CN117836078A - 包覆工具 - Google Patents
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Abstract
本发明的包覆工具为具有基材和基材上的硬质皮膜的包覆工具。硬质皮膜为氮化物或碳氮化物且具有面心立方晶格结构，所述氮化物或碳氮化物相对于金属(包括半金属)元素的总量，含有65原子％以上且90原子％以下的Al，含有10原子％以上且35原子％以下的Cr，含有0.50原子％以下的氩(Ar)。在硬质皮膜的与面心立方晶格结构的(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布中，在α角80°～90°的范围内示出最大强度Ia，α角0°～70°的范围的强度为最大强度Ia的35％以下。
Description
技术领域
本发明涉及应用于金属模或切削工具等工具的包覆工具。
本申请基于2021年08月19日在日本申请的专利申请2021-134034号要求优先权，并将其内容援引于此。
背景技术
AlCr氮化物是耐磨损性和耐热性优异的膜种类，被广泛应用为包覆金属模或包覆切削工具。近年来，开始提出利用电弧离子镀法包覆Al的含有比率超过70原子％且富含Al的AlCr氮化物而成的包覆工具(专利文献1～3)。
专利文献1：日本专利公开2016-032861号公报
专利文献2：日本专利公开2018-059146号公报
专利文献3：日本专利公开2020-040175号公报
在如工具直径为2mm以下的小径工具中，颗粒(ドロップレット)对工具性能带来的影响容易变大。本发明人确认到利用电弧离子镀法包覆的富含Al的AlCr氮化物的颗粒容易变多，工具的耐久性有改善的余地。
通过在硬质皮膜的成膜中使用溅射法，从而能够降低颗粒。但是，在单纯使用溅射法进行硬质皮膜的成膜的情况下，有时耐磨损性比使用电弧离子镀法形成的硬质皮膜的耐磨损性差。
发明内容
鉴于上述情况，本发明的目的是提供一种设置有富含Al的AlCr氮化物或碳氮化物的包覆工具，该富含Al的AlCr氮化物或碳氮化物通过溅射法的应用而降低颗粒，并且实现与使用电弧离子镀法的情况同等以上的耐久性。
本发明的一方式的包覆工具具有基材和所述基材上的硬质皮膜，其中，
所述硬质皮膜为氮化物或碳氮化物且具有面心立方晶格结构，所述氮化物或碳氮化物相对于金属(包括半金属)元素的总量，含有65原子％以上且90原子％以下的Al，含有10原子％以上且35原子％以下的Cr，并且相对于金属元素(包括半金属)和非金属元素的总量，含有0.50原子％以下的氩(Ar)，
在所述硬质皮膜的与面心立方晶格结构的(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布中，在α角80°～90°的范围内示出最大强度Ia，α角0°～70°的范围的强度为所述Ia的35％以下。
优选所述α角0°～70°的范围的强度为所述Ia的30％以下。
优选在所述硬质皮膜的X射线衍射或透射电子显微镜的选区电子衍射图案的强度轮廓中，面心立方晶格结构的(111)面示出最大强度。
根据本发明，能够得到设置有富含Al的AlCr氮化物或碳氮化物的溅射皮膜且耐久性优异的包覆工具。
附图说明
图1是本实施例1的与AlCr氮化物的(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图2是本实施例1的与AlCr氮化物的(200)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图3是比较例1的与AlCr氮化物的(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图4是比较例1的与AlCr氮化物的(200)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图5是本实施例1的XRD测定结果的一例。
具体实施方式
本发明人发现通过对溅射法的富含Al的AlCr氮化物或碳氮化物控制面心立方晶格结构的晶体取向而有提高耐久性的倾向。以下，对本发明的实施方式进行详细说明。
本实施方式的包覆工具是在基材的表面具有富含Al的以Al和Cr为主体的氮化物或碳氮化物的包覆工具。本实施方式的包覆工具能够应用于金属模或切削工具。特别是，优选应用于工具直径为5mm以下、进一步为3mm以下的小径立铣刀。
在本实施例中，基材没有特别限定。根据用途适当应用冷工具钢、热工具钢、高速钢、硬质合金等即可。基材也可以预先进行氮化处理或轰击处理等。
本实施方式所涉及的硬质皮膜为氮化物或碳氮化物，相对于金属(包括半金属，以下同样)元素的总量，含有65原子％以上且90原子％以下的Al，含有10原子％以上且35原子％以下的Cr。以Al和Cr为主体的氮化物或碳氮化物是耐磨损性和耐热性的平衡优异的膜种类，与基材的密接性也优异，特别是通过增大Al的含有比率而进一步提高硬质皮膜的耐热性。本实施方式所涉及的硬质皮膜优选为耐热性更优异的氮化物。另外，通过增大Al的含有比率，容易在工具表面形成氧化保护皮膜，并且皮膜组织变得微细，因此容易抑制因熔敷引起的硬质皮膜的磨损。
为了充分发挥上述Al的添加效果，本实施方式所涉及的硬质皮膜在将金属元素整体设为100原子％时，Al的含有比率为65原子％以上。进一步地，Al的含有比率优选为70原子％以上。进一步地，Al的含有比率优选为75原子％以上。另一方面，如果Al的含有比率过大，则硬质皮膜的晶体结构发生变化而变得脆弱。因此，本实施方式所涉及的硬质皮膜在将金属元素整体设为100原子％时，Al的含有比率为90原子％以下。进一步地，Al的含有比率优选为85原子％以下。进一步地，Al的含有比率优选为78原子％以下。
本实施方式所涉及的硬质皮膜在将金属元素整体设为100原子％时，Cr的含有比率为10原子％以上。由此，容易在加工中的工具表面形成均匀致密的氧化保护皮膜，容易抑制工具损伤。进一步地，Cr的含有比率优选为15原子％以上。另一方面，如果硬质皮膜中含有的Cr的含有比率过大，则难以得到增大上述Al的含有比率的效果。因此，本实施方式所涉及的硬质皮膜在将金属元素整体设为100原子％时，Cr的含有比率为35原子％以下。进一步地，Cr的含有比率优选为30原子％以下。进一步地，Cr的含有比率优选为25原子％以下。进一步地，Cr的含有比率优选为20原子％以上。
本实施方式所涉及的硬质皮膜在将金属元素整体设为100原子％时，优选Al和Cr的含有比率的合计为90原子％以上。另外，本实施方式所涉及的硬质皮膜也可以是Al和Cr的氮化物或碳氮化物。
关于本实施方式所涉及的硬质皮膜的金属元素的含有比率，能够使用电子探针显微分析仪装置(EPMA)对镜面加工后的硬质皮膜进行测定。在该情况下，例如在硬质皮膜表面的镜面加工之后，能够根据对直径为约1μm的分析范围进行5点分析而得到的平均值来求出。
本实施方式所涉及的硬质皮膜还可以含有除了Al和Cr以外的金属元素。例如，本实施方式所涉及的硬质皮膜以耐磨损性和耐热性等的提高为目的，还可以含有选自元素周期表中4a族、5a族、6a族的元素以及Si、B、Y、Yb、Cu中的一种或两种以上的元素。这些元素是为了提高包覆工具的皮膜特性而通常含有的元素，可以在不显著降低包覆工具的耐久性的范围内进行添加。但是，如果除了Al和Cr以外的金属元素的含有比率过大，则有时包覆工具的耐久性会降低。因此，在本实施方式所涉及的硬质皮膜含有除了Al和Cr以外的金属元素时，其合计的含有比率在将金属元素整体设为100原子％时优选为10原子％以下。进一步地，优选为5原子％以下。
本实施方式所涉及的硬质皮膜相对于金属元素和非金属元素的总量，含有0.50原子％以下的氩(Ar)。本实施方式所涉及的硬质皮膜是溅射膜，是溅射硬质皮膜。关于成为硬质皮膜的缺陷的颗粒，能够通过应用溅射法降低发生频度。另一方面，在溅射法中使用氩离子对靶成分进行溅射，因此利用溅射法包覆的硬质皮膜含有不少的氩。特别是，氩容易在晶界富集，如果晶体粒径变为微粒，则氩的含有比率有变大的倾向。但是，如果氩的含有比率变大，则在晶界处粒子之间的结合力会降低。如本实施方式所涉及的硬质皮膜那样，在Al的含有比率大的硬质皮膜中，过多含有的氩可能成为缺陷，因此使其含有比率为一定以下是有效的。具体而言，本实施方式所涉及的硬质皮膜相对于金属元素和非金属元素的总量，含有0.50原子％以下的氩。进一步地，优选将氩设为0.40原子％以下。
此外，关于本实施方式所涉及的硬质皮膜，如果使用除了氩以外还含有其他稀有气体的混合气体进行溅射，则还可以含有氩以外的稀有气体。
在溅射法中，如果使硬质皮膜中含有的氩的含有比率无限接近0原子％，则氩的流量会变得过小，从而溅射不稳定。另外，即使假设氩的含有比率接近0原子％，也会损害韧性、耐热性、耐磨损性之类的作为应用于切削工具的硬质皮膜的基本特性。关于本实施方式所涉及的硬质皮膜，氩的含有比率的下限没有特别限定，但为了使溅射法稳定，确保作为应用于包覆工具的硬质皮膜的基本皮膜特性，优选相对于金属元素和非金属元素的总量，含有0.02原子％以上的氩。进一步地，优选将氩的含有比率设为0.05原子％以上。进一步地，优选将氩设为0.10原子％以上。
关于本实施方式所涉及的硬质皮膜的氮及氩的含有比率，与上述金属元素的含有比率的测定同样，能够使用电子探针显微分析仪装置(EPMA)对镜面加工后的硬质皮膜进行测定。与上述金属元素的含有比率的测定同样，在镜面加工之后，能够根据对直径为约1μm的分析范围进行5点分析而得到的平均值来求出。
作为本实施方式所涉及的硬质皮膜的非金属元素，除了氮以外还可以含有微量的氩、氧、碳。
<晶体结构>
本实施方式所涉及的硬质皮膜具有面心立方晶格结构，在与面心立方晶格结构的(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布中，在α角80°～90°的范围内示出最大强度Ia，α角0°～70°的范围的强度为最大强度Ia的35％以下。由此，α角0°～70°的范围的强度相比α角80°～90°的最大强度相对变低，(111)面的大部分存在于与基材平面方向大致垂直的方向的α角80°～90°中。可以认为通过(111)面在与基材平面方向大致垂直的方向上取向而硬质皮膜整体变得更致密并提高耐久性。优选在α角85°～90°的范围内示出最大强度Ia。(111)面的α角0°～70°的范围的强度优选为最大强度Ia的30％以下，更优选为25％以下。
本实施方式所涉及的硬质皮膜优选在X射线衍射或电子射线衍射图案的强度轮廓中，面心立方晶格结构的(111)面示出最大强度。可以认为通过示出最大强度的面心立方晶格结构的(111)面在大致相同的方向上取向，从而提高硬质皮膜的耐磨损性，并且提高包覆工具的耐久性。
在X射线衍射中，(111)面的峰强度优选为(200)面的峰强度的4倍以上。根据这些结构，进一步提高硬质皮膜的耐磨损性，并且进一步提高包覆工具的耐久性。(111)面的峰强度与(200)面的峰强度之比的上限优选为8以下。
<中间皮膜、上层>
关于本实施方式的包覆工具，为了进一步提高硬质皮膜的密接性，根据需要可以在工具的基材与硬质皮膜之间另行设置中间皮膜。例如，可以在工具的基材与硬质皮膜之间设置由金属、氮化物、碳氮化物及碳化物中的任一种构成的层。
另外，也可以在本实施方式所涉及的硬质皮膜上另行形成具有与本实施方式所涉及的硬质皮膜不同的成分比或不同的组成的硬质皮膜。进一步地，也可以使本实施方式所涉及的硬质皮膜和另行具有与本实施方式所涉及的硬质皮膜不同的组成比或不同的组成的硬质皮膜相互层叠。
<颗粒>
在本实施方式所涉及的硬质皮膜的截面观察中，圆当量直径为1μm以上的颗粒优选在每100μm2中为五个以下。本说明书中的“颗粒”在电弧离子镀法中为由从阴极飞出的1μm至几十μm左右的熔融粒子引起的硬质皮膜上的附着物。本说明书中的“颗粒”在溅射法中为由从靶突然飞散的1μm至几十μm左右的金属粒子引起的硬质皮膜上的附着物。
在利用物理蒸镀法包覆的硬质皮膜中，颗粒可能是主要的物理缺陷。特别是，圆当量直径为1μm以上的粗大的颗粒在硬质皮膜的内部成为破坏的起点，因此通过降低其发生频度，从而能够提高硬质皮膜的韧性。在本实施方式中，在硬质皮膜的截面观察中，圆当量直径为1μm以上的颗粒优选在每100μm2中为五个以下。更优选地，在每100μm2中为三个以下。进一步优选地，在每100μm2中为一个以下。进一步地，优选不含有圆当量直径为5μm以上的颗粒。
另外，对于硬质皮膜的表面，圆当量直径为1μm以上的颗粒也优选在每100μm2中为五个以下。更优选地，硬质皮膜的表面的颗粒在每100μm2中为三个以下。进一步优选地，硬质皮膜的表面的颗粒在每100μm2中为一个以下。
为了在硬质皮膜的截面观察中评价颗粒，在对硬质皮膜进行镜面加工之后，利用会聚离子束法进行加工，并且使用透射型电子显微镜以5,000～10,000倍在多个视场中观察镜面加工后的面。另外，硬质皮膜的表面的颗粒的个数能够通过使用扫描型电子显微镜(SEM)等观察硬质皮膜的表面来求出。
<制造方法>
本实施方式所涉及的硬质皮膜的包覆优选应用溅射法，该溅射法使用三个以上的AlCr系合金靶，并且对靶依次施加电力，在切换施加电力的靶时，设置对电力施加结束的靶和开始电力施加的靶这两个靶同时施加电力的时间。在这样的溅射法中，在包覆过程中维持靶的离子化率高的状态，能够在微观水平上得到致密的硬质皮膜，并且有不可避免地含有的氩或氧少的倾向。而且，优选将溅射装置的炉内温度设为350℃～500℃，将对基材施加的负压的偏置电压设为-200V～-70V，导入Ar气体及N2气体以将炉内压力设为0.1Pa～0.4Pa。另外，在包覆碳氮化物的情况下，可以向靶添加微量的碳，或者将反应气体的一部分置换为甲烷气体。
电力脉冲的最大电力密度优选为0.1kW/cm2以上。更优选为0.3kW/cm2以上。另外，在本组成系统中，如果成膜离子的能量过高，则容易形成hcp结构。因此，电力脉冲的最大电力密度优选为0.7kW/cm2以下。更优选为0.6kW/cm2以下。对各个靶施加的电力脉冲的时间优选为30毫秒以下。另外，对电力施加结束的合金靶和开始电力施加的合金靶这两个合金靶同时施加电力的时间优选为20微秒以上100微秒以下。
实施例1
<基材>
作为基材，准备由组成为WC(bal.)-Co(8.0质量％)-VC(0.3质量％)-Cr3C2(0.5质量％)、硬度94.0HRA(洛氏硬度、根据JIS G 0202测定的值)构成的硬质合金制的双刃球头立铣刀。
本实施例1和比较例3使用能够搭载六台溅射蒸发源的溅射装置。在这些蒸镀源中，为了包覆硬质皮膜而将六个Al75Cr25合金靶(数值为原子比，以下同样)作为蒸镀源设置在装置内。
比较例2使用能够搭载六台溅射蒸发源的溅射装置。在这些蒸镀源中，为了包覆硬质皮膜而将六个Al80Cr20合金靶作为蒸镀源设置在装置内。
将作为基材的工具固定在溅射装置内的样品架上，对工具连接偏置电源。此外，偏置电源是与靶独立地对工具施加负的偏置电压的结构。工具以每分钟两转自转，并且经由固定夹具和样品架公转。工具与靶表面之间的距离为100mm。
导入气体使用Ar和N2，从设置于溅射装置的气体供给口导入该导入气体。
<轰击处理>
首先，在对工具包覆硬质皮膜之前，按照以下顺序对工具进行轰击处理。在通过溅射装置内的加热器使炉内温度成为400℃的状态下进行30分钟的加热。然后，对溅射装置的炉内进行真空排气，将炉内压力设为5.0×10-3Pa以下。然后，通过将Ar气体导入到溅射装置的炉内，将炉内压力调整为0.8Pa。然后，对工具施加-170V的直流偏置电压，实施20分钟以上的Ar离子对工具的清洁(轰击处理)。
<硬质皮膜的包覆>
在本实施例1的包覆中，将炉内温度设为400℃，向溅射装置的炉内导入Ar气体(0.2Pa)和N2气体(0.1Pa)以将炉内压力设为0.3Pa。对基材施加直流偏置电压，施加于靶的电力重叠的时间为50微秒，施加于各靶的电力的每一周期的放电时间为1毫秒。然后，将施加于基材的负压的偏置电压设为-120V并将最大电力设为0.4kW/cm2，对六个Al75Cr25合金靶连续地施加电力，在基材的表面包覆约3.0μm的硬质皮膜。
在比较例2的包覆中，将炉内温度设为400℃，向溅射装置的炉内导入Ar气体(0.2Pa)和N2气体(0.1Pa)以将炉内压力设为0.3Pa。对基材施加直流偏置电压，施加于靶的电力重叠的时间为50微秒，施加于各靶的电力的每一周期的放电时间为1毫秒。然后，将施加于基材的负压的偏置电压设为-120V并将最大电力设为0.8kW/cm2，对六个Al80Cr20合金靶连续地施加电力，在基材的表面包覆约3.0μm的硬质皮膜。
在比较例3的包覆中，将炉内温度设为400℃，向溅射装置的炉内导入Ar气体(0.2Pa)和N2气体(0.1Pa)以将炉内压力设为0.3Pa。对基材施加直流偏置电压，施加于靶的电力重叠的时间为50微秒，施加于各靶的电力的每一周期的放电时间为1毫秒。然后，将施加于基材的负压的偏置电压设为-120V并将最大电力设为0.8kW/cm2，对六个Al75Cr25合金靶连续地施加电力，在基材的表面包覆约3.0μm的硬质皮膜。
比较例1使用电弧离子镀装置。将Al60Cr40合金靶作为蒸镀源设置在装置内。首先，实施Ar离子对工具的清洁(轰击处理)。接着，使电弧离子镀装置的炉内压力真空排气至5.0×10-3Pa以下，将炉内温度设为500℃，并且导入N2气体以使炉内压力成为3.2Pa。然后，对工具施加-100V的直流偏置电压，向Al60Cr40合金靶供给150A的电流，在工具的表面包覆约3.0μm的硬质皮膜。比较例1是市场上通常使用的组成。
硬质皮膜的皮膜组成通过附属于电子探针显微分析仪装置(株式会社日本电子制造JXA-8500F)的波长分散型电子探针显微分析(WDS-EPMA)进行测定。对物性评价用的球头立铣刀进行镜面加工，并且将加速电压设为10kV、照射电流设为5×10-8A、引入时间设为10秒，对分析区域为直径1μm的范围进行5点测定，根据其平均值求出硬质皮膜的金属含有比率以及Ar在金属成分和非金属成分的合计中的含有比率。
使用X射线衍射装置(株式会社PaNalytical制造EMPYREA)，在管电压45kV、管电流40mA、X射线源Cukα(λ＝0.15405nm)、2θ为20～80度的测定条件下进行了晶体结构的确认。
使用纳米压痕测试仪(株式会社Elionix公司制造ENT-2100)分析硬质皮膜的皮膜硬度和弹性系数。在分析中，对使试验片相对于皮膜的最表面倾斜5度的皮膜截面进行镜面研磨之后，在皮膜的研磨面内选定最大压入深度小于膜厚的大致1/10的区域。在压入载荷为9.807mN的测定条件下测定15个点，根据除了值大的一侧的5个点和值小的一侧的5个点以外的5个点的平均值来求出。
将皮膜组成和物性评价的结果示于表1。
[表1]
X射线衍射的结果，本实施例1和比较例1为面心立方晶格结构(fcc结构)，而比较例2和比较例3为密排六方晶格结构(hcp结构)。
关于fcc结构的本实施例1和比较例1，评价了基于正极图的X射线强度分布。基于正极图的X射线强度分布的测定条件如下。此外，当试样面法线位于由入射线和衍射线决定的平面上时，将α角设为90°。当α角为90°时，在正极图上成为中心点。
球管：Cukα线
输出功率：45kV、200mA
光束：平行法
光学系统：平面内
检测器：D/teX Ultra250
索勒狭缝(Soller slits)开口角度：0.5deg
入射狭缝宽度：1.0mm
受光狭缝宽度：1.0mm
扫描方法：同心圆
β扫描范围：0°～360°/3.0°步进
2θ固定角度：(111)面的衍射角度为在36.0°～39.0°之间衍射强度最高的角度。(200)面的衍射角度为在42.0°～45.0°之间衍射强度最高的角度。此外，晶面由CrN确定。
α扫描范围：0～90°/3.0°步进
[表2]
图1示出本实施例1的与(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。图2示出本实施例1的与(200)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
图3示出比较例1的与(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。图4示出比较例1的与(200)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布的一例。
由图1可知本实施例1的(111)面在α角90°具有最大峰强度，α角0°～70°的范围的峰强度较低，在α角80°～90°的狭窄范围内强烈取向。表2示出从图中读取到的峰强度值。本实施例1的(111)面在α角90°示出最大强度Ia(＝1276)，α角0°～70°的范围的最大强度为287。确认到本实施例1的(111)面的α角0°～70°的范围的强度为最大强度Ia的22％，(111)面在α角80°～90°强烈取向。即，本实施例1的(111)面的α角0°～70°范围的强度为最大强度Ia的35％以下，且为30％以下。
图5示出本实施例1的AlCrN的XRD的测定结果的一例。确认到本实施例1的AlCrN的面心立方晶格结构的(111)的峰强度示出最大强度。另外，本实施例1的AlCrN在XRD中未确认到hcp结构的AlN的峰强度。此外，在图5中，由晶面(111)、(200)、(220)所示的三个峰是由面心立方结构的AlCrN引起的衍射峰。未由晶面所示的其他四个峰都是由基材的WC引起的衍射峰。
如表1所示，本实施例1的包覆工具通过将硬质皮膜设为呈面心立方晶格结构且(111)面在α角80°～90°强烈取向的构成，从而确认到虽然为富含Al的组成但与比较例1相比皮膜硬度及弹性系数变高。进一步地，根据本实施例1的包覆工具，通过溅射法的应用而降低颗粒，因此与比较例1的包覆工具相比，能够抑制因颗粒引起的皮膜破坏。
(条件)干式加工
工具：双刃硬质球头立铣刀
型号：EPDBE2010-6，球头半径0.5mm
切削方法：底面切削
工件：STAVAX(52HRC)(Bohler Uddeholm Corporation制造)
切削深度：轴向、0.03mm，径向、0.03mm
切削速度：67.8m/min
单刃进给量：0.0135mm/刃
切削距离：15m
评价方法：在切削加工之后，使用扫描型电子显微镜以倍率1000倍进行观察，在工具后刀面上测定工具与工件摩擦的宽度，将其中的摩擦宽度最大的部分设为后刀面最大磨损宽度。
[表3]
| 试样编号 | 后刀面最大磨损宽度(μm) |
| 本实施例1 | 10 |
| 比较例1 | 15 |
| 比较例2 | 剥离 |
| 比较例3 | 剥离 |
确认到本实施例1的后刀面最大磨损宽度较小，与以往的电弧离子镀法中使用的AlCrN相比耐久性优异。
Claims (3)
1.一种包覆工具，具有基材和所述基材上的硬质皮膜，所述包覆工具的特征在于，
所述硬质皮膜为氮化物或碳氮化物且具有面心立方晶格结构，所述氮化物或碳氮化物相对于包括半金属在内的金属元素的总量，含有65原子％以上且90原子％以下的Al，含有10原子％以上且35原子％以下的Cr，并且相对于包括半金属在内的金属元素和非金属元素的总量，含有0.50原子％以下的氩(Ar)，
在所述硬质皮膜的与面心立方晶格结构的(111)面相关的正极图的α轴的X射线强度分布中，在α角80°～90°的范围内示出最大强度Ia，α角0°～70°的范围的强度为所述最大强度Ia的35％以下。
2.根据权利要求1所述的包覆工具，其特征在于，
所述α角0°～70°的范围的强度为所述最大强度Ia的30％以下。
3.根据权利要求1或2述的包覆工具，其特征在于，
在所述硬质皮膜的X射线衍射或透射电子显微镜的选区电子衍射图案的强度轮廓中，面心立方晶格结构的(111)面示出最大强度。
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