CN1179799C - 表面处理装置 - Google Patents

Abstract

提供一种表面处理装置，可调整液体中的平板状物的姿势，将其可靠地导入运送导向件之间。在运送导向件的运送方向上游侧设置有液体喷流导入机构，该液体喷流导入机构是从在表面处理槽内运送中的平板状物的两侧面强制地喷流液体，避免该平板状物的前端部与运送导向件相冲突，并能够可靠地将该平板状物的前端部导入由上述两运送导向件所包围的运送路线内地形成的。

Description

表面处理装置

                        技术领域

本发明涉及一种表面处理装置，具有在表面处理槽内沿宽度方向分离配设的一对运送导向件，可维持平板状物的纵吊姿势地向沿着由两运送导向件所包围的运送路线的运送方向运送该平板状物，并且对运送中的平板状物实施表面处理。

                        背景技术

在被处理物的表面处理方法中，预先使排列的各处理槽能够顺次运送，将被处理物浸渍在最初的处理槽中，仅实施指定时间的该处理，处理后将被处理物上拉，运送到下一处理槽，在下一处理槽中仅实施指定时间的该处理。具有重复同样程序的间歇方式，和将被处理物浸渍在运送方向上较长的处理槽内，在维持被处理物的浸渍状态下从运送方向的上游侧连续地运送到下游侧并进行处理的连续方式。

在此，在被处理物是平板状物并在纵吊姿势下进行处理的情况下，在间歇方式中，各处理槽的尽头容易产生各平板状物的表面处理品质的不均匀。这是由于处理液的组成、供电形态和电力集中、掩蔽效果不均匀的缘故。

另一方面，连续方式则各平板状物的表面处理品质的不均匀非常少，生产率很高。这样一来，在例如为印刷线路板(平板状物)的情况下，多采用连续方式。

在这种连续方式的表面处理装置中，是使平板状物直接或通过例如悬架间接地以纵吊姿势安装在运送机构上的。即，平板状物的各面(两侧面)是为与运送路线、即运送方向平行的姿势安装的。

在此，当驱动运送机构时，各平板状物在维持纵吊姿势的状态下连续地向沿运送路线的运送方向运送。这样，表面处理槽内的运送(移动)中由供电机构向各平板状物供电。因此，可使各平板状物的表面处理条件相同，所以能够实施无不均匀的高品质的表面处理(例如电镀处理)。

但是，在平板状物例如为印刷线路板那样的厚度(两面之间的尺寸)较薄的部件中，运送速度是不同的，在处理液中运送时印刷线路板容易向与运送方向垂直的方向弯曲、折曲，进而有可能发生摆动或振动。由于处理槽内的电极间距离变化难免使品质劣化。另外，由于与处理槽内装部件的冲突还有可能发生印刷线路板的破损或内装部件本身变形等。

因此，本申请人提出一种装置(例如特愿2000-38682号)，如图5、图6所示，在处理槽10内设置有具有在运送路线R的两侧上下方向上分离、且在运送(X)方向上延伸的状态下拉设在导向柱81、81上的多个缆线(运送导向件)82的运送导向机构80。运送导向件82、82之间的水平方向的间隔(宽度)Dg例如为16mm。

这样一来，由于可限制液体Q中工件W在间隔Dg内的自由运动，所以可防止工件W的弯曲变形等，并且可维持该工件W的纵吊姿势地沿运送路线R对其进行运送导向。即，能够稳定、顺利地运送平板状物(W)。即进行高品质处理。还可以实现液体中的运送速度高速化。

虽然越使在液体Q中的平板状物(例如印刷线路板)的运送速度增加，越能够提高生产率。但由于越使平板状物在液体Q中的X方向上的运送速度增加，施加在平板状物(W)前端部Wa上的液体阻力越大，所以平板状物在与X方向垂直的方向上弯曲、折曲或摆动。结果难以将平板状物的前端(Wa)导入间隔Dg小的后置的运送导向件81、81(82、82)之间。这意味着不能发挥好不容易设置的运送导向件81、81(82、82)的功能。

即，由于平板状物的前端部Wa如果与运送导向件81、81(82、82)的前端一侧相冲突则不能顺利地运送，所以导致不能够进行表面处理，导致印刷线路板(W)本身或槽内装部件的变形、破坏。而且，当在X方向的上游侧工件W在与X方向垂直(乃至交叉)的方向上弯曲、折曲或摆动的可能性增强时，则不能够进一步缩小(变窄)运送导向件81、81(82、82)之间的间隔Dg。

换句话说，由于难以进一步抑制运送中的印刷线路板(W)的摆动幅度，所以妨碍了处理品质的进一步提高。而且，由于印刷线路板(面)与槽内电极之间的极间距离增大，所以将导致供电机构的大型化。

另外，由于在将平板状物(印刷线路板)从运送导向件82、82(81、81)上搬出时仅带入表面处理槽10内的宽广的液体Q中，所以不发生上述问题。

                        发明内容

本发明的目的是提供一种表面处理装置，在调整液体中平板状物的姿势的同时将其可靠地导入运送导向件之间。

技术方案1的发明为一种表面处理装置，具有在表面处理槽内沿宽度方向分开配设的一对运送导向件，维持平板状物的纵吊姿势地向沿着由两运送导向件所包围的运送路线的运送方向运送该平板状物，并且对运送中的平板状物实施表面处理，其中，在上述运送导向件的上述运送方向的上游侧设置有液体喷流导入机构，该液体喷流导入机构是从在上述表面处理槽内运送中的上述平板状物的两侧面强制地喷流液体，避免该平板状物的前端部与上述运送导向件相冲突，并能够可靠地将该平板状物的前端部导入由上述两运送导向件所包围的运送路线内地形成的。

在本发明中，将平板状物在表面处理槽内的液体中向沿着运送路线的运送方向运送，并将平板状物导入设置在运送导向件的运送方向上游侧上的液体喷流导入机构中。

液体喷流导入机构可从平板状物的两侧面强制地喷流液体，调整该平板状物的姿势，并避免其前端部与设置在运送方向下游侧上的运送导向件相冲突，将该平板状的前端部导入由槽内宽度方向上分离配设的两运送导向件所包围的运送路线内。

即，调整液体中的平板状物的姿势，可靠地将其引导到运送导向件之间。这样，由于可以使液体中的平板状物(印刷线路板)的运送速度高速化，所以可提高生产率。由于可以避免平板状物的前端部与运送导向件的前端一侧相冲突，所以可顺利地进行运送，并可防止平板状物自身或槽内装部件的变形、破坏。而且，由于可减小运送导向件的间隔，所以可进一步提高处理品质，并且由于在电解处理的情况下可缩小极间距离，所以可实现供电机构的小型化。

技术方案2的发明为一种表面处理装置，其中，上述液体喷流导入机构是在从上述平板状物的两侧面强制地喷流液体之际，该液流可从上述运送方向的上游侧向下游侧与平板状物的各面流动接触地形成的。

在本发明中，液体喷流导入机构在运送导向件的运送方向上游侧上从平板状物的两侧面强制地喷流液体，以便液流从上述运送方向的上游侧向下游侧、且在平板状物的各面上流动接触。因此，除了具有与技术方案1的发明相同的作用效果之外，由于液体自身还可以使平板状物向运送导向件一侧依附，所以可更加顺利地导向。

技术方案3的发明为一种表面处理装置，其中，上述液体喷流导入机构具备：上述运送方向的上游侧宽度较宽、下游侧较窄地对向配设的一对导入整流板，设置在各整流板上、可朝上述表面处理槽内对面的上述平板状物的各面进行液体喷流的多个液体喷流口，和将从各液体喷流口喷流的液体在两导入整流板之间、且从其下方一侧吸入、再向各液体喷流口供应液体的液体循环系统。

在本发明中，将平板状物在表面处理槽内的液体中向运送方向运送，并将该平板状物引导到构成液体喷流导入机构的一对导入整流板之间。该一对导入整流板是运送方向的上游侧宽度宽，而下游侧宽度窄地对向配设的。

这样一来，可易于可靠地将平板状物的前端部导入宽度宽的上游侧导入整流板之间，同时在节流的作用下使液流的速度随着从运送方向的上游侧向下游侧移动而加快，并且使其起到将平板状物的前端一侧向运送导向件拉入(或推入)的作用。

而且，从设置在各导入整流板上的多个液体喷流口向表面处理槽中对面的平板状物的各面(两侧面)喷流液体。这种液体在循环系统中回收、再循环使用。即，从各液体喷流口向平板状物的各面喷流的液体在调整好平板状物的姿势后，在两导入整流板之间、并且从下方被吸入，起到将运送中的平板状物的下端一侧向下方拉入(或推入)的作用。这样，再次向各喷流口供液。

因此，除了具有与技术方案2和技术方案3的发明相同的作用效果之外，还由于可提高液流和两导入整流板的形态协调而稳定可靠地维持平板状物(面)的姿势，同时进一步缩小运送导向件的间隔，所以可进一步提高表面处理品质。

技术方案4的发明为一种表面处理装置，其中，在上述各导入整流板上，于上下方向分离地设置有多个突起导向件，该导向件为向上述移动方向延伸的细长形状，且上述运送方向的上游侧位置高、下游侧位置低的倾斜姿势，而且在上述表面处理内朝向上述平板状物的各面的方向突出。

在本发明中，多个突起导向件为在运送方向上延伸的细长形状，在上下方向上分离，并且是以运送方向上游侧的位置高、而下游侧的位置低的倾斜姿势设置在各导入整流板上的。即，可在各突起导向件(平板状物)和各导入整流板之间确保(确立)空间。

这样一来，即使例如平板状物(面)的下端部在槽内向宽度方向弯曲，由于可将该弯曲部分收容在上述空间内，所以可防止其贴附在各导入整流板上。

而且，由于可进一步缩小运送导向件的间隔，所以可进一步提高表面处理品质。另外，即使平板状物(面)上弯曲的下端部跨在某个突起导向件之上，由于下端部随着向下游侧移动而避开(脱离)该突起导向件，所以该下端部不会咬入夹持片中。

因此，除了具有技术方案2和技术方案3的发明相同的作用效果之外，还可以顺利地进行运送和进一步提高表面处理品质。

根据技术方案1的发明，由于是这样一种表面处理装置，即在运送导向件的运送方向的上游侧设置有液体喷流导入机构，该液体喷流导入机构是从在表面处理槽内运送中的平板状物的两侧面强制地喷流液体，避免该平板状物的前端部与运送导向件相冲突，并能够可靠地将该平板状物的前端部导入由上述两运送导向件所包围的运送路线内地形成的，所以可使在液体中运送的平板状物的运送速度高速化，因此可提高生产率。由于可避免平板状物的前端部与运送导向件的前端一侧相冲突，所以可顺利地进行运送，并可防止平板状物自身或槽内装部件的变形、破坏。而且，由于可进一步缩小运送导向件之间的距离，所以可进一步实现处理品质的提高，并且由于可在电解处理的情况下缩小极间距离，所以还可以实现供电机构的小型化。

根据技术方案2的发明，由于液体喷流导入机构是在从平板状物的两侧面强制地喷流液体之际，该液流可从运送方向的上游侧向下游侧与平板状物的各面流动接触地形成的，所以除了具有与技术方案1的发明相同的效果之外，由于还可以在液流自身的作用下使平板状物向运送导向件一侧依附，所以可更加顺利地进行引导。

根据技术方案3的发明，由于液体喷流导入机构具备：运送方向的上游侧宽度较宽、下游侧较窄地对向配设的一对导入整流板，设置在各整流板上、可朝上述表面处理槽内对面的平板状物的各面进行液体喷流的多个液体喷流口，和将从各液体喷流口喷流的液体在两导入整流板之间、且从其下方一侧吸入、再向各液体喷流口供应液体的液体循环系统，所以除了具有与技术方案2和技术方案3的各发明相同的效果之外，还可以通过液流和两导入整流板的形态的协调动作而稳定、可靠地维持平板状物(面)的姿势，同时由于可进一步缩小运送导向件的间隔，可进一步提高表面处理品质。

根据技术方案4的发明，由于在各导入整流板上，于上下方向分离地设置有多个突起导向件，该导向件为向移动方向延伸的细长形状，且运送方向的上游侧位置高、下游侧位置低的倾斜姿势，而且在表面处理槽内朝向平板状物的各面的方向突出，所以即使例如平板状物(面)的下端部在槽内向宽度方向上弯曲，也可以将该平板状物(下端部)中的该弯曲部分收容在空间内，可防止其贴附在各导入整流板上。而且，由于可进一步缩小运送导向件的间隔，所以可进一步提高表面处理品质。另外，即使在平板状物(面)中弯曲的下端部跨在某一突起导向件上，由于下端部随着向下游侧的移动而避开(脱离)该突起导向件，所以该下端部不会啮入夹持片。因此，除了具有与技术方案2和技术方案3的各发明相同的效果之外，还可以顺利地进行运送和提高表面处理品质。

                        附图说明

图1为用于说明本发明的实施形式所涉及的表面处理装置的俯视图。

图2为其侧视图。

图3为其主视图。

图4为用于说明导入整流板、液体喷流口和突起导向件的放大图。

图5为用于说明以往例中运送导向机构的俯视图。

图6为其侧视图。

                      具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施形式加以详细说明。

本表面处理装置如图1～图4所示，在运送导向件80的运送(X)方向上游侧设置液体喷流导入机构30，在运送导向机构80(缆线82、82...导向柱81、81)的X方向上游侧，从在表面处理槽10(10A)内运送中的平板状物(工件W)的两侧面强制地喷流液体，避免该工件W的前端部Wa与运送导向件(缆线82、82...导向柱81、81)相冲突，并可靠地将其前端部Wa导入由两运送导向件(缆线82、82(导向柱81、81))所包围的运送路线R内。

本表面处理装置基本的结构、功能与以往例的情况(图5、图6)相同，具有在表面处理槽10(10B)内在宽度方向上分离配设的一对运送导向件(缆线82、82)，可维持平板状物(工件W)的纵吊姿势地向沿着由两运送导向件(82、82)所包围的运送路线R的X方向运送该工件W，并对运送中的工件W实施表面处理。这样，在本表面处理装置中，构成可对印刷线路板(平板状物...工件W)实施电镀(表面处理)的电镀处理装置。

在图1中，表面处理槽10由X方向上游侧的浸渍投入导向槽10A和下游侧的电镀处理(电解处理)槽10B构成。其整体(10A、10B)是作为电镀处理(电解处理)槽。

电镀处理(电解处理)槽10B中设有与以往例(图5、图6)同样的运送导向机构80，在浸渍投入导向槽10A内的X方向下游侧(导向一侧...图中为右侧)设有液体喷流导入机构30，另外，在本实施形式中，在其上游侧(浸渍投入一侧...图中为左侧)设有纵吊姿势维持机构70。

在浸渍投入导向槽10A中，通过图中未示出的升降机构使平板状物(印刷线路板...工件W)向图2中的Y方向下降、投入，浸渍在该处理槽10A内。

从促进工件与运送机构(乃至升降机构)的安装、拆卸(加载、卸载)迅速化的观点考虑，将进行浸渍时工件W向Y方向的下降速度设定成高于表面处理槽10(10A、10B)内的X方向上的运送速度。

这样一来，由于在将平板状物(W)在浸渍投入槽10A的浸渍投入一侧浸渍到液体Q中时受到强大的液体阻力，所以该工件W容易产生与X方向垂直(乃至交叉)的方向上的变形(弯曲、折曲等。)若置之不理，则有可能导致工件W自身或槽内装部件(例如配管)的破损。

因此，在本实施形式中，设置有由可在图1中上下方向分离、接近的一对框体71、71，和各框体71上在图2中上下方向留有间隔地配设、并向左右方向(X方向)延伸的多个夹持部件73构成的纵吊姿势维持机构70。各框体71由在图2中X方向上分离的两个可动部件72、72构成。

即，在浸渍投入导向槽10A的上方，通过使两框体71、71(两侧的各夹持部件73、73)相互接近，如图1所示地夹持住工件W后，以该两框体71、71使工件W向液体中浸渍(下降)，则可防止因液体阻力而使工件W向槽内宽度方向上产生变形。即，能够保持(维持)工件W的纵吊姿势地一直浸渍。

这样，在将工件投入浸渍到浸渍投入导向槽10A后，使两框体71、71(两侧的各夹持部件73、73)相分离，打开工件W，则由于维持在纵吊姿势而不会妨碍该工件W的运送机构(图中省略)向X方向的顺利运送。

在此，由于液体喷流导入机构30为这样一种机构，即，在运送导向机构80(即构成其的运送导向件82、82(导向柱81、81))的X方向上游侧，从在浸渍投入导向槽10A内运送中的工件W的两侧面强制地喷流液体，防止该工件W的纵吊姿势被破坏，避免其前端部Wa与运送导向件82、82相冲突，可靠地将其前端部Wa导入由两运送导向件82、82所包围的运送路线R内，所以只要是具有这种作用效果(功能)，则对其结构并不特别限定。

本实施形式中的液体喷流导入机构30的结构如图1所示，采用撑架15、15，以使X方向上游侧的间隔Du的宽度宽，而下游侧的间隔Dd的宽度窄，在浸渍投入导向槽10A的导向一侧(右侧)上具有对向配设的一对导入整流板31、31，在各导入整流板31上设置有在浸渍投入导向槽10内朝向对面的工件W的各面喷流液体的多个液体喷流口33。若采用这样的结构，则制作、组装容易，易于顺利地保证正确的液流。

各导入整流板31的具体结构如图1、图3所示，为由供给管45供给的循环液暂时保留在内部收容空间内，并可向穿设在向内的面(导入整流面)上的各液体喷流口33分配的箱型。液体喷流口33(最上游侧33U、最下游侧33D)如图4(A)、(B)所示，是设置在各导入整流板31的右侧(2/3)的区域，在左侧(1/3)的区域中未设置。这是为了使工件W的前端Wa在导入后置于喷流液体中，到达稳定的导向的缘故。

液体喷流导入机构30的各液体喷流口33如图4所示，设置成可生成从X方向的上游侧向下游侧、并与工件W的各面流动接触的朝向F的液流的朝向(形态)。即，由液流F推压工件W的两面，并使工件W向X方向依附，强化防止其前端部Wa的弯曲作用，并可维持工件W的纵吊姿势。

在此，导入整流板31、31之间的上游侧间隔(宽度)Du例如为110mm，右侧间隔(宽度)Dd例如为14mm。由于下游侧宽度Dd小于(窄于)运送导向件82、82之间的间隔Dg(例如为16mm)，所以能够可靠地使通过液体喷流导入机构30的工件W(例如厚度为1mm)导入后置的运送导向件82、82(导向柱81、81)。

而且，在各导入整流板31、31的内侧表面上，如图4(A)、(B)所示，在浸渍投入导向槽10A内上下方向分离地设有向朝向工件W的各面的方向(槽内宽度方向)突出的多个突起导向件51。

在工件W的例如下端部局部弯曲的情况下可收容该弯曲部分的空间S是在槽内宽度方向上、且在上下突起导向件51、51之间形成的。这样一来，可防止该弯曲部分贴附在各导入整流板31上。

而且，在本实施形式中，为了形成防止上述贴附用的空间S，不仅要在各导入整流板31的下方一侧设置必要的例如一个或二个突起导向件51，而且与上述贴附防止用无关、在上下方向分离地设有多个突起导向件51、这样一来，可扩大相对于工件W的大小(上下方向的尺寸)的适应性。

另外，各突起导向件51如图4(B)所示，是以向X方向延伸的细长形状、且X方向上游侧位置高、下游侧位置低的倾斜姿势设置的。即使在工件W的一部分(下端部)弯曲，跨在突起导向件51之上时，也可以防止进一步啮入，可在向X方向运送中自动地解除上跨。

从各液体喷流口33喷流的液体在液体循环系统41中再循环使用。即，从各液体喷流口33向F方向喷流的液体在与工件W接触后，回收到了导入整流板31、31之间其下方的回收罐19中，同时从吸入管42吸入。这样，通过循环泵43和供给管45再次向各液体喷流口33供液。

这样一来，在本实施形式中，使图2所示的纵吊姿势维持机构70动作，维持工件W的纵吊姿势，并使其向Y方向下降，将该工件W浸渍到表面处理槽10A内的液体Q中。这样，通过运送机构在液体Q中向X方向运送，并沿运送导向机构80(运送导向件82、82)的X方向将该平板状物(W)导入设置在上游侧的液体喷流导入机构30。

液体喷流导入机构30从工件W的两面(左右面)向F方向强制地喷流液体Q，调整该平板状物的姿势，避免下游侧的前端部Wa在X方向上与运送导向件(缆线82、82...导向柱81、81)相冲突，并可将该工件W的前端部W导入由两运送导向件(82、82)所包围的运送路线R内。

即，由于可调整液体Q中的平板状物(W)的姿势，并可靠地将其导入运送导向件(缆线82、82)之间，所以可使在液体中的平板状物(W)的运送高速化，提高生产率。

而且，由于可避免工件W的前端部Wa与运送导向件。(缆线82、82)的前端一侧(导向柱81、81)相冲突，所以可顺利地进行运送，并可防止平板状物自身或槽内装部件的变形、破坏。而且，由于可缩小运送导向件(缆线82、82...导向柱81、81)之间的间隔Dg，所以可进一步实现处理品质的提高并缩小极间距离，因此也可以实现供电机构的小型化。

而且，液体喷流导入机构30由于在运送导向件(缆线82、82...导向柱81、81)的X方向上游侧，从工件W的两侧面强制地喷流液体，以便液流从X方向的上游侧向下游侧与工件W的各面流动接触，所以可在液流自身的作用下使工件W向运送导向件80一侧依附。因此，可更加顺利地进行导入的引导。

而且，液体喷流导入机构30在浸渍投入导向槽10A内的液体中向X方向运送，并将工件W引导到一对导入整流板31、31之间。该一对导入整流板31、31对向配设成X方向的上游侧的宽度宽(间隔Du)，而下游侧的间隔宽度窄(间隔Dd)。这样一来，液流的流速可从X方向的上游侧向下游侧加快，可起到将运送中的工件W的前端部Wa向运送导向件82、82拉入(乃至推入)的作用。

而且，可从设置在各导入整流板31、31上的多个液体喷流口33向表面处理槽10内对面的工件W的各面喷流液体Q。该液体Q可在液体循环系统41中回收、再循环使用。

即，从各液体喷流口33向工件W的各面喷流的液体Q在调整了工件Q的姿势后在导入整流板31、31之间其下方一侧被吸入吸入管42，起到将运送中的工件W的下端一侧向下方拉入(乃至推入)的作用。这样，再次通过供给管45向各液体喷流口33供液。

因此，通过液体Q和两导入整流板31、31的形态的协调动作，能够稳定、可靠地维持平板状物(面)的姿势，同时由于可进一步缩小运送导向件82、82之间的间隔，所以可进一步提高表面处理品质。

另外，在各导入整流板31上，以在X方向上延伸的细长形状、且为在X方向上游侧位置高而下游侧位置低的倾斜状态，并且在表面处理槽10内向工件W的各面方向突出且在上下方向上分离的多个突起导向件51、51可在该各突起导向件(平板状物)和各导入整流板31、31之间确保空间S。

这样一来，即使例如平板状物(面)的下端部弯曲，也可以将该平板状物(下端部)的该弯曲部分收容在空间S内，可防止其贴附在各导入整流板31、31上。

而且，由于可进一步缩小运送导向件82、82之间的间隔Dg，可进一步提高表面处理品质。另外，即使在平板状物(面)上弯曲的下端部跨在某一突起导向件51之上的情况下，由于下端部随着向下游侧移动而避开(离开)该突起导向件51，所以该下端部不会啮入该突起导向件51上。可进一步顺利地运送和进行表面处理。

另外，由于本表面处理装置构成对作为平板状物的印刷线路板实施电镀处理的电镀装置，所以能够可靠地生产高品质的印刷线路板。

Claims (4)

1.一种表面处理装置，具有在表面处理槽内沿宽度方向分开配设的一对运送导向件，维持平板状物的纵吊姿势地向沿着由两运送导向件所包围的运送路线的运送方向运送该平板状物，并且对运送中的平板状物实施表面处理，其特征为，

在上述运送导向件的上述运送方向的上游侧设置有液体喷流导入机构，该液体喷流导入机构是从在上述表面处理槽内运送中的上述平板状物的两侧面强制地喷流液体，避免该平板状物的前端部与上述运送导向件相冲突，并能够可靠地将该平板状物的前端部导入由上述两运送导向件所包围的运送路线内形成的。

2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征为，上述液体喷流导入机构是在从上述平板状物的两侧面强制地喷流液体之际，该液流可从上述运送方向的上游侧向下游侧与平板状物的各面流动接触地形成的。

3.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征为，上述液体喷流导入机构具备：上述运送方向的上游侧宽度较宽、下游侧较窄地对向配设的一对导入整流板，设置在各整流板上、可朝上述表面处理槽内对面的上述平板状物的各面进行液体喷流的多个液体喷流口，和将从各液体喷流口喷流的液体在两导入整流板之间、且从其下方一侧吸入、再向各液体喷流口供应液体的液体循环系统。

4.根据权利要求2或3所述的表面处理装置，其特征为，在上述各导入整流板上，于上下方向分离地设置有多个突起导向件，该导向件为向上述移动方向延伸的细长形状，且是上述运送方向的上游侧位置高、下游侧位置低的倾斜姿势，而且在上述表面处理内朝向上述平板状物的各面的方向突出。