CN211518099U

CN211518099U - 一种晶圆切割自动化设备

Info

Publication number: CN211518099U
Application number: CN201921975016.9U
Authority: CN
Inventors: 吴琼琼; 崔思远; 文国昇; 钟胜时; 武良文
Original assignee: Jiangxi Zhao Chi Semiconductor Co Ltd
Current assignee: Jiangxi Zhao Chi Semiconductor Co Ltd
Priority date: 2019-11-15
Filing date: 2019-11-15
Publication date: 2020-09-18
Anticipated expiration: 2029-11-15

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆切割自动化设备，包括划片机、地轨、有轨制导小车、防护网、中控、料架、裂片机；其中：若干数量的划片机和裂片机呈线状放置，划片机上设置有划片机作业门，划片机作业门内部安装有划片机卡塞摆放平台，裂片机上设置有裂片机作业门，裂片机作业门内部安装有裂片机卡塞摆放平台，每台划片机作业门与裂片机作业门对向放置。本实用新型的优点在于：可实现晶圆的自动运输加工，利用自动运输小车进行水平方向移动，自动运输小车上机械手臂控制抓取片源放置划片机和裂片机中作业，有效的降低了人力成本，具有生产效率高，人力成本低的特点。

Description

一种晶圆切割自动化设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆自动化作业技术领域，尤其涉及一种晶圆切割自动化设备。

背景技术

在LED行业，切割部门作业需人员选择手动取料放料进入划片机、裂片机。目前市场上作业模式均为人工作业模式。人工放置作业模式，作业效率低，易出错，人员处理机台软体报警时需走至机台旁边处理，其间需要大量的作业人员，人力成本高，容易出现人为错误，存在不足。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆切割自动化设备，解决了现有技术中晶圆切割作业模式均为人工作业模式。人工放置作业模式，作业效率低，易出错，人员处理机台软体报警时需走至机台旁边处理的问题。

（二）技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割自动化设备，包括划片机、地轨、有轨制导小车、防护网、中控、料架、裂片机；其中：若干数量的划片机和裂片机呈线状放置，划片机上设置有划片机作业门，划片机作业门内部安装有划片机卡塞摆放平台，裂片机上设置有裂片机作业门，裂片机作业门内部安装有裂片机卡塞摆放平台，每台划片机作业门与裂片机作业门对向放置，在划片机和裂片机中间铺设有地轨，有轨制导小车安装在地轨上，在地轨上移动，有轨制导小车上安装六轴机械臂，六轴机械臂上安装机械手爪，地轨两端设置有防护网，所述中控由显示器一、显示器二及电脑组成，显示器一显示有轨制导小车运动状态，显示器二显示机台运作状态，所述划片机卡塞摆放平台、裂片机卡塞摆放平台上分别安装有倒角一、倒角二。

进一步的，所述地轨由安全护板、小车轨道基座、直线导轨、驱动齿条、线槽组成，其中：若干数量的小车轨道基座平行并列设置，小车轨道基座之间通过一根直线导轨固定，小车轨道基座两端安装有驱动齿条，驱动齿条一侧安装有安全护板，安全护板与驱动齿条平行设置，安全护板内设置有线槽。

进一步的，所述有轨制导小车下方安装有轮子，轮子放置于直线导轨上，与直线导轨活动连接，有轨制导小车底板上方安装有有轨制导小车控制箱、伺服电机、控制箱，有轨制导小车外部由有轨制导小车车体外壳包裹，有轨制导小车车体外壳上安装有无线信号传输模块、机械防撞部件、激光测距仪和六轴机械臂，六轴机械臂与机械手爪连接，机械手爪由视觉相机、料框手爪、相机光源组成。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆切割自动化设备，具备以下有益效果：可实现晶圆的自动运输加工，利用自动运输小车进行水平方向移动，自动运输小车上机械手臂控制抓取片源放置划片机和裂片机中作业，有效的降低了人力成本，具有生产效率高，人力成本低的特点。

附图说明

图1 为本实用新型的整体结构示意图。

图2 为本实用新型中地轨的结构示意图。

图3 为本实用新型中划片机的结构示意图。

图4 为本实用新型中裂片机的结构示意图。

图5 为本实用新型中有轨制导小车的结构示意图。

图6 为本实用新型中有轨制导小车内部结构示意图。

图7 为本实用新型中六轴机械手臂的结构示意图。

图8 为本实用新型中中控的结构示意图。

图9 为本实用新型中机械手爪的结构示意图。

图10 为本实用新型中划片机卡塞摆放平台的结构示意图。

图11 为本实用新型中裂片机卡塞摆放平台的结构示意图。

附图标记：

划片机1、地轨2、有轨制导小车3、防护网4、中控5、料架6、裂片机7、安全护板8、小车轨道基座9、直线导轨10、驱动齿条11、划片机作业门12、划片机卡塞摆放平台13、裂片机作业门14、裂片机卡塞摆放平台15、有轨制导小车控制箱16、有轨制导小车底板17、伺服电机18、控制箱19、无线信号传输模块20、机械防撞部件21、激光测距仪22、有轨制导车体外壳23、六轴机械臂24、机械手爪25、显示器一26、显示器二27、电脑28、视觉相机29、料框手爪30、相机光源31、倒角一32、倒角二33、线槽34、电源接口35、轮子36。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1、如图1-11所示，一种晶圆切割自动化设备，包括划片机1、地轨2、有轨制导小车3、防护网4、中控5、料架6、裂片机7；其中：若干数量的划片机1和裂片机7呈线状放置，划片机1上设置有划片机作业门12，划片机作业门12内部安装有划片机卡塞摆放平台13，裂片机7上设置有裂片机作业门14，裂片机作业门14内部安装有裂片机卡塞摆放平台15，每台划片机作业门12与裂片机作业门14对向放置，在划片机1和裂片机7中间铺设有地轨2，有轨制导小车3安装在地轨2上，在地轨2上移动，有轨制导小车3上安装六轴机械臂24，六轴机械臂24上安装机械手爪25，地轨2两端设置有防护网4，所述中控5由显示器一26、显示器二27及电脑28组成，显示器一26显示有轨制导小车3运动状态，显示器二27显示机台运作状态，所述划片机卡塞摆放平台13、裂片机卡塞摆放平台15上分别安装有倒角一32、倒角二33。

如图2所示，所述地轨2由安全护板8、小车轨道基座9、直线导轨10、驱动齿条11、线槽34组成，其中：若干数量的小车轨道基座9平行并列设置，小车轨道基座9之间通过一根直线导轨10固定，小车轨道基座9两端安装有驱动齿条11，驱动齿条11一侧安装有安全护板8，安全护板8与驱动齿条11平行设置，安全护板8内设置有线槽34。

其中：所述有轨制导小车3下方安装有轮子36，轮子36放置于直线导轨10上，与直线导轨10活动连接，有轨制导小车底板17上方安装有有轨制导小车控制箱16、伺服电机18、控制箱19，有轨制导小车3外部由有轨制导小车车体外壳23包裹，有轨制导小车车体外壳23上安装有无线信号传输模块20、机械防撞部件21、激光测距仪22和六轴机械臂24，六轴机械臂24与机械手爪25连接，机械手爪25由视觉相机29、料框手爪30、相机光源31组成。

本实用新型工作原理如下：

当人工将片源放置在料架6时，有轨制导小车3通过地轨2运输至料架6附近，有轨制导小车3上六轴机械臂24的机械手爪25有视觉相机29，通过视觉相机29内的定位镜头确认料盒位置抓取料盒，有轨制导小车3上安装有激光测距仪22，中控5通过激光信号发射组件发射激光信号与有轨制导小车3上的激光信号接收组件相接收，定位有轨制导小车3移动距离，有轨制导小车3通过地轨2移动到划片机或者裂片机侧闭门位置，自动运输小车上机械手臂将料盒放入划片机1或裂片机7的工作台上，划片机1或裂片机7内部机械手臂夹取料盒内晶圆放置机台内部作业，此动作重复进行；

划片机1、裂片机7和中控5通过无线信号连接在同一局域网下，中控可实现对划片机和裂片机的投屏功能，人员在中控可处理机台的软体报警异常。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种晶圆切割自动化设备，包括划片机（1）、地轨（2）、有轨制导小车（3）、防护网（4）、中控（5）、料架（6）、裂片机（7）；其特征在于：若干数量的划片机（1）和裂片机（7）呈线状放置，划片机（1）上设置有划片机作业门（12），划片机作业门（12）内部安装有划片机卡塞摆放平台（13），裂片机（7）上设置有裂片机作业门（14），裂片机作业门（14）内部安装有裂片机卡塞摆放平台（15），每台划片机作业门（12）与裂片机作业门（14）对向放置，在划片机（1）和裂片机（7）中间铺设有地轨（2），有轨制导小车（3）安装在地轨（2）上，在地轨（2）上移动，有轨制导小车（3）上安装六轴机械臂（24），六轴机械臂（24）上安装机械手爪（25），地轨（2）两端设置有防护网（4），所述中控（5）由显示器一（26）、显示器二（27）及电脑（28）组成，显示器一（26）显示有轨制导小车（3）运动状态，显示器二（27）显示机台运作状态，所述划片机卡塞摆放平台（13）、裂片机卡塞摆放平台（15）上分别安装有倒角一（32）、倒角二（33）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割自动化设备，所述地轨（2）由安全护板（8）、小车轨道基座（9）、直线导轨（10）、驱动齿条（11）、线槽（34）组成，其特征在于：若干数量的小车轨道基座（9）平行并列设置，小车轨道基座（9）之间通过一根直线导轨（10）固定，小车轨道基座（9）两端安装有驱动齿条（11），驱动齿条（11）一侧安装有安全护板（8），安全护板（8）与驱动齿条（11）平行设置，安全护板（8）内设置有线槽（34）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割自动化设备，其特征在于：所述有轨制导小车（3）下方安装有轮子（36），轮子（36）放置于直线导轨（10）上，与直线导轨（10）活动连接，有轨制导小车底板（17）上方安装有有轨制导小车控制箱（16）、伺服电机（18）、控制箱（19），有轨制导小车（3）外部由有轨制导小车车体外壳（23）包裹，有轨制导小车车体外壳（23）上安装有无线信号传输模块（20）、机械防撞部件（21）、激光测距仪（22）和六轴机械臂（24），六轴机械臂（24）与机械手爪（25）连接，机械手爪（25）由视觉相机（29）、料框手爪（30）、相机光源（31）组成。