CN117766436A - 一种转塔式多工位晶圆贴装机 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种转塔式多工位晶圆贴装机，包括晶圆贴装机构、转盘、以及驱动所述转盘转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构为多个，多个所述晶圆贴装机构安装在所述转盘上。本发明的有益效果是：本发明的转盘为单向运动，依靠多工位的轮流取贴完成动作流程，节省常规往复运动时空跑的时间，从而大幅提升效率。

Description

一种转塔式多工位晶圆贴装机

技术领域

本发明涉及固晶技术领域，尤其涉及一种转塔式多工位晶圆贴装机。

背景技术

晶圆贴装设备主要采用旋转往复及直线往复的方式，通过摆臂从取晶位上将芯片取下然后放置于引线框架上，如图1所示，取晶位取芯片，固晶位贴装，然后空跑至取晶位。

无论是直线往复还是旋转往复的固晶方式，都会存在空跑行程的情况，影响了效率。

发明内容

本发明提供了一种转塔式多工位晶圆贴装机，包括晶圆贴装机构、转盘、以及驱动所述转盘转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构为多个，多个所述晶圆贴装机构安装在所述转盘上。

作为本发明的进一步改进，所述转盘驱动机构为电机。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构包括纵向驱动机构、第一马达、吸嘴，所述纵向驱动机构与所述第一马达相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第一马达进行纵向移动，所述第一马达的输出轴与所述吸嘴相连，通过所述第一马达的输出轴的旋转带动所述吸嘴旋转。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括用于压力控制的第二马达，所述纵向驱动机构与所述第二马达相连，所述第二马达的输出轴与所述第一马达相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第二马达和所述第一马达进行纵向移动，通过所述第二马达的输出轴的前进或后退带动所述第一马达进行纵向移动。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括与所述转盘相连的安装件，所述纵向驱动机构包括第三马达、第一导向模块，所述第三马达和所述第一导向模块安装在所述安装件上，所述第三马达通过所述第一导向模块带动所述第二马达进行纵向移动。

作为本发明的进一步改进，所述第一导向模块包括第一导轨、以及在所述第一导轨上滑动的第一滑块，所述第三马达和所述第一导轨安装在所述安装件上，所述第三马达的输出轴与所述第一滑块相连，通过所述第三马达的输出轴的前进或后退带动所述第一滑块移动，所述第二马达与所述第一滑块和/或所述第三马达的输出轴相连。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括第二导向模块，所述第二导向模块包括第二导轨、以及在所述第二导轨上滑动的第二滑块，所述第二导轨安装在所述第一滑块上，所述第二马达安装在所述第二导轨上，所述第二马达的输出轴与所述第二滑块相连。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括编码器，所述编码器包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在安装件和第一滑块上。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括调节所述第一马达安装角度的调节机构。

作为本发明的进一步改进，所述调节机构包括左右倾角调整件和俯仰倾角调整件，所述第二滑块设有多个第一安装孔，所述左右倾角调整件通过左右水平调整螺丝安装在所述第一安装孔位置处，所述左右倾角调整件设有第二安装孔，所述俯仰倾角调整件通过俯仰水平调整螺丝安装在所述第二安装孔位置处，所述第一马达与所述俯仰倾角调整件安装在一起。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构包括模块安装件、R轴旋转马达、Z轴马达、吸嘴安装件、吸嘴、传动机构，所述R轴旋转马达和所述Z轴马达安装在所述模块安装件上，所述Z轴马达用于驱动所述吸嘴安装件进行纵向移动，所述吸嘴与所述吸嘴安装件相连，所述R轴旋转马达通过所述传动机构带动所述吸嘴旋转。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括Z轴马达安装件，所述Z轴马达安装件安装在所述模块安装件上，所述Z轴马达安装在所述Z轴马达安装件上。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括Z向直线导向系统，所述Z向直线导向系统包括导轨、以及在所述导轨上滑动的滑块，所述导轨安装在所述Z轴马达安装件上，所述Z轴马达的输出轴与所述滑块相连，通过所述Z轴马达的输出轴的前进或后退带动所述滑块移动，所述吸嘴安装件安装在所述滑块上。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括编码模块，所述编码模块包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在Z轴马达安装件和滑块上。

作为本发明的进一步改进，所述传动机构包括吸嘴旋转出力件、缓冲滑动棒，所述缓冲滑动棒顶部伸入所述吸嘴旋转出力件内，所述缓冲滑动棒与所述吸嘴相连，所述R轴旋转马达用于驱动所述吸嘴旋转出力件旋转，所述吸嘴旋转出力件通过旋转限位机构与所述缓冲滑动棒进行配合，所述旋转限位机构用于实现所述吸嘴旋转出力件同步带动所述缓冲滑动棒进行旋转，且缓冲滑动棒能在吸嘴旋转出力件中上下滑动。

作为本发明的进一步改进，所述旋转限位机构包括安装在缓冲滑动棒上的销、以及开设于吸嘴旋转出力件内部的槽，所述销位于所述槽内，当所述吸嘴旋转出力件转动时，所述销顶住所述槽边缘，使所述缓冲滑动棒跟随所述吸嘴旋转出力件进行转动；所述销能够在所述槽的纵向上滑动。

作为本发明的进一步改进，所述吸嘴安装件通过移动限位机构与所述缓冲滑动棒进行配合，所述移动限位机构用于实现所述吸嘴安装件带动所述缓冲滑动棒进行上下移动，且缓冲滑动棒能够旋转。

作为本发明的进一步改进，所述移动限位机构包括上挡片和下挡片，所述吸嘴安装件设有过孔，所述缓冲滑动棒穿过所述吸嘴安装件的过孔，所述缓冲滑动棒与所述过孔为间隙配合，所述上挡片和所述下挡片安装在所述缓冲滑动棒上，所述上挡片位于所述吸嘴安装件顶端上，所述下挡片位于所述吸嘴安装件底端。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括滑动棒导向套、滚珠套、取晶压力调整件，所述滚珠套安装于所述滑动棒导向套内，所述缓冲滑动棒安装于所述滚珠套内，所述滑动棒导向套安装在所述吸嘴安装件上，所述缓冲滑动棒底部穿过所述滑动棒导向套，所述缓冲滑动棒与所述取晶压力调整件相连，所述吸嘴与所述取晶压力调整件相连。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括压力控制系统，所述压力控制系统安装在所述吸嘴安装件上，所述压力控制系统用于控制所述缓冲滑动棒上下滑动。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括弹簧，所述弹簧安装于所述吸嘴安装件与所述取晶压力调整件之间。

作为本发明的进一步改进，所述传动机构还包括R轴出力轮、传动带，所述R轴旋转马达的输出轴安装所述R轴出力轮，所述传动带套装于所述吸嘴旋转出力件外表面及所述R轴出力轮外表面，通过所述传动带将所述R轴旋转马达的旋转力传递至所述吸嘴旋转出力件。

作为本发明的进一步改进，所述晶圆贴装机构还包括气接头，所述气接头安装在所述吸嘴旋转出力件上，所述缓冲滑动棒内部设有孔，所述孔一端与气接头对接，所述孔另一端与吸嘴对接，通过缓冲滑动棒的孔使气接头和吸嘴的气路相通。

作为本发明的进一步改进，所述压力控制系统包括马达，所述马达的输出轴与所述缓冲滑动棒相连，通过所述马达的输出轴的前进或后退带动所述缓冲滑动棒上下滑动。

本发明的有益效果是：本发明的转盘为单向运动，依靠多工位的轮流取贴完成动作流程，节省常规往复运动时空跑的时间，从而大幅提升效率。

附图说明

图1是现有直线往复固晶示意图；

图2是转塔式多工位晶圆贴装机结构图；

图3是第一个实施例中的晶圆贴装机构一个视角的结构图；

图4是第一个实施例中的晶圆贴装机构另一个视角的结构图；

图5是第二个实施例中的晶圆贴装机构一个视角的结构图；

图6是第二个实施例中的晶圆贴装机构另一个视角的结构图。

具体实施方式

如图2所示，本发明公开了一种转塔式多工位晶圆贴装机，包括晶圆贴装机构100、转盘101、以及驱动所述转盘101转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构100为多个，多个所述晶圆贴装机构100安装在所述转盘101上。

所述转盘驱动机构为电机102。

本发明的转盘101为单向运动，依靠多工位的轮流取贴完成动作流程，节省常规往复运动时空跑的时间，从而大幅提升效率。

作为本发明的第一个实施例，如图3所示，所述晶圆贴装机构100包括纵向驱动机构、第一马达7、吸嘴10、以及用于压力控制的第二马达6，所述纵向驱动机构与所述第二马达6相连，所述第二马达6的输出轴与所述第一马达7相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第二马达6和第一马达7进行纵向移动，通过所述第二马达6的输出轴的前进或后退带动所述第一马达7进行纵向移动，所述第一马达7的输出轴与所述吸嘴10相连，通过所述第一马达7的输出轴的旋转带动所述吸嘴10旋转，所述吸嘴10受到的压力由第二马达6控制，当纵向驱动机构带动第二马达6和第一马达7及固定在它们上面的吸嘴10运动时，吸嘴10所受到来自芯片的力大于第二马达6的力时，第二马达6的输出轴回缩。吸嘴10用于在取晶位吸取晶圆、以及在固晶位贴装晶圆。

作为第一个实施例的进一步改进，所述晶圆贴装机构100还包括与所述转盘101相连的安装件1，所述纵向驱动机构包括第三马达2、第一导向模块3，所述第三马达2和所述第一导向模块3安装在所述安装件1上，所述第三马达2通过所述第一导向模块3带动所述第二马达6进行纵向移动。所述第一导向模块3包括第一导轨、以及在所述第一导轨上滑动的第一滑块，所述第三马达2和所述第一导轨安装在所述安装件1上，所述第三马达2的输出轴与所述第一滑块相连，通过所述第三马达2的输出轴的前进或后退带动所述第一滑块移动，所述第二马达6与所述第一滑块和/或所述第三马达2的输出轴相连。

作为第一个实施例的进一步改进，所述晶圆贴装机构100还包括第二导向模块5，所述第二导向模块5包括第二导轨、以及在所述第二导轨上滑动的第二滑块，所述第二导轨安装在所述第一滑块上，所述第二马达6安装在所述第二导轨上，所述第二马达6的输出轴与所述第二滑块相连。

作为第一个实施例的进一步改进，所述晶圆贴装机构100还包括编码器4，所述编码器4包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在安装件1和第一导向模块3的第一滑块上。编码器4是用来采集运动机构位置的传感器，将被测的位置及移动直接转换成数字信号(高速脉冲信号。

作为第一个实施例的进一步改进，所述晶圆贴装机构100还包括调节所述第一马达7安装角度的调节机构。

如图4所示，所述调节机构包括左右倾角调整件8和俯仰倾角调整件9，所述第二滑块设有多个第一安装孔，所述左右倾角调整件8通过左右水平调整螺丝11安装在所述第一安装孔位置处，所述左右倾角调整件8设有第二安装孔，所述俯仰倾角调整件9通过俯仰水平调整螺丝12安装在所述第二安装孔位置处，所述第一马达7与所述俯仰倾角调整件9安装在一起。

通过左右水平调整螺丝11和第一安装孔的配合，调整左右倾角调整件8的安装角度。通过俯仰水平调整螺丝12和第二安装孔的配合，调整俯仰倾角调整件9的安装角度。

作为本发明的第二个实施例，如图5所示，所述晶圆贴装机构100包括模块安装件201、R轴旋转马达210、Z轴马达203、吸嘴安装件207、吸嘴10、传动机构，所述R轴旋转马达210和所述Z轴马达203安装在所述模块安装件201上，所述Z轴马达203用于驱动所述吸嘴安装件207进行纵向移动，所述吸嘴10与所述吸嘴安装件207相连，所述R轴旋转马达210通过所述传动机构带动所述吸嘴10旋转。

所述晶圆贴装机构100还包括Z轴马达安装件202，所述Z轴马达安装件202安装在所述模块安装件201上，所述Z轴马达203安装在所述Z轴马达安装件202上。

所述晶圆贴装机构100还包括Z向直线导向系统204，所述Z向直线导向系统204包括导轨、以及在所述导轨上滑动的滑块，所述导轨安装在所述Z轴马达安装件202上，所述Z轴马达203的输出轴与所述滑块相连，通过所述Z轴马达203的输出轴的前进或后退带动所述滑块移动，所述吸嘴安装件207安装在所述滑块上。

所述晶圆贴装机构100还包括编码模块205，所述编码模块205包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在Z轴马达安装件202和滑块上。

所述传动机构包括吸嘴旋转出力件209、缓冲滑动棒208，所述缓冲滑动棒208顶部伸入所述吸嘴旋转出力件209内，所述缓冲滑动棒208与所述吸嘴10相连，所述R轴旋转马达210用于驱动所述吸嘴旋转出力件209旋转，所述吸嘴旋转出力件209通过旋转限位机构与所述缓冲滑动棒208进行配合。所述旋转限位机构用于实现所述吸嘴旋转出力件209同步带动所述缓冲滑动棒208进行旋转，且缓冲滑动棒208能在吸嘴旋转出力件209中上下滑动。

所述旋转限位机构包括安装在缓冲滑动棒208上的销、以及开设于吸嘴旋转出力件209内部的槽，所述销位于所述槽内，当所述吸嘴旋转出力件209转动时，所述销顶住所述槽边缘，使所述缓冲滑动棒208跟随所述吸嘴旋转出力件209进行转动；当缓冲滑动棒208上下滑动时，销在槽的纵向上移动，例如槽高是5cm，那么销的上下移动行程就是5cm，即缓冲滑动棒208的上下移动行程就是5cm。在该旋转限位机构中，销和槽的位置可以互换，即，可以将销安装在吸嘴旋转出力件209上，缓冲滑动棒208设置槽。

所述吸嘴安装件207通过移动限位机构与所述缓冲滑动棒208进行配合，所述移动限位机构用于实现所述吸嘴安装件207带动所述缓冲滑动棒208进行上下移动，且缓冲滑动棒208能够旋转。

作为移动限位机构的第一个实施例，移动限位机构包括上挡片和下挡片，所述吸嘴安装件207设有过孔，所述缓冲滑动棒208穿过所述吸嘴安装件207的过孔，所述缓冲滑动棒208与所述过孔为间隙配合，所述上挡片和所述下挡片安装在所述缓冲滑动棒208上，所述上挡片位于所述吸嘴安装件207顶端上，所述下挡片位于所述吸嘴安装件207底端。因为缓冲滑动棒208与所述过孔为间隙配合，所以，缓冲滑动棒208能够在吸嘴安装件207的过孔内进行旋转，缓冲滑动棒208旋转时，上挡片和下挡片进行同步旋转。当吸嘴安装件207向上移动时，吸嘴安装件207将上挡片顶起，吸嘴安装件207带着上挡片和缓冲滑动棒208一起向上移动。当吸嘴安装件207向下移动时，吸嘴安装件207将下挡片向下压，吸嘴安装件207带着下挡片和缓冲滑动棒208一起向下移动。

作为移动限位机构的第二个实施例，移动限位机构包括电磁铁，所述吸嘴安装件207设有过孔，所述缓冲滑动棒208穿过所述吸嘴安装件207的过孔，所述缓冲滑动棒208与所述过孔为间隙配合，电磁铁安装在过孔内，缓冲滑动棒208由铁材料制成。因为缓冲滑动棒208与所述过孔为间隙配合，所以，缓冲滑动棒208能够在吸嘴安装件207的过孔内进行旋转。当吸嘴安装件207向上移动时，电磁铁通电，使电磁铁吸住缓冲滑动棒208，吸嘴安装件207带着缓冲滑动棒208一起向上移动。当吸嘴安装件207向下移动时，电磁铁通电，使电磁铁吸住缓冲滑动棒208，吸嘴安装件207带着缓冲滑动棒208一起向下移动。

所述晶圆贴装机构100还包括滑动棒导向套213、滚珠套、取晶压力调整件214，所述滚珠套安装于所述滑动棒导向套213内，所述缓冲滑动棒208安装于所述滚珠套内，所述滑动棒导向套213安装在所述吸嘴安装件207上，所述缓冲滑动棒208底部穿过所述滑动棒导向套213，所述缓冲滑动棒208与所述取晶压力调整件214相连，所述吸嘴10与所述取晶压力调整件214相连。

所述晶圆贴装机构100还包括压力控制系统206，所述压力控制系统206安装在所述吸嘴安装件207上，所述压力控制系统206用于控制所述缓冲滑动棒208上下滑动。缓冲滑动棒208的两端分别被压力控制系统206和取晶压力调整件214限制，允许活动范围最大1mm。依靠压力控制系统206与缓冲滑动棒208组合在一起分别控制取晶和贴装的压力。

作为压力控制系统206的一个实施例，压力控制系统206包括马达，所述马达的输出轴与所述缓冲滑动棒208相连，通过所述马达的输出轴的前进或后退带动所述缓冲滑动棒208上下滑动。

所述晶圆贴装机构100还包括弹簧215，所述弹簧215安装于所述吸嘴安装件207与所述取晶压力调整件214之间。取晶超过压力时，弹簧215回缩，回缩≤1mm行程。

所述传动机构还包括R轴出力轮211、传动带212，所述R轴旋转马达210的输出轴安装所述R轴出力轮211，所述传动带212套装于所述吸嘴旋转出力件209外表面及所述R轴出力轮211外表面，通过所述传动带212将所述R轴旋转马达210的旋转力传递至所述吸嘴旋转出力件209。

所述晶圆贴装机构100还包括气接头216，所述气接头216安装在所述吸嘴旋转出力件209上，所述缓冲滑动棒208内部设有孔，所述孔一端与气接头216对接，所述孔另一端与吸嘴10对接，通过缓冲滑动棒208的孔使气接头216和吸嘴10的气路相通。

作为第二个实施例的进一步改进，如图6所示，吸嘴安装件207通过俯仰角调整螺丝217安装在滑块上，吸嘴安装件207调整好俯仰角度后，通过俯仰角调整螺丝217固定在滑块上，从而实现吸嘴安装件207的俯仰角调整。

在第二个实施例中，R轴旋转马达210后置，依靠传动机构完成吸嘴10旋转传动并允许Z向滑动，从而减轻Z向负载。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (24)

1.一种转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：包括晶圆贴装机构(100)、转盘(101)、以及驱动所述转盘(101)转动的转盘驱动机构，所述晶圆贴装机构(100)为多个，多个所述晶圆贴装机构(100)安装在所述转盘(101)上。

2.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述转盘驱动机构为电机(102)。

3.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)包括纵向驱动机构、第一马达(7)、吸嘴(10)，所述纵向驱动机构与所述第一马达(7)相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第一马达(7)进行纵向移动，所述第一马达(7)的输出轴与所述吸嘴(10)相连，通过所述第一马达(7)的输出轴的旋转带动所述吸嘴(10)旋转。

4.根据权利要求3所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括用于压力控制的第二马达(6)，所述纵向驱动机构与所述第二马达(6)相连，所述第二马达(6)的输出轴与所述第一马达(7)相连，所述纵向驱动机构用于驱动所述第二马达(6)和所述第一马达(7)进行纵向移动，通过所述第二马达(6)的输出轴的前进或后退带动所述第一马达(7)进行纵向移动。

5.根据权利要求4所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括与所述转盘(101)相连的安装件(1)，所述纵向驱动机构包括第三马达(2)、第一导向模块(3)，所述第三马达(2)和所述第一导向模块(3)安装在所述安装件(1)上，所述第三马达(2)通过所述第一导向模块(3)带动所述第二马达(6)进行纵向移动。

6.根据权利要求5所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述第一导向模块(3)包括第一导轨、以及在所述第一导轨上滑动的第一滑块，所述第三马达(2)和所述第一导轨安装在所述安装件(1)上，所述第三马达(2)的输出轴与所述第一滑块相连，通过所述第三马达(2)的输出轴的前进或后退带动所述第一滑块移动，所述第二马达(6)与所述第一滑块和/或所述第三马达(2)的输出轴相连。

7.根据权利要求6所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括第二导向模块(5)，所述第二导向模块(5)包括第二导轨、以及在所述第二导轨上滑动的第二滑块，所述第二导轨安装在所述第一滑块上，所述第二马达(6)安装在所述第二导轨上，所述第二马达(6)的输出轴与所述第二滑块相连。

8.根据权利要求6所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括编码器(4)，所述编码器(4)包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在安装件(1)和第一滑块上。

9.根据权利要求7所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括调节所述第一马达(7)安装角度的调节机构。

10.根据权利要求9所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述调节机构包括左右倾角调整件(8)和俯仰倾角调整件(9)，所述第二滑块设有多个第一安装孔，所述左右倾角调整件(8)通过左右水平调整螺丝(11)安装在所述第一安装孔位置处，所述左右倾角调整件(8)设有第二安装孔，所述俯仰倾角调整件(9)通过俯仰水平调整螺丝(12)安装在所述第二安装孔位置处，所述第一马达(7)与所述俯仰倾角调整件(9)安装在一起。

11.根据权利要求1所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)包括模块安装件(201)、R轴旋转马达(210)、Z轴马达(203)、吸嘴安装件(207)、吸嘴(10)、传动机构，所述R轴旋转马达(210)和所述Z轴马达(203)安装在所述模块安装件(201)上，所述Z轴马达(203)用于驱动所述吸嘴安装件(207)进行纵向移动，所述吸嘴(10)与所述吸嘴安装件(207)相连，所述R轴旋转马达(210)通过所述传动机构带动所述吸嘴(10)旋转。

12.根据权利要求11所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括Z轴马达安装件(202)，所述Z轴马达安装件(202)安装在所述模块安装件(201)上，所述Z轴马达(203)安装在所述Z轴马达安装件(202)上。

13.根据权利要求12所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括Z向直线导向系统(204)，所述Z向直线导向系统(204)包括导轨、以及在所述导轨上滑动的滑块，所述导轨安装在所述Z轴马达安装件(202)上，所述Z轴马达(203)的输出轴与所述滑块相连，通过所述Z轴马达(203)的输出轴的前进或后退带动所述滑块移动，所述吸嘴安装件(207)安装在所述滑块上。

14.根据权利要求13所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括编码模块(205)，所述编码模块(205)包括光栅尺和读数头，所述光栅尺和读数头分别安装在Z轴马达安装件(202)和滑块上。

15.根据权利要求11所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述传动机构包括吸嘴旋转出力件(209)、缓冲滑动棒(208)，所述缓冲滑动棒(208)顶部伸入所述吸嘴旋转出力件(209)内，所述缓冲滑动棒(208)与所述吸嘴(10)相连，所述R轴旋转马达(210)用于驱动所述吸嘴旋转出力件(209)旋转，所述吸嘴旋转出力件(209)通过旋转限位机构与所述缓冲滑动棒(208)进行配合，所述旋转限位机构用于实现所述吸嘴旋转出力件(209)同步带动所述缓冲滑动棒(208)进行旋转，且缓冲滑动棒(208)能在吸嘴旋转出力件(209)中上下滑动。

16.根据权利要求15所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述旋转限位机构包括安装在缓冲滑动棒(208)上的销、以及开设于吸嘴旋转出力件(209)内部的槽，所述销位于所述槽内，当所述吸嘴旋转出力件(209)转动时，所述销顶住所述槽边缘，使所述缓冲滑动棒(208)跟随所述吸嘴旋转出力件(209)进行转动；所述销能够在所述槽的纵向上滑动。

17.根据权利要求15所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述吸嘴安装件(207)通过移动限位机构与所述缓冲滑动棒(208)进行配合，所述移动限位机构用于实现所述吸嘴安装件(207)带动所述缓冲滑动棒(208)进行上下移动，且缓冲滑动棒(208)能够旋转。

18.根据权利要求17所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述移动限位机构包括上挡片和下挡片，所述吸嘴安装件(207)设有过孔，所述缓冲滑动棒(208)穿过所述吸嘴安装件(207)的过孔，所述缓冲滑动棒(208)与所述过孔为间隙配合，所述上挡片和所述下挡片安装在所述缓冲滑动棒(208)上，所述上挡片位于所述吸嘴安装件(207)顶端上，所述下挡片位于所述吸嘴安装件(207)底端。

19.根据权利要求17所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括滑动棒导向套(213)、滚珠套、取晶压力调整件(214)，所述滚珠套安装于所述滑动棒导向套(213)内，所述缓冲滑动棒(208)安装于所述滚珠套内，所述滑动棒导向套(213)安装在所述吸嘴安装件(207)上，所述缓冲滑动棒(208)底部穿过所述滑动棒导向套(213)，所述缓冲滑动棒(208)与所述取晶压力调整件(214)相连，所述吸嘴(10)与所述取晶压力调整件(214)相连。

20.根据权利要求15所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括压力控制系统(206)，所述压力控制系统(206)安装在所述吸嘴安装件(207)上，所述压力控制系统(206)用于控制所述缓冲滑动棒(208)上下滑动。

21.根据权利要求19所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括弹簧(215)，所述弹簧(215)安装于所述吸嘴安装件(207)与所述取晶压力调整件(214)之间。

22.根据权利要求15所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述传动机构还包括R轴出力轮(211)、传动带(212)，所述R轴旋转马达(210)的输出轴安装所述R轴出力轮(211)，所述传动带(212)套装于所述吸嘴旋转出力件(209)外表面及所述R轴出力轮(211)外表面，通过所述传动带(212)将所述R轴旋转马达(210)的旋转力传递至所述吸嘴旋转出力件(209)。

23.根据权利要求15所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述晶圆贴装机构(100)还包括气接头(216)，所述气接头(216)安装在所述吸嘴旋转出力件(209)上，所述缓冲滑动棒(208)内部设有孔，所述孔一端与气接头(216)对接，所述孔另一端与吸嘴(10)对接，通过缓冲滑动棒(208)的孔使气接头(216)和吸嘴(10)的气路相通。

24.根据权利要求20所述的转塔式多工位晶圆贴装机，其特征在于：所述压力控制系统(206)包括马达，所述马达的输出轴与所述缓冲滑动棒(208)相连，通过所述马达的输出轴的前进或后退带动所述缓冲滑动棒(208)上下滑动。