CN117642943A - 气体激光装置、气体激光装置的维护方法和电子器件的制造方法 - Google Patents

Abstract

气体激光装置具有：电压施加电路；腔装置，其在内部具有电极，射出通过从电压施加电路对电极施加电压而产生的光；第1托盘，其包含载置面，腔装置和电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及收纳部，第1托盘通过在载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如。

Description

气体激光装置、气体激光装置的维护方法和电子器件的制造 方法

技术领域

本公开涉及气体激光装置、气体激光装置的维护方法和电子器件的制造方法。

背景技术

近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发射的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248.0nm的激光的KrF准分子激光装置、以及输出波长大约为193.4nm的激光的ArF准分子激光装置。

KrF准分子激光装置和ArF准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，大约为350pm～400pm。因此，在利用使KrF和ArF激光这种紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(Line Narrowing Module：LNM)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-56035号公报

发明内容

本公开的一个方式的气体激光装置也可以具有：电压施加电路；腔装置，其在内部具有电极，射出通过从电压施加电路对电极施加电压而产生的光；第1托盘，其包含载置面，腔装置和电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及收纳部，第1托盘通过在载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如。

在本公开的一个方式的气体激光装置的维护方法中，也可以是，气体激光装置具有：电压施加电路；腔装置，其在内部具有电极，射出通过从电压施加电路对电极施加电压而产生的光；第1托盘，其包含载置面，腔装置和电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及收纳部，第1托盘通过在载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如，在对气体激光装置中的腔装置和电压施加电路进行更换的情况下，按照每个第1托盘进行更换。

本公开的一个方式的电子器件的制造方法也可以包含以下步骤：通过气体激光装置生成激光，将激光输出到曝光装置，在曝光装置内在感光基板上曝光激光，以制造电子器件，气体激光装置具有：电压施加电路；腔装置，其在内部具有电极，射出通过从电压施加电路对电极施加电压而产生的光；第1托盘，其包含载置面，腔装置和电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及收纳部，第1托盘通过在载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如。

附图说明

下面，参照附图将本公开的实施方式作为简单例子进行说明。

图1是示出电子器件的制造装置的整体的概略结构例的示意图。

图2是示出比较例的气体激光装置的整体的概略结构例的示意图。

图3是比较例中的收纳部的主视图。

图4是示出比较例中的气体激光装置的维护方法的流程图的一部分的图。

图5是示出比较例中的气体激光装置的维护方法的流程图的其余一部分的图。

图6是从出射窗口观察的情况下的实施方式中的收纳部的侧视图。

图7是图6所示的收纳部的俯视图。

图8是示出台座的位置关系的俯视图。

图9是示出实施方式中的气体激光装置的维护方法的流程图的一例的图。

图10是示出实施方式中的气体激光装置的维护方法的流程图的另一例的图。

图11是实施方式的变形例中的收纳部的侧视图。

具体实施方式

1.电子器件的曝光工序中使用的电子器件的制造装置的说明

2.比较例的气体激光装置的说明

2.1 结构

2.2 动作

2.3气体激光装置的维护方法

2.4课题

3.实施方式的气体激光装置的说明

3.1结构

3.2气体激光装置的维护方法

3.3作用/效果

下面，参照附图对本公开的实施方式进行详细说明。

以下说明的实施方式示出本公开的几个例子，不限定本公开的内容。此外，各实施方式中说明的结构和动作并不一定全都是本公开的结构和动作所必须的。另外，对相同结构要素标注相同参照标号并省略重复说明。

1.电子器件的曝光工序中使用的电子器件的制造装置的说明

图1是示出电子器件的曝光工序中使用的电子器件的制造装置的整体的概略结构例的示意图。如图1所示，曝光工序中使用的制造装置包含气体激光装置100和曝光装置200。曝光装置200包含照明光学系统210和投影光学系统220，该照明光学系统210包含多个反射镜211、212、213。照明光学系统210利用从气体激光装置100入射的激光对掩模版台RT的掩模版图案进行照明。投影光学系统220对透过掩模版的激光进行缩小投影，使其在配置于工件台WT上的未图示的工件上成像。工件是涂布有光致抗蚀剂的半导体晶片等感光基板。曝光装置200使掩模版台RT和工件台WT同步地平行移动，由此在工件上曝光反映掩模版图案的激光。通过以上这种曝光工序在半导体晶片上转印器件图案，由此能够制造作为电子器件的半导体器件。

2.比较例的气体激光装置的说明

2.1结构

对比较例的气体激光装置100进行说明。另外，本公开的比较例是申请人认识到仅申请人知道的方式，不是申请人自己承认的公知例。

图2是示出本例的气体激光装置100的整体的概略结构例的示意图。

气体激光装置100例如是使用包含氩(Ar)、氟(F₂)和氖(Ne)的混合气体的ArF准分子激光装置。该气体激光装置100输出中心波长大约为193.4nm的激光。另外，气体激光装置100也可以是ArF准分子激光装置以外的气体激光装置，例如也可以是使用包含氪(Kr)、F₂和Ne的混合气体的KrF准分子激光装置。该情况下，气体激光装置100射出中心波长大约为248.0nm的激光。包含作为激光介质的Ar、F₂和Ne的混合气体、包含作为激光介质的Kr、F₂和Ne的混合气体有时被称为激光气体。另外，在ArF准分子激光装置和KrF准分子激光装置中分别使用的混合气体中，也可以代替Ne而使用氦(He)。

本例的气体激光装置100包含收纳部120、以及被配置于收纳部120的内部空间的激光振荡器130、监视器模块150、未图示的激光气体供给装置、未图示的激光气体排气装置、未图示的温度调节器和激光处理器190作为主要结构。

激光振荡器130包含腔装置CH、充电器141、脉冲功率模块143、后镜145和输出耦合镜147作为主要结构。

在图2中，示出从与激光的行进方向大致垂直的方向观察的情况下的腔装置CH的内部结构。

腔装置CH具有壳体30、一对窗口31a、31b、一对电极32a、32b、绝缘部33、馈通孔34、电极保持架部36、横流风扇46和压力传感器48作为主要结构。

壳体30中封入上述的激光气体。此外，壳体30包含通过激光气体中的激光介质的激励而产生光的内部空间。激光气体从激光气体供给装置经由未图示的气体配管被供给到壳体30的内部空间。通过激光介质的激励而产生的光向窗口31a、31b行进。

窗口31a被配置于从气体激光装置100向曝光装置200的激光的行进方向上的壳体30的前侧的壁面，窗口31b被配置于该行进方向上的壳体30的后侧的壁面。

电极32a、32b在壳体30的内部空间中彼此对置地配置，电极32a、32b的长度方向沿着通过被施加在电极32a与电极32b之间的高电压而产生的光的行进方向。壳体30中的电极32a与电极32b之间的空间介于窗口31a和窗口31b之间。电极32a、32b是用于通过辉光放电来激励激光介质的放电电极。在本例中，电极32a是阴极，电极32b是阳极。

电极32a被绝缘部33支承。绝缘部33堵住被形成于壳体30的开口。绝缘部33包含绝缘体。此外，在绝缘部33配置有由导电部件构成的馈通孔34。馈通孔34将从脉冲功率模块143供给的电压施加给电极32a。

电极32b被电极保持架部36支承，并且与电极保持架部36电连接。

以电极保持架部36为基准在与电极32b侧相反的一侧的壳体30的内部空间配置有横流风扇46。在壳体30的内部空间中，配置有横流风扇46的空间与电极32a、32b侧的空间连通。此外，在配置有横流风扇46的空间中，在横流风扇46的旁边配置有未图示的热交换器。横流风扇46与被配置于壳体30的外部的马达46a连接，通过马达46a的旋转而旋转。横流风扇46通过旋转使激光气体在电极32a、32b之间流动。通过横流风扇46，激光气体按照横流风扇46、电极32a与电极32b之间、热交换器、以及横流风扇46的顺序循环。通过横流风扇46而流动的激光气体的大部分通过热交换器，通过热交换器去除激光气体的热。马达46a与激光处理器190电连接，马达46a的启动、关闭、转速通过激光处理器190的控制来调节。因此，激光处理器190通过控制马达46a，对在壳体30的内部空间中循环的激光气体的循环速度进行调节。

充电器141是以规定的电压对被设置于脉冲功率模块143中的未图示的电容器进行充电的直流电源装置。充电器141被配置于壳体30的外部，与脉冲功率模块143连接。脉冲功率模块143包含由激光处理器190控制的未图示的开关。脉冲功率模块143是如下的电压施加电路：在开关通过该控制而从断开变成接通时，对从充电器141施加的电压进行升压，生成脉冲状的高电压，将该高电压施加给电极32a、32b。在被施加高电压时，在电极32a与电极32b之间产生放电。通过该放电的能量，壳体30内的激光介质被激励。在被激励的激光介质向基态能级跃迁时，发射光，发射的光向窗口31a、31b行进，并且透过窗口31a、31b。这样，腔装置CH在壳体30的内部具有电极32a、32b，射出通过从脉冲功率模块143对电极32a、32b施加电压而产生的光。

后镜145与窗口31b对置，使从窗口31b射出的激光以高反射率反射而返回到壳体30。输出耦合镜147与窗口31a对置，使从窗口31a输出的激光中的一部分透过，使另外一部分反射而经由窗口31a返回到壳体30的内部空间。这样，利用后镜145和输出耦合镜147构成法布里-珀罗型的激光谐振器，壳体30被配置于激光谐振器的光路上。后镜145和输出耦合镜147通过未图示的光路管被固定于收纳部120内。

另外，也可以代替后镜145而配置有使激光窄带化的未图示的窄带化模块。窄带化模块包含棱镜、光栅和旋转台。棱镜、光栅和旋转台被配置于未图示的壳体的内部空间中。

棱镜使从窗口31b射出的光的射束宽度扩大，使该光入射到光栅。此外，棱镜使来自光栅的反射光的射束宽度缩小，并且使该光经由窗口31b返回到壳体30的内部空间。棱镜配置有至少1个即可。

光栅的表面由高反射率的材料构成，在表面以规定间隔设置有多个槽。光栅是色散光学元件。各槽的截面形状例如为直角三角形。从棱镜入射到光栅的光被这些槽反射，并且向与光的波长对应的方向衍射。光栅被进行利特罗配置，以使从棱镜入射到光栅的光的入射角和期望波长的衍射光的衍射角一致。由此，期望的波长附近的光经由棱镜返回到壳体30。

旋转台支承棱镜，使棱镜旋转。通过使棱镜旋转，光相对于光栅的入射角被变更。因此，通过使棱镜旋转，能够选择从光栅经由棱镜返回到壳体30的光的波长。

利用隔着壳体30设置的输出耦合镜147和光栅构成激光谐振器。

监视器模块150被配置于透过输出耦合镜147的激光的光路上。监视器模块150包含壳体151、以及被配置于壳体151的内部空间的分束器152、聚光透镜153和光传感器154作为主要结构。壳体151通过未图示的保持架被固定于收纳部120内。在壳体151形成有开口，来自输出耦合镜147的光通过该开口向分束器152行进。

分束器152使透过输出耦合镜147的激光以高透射率透过后述的出射窗口161，并且使激光的一部分朝向聚光透镜153反射。聚光透镜153使激光会聚于光传感器154的受光面。光传感器154计测入射到受光面的激光的能量E。光传感器154与激光处理器190电连接，将表示计测出的能量E的信号输出到激光处理器190。

在监视器模块150的壳体151中的与输出耦合镜147侧相反的一侧形成有开口。此外，在收纳部120中，以该开口为基准在与分束器152相反的一侧设置有出射窗口161。出射窗口161被固定于收纳部120。透过监视器模块150的分束器152的光从出射窗口161向收纳部120的外部的曝光装置200射出。

压力传感器48计测壳体30的内部空间的压力。压力传感器48与激光处理器190电连接，将表示计测的压力的信号输出到激光处理器190。

在激光气体供给装置设置有未图示的阀、流量调节阀，并且连接有与壳体30连接的未图示的气体配管。激光气体供给装置根据来自激光处理器190的控制信号，从被配置于收纳部120的外部的未图示的激光气体供给源经由气体配管向壳体30的内部空间供给激光气体。在激光气体排气装置连接有与壳体30连接的未图示的气体配管。激光气体排气装置包含未图示的排气泵，通过排气泵，经由气体配管排放壳体30的内部空间的气体。温度调节器是如下的冷却器：从温度调节器的未图示的泵经由与壳体30连接的未图示的水配管将冷却介质供给到壳体30，通过冷却介质对壳体30进行冷却。温度调节器与激光处理器190电连接。在未图示的温度传感器将表示壳体30的内部空间的温度的信号输出到激光处理器190时，激光处理器190根据该信号将表示冷却介质的温度的信号输出到温度调节器。温度调节器根据来自激光处理器190的信号对冷却介质的温度进行调节。冷却介质是液体，但是，也可以是气体。

本公开的激光处理器190是包含存储有控制程序的存储装置和执行控制程序的CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)的处理装置。激光处理器190是为了执行本公开中包含的各种处理而特别地构成或被编程的。此外，激光处理器190对气体激光装置100整体进行控制。此外，激光处理器190与曝光装置200的未图示的曝光处理器电连接，在与曝光处理器之间收发各种信号。

图3是比较例中的收纳部120的主视图。在图3中，简化地图示了充电器141、脉冲功率模块143和腔装置CH的外观。此外，在图3中，为了容易观察，省略腔装置CH中的窗口31a、31b以外的图示，还省略后镜145、输出耦合镜147、监视器模块150和激光处理器190的图示。

收纳部120具有多个激光框架121，作为激光框架121，例如举出不锈钢或铝这样的金属。收纳部120通过连结多个激光框架121而构成箱型的骨架框体，在收纳部120的左侧面、右侧面、正面、背面、上表面和下表面分别设置有开口。开口为四边形，激光框架121是四棱柱部件，但是，开口和激光框架121各自的形状没有特别限定。此外，本例的收纳部120也可以是至少在正面设置有开口的壳体。

本例的收纳部120在收纳部120的上下方向上被分成3层。充电器141被配置于从上方起第1层，腔装置CH和脉冲功率模块143被配置于从上方起第2层。后镜145、输出耦合镜147和监视器模块150被配置于从上方起第2层，激光处理器190被配置于从上方起第1层。另外，激光处理器190与气体激光装置100的各结构电连接即可，可以被配置于任何地方。

腔装置CH为了进行更换而相对于收纳部120进出。在腔装置CH相对于收纳部120的进出中，设为腔装置CH为了从收纳部120取出而从收纳部120被拉出、腔装置CH为了设置于收纳部120而被推入收纳部120中来进行说明。下面，有时将使腔装置CH进出的方向称为进出方向。进出方向是与收纳部120的上下方向和激光的行进方向即左右方向正交的前后方向。此外，前后方向中的前方向是从收纳部120的开口的正面侧朝向背面侧的方向，设为腔装置CH的推入方向。此外，后方向是从收纳部120的背面侧朝向正面侧的方向，设为腔装置CH的拉出方向。在腔装置CH的进出方向上，将腔装置CH的拉出侧、即开口的正面侧设为后方。此外，在腔装置CH的进出方向上，将腔装置CH的推入侧、即背面侧设为前方。另外，在腔装置CH相对于收纳部120的进出中，也可以是，腔装置CH为了从收纳部120取出而从收纳部120被推出，腔装置CH为了设置于收纳部120而被拉入收纳部120中。另外，充电器141和脉冲功率模块143也与腔装置CH同样地为了进行更换而相对于收纳部120进出。

充电器141被载置于在进出方向上延伸的未图示的多个激光框架。该多个激光框架并列地配置。另外，也可以在收纳部120配置板材，充电器141被载置于该板材。充电器141经由未图示的布线与脉冲功率模块143电连接。

脉冲功率模块143通过螺钉等被固定于腔装置CH的壳体30的上表面。此外，脉冲功率模块143经由被配置于脉冲功率模块143的上部两端的升降器143c与激光框架121连结。升降器143c能够使脉冲功率模块143在上下方向上升降。升降器143c例如由空气弹簧构成，通过激光处理器190的控制，从未图示的气体供给源向空气弹簧注入或排出空气、氮气等气体，由此作为升降器143c发挥功能。在脉冲功率模块143与腔装置CH之间的固定被解除的状态下，在向升降器143c注入气体时，升降器143c膨胀，脉冲功率模块143由于升降器143c的膨胀而上升，从腔装置CH分离。由此，腔装置CH和从升降器143c被取下的脉冲功率模块143能够为了进行更换而从收纳部120拉出。此外，被更换后的新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143被推入收纳部120中而被设置于收纳部120。在设置了新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143后，在从升降器143c排出气体时，升降器143c收缩，脉冲功率模块143由于升降器143c的收缩而下降，被配置于腔装置CH。

腔装置CH在收纳部120内被配置于脉冲功率模块143的下方，被未图示的固定器具固定。此外，在腔装置CH的壳体30的底面的前后左右配置有车轮100a。左右的车轮100a被配置于一对轨道123之间，在腔装置CH的进出时能够沿着一对轨道123行驶。一对轨道123被配置于壳体30的底面的下方，沿着进出方向延伸，彼此平行。车轮100a和轨道123被载置于在进出方向上延伸的未图示的多个激光框架。该多个激光框架并列地配置。另外，也可以在收纳部120配置板材，车轮100a和轨道123被载置于该板材。轨道123经由车轮100a在前后方向上引导腔装置CH，在左右方向和前后方向上对腔装置CH进行定位。

2.2动作

接着，对比较例的气体激光装置100的动作进行说明。

在气体激光装置100射出激光之前的状态下，从激光气体供给装置向壳体30的内部空间供给激光气体。在供给激光气体时，激光处理器190对马达46a进行控制，使横流风扇46旋转。通过横流风扇46的旋转，激光气体在壳体30的内部空间循环。

在气体激光装置100射出激光时，激光处理器190从曝光装置200的曝光处理器接收表示目标能量Et的信号和发光触发信号。目标能量Et是曝光工序中使用的激光的能量的目标值。激光处理器190对充电器141设定规定的充电电压，以使能量E成为目标能量Et，并且，与发光触发信号同步地接通脉冲功率模块143的开关。由此，脉冲功率模块143利用被充电器141保持的电能生成脉冲状的高电压，对电极32a与电极32b之间施加高电压。在被施加高电压时，在电极32a与电极32b之间产生放电，电极32a与电极32b之间的激光气体中包含的激光介质成为激励状态，在激光介质返回基态时发射光。被发射的光在后镜145与输出耦合镜147之间谐振，每当通过壳体30的内部空间中的放电空间时被放大，产生激光振荡。激光的一部分透过输出耦合镜147，向分束器152行进。

向分束器152行进的激光中的一部分在分束器152反射，被光传感器154接收。光传感器154计测接收到的激光的能量E。光传感器154将表示计测出的能量E的信号输出到激光处理器190。激光处理器190对充电器141的充电电压进行反馈控制，以使能量E与目标能量Et之差ΔE在容许范围内。差ΔE在容许范围内的激光透过分束器152和出射窗口161而入射到曝光装置200。该激光例如是中心波长为193.4nm的脉冲激光。

另外，壳体30的内部空间的压力由压力传感器48来计测，来自压力传感器48的表示压力的信号被输入到激光处理器190。在充电电压比容许范围的最大值高的情况下，激光处理器190根据来自压力传感器48的信号对激光气体供给装置进行控制，将激光气体供给到壳体30的内部空间，直到壳体30的内部空间的压力成为规定压力为止。此外，在充电电压比容许范围的最小值低的情况下，激光处理器190根据该信号对激光气体排气装置进行控制，从壳体30的内部空间排放激光气体，直到该压力成为规定压力为止。

2.3气体激光装置的维护方法

接着，对比较例中的气体激光装置100的维护方法的一例进行说明。

图4和图5是示出比较例中的气体激光装置100的维护方法的流程图的图。在气体激光装置100的异常发生时、具体而言为通过异常发生后的故障排除没有确定异常的原因时，进行该维护方法。在该维护方法中，腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143被更换。如图4和图5所示，维护方法包含步骤SP11～步骤SP21。

(步骤SP11)

在本步骤中，电气布线、温度调节器的水配管、激光气体供给装置的气体配管和激光气体排气装置的气体配管从腔装置CH的壳体30被取下。电气布线例如是连接压力传感器48和激光处理器190的布线。在电气布线、水配管和气体配管被取下后，流程进入步骤SP12。

(步骤SP12)

在本步骤中，将腔装置CH固定于脉冲功率模块143的螺钉被取下，腔装置CH与脉冲功率模块143之间的固定被解除。此外，充电器141与脉冲功率模块143之间的连接被解除。在固定和连接被解除后，流程进入步骤SP13。

(步骤SP13)

在本步骤中，激光处理器190从未图示的气体供给源向作为空气弹簧的升降器143c供给气体。由此，升降器143c膨胀，通过该膨胀使脉冲功率模块143上升而从腔装置CH分离。在脉冲功率模块143从腔装置CH分离后，流程进入步骤SP14。

(步骤SP14)

在本步骤中，基于未图示的固定器具在收纳部120中的固定被解除，腔装置CH从收纳部120被拉出。此时，车轮100a沿着轨道123向后方行驶。从收纳部120拉出的腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143分别被更换为新的腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143。在腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143全部被更换后，流程进入步骤SP15。另外，在以下的各步骤中，将新的腔装置CH、新的充电器141和新的脉冲功率模块143简称为腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143。

(步骤SP15)

在本步骤中，与步骤SP14相反，充电器141和脉冲功率模块143被推入收纳部120中。此外，腔装置CH被推入收纳部120中，直到脉冲功率模块143的下方为止。被推入的腔装置CH被未图示的固定器具固定成不能移动，流程进入步骤SP16。

(步骤SP16)

在本步骤中，与步骤SP13相反，激光处理器190通过未图示的气体供给源的抽吸从升降器143c排放气体。由此，升降器143c收缩，通过该收缩使脉冲功率模块143下降而被配置于腔装置CH。在脉冲功率模块143被配置于腔装置CH后，流程进入步骤SP17。

(步骤SP17)

在本步骤中，与步骤SP12相反，腔装置CH被固定于脉冲功率模块143。此外，充电器141和脉冲功率模块143彼此被连接。接着，流程进入步骤SP18。

(步骤SP18)

在本步骤中，与步骤SP11相反，电气布线、温度调节器的水配管、激光气体供给装置的气体配管和激光气体排气装置的气体配管被安装于腔装置CH的壳体30。在安装电气布线、水配管和气体配管后，流程进入步骤SP19。

(步骤SP19)

在本步骤中，激光处理器190使气体激光装置100驱动，从气体激光装置100射出激光。光传感器154计测激光的射束尺寸和发散角，将表示计测结果的信号输出到激光处理器190。在激光处理器190接收该信号后，流程进入步骤SP20。

(步骤SP20)

在本步骤中，如果射束尺寸和发散角分别是由曝光装置200要求的射束尺寸和发散角，则光轴调整完成，激光处理器190使气体激光装置100停止，结束流程。此外，在本步骤中，如果射束尺寸和发散角分别不是由曝光装置200要求的射束尺寸和发散角，则激光处理器190需要进行光轴调整，因此，使气体激光装置100停止，使流程进入步骤SP21。

(步骤SP21)

在本步骤中，腔装置CH基于未图示的固定器具在收纳部120中的固定被解除，腔装置CH的位置在前后左右方向上被调整。调整了位置后的腔装置CH被未图示的固定器具固定成不能移动，流程返回步骤SP19。

如上所述，在本例的维护方法中，腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143全部被更换为新的腔装置CH、新的充电器141和新的脉冲功率模块143。另外，在步骤SP13～步骤SP16中，充电器141也可以从收纳部120被拉出，被更换为新的充电器141，新的充电器141被推入收纳部120中。此外，在步骤SP15中，脉冲功率模块143也可以从收纳部120被拉出，被更换为新的脉冲功率模块143，新的脉冲功率模块143被推入收纳部120中。

另外，腔装置CH有时由于电极32a、32b的劣化等而与充电器141和脉冲功率模块143独立地定期被更换。该情况下，在上述的维护方法中，也可以是腔装置CH被更换，而充电器141和脉冲功率模块143不被更换。

2.4课题

在比较例的腔装置CH和脉冲功率模块143的更换中，需要使脉冲功率模块143相对于腔装置CH进行升降，更换时间变长。因此，要求缩短更换时间。

因此，在以下的实施方式中，例示能够缩短更换时间的气体激光装置。

3.实施方式的气体激光装置的说明

接着，对实施方式的气体激光装置100进行说明。另外，对与上述说明的结构相同的结构标注相同标号，除了特别说明的情况以外，省略重复的说明。此外，在一部分附图中，为了容易观察，省略或简化部件的一部分。

3.1结构

图6是从出射窗口161观察的情况下的本实施方式中的收纳部120的侧视图。图7是图6所示的收纳部120的俯视图。在图6和图7中，与图3同样，简化地图示了充电器141、脉冲功率模块143和腔装置CH的外观。此外，在图6和图7中，与图3同样，为了容易观察，省略腔装置CH中的窗口31a、31b以外的图示，还省略后镜145、输出耦合镜147、监视器模块150和激光处理器190的图示。

本实施方式的气体激光装置100的结构与比较例的气体激光装置100的结构不同。气体激光装置100具有：第1托盘301，其包含载置面301a，脉冲功率模块143和充电器141配置于载置面301a；以及第2托盘303，脉冲功率模块143未配置于第2托盘303，而腔装置CH配置于第2托盘303的载置面。充电器141直接被配置于第1托盘301的载置面301a，脉冲功率模块143隔着多个支承部件311被配置于第1托盘301的载置面301a，腔装置CH隔着第2托盘303被配置于第1托盘301的载置面301a。

第1托盘301和第2托盘303为平板，作为第1托盘301和第2托盘303，例如举出不锈钢或铝这样的金属。在俯视观察第1托盘301的情况下，第1托盘301的载置面301a比第2托盘303大。

第1托盘301和第2托盘303被收纳于收纳部120中。本实施方式的收纳部120的结构在以下方面与比较例的收纳部120不同。在收纳部120中，在上下方向上设置有1个层，腔装置CH、充电器141、作为电压施加电路的脉冲功率模块143、第1托盘301和第2托盘303被配置于相同层。腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143并列于载置面301a。另外，未图示的后镜145、输出耦合镜147和监视器模块150也被配置于相同层。后镜145被配置于窗口31b的左侧，输出耦合镜147和监视器模块150被配置于窗口31a与出射窗口161之间。此外，在俯视观察第1托盘301的情况下，输出耦合镜147和监视器模块150被配置于第1托盘301的右侧。另外，激光处理器190与气体激光装置100的各结构电连接即可，可以被配置于任何地方。

第1托盘301通过在第1托盘301的载置面301a的面内方向上的移动而相对于收纳部120进出自如。第2托盘303在被载置于第1托盘301的状态下，与第1托盘301一起通过在面内方向上的第1托盘301的移动而相对于收纳部120进出自如。由此，腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143能够按照每个第1托盘301进行更换。此外，第2托盘303在第1托盘301留于收纳部120的状态下相对于收纳部120进出自如。即，第2托盘303与第1托盘301独立地通过在面内方向上的移动而相对于收纳部120进出自如。由此，腔装置CH能够与充电器141和脉冲功率模块143独立地按照每个第2托盘303进行更换。腔装置CH和第2托盘303在收纳部120中被配置于比脉冲功率模块143靠后方的位置。

脉冲功率模块143在第1托盘301中与腔装置CH并列地配置，在脉冲功率模块143的背面固定有腔装置CH。脉冲功率模块143通过支承部件311来调整高度位置，通过该调整，脉冲功率模块143中的与腔装置CH连接的连接部成为与腔装置CH相同的高度位置。支承部件311是从脉冲功率模块143的底面朝向第1托盘301延伸的棒状部件。作为支承部件311，例如举出不锈钢或铝这样的金属。支承部件311能够调整脉冲功率模块143的高度位置即可。在脉冲功率模块143的右侧配置有充电器141。在腔装置CH与充电器141之间设置有间隙。充电器141被配置于腔装置CH的右斜前方。此外，在正面观察腔装置CH的情况下，充电器141在第1托盘301中与腔装置CH并列地配置。脉冲功率模块143与腔装置CH和充电器141电连接。连接脉冲功率模块143和充电器141的电气布线未图示。脉冲功率模块143和充电器141被配置于偏离从腔装置CH射出的光的光路的位置。另外，充电器141也可以被安装于脉冲功率模块143。与脉冲功率模块143同样，充电器141未被配置于第2托盘303。

本实施方式的气体激光装置100具有作为所谓的运动学支架的定位单元400、500、700。

定位单元400具有脚部411、413、415，它们被配置于第1托盘301中的与载置面301a相反的一侧的底面；以及被配置于收纳部120的台座421、423、425，定位单元400将第1托盘301相对于收纳部120进行定位。图8是示出台座421、423、425的位置关系的俯视图。在图8中，为了容易观察，利用虚线示出第1托盘301、第2托盘303、腔装置CH、充电器141、脉冲功率模块143和脚部413、415，利用实线示出台座421、423、425。此外，在图8中，为了容易观察，省略脚部411的图示。脚部411是第1脚部，脚部413是第2脚部，脚部415是第3脚部，台座421是第1台座，台座423是第2台座，台座425是第3台座。

脚部411、413、415朝向收纳部120中的面向第1托盘301的底面的区域，沿着与载置面301a的面内方向垂直的方向并列地延伸。垂直的方向是收纳部120的上下方向。脚部411、413、415在面内方向上彼此分开地配置。

台座421、423、425被载置于多个激光框架121中的在进出方向上延伸的未图示的激光框架。台座421、423、425在载置面301a的面内方向上彼此分开地配置。在台座421、423、425各自的上表面单独载置有脚部411、413、415各自的半圆球形状的头部。

在作为第1台座的台座421的上表面设置有圆锥状的凹陷，在凹陷中载置有作为第1脚部的脚部411的头部。由此，与头部被载置于平面而不是被载置于凹陷的情况相比，脚部411很难在载置面301a的面内方向上移动，移动被限制。关于凹陷的形状，脚部411很难在载置面301a的面内方向上移动即可，没有特别限定，也可以是三棱锥状。

在作为第2台座的台座423的上表面设置有截面为V字状的槽，在俯视观察台座423的情况下，槽朝向台座421的凹陷的底部延伸。在槽中载置有作为第2脚部的脚部413的头部，与载置面301a的面内方向中的沿着槽的方向即规定方向以外的方向相比，脚部413容易在规定方向上移动。此外，与被载置于凹陷的脚部411相比，脚部413容易在规定方向上移动。关于槽的形状，脚部413如上述那样移动即可，没有特别限定。

作为第3台座的台座425的上表面为平面，在上表面载置有作为第3脚部的脚部415的头部，脚部415能够沿着台座425的上表面移动。即，脚部415能够在载置面301a的面内方向上移动。此外，与被载置于凹陷的脚部411相比，脚部415容易在载置面301a的面内方向上移动，并且，与被载置于槽的脚部413相比，脚部415容易在规定方向以外的方向上移动。

如上所述在脚部411、413、415被载置于台座421、423、425时，通过脚部411、413、415和台座421、423、425，在第1托盘301的背面与收纳部120之间设置有间隙。

在从气体激光装置100向曝光装置200的激光的行进方向上，台座421被配置于比台座423和台座425靠后侧的位置。在俯视观察台座421的情况下，在图8中，示出台座421的凹陷的底部与在腔装置CH的内部行进的光的光轴C重叠的例子，但是，台座421的至少一部分与光轴C重叠即可。在俯视观察台座421的情况下，台座423和台座425不与光轴C重叠，台座423以光轴C为基准被配置于与台座425相反的一侧。在从规定方向观察的情况下，台座423与台座421重叠。另外，台座423的至少一部分与台座421重叠即可。

作为脚部411、413、415和台座421、423、425，例如举出不锈钢或铝这样的金属。

接着，对定位单元500进行说明。定位单元500具有脚部511、513、515，它们被配置于第2托盘303中的与配置有腔装置CH的载置面相反的一侧的底面；以及被配置于第1托盘301的载置面301a的台座521、523、525，定位单元500将第2托盘303相对于第1托盘301进行定位。在图8中，为了容易观察，图示了台座521比台座421大，但是为相同大小，省略脚部511的图示，利用虚线示出脚部513、515。脚部511是第4脚部，脚部513是第5脚部，脚部515是第6脚部，台座521是第4台座，台座523是第5台座，台座525是第6台座。

脚部511、513、515朝向第1托盘301的载置面301a中的面向第2托盘303的底面的区域，沿着与载置面301a的面内方向垂直的方向并列地延伸。脚部511、513、515在面内方向上彼此分开地配置。台座521、523、525在载置面301a的面内方向上彼此分开地配置。

脚部511、513、515和台座521、523、525的结构与脚部411、413、415和台座421、423、425的结构相同。因此，在作为第4台座的台座521的凹陷中载置有作为第4脚部的脚部511的头部，与头部被载置于平面而不是被载置于凹陷的情况相比，脚部511很难在载置面301a的面内方向上移动。此外，作为第5脚部的脚部513被载置于作为第5台座的台座523，与脚部511相比，脚部513容易在载置面301a的面内方向中的沿着台座523的槽的方向即特定方向上移动。此外，作为第6脚部的脚部515以能够在载置面301a的面内方向上移动的方式被载置于作为第6台座的台座525。与脚部511相比，脚部515容易在载置面301a的面内方向上移动，并且，与脚部513相比，脚部515容易在特定方向以外的方向上移动。在脚部511、513、515被载置于台座521、523、525时，通过脚部511、513、515和台座521、523、525，在第1托盘301的载置面301a与第2托盘303的底面之间设置有间隙。

台座521、523、525各自的相对位置与台座421、423、425各自的相对位置相同。因此，在从气体激光装置100向曝光装置200的激光的行进方向上，台座521被配置于比台座523和台座525靠后侧的位置。在俯视观察台座521的情况下，在图8中，示出台座521的凹陷的底部与光轴C重叠的例子，但是，台座521的至少一部分与光轴C重叠即可。在俯视观察台座521的情况下，台座523和台座525不与光轴C重叠，台座523以光轴C为基准被配置于与台座525相反的一侧。

此外，在俯视观察台座521的情况下，台座521与台座421重叠。另外，也可以是台座521的凹陷的底部与台座421的凹陷的底部重叠，台座521的至少一部分与台座421重叠即可。或者，在俯视观察台座521的情况下，台座521的至少一部分与台座421和光轴C重叠即可。

在俯视观察台座523的情况下，台座523的槽朝向台座521的凹陷的底部延伸，在从特定方向观察的情况下，台座523与台座521重叠。该情况下，也可以是台座523的至少一部分与台座521重叠。在俯视观察台座523的情况下，台座523的在特定方向上延伸的槽也可以位于未图示的线上，该线连接台座421的凹陷的底部和台座423的沿着规定方向的槽，各个槽也可以沿着同一直线延伸。因此，定位单元500的台座523中的特定方向也可以是与定位单元400的台座423中的规定方向相同的方向，在从规定方向观察的情况下，台座423的槽也可以与台座523的槽重叠。该情况下，在从规定方向观察的情况下，台座423的槽的至少一部分也可以与台座523的槽重叠。在俯视观察台座525的情况下，台座525的中心也可以位于未图示的线上，该线连接台座421的凹陷的底部和台座425的中心。

接着，对定位单元700进行说明。定位单元700具有被配置于腔装置CH的壳体30的底面的脚部711、713、715、以及被配置于第2托盘303的载置面的台座721、723、725，定位单元700将腔装置CH相对于第2托盘303进行定位。在图6中，台座721被配置于台座723、725的里侧，台座721的一部分被台座723、725遮挡。

脚部711、713、715朝向第2托盘303的载置面中的面向腔装置CH的壳体30的底面的区域，沿着与载置面301a的面内方向垂直的方向并列地延伸。脚部711、713、715在面内方向上彼此分开地配置。台座721、723、725在载置面301a的面内方向上彼此分开地配置。台座721、723、725的上表面面向壳体30的底面。

脚部711、713、715和台座721、723、725的结构与脚部411、413、415和台座421、423、425的结构相同。因此，在台座721的凹陷中载置有脚部711的头部，与头部被载置于平面而不是被载置于凹陷的情况相比，脚部711很难在载置面301a的面内方向上移动。此外，脚部713被载置于台座723，与载置面301a的面内方向中的沿着台座723的槽的方向即特定方向以外的方向相比，脚部713容易在特定方向上移动，并且，与脚部711相比，脚部713容易在特定方向上移动。此外，脚部715以能够在载置面301a的面内方向上移动的方式被载置于台座725。与脚部711相比，脚部715容易在载置面301a的面内方向上移动，并且，与脚部713相比，脚部715容易在特定方向以外的方向上移动。定位单元700的台座723中的特定方向是与定位单元500的台座523中的特定方向不同的方向，但是，也可以是相同方向，也可以是与定位单元400的台座423中的规定方向相同的方向。在脚部711、713、715被载置于台座721、723、725时，通过这些脚部和台座，在腔装置CH的壳体30的底面与第2托盘303之间设置有间隙。

从未图示的冷却源供给的气体即冷却介质在上述的腔装置CH的壳体30的底面与第2托盘303之间的间隙中流动。冷却介质从窗口31b侧朝向窗口31a侧流动，但是，冷却介质流动的方向没有特别限定。冷却介质在腔装置CH的正下方流动，使腔装置CH的温度保持在一定的范围内，并且抑制由于腔装置CH的热而引起的第2托盘303的热膨胀。另外，冷却介质在腔装置CH的壳体30的底面与第1托盘301的载置面301a之间的间隙中流动即可。该间隙是上述的腔装置CH的壳体30的底面与第2托盘303之间的间隙和第2托盘303的底面与第1托盘301的载置面301a之间的间隙中的至少一方。

台座721、723、725各自的相对位置与台座521、523、525各自的相对位置相同，因此省略说明。

气体激光装置100具有被配置于腔装置CH的壳体30的底面与第2托盘303之间的绝热部件315。作为绝热部件315，例如举出聚醚醚酮等树脂。绝热部件315为3个，被配置于第2托盘303的载置面，并且，在各个绝热部件315单独配置有台座721、723、725。绝热部件315隔绝从腔装置CH向第2托盘303的热、以及从腔装置CH经由第2托盘303向第1托盘301的热。绝热部件315也可以被配置于第2托盘303的载置面整体、或该载置面中的腔装置CH的正下方的区域。另外，绝热部件315隔绝来自腔装置CH的热即可，因此，也可以被配置于腔装置CH的壳体30的底面与第1托盘301的载置面301a之间或者载置面301a。

3.2气体激光装置的维护方法

接着，对本实施方式中的气体激光装置100的维护方法的一例进行说明。

图9是示出本实施方式中的气体激光装置100的维护方法的流程图的一例的图。与比较例同样，在气体激光装置100的异常发生时、具体而言为通过异常发生后的故障排除没有确定异常的原因时，进行该维护方法。本实施方式的流程图与图4和图5中说明的流程图的不同之处在于，代替步骤SP12～步骤SP17而包含步骤SP31和步骤SP32，不需要步骤SP19～步骤SP21。在步骤SP11中，在电气布线、水配管和气体配管被取下后，流程进入步骤SP31。

(步骤SP31)

在本步骤中，在第1托盘301的底面与收纳部120之间的间隙中插入未图示的升降器的爪，第1托盘301被升降器的爪抬起，被升降器从收纳部120拉出。由此，充电器141、脉冲功率模块143、腔装置CH和第2托盘303与第1托盘301一起被拉出。被拉出的第1托盘301被更换为新的第1托盘301。

在新的第1托盘301中，充电器141、脉冲功率模块143被配置于第1托盘301。此外，腔装置CH通过定位单元700相对于第2托盘303被定位，第2托盘303通过定位单元500相对于第1托盘301被定位。另外，在本步骤中，也可以是第1托盘301不被更换，而充电器141被更换为新的充电器141，脉冲功率模块143被更换为新的脉冲功率模块143，第2托盘303被更换为载置有新的腔装置CH的新的第2托盘303。在更换结束后，流程进入步骤SP32。

(步骤SP32)

在本步骤中，通过升降器的爪支承新的第1托盘301的底面，新的第1托盘301被升降器插入到收纳部120中。在被插入的新的第1托盘301中，在台座421、423、425单独载置有脚部411、413、415，新的第1托盘301通过定位单元400相对于收纳部120被定位。在定位结束后，升降器的爪从收纳部120被拉出，流程进入步骤SP18，结束。

如上所述，在本流程图中，腔装置CH、充电器141和脉冲功率模块143一并被更换。

接着，对本实施方式中的气体激光装置100的维护方法的另一例进行说明。图10是示出本实施方式中的气体激光装置100的维护方法的流程图的另一例的图。与比较例同样，在由于电极32a、32b的劣化等而引起的腔装置CH的定期维护时进行该维护方法。本实施方式的流程图与图4和图5中说明的流程图的不同之处在于，代替步骤SP13～步骤SP16而包含步骤SP41和步骤SP42，不需要步骤SP19～步骤SP21。在步骤SP12中，在腔装置CH和脉冲功率模块143之间的固定被解除后，流程进入步骤SP41。另外，在本流程图中，充电器141和脉冲功率模块143依然彼此电连接。

(步骤SP41)

在本步骤中，在第2托盘303的背面与第1托盘301的载置面301a之间的间隙中插入升降器的爪，第2托盘303被升降器的爪抬起，被升降器从收纳部120拉出。由此，腔装置CH与第2托盘303一起被拉出。被拉出的第2托盘303被更换为新的第2托盘303。另外，充电器141、脉冲功率模块143和第1托盘301依然被收纳于收纳部120中。

在新的第2托盘303中，新的腔装置CH通过定位单元700相对于新的第2托盘303被定位。另外，也可以是第2托盘303不被更换，而腔装置CH被更换为新的腔装置CH。在更换结束后，流程进入步骤SP42。

(步骤SP42)

在本步骤中，通过升降器的爪支承新的第2托盘303的底面，新的第2托盘303被升降器插入到收纳部120中。在被插入的新的第1托盘301中，在台座521、523、525单独载置有脚部511、513、515，新的第2托盘303通过定位单元500相对于第1托盘301被定位。在定位结束后，升降器的爪从收纳部120被拉出，流程进入步骤SP17。

在步骤SP17中，在腔装置CH被固定于脉冲功率模块143后，流程进入步骤SP18，结束。

如上所述，在本流程图中，腔装置CH与充电器141和脉冲功率模块143独立地被更换。

3.3作用/效果

本实施方式的气体激光装置100具有：作为电压施加电路的脉冲功率模块143；腔装置CH，其在内部具有电极32a、32b，射出通过从脉冲功率模块143对电极32a、32b施加电压而产生的光；第1托盘301，其包含载置面301a，腔装置CH和脉冲功率模块143彼此并列地配置于载置面301a；以及收纳部120，第1托盘301通过在载置面301a的面内方向上移动而相对于收纳部120进出自如。

在上述的结构中，第1托盘301从收纳部120被拉出，被更换为并列配置有新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143的新的第1托盘301。此外，该新的第1托盘301被插入到收纳部120中，并被设置于收纳部120。因此，不需要如比较例的更换那样进行脉冲功率模块143相对于腔装置CH的升降，更换时间能够缩短。此外，在上述的结构中，脉冲功率模块143和腔装置CH按照每个第1托盘301被更换。因此，与脉冲功率模块143和腔装置CH分别单独进出而被更换的情况相比，更换用的作业工序能够减少，更换时间能够缩短。

此外，在上述的结构中，腔装置CH和脉冲功率模块143并列地配置。因此，第1托盘301从收纳部120被拉出，由此，不用像比较例那样使脉冲功率模块143进行升降就能够更换腔装置CH，更换时间能够缩短。

接着，与上述的气体激光装置100不同，对未被配置于第1托盘301、且在水平方向即进出方向上彼此连结的新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143进行说明。在新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143为了进行更换而被推入收纳部120中的情况下，在设置后，有时在新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143中产生相对的位置偏移。但是，在上述的结构中，新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143已经被配置于新的第1托盘301。因此，即使推入新的第1托盘301，在设置于收纳部120后的新的腔装置CH和新的脉冲功率模块143中也能够抑制相对的位置偏移。在相对的位置偏移被抑制时，能够抑制实际施加给电极32a、32b的电压的值相对于预先设想的电压值的变化。因此，气体激光装置100能够射出满足由曝光装置200要求的性能的光，能够抑制气体激光装置100的可靠性的降低。

此外，本实施方式的气体激光装置100还具有第2托盘303，该第2托盘303配置有腔装置CH，并且被配置于第1托盘301的载置面301a，与第1托盘301独立地通过在载置面301a的面内方向上的移动而相对于收纳部120进出自如。腔装置CH隔着第2托盘303被配置于第1托盘301的载置面301a。

在上述的结构中，通过第2托盘303的进出，能够与脉冲功率模块143独立地更换腔装置CH。此外，在基于上述的结构的腔装置CH的更换中，与比较例的腔装置CH的更换相比，能够不需要进行脉冲功率模块143相对于腔装置CH的升降，更换时间能够缩短。

此外，本实施方式的气体激光装置100还具有定位单元400，该定位单元400是将第1托盘301相对于收纳部120进行定位的第1定位单元。定位单元400具有被配置于第1托盘301的底面的脚部411、413、415、以及被配置于收纳部120的台座421、423、425。作为第1脚部的脚部411被载置于作为第1台座的台座421。作为第2脚部的脚部413被载置于作为第2台座的台座423，与脚部411相比，脚部413容易在规定方向上移动。作为第3脚部的脚部415被载置于作为第3台座的台座425，与脚部411相比，脚部415容易在载置面301a的面内方向上移动，并且，与脚部413相比，脚部415容易在规定方向以外的方向上移动。

在本实施方式的气体激光装置100中，通过定位单元400，在将新的第1托盘301设置于收纳部120的情况下，新的第1托盘301相对于收纳部120的位置调整所花费的时间能够变短。因此，气体激光装置100的停机时间能够变短。

此外，在上述的结构中，通过脚部411、413、415和台座421、423、425，在第1托盘301的背面与收纳部120之间设置有间隙。因此，升降器的爪能够相对于间隙进行插拔。此外，在更换时，能够通过被插入到间隙中的爪抬起第1托盘301并将其从收纳部120拉出，并且，能够在通过爪支承第1托盘301的状态下将其插入到收纳部120中。

此外，在本实施方式的气体激光装置100中，在从规定方向观察的情况下，台座423的至少一部分与台座421重叠。此外，在俯视观察台座421的情况下，台座421的至少一部分与在腔装置CH的内部行进的光的光轴C重叠。

在本实施方式的腔装置CH中，在电压被施加给电极32a、32b时，腔装置CH的内部的温度有时上升。当温度上升时，腔装置CH的热传递到第1托盘301，第1托盘301有时由于热膨胀而变形。在上述的结构中，第1托盘301即使由于来自腔装置CH的热而变形，也沿着光轴C变形，因此，能够抑制光轴C的偏移。

此外，本实施方式的气体激光装置100还具有定位单元500，该定位单元500是将第2托盘303相对于第1托盘301进行定位的第2定位单元。定位单元500具有被配置于第2托盘303的底面的脚部511、513、515、以及被配置于第1托盘301的载置面301a的台座521、523、525。作为第4脚部的脚部511被载置于作为第4台座的台座521。作为第5脚部的脚部513被载置于作为第5台座的台座523，与脚部511相比，脚部513容易在特定方向上移动。作为第6脚部的脚部515被载置于作为第6台座的台座525，与脚部511相比，脚部515容易在载置面301a的面内方向上移动，并且，与脚部513相比，脚部515容易在特定方向以外的方向上移动。

在本实施方式的气体激光装置100中，通过定位单元500，在将新的第2托盘303设置于第1托盘301的情况下，新的第2托盘303相对于第1托盘301的位置调整所花费的时间能够变短。因此，气体激光装置100的停机时间能够变短。

此外，在上述的结构中，通过脚部511、513、515和台座521、523、525，在第2托盘303的背面与第1托盘301的载置面301a之间设置有间隙。因此，升降器的爪能够相对于间隙进行插拔。此外，在更换时，能够通过被插入到间隙中的爪抬起第2托盘303并将其从收纳部120拉出，并且，能够在通过爪支承第2托盘303的状态下将其插入到收纳部120中。

此外，在本实施方式的气体激光装置100中，在从规定方向观察的情况下，台座423的至少一部分与台座421重叠。此外，在俯视观察台座421的情况下，台座421的至少一部分与在腔装置CH的内部行进的光的光轴C重叠。在从特定方向观察的情况下，台座523的至少一部分与台座523重叠，在俯视观察台座521的情况下，台座521的至少一部分与在腔装置CH的内部行进的光的光轴C重叠。此外，在俯视观察台座521的情况下，台座521的至少一部分与台座421重叠。

在上述的结构中，第1托盘301和第2托盘303即使由于来自腔装置CH的热而变形，也沿着光轴C变形，因此，能够抑制光轴C的偏移。

此外，本实施方式的气体激光装置100还具有被配置于腔装置CH与第1托盘301之间的绝热部件315。

在上述的结构中，能够通过绝热部件315来抑制由于腔装置CH的热而引起的第1托盘301的变形。在第1托盘301的变形被抑制时，能够抑制从腔装置CH射出的光的行进方向的偏移。

此外，在本实施方式的气体激光装置100中，在腔装置CH的底面与第1托盘301之间，通过脚部511、513、515设置有供冷却介质流动的间隙。

在上述的结构中，当冷却介质在间隙中流动时，能够通过冷却介质来抑制由于腔装置CH的热而引起的第1托盘301的变形。在第1托盘301的变形被抑制时，能够抑制从腔装置CH射出的光的行进方向的偏移。

此外，本实施方式的气体激光装置100还具有充电器141，在正面观察腔装置CH的情况下，该充电器141在第1托盘301中与腔装置CH并列地配置。

在上述的结构中，充电器141也能够与腔装置CH和脉冲功率模块143一起被更换。

此外，本实施方式的气体激光装置100还具有将腔装置CH相对于第2托盘303进行定位的定位单元700。

在上述的结构中，能够不需要设置于收纳部120后的新的腔装置CH的位置调整，气体激光装置100的停机时间能够变短。此外，在上述的结构中，仅将新的第1托盘301推入收纳部120中即可，能够不需要将新的腔装置CH推入收纳部120中。此外，能够抑制由于该推入而引起的新的腔装置CH的位置偏移。

此外，在本实施方式的气体激光装置100的维护方法中，在对腔装置CH和脉冲功率模块143进行更换的情况下，按照每个第1托盘301进行更换。

在上述的结构中，与腔装置CH和脉冲功率模块143分别单独相对于收纳部120进出而被更换的情况相比，更换用的作业工序能够减少，更换时间能够缩短。

此外，在本实施方式的气体激光装置100的维护方法中，在对腔装置CH和脉冲功率模块143进行更换的情况下，将升降器的爪插入到第1托盘301与收纳部120之间的间隙中，通过爪将第1托盘301从收纳部120拉出。

在基于上述的结构的腔装置CH和脉冲功率模块143的更换中，与比较例的腔装置CH和脉冲功率模块143的更换相比，能够不需要脉冲功率模块143相对于腔装置CH的升降。因此，更换时间能够缩短。

此外，在本实施方式的气体激光装置100的维护方法中，在对腔装置CH进行更换的情况下，按照每个第2托盘303进行更换。

在上述的结构中，通过第2托盘303的进出，能够与脉冲功率模块143独立地更换腔装置CH。此外，在基于上述的结构的腔装置CH的更换中，与比较例的腔装置CH的更换相比，能够不需要脉冲功率模块143相对于腔装置CH的升降，更换时间能够缩短。

此外，在本实施方式的气体激光装置100的维护方法中，在对腔装置CH进行更换的情况下，将升降器的爪插入到第1托盘301与第2托盘303之间的间隙中，通过爪将第2托盘303从收纳部120拉出。

在基于上述的结构的腔装置CH的更换中，与比较例的腔装置CH的更换相比，能够不需要脉冲功率模块143相对于腔装置CH的升降，更换时间能够缩短。

以上，以上述实施方式为例进行了说明，但是，本公开不限于此，能够适当地变更。

腔装置CH隔着第2托盘303被配置于第1托盘301的载置面301a，但是，也可以直接被配置于第1托盘301的载置面301a。图11是本实施方式的变形例中的收纳部120的侧视图。在本变形例的气体激光装置100中，定位单元500将腔装置CH相对于第2托盘303进行定位。本变形例的定位单元500的脚部511、513、515是与实施方式的定位单元700的脚部711、713、715相同的结构。本变形例的绝热部件315被配置于腔装置CH的壳体30的底面与第1托盘301的载置面301a之间。绝热部件315为3个，被配置于载置面301a，并且，在各个绝热部件315单独配置有台座521、523、525。在上述的结构中，能够不需要第2托盘303，与使用第2托盘303的情况相比，施加给第1托盘301的重量能够减少，能够不需要将第2托盘303配置于第1托盘301的作业。

此外，在上述的实施方式的定位单元400中，脚部的结构和台座的结构也可以相反。该情况下，也可以在台座421、423、425的上表面设置有半圆球形状的突起，在脚部411的头部设置有凹陷，在脚部413的头部设置有截面为V字状的槽，脚部415的头部成为平面。关于定位单元500、700，脚部的结构和台座的结构也可以相反。此外，在定位单元400中，脚部和台座也可以相反地配置，在第1托盘301的底面配置有台座421、423、425，并且在收纳部120配置有脚部411、413、415。关于定位单元500、700，脚部和台座也可以相反地配置。此外，脚部的头部的形状没有特别限定。

此外，在上述的实施方式中，也可以不配置台座721、723、725，而腔装置CH隔着脚部711、713、715被配置于第2托盘303。此外，在上述的变形例中，也可以不配置台座521、523、525，而腔装置CH隔着脚部511、513、515被配置于第1托盘301。

上述说明不是限制，而是简单的例示。因此，本领域技术人员明白能够在不脱离权利要求书的情况下对本公开的实施方式施加变更。此外，本领域技术人员还明白组合本公开的实施方式进行使用。

只要没有明确记载，则本说明书和权利要求书整体所使用的用语应该解释为“非限定性”用语。例如，“包含”、“有”、“具有”、“具备”等用语应该解释为“不将被记载的结构要素以外的结构要素的存在除外”。此外，修饰词“一个”应该解释为意味着“至少一个”或“一个或一个以上”。此外，“A、B和C中的至少一方”这样的用语应该解释为“A”、“B”、“C”、“A+B”、“A+C”、“B+C”或“A+B+C”，进而，应该解释为还包含它们和“A”、“B”、“C”以外的部分的组合。

Claims (19)

1.一种气体激光装置，其具有：

电压施加电路；

腔装置，其在内部具有电极，射出通过从所述电压施加电路对所述电极施加电压而产生的光；

第1托盘，其包含载置面，所述腔装置和所述电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及

收纳部，所述第1托盘通过在所述载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如。

2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

所述气体激光装置还具有第2托盘，所述第2托盘配置有所述腔装置，并且被配置于所述第1托盘的所述载置面，与所述第1托盘独立地通过在所述面内方向上的移动而相对于所述收纳部进出自如，

所述腔装置隔着所述第2托盘被配置于所述第1托盘的所述载置面。

3.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

所述气体激光装置还具有第1定位单元，所述第1定位单元将所述第1托盘相对于所述收纳部进行定位，

所述第1定位单元具有：

第1脚部、第2脚部和第3脚部，它们被配置于所述第1托盘的底面，并且朝向所述收纳部延伸；以及

第1台座、第2台座和第3台座，它们被配置于所述收纳部，

所述第1脚部被载置于所述第1台座，

所述第2脚部被载置于所述第2台座，与所述第1脚部相比，所述第2脚部容易在所述面内方向中的规定方向上移动，

所述第3脚部被载置于所述第3台座，与所述第1脚部相比，所述第3脚部容易在所述面内方向上移动，并且，与所述第2脚部相比，所述第3脚部容易在所述规定方向以外的方向上移动。

4.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，

在从所述规定方向观察的情况下，所述第2台座的至少一部分与所述第1台座重叠。

5.根据权利要求4所述的气体激光装置，其中，

在俯视观察所述第1台座的情况下，所述第1台座的至少一部分与在所述腔装置的内部行进的所述光的光轴重叠。

6.根据权利要求3所述的气体激光装置，其中，

所述气体激光装置还具有：

第2托盘，其配置有所述腔装置，并且被配置于所述第1托盘的所述载置面，与所述第1托盘独立地通过在所述面内方向上的移动而相对于所述收纳部进出自如；以及

第2定位单元，其将所述第2托盘相对于所述第1托盘进行定位，

所述腔装置隔着所述第2托盘被配置于所述第1托盘的所述载置面，

所述第2定位单元具有：

第4脚部、第5脚部和第6脚部，它们被配置于所述第2托盘的底面，并且朝向所述第1托盘延伸；以及

第4台座、第5台座和第6台座，它们被配置于所述第1托盘的所述载置面，

所述第4脚部被载置于所述第4台座，

所述第5脚部被载置于所述第5台座，与所述第4脚部相比，所述第5脚部容易在所述面内方向中的特定方向上移动，

所述第6脚部被载置于所述第6台座，与所述第4脚部相比，所述第6脚部容易在所述面内方向上移动，并且，与所述第5脚部相比，所述第6脚部容易在所述特定方向以外的方向上移动。

7.根据权利要求6所述的气体激光装置，其中，

在从所述规定方向观察的情况下，所述第2台座的至少一部分与所述第1台座重叠，

在从所述特定方向观察的情况下，所述第5台座的至少一部分与所述第4台座重叠。

8.根据权利要求7所述的气体激光装置，其中，

在俯视观察所述第1台座的情况下，所述第1台座的至少一部分与在所述腔装置的内部行进的所述光的光轴重叠，

在俯视观察所述第4台座的情况下，所述第4台座的至少一部分与在所述腔装置的内部行进的所述光的光轴重叠。

9.根据权利要求8所述的气体激光装置，其中，

在俯视观察所述第4台座的情况下，所述第4台座的至少一部分与所述第1台座重叠。

10.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

所述气体激光装置还具有绝热部件，所述绝热部件被配置于所述腔装置与所述第1托盘之间。

11.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

所述腔装置具有多个脚部，所述多个脚部被配置于所述腔装置的底面，朝向所述第1托盘延伸，在所述面内方向上彼此分开地设置，

在所述腔装置的所述底面与所述第1托盘之间，通过所述多个脚部设置有供冷却介质流动的间隙。

12.根据权利要求1所述的气体激光装置，其中，

所述气体激光装置还具有充电器，在正面观察所述腔装置的情况下，所述充电器在所述第1托盘中与所述腔装置并列地配置。

13.一种气体激光装置的维护方法，其中，

所述气体激光装置具有：

电压施加电路；

腔装置，其在内部具有电极，射出通过从所述电压施加电路对所述电极施加电压而产生的光；

第1托盘，其包含载置面，所述腔装置和所述电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及

收纳部，所述第1托盘通过在所述载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如，

在对所述气体激光装置中的所述腔装置和所述电压施加电路进行更换的情况下，按照每个所述第1托盘进行更换。

14.根据权利要求13所述的气体激光装置的维护方法，其中，

所述第1托盘具有多个脚部，所述多个脚部被配置于所述第1托盘的底面，朝向所述收纳部延伸，在所述面内方向上彼此分开地设置，

在所述第1托盘的所述底面与所述收纳部之间，通过所述多个脚部设置有间隙，

在对所述腔装置和所述电压施加电路进行更换的情况下，将升降器的爪插入到所述间隙中，通过所述爪从所述收纳部拉出所述第1托盘。

15.根据权利要求13所述的气体激光装置的维护方法，其中，

在所述气体激光装置的异常发生时，按照每个所述第1托盘进行更换。

16.根据权利要求13所述的气体激光装置的维护方法，其中，

所述气体激光装置还具有第2托盘，所述第2托盘配置有所述腔装置，并且被配置于所述第1托盘，与所述第1托盘独立地通过在所述面内方向上的移动而相对于所述收纳部进出自如，

所述腔装置隔着所述第2托盘被配置于所述第1托盘的所述载置面，

在对所述腔装置进行更换的情况下，按照每个所述第2托盘进行更换。

17.根据权利要求16所述的气体激光装置的维护方法，其中，

所述第2托盘具有多个脚部，所述多个脚部被配置于所述第2托盘的底面，朝向所述第1托盘延伸，在所述面内方向上彼此分开地设置，

在所述第2托盘的所述底面与所述第1托盘之间，通过所述多个脚部设置有间隙，

在对所述腔装置进行更换的情况下，将升降器的爪插入到所述间隙中，通过所述爪从所述收纳部拉出所述第2托盘。

18.根据权利要求16所述的气体激光装置的维护方法，其中，

在所述腔装置的定期维护时，按照每个所述第2托盘进行更换。

19.一种电子器件的制造方法，其包含以下步骤：

通过气体激光装置生成激光，

将所述激光输出到曝光装置，

在所述曝光装置内在感光基板上曝光所述激光，以制造电子器件，

所述气体激光装置具有：

电压施加电路；

腔装置，其在内部具有电极，射出通过从所述电压施加电路对所述电极施加电压而产生的光；

第1托盘，其包含载置面，所述腔装置和所述电压施加电路彼此并列地配置于该载置面；以及

收纳部，所述第1托盘通过在所述载置面的面内方向上的移动而相对于该收纳部进出自如。