CN117741207A - 探针卡上卡防呆方法、设备及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种探针卡上卡防呆方法、设备及存储介质，探针台设置有SACC模块、分控制模块和限位机构，针卡车设置有针卡车模块和主控制模块，防呆方法包括：针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息，若接收到身份信息，则向主控制模块发送第一确认信号，若未接收到身份信息，则发出第一报警提示信息；主控制模块判断是否接收到第一确认信号，若接收到，则向分控制模块发送第二确认信号；分控制模块判断是否接收到第二确认信号，若接收到，则控制限位机构停止对SACC模块的限位，若未接收到，则控制限位机构维持对SACC模块的限位。本发明探针卡上卡防呆方法能够有效地保护探针卡，避免探针卡因没有拆针卡盖而导致其针尖损坏。

Description

探针卡上卡防呆方法、设备及存储介质

技术领域

本发明涉及一种探针卡上卡防呆技术领域，尤其涉及一种探针卡上卡防呆方法、设备及存储介质。

背景技术

现有的一般通过集成电路探针台(Prober)搭配测试机设备完成晶圆测试，探针台能够为晶圆提供测试平台，探针台的前门侧设置有机械结构载体，即SACC模块，以辅助探针卡上卡至探针台；

SACC模块包括支架和中间板(Middle Plate)，中间板滑设于支架并承托有针卡支撑件(Cardholder)，针卡支撑件用于固定探针卡，通过针卡车将探针卡运送至探针台的前门侧，操作人员需手动拆下探针卡的针卡保护盖子，并将探针卡放置在针卡支撑件上，然后再通过中间板手动将探针卡推入探针台内部；

如果操作人员忘记拆下探针卡的针卡保护盖子，探针卡直接带着针卡保护盖子放置在针卡支撑件上，那么在通过中间板将探针卡推进探针台时，便会导致针卡保护盖子与探针台的前门进出口的下边缘碰撞，针卡保护盖子发生移位甚至破裂，进而损坏探针卡的针尖，造成探针卡异常而无法进行测试。

发明内容

本发明的目的是提供一种探针卡上卡防呆方法、设备及存储介质，能够有效地保护探针卡，避免探针卡因没有拆针卡盖而导致其针尖损坏。

为了实现上述目的，本发明公开了一种探针卡上卡防呆方法，探针台设置有SACC模块、分控制模块和限位机构，针卡车设置有针卡车模块和主控制模块，所述方法的步骤包括：

针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息，若接收到针卡盖的身份信息，则向主控制模块发送第一确认信号，若未接收到针卡盖的身份信息，则发出第一报警提示信息；

主控制模块判断是否接收到第一确认信号，若接收到第一确认信号，则向分控制模块发送第二确认信号；

分控制模块判断是否接收到第二确认信号，若接收到第二确认信号，则控制限位机构停止对SACC模块的限位，若未接收到第二确认信号，则控制限位机构维持对SACC模块的限位。

进一步地，所述“针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

针卡车模块读取探针台的设备信息，并发送至主控制模块；

主控制模块根据探针台的设备信息与分控制模块建立通讯连接。

进一步地，所述“针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

针卡车模块读取保存探针卡的身份信息。

进一步地，所述“向主控制模块发送第一确认信号”包括：

判断接收的针卡盖的身份信息与读取的探针卡的身份信息是否匹配，若身份信息匹配，则向主控制模块发送第一确认信号，若身份信息不匹配，则发出第二报警提示信息。

进一步地，所述“针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

针卡车模块读取探针台的设备信息；

针卡车模块判断探针台的设备信息与探针卡的身份信息是否匹配，若设备信息和身份信息不匹配，则发出第三报警提示信息。

进一步地，限位机构包括限位气缸和电磁阀组，电磁阀组与分控制模块通讯连接，电磁阀组分别与限位气缸和外部的空压机连接，所述“控制限位机构停止对SACC模块的限位”包括：

分控制模块向电磁阀组发送驱动信号；

电磁阀组控制空压机的气体通入限位气缸，以使限位气缸收缩。

为了实现上述目的，本发明公开了一种电子设备，其特征在于，包括：

一个或多个处理器；

一个或多个存储器，用于存储一个或多个程序，当一个或多个所述程序被所述处理器执行，使得所述处理器实现如前所述的探针卡上卡防呆方法。

为了实现上述目的，本发明公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现如前所述的探针卡上卡防呆方法。

在本申请中，通过分控制模块、主控制模块以及针卡车模块的配合并利用限位结构实现对探针卡通过SACC模块上卡时的防呆，通过针卡车将探针卡运送至探针台后，针卡车模块通过判断是否接收到针卡盖的身份信息来确认操作人员是否将探针卡的针卡盖取下，若未接收到则发出第一报警提示信息提醒操作人员，而当主控制模块接收到针卡车模块发送的第一确认信号后向分控制模块发送第二确认信号，以使分控制模块控制限位机构停止对SACC模块的限位，否则控制限位机构维持对SACC模块的限位，进而有效地保护探针卡，避免探针卡因没有拆针卡盖而导致其针尖损坏。

附图说明

图1为本发明实施例探针卡上卡防呆方法的流程图。

图2为本发明实施例探针卡上卡防呆方法中针卡车和探针台的结构示意图。

图3为本发明实施例电子系统的模块图。

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。

实施例一

请参阅图1和图2，本发明公开了一种探针卡上卡防呆方法，探针台1设置有SACC模块11、分控制模块12和限位机构13，针卡车2设置有针卡车模块21和主控制模块22，方法的步骤包括：

101、针卡车模块21判断是否接收到针卡盖的身份信息，若接收到针卡盖的身份信息，则向主控制模块22发送第一确认信号，若未接收到针卡盖的身份信息，则发出第一报警提示信息；

102、主控制模块22判断是否接收到第一确认信号，若接收到第一确认信号，则向分控制模块12发送第二确认信号；

103、分控制模块12判断是否接收到第二确认信号，若接收到第二确认信号，则控制限位机构13停止对SACC模块11的限位，若未接收到第二确认信号，则控制限位机构13维持对SACC模块11的限位。

在本申请中，通过分控制模块12、主控制模块22以及针卡车模块21的配合并利用限位结构实现对探针卡10通过SACC模块11上卡时的防呆，通过针卡车2将探针卡10运送至探针台1后，针卡车模块21通过判断是否接收到针卡盖的身份信息来确认操作人员是否将探针卡10的针卡盖取下，若未接收到则发出第一报警提示信息提醒操作人员，而当主控制模块22接收到针卡车模块21发送的第一确认信号后向分控制模块12发送第二确认信号，以使分控制模块12控制限位机构13停止对SACC模块11的限位，否则控制限位机构13维持对SACC模块11的限位，进而有效地保护探针卡10，避免探针卡10因没有拆针卡盖而导致其针尖损坏。

可以理解的是，针卡车模块21、主控制模块22、分控制模块12都在分别同时地执行步骤101至步骤103的判断，针卡车模块21循环地判断是否接收到针卡盖的身份信息，直至接收后发出第一确认信号；主控制模块22循环地判断是否接收到第一确认信号，直至接收后发出第二确认信号，分控制模块12循环地判断是否接收到第二确认信号，直至接收后控制限位机构13停止对SACC模块11的限位，但不以此为限。

具体地，在本实施例中，针卡车2用于将探针卡10运输至对应的探针台1，以及用于在操作人员进行探针卡10上卡操作时，发出报警提示信号来提示操作人员进行正确的操作步骤；针卡车2包括上层和下层，下层设置有传感器，以感应探针卡10，领用探针卡10后放置在下层，待针卡车2将探针卡10运输到探针台1旁，操作人员再将探针卡10取出放在上层，此时，针卡车模块21开始执行步骤101，其中，针卡车模块21发出的第一报警提示信息为“上卡前请拆除针卡盖，避免发生撞卡异常”，以提醒操作人员拆下针卡盖，并且操作人员还需要将探针卡10手动放置在针卡支撑件上以进行下一步的作业，但不以此为限。

需要说明的是，针卡盖的身份信息为针卡盖的身份编码，其编译在条形码中并贴设在针卡盖靠近探针卡10的一面，确保针卡盖被取下后才能通过扫码的方式读取针卡盖的身份信息，以使针卡车模块21接收到针卡盖的身份信息，但不以此为限。

具体地，在本实施例中，针卡车模块21为工控电脑，并与一扫码装置连接，以通过扫码装置扫描拆下的针卡盖的条形码，使得针卡车模块21接收到针卡盖的身份信息，针卡车模块21便通过RS485接口协议向主控制模块22发送第一确认信号，主控制模块22马上通过433M无线传输协议将第二确认信号传输给分控制模块12，但不以此为限。

参阅图1和图2，“针卡车模块21判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

1001、针卡车模块21读取探针台1的设备信息，并发送至主控制模块22；

1002、主控制模块22根据探针台1的设备信息与分控制模块12建立通讯连接。

上述设置有利于主控制模块22准确地将第二确认信号发送至对应的分控制模块12。

可以理解的是，探针台1的设备信息为探针台1的设备编号，其编译在条形码中并贴设在探针台1，以便于针卡车2将领用的探针卡10推到探针台1后，针卡车模块21通过扫码装置从探针台1的条形码中读取探针台1的设备信息，但不以此为限。

具体地，在本实施例中，探针台1设置有多个，因此分控制模块12也设置有多个，举例而言，若探针台1设置有三个，那么分控制模块12包括第一分控制模块121、第二分控制模块122和第三分控制模块123，针卡车模块21通过扫码装置读取到对应的探针台1的设备信息后，便将其发送至主控制模块22，主控制模块22通过433M无线协议与对应的探针台1的分控制模块12建立通讯连接，其通过配置相同的通信参数(例如修改485地址、波特率、433无线网址、433空中速率、433通讯通道和工作模式等)来实现。

参阅图1和图2，“针卡车模块21判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

1003、针卡车模块21读取保存探针卡10的身份信息。

上述操作便于后续进行探针卡10与探针台1和针卡盖之间的配对确认。

具体地，在本实施例中，探针卡10的身份信息为探针卡10的针卡编号，其编译在条形码中并贴设在探针卡10上，在运送探针卡10之前，针卡车模块21通过扫码装置从探针卡10的条形码中读取探针卡10的身份信息，但不以此为限。

需要说明的是，在领用探针卡10时，ERP系统会记录领用的探针和运送的针卡车2的身份信息，针卡车模块21还可以通过ERP系统读取保存探针卡10的身份信息，但不以此为限。

参阅图1和图2，“向主控制模块22发送第一确认信号”包括：

1021、判断接收的针卡盖的身份信息与读取的探针卡10的身份信息是否匹配，若身份信息匹配，则向主控制模块22发送第一确认信号，若身份信息不匹配，则发出第二报警提示信息。

上述设置能够避免探针卡10因没有拆针卡盖并直接上机而导致其针尖损坏。

可以理解的是，将拆下针卡盖后通过扫码装置接收的针卡盖的身份信息与运送探针卡10之前通过扫码装置读取探针卡10的身份信息进行比对，若两者适配，则先取消发出的第一报警提示信息，同时会向主控制模块22发送第一确认信号，若两者不适配，那么针卡车模块21发出的第二报警提示信息则为“针卡盖与探针卡10不适配，针卡盖可能尚未取下，请取下正确的针卡盖”，但不以此为限。

参阅图1和图2，“针卡车模块21判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

1004、针卡车模块21读取探针台1的设备信息；

1005、针卡车模块21判断探针台1的设备信息与探针卡10的身份信息是否匹配，若设备信息和身份信息不匹配，则发出第三报警提示信息。

上述探针台1与探针卡10之间的匹配确认有利于避免探针台1使用了错误的探针卡10而导致探针卡10损坏。

可以理解的是，针卡车模块21发出的第三报警提示信息为“探针台1与探针卡10不适配，请停止探针卡10上卡操作”，以便于提醒操作人员领用了错误的探针卡10或者运送至错误的探针台1，但不以此为限。

参阅图1和图2，限位机构13包括限位气缸131和电磁阀组132，电磁阀组132与分控制模块12通讯连接，电磁阀组132分别与限位气缸131和外部的空压机3连接，“控制限位机构13停止对SACC模块11的限位”包括：

1041、分控制模块12向电磁阀组132发送驱动信号；

1042、电磁阀组132控制空压机3的气体通入限位气缸131，以使限位气缸131收缩。

上述限位气缸131、电磁阀组132和分控制模块12的配合有利于实现自动化SACC模块11的防呆。

具体地，在本实施例中，限位气缸131为DCU6-15型号的气缸，且对应中间板安装在SACC模块11的支架上，限位气缸131设置有可活动的伸缩端，限位气缸131驱动伸缩端伸出时，伸缩端能够将中间板顶住，以使中间板无法推进探针台1的内部，而只有在电磁阀组132空中限位气缸131驱动伸缩端缩回时，中间板才可以自由移动，操作人员手动将中间板推进探针台1的内部，将探针卡10送进探针台1的内部进行后续作业，但不以此为限。

具体地，在本实施例中，分控制模块12通过导线与电磁阀组132电连接，分控制模块12与主控制模块22之间的通讯延迟低，延迟小于100ms，主控制模块22接收到第一确认信号后，分控制模块12便能迅速接收到第二确认信号，那么分控制模块12则向电磁阀组132发出驱动信号驱动电磁阀组132工作。

具体地，在本实施例中，驱动信号为DC 12V电信号，限位机构13还包括气压主管道和气压子管道，控制限位气缸131的电磁阀组132通过气压主管道与外部的空压机3连接，以及通过气压子管道与限位气缸131连接，当电磁阀组132因接收到驱动信号而通电时，空压机3内的气体通过气压主管道进入电磁阀组132，并通过气压子管道进入限位气缸131，以推动限位气缸131的伸缩端缩回；而电磁阀组132不通电时，限位气缸131的伸缩端保持伸出。更具体地，气压主管道和气压子管道的径向尺寸为4mm，但不以此为限。

实施例二

请参阅图1和图3，本发明公开了一种电子设备，其包括：

一个或多个处理器201；

一个或多个存储器202，用于存储一个或多个程序，当一个或多个程序被处理器执行，使得处理器实现如前述的探针卡上卡防呆方法。

实施例三

本申请实施例公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，程序被处理器执行时实现如前述的探针卡上卡防呆方法。

实施例四

本申请实施例公开了一种计算机程序产品或计算机程序，该计算机程序产品或计算机程序包括计算机指令，该计算机指令存储在计算机可读存储介质中。电子设备的处理器从计算机可读存储介质读取该计算机指令，处理器执行该计算机指令，使得该电子设备执行上述探针卡上卡防呆方法。

应当理解，在本申请实施例中，所称处理器可以是中央处理模块(CentralProcessing Unit，CPU)，该处理器还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(DigitalSignal Processor，DSP)、专用集成电路(Application SpecificIntegratedCircuit，ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序指令相关的硬件来完成，程序可存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，的存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体(Read-OnlyMemory，ROM)或随机存储记忆体(Random AccessMemory，RAM)等。

以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种探针卡上卡防呆方法，其特征在于，探针台设置有SACC模块、分控制模块和限位机构，针卡车设置有针卡车模块和主控制模块，所述方法的步骤包括：

针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息，若接收到针卡盖的身份信息，则向主控制模块发送第一确认信号，若未接收到针卡盖的身份信息，则发出第一报警提示信息；

主控制模块判断是否接收到第一确认信号，若接收到第一确认信号，则向分控制模块发送第二确认信号；

分控制模块判断是否接收到第二确认信号，若接收到第二确认信号，则控制限位机构停止对SACC模块的限位，若未接收到第二确认信号，则控制限位机构维持对SACC模块的限位。

2.根据权利要求1所述的探针卡上卡防呆方法，其特征在于，所述“针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

针卡车模块读取探针台的设备信息，并发送至主控制模块；

主控制模块根据探针台的设备信息与分控制模块建立通讯连接。

3.根据权利要求1所述的探针卡上卡防呆方法，其特征在于，所述“针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

针卡车模块读取保存探针卡的身份信息。

4.根据权利要求3所述的探针卡上卡防呆方法，其特征在于，所述“向主控制模块发送第一确认信号”包括：

判断接收的针卡盖的身份信息与读取的探针卡的身份信息是否匹配，若身份信息匹配，则向主控制模块发送第一确认信号，若身份信息不匹配，则发出第二报警提示信息。

5.根据权利要求3所述的探针卡上卡防呆方法，其特征在于，所述“针卡车模块判断是否接收到针卡盖的身份信息”之前，还包括：

针卡车模块读取探针台的设备信息；

针卡车模块判断探针台的设备信息与探针卡的身份信息是否匹配，若设备信息和身份信息不匹配，则发出第三报警提示信息。

6.根据权利要求1所述的探针卡上卡防呆方法，其特征在于，限位机构包括限位气缸和电磁阀组，电磁阀组与分控制模块通讯连接，电磁阀组分别与限位气缸和外部的空压机连接，所述“控制限位机构停止对SACC模块的限位”包括：

分控制模块向电磁阀组发送驱动信号；

电磁阀组控制空压机的气体通入限位气缸，以使限位气缸收缩。

7.一种电子设备，其特征在于，包括：

一个或多个处理器；

一个或多个存储器，用于存储一个或多个程序，当一个或多个所述程序被所述处理器执行，使得所述处理器实现如权利要求1至6任一项所述的探针卡上卡防呆方法。

8.一种计算机可读存储介质，其上存储有程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1至6任一项所述的探针卡上卡防呆方法。