；从而解决气体流速低，流量弱时，微管流量传感器灵敏度低的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1表示本发明的微管流量传感器的结构示意图；

图2表示本发明的第一连接座的结构示意图；

图3表示本发明的第二连接座的结构示意图；

图4表示本发明的微流管道结构示意图；

图5表示本发明的另一实施例的微管流量传感器的结构示意图；

图6表示本发明的微管流量传感器的内部结构示意图；

图7表示本发明的微管流量传感器的剖面结构示意图；

图8表示本发明的又一实施例的微管流量传感器的结构示意图；

图9表示本发明的微管流量传感器的立体结构示意图；

图10表示本发明的微管流量传感器的剖视结构示意图；

图11表示本发明的发热单元的结构示意图；

图12表示本发明的又一实施例的流量检测模组的结构示意图

附图标号如图所示：

10-电阻膜基座；11-微流管道；12-悬臂梁；13-支撑台；14-限位座；15-隔热封盖；101-第一连接座；102-第二连接座；103-第一凹槽；104-第二凹槽；

20-流量检测模组；21-热敏电阻膜；22-发热单元；221-基材；222-发热线圈。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，若全文中出现的“和/或”或者“及/或”，其含义包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

请参照图1-图10，本发明其中一实施例提供了一种微管流量传感器，包括：

电阻膜基座10，所述电阻膜基座10上设置有微流管道11；

流量检测模组20，所述流量检测模组20设置在所述电阻膜基座10上，所述流量检测模组20位于所述微流管道11的延伸路径上且用于检测所述微流管道11内的流体流量；

其中，所述微流管道11凹陷在所述电阻膜基座10的端部，使所述电阻膜基座10的端部成型有悬臂梁12，所述流量检测模组20嵌入在所述悬臂梁12上。

在本实施例中，通过所述流量检测模组20嵌入在所述悬臂梁12上，待测流体并不是直接与流量检测模组20接触，而是通过微流管道11与悬臂梁12接触后，微流管道11内流动的待测流体将悬臂梁12上的热量转移，干涉悬臂梁12上原有的热量流向，进而通过检测悬臂梁12上的流量检测模组20内热敏元件的电阻值变化获取温度变化，实现更高的测量精准度。

请参照图2-图4，在其中一个实施例中，所述电阻膜基座10包括第一连接座101和第二连接座102，所述第一连接座101和所述第二连接座102互为相对的端面分别成型有第一凹槽103和第二凹槽104，当所述第一连接座101和所述第二连接座102盖合连接后，所述第一凹槽103和所述第二凹槽104连通形成所述微流管道11，所述悬臂梁12成型在所述第一连接座101或所述第二连接座102背向所述微流管道11的端部。

在本实施例中，通过将成型有第一凹槽103的第一连接座101和第二凹槽104的第二连接座102盖合连接，用于第一凹槽103和第二凹槽104连通形成微流管道11，本方案中的微流管道11的成型方案简单，并且第一凹槽103和第二凹槽104可根据不同的应用场景需求可灵活设计，例如将第一凹槽103和第二凹槽104成型为“冂”型结构，用于形成“冂”型的微流管道11，便于在该微流管道11的顶部位置的悬臂梁12设置流量检测模组20，使待测流体充分与悬臂梁12接触，进而实现更好的测量精准度。

在其中一个实施例中，所述第一连接座101和所述第二连接座102均由硅晶圆片制作成型，所述第一连接座101和所述第二连接座102通过MEMS工艺键合成型。

键合是将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理，在一定条性下直接结合，通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术；在本实施例中，第一连接座101和第二连接座102通过MEMS工艺键合成型，确保电阻膜基座10以及微流管道11的机械稳定性、密封性以及器件的功能满足程度。

请参照图5-图7，在其中一个实施例中，所述电阻膜基座10包括两组支撑台13，两组所述支撑台13分别设置在所述悬臂梁12的两端，所述微流管道11成型在两组所述支撑台13之间，所述悬臂梁12和两组所述支撑台13的整体截面呈匚形状结构设置，两组所述支撑台13的厚度大于所述悬臂梁12，两组所述支撑台13之间形成一容纳槽，所述微流管道11铺设在所述容纳槽的槽壁上，所述微流管道11的两端延伸至所述容纳槽的外侧，所述微流管道11与所述悬臂梁12紧密贴合。

在本实施例中，悬臂梁12和两组支撑台13的整体截面呈匚形状结构设置，两组支撑台13之间形成一容纳槽，微流管道11铺设在容纳槽的槽壁上，用于通过两组支撑台13使微流管道11与悬臂梁12紧密贴合，使待测流体通过微流管道11流通过悬臂梁12时，微流管道11的管壁充分与悬臂梁12接触，进而实现更好的测量精准度。

请参照图8-图10，在其中一个实施例中，所述电阻膜基座10还包括限位座14，所述限位座14盖设在两组所述支撑台13上，所述限位座14的端部延伸至所述容纳槽内且将所述微流管道11限位在所述容纳槽内。

在本实施例中，限位座14用于与悬臂梁12和两组支撑台13的形成的匚形状结构配合，当限位座14盖设在两组支撑台13上时，限位座14的端部延伸至容纳槽内且将微流管道11限位在容纳槽内，确保微流管道11的管壁充分与悬臂梁12抵接接触，进而实现更好的测量精准度。

在其中一个实施例中，所述电阻膜基座10由合金陶瓷制作成型，所述电阻膜基座10的截面呈矩形状结构设置，所述电阻膜基座10经压制或注塑一体成型，所述微流管道11成型在所述电阻膜基座10的内部，所述微流管道11的两端与所述电阻膜基座10的外侧连通，其中，所述微流管道11的截面呈几形状结构设置，所述微流管道11的中间段靠近所述电阻膜基座10的顶端，所述电阻膜基座10靠近所述微流管中间段的端部形成所述悬臂梁12，所述流量检测模组20设置在所述电阻膜基座10的顶端。

在本实施例中，通过一体成型的方式将微流管道11集成在电阻膜基座10上，且微流管道11的中间段靠近电阻膜基座10的顶端，确保微流管道11的管壁充分与悬臂梁12抵接接触，当微流管道11有流体流动时，流体将悬臂梁12上的热量转移，与发热单元22相邻设置的热敏电阻膜21的电阻值发生变化，进而通过电阻值变化获取温度变化，进而实现更好的测量精准度。

在其中一个实施例中，所述流量检测模组20包括热敏电阻膜21和发热单元22，所述热敏电阻膜21和所述发热单元22沿所述悬臂梁12的长度方向依次间隔地嵌入在所述悬臂梁12远离所述微流管道11的端部，所述热敏电阻膜21与一控制系统电性连接且实时向所述控制系统反馈阻值，所述发热单元22用于加热所述热敏电阻膜21。

在本实施例中，通过发热单元22的运行对悬臂梁12进行加热，在无流动(静止)条件下，发热单元22周围的温度分布是对称的，形成成对称分布的温度场，热敏电阻膜21的电阻值稳定不变；而当微流管道11有流体流动时，流体将悬臂梁12上的热量转移，与发热单元22相邻设置的热敏电阻膜21的电阻值发生变化，进而通过电阻值变化获取温度变化，实现测量流体的流量。

在其中一个实施例中，所述热敏电阻膜21的数量为两组，两组所述热敏电阻膜21间隔分设于所述发热单元22的两侧。

请参照图9-图10，在其中一个实施例中，所述电阻膜基座10还包括隔热封盖15，所述隔热封盖15呈匚形状结构设置，所述隔热封盖15的两端与所述悬臂梁12的两端连接，所述隔热封盖15的中间位置悬空在所述悬臂梁12上方，所述隔热封盖15与所述悬臂梁12之间形成用于容纳所述热敏电阻膜21和所述发热单元22的隔绝型腔。

在本实施例中，隔热封盖15与悬臂梁12之间形成的隔绝型腔可以有效地将热量隔离开来，防止外部环境的热影响对热敏电阻膜21和发热单元22产生干扰，确保它们能够在一定的温度范围内正常工作。这样可以提高设备的稳定性和可靠性，确保其工作在预期的温度范围内。隔热封盖15可以提供额外的保护层，防止外部灰尘、水汽等杂质附着到热敏电阻膜21和发热单元22中，从而保护它们免受损坏或污染。

在其中一个实施例中还指出了一种微流量检测方法，包括以下步骤：

S10、发热单元工作，通过电阻膜基座的悬臂梁将热量传导至热敏电阻膜上，使两组热敏电阻膜同步升温；

S20、待检测流体沿微流管道移动，流体与电阻膜基座的悬臂梁进行热传导，使悬臂梁的热量沿预设路径转移；

S30、经流体影响后，两组热敏电阻膜的升温速度产生偏差，两组热敏电阻膜反馈至控制系统的阻值参数存在电阻差；

S40、控制系统通过电阻差数值计算当前微流管道中的流体流量参数。

在本方案中，通过将微流管道集成在电阻膜基座，发热单元工作，通过电阻膜基座的悬臂梁将热量传导至热敏电阻膜上，使两组热敏电阻膜同步升温，待检测流体沿微流管道移动时，并流体与电阻膜基座的悬臂梁进行热传导，使悬臂梁的热量沿预设路径转移，干涉悬臂梁上的流量检测模组原有的热量流向，两组热敏电阻膜的升温速度产生偏差，两组热敏电阻膜反馈至控制系统的阻值参数存在电阻差，控制系统通过电阻差数值计算当前微流管道中的流体流量参数，实现更高的测量精准度。

在应用过程中，热源与基底之间的热传导会影响测量精度，可通过选择导热系数较高的基底材料，使热源与悬臂梁12之间的对流传热成为热量传导过程的主导部分。

因此，在本发明的另一实施例中，所述流量检测模组20包括热敏电阻膜21和发热单元22，所述热敏电阻膜21和所述发热单元22沿所述悬臂梁12的长度方向依次间隔地嵌入在所述悬臂梁12远离所述微流管道11的端部。所述热敏电阻膜21的数量为两组，两组所述热敏电阻膜21间隔分设于所述发热单元22的两侧。

其中，请参照图11，所述发热单元22包括基材221和发热线圈222，所述基材221中设置有通孔，所述发热线圈222嵌入所述通孔内部，且所述发热线圈222贴合所述通孔的边缘，或者，所述发热线圈222封装在所述基材221内部，用于使所述发热线圈222的热量通过所述基材221均匀传导，进而使所述发热单元22获得良好的温度均匀性，降低热传导的损耗，有利于在所述悬臂梁12上形成对称分布的温度场，并且有效减低设备的整体功耗。

在本实施例的一应用场景中，所述发热线圈222可布置为螺旋形或弯折型，用于增加发热线圈222和基材221的接触面积，以及，所述基材221可采用导热性好的金属材料制造，如铜合金、铝合金或者镀镍的合金材料，用于使所述发热单元获得良好的温度均匀性。

在应用过程中，当环境温度改变时，单个热源的温度补偿能力较差，当环境温度不稳定时，单个热源的流量检测模组20受到的影响较大，对流体的流量检测容易出现误差。

因此，在本发明的又一实施例中，所述流量检测模组20包括热敏电阻膜21和发热单元22，所述热敏电阻膜21和所述发热单元22沿所述悬臂梁12的长度方向依次间隔地嵌入在所述悬臂梁12远离所述微流管道11的端部。所述热敏电阻膜21的数量为两组，两组所述热敏电阻膜21间隔分设于所述发热单元22的两侧。

其中，请参照图12，所述发热单元22包括两个热源，两个热源平行地设置在悬臂梁12上，一组热敏电阻膜21设置在发热单元22的左侧，另一组热敏电阻膜21设置在发热单元22的右侧，通过发热单元22内包含的两个热源，上下游热源都具备温度感应的功能，具有优良的响应时间，同时，针对环境温度的改变，双热源有着良好的温度补偿能力，适用于温度不稳定的工况，并能有效提高测量精确度。

在本实施例的一应用场景中，发热单元22可设置为包括两个或两个以上的热源，用于提高温度补偿能力，适用于温度不稳定的工况。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种微管流量传感器，其特征在于，包括：

电阻膜基座，所述电阻膜基座上设置有微流管道；

流量检测模组，所述流量检测模组设置在所述电阻膜基座上，所述流量检测模组位于所述微流管道的延伸路径上且用于检测所述微流管道内的流体流量；

其中，所述微流管道凹陷在所述电阻膜基座的端部，使所述电阻膜基座的端部成型有悬臂梁，所述流量检测模组嵌入在所述悬臂梁上。

2.根据权利要求1所述的微管流量传感器，其特征在于：所述电阻膜基座包括第一连接座和第二连接座，所述第一连接座和所述第二连接座互为相对的端面分别成型有第一凹槽和第二凹槽，当所述第一连接座和所述第二连接座盖合连接后，所述第一凹槽和所述第二凹槽连通形成所述微流管道，所述悬臂梁成型在所述第一连接座或所述第二连接座背向所述微流管道的端部。

3.根据权利要求2所述的微管流量传感器，其特征在于：所述第一连接座和所述第二连接座均由硅晶圆片制作成型，所述第一连接座和所述第二连接座通过MEMS工艺键合成型。

4.根据权利要求1所述的微管流量传感器，其特征在于：所述电阻膜基座包括两组支撑台，两组所述支撑台分别设置在所述悬臂梁的两端，所述微流管道成型在两组所述支撑台之间，所述悬臂梁和两组所述支撑台的整体截面呈匚形状结构设置，两组所述支撑台的厚度大于所述悬臂梁，两组所述支撑台之间形成一容纳槽，所述微流管道铺设在所述容纳槽的槽壁上，所述微流管道的两端延伸至所述容纳槽的外侧，所述微流管道与所述悬臂梁紧密贴合。

5.根据权利要求4所述的微管流量传感器，其特征在于：所述电阻膜基座还包括限位座，所述限位座盖设在两组所述支撑台上，所述限位座的端部延伸至所述容纳槽内且将所述微流管道限位在所述容纳槽内。

6.根据权利要求1所述的微管流量传感器，其特征在于：所述电阻膜基座由合金陶瓷制作成型，所述电阻膜基座的截面呈矩形状结构设置，所述电阻膜基座经压制或注塑一体成型，所述微流管道成型在所述电阻膜基座的内部，所述微流管道的两端与所述电阻膜基座的外侧连通，其中，所述微流管道的截面呈几形状结构设置，所述微流管道的中间段靠近所述电阻膜基座的顶端，所述电阻膜基座靠近所述微流管中间段的端部形成所述悬臂梁，所述流量检测模组设置在所述电阻膜基座的顶端。

7.根据权利要求1～6任意一项所述的微管流量传感器，其特征在于：所述流量检测模组包括热敏电阻膜和发热单元，所述热敏电阻膜和所述发热单元沿所述悬臂梁的长度方向依次间隔地嵌入在所述悬臂梁远离所述微流管道的端部，所述热敏电阻膜与一控制系统电性连接且实时向所述控制系统反馈阻值，所述发热单元用于加热所述热敏电阻膜。

8.根据权利要求7所述的微管流量传感器，其特征在于：所述热敏电阻膜的数量为两组，两组所述热敏电阻膜间隔分设于所述发热单元的两侧。

9.根据权利要求7所述的微管流量传感器，其特征在于：所述电阻膜基座还包括隔热封盖，所述隔热封盖呈匚形状结构设置，所述隔热封盖的两端与所述悬臂梁的两端连接，所述隔热封盖的中间位置悬空在所述悬臂梁上方，所述隔热封盖与所述悬臂梁之间形成用于容纳所述热敏电阻膜和所述发热单元的隔绝型腔。

10.一种微流量检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

发热单元工作，通过电阻膜基座的悬臂梁将热量传导至热敏电阻膜上，使两组热敏电阻膜同步升温；

待检测流体沿微流管道移动，流体与电阻膜基座的悬臂梁进行热传导，使悬臂梁的热量沿预设路径转移；

经流体影响后，两组热敏电阻膜的升温速度产生偏差，两组热敏电阻膜反馈至控制系统的阻值参数存在电阻差；

控制系统通过电阻差数值计算当前微流管道中的流体流量参数。