CN117690873A - 一种自动划片方法、装置、系统及存储介质 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种自动划片方法、装置、系统及存储介质。该自动划片方法包括：获取初始化信号和自动执行指令；判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号；根据上料完成信号，控制划片机对料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号；根据切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号。本发明实施例的技术方案有利于降低工人的劳动强度，提高划片机的运行效率和安全性。

Description

一种自动划片方法、装置、系统及存储介质
技术领域
本发明实施例涉及划片机技术领域，尤其涉及一种自动划片方法、装置、系统及存储介质。
背景技术
随着科技的飞速发展，半导体已经成为现代电子设备的基石。半导体晶圆的划片机作为半导体制造的核心设备之一，其发展程度直接关系到半导体器件的质量和产量。
在现有技术中，划片机的运行大多需依靠人工操作，工人的工作环境单调且劳动强度大。因此，易导致工人对划片机误操作，使得划片机的运行效率较低，安全性较差。
基于此，如何降低工人的劳动强度，提高划片机的运行效率和安全性，成为行业内亟待解决的问题。
发明内容
本发明提供一种自动划片方法、装置、系统及存储介质，以提高自动化程度，降低工人的劳动强度，并且提高划片机的运行效率和安全性。
根据本发明的一方面，提供了一种自动划片方法，包括：
获取初始化信号和自动执行指令，以根据所述初始化信号调节划片机处于待运行状态，根据所述自动执行指令控制划片机进入自动划片模式；
判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号；
根据所述上料完成信号，控制划片机对所述料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号；
根据所述切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号。
可选地，所述发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号，包括：
根据所述请求上料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的上料区；
根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行上料，直至上料完成时生成所述上料完成信号；
根据所述上料完成信号，控制天车系统的控制器将天车移回至所述初始位置。
可选地，所述根据所述上料完成信号，控制划片机对所述料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号，包括：
根据所述上料完成信号，控制划片机扫描所述料盒的识别码，生成料盒识别数据；
根据所述上料完成信号和所述料盒识别数据，控制天车系统的控制器筛选与所述料盒匹配的切割文件，并将所述切割文件下发至划片机；
根据所述切割文件，控制划片机对所述料盒中的产品进行切割，直至切割完成，生成所述切割完成信号。
可选地，在所述根据所述切割文件，控制划片机对所述料盒中的产品进行切割之前，还包括：
根据所述切割文件，控制划片机处于待划片状态；
根据所述上料完成信号和所述料盒识别数据，控制天车系统的控制器发送远程启动指令至划片机，以使划片机开始进行自动切割。
可选地，所述根据所述切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号，包括：
根据所述请求下料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的下料区；
根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行下料，直至下料完成时生成所述下料完成信号。
可选地，在所述下料完成，生成下料完成信号之后，还包括：
根据所述下料完成信号，再次执行判断划片机是否存在料盒的步骤，以进入下一次自动划片过程。
可选地，在所述根据所述下料完成信号，再次执行判断划片机是否存在料盒的步骤，以进入下一次自动划片过程之时，包括：
判断划片机是否存在所述料盒，生成判断结果；
当所述判断结果为划片机存在所述料盒时，控制天车系统的控制器将天车移回至所述初始位置；
当所述判断结果为划片机不存在所述料盒时，控制天车系统的控制器将天车保持在下料位置，为划片机再次进行上料。
根据本发明的另一方面，提供了一种自动划片装置，包括：
初始化模块，用于获取初始化信号和自动执行指令，以根据所述初始化信号调节划片机处于待运行状态，根据所述自动执行指令控制划片机进入自动划片模式；
上料模块，用于判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号；
切割控制模块，用于根据所述上料完成信号，控制划片机对所述料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号；
下料模块，用于根据所述切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号。
根据本发明的另一方面，还提供了一种自动划片系统，包括：天车系统、划片机和电子设备，所述电子设备用于控制所述天车系统配合所述划片机实现自动划片操作；
所述电子设备包括：
至少一个处理器；以及
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行第一方面任意实施例所述的自动划片方法。
根据本发明的另一方面，还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现第一方面任意实施例所述的自动划片方法。
本发明实施例提供的自动划片方法，根据获取的初始化信号，将划片机调节至待运行状态，并根据获取的自动执行指令控制划片机进入自动划片模式。划片机进入自动划片模式后，系统控制划片机判断是否有料盒；在划片机上已存在料盒的情况下，划片机的控制器直接生成上料完成信号并发送至系统；在划片机上无料盒的情况下，系统向天车系统的控制器发送上料请求信号，可使天车系统的控制器控制天车为划片机进行自动上料，在上料完成时生成上料完成信号。系统根据上料完成信号，控制划片机对待切割的产品进行自动切割，在切割完成时生成切割完成信号。系统根据切割完成信号，向天车系统的控制器发送请求下料信号，以使天车系统的控制器控制天车为划片机进行自动下料，在下料完成时生成下料完成信号。采用本发明实施例提供的自动划片方法，可使上料、切割和下料的整个过程完全实现自动化，可有效降低工人的劳动强度，提高划片机的运行效率；并且也可有效防止因工人疲劳时的误操作，使划片机在运行过程中存在安全问题，有利于提高划片机的安全性。
应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本发明实施例提供的一种自动划片方法的流程示意图；
图2是根据本发明实施例提供的一种自动划片方法中步骤S120的具体流程示意图；
图3是根据本发明实施例提供的一种自动划片方法中步骤S130的具体流程示意图；
图4是根据本发明实施例提供的一种自动划片方法中步骤S140的具体流程示意图；
图5是根据本发明实施例提供的又一种自动划片方法的流程示意图；
图6是根据本发明实施例提供的一种自动划片装置的结构示意图；
图7是根据本发明实施例提供的一种自动划片系统中的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
本发明实施例提供了一种自动划片方法。图1为本发明实施例提供的一种自动划片方法的流程示意图，本实施例可适用于结合天车系统对半导体晶圆产品进行自动切割的情况，该方法可以由自动划片装置来执行，该自动划片装置可以采用硬件和/或软件的形式实现，该自动划片装置可配置于计算机或服务器等电子设备中。如图1所示，该自动划片方法具体包括如下步骤：
S110、获取初始化信号和自动执行指令，以根据初始化信号调节划片机处于待运行状态，根据自动执行指令控制划片机进入自动划片模式。
示例性地，初始化信号为对划片机进行初始化调节的信号，以使划片机的切割轨道移动至执行切割的位置，使划片机处于待运行状态，即随时准备工作的状态；自动执行指令为系统接收到的由用户下发的工作指令，系统随即进入自动运行状态，以完成自动划片。
S120、判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号。
示例性地，进入自动划片模式后，首先需判断划片机的切割轨道上是否有料盒；其中，料盒内装有多片待切割的晶圆产品。对放置料盒的位置进行扫描，即可确定划片机上是否有料盒。若扫描到料盒的识别码，则表示划片机上有装有晶圆产品的料盒；若未扫描到料盒的识别码，则表示划片机上无料盒，因此，需对划片机进行上料。相比于相关技术中依靠人工对划片机进行上料，在本发明实施例提供的自动划片方法中，采用天车系统实现了自动对划片机上料，无需人工过多参与，从而提高了自动化程度，有利于降低工人的劳动强度。在确定划片机上无料盒时，系统向天车系统的控制器，即设备自动化控制系统(Equipment Automation Programming，EAP)，发送请求上料信号，使得天车系统根据请求上料信号执行自动上料操作，实现为划片机进行自动上料，并在上料完成时向系统发送上料完成信号，以便进行后续操作。
S130、根据上料完成信号，控制划片机对料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号。
示例性地，在系统接收到上料完成信号后，系统将控制划片机执行自动切割操作，以对料盒中的待切割产品进行自动切割。并且在切割完成之时，划片机的控制器向系统发送切割完成信号。
S140、根据切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号。
示例性地，在系统接收到划片机控制器发出的切割完成信号后，向天车系统的控制器发送请求下料信号。天车系统的控制器根据接收的请求下料信号，控制天车对划片机上装有已完成切割的晶圆产品的料盒进行自动下料，并在下料完成时向系统发送下料完成信号。以上的上料、切割以及下料的过程均为全自动化执行模式，无需人工参与，可有效降低工人的劳动强度，提高划片机的运行效率，并且可有效防止因工人疲劳时的误操作，使划片机在运行过程中存在安全问题，从而有利于提高划片机的安全性。
本发明实施例提供的自动划片方法，根据获取的初始化信号，将划片机调节至待运行状态，并根据获取的自动执行指令控制划片机进入自动划片模式。划片机进入自动划片模式后，系统控制划片机判断是否有料盒；在划片机上已存在料盒的情况下，划片机的控制器直接生成上料完成信号并发送至系统；在划片机上无料盒的情况下，系统向天车系统的控制器发送上料请求信号，可使天车系统的控制器控制天车为划片机进行自动上料，在上料完成时生成上料完成信号。系统根据上料完成信号，控制划片机对待切割的产品进行自动切割，在切割完成时生成切割完成信号。系统根据切割完成信号，向天车系统的控制器发送请求下料信号，以使天车系统的控制器控制天车为划片机进行自动下料，在下料完成时生成下料完成信号。采用本发明实施例提供的自动划片方法，可使上料、切割和下料的整个过程完全实现自动化，可有效降低工人的劳动强度，提高划片机的运行效率；并且也可有效防止因工人疲劳时的误操作，使划片机在运行过程中存在安全问题，有利于提高划片机的安全性。
可选地，图2是本发明实施例提供的一种自动划片方法中步骤S120的具体流程示意图。在上述实施例的基础上，如图2所示，步骤S120中的发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号，具体包括如下步骤：
S121、根据请求上料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的上料区。
示例性地，系统根据接收到的请求上料信号，向天车系统的控制器发送上料指令，以使天车系统的控制器控制天车搭载着待切割晶圆产品的料盒，由处于待运行状态所处的初始位置向划片机移动，并移动至划片机的上料区停止，等待为划片机进行自动上料。
S122、根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行上料，直至上料完成时生成上料完成信号。
示例性地，用于控制天车为划片机自动上料的预设通讯协议可以是E84通讯协议。天车系统的控制器根据E84通讯协议，控制准备就绪的天车为划片机上料，在上料完成时生成上料完成信号，并发送至系统。
S123、根据上料完成信号，控制天车系统的控制器将天车移回至初始位置。
示例性地，系统根据接收到的上料完成信号，向天车系统的控制器发送信号，以控制天车向远离划片机的方向移动，使天车的位置回归至处于待运行状态的初始位置。
本实施例提供的自动划片方法，通过采用E84通讯协议作为预设通讯协议，以控制天车为划片机自动上料，有利于提高划片操作的自动化程度，降低工人的劳动强度。
可选地，图3是本发明实施例提供的一种自动划片方法中步骤S130的具体流程示意图。在上述各实施例的基础上，如图3所示，步骤S130中的根据上料完成信号，控制划片机对料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号，具体包括如下步骤：
S131、根据上料完成信号，控制划片机扫描料盒的识别码，生成料盒识别数据。
示例性地，料盒的识别码是表示料盒内晶圆产品的类型的信息码，可以是射频识别(Radio Frequency Identification，RFID)码。系统通过控制划片机扫描料盒的RFID码，可确定料盒内的晶圆产品的类型，并生成料盒识别数据，发送至天车系统的控制器，以便后续根据不同类型的晶圆产品进行自动切割。
S132、根据上料完成信号和料盒识别数据，控制天车系统的控制器筛选与料盒匹配的切割文件，并将切割文件下发至划片机。
示例性地，由于不同类型的料盒中的待切割晶圆对应不同的切割方法，切割方法存储于相应的切割文件中，因此，在划片机扫描料盒的RFID码得到料盒识别数据后，天车系统的控制器可根据上料完成信号和料盒识别数据，对存储的切割文件进行筛选，以确定与料盒识别数据相匹配的切割文件，并将切割文件发送至划片机。
S133、根据切割文件，控制划片机处于待划片状态。
示例性地，根据确定的切割文件，系统控制划片机进入待划片状态，即等待以切割文件表示的切割方法开始切割的状态。
S134、根据上料完成信号和料盒识别数据，控制天车系统的控制器发送远程启动指令至划片机，以使划片机开始进行自动切割。
示例性地，天车系统的控制器在接收到上料完成信号和料盒识别数据后，表明划片机已完成进行自动切割的准备。此时，天车系统的控制器向划片机发送远程启动指令，使得划片机启动自动切割操作。
S135、根据切割文件，控制划片机对料盒中的产品进行切割，直至切割完成，生成切割完成信号。
示例性地，划片机根据接收到的切割文件，对料盒中的晶圆产品以相应的切割方法进行切割，在切割完成时生成切割完成信号反馈至系统。
本实施例提供的自动划片方法，对划片机的切割轨道上放置的料盒进行识别码扫描，生成料盒识别数据。系统控制天车系统的控制器根据上料完成信号和料盒识别数据，筛选与料盒识别数据相匹配的切割文件，并发送远程启动指令控制划片机启动自动切割操作。划片机根据匹配的切割文件，对料盒中的晶圆产品进行切割，直至切割完成。如此可使划片机对晶圆产品进行精准切割，并且无需人工参与，有利于提高划片机的运行效率。
可选地，图4是本发明实施例提供的一种自动划片方法中步骤S140的具体流程示意图。在上述各实施例的基础上，如图4所示，步骤S140中的根据切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号，具体包括如下步骤：
S141、根据请求下料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的下料区。
示例性地，在划片机完成自动切割后，立即发送请求下料信号。天车系统的控制器根据请求下料信号控制天车进行自动下料操作，即控制天车由待运行状态所处的初始位置移动至划片机的下料区，等待为划片机进行自动下料。
S142、根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行下料，直至下料完成时生成下料完成信号。
示例性地，用于控制天车为划片机自动下料的预设通讯协议可以是E84通讯协议。天车系统的控制器根据E84通讯协议，控制准备就绪的天车对划片机进行下料，在下料完成时生成下料完成信号，并发送至系统。
S143、根据下料完成信号，再次执行判断划片机是否存在料盒的步骤，以进入下一次自动划片过程。
示例性地，系统根据接收到的下料完成信号，再次重复执行步骤S120中的判断划片机是否存在料盒的操作，从而开始下一个新的自动划片过程，实现不断循环的工作闭环。如此在一个自动划片过程结束之时，再次进入该过程的步骤S120，即可进入下一个新的自动划片过程，可有效提高划片机的运行效率。
可选地，在上述各实施例的基础上，在步骤S143进行的同时，步骤S143具体包括如下步骤：
S1431、判断划片机是否存在料盒，生成判断结果。
示例性地，再次判断划片机的切割轨道上是否有料盒，并生成相应的判断结果。
S1432、当判断结果为划片机存在料盒时，控制天车系统的控制器将天车移回至初始位置。
示例性地，若判断结果表示划片机存在料盒，则无需对划片机进行上料。天车系统的控制器控制天车移动至初始位置，即天车由上一次自动划片过程下料完成时的位置，移回至初始位置，并进入待运行状态。
S1433、当判断结果为划片机不存在料盒时，控制天车系统的控制器将天车保持在下料位置，为划片机再次进行上料。
示例性地，若判断结果表示划片机不存在料盒，则需对划片机进行上料。天车系统的控制器控制天车在上一次自动划片过程下料完成时的位置保持不动，继续根据预设通讯协议为划片机进行自动上料，以提高划片机进行自动划片的效率。
本实施例提供的自动划片方法，通过在下料完成时重复执行判断划片机是否存在料盒的步骤，直接进入下一个新的自动划片过程，实现不断循环的工作闭环。并且在上一次自动划片过程下料完成时，控制天车保持在下料区的位置，根据划片机是否存在料盒的判断结果，再对天车进行移动或者直接上料，有利于提高划片机进行自动划片的效率。
一个可实现的实施例，图5是本发明实施例提供的又一种自动划片方法的流程示意图。如图5所示，该自动划片方法，具体包括如下步骤：
S1、对划片机进行初始化；
S2、控制划片机进入自动划片模式；
S3、判断划片机是否存在料盒；若是，则转入步骤S8；若否，则转入步骤S4；
S4、划片机向天车系统请求上料；
S5、划片机等待天车系统上料；
S6、天车系统控制天车到达上料区；
S7、天车为划片机上料中；
S8、上料完成，扫描料盒的识别码，生成料盒识别数据；
S9、天车系统根据料盒识别数据匹配切割文件；
S10、天车系统将切割文件下发至划片机；
S11、划片机进入待划片状态；
S12、天车系统向划片机发送远程启动指令；
S13、划片机根据远程启动指令，开始执行自动切割操作；
S14、划片机自动切割中；
S15、划片机自动切割完成；
S16、划片机向天车系统请求下料；
S17、天车系统控制天车到达下料区；
S18、天车为划片机下料中；
S19、下料完成，重复执行步骤S3。
本发明实施例还提供了一种自动划片装置。图6是本发明实施例提供的一种自动划片装置的结构示意图。如图6所示，该自动划片装置100包括：
初始化模块101，用于获取初始化信号和自动执行指令，以根据初始化信号调节划片机处于待运行状态，根据自动执行指令控制划片机进入自动划片模式；
上料模块102，用于判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号；
切割控制模块103，用于根据上料完成信号，控制划片机对料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号；
下料模块104，用于根据切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号。
本发明实施例所提供的自动划片装置可执行本发明任意实施例所提供的自动划片方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。具体地，该自动划片装置中的初始化模块101获取初始化信号，将划片机调节至待运行状态；并且获取自动执行指令，控制划片机进行自动划片模式。上料模块102对划片机是否存在料盒进行判断后，在无料盒的情况下，控制天车系统为划片机上料。切割控制模块103根据上料完成信号控制划片机对料盒中的晶圆产品进行自动切割，并在切割完成时生成切割完成信号。下料模块104根据切割完成信号控制天车系统为划片机进行下料。采用本发明实施例提供的自动划片装置控制天车系统配合划片机完成划片过程，可使上料、切割和下料的整个过程完全实现自动化，有利于降低工人的劳动强度，提高划片机的运行效率。并且可有效防止因工人疲劳时的误操作，使划片机在运行过程中存在安全问题，有利于提高划片机的安全性。
可选地，在上述实施例的基础上，上料模块102包括：
第一位置移动单元，用于根据请求上料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的上料区；
上料单元，用于根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行上料，直至上料完成时生成上料完成信号；
第二位置移动单元，用于根据上料完成信号，控制天车系统的控制器将天车移回至初始位置。
可选地，在上述实施例的基础上，切割控制模块103包括：
料盒扫描单元，用于根据上料完成信号，控制划片机扫描料盒的识别码，生成料盒识别数据；
文件匹配单元，用于根据上料完成信号和料盒识别数据，控制天车系统的控制器筛选与料盒匹配的切割文件，并将切割文件下发至划片机；
切割控制单元，用于根据切割文件，控制划片机对料盒中的产品进行切割，直至切割完成，生成切割完成信号。
可选地，在上述实施例的基础上，切割控制模块103还包括：
状态调控单元，用于根据切割文件，控制划片机处于待划片状态；
远程启动单元，用于根据上料完成信号和料盒识别数据，控制天车系统的控制器发送远程启动指令至划片机，以使划片机开始进行自动切割。
可选地，在上述实施例的基础上，下料模块104包括：
第三位置移动单元，用于根据请求下料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的下料区；
下料单元，用于根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行下料，直至下料完成时生成下料完成信号。
可选地，在上述实施例的基础上，下料模块104还包括：
循环执行单元，用于根据下料完成信号，再次执行判断划片机是否存在料盒的步骤，以进入下一次自动划片过程。
可选地，在上述实施例的基础上，循环执行单元包括：
判断子单元，用于判断划片机是否存在料盒，生成判断结果；
位置移动子单元，用于当判断结果为划片机存在料盒时，控制天车系统的控制器将天车移回至初始位置；
上料子单元，用于当判断结果为划片机不存在料盒时，控制天车系统的控制器将天车保持在下料位置，为划片机再次进行上料。
本发明实施例还提供了一种自动划片系统。该自动划片系统包括：天车系统、划片机和电子设备；电子设备用于控制天车系统配合划片机实现自动划片操作；电子设备包括：至少一个处理器；以及与至少一个处理器通信连接的存储器；其中，存储器存储有可被至少一个处理器执行的计算机程序，计算机程序被至少一个处理器执行，以使至少一个处理器能够执行上述任意实施例提供的自动划片方法。图7是本发明实施例提供的一种自动划片系统中的电子设备的结构示意图。电子设备旨在表示各种形式的数字计算机，诸如，膝上型计算机、台式计算机、工作台、个人数字助理、服务器、刀片式服务器、大型计算机、和其它适合的计算机。电子设备还可以表示各种形式的移动装置，诸如，个人数字处理、蜂窝电话、智能电话、可穿戴设备(如头盔、眼镜、手表等)和其它类似的计算装置。本文所示的部件、它们的连接和关系、以及它们的功能仅仅作为示例，并且不意在限制本文中描述的和/或者要求的本发明的实现。
如图7所示，电子设备10包括至少一个处理器11，以及与至少一个处理器11通信连接的存储器，如只读存储器(ROM)12、随机访问存储器(RAM)13等，其中，存储器存储有可被至少一个处理器执行的计算机程序，处理器11可以根据存储在只读存储器(ROM)12中的计算机程序或者从存储单元18加载到随机访问存储器(RAM)13中的计算机程序，来执行各种适当的动作和处理。在RAM 13中，还可存储电子设备10操作所需的各种程序和数据。处理器11、ROM 12以及RAM 13通过总线14彼此相连。输入/输出(I/O)接口15也连接至总线14。
电子设备10中的多个部件连接至I/O接口15，包括：输入单元16，例如键盘、鼠标等；输出单元17，例如各种类型的显示器、扬声器等；存储单元18，例如磁盘、光盘等；以及通信单元19，例如网卡、调制解调器、无线通信收发机等。通信单元19允许电子设备10通过诸如因特网的计算机网络和/或各种电信网络与其他设备交换信息/数据。
处理器11可以是各种具有处理和计算能力的通用和/或专用处理组件。处理器11的一些示例包括但不限于中央处理单元(CPU)、图形处理单元(GPU)、各种专用的人工智能(AI)计算芯片、各种运行机器学习模型算法的处理器、数字信号处理器(DSP)、以及任何适当的处理器、控制器、微控制器等。处理器11执行上文所描述的各个方法和处理，例如自动划片方法。
在一些实施例中，自动划片方法可被实现为计算机程序，其被有形地包含于计算机可读存储介质，例如存储单元18。在一些实施例中，计算机程序的部分或者全部可以经由ROM 12和/或通信单元19而被载入和/或安装到电子设备10上。当计算机程序加载到RAM 13并由处理器11执行时，可以执行上文描述的自动划片方法的一个或多个步骤。备选地，在其他实施例中，处理器11可以通过其他任何适当的方式(例如，借助于固件)而被配置为执行自动划片方法。
在本发明的上下文中，计算机可读存储介质可以是有形的介质，其可以包含或存储以供指令执行系统、装置或设备使用或与指令执行系统、装置或设备结合地使用的计算机程序。计算机可读存储介质可以包括但不限于电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外的、或半导体系统、装置或设备，或者上述内容的任何合适组合。备选地，计算机可读存储介质可以是机器可读信号介质。机器可读存储介质的更具体示例会包括基于一个或多个线的电气连接、便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM或快闪存储器)、光纤、便捷式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光学储存设备、磁储存设备、或上述内容的任何合适组合。
可以将此处描述的系统和技术实施在包括后台部件的计算系统(例如，作为数据服务器)、或者包括中间件部件的计算系统(例如，应用服务器)、或者包括前端部件的计算系统(例如，具有图形用户界面或者网络浏览器的用户计算机，用户可以通过该图形用户界面或者该网络浏览器来与此处描述的系统和技术的实施方式交互)、或者包括这种后台部件、中间件部件、或者前端部件的任何组合的计算系统中。可以通过任何形式或者介质的数字数据通信(例如，通信网络)来将系统的部件相互连接。通信网络的示例包括：局域网(LAN)、广域网(WAN)、区块链网络和互联网。
计算系统可以包括客户端和服务器。客户端和服务器一般远离彼此并且通常通过通信网络进行交互。通过在相应的计算机上运行并且彼此具有客户端-服务器关系的计算机程序来产生客户端和服务器的关系。服务器可以是云服务器，又称为云计算服务器或云主机，是云计算服务体系中的一项主机产品，以解决了传统物理主机与VPS服务中，存在的管理难度大，业务扩展性弱的缺陷。
应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发明中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本发明的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。
上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。

Claims (9)

1.一种自动划片方法，其特征在于，用于控制天车系统配合划片机共同完成自动划片以及自动上下料操作；
所述自动划片方法，包括：
获取初始化信号和自动执行指令，以根据所述初始化信号调节划片机处于待运行状态，根据所述自动执行指令控制划片机进入自动划片模式；
判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号；
根据所述上料完成信号，控制划片机对所述料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号；
根据所述切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号；
所述根据所述上料完成信号，控制划片机对所述料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号，包括：
根据所述上料完成信号，控制划片机扫描所述料盒的识别码，生成料盒识别数据；其中，所述料盒识别数据包括所述料盒内的晶圆产品的类型；
根据所述上料完成信号和所述料盒识别数据，控制天车系统的控制器筛选与所述料盒匹配的切割文件，并将所述切割文件下发至划片机；其中，所述切割文件与所述料盒内的晶圆产品的类型对应；
根据所述切割文件，控制划片机对所述料盒中的产品进行切割，直至切割完成，生成所述切割完成信号。
2.根据权利要求1所述的自动划片方法，其特征在于，所述发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号，包括：
根据所述请求上料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的上料区；
根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行上料，直至上料完成时生成所述上料完成信号；
根据所述上料完成信号，控制天车系统的控制器将天车移回至所述初始位置。
3.根据权利要求1所述的自动划片方法，其特征在于，在所述根据所述切割文件，控制划片机对所述料盒中的产品进行切割之前，还包括：
根据所述切割文件，控制划片机处于待划片状态；
根据所述上料完成信号和所述料盒识别数据，控制天车系统的控制器发送远程启动指令至划片机，以使划片机开始进行自动切割。
4.根据权利要求1所述的自动划片方法，其特征在于，所述根据所述切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号，包括：
根据所述请求下料信号，控制天车系统的控制器将天车由初始位置移动至划片机的下料区；
根据预设通讯协议，控制天车为划片机进行下料，直至下料完成时生成所述下料完成信号。
5.根据权利要求4所述的自动划片方法，其特征在于，在所述下料完成，生成下料完成信号之后，还包括：
根据所述下料完成信号，再次执行判断划片机是否存在料盒的步骤，以进入下一次自动划片过程。
6.根据权利要求5所述的自动划片方法，其特征在于，在所述根据所述下料完成信号，再次执行判断划片机是否存在料盒的步骤，以进入下一次自动划片过程之时，包括：
判断划片机是否存在所述料盒，生成判断结果；
当所述判断结果为划片机存在所述料盒时，控制天车系统的控制器将天车移回至所述初始位置；
当所述判断结果为划片机不存在所述料盒时，控制天车系统的控制器将天车保持在下料位置，为划片机再次进行上料。
7.一种自动划片装置，其特征在于，包括：
初始化模块，用于获取初始化信号和自动执行指令，以根据所述初始化信号调节划片机处于待运行状态，根据所述自动执行指令控制划片机进入自动划片模式；
上料模块，用于判断划片机是否存在料盒；若是，则生成上料完成信号；若否，则发送请求上料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机上料，直至上料完成，生成上料完成信号；
切割控制模块，用于根据所述上料完成信号，控制划片机对所述料盒中的产品进行自动切割，直至切割完成，生成切割完成信号；
下料模块，用于根据所述切割完成信号，发送请求下料信号至天车系统的控制器，以控制天车系统为划片机进行下料，直至下料完成，生成下料完成信号；
所述切割控制模块，包括：
料盒扫描单元，用于根据上料完成信号，控制划片机扫描料盒的识别码，生成料盒识别数据；其中，所述料盒识别数据包括所述料盒内的晶圆产品的类型；
文件匹配单元，用于根据上料完成信号和料盒识别数据，控制天车系统的控制器筛选与料盒匹配的切割文件，并将切割文件下发至划片机；其中，所述切割文件与所述料盒内的晶圆产品的类型对应；
切割控制单元，用于根据切割文件，控制划片机对料盒中的产品进行切割，直至切割完成，生成切割完成信号。
8.一种自动划片系统，其特征在于，包括：天车系统、划片机和电子设备，所述电子设备用于控制所述天车系统配合所述划片机实现自动划片操作；
所述电子设备包括：
至少一个处理器；以及
与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行权利要求1-6中任一项所述的自动划片方法。
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-6中任一项所述的自动划片方法。
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