CN1178583A - 滤色器的制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

一种在透光性基片(2)上形成的透光性电极(3)上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造方法,使透光性电极(3)与成膜液(1)接触,从该透光性电极(3)与成膜液(1)的接触部分施加电压,在透光性电极(3)与液内电极(4)之间电解成膜液(1)。利用电解在透光性电极(3)上形成着色层。作为使透光性电极(3)接触成膜液(1)的方法,可以考虑将透光性电极(3)浸到成膜液(1)中的方法和使透光性电极(3)接触成膜液(1)的液面的方法等。

Description

滤色器的制造方法及制造装置

技术领域

本发明涉及滤色器的制造方法及用于实施该方法的制造装置，特别涉及液晶显示装置中适用的滤色器的制造方法及制造装置。更详细地说，本发明涉及如胶粒电解法、电极沉积法等通过使电极接触在电解质溶液中分散染料物质所成的成膜液、在电极上形成着色层的方式的滤色器的制造方法及制造装置。

背景技术

一般，在液晶显示装置中，在一对透明基片的各自的表面上形成由铟锡氧化物(ITO)等构成的透明导电膜，利用该透明导电膜构成多个象素电极，之后，通过选择这些象素电极中的几个并在其上施加规定的电压，显示文字、图形等可视信息。

近年来，涉及这样的液晶显示装置的彩色化正在进展。为实现彩色化，在液晶显示装置的制造工序中，存在着在上述象素电极上粘附着色层形成滤色器的情况。一般将这样的滤色器形成方法称作在ITO上的滤色器(COI)方式的滤色器形成方法。

作为粘附着色层的方法，先前知道有染色法、印刷法、染料分散法、电极沉积法及其他各种方法。作为这些方法中的一个，有例如在特开平2-267298号公报中所示的称为胶粒电解法的方法。

在该胶粒电解法中，例如如图9所示，将透明基片102浸到在电解溶液中分散染料物质制作的成膜液101中，将该透明基片102上的象素电极103作为阳极，将配置在成膜液101中的液内电极104作为阴极，通过对成膜液101进行电解，在象素电极103上形成着色层。

根据胶粒电解法，作为阳极能够对施加了电压的象素电极有选择地形成着色层，所以，处理容易且成膜精度高。另外，由于利用电解来成膜，所以能够用通电量控制膜厚。

然而，在先有方法中，由于只从透明象素电极103的一方的端部施加电压，所以，存在着在施加电压部分9附近着色层的厚度大、而随着远离该部分着色层的厚度变薄的问题。另外，由于取决于离开这样的通电部位的距离的着色层厚度的误差是基于电极图样的电阻值的，所以，还存在着该着色层的厚度的误差对应于透明象素电极的厚度的误差而进一步增大的问题。另外，在利用只从透明基片的一端通电的成膜中，还存在着象素电极图样的电阻产生的、对供给电流的成膜效率低的问题。

本发明是基于上述问题而提出的，其主要目的在于提供能够使着色层的厚度均匀、能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率的滤色器的制造方法及制造装置。

发明的公开

(第一滤色器的制造方法)

本发明的第一滤色器的制造方法是在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于：(1)使上述透光性电极接触在电解质溶液中分散染料物质而成的成膜液，然后(2)从上述透光性电极和上述成膜液的接触部分在透光性电极上施加电压，电解成膜液，在该记载或下述记载中，“透光性”是指透明(即无色)和有色但能透过光这两个方面。

在该制造方法中，通过将透光性基片上的透光性电极作为阳极来电解成膜液，电解质溶液中的染料粘附在透光性电极上，形成着色层。此时，用于电解的电压施加是从透光性电极和成膜液的接触部分施加。所谓透光性电极和成膜液的接触部分，当透光性电极和成膜液的液面接触时，是指接触部分，另一方面，当透光性电极浸到成膜液中时，是指透光性电极浸到成膜液中的部分。

在这样的第一滤色器的制造方法中，由于从透光性电极和成膜液的接触部分施加电压，所以，与先有的只从透光性电极的一个端部施加电压的情况相比，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。

关于该第一滤色器的制造方法，可以考虑以下的各种实施例。首先，在第一实施形态中，能够(1)将成膜液盛在处理槽中，(2)将透光性基片浸到该处理槽中，(3)从该透光性基片上的透光性电极浸到成膜液中的部分施加电压，电解该成膜液。该实施例是将透光性基片浸到处理槽中的方式的实施例。

在把上述第一实施例更具体化了的第二实施例中，能够(1)在处理槽的里面上设置液内电极，(2)在设有该液内电极的处理槽里面上，至少设置一个电压施加用电极，(3)把透光性基片配置在处理槽内，使透光性电极与上述液内电极对置，(4)使上述电压施加用电极与上述透光性电极接触。该实施例把电压施加用电极配置在设置了液内电极的那部分处理槽的里面上，使该电压施加用电极与透光性电极接触，电解成膜液。在本实施例中，将透光性基片上的透光性电极作为阳极，将液内电极作为阴极，对成膜液进行电解，借此，使着色层粘着到透光性电极上。这时，液内电极可由白金膜形成，透光性电极可由铟锡氧化物(ITO)形成。

在第三实施例中，(1)将液内电极分别设置在处理槽内互相对置的一对里面上，(2)将至少一个电压施加用电极分别设置在设置了液内电极的各处理槽里面上，(3)将多个透光性基片配置在处理槽内，使透光性电极与上述液内电极对置，而且，(4)使上述各电压施加用电极与各透光性电极接触。在该实施例中，将液内电极设置在处理槽中两处以上，分别与这些液内电极对应设置电压施加用电极。并且，将多个透光性基片浸到处理槽中，使透光性电极与各液内电极对置。

在本实施例中，也将透光性基片上的透光性电极作为阳极，并将液内电极作为阴极来电解成膜液，这样，在透光性电极上粘着着色层。根据本实施例，能够对两个以上的透光性基片同时形成着色层。在本实施例中，特别是将两个透光性基片浸到处理槽中时，能够以使这些透光性基片背靠背的状态执行着色层的形成处理，此时，由于从相对置的两个面使电压施加用电极与透光性电极相接触，所以能够稳定地支持这些透光性基片。

在第四实施例中，(1)设置贯通液内电极及处理槽壁的电压施加用电极。(2)使该电压施加用电极在进入处理槽内或从处理槽出来的方向上进退移动。这样，如果构成为电压施加用电极可对处理槽进退移动，则能够使电压施加用电极与透光性电极准确地接触，且透光性基片对处理槽内的成膜液的出入变得非常容易。

在第五实施例中，(1)在与具有开口的处理槽的开口对置的处理槽里面上设置液内电极，(2)将成膜液盛在处理槽中，(3)将透光性基片配置在覆盖上述开口的位置，使透光性电极朝着处理槽内部，(4)使成膜液的液面与该透光性电极相接触。在该实施例中，透光性基片不浸到处理槽内的成膜液中，它与成膜液的液面接触。

这样，作为使透光性电极接触成膜液的方法，除使透光性电极浸到成膜液中的方法外，还可以考虑使透光性电极与成膜液的液面相接触的方法。在使透光性电极与成膜液的液面接触时，在位于与液面对置的地方的处理槽里面设置了电压施加用电极，通过使电压施加用电极与透光性电极接触，能够将电解用的电压施加到透光性电极上。

采用使透光性电极与成膜液的液面接触的方法时，希望使用用于改变处理槽内所盛成膜液的量的液量调节装置。如果利用该液量调节装置改变处理槽内的成膜液的液量，就能够自由地改变该成膜液的液面位置，所以，能够使全部透光性电极准确地接触必要且充分量的成膜液。

一般地，滤色器构成为包括R(红)、G(绿)、B(蓝)三原色的着色层。这样，本发明的滤色器的制造方法用于在透光性电极上形成有选择地透过蓝色光的着色层、有选择地透过红色光的着色层和有选择地透过绿色光的着色层等三种着色层。为实现这一点，准备了分别收容与上述各颜色对应的成膜液的处理槽，依次使用各色处理槽，同时只向各颜色对应的透光性电极施加电压，重复执行三次，这样，依次在透光性基片上形成各色着色层。

(第一滤色器的制造装置)

本发明的第一滤色器的制造装置是在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，包括：(1)收容在电解质溶液中分散染料物质而成的成膜液的处理槽，(2)在该处理槽里面上设置的液内电极，(3)在设置了液内电极的处理槽的里面上设置的至少一个电压施加用电极。这样，在该装置中，通过电压施加用电极在透光性电极上施加电压。

在该制造装置中，将透光性基片浸到处理槽中，配置为使透光性电极与液内电极对置，在该状态下向该透光性电极施加电压。在该制造装置中，也从透光性电极和成膜液的接触部分，即从透光性电极浸到成膜液中的部分施加电压，所以，与先有的只从透光性电极的一端施加电压的情况相比，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。

关于该第一滤色器的制造装置，可以考虑以下的实施例。首先，在第一实施例中，(1)在处理槽的里面的相互对置的一对面上分别设置液内电极，(2)在这些里面上设置电压施加用电极，(3)通过这些电压施加用电极在透光性基片的透光性电极上施加电压。根据该实施例，能够使多个透光性基片同时浸到处理槽中进行处理，因此提高了工作效率。

另外，在其他实施例中，(1)设置贯通液内电极及处理槽壁的电压施加用电极，(2)使该电压施加用电极在进入处理槽内或从处理槽出来的方向上进退移动。这样，如果构成为电压施加用电极可对处理槽进退移动，则能够使电压施加用电极与透光性电极准确地接触，且透光性基片对处理槽内的成膜液的出入变得非常容易。

(第二滤色器的制造装置)

本发明的第二滤色器的制造装置是在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，包括：(1)收容在电解质溶液中分散染料物质而成的成膜液并具有开口的处理槽，(2)在该处理槽里面的与上述开口对置的面上设置的液内电极，(3)在设置了液内电极的处理槽的里面上设置的至少一个电压施加用电极。通过该电压施加用电极在液内电极和透光性电极间施加电压。

该制造装置与上述第一滤色器的制造装置的不同点在于，处理槽具有开口，在与开口对置的处理槽的里面设有液内电极。在该制造装置中，成膜液的液面通过处理槽的开口露出外部，通过用透光性基片覆盖该开口使成膜液的液面与透光性电极相接触。而且，使设置在处理槽里面的电压施加用电极与透光性电极接触，在透光性电极上施加电压，电解成膜液。

在该制造装置中，也从透光性电极和成膜液的接触部分施加电压，所以，与先有的只从透光性电极的一端施加电压的情况相比，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。

(第二滤色器的制造方法)

本发明的第二滤色器的制造方法是在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造方法，(1)将在电解质溶液中分散了染料物质而成的成膜液收容在处理槽中，(2)将液内电极配置在该成膜液内部的、与该成膜液的液面对置的位置上，(3)使上述透光性电极与上述成膜液的液面接触，(4)将电压施加用电极配置在透光性电极和成膜液液面的接触部之外的地方，使之与透光性电极导电连接，(5)将规定电压施加到上述液内电极和电压施加用电极之间，电解上述成膜液。

该制造方法和前述第一滤色器的制造方法的不同点在于，不是将透光性电极浸到成膜液中，而是使其接触成膜液的液面；以及不是将用于电解的电压施加到接触部分上，而是施加到接触部分之外的地方。

根据该制造方法，在向透光性电极上进行通电时，在透光性电极与成膜液的液面接触的部分的外侧把电压施加到透光性电极上，所以，对透光性基片，能够将电压施加用电极自由地设置在其边缘部和与透光性电极的形成面相反一侧的面等那样广阔的地方上。因此，利用该制造方法，与先有的只从透光性电极的一端施加电压的情况相比，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。

根据第二滤色器的制造方法，除上述作用和效果外，还能得到如下的作用和效果。即，在该制造方法中，因为是使成膜液的液面与透光性基片中形成了透光性电极的面接触而形成着色层的，还需要将透光性基片浸到成膜液中，因此，处理后只对透光性基片中形成了透光性电极的面进行冲洗就足够了。结果，着色层的形成处理后的冲洗工序变得容易，因此，可以进行短时间的冲洗。另外，成膜液只与形成透光性电极的面接触，所以，成膜液的挑出量变少，因而，能够降低成膜液的消耗量，成膜液的成分管理变得简单。

关于该第二滤色器的制造方法，可以考虑如下实施例。首先，在第一实施例中，能够(1)在着色层的形成工序开始时，移动成膜液的液面，使该液面接触透光性电极，然后，(2)在着色层的形成工序结束时，移动成膜液的液面，使该液面离开透光性电极。根据该实施例，能够为透光性电极提供必要且充分量的成膜液。另外，由于不需要机械地移动透光性基片，所以，能够容易地进行用于着色层的形成工序的开始及结束的操作，并能简化用于透光性基片的输送机构的结构。

另外，作为其他实施例，可以考虑在成膜液中分散导电性的透光性物质，使该透光性物质和染料物质一起粘附在透光性电极上形成着色层的实施例。根据该实施例，由于能够向着色层提供导电性，所以，在使该实施例形成用于液晶显示装置的滤色器时，能够降低阈值电压，因此，不影响驱动特性，能够确保对比度。

(第三滤色器的制造方法)

本发明的第三滤色器的制造装置是在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，包括：(1)收容在电解质溶液中分散染料物质而成的成膜液的处理槽，(2)保持使透光性基片的透光性电极接触该处理槽中收容的成膜液液面的状态的基片保持装置，(3)配置在上述处理槽的内部与上述成膜液的液面对置的液内电极，(4)配置在透光性电极与成膜液液面的接触部之外的地方，使之与透光性电极导电连接的电压施加用电极，(5)将规定电压施加到上述液内电极和电压施加用电极之间的电源部。根据该制造装置，能够可靠地实施上述第二滤色器的制造方法。

关于该第三滤色器的制造装置，可以考虑如下的实施例。首先，在第一实施例中，除上述结构单元外，还设置了使透光性基片及成膜液液面的至少一个移动的液面接离装置，利用该液面接离装置的作用能够使透光性基片与成膜液液面接触或分离。此时，液面接离装置例如能够构造为使成膜液的液面上下移动。

在其他实施例中，能够将用于接收从上述处理槽中溢出的成膜液的排液部配置在该处理槽的外侧。在使透光性电极接触处理槽中收容的成膜液液面型的滤色器的制造装置中，利用表面张力的作用使成膜液的液面在比处理槽的开口边缘部分上升的状态下使之接触透光性基片，这样，使透光性基片不接触处理槽的开口边缘部分就能够进行处理。关于这样的滤色器的制造装置，虽然有时成膜液从处理槽中漏出，但根据设有排液部的实施例，即使成膜液从处理槽漏出，也能够用排液部将其回收。另外，一边使成膜液的液面逐渐上升，与此同时，使该成膜液漏出到排出部；一边进行处理，也是可能的。

在其他实施例中，能够在该处理槽的周围设置用于将透光性基片向处理槽的上方位置输送的基片输送装置，将上述电压施加用电极设置到该基片输送装置的适当地方。根据该实施例，由于在基片输送装置本身上设有电压施加用电极，所以不需要在其他地方设置电源部和透光性基片之间的导电接触部，故装置结构能够简化。另外，由于不需要用于把透光性基片和电极部导电连接的特别操作，所以，能够进行迅速的处理。

在其他的实施例中，能够用在水平方向输送透光性基片的输送滚子构成基片输送装置，并能将电压施加用电极设在该输送滚子的表面上。根据该实施例，由于电压施加用电极设置在输送滚子的表面上，所以，用输送滚子将透光性基片向处理槽的上方位置输送时，自动地实现了电压施加用电极和透光性电极的导电连接。因为输送操作结束后能够直接进到用于形成着色层的处理工序，所以，能够进行更迅速的处理，并且能够实现透光性基片和电压施加用电极之间可靠的导电连接。

在各滤色器的制造方法、制造装置及与之有关的各种实施例中，能够从一处施加施加到透光性电极上的电压，也能够从多处施加。但是，希望从多处施加，其理由在于，着色层的厚度有电压施加部分厚、随着远离该部分而变薄的倾向，因此，与从一处施加电压时相比，着色层厚度的误差变小。

附图的简单说明

图1是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的第一实施例的剖面图；

图2是表示图1的主要部分的剖面图；

图3是表示液晶显示装置用的滤色器的一个例子的剖面图；

图4是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例2的主要部分的剖面图；

图5是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例3的剖面图；

图6是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例4的剖面图；

图7是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例5的剖面图；

图8是表示图7的装置的剖面结构的剖面图；

图9是表示先有滤色器的制造装置的一个例子的剖面图；

图10是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例6的剖面图；

图11是表示用图10的装置进行处理的状态的剖面图；

图12是用于说明图10的装置中的电压施加状态的剖面图；

图13是表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例7的剖面图；

图14是图13的装置的剖面图；

图15是表示图13的装置的动作过程特别是供给成膜液时的过程的剖面图；

图16是表示接着图15的状态的动作过程的剖面图；

图17是表示接着图16的状态的动作过程的剖面图。

用于实施发明的最佳形态

下面，参照附图说明本发明的滤色器的制造方法及制造装置的实施例。在以下的实施例中，是以液晶显示装置中使用的，在透明基片上形成滤色器的情况为例进行说明，但本发明不限于此，而是能够广泛地应用于制作具有不同于液晶显示装置的使用目的的各种滤色器的情况。

(实施例1)

图1表示用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的一个实施例。该制造装置包括：收容成膜液1的处理槽6；设在处理槽6的一个槽壁6a的里面上的液内电极4；设在该槽壁6a上的多个电压施加装置7；以及设在槽壁6a及与其对置的另一槽壁6b上的多个基片支持装置8。

液内电极4与从电压控制装置14延伸的正电压施加线16a导电连接。虽然在垂直于纸面的方向上设置了多个电压施加装置7及基片支持装置8，图中只示出它们中位于最跟前的各一个。后面的都被最跟前的这一个挡住了。电压施加装置7及基片支持装置8也可以设置为在跟前的和后方的对槽壁的高度位置有偏移。

电压施加装置7包括：固定在槽壁6a上的保持部9；用保持部9支持的，可向图的左右方向自由移动的滑杆11；固定在保持部9的右端、用于驱动滑杆11的液缸致动器12。如图2所示，在滑杆11的内部设有电压施加用电极5。该电压施加用电极5固定为对于滑杆11位置不动。符号13表示用于防止液漏的环状密封部件。图1中，电压施加用电极5与从电压控制装置14延伸的负电压施加线16b导电连接。

基片支持装置8构成为与电极施加装置7完全相同的结构。不同点在于，相当于电压施加用电极5的支持部件5a不与负电压施加线16b相连。就是说，虽然支持部件5a形成为和电压施加用电极5具有相同形状，但它们不起电极的作用，而是用来支持透明基片2的。另外，在构成基片支持装置8的各单元中，支持部件5a以外的单元可与电压施加装置7相同，所以，相同的部件标以相同的符号。

下面说明上述结构构成的滤色器的制造装置的动作，在本实施例中，将使用该制造装置形成滤色器的对象物作为液晶显示装置的透明基片。

首先，在图3中，准备作为透光性基片的玻璃制的透明基片2(Corning公司制，7059)。并且，在该透明基片2上，用溅射法形成1000A膜厚的ITO，进而通过在该ITO膜上进行光刻和蚀刻形成规定的图样，在本实施例中是条状的透明电极3，即透光性电极。这些透明电极3构成液晶显示装置的象素电极。

本实施例的滤色器的制造装置，在这些透明电极3上形成着色层17时使用。图中，符号R、G、B分别表示有选择地透过红色、绿色、蓝色等各种颜色的光的着色层。

图1中，首先，将成膜液1收容在处理槽6的内部。本实施例中使用的成膜液1是在包含具有氧化还原反应性的界面活性剂及电解质的媒质中混合有机染料及疏水性ITO粒子、用超声波均化器分散这些有机染料及疏水性ITO粒子所得的胶粒胶体分散体。

作为成膜液1，对形成的着色层17的每种色调准备了具有如下三种组成的成膜液。

(1)用于形成红(R)色着色层的成膜液

(A)有机染料(葸醌类(红)染料∶偶氮类(黄)染料＝9∶1的混合物)......6g/开

(B)疏水性ITO粒子(对平均粒子直径300～400A的ITO粒子进行了疏水化处理的产品：住友金属矿山公司制)......1.8g/升

(C)界面活性剂(二茂铁基PEG：同仁化学研究所制)......2.2g/升

(D)支持电解质LiBr......4g/升

(2)用于形成绿(G)色着色层的成膜液

(A)有机染料(铜酞花青绿类(绿)染料∶偶氮类(黄)染料＝8∶2的混合物)......10g/升

(B)疏水性ITO粒子(对平均粒子直径300～400A的ITO粒子进行了疏水化处理的产品(住友金属矿山公司制)......3g/升

(C)界面活性剂(二茂铁基PEG：同仁化学研究所制)......2.2g/升

(D)支持电解质LiBr......4g/升

(3)用于形成蓝(B)色着色层的成膜液

(A)有机染料(酞青染料类(蓝)染料∶偶氮类(黄)染料＝9∶1的混合物)

(B)疏水性ITO粒子(对平均粒子直径300～400A的ITO粒子进行了疏水化处理的产品：住友金属矿山公司制)......3g/升

(C)界面活性剂(二茂铁基PEG：同仁化学研究所制)......2.2g/升

(D)支持电解质LiBr......4g/升

用于形成各着色层的染料可根据其色调单独或混合使用公知的各种染料。另外，疏水性ITO粒子是利用等离子处理、紫外线处理等将官能团导入到粒子表面并在这里与耦合剂和疏水性单体起反应而得的。即使不是疏水性ITO粒子，只要是疏水性的透光性导电粒子就可以，例如也可以是氧化锡粒子。另外，虽然可使用各种材料作为用于分散染料等的界面活性剂，但可以根据染料和透明导电粒子等种类调整到适当的浓度。对电解质也没有特别的限制，可使用各种电解质，但通常调整到0.005～0.2M左右的浓度。

使成膜液中不含ITO粒子等透明导电粒子，通过在电解质溶液中只分散染料而形成成膜液，能够使用该成膜液形成着色层。

返回到图1，为形成红色的着色层，将红色用成膜液1放入处理槽6的内部。接着，在透明电极3与液内电极4对置的状态下，将形成了透明电极3的透明基片2插入到处理槽6的内部，这样，将透明基片2浸到成膜液1中。

接着，使电压施加装置7及各基片支持装置8内的液缸致动器12动作，使滑杆11直接移动到处理槽6的内部。这样，各基片支持装置8内的支持部件5a及电压施加装置7内的电压施加用电极5的前端与透明基片2的透明电极3一侧的面或透明电极2的里面接触。这样，将透明基片2牢牢地支持到规定的位置上，并使电压施加用电极5和透明电极3导电连接。

接着，将液内电极4作为阴极，将透明电极3作为阳极，只在形成红色着色层17R(图3)的透明电极3a、3d...上施加电压，电解成膜液1。利用电解，在需要红色着色层的透明电极3a...3d上形成红色着色层17R。用于电解的施加电压为0.5V，电压施加时间为20分钟。

接着，用上述绿色用成膜液1代替红色用成膜液1放入处理槽6的内部，在红色着色层17R形成结束后，将透明基片2浸到成膜液1中，使透明电极3与液内电极4互相对置。并且，使各基片支持装置8的支持部件5a与透明基片2在透明电极3一侧的面及其里面接触，并使电压施加装置7的电压施加用电极5与透明电极3相接触。

将液内电极4作为阴极，将透明电极3作为阳极，只在形成绿色着色层17G的透明电极3b上施加电压，电解成膜液1。利用电解，得到绿色着色层17G。用于电解的施加电压为0.5V，电压施加时间为10分钟。

接着，用上述蓝色用成膜液1代替绿色用成膜液1放入到处理槽6的内部，在红色着色层17R及绿色着色层17G形成结束后，将透明基片2浸到成膜液1中，使透明电极3与液内电极4相互对置。并且，使各基片支持装置8的支持部件5a与透明基片2在透明电极3一侧的面及其里面相接触，并使电压施加装置7的电压施加用电极5与透明电极3相接触。

将液内电极4作为阴极，将透明电极3作为阳极，只在形成蓝色着色层17B的透明电极3C上施加电压，电解成膜液1。利用电解，得到蓝色着色层17B用于电解的施加电压为0.5V，电压施加时间为7分钟。

在本实施例中，如上所述，按红、绿、蓝的顺序进行着色层的成膜，但成膜的顺序不限于此，用什么样的顺序形成着色层都没有关系。

在如上的本实施例中，从透明电极3浸到成膜液1中的部分(即从透明电极3和成膜液1的接触部分)施加电压，所以，与先有的只从透明电极的一端施加电压的情况相比，能够使着色层17的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。并且，液晶显示装置的显示特性和在滤色器上成膜透明电极时的特性是同一水准。

(实施例2)

图4表示用于实施本发明的滤色器制造方法的制造装置的实施例2的主要部分。该实施例与图1所示的实施例1的不同在于：(1)分别在相互对置的处理槽6的槽壁6a及6b的里面设置了液内电极4；(2)在槽壁6a及6b上设置了电压施加用电极5并使其与从电压控制装置14延伸的负电压施加线16b导电连接，(3)不设置滑杆11(图2)等插入部件，直接将电压施加用电极5安装到槽壁6a及6b上，并使其能够对槽壁6a及6b进行如箭头A-A′那样的滑移。

由于本实施例如上那样来构成，所以，当形成滤色器时使两透明基片2a及2b背靠背重合，使这些透明电极3一侧的面分别朝着外侧，在此状态下，将这些透明基片2a及2b浸到成膜液1中。结束浸渍后，使双方的透明基片2a及2b的透明电极3分别与液内电极4对置。之后，以和图1所示的实施例1的情况相同的条件和工序，在透明电极3上形成红、绿、蓝各种颜色的着色层17。

在本实施例中，由于从透明电极3浸到成膜液1中的部分(即从透明电极3和成膜液1的接触部分)施加电压，所以，能够使着色层17的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。

而且，由于构造为电压施加用电极5能够从相对置的各个面接触透明电极3，所以，能够同时对两个透明基片2a及2b形成着色层17。结果，滤色器的生产性提高了。

(实施例3)

图5示出了用于实施本发明的滤色器制造方法的制造装置的实施例三。这里所示的滤色器制造装置包括：具有开口21、储存成膜液1的处理槽26，使该处理槽26如箭头B-B′那样升降移动的高度调整电机22，设置为收容处理槽26的液体回收槽23，用于使处理槽26内的成膜液1的液面向上下方向平行移动的液面接离装置24，用于将透明基片2保持在处理槽26上方的规定位置的基片保持装置27。

在处理槽26的底面(即与开口21对置的里面)，例如用白金膜形成液内电极4，并在该底面固定着多个电压施加用电极5。这些电压施加用电极5的前端一直延伸到开口21稍上方的位置。排液管28与液体回收槽23的底面连接，并将排液容器29设置在该排液管28的排液口上。利用未图示的电压控制装置的作用，将规定的电压施加到液内电极4与电压施加用电极5之间。

上述液面接离装置24包括：储存成膜液1的成膜液容器31；使该容器31如箭头C-C′那样地升降移动的高度调整电机32。在成膜液容器31与处理槽26之间用通液软管33连结。

由于本实施例的滤色器制造装置如上那样来构成，所以，在包括透明电极3的透明基片2的透明电极3上形成着色层时，首先，利用基片保持装置27保持基片2，在透明电极3朝着处理槽26的方向的状态下，把透明基片2配置在处理槽26的开口21上方的规定位置上。

接着，使高度调整电机22动作，如箭头B所示，使处理槽26向着基片2的方向平行移动，使处理槽26内的电压施加用电极5的前端接触透明电极3。接着，使高度调整电机32动作，如箭头C所示，将成膜液容器31向图的上方举起。于是，通过通液软管33将成膜液容器31内的成膜液1供到处理槽26内，结果，处理槽26内的成膜液1的液面上升，该液面与透明电极3接触。此时，在成膜液1从处理槽26中溢出时，将该溢出的成膜液1排出到液体回收槽23中，再通过排液管28回收到排液容器29中。

之后，通过电压施加用电极5，利用未图示的电压控制装置，从成膜液1的液面和透明电极3的接触面施加电压，这样来电解成膜液。通过对红、绿、蓝等各种颜色进行电解，在透明电极3上形成各种颜色的着色层，制作滤色器。

在本实施例中，由于也是从透明电极3和成膜液1的液面的接触部分施加电压，所以，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。另外，在本实施例中，还得到了成膜液1不污染未形成透明基片2中的透明电极3的面等其他效果。再者，由于不需要将透明基片2浸到成膜液1中，所以自动进行成膜处理变得容易。

(实施例4)

图6示出了用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例4。这里所示的滤色器的制造装置具有大约与图5所示的前一实施例相同的结构。不同点在于，代替刚性高的电压施加用电极5(图5)，用弹性材料等弹性体的、具有导电性的材料将电压施加用电极35固定到处理槽26的底面上。由于此外的结构部件能够使用和图5所示的实施例相同的部件，所以，相同的部件标以相同的符号，省略其说明。

根据本实施例，能够在电压施加用电极35和透明电极3之间得到稳定的导电连接，并且使电极35损坏透明电极3的可能性降低。

(实施例5)

图7示出了用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例5。这里所示的滤色器的制造装置包括储存成膜液1的处理槽36、用旋转支持部37旋转自由地支持在该处理槽36上，用于保持透明基片2的台34。

如图8所示，在处理槽36的底面上设有例如由白金膜形成的液内电极4，还设置了贯通该液内电极4及处理槽36的底壁的多个电压施加用电极5。另外，在处理槽36的外边缘部分配置了内侧密封橡胶38，还在其外侧配置了外侧密封橡胶39，这些密封橡胶38及39用氟化橡胶等弹性体形成。

由于本实施例由以上那样来构成，所以，在透明电极3朝上的状态下将透明基片2设置到基片保持用的台34上。接着，如箭头D所示，以旋转支持部37为中心使台34旋转移动，使其上装载的透明基片2向处理槽36的上方位置移动。这样，透明基片2的透明电极3与成膜液1的液面接触，并且电压施加用电极5的前端与透明电极3接触。

之后，通过电压施加用电极5向与成膜液1的液面接触的部分的透明电极3施加电压，电解成膜液1，这样，在透明电极3上形成着色层。

(实施例6)

图10示出了用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例6。该制造装置包括：收容成膜液1的处理槽46和与从该处理槽46的底面延伸的支持轴41连接的高度调整电机42。通过升降移动支持轴41，该高度调整电机42能够上下地调整处理槽46的高度。

处理槽46收容在形成为比其大一圈的液体回收槽43的内部，在液体回收槽43中形成了贯通上述支持轴41的贯通孔43a和通液管53插通的横孔部43b。在处理槽46的底面上设置了例如由白金膜形成的液内电极4。

液回收槽43固定在未图示的支架上，在该液体回收槽43的内部，可升降地支持着上述处理槽46。排液管48与该液体回收槽43的底面相连，排液容器49与该排液管48的开口端连接。从处理槽46延伸的通液管53通过上述液体回收槽43的横孔43b导向外部，与相邻设置的成膜液容器51相连。该成膜液容器51通过支持轴50与高度调整电机52相连，通过该电机52的作用，如箭头C-C′那样地上下移动。

在液体回收槽43的两个侧面部分上，分别安装了包括配置在与图的纸面垂直的方向上的多个输送滚子63的基片输送装置62。在这些多个输送滚子63中的位于处理槽46的侧面部分上的输送滚子63周围，覆盖了作为电压施加用电极的圆筒状的滚子电极63a。这些滚子电极63a包括与在透明基片2的里面(图的下侧面)的端部形成的电极焊点接触的多个电极端子。根据需要，在与图的纸面垂直的方向上设置多个滚子电极63a，分别与处理槽46上配置的透明基片2上的电极焊点接触。

利用基片输送装置62的输送滚子63将液晶显示装置中使用的透明基片2沿着与图的纸面垂直的方向输送，在该透明基片2的里面上(图的下侧面上)，在前一工序中形成了规定图案的、未图示的透明电极。在透明基片2的两个端部上分别形成了多个与这些透明电极导电连接的电极焊点。

在配置在处理槽46的两个侧面部的各滚子电极63a的上方，可升降移动地配置着按压部件64。这些按压部件64在将输送过来的透明基片2在处理槽46的上方定位以后，从上方降下，把透明基片2的两侧端部向滚子电极63a按住，固定该透明基片2。

把滚子电极63a及在处理槽46内形成的液内电极4分别与电压控制电路54连接。该电压控制电路54向滚子电极63a提供正电位，并将负电位提供给液内电极4。

下面说明上述结构构成的滤色器制造装置的动作。如图12所示，首先，在该工序中，在处理的透明基片2的表面上，用溅射粘附ITO，并用光刻及蚀刻形成在规定的图样上形成的、厚1000左右的透明电极3a、3b、3c、3d、3e...。这些透明电极3a、3b、3c、3d、3e...在本实施例中作为在与图的纸面垂直的方向上延伸的条状图样形成。

图10中，在处理槽46及成膜液容器51的内部收容规定量的红、绿、蓝三种成膜液1的一种，用高度调整电机42调整处理执行时的处理槽46的高度。具体地说，如图11所示，将处理执行时的处理槽46的高度调整为这样的高度，利用基片输送装置62输送过来的透明基片2的里面(即，形成了透明电极3的面)，当在处理槽46中填充看着满了的成膜液1时，则与由于表面张力而定位于比处理槽46的开口边缘部稍向上方的成膜液1的液面相接触，但不与处理槽46的开口边缘部接触。

接着，当开始处理时，使处理槽46及成膜液容器51如图10所示预先下降，预先将处理槽46的液位设定为比开口边缘部低的位置上。另外，利用基片输送装置62输送透明基片2，使其停在处理槽46上方的位置上。接着，使按压部件64下降，使透明基片2的电极焊点与输送滚子63上的滚子电极63a牢固接触，同时，将透明基片2固定到处理槽46上方的位置上。

接着，使处理槽46上升到上述预先设定的高度，使其在那里停住，之后，利用高度调整电机52使成膜液容器51上升，如图11所示，使成膜液1在处理槽46内看着成为已满了。可将成膜液51的上升量设定为预定的规定量，也可以代之以下述情形：例如使成膜液容器51慢慢地上升，用电压控制电路54检测透明基片2上形成的透明电极与成膜液1的液面接触，在该时刻使成膜液容器51停止上升。

此时，通过使成膜液容器51上升而上升的处理槽46内的成膜液1的液位越过开口边缘部，即使成膜液1多少溢出，所溢出的成膜液1也进入到周围的液体回收槽43中，经由排液管48收容到排液容器49中。

如果将透明基片2的里面一侧保持为与处理槽46内的成膜液1的液面接触的状态的话，则利用电压控制电路54的作用将规定的电压施加到处理槽46内的液内电极4和滚子电极63a之间。此时，滚子电极63a按压到在透明基片2的两端形成的、未图示的电极焊点上，该电极焊点如图12所示，与在透明基片2上形成的多个透明电极3a、3b、3c、3d、3e......中期望的透明电极导电连接，例如在处理槽46内的成膜液1为用于形成红色着色层时，与应形成红色着色层的透明电极3a、3d...导电连接。因此，通过向液内电极4和滚子电极63a间施加电压，将与滚子电极63a导电连接的透明电极3a、3d...作为阳极，将处理槽46内的液内电极4作为阴极，电解成膜液1，利用电解在透明电极3a、3d...的表面上堆积在表面粘有染料的ITO粒子，结果形成规定厚度的着色层。

从施加电压经过规定时间后，如果着色层的形成结束的话，则成膜液容器51如图10所示下降，使处理槽46内的成膜液1的液面下降。另外，在处理槽46下降后，利用基片输送装置62把透明基片2送到下一工序，例如冲洗工序。这里，对处理槽46，可以只在预先调整透明基片2与处理槽46的开口边缘部之间的间隔时才使其升降，在上述着色层形成处理时，也可以不使处理槽46进行升降动作。然而，当希望在透明基片2的周边部形成有厚度的电极焊点，而又不想使该边缘部与成膜液接触时，通过上面说明的、在处理工序前后使处理槽46升降，就能够可靠地回避处理槽46的开口边缘部和透明基片2相碰或相互接触。

在本实施例中，在形成红色着色层的工序后进行该形成面的冲洗处理，接着，使用与上述相同的方法在收容绿色用成膜液的处理槽上形成绿色着色层，然后再进行冲洗，最后用相同的处理形成蓝色着色层，再进行冲洗处理。通过一连串的处理，能够形成RGB各色的着色层在透明电极上条状排列的状态的滤色器。当对红、绿、蓝各种颜色进行电解处理时，使滚子电极63a每次接触透明基片2的不同电极焊点，借此，在绿色着色层的形成工序中，使滚子电极63a与透明电极3b、3e...导电连接，另一方面，在蓝色着色层的形成工序中，使之与透明电极3c...导电连接。

关于使用红、绿、蓝各成膜液时的电解处理条件，分别进行下述处理：在红色工序中，施加电压是0.5V，电压施加时间是20分钟，在绿色工序中，施加电压是0.5V，电压施加时间为10分钟，在蓝色工序中，施加电压为0.5V，电压施加时间为7分钟。着色层的厚度最好是红色0.8～1.6μm、绿色0.7～1.3μm、蓝色0.6～1.2μm左右。

在如上的本实施例中，在向透明基片2的透明电极进行通电时，通过使该透明电极与成膜液1的液面接触，确保了透明基片周围等广泛的场所，从该接触部分之外的广泛场所向透明电极施加电压。因此，与先有的只从透光性电极的一端施加电压的情况相比，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。

关于电压施加方法，不限于上述实施例那样在透明基片2的两侧端部施加电压，能够在其全部周围部分上设置电极焊点并能将它们与滚子电极导电连接，或者还能够在和透明电极的形成面相反一侧的面上设置电压施加用电极，在这些情况下，也能够实现能够使着色层的厚度均匀等上述效果。

另外，在本实施例中，用基片输送装置62将透明基片2向水平方向输送，将其定位于处理槽46的上方，因此，联机处理就成为可能。因此，与先有的间歇处理不同，容易自动化，少量管理者就可以管理。另外，由于能够进行迅速和高效率的连续处理，所以能够提高生产效率。

另外，由于只使成膜液接触透明基片的形成透明电极的面，所以，不需要在透明基片的相反侧的表面和周围部分粘附成膜液，这样，着色层形成处理后的冲洗就变得容易，能够缩短处理时间。另外，由于能够降低带到成膜液的下一工序的量，所以，能够降低成膜液的管理工作和供给量。

(实施例7)

图13示出了用于实施本发明的滤色器的制造方法的制造装置的实施例7。在这里所示的制造装置中，将处理板71固定在底板70的表面上的中央部，双重包围该处理板71的周围，固定具有挠性的合成橡胶构成的两个密封框72及73。

在密封框72及73之间形成了设在底板70上的排液沟74。在外侧密封框73的更外侧分别安装了排列成一列的多个电极端子75及76。

在处理板71的表面上形成涂敷白金等制成的液内电极4，该液内电极4通过与底板70的两侧导电连接的布线用挠性基片77或78之一的布线线路与未图示的电压控制装置连接。另外，在处理板71及液内电极4的中央部形成供给孔79，该供给孔79如图14所示，通过在底板70上形成的供给孔70a和其下侧连接的、未图示的成膜液的供给管连接。

内侧密封框72形成为比外侧密封框73稍低。另外，内侧密封框72和外侧密封框73之间形成的排液沟74通过与底板70的下侧相连的、未图示的排液管与排液容器连接。电极端子75与76通过在底板70上形成的通孔与上述挠性基片77及78的布线线路导电连接，进而与未图示的电压控制装置连接。

在本实施例的装置中，通过使与图12所示的透明基片2相同的透明基片2从上方接触到底板70的表面上，利用成膜液1进行着色层的形成。更具体地说，首先，如图15所示，通过供给孔70a及79向处理板71的表面上提供成膜液1。接着，如图16的箭头E所示，从上方按住在下侧面形成了透明电极3的透明基片2。于是，透明基片2的下面与形成得高的外侧的密封框73接触，在该密封框73的里侧，在透明基片2与处理板71之间充满了成膜液1，其余的成膜液1从排液沟74排出。

之后，如果进一步按住透明基片2的话，则如图17所示，由于在透明基片2的周围部分形成的，与透明电极3导电连接的多个电极焊点81与电极端子75及76接触，所以，就向透明基片2的表面上形成的透明电极3通电，结果，在透明电极3及与其对置的处理板71上的液内电极4之间施加规定的电压，电解在密封框72的里侧保持的成膜液1，在透明电极3上形成着色层。

这里，关于密封框72，在电极焊点81与电极端子75、76接触的状态下，该密封框72可与透明基片2接触，也可以不接触。但是，在密封框72不与透明基片2接触时，需要设定密封框72的高度，使在密封框72的里侧保持的成膜液1与透明基片2的下面因表面张力而接触。

在该实施例中，在进行工序的自动化时，例如需要设置吸附保持透明基片2的吸附机构及输送该吸附机构的输送机构，利用该自动化系统，用输送机构将用吸附机构保持的透明基片2输送到底板70的上方位置，并从底板70的上方按住该透明基片2。通过设置这些吸附机构及基片输送机构，使依次处理多个透明基片2成为可能。此时，通过处理，从下方将规定量的成膜液1供到处理板71上。

在以上的本实施例中，也是使透明电极3与成膜液1的液面接触，同时从该接触部分以外的周围部分在该透明电极3上施加电压，因此，与先有的只从透明电极的一端施加电压的情况相比，能够使着色层的厚度均匀，能够高精度地控制其厚度，并且能够提高对供给电流的成膜效率。另外，由于基本上不需要在底板70一侧设置驱动机构，所以，与图10所示的实施例相比，能够使结构简单，而且能够用低成本来构成。

Claims (23)

1.一种在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于：

使所述透光性电极与在电解液中分散染料物质而成的成膜液接触；和

从所述透光性电极和所述成膜液的接触部分在该透光性电极上施加电压，电解成膜液。

2.权利要求1记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

将成膜液收容在处理槽中；

将透光性基片浸到所述处理槽中；

从所述透光性基片上的透光性电极浸到所述成膜液中的部分施加电压，电解成膜液。

3.权利要求2记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

在处理槽的里面上设置液内电极；

在设有所述液内电极的处理槽的里面上，至少设置一个电压施加用电极；

把透光性基片配置在所述处理槽内，使透光性电极与所述液内电极对置；

使所述电压施加用电极与所述透光性电极接触。

4.权利要求2或3记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

把液内电极分别设置在处理槽内相互对置的一对里面上；

把至少一个电压施加用电极分别设置在设置了所述液内电极的各处理槽的里面上；

把多个透光性基片配置在所述处理槽内，使透光性电极与所述液内电极对置；

使所述各电压施加用电极与各透光性电极相接触。

5.权利要求2至4中任一权项记载的滤色器的制造方法，其特征在于：电压施加用电极设置为贯通液内电极及处理槽的壁，并在进入处理槽内或从处理槽内出来的方向上进退移动。

6.权利要求1记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

在与具有开口的处理槽的开口对置的处理槽里面上设置液内电极；

将成膜液收容在所述处理槽内；

将透光性基片配置在覆盖所述开口的位置上，使透光性电极朝着处理槽内部；

使成膜液的液面与所述透光性电极相接触。

7.权利要求6记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

把至少一个电压施加用电极设置在设置了液内电极的处理槽的里面上，通过所述电压施加用电极在液内电极与透光性电极之间施加电压。

8.权利要求6或7记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

通过改变处理槽中收容的成膜液的量，使成膜液的液面与透光性电极接触。

9.权利要求1至8中任一权项记载的滤色器的制造方法，其特征在于，包括如下工序：

利用用于形成有选择地透过蓝色光的第一成膜液，形成有选择地透过蓝色光的着色层；

利用用于形成有选择地透过红色光的第二成膜液，形成有选择地透过红色光的着色层；

利用用于形成有选择地透过绿色光的第三成膜液，形成有选择地透过绿色光的着色层。

10.一种在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，其特征在于：

包括：

收容将染料物质分散到电解质溶液中所成的成膜液的处理槽，

设置在所述处理槽的里面上的液内电极，

在设置了所述液内电极的处理槽的里面上设置的至少一个电压施加用电极；

通过所述电压施加用电极在透光性电极上施加电压。

11.一种在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，其特征在于：

包括：

收容将染料物质分散到电解质溶液中所成的成膜液的处理槽，

在所述处理槽内的相互对置的一对处理槽里面上分别设置的液内电极，

对设置了这些液内电极的各处理槽里面上设置的至少一个电压施加用电极；

通过这些电压施加用电极将电压施加到各液内电极与各透光性电极之间。

12.权利要求10或11记载的滤色器的制造装置，其特征在于：

电压施加用电极设置为贯通液内电极及处理槽的壁，并在进入处理槽内或从处理槽内出来的方向上进退移动。

13.一种在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，其特征在于：

包括：

收容将染料物质分散在电解质溶液中所成的成膜液并且具有开口的处理槽，

在所述处理槽的里面上与所述开口对置的面上设置的液内电极，

设置在设置了液内电极的处理槽的里面上的至少一个电压施加用电极；

通过所述电压施加用电极在液内电极与透光性电极之间施加电压。

14.权利要求13记载的滤色器的制造装置，其特征在于：

电压施加用电极由具有导电性的弹性体形成。

15.一种在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于：

将在电解质溶液中分散染料物质而成的成膜液收容到处理槽中；

在所述成膜液内部与所述成膜液的液面对置的位置上配置液内电极；

使所述透光性电极与所述成膜液的液面接触；

在透光性电极与成膜液液面的接触部之外的地方配置电压施加用电极，使之与透光性电极导电连接；

将规定的电压施加到所述液内电极和所述电压施加用电极之间，电解所述成膜液。

16.权利要求15记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

在着色层的形成工序开始时移动成膜液的液面，使所述液面与透光性电极接触，在着色层的形成工序结束时移动成膜液的液面，使所述液面离开透光性电极。

17.权利要求15或16记载的滤色器的制造方法，其特征在于：

通过在成膜液中分散导电性的透光性物质，使所述透光性物质和染料物质一起粘附在透光性电极上，形成着色层。

18.一种在透光性基片上形成的透光性电极上形成透过特定波长段的光的着色层的滤色器的制造装置，其特征在于，包括：

收容在电解质溶液中分散染料物质而成的成膜液的处理槽；

保持使透光性基片的透光性电极与该处理槽收容的成膜液的液面接触的状态的基片保持装置；

配置在所述处理槽内部与所述成膜液的液面对置的液内电极；

配置在透光性电极与成膜液液面的接触部之外的地方、使之与透光性电极导电连接的电压施加用电极；

将规定电压施加到所述液内电极与电压施加用电极之间的电源部。

19.权利要求18记载的滤色器的制造装置，其特征在于：

包括至少移动透光性基片和成膜液液面之一、使透光性基片与成膜液液面相互接触或离开的液面接离装置。

20.权利要求19记载的滤色器的制造装置，其特征在于：

液面接离装置上下移动成膜液的液面。

21.权利要求18至20中任一权项记载的滤色器的制造装置，其特征在于：

将用于接受所述处理槽溢出的成膜液的排液部设置在所述处理槽的外侧。

22.权利要求18记载的滤色器的制造装置，其特征在于：

在处理槽周围设置用于将透光性基片输送到处理槽的上方位置的基片输送装置，将所述电压施加用电极设置到所述基片输送装置的适当地方。

23.权利要求22记载的滤色器的制造装置，其特征在于，基片输送装置包括在水平方向上输送透光性基片的输送滚子，所述电压施加用电极设在所述输送滚子的表面上。

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