JP6871995B2 - レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Description

本開示は、レーザ装置及び非一過性のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。

半導体集積回路の微細化、高集積化につれて、半導体露光装置においては解像力の向上が要請されている。半導体露光装置を以下、単に「露光装置」という。このため露光用光源から出力される光の短波長化が進められている。露光用光源には、従来の水銀ランプに代わってガスレーザ装置が用いられている。現在、露光用のガスレーザ装置としては、波長２４８ｎｍの紫外線を出力するＫｒＦエキシマレーザ装置ならびに、波長１９３ｎｍの紫外線を出力するＡｒＦエキシマレーザ装置が用いられている。

現在の露光技術としては、露光装置側の投影レンズとウエハ間の間隙を液体で満たして、当該間隙の屈折率を変えることによって、露光用光源の見かけの波長を短波長化する液浸露光が実用化されている。ＡｒＦエキシマレーザ装置を露光用光源として用いて液浸露光が行われた場合は、ウエハには水中における波長１３４ｎｍの紫外光が照射される。この技術をＡｒＦ液浸露光という。ＡｒＦ液浸露光はＡｒＦ液浸リソグラフィーとも呼ばれる。

ＫｒＦ、ＡｒＦエキシマレーザ装置の自然発振におけるスペクトル線幅は約３５０〜４００ｐｍと広いため、露光装置側の投影レンズによってウエハ上に縮小投影されるレーザ光（紫外線光）の色収差が発生して解像力が低下する。そこで色収差が無視できる程度となるまでガスレーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル線幅を狭帯域化する必要がある。スペクトル線幅はスペクトル幅とも呼ばれる。このためガスレーザ装置のレーザ共振器内には狭帯域化素子を有する狭帯域化モジュール（Ｌｉｎｅ Ｎａｒｒｏｗ Ｍｏｄｕｌｅ）が設けられ、この狭帯域化モジュールによりスペクトル幅の狭帯域化が実現されている。なお、狭帯域化素子はエタロンやグレーティング等であってもよい。このようにスペクトル幅が狭帯域化されたレーザ装置を狭帯域化レーザ装置という。

特許第３７７３８５８号公報 米国特許第６９７３１１１号 特表２０１０−５１９７８２号公報 米国特許第７８３５４１４号公報 米国特許出願公開第２０１３／０１００９８０号 米国特許第６７３５２３６号

概要

本開示の一実施形態に係る放電励起式ガスレーザ装置は、クロスフローファンにより一対の電極の間にレーザガスを供給し、充電器を用いて前記一対の電極に電圧を印加することでレーザ発振する放電励起式ガスレーザ装置であって、レーザ発振の停止時間が第１の所定停止時間より大きい場合、前記充電器による電圧の印加を停止し、前記停止時間が前記第１の所定停止時間より大きい第２の所定停止時間よりさらに大きい場合、前記クロスフローファンを回転させるモータを停止するように構成されてもよい。

本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。

図において、点線の矢印は、信号の入力及び出力の少なくとも一つを意味する。図において、実線の矢印は、物質の移動又は光の進行を意味する。
図１Ａは、半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置の構成の全体を例示する図である。 図１Ｂは、半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置の構成の一部を例示する図である。 図２は、半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置の動作を例示する図である。 図３は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の概略的な構成を例示する図である。 図４は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の電力系統の構成を例示する図である。 図５は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の冷却系統の構成を例示する図である。 図６は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置のパージガス系統の構成を例示する図である。 図７は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置のレーザガス系統の構成を例示する図である。 図８は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置のベンチレーション系統の構成を例示する図である。 図９は、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えたレーザ装置の消費電力量を算出する方法を例示する図である。 図１０Ａは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置に含まれるモータの消費電力量を算出する方法を例示する図である。 図１０Ｂは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置に含まれる充電器の消費電力量を算出する方法を例示する図である。 図１０Ｃは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置に含まれるレーザ制御部及び他のデバイスの消費電力量を算出する方法を例示する図である。 図１０Ｄは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置の全体の消費電力量を算出する方法を例示する図である。 図１１は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における冷却水の消費量を算出する方法を例示する図である。 図１２は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量を算出する方法を例示する図である。 図１３Ａは、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における狭帯域化モジュールに供給されるヘリウムガスの消費量を算出する方法を例示する図である。 図１３Ｂは、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるチャンバに供給されるヘリウムガスの消費量を算出する方法を例示する図である。 図１３Ｃは、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置に供給されるヘリウムガスの消費量を算出する方法を例示する図である。 図１４は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置に供給されるレーザガスの消費量を算出する方法を例示する図である。 図１５は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるベンチレーションによる空気の消費量を算出する方法を例示する図である。 図１６は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるレーザガスの条件に依存する省エネルギ化のための動作を例示する図である。 図１７は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるレーザガスの全圧と充電電圧及びエネルギ分散との間の関係性を例示する図である。 図１８は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置においてレーザガスの全圧の増加によって通常モードから省エネルギモードに変更するサブルーチンを例示する図である。 図１９は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるレーザガスにおけるフッ素ガスの分圧と充電電圧及びエネルギ分散との間の関係性を例示する図である。 図２０は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置においてレーザガスにおけるフッ素ガスの分圧の増加によって通常モードから省エネルギモードに変更するサブルーチンを例示する図である。 図２１は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における停止時間に依存する省エネルギ化及び省資源化のための動作を例示する図である。 図２２は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における停止時間のモニタリングによる省エネルギ化及び省資源化のための動作を例示する図である。 図２３は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における冷却水の消費量を低減するための動作を例示する図である。 図２４は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるベンチレーションによる空気の消費量を低減する構成を例示する図である。 図２５は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の構成を例示する図である。 図２６は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の電力系統の構成を例示する図である。 図２７は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の冷却系統の構成を例示する図である。 図２８は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置におけるベンチレーションによる空気の消費量を低減する構成を例示する図である。 図２９は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置のパージガス系統の構成を例示する図である。 図３０Ａは、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度及び窒素ガスを供給する時間の間の関係性を例示する図である。 図３０Ｂは、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量を低減する方法の第一の例を例示する図である。 図３０Ｃは、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量を低減する方法の第二の例を例示する図である。 図３１は、本開示の実施形態におけるパルスパワーモジュールを例示する図である。 図３２は、本開示の実施形態における制御部を例示する図である。 図３３は、本開示の実施形態に係るコンピュータ読み取り可能な記録媒体を例示する図である。

実施形態

内容
１．概要
２．レーザ装置
２．１ レーザ装置の構成
２．２ レーザ装置の動作
２．３ レーザ装置の課題
３．本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置
３．１ 本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の構成
３．２ 本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の動作
３．３ 本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における省エネルギ及び省資源
４．本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置
４．１ 本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の構成及び動作
４．２ 本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における省エネルギ及び省資源
５．その他
５．１ パルスパワーモジュール
５．２ 制御部（コントローラ）
５．３ コンピュータ読み取り可能な記録媒体
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示の一例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成及び動作の全てが本開示の構成及び動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。

１．概要
本開示の実施形態は、レーザ装置に関するものであってもよい。本開示の実施形態は、省エネルギ又は省資源のためのシステムを備えたレーザ装置に関するものであってもよい。

本開示の実施形態に係るレーザ装置は、露光用レーザ装置であってもよい。露光用レーザ装置は、半導体露光装置用のレーザ装置であってもよい。

本開示の実施形態に係るレーザ装置は、放電励起式ガスレーザ装置であってもよい。放電励起式ガスレーザ装置は、レーザ発振のために、チャンバの中に配置された一対の電極に所定の電圧を印加することによってチャンバに供給されるレーザガスを放電及び励起する装置であってもよい。

レーザ装置においては、エネルギの消費及び資源の消費が起こってもよい。放電励起式ガスレーザ装置におけるエネルギの消費は、レーザ装置に含まれてもよい充電器及びクロスフローファンモータのための電力の消費を含んでもよい。放電励起式ガスレーザ装置における資源の消費は、レーザガスの消費、パージガスの消費、冷却水の消費、及び排気の消費を含んでもよい。レーザガスの消費は、アルゴン（Ａｒ）及びネオン（Ｎｅ）の混合ガスの消費、並びに、フッ素（Ｆ₂）、アルゴン（Ａｒ）、及びネオン（Ｎｅ）の混合ガスの消費を含んでもよい。レーザガスの消費は、クリプトン（Ｋｒ）及びネオン（Ｎｅ）の混合ガスの消費、並びに、フッ素（Ｆ₂）、クリプトン（Ｋｒ）、及びネオン（Ｎｅ）の混合ガスの消費を含んでもよい。パージガスの消費は、窒素（Ｎ₂）ガスの消費及びヘリウム（Ｈｅ）ガスの消費を含んでもよい。冷却水の消費は、レーザ装置に含まれる充電器、パルスパワーモジュール（ＰＰＭ）、及びチャンバに含まれる熱交換器を冷却するための水の消費を含んでもよい。排気の消費は、ベンチレーションのための排気の消費を含んでもよい。

レーザ装置は、レーザ装置におけるエネルギの消費の量及び資源の消費の量をモニタすると共にディスプレイに表示するように構成されてもよい。ディスプレイは、レーザ装置の内部に含まれるディスプレイであってもよく、レーザ装置の外部に設けられたディスプレイであってもよい。放電励起式ガスレーザ装置は、電力、レーザガス、パージガス、冷却水、排気の消費の量をモニタすると共にディスプレイに表示するように構成されてもよい。

レーザ装置は、レーザ装置におけるエネルギの消費及び資源の消費の量を低減するように構成されたシステムを含んでもよい。

レーザ装置におけるエネルギの消費量及び資源の消費量を表示する又は算出する方法は、コンピュータプログラムの形態でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。レーザ装置におけるエネルギの消費量及び資源の消費量を低減する方法は、コンピュータプログラムの形態でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録されてもよい。

２．レーザ装置
２．１ レーザ装置の構成
図１Ａは、半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置の構成の全体を例示する図である。図１Ｂは、半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置の構成の一部を例示する図である。

放電励起式ガスレーザ装置であるレーザ装置１０００は、半導体露光装置２０００と共に使用されてもよい。レーザ装置１０００から放出されたレーザ光は、半導体露光装置２０００へ入射してもよい。半導体露光装置２０００は、露光装置制御部２０１０を含んでもよい。露光装置制御部２０１０は、半導体露光装置２０００を制御するように構成されてもよい。

レーザ装置１０００は、筺体１００を含んでもよい。筐体１００には、ベンチレーションポート１１０及びレーザ射出ウィンドウ１２０が設けられてもよい。レーザ装置１０００は、筐体１００内に、チャンバ２００、狭帯域化モジュール（ＬＮＭ）３００、出力結合ミラー（ＯＣ）４００、エネルギモニタ５００、充電器６００、及びパルスパワーモジュール（ＰＰＭ）７００を含んでもよい。

レーザ装置１０００は、筐体１００内に、レーザ制御部８００、レーザガス供給装置９１０、パージガス供給装置９２０、及び排気装置９３０を含んでもよい。

チャンバ２００は、第一のウィンドウ２１０、第二のウィンドウ２２０、クロスフローファン（ＣＣＦ）２３０、モータ２４０、一対の電極２５０ａ及び２５０ｂ、電気絶縁体２６０、圧力センサ２７０、及び熱交換器（不図示）を含んでもよい。

狭帯域化モジュール３００は、二個のプリズムビームエキスパンダ３１０及びグレーティング３２０を含んでもよい。

エネルギモニタ５００は、ビームスプリッタ５１０及びパルスエネルギセンサ５２０を含んでもよい。

パルスパワーモジュール７００は、半導体スイッチ７１０及びパルス圧縮回路（不図示）を含んでもよい。

クロスフローファン２３０は、一対の電極２５０ａ及び２５０ｂの間にレーザガスを供給するように構成されてもよい。クロスフローファン２３０は、チャンバ２００内に供給されたレーザガスを循環させるように構成されてもよい。モータ２４０は、クロスフローファン２３０を回転させるように構成されたものであってもよい。

パルスパワーモジュール７００は、チャンバ２００に含まれる電気絶縁体２６０のフィードスルーを通じて第一の電極２５０ａと接続されてもよい。パルスパワーモジュール７００は、第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間にパルス電圧を印加するように構成されてもよい。

出力結合ミラー４００は、部分反射ミラーであってもよい。狭帯域化モジュール３００及び出力結合ミラー４００は、レーザ装置１０００の光共振器を構成するように配置されてもよい。チャンバ２００は、光共振器の光路上に配置されてもよい。

狭帯域化モジュール３００に含まれる二個のプリズムビームエキスパンダ３１０は、チャンバ２００に設けられた第二のウィンドウ２２０を通過するレーザ光のビーム径を拡大してもよい。第二のウィンドウ２２０を通過するレーザ光は、狭帯域化モジュール３００に含まれるグレーティング３２０に入射してもよい。グレーティング３２０は、レーザ光の波長を選択するように構成されてもよい。グレーティング３２０は、レーザ光の回折角がレーザ光の入射角と一致するようなリトロー配置に設けられてもよい。

エネルギモニタ５００に含まれるビームスプリッタ５１０は、光共振器の光路上に設けられてもよい。ビームスプリッタ５１０は、ビームスプリッタ５１０を透過するレーザ光の一部が、レーザ射出ウィンドウ１２０を通じて出力されるように配置されてもよい。ビームスプリッタ５１０は、ビームスプリッタ５１０から反射されたレーザ光の一部が、エネルギモニタ５００に含まれるパルスエネルギセンサ５２０に入射するように配置されてもよい。パルスエネルギセンサ５２０は、レーザ光のパルスエネルギを計測するように構成されてもよい。

チャンバ２００及び狭帯域化モジュール３００は、管によって接続されてもよい。チャンバ２００及びエネルギモニタ５００は、管によって接続されてもよい。エネルギモニタ５００及びレーザ射出ウィンドウ１２０は、管によって接続されてもよい。

レーザガス供給装置９１０は、レーザ装置１０００の外部に設けられた第一のガスボンベ３０１０及び第二のガスボンベ３０２０の各々と配管で接続されてもよい。第一のガスボンベ３０１０は、ハロゲンガスを含むレーザガスを含んでもよい。ハロゲンガスを含むレーザガスは、例えば、フッ素（Ｆ₂）、アルゴン（Ａｒ）、及びネオン（Ｎｅ）の混合ガスであってもよい。第二のガスボンベ３０２０は、ハロゲンガスを含まないレーザガスを含んでもよい。ハロゲンガスを含まないレーザガスは、例えば、アルゴン（Ａｒ）及びネオン（Ｎｅ）の混合ガスであってもよい。レーザガス供給装置９１０及びチャンバ２００は、配管によって接続されてもよい。レーザガス供給装置９１０は、バルブ（不図示）及び流量調節弁（不図示）を含んでもよい。レーザガス供給装置９１０は、第一のガスボンベ３０１０からのレーザガス及び第二のガスボンベからのレーザガスをチャンバ２００へ供給するように構成されてもよい。

パージガス供給装置９２０は、レーザ装置１０００の外部に設けられた第三のガスボンベ３０３０と配管で接続されてもよい。第三のガスボンベ３０３０は、パージガスを含んでもよい。パージガスは、例えば、窒素（Ｎ₂）ガス及びヘリウム（Ｈｅ）ガスの少なくとも一つであってもよい。パージガス供給装置９２０及び狭帯域化モジュール３００は、配管によって接続されてもよい。パージガス供給装置９２０及びエネルギモニタ５００は、配管によって接続されてもよい。パージガス供給装置９２０は、バルブ（不図示）及び流量調節弁（不図示）を含んでもよい。パージガス供給装置９２０は、第三のガスボンベ３０３０からのパージガスを狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００へ供給するように構成されてもよい。

排気装置９３０は、配管によってチャンバ２００と接続されてもよい。排気装置９００は、チャンバ２００内のレーザガスの少なくとも一部分をチャンバ２００から排気するように構成されてもよい。排気装置９３０は、排気ポンプ（不図示）及びハロゲンを除去するハロゲンフィルタ（不図示）を含んでもよい。排気装置９３０は、筺体１００内へレーザガスを排気してもよい。

２．２ レーザ装置の動作
図２は、半導体露光装置用の放電励起式ガスレーザ装置の動作を例示する図である。

ステップＳ１０１において、レーザ制御部８００は、パージガス供給装置９２０を通じて、狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００へパージガスを供給してもよい。狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００へパージガスを供給することによって、狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００に含まれる光学素子の汚染が抑制されてもよい。

ステップＳ１０２において、レーザ制御部８００は、配管（不図示）のバルブを開いてレーザ装置８００に冷却水を供給してもよい。

ステップＳ１０３において、レーザ制御部８００は、排気装置９３０を通じてチャンバ２００内にあるレーザガスを排気すると共に、レーザガス供給装置９１０を通じてレーザガスをチャンバ２００内に供給してもよい。アルゴン及びネオンの混合ガス並びにフッ素、アルゴン、及びネオンの混合ガスを使用することによって、レーザガスの所望の組成及び全圧となるように、レーザガスは、チャンバ２００内に供給されてもよい。

ステップＳ１０４において、レーザ制御部８００は、モータ２４０を使用することによってクロスフローファン２３０を回転させてもよい。クロスフローファン２３０を回転させることによって、第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間にレーザガスを供給してもよい。

ステップＳ１０５において、レーザ制御部８００は、充電器６００に印加する充電電圧Ｖｈｖを初期値Ｖｈｖ０に設定してもよい。

ステップＳ１０６において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ光の目標パルスエネルギＥｔを受信してもよい。レーザ制御部８００は、レーザ光のパルスエネルギがＥｔとなるように、充電電圧Ｖｈｖのデータを充電器６００に送信してもよい。

ステップＳ１０７において、充電器６００は、パルスパワーモジュール７００に充電電圧Ｖｈｖを印加してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ制御部８００へトリガＴｒが出力されると、露光装置制御部２０１０から出力されたトリガＴｒに同期して、レーザ制御部８００からトリガＴｒがパルスパワーモジュール７００の半導体スイッチ７１０に入力されてもよい。半導体スイッチ７１０がオンされると、パルスパワーモジュール７００に含まれる磁気圧縮回路によって電流パルスが圧縮され、所定のパルス電圧が第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加され得る。その結果、第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間でパルス放電が起こり、レーザガスが励起され得る。出力結合ミラー４００及びグレーティング３２０を含む光共振器によって、レーザ光の線幅を狭くすると共に、パルスレーザ光が出力結合ミラー４００から出力され得る。出力結合ミラー４００から出力されたパルスレーザ光はエネルギモニタ５００に入射し得る。このようにして、レーザ装置１０００は、レーザ発振を行ってもよい。

ステップＳ１０８において、エネルギモニタ５００に入射するパルスレーザ光の一部は、ビームスプリッタ５１０によって反射されてもよい。ビームスプリッタ５１０から反射されたパルスレーザ光のパルスエネルギＥは、パルスエネルギセンサ５２０によって計測されてもよい。パルスレーザ光の計測されたパルスエネルギＥのデータは、レーザ制御部８００に送信されてもよい。

ステップＳ１０９において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０から受信された目標パルスエネルギＥｔ及びパルスエネルギセンサ５２０によって計測されたパルスエネルギＥの間の差ΔＥ＝Ｅ−Ｅｔを算出してもよい。

ステップＳ１１０において、レーザ制御部８００は、ステップＳ１０９において得られたΔＥを使用することによって、充電器６に送信する次回の充電電圧Ｖｈｖ'を算出してもよい。充電器６に送信する次回の充電電圧Ｖｈｖ'は、Ｖｈｖ'＝Ｖｈｖ−ｋ・ΔＥの式を使用することによって算出されてもよく、ｋは、比例定数であってもよい。

ステップＳ１１１において、レーザ制御部８００は、充電器６００に次回の充電電圧Ｖｈｖ'を送信してもよい。このようにレーザ制御部８００は、充電器６００に送信する充電電圧Ｖｈｖを制御することによって、パルスエネルギＥを目標パルスエネルギＥｔに安定化し得る。

ステップＳ１１２において、レーザ発振を終了する場合には、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０００の制御を終了する。レーザ発振を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１０６に進んでもよい。レーザ制御部８００が次の目標パルスエネルギＥｔを受信すると共にレーザ制御部８００へトリガＴｒが入力されるごとに、レーザ装置１０００は、放電によってトリガＴｒに同期してパルスレーザ光を出力してもよい。

このように放電によるパルスレーザ光の出力を繰り返すと、レーザガス中のフッ素ガスが消費されると共に不純物ガスが生成し得る。レーザ制御部８００は、消費されたフッ素ガスを補充すると共にレーザガス中の不純物ガスの濃度を制御するように、レーザガス供給装置９１０及び排気装置９３０を制御してもよい。排気装置９３０を通じて排気されるレーザガス中のフッ素ガスは、排気装置９３０に設けられたハロゲンフィルタ（不図示）によって除去されてもよい。フッ素ガスが除去されたレーザガスは、排気装置９３０を通じて筐体１００内に排気されてもよい。筐体１００内に排気されたレーザガスは、ベンチレーションポート１１０及びベンチレーションポート１１０に接続された配管を通じて、レーザ装置１０００の外部へ排気されてもよい。

２．３ レーザ装置の課題
レーザ装置１０００においては、エネルギの消費及び資源の消費が起こり得る。レーザ装置１０００において消費されるエネルギは、充電器６００によって消費される電力、クロスフローファン２３０によって消費される電力、及びレーザ装置１００の待機電力のような電力を含んでもよい。レーザ装置１０００において消費される資源は、アルゴン及びネオンの混合ガス並びにフッ素、アルゴン、及びネオンの混合ガスのようなレーザガス、並びに、窒素ガス又はヘリウムガスのようなパージガスを含んでもよい。レーザ装置１０００において消費される資源は、チャンバ２００に含まれる熱交換器並びにレーザ装置１０００に含まれる充電器６００及びパルスパワーモジュール７００用の冷却水のような、レーザ装置１０００用の冷却水を含んでもよい。レーザ装置１０００において消費される資源は、レーザ装置１０００のベンチレーションによる排気を含んでもよい。

レーザ装置１０００は、レーザ装置１０００における省エネルギのために、レーザ装置１０００（の主要な構成要素）において消費される電力を計測してもよい。レーザ装置１０００は、レーザ装置１０００における省資源のために、レーザ装置１０００において消費される各種類のレーザガスの量を計測してもよい。レーザ装置１０００は、レーザ装置１０００における省資源のために、レーザ装置１０００において消費される各種類のパージガスの量を計測してもよい。レーザ装置１０００は、レーザ装置１０００における省資源のために、レーザ装置１０００（の主要な構成要素）の冷却のために消費される冷却水の量を計測してもよい。レーザ装置１０００は、レーザ装置１０００における省資源のために、レーザ装置１０００のベンチレーションによって消費される排気の量を計測してもよい。

３．本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置
３．１ 本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の構成
図３は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の概略的な構成を例示する図である。図１に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図３に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図２に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図３に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

図３に例示するレーザ装置１０１０は、筐体１００内にレーザ制御部８００に加えてガス制御部８１０を含んでもよい。ガス制御部８１０は、レーザ制御部８００と接続されてもよい。ガス制御部８１０は、レーザガス供給装置９１０及び排気装置９３０と接続されてもよい。レーザ制御部８００は、パージガス供給装置９２０と接続されてもよい。レーザガス供給装置９１０は、ガス制御部８１０を通じてレーザ制御部８００によって制御されてもよい。パージガス供給装置９２０は、レーザ制御部８００によって制御されてもよい。パージガス供給装置９２０は、ガス制御部８１０を通じてレーザ制御部８００と接続されてもよい。排気装置９３０は、ガス制御部８１０を通じてレーザ制御部８００と接続されてもよい。

図３に例示するレーザ装置１０１０は、図１に例示する第三のガスボンベ３０３０に代えて、第四のガスボンベ３０４０及び第五のガスボンベ３０５０を含んでもよい。第四のガスボンベ３０４０は、窒素ガスのような第一のパージガスを含んでもよい。第五のガスボンベ３０５０は、第一のパージガスとは異なる、ヘリウムガスのような第二のパージガスを含んでもよい。第四のガスボンベ３０４０は、配管を通じてパージガス供給装置９２０に接続されてもよい。第五のガスボンベ３０５０は、配管を通じてレーザガス供給装置９１０及びパージガス供給装置９２０に接続されてもよい。第四のガスボンベ３０４０から狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００への第一のパージガスの供給は、パージガス供給装置９２０によって制御されてもよい。第五のガスボンベ３０５０からチャンバ２００及びエネルギモニタ５００への第二のパージガスの供給は、レーザガス供給装置９１０によって制御されてもよい。

レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の外部に設けられたインターネット回線４０１０、ユーザインターフェース４０２０、及びＦａｕｌｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ＆Ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ（ＦＤＣ）システム４０３０に接続されてもよい。レーザ制御部８００によって受信されたデータは、インターネット回線４０１０を通じてコンピュータに送信されてもよい。コンピュータからインターネット回線４０１０を通じてレーザ制御部８００へデータを送信してもよい。ユーザインターフェース４０２０は、レーザ制御部８００によって受信されたデータを表示するディスプレイの機能を含んでもよい。ユーザインターフェース４０２０には、レーザ制御部８００に送信するデータが入力されてもよい。Ｆａｕｌｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ＆Ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ（ＦＤＣ）システム４０３０は、レーザ装置１０１０及び半導体露光装置２０００の少なくとも一つの状態をモニタする機能を含んでもよい。ＦＤＣシステム４０３０は、レーザ装置１０１０の異常が検出された場合に、検出された異常を統計的に処理すると共に検出された異常の種類を分類してもよい。レーザ制御部８００によって受信されたデータは、ＦＤＣシステム４０３０へ送信されてもよい。

図４は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の電力系統の構成を例示する図である。図３に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図４に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図３に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図４に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０１０の電力系統については、モータ２４０、充電器６００、レーザ制御部８００、及び他のデバイス８２０が、電源（不図示）に接続されてもよい。他のデバイス８２０は、ガス制御部８１０のような制御部、及びレーザ装置１０１０の待機中に電力を保持するシステムを含んでもよい。モータ２４０、充電器６００、レーザ制御部８００、及び他のデバイス８２０には、電源から電力が供給されてもよい。電源からモータ２４０、充電器６００、レーザ制御部８００、及び他のデバイス８２０に供給される電力は、電力計５０１０によって計測されてもよい。この電力は、レーザ制御部８００によって算出されてもよい。この電力は、レーザ制御部８００によって制御されてもよい。

図５は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の冷却系統の構成を例示する図である。図３に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図５に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図３に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図５に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０１０の冷却系統については、モータ２４０、チャンバ２００内に設けられた熱交換器２８０、充電器６００、及びパルスパワーモジュール７００が、配管を通じて冷却水タンク（不図示）に接続されてもよい。モータ２４０、チャンバ２００内に設けられた熱交換器２８０、充電器６００、及びパルスパワーモジュール７００には、冷却水タンクから配管を通じて冷却水が供給されてもよい。モータ２４０、熱交換器２８０、充電器６００、及びパルスパワーモジュール７００は、冷却水によって冷却されてもよい。モータ２４０、チャンバ２００内に設けられた熱交換器２８０、充電器６００、及びパルスパワーモジュール７００に供給された冷却水は、配管を通じて冷却水タンクに戻されてもよい。モータ２４０、チャンバ２００内に設けられた熱交換器２８０、充電器６００、及びパルスパワーモジュール７００に供給される冷却水の流量は、配管に設けられた流量調節バルブＶｗによって調節されてもよい。流量調節バルブＶｗは、レーザ制御部８００によって制御されてもよい。充電器６００を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ１によって計測されてもよい。パルスパワーモジュール７００を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ２によって計測されてもよい。熱交換器２８０を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ３によって計測されてもよい。モータ２４０を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ４によって計測されてもよい。流量計Ｆ１、流量計Ｆ２、流量計Ｆ３、及び流量計Ｆ４によって計測された冷却水の流量は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。

図６は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置のパージガス系統の構成を例示する図である。図３に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図６に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図３に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図６に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０１０のパージガス系統については、窒素ガスを含む第四のガスボンベ３０４０及びヘリウムガスを含む第五のガスボンベ３０５０が配管を通じてパージガス供給装置９２０に接続されてもよい。窒素ガスを含む第四のガスボンベ３０４０は、パージガス供給装置９２０を通じてエネルギモニタ５００に窒素ガスを供給するように、エネルギモニタ５００に接続されてもよい。エネルギモニタ５００に含まれる光学素子は、窒素ガスによってクリーニングされてもよい。ヘリウムガスを含む第五のガスボンベ３０５０は、パージガス供給装置９２０を通じて狭帯域化モジュール３００にヘリウムガスを供給するように、狭帯域化モジュール３００に接続されてもよい。狭帯域化モジュール３００に含まれる光学素子は、ヘリウムガスによってクリーニングされてもよい。

パージガス供給装置９２０において、第四のガスボンベ３０４０及びエネルギモニタ５００を接続する配管に、窒素ガス流量計Ｆ_N2、窒素ガス流量調節バルブＶＡ_N2、及び窒素ガス系統動作バルブＶＯ_N2が設けられてもよい。エネルギモニタ５００に供給される窒素ガスの流量は、窒素ガス流量計Ｆ_N2によって計測されてもよい。エネルギモニタ５００に供給される窒素ガスの流量は、窒素ガス流量調節バルブＶＡ_N2によって調節されてもよい。第四のガスボンベ３０４０からエネルギモニタ５００への窒素ガスの供給は、窒素ガス系統動作バルブＶＯ_N2によって開始又は停止されてもよい。窒素ガス流量計Ｆ_N2は、レーザ制御部８００に接続されると共に、窒素ガス流量計Ｆ_N2によって計測された窒素ガスの流量は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。窒素ガス系統動作バルブＶＯ_N2は、レーザ制御部８００に接続されると共にレーザ制御部８００によって制御されてもよい。

パージガス供給装置９２０において、第五のガスボンベ３０５０及び狭帯域化モジュール３００を接続する配管に、ヘリウムガス流量計Ｆ_He、ヘリウムガス流量調節バルブＶＡ_He、及びヘリウムガス系統動作バルブＶＯ_Heが設けられてもよい。狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量は、ヘリウムガス流量計Ｆ_Heによって計測されてもよい。狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量は、ヘリウムガス流量調節バルブＶＡ_Heによって調節されてもよい。第五のガスボンベ３０５０から狭帯域化モジュール３００へのヘリウムガスの供給は、ヘリウムガス系統動作バルブＶＯ_Heによって開始又は停止されてもよい。ヘリウムガス流量計Ｆ_Heは、レーザ制御部８００に接続されると共に、ヘリウムガス流量計Ｆ_Heによって計測されたヘリウムガスの流量は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。ヘリウムガス系統動作バルブＶＯ_Heは、レーザ制御部８００に接続されると共にレーザ制御部８００によって制御されてもよい。

図７は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置のレーザガス系統の構成を例示する図である。図３に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図７に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図３に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図７に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０１０のレーザガス系統については、第一のガスボンベ３０１０、第二のガスボンベ３０２０、及び第五のガスボンベ３０５０が配管を通じてレーザガス供給装置９１０に接続されてもよい。第一のガスボンベ３０１０は、フッ素、アルゴン、及びネオンの混合ガスを含んでもよい。第二のガスボンベ３０２０は、アルゴン及びネオンの混合ガスを含んでもよい。第五のガスボンベ３０５０は、ヘリウムガスを含んでもよい。第一のガスボンベ３０１０、第二のガスボンベ３０２０、及び第五のガスボンベ３０５０は、レーザガス供給装置９１０を通じてチャンバ２００に接続されてもよい。

レーザガス供給装置９１０において、第一のガスボンベ３０４０及びチャンバ２００を接続する配管に、ガス系統動作バルブが設けられてもよい。第一のガスボンベ３０４０からチャンバ２００へのフッ素、アルゴン、及びネオンの混合ガスの供給は、第一のガスボンベ３０４０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブによって開始又は停止されてもよい。第一のガスボンベ３０４０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブは、ガス制御部８１０によって制御されてもよい。

レーザガス供給装置９１０において、第二のガスボンベ３０２０及びチャンバ２００を接続する配管に、ガス系統動作バルブが設けられてもよい。第二のガスボンベ３０２０からチャンバ２００へのアルゴン及びネオンの混合ガスの供給は、第二のガスボンベ３０２０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブによって開始又は停止されてもよい。第二のガスボンベ３０２０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブは、ガス制御部８１０によって制御されてもよい。

レーザガス供給装置９１０において、第五のガスボンベ３０５０及びチャンバ２００を接続する配管に、ガス系統動作バルブが設けられてもよい。第五のガスボンベ３０５０からチャンバ２００へのヘリウムガスの供給は、第五のガスボンベ３０５０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブによって開始又は停止されてもよい。第五のガスボンベ３０５０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブは、ガス制御部８１０によって制御されてもよい。

レーザ装置１０１０のレーザガス系統については、排気装置９３０は、配管を通じてチャンバ２００に接続されてもよい。排気装置９３０は、レーザガスが配管を通じて筐体１００の内部に放出されるように、設けられてもよい。

排気装置９３０において、チャンバ２００に接続する配管にガス系統動作バルブが設けられてもよい。チャンバ２００から筐体１００の内部へのレーザガスの排気は、チャンバ２００に接続する配管に設けられたガス系統動作バルブによって開始又は停止されてもよい。チャンバ２００に接続する配管に設けられたガス系統動作バルブは、ガス制御部８１０によって制御されてもよい。

排気装置９３０において、チャンバ２００に接続する配管に真空ポンプ９４０が設けられてもよい。真空ポンプ９４０は、チャンバ２００からチャンバ２００に接続する配管を通じてチャンバ２００の外へ、チャンバ２００内のレーザガスを排気するように構成されてもよい。真空ポンプ９４０は、チャンバ２００に接続する配管に設けられたガス系統動作バルブの下流に設けられてもよい。真空ポンプ９４０の動作は、ガス制御部８１０によって制御されてもよい。

排気装置９３０において、チャンバ２００に接続する配管にフッ素ガストラップ９５０が設けられてもよい。フッ素ガストラップ９５０は、チャンバ２００からのレーザガスに含まれるフッ素を捕捉するように構成されてもよい。フッ素ガストラップ９５０によって排気装置９３０から筐体１００の内部にフッ素が除去されたレーザガスが放出されてもよい。フッ素ガストラップ９５０は、チャンバ２００に接続する配管に設けられたガス系統動作バルブ及び真空ポンプ９４０の間に設けられてもよい。

図８は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置のベンチレーション系統の構成を例示する図である。図３に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図８に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図３に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図８に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０１０のベンチレーション系統については、筐体１００に第一の吸気口１３０及び第二の吸気口１４０が設けられてもよい。筐体１００の外部から第一の吸気口１３０及び第二の吸気口１４０を通じて筐体１００の内部へ空気が導入されてもよい。筐体の内部１００に設けられた素子は、筐体１００の内部へ導入された空気によって冷却されてもよい。筐体１００の内部へ導入された空気は、ベンチレーションポート１１０を通じて筐体１００の外部へ放出されてもよい。筐体１００の内部に風速センサ１５０が設けられてもよい。風速センサ１５０は、ベンチレーションポート１１０を通過する空気の風速を計測するように設けられてもよい。風速センサ１５０は、レーザ制御部８００に接続されてもよい。風速センサ１５０によって計測された空気の風速のデータは、レーザ制御部８００に送信されてもよい。

３．２ 本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置の動作
図９は、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えたレーザ装置の消費電力量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ２０１において、レーザ制御部８００は、消費電力量Ｗｈ（０）に初期値０を代入してもよい。

ステップＳ２０２において、レーザ制御部８００は、電力計５０１０によって、電源からモータ２４０、充電器６００、レーザ制御部８００及び他のデバイス８２０に供給される、時間０（時間Ｔ＝０）における電力Ｅｗ（０）を計測してもよい。

ステップＳ２０３において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ２０４において、レーザ制御部８００は、タイマで計測された時間Ｔが、所定の値Ｔｃ以上であるか否かについて判断をしてもよい。所定の値Ｔｃは、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈの計測の周期であってもよい。Ｔｃは、例えば、（１／３６００）時間以上（１／６０）時間以下であってもよい。時間ＴがＴｃ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ２０５に進んでもよい。時間ＴがＴｃ未満である場合には、ステップＳ２０４を繰り返してもよい。

ステップＳ２０５において、レーザ制御部８００は、電力計５０１０によって、電源からモータ２４０、充電器６００、レーザ制御部８００及び他のデバイス８２０に供給される、時間Ｔ（≧Ｔｃ）における電力Ｅｗ（Ｔ）を計測してもよい。

ステップＳ２０６において、レーザ制御部８００は、電力計５０１０によって計測されたＥｗ（Ｔ）等に基づいて、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈ（Ｔ）を算出してもよい。時間０からＴまでの間に電力がＥｗ（０）からＥｗ（Ｔ）まで線形に変動することを仮定してもよい。レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈ（Ｔ）は、Ｗｈ（Ｔ）＝｛Ｅｗ（Ｔ）＋Ｅｗ（０）｝（Ｔ／２）＋Ｗｈ（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ２０７において、レーザ制御部８００は、算出された消費電力量Ｗｈ（Ｔ）をユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示してもよい。

ステップＳ２０８において、レーザ制御部８００は、消費電力量Ｗｈ（Ｔ）の積算値を得るために、Ｅｗ（０）にＥｗ（Ｔ）の値を代入すると共にＷｈ（０）にＷｈ（Ｔ）の値を代入してもよい。

ステップＳ２０９において、レーザ制御部８００は、消費電力量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。消費電力量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ２０３に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０の消費電力量が算出されてもよい。

図１０Ａは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置に含まれるモータの消費電力量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ３０１において、レーザ制御部８００は、モータ２４０の消費電力量Ｗｈｍ（０）に初期値０を代入してもよい。

ステップＳ３０２において、レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０によって、時間０（時間Ｔ＝０）におけるチャンバ２００に含まれるレーザガスの圧力Ｐ（０）を計測してもよい。

ステップＳ３０３において、レーザ制御部８００は、圧力センサ２０７によって計測されたレーザガスの圧力Ｐ（０）に基づいて、時間０におけるモータの電力Ｅｍ（０）を算出してもよい。時間０におけるモータの電力Ｅｍ（０）が、圧力センサ２０７によって計測されたレーザガスの圧力Ｐ（０）に比例することを仮定してもよい。時間０におけるモータの電力Ｅｍ（０）は、αがガス圧係数であると共にβがオフセット定数である場合に、Ｅｍ（０）＝α・Ｐ（０）＋βの式に従って、算出されてもよい。ガス圧係数α及びオフセット係数βは、予め測定されてもよく、設計値であってもよい。ガス圧係数α及びオフセット係数βは、レーザ制御部８００に含まれる記憶部（不図示）に記憶されてもよい。レーザ制御部８００は、記憶部からガス圧係数α及びオフセット係数βを読み出してもよい。

ステップＳ３０４において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ３０５において、レーザ制御部８００は、タイマで計測された時間Ｔが、所定の値Ｔｃ以上であるか否かについて判断をしてもよい。所定の値Ｔｃは、モータ２４０の消費電力量Ｗｈの計測の周期であってもよい。Ｔｃは、例えば、（１／３６００）時間以上（１／６０）時間以下であってもよい。時間ＴがＴｃ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ３０６に進んでもよい。時間ＴがＴｃ未満である場合には、ステップＳ３０５を繰り返してもよい。

ステップＳ３０６において、レーザ制御部８００は、クロスフローファン２３０が回転しているか否かについて判断をしてもよい。クロスフローファンが回転している場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ３０７に進んでもよい。クロスフローファン２０３Ｔが回転していない場合には、ステップＳ３０８に進んでもよい。

ステップＳ３０７において、レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０によって、時間Ｔにおけるチャンバ２００に含まれるレーザガスの圧力Ｐ（Ｔ）を計測してもよい。

ステップＳ３０８において、レーザ制御部８００は、時間０におけるモータ２４０の電力Ｅｍ（０）に０を代入してもよい。その後、レーザ制御部８００は、ステップ３１０に進んでもよい。

ステップＳ３０９において、レーザ制御部８００は、圧力センサ２０７によって計測されたレーザガスの圧力Ｐ（Ｔ）に基づいて、時間Ｔにおけるモータの電力Ｅｍ（Ｔ）を算出してもよい。時間Ｔにおけるモータの電力Ｅｍ（Ｔ）が、圧力センサ２０７によって計測されたレーザガスの圧力Ｐ（Ｔ）に比例することを仮定してもよい。時間Ｔにおけるモータ２４０の電力Ｅｍ（Ｔ）は、αがガス圧係数であると共にβがオフセット定数である場合に、Ｅｍ（Ｔ）＝α・Ｐ（Ｔ）＋βの式に従って、算出されてもよい。ガス圧係数α及びオフセット係数βは、上述したようなものであってもよい。

ステップＳ３１０において、時間Ｔにおけるモータ２４０の電力Ｅｍ（Ｔ）等に基づいて、モータ２４０の消費電力量Ｗｈｍ（Ｔ）を算出してもよい。時間０からＴまでの間に電力がＥｍ（０）からＥｍ（Ｔ）まで線形に変動する仮定してもよい。モータ２４０の消費電力量Ｗｈｍ（Ｔ）は、Ｗｈｍ（Ｔ）＝｛Ｅｍ（Ｔ）＋Ｅｍ（０）｝（Ｔ／２）＋Ｗｈｍ（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ３１１において、レーザ制御部８００は、消費電力量Ｗｈｍ（Ｔ）の積算値を得るために、Ｅｍ（０）にＥｍ（Ｔ）の値を代入すると共にＷｈｍ（０）にＷｈｍ（Ｔ）の値を代入してもよい。

ステップＳ３１２において、レーザ制御部８００は、モータ２４０の消費電力量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。モータ２４０の消費電力量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ３０４に進んでもよい。

このようにして、モータ２４０の消費電力量Ｗｈｍが算出されてもよい。

モータ２４０の回転数を変更するときには、時間Ｔにおけるモータ２４０の電力Ｅｍ（Ｔ）は、Ｅｍ（Ｔ）＝（α・Ｐ（Ｔ）＋β）・（ω（Ｔ）／ω（０））³の式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｐ（Ｔ）は時間Ｔにおけるレーザガスの圧力、αはガス圧係数、βはオフセット定数、ω（Ｔ）は時間Ｔにおけるモータ２４０の回転数、ω（０）が時間０におけるモータ２４０の回転数であってよい。

図１０Ｂは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置に含まれる充電器の消費電力量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ４０１において、レーザ制御部８００は、充電器６００に印加する充電電圧Ｖｈｖを読み出してもよい。

ステップＳ４０２において、レーザ制御部８００は、充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間で放電が行われたか否かについて判断してもよい。電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間で放電が行われた場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ４０３に進んでもよい。電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間で放電が行われていない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ４０２を繰り返してもよい。

ステップＳ４０３において、レーザ制御部８００は、充電電圧Ｖｈｖの値に基づいて、一パルスの放電エネルギＥｄ（単位：Ｊ）を算出してもよい。一パルスの放電エネルギＥｄは、Ｅｄ＝ａ（Ｖｈｖ）²＋ｂ（Ｖｈｖ）＋ｃの式に従って、算出されてもよい。ここで、ａ、ｂ、及びｃは所定の係数であってよい。所定の係数ａ、ｂ、及びｃは、予め測定されてもよく、設計値であってもよい。所定の係数ａ、ｂ、及びｃは、レーザ制御部８００に含まれる記憶部（不図示）に記憶されてもよい。レーザ制御部８００は、記憶部から所定の係数ａ、ｂ、及びｃを読み出してもよい。

ステップＳ４０４において、レーザ制御部８００は、複数のパルスについての放電エネルギの積算値ΣＥｄを算出してもよい。

ステップＳ４０５において、レーザ制御部８００は、複数のパルスについての放電エネルギの積算値ΣＥｄに基づいて、充電器６００の消費電力量Ｗｈｃを算出してもよい。充電器６００の消費電力量Ｗｈｃは、γが換算係数である場合に、Ｗｈｃ＝γ・ΣＥｄの式に従って、算出されてもよい。γは、１／３６０００００ｋｗ時／Ｊであってもよい。

ステップＳ４０６において、レーザ制御部８００は、充電器６００の消費電力量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。充電器６００の消費電力量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ４０２に進んでもよい。

このようにして、充電器６００の消費電力量Ｗｈｃが算出されてもよい。

図１０Ｃは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置に含まれるレーザ制御部及び他のデバイスの消費電力量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ５０１において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｈをリセットすると共にタイマによる時間Ｈの計測を開始してもよい。

ステップＳ５０２において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００及び他のデバイスの電力に基づいて、レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量Ｗｈｌを算出してもよい。レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量Ｗｈｌは、Ｗｈｌ＝Ｅｌ・Ｈの式に従って算出されてもよい。ここで、Ｅｌはレーザ制御部８００及び他のデバイスの電力であってよい。Ｅｌは、レーザ装置１０１０の動作の状況に独立な固定値であってもよい。

ステップＳ５０３において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ５０２に進んでもよい。

このようにして、レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量Ｗｈｌが算出されてもよい。

図１０Ｄは、本開示の第一の実施形態に係る電力計を備えないレーザ装置の全体の消費電力量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ６０１において、モータ２４０の消費電力量Ｗｈｍ、充電器６００の消費電力量Ｗｈｃ、並びに、レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量Ｗｈｌに基づいて、レーザ装置１０１０の全体の消費電力量Ｗｈを算出してもよい。レーザ装置１０１０の全体の消費電力量Ｗｈは、Ｗｈ＝Ｗｈｍ＋Ｗｈｃ＋Ｗｈｌの式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ６０２において、レーザ制御部８００は、算出された消費電力量Ｗｈをユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示させてもよい。

ステップＳ６０３において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の消費電力量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。レーザ装置１０１０の消費電力量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ６０１に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈが算出されてもよい。

図１１は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における冷却水の消費量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ７０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０における冷却水の消費量Ｌ（０）に初期値０を代入してもよい。

ステップＳ７０２において、レーザ制御部８００は、流量計Ｆ１によって時間０（時間Ｔ＝０）における充電器６００を通過する冷却水の流量Ｆ１（０）を計測してもよい。レーザ制御部８００は、流量計Ｆ２によって時間０（時間Ｔ＝０）におけるパルスパワーモジュール７００を通過する冷却水の流量Ｆ２（０）を計測してもよい。レーザ制御部８００は、流量計Ｆ３によって時間０（時間Ｔ＝０）における熱交換器２８０を通過する冷却水の流量Ｆ３（０）を計測してもよい。レーザ制御部８００は、流量計Ｆ４によって時間０（時間Ｔ＝０）におけるモータ２４０を通過する冷却水の流量Ｆ４（０）を計測してもよい。

ステップＳ７０３において、レーザ制御部８００は、流量Ｆ１（０）、Ｆ２（０）、Ｆ３（０）、及びＦ４（０）に基づいて、時間０（時間Ｔ＝０）におけるレーザ装置１０１０に流れる冷却水の流量の合計Ｆ（０）を算出してもよい。時間０におけるレーザ装置１０１０に流れる冷却水の流量の合計Ｆ（０）は、Ｆ（０）＝Ｆ１（０）＋Ｆ２（０）＋Ｆ３（０）＋Ｆ４（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ７０４において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ７０５において、レーザ制御部８００は、タイマで計測された時間Ｔが、所定の値Ｔｃ以上であるか否かについて判断をしてもよい。所定の値Ｔｃは、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈの計測の周期であってもよい。Ｔｃは、例えば、（１／３６００）時間以上（１／６０）時間以下であってもよい。時間ＴがＴｃ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ７０６に進んでもよい。時間ＴがＴｃ未満である場合には、ステップＳ７０５を繰り返してもよい。

ステップＳ７０６において、レーザ制御部８００は、流量計Ｆ１によって時間Ｔにおける充電器６００を通過する冷却水の流量Ｆ１（Ｔ）を計測してもよい。レーザ制御部８００は、流量計Ｆ２によって時間Ｔにおけるパルスパワーモジュール７００を通過する冷却水の流量Ｆ２（Ｔ）を計測してもよい。レーザ制御部８００は、流量計Ｆ３によって時間Ｔにおける熱交換器２８０を通過する冷却水の流量Ｆ３（Ｔ）を計測してもよい。レーザ制御部８００は、流量計Ｆ４によって時間Ｔにおけるモータ２４０を通過する冷却水の流量Ｆ４（Ｔ）を計測してもよい。

ステップＳ７０７において、レーザ制御部８００は、流量Ｆ１（Ｔ）、Ｆ２（Ｔ）、Ｆ３（Ｔ）、及びＦ４（Ｔ）に基づいて、時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０に流れる冷却水の流量の合計Ｆ（Ｔ）を算出してもよい。時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０に流れる冷却水の流量の合計Ｆ（Ｔ）は、Ｆ（Ｔ）＝Ｆ１（Ｔ）＋Ｆ２（Ｔ）＋Ｆ３（Ｔ）＋Ｆ４（Ｔ）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ７０８において、レーザ制御部８００は、時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０に流れる冷却水の流量の合計Ｆ（Ｔ）等に基づいて、レーザ装置１０１０における冷却水の消費量Ｌ（Ｔ）を算出してもよい。時間０からＴまでの間にレーザ装置１０１０における冷却水の消費量がＦ（０）からＦ（Ｔ）まで線形に変動することを仮定してもよい。レーザ装置１０１０における冷却水の消費量Ｌ（Ｔ）は、Ｌ（Ｔ）＝｛Ｆ（Ｔ）＋Ｆ（０）｝（Ｔ／２）＋Ｌ（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ７０９において、レーザ制御部８００は、算出された冷却水の消費量Ｌ（Ｔ）をユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示してもよい。

ステップＳ７１０において、レーザ制御部８００は、冷却水の消費量Ｌ（Ｔ）の積算値を得るために、Ｆ（０）にＦ（Ｔ）の値を代入すると共にＬ（０）にＬ（Ｔ）の値を代入してもよい。

ステップＳ７１１において、レーザ制御部８００は、冷却水の消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。冷却水の消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ７０４に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０における冷却水の消費量が算出されてもよい。

図１２は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ８０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの消費量Ｌ_N2（０）に初期値０を代入してもよい。

ステップＳ８０２において、レーザ制御部８００は、流量計Ｆ_N2によって時間０（時間Ｔ＝０）におけるレーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの流量Ｆ_N2（０）を計測してもよい。

ステップＳ８０３において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ８０４において、レーザ制御部８００は、タイマで計測された時間Ｔが、所定の値Ｔｃ以上であるか否かについて判断をしてもよい。所定の値Ｔｃは、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈの計測の周期であってもよい。Ｔｃは、例えば、（１／３６００）時間以上（１／６０）時間以下であってもよい。時間ＴがＴｃ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ８０５に進んでもよい。時間ＴがＴｃ未満である場合には、ステップＳ８０４を繰り返してもよい。

ステップＳ８０５において、レーザ制御部８００は、流量計Ｆ_N2によって時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの流量Ｆ_N2（Ｔ）を計測してもよい。

ステップＳ８０６において、レーザ制御部８００は、時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの流量Ｆ_N2（Ｔ）等に基づいて、レーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの消費量Ｌ_N2（Ｔ）を算出してもよい。時間０からＴまでの間にレーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの流量がＦ_N2（０）からＦ_N2（Ｔ）まで線形に変動することを仮定してもよい。レーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの消費量Ｌ_N2（Ｔ）は、Ｌ_N2（Ｔ）＝｛Ｆ_N2（Ｔ）＋Ｆ_N2（０）｝（Ｔ／２）＋Ｌ_N2（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ８０７において、レーザ制御部８００は、算出された窒素ガスの消費量Ｌ_N2（Ｔ）をユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示してもよい。

ステップＳ８０８において、レーザ制御部８００は、窒素ガスの消費量Ｌ_N2（Ｔ）の積算値を得るために、Ｆ_N2（０）にＦ_N2（Ｔ）の値を代入すると共にＬ_N2（０）にＬ_N2（Ｔ）の値を代入してもよい。

ステップＳ８０９において、レーザ制御部８００は、窒素ガスの消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。窒素ガスの消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ８０３に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０に供給される窒素ガスの消費量が算出されてもよい。

図１３Ａは、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における狭帯域化モジュールに供給されるヘリウムガスの消費量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ９０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_HeLNM（０）に初期値０を代入してもよい。

ステップＳ９０２において、レーザ制御部８００は、流量計Ｆ_Heによって時間０（時間Ｔ＝０）におけるレーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量Ｆ_HeLNM（０）を計測してもよい。

ステップＳ９０３において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ９０４において、レーザ制御部８００は、タイマで計測された時間Ｔが、所定の値Ｔｃ以上であるか否かについて判断をしてもよい。所定の値Ｔｃは、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈの計測の周期であってもよい。Ｔｃは、例えば、（１／３６００）時間以上（１／６０）時間以下であってもよい。時間ＴがＴｃ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ９０５に進んでもよい。時間ＴがＴｃ未満である場合には、ステップＳ９０４を繰り返してもよい。

ステップＳ９０５において、レーザ制御部８００は、流量計Ｆ_Heによって時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量Ｆ_HeLNM（Ｔ）を計測してもよい。

ステップＳ９０６において、レーザ制御部８００は、時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量Ｆ_HeLNM（Ｔ）等に基づいて、レーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給される窒素ガスの消費量Ｌ_HeLNM（Ｔ）を算出してもよい。時間０からＴまでの間にレーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量がＦ_HeLNM（０）からＦ_HeLNM（Ｔ）まで線形に変動することを仮定してもよい。レーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_HeLNM（Ｔ）は、Ｌ_HeLNM（Ｔ）＝｛Ｆ_HeLNM（Ｔ）＋Ｆ_HeLNM（０）｝（Ｔ／２）＋Ｌ_HeLNM（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ９０７において、レーザ制御部８００は、ヘリウムガスの消費量Ｌ_HeLNM（Ｔ）の積算値を得るために、Ｆ_HeLNM（０）にＦ_HeLNM（Ｔ）の値を代入すると共にＬ_HeLNM（０）にＬ_HeLNM（Ｔ）の値を代入してもよい。

ステップＳ９０８において、レーザ制御部８００は、ヘリウムガスの消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。ヘリウムガスの消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ９０３に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０における狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_HeLNMが算出されてもよい。

図１３Ｂは、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるチャンバに供給されるヘリウムガスの消費量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ１００１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０におけるチャンバ２００へのヘリウムガスの供給の回数Ｎをリセットしてもよい。

ステップＳ１００２において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０におけるチャンバ２００へのヘリウムガスの供給の回数Ｎをカウントしてもよい。

ステップＳ１００３において、レーザ制御部８００は、チャンバ２００へのヘリウムガスの供給の回数Ｎ等に基づいて、レーザ装置１０１０におけるチャンバ２００に供給されたヘリウムガスの消費量Ｌ_HeCHMを算出してもよい。レーザ装置１０１０におけるチャンバ２００に供給されたヘリウムガスの消費量Ｌ_HeCHMは、Ｌ_HeCHM＝Ｖ・Ｎの式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｖは一回にチャンバ２００に供給されるヘリウムガスの体積であってよい。

ステップＳ１００４において、レーザ制御部８００は、ヘリウムガスの消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。ヘリウムガスの消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１００２に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０におけるチャンバ２００に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_HeCHMが算出されてもよい。

図１３Ｃは、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置に供給されるヘリウムガスの消費量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ１１０１において、レーザ制御部８００は、狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_HeLNM及びチャンバ２００に供給されたヘリウムガスの消費量Ｌ_HeCHMに基づいて、レーザ装置１０１０に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_Heを算出してもよい。レーザ装置１０１０に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_Heは、Ｌ_He＝Ｌ_HeLNM＋Ｌ_HeCHMの式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ１１０２において、レーザ制御部８００は、算出されたヘリウムガスの消費量Ｌ_Heをユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示してもよい。

ステップＳ１１０３において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０に供給されるヘリウムガスの消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。レーザ装置１０１０に供給されるヘリウムガスの消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１１０１に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０に供給されるヘリウムガスの消費量Ｌ_Heが算出されてもよい。

図１４は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置に供給されるレーザガスの消費量を算出する方法を例示する図である。図１４において、レーザガスは、第一のガスボンベ３０１０からチャンバ２００へ供給されるフッ素、アルゴン、及びネオンの混合ガスであってもよい。図１４において、レーザガスは、第二のガスボンベ３０２０からチャンバ２００へ供給されるアルゴン及びネオンの混合ガスであってもよい。

ステップＳ１２０１において、レーザ制御部８００は、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇の積算値ΔＰｓｕｍに初期値０を代入してもよい。

ステップＳ１２０２において、レーザ制御部８００は、第一のガスボンベ３０１０及び第二のガスボンベ３０２０の少なくとも一つからチャンバ２００へレーザガスを注入するか否かについて判断してもよい。第一のガスボンベ３０１０及び第二のガスボンベ３０２０の少なくとも一つからチャンバ２００へレーザガスを注入する場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１２０３に進んでもよい。第一のガスボンベ３０１０及び第二のガスボンベ３０２０のいずれからもチャンバ２００へレーザガスを注入しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１２０２を繰り返してもよい。

ステップＳ１２０３において、レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０を使用することによって、チャンバ２００にレーザガスを注入する直前のチャンバ２００におけるレーザガスの圧力Ｐ（前）を計測してもよい。

ステップＳ１２０４において、レーザ制御部８００は、第一のガスボンベ３０１０及び第二のガスボンベ３０２０の少なくとも一つからチャンバ２００へレーザガスを注入してもよい。レーザ制御部８００は、第一のガスボンベ３０１０又は第二のガスボンベ３０２０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブを開くことによって、チャンバ２００へレーザガスを注入してもよい。レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０を使用することによって、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力が所定の圧力であるか否かについて判断してもよい。チャンバ２００におけるレーザガスの圧力が所定の圧力以上である場合には、レーザ制御部８００は、第一のガスボンベ３０１０又は第二のガスボンベ３０２０及びチャンバ２００を接続する配管に設けられたガス系統動作バルブを閉じてもよい。チャンバ２００におけるレーザガスの圧力が所定の圧力未満である場合には、ガス系統動作バルブを開けたままにしておいてもよい。

ステップＳ１２０５において、レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０を使用することによって、チャンバ２００にレーザガスを注入した直後のチャンバ２００におけるレーザガスの圧力Ｐ（後）を計測してもよい。

ステップＳ１２０６において、レーザ制御部８００は、圧力Ｐ（前）及び圧力Ｐ（後）に基づいて、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇ΔＰを算出してもよい。チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇ΔＰは、ΔＰ＝Ｐ（後）−Ｐ（前）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ１２０７において、レーザ制御部８００は、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇ΔＰに基づいて、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇の積算値ΔＰｓｕｍを算出してもよい。チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇の積算値ΔＰｓｕｍは、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇ΔＰを積算することによって、算出されてもよい。

ステップＳ１２０８において、レーザ制御部８００は、チャンバ２００におけるレーザガスの圧力上昇の積算値ΔＰｓｕｍに基づいて、標準状態におけるレーザガスの消費量（標準状態における消費されたレーザガスの体積）Ｑを算出してもよい。標準状態は、温度０℃及び圧力１０１３ｈＰａの状態であってもよい。標準状態におけるレーザガスの消費量Ｑは、Ｑ＝（Ｖ／Ｐ０）・ΔＰｓｕｍの式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｖはチャンバ２００の容積、Ｐ０は１０１３ｈＰａであってよい。

ステップＳ１２０９において、レーザ制御部８００は、算出された標準状態におけるレーザガスの消費量Ｑをユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示してもよい。

ステップＳ１２１０において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０に供給されるレーザガスの消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。レーザ装置１０１０に供給されるレーザガスの消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１２０２に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０に供給されるレーザガスの消費量Ｑが算出されてもよい。

図１５は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるベンチレーションによる空気の消費量を算出する方法を例示する図である。

ステップＳ１３０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０のベンチレーションによる空気の消費量Ｌｖｅ（０）に初期値０を代入してもよい。

ステップＳ１３０２において、レーザ制御部８００は、風速センサ１５０によって時間０（時間Ｔ＝０）におけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の風速ｖ（０）を計測してもよい。

ステップＳ１３０３において、レーザ制御部８００は、空気の風速ｖ（０）に基づいて、時間０（時間Ｔ＝０）におけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の流量Ｑｖ（０）を算出してもよい。時間０におけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の流量Ｑｖ（０）は、ベンチレーションポート１１０が直径Ｄの円形の開口を有する場合には、Ｑｖ（０）＝π（Ｄ／２）²・ｖ（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ１３０４において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ１３０５において、レーザ制御部８００は、タイマで計測された時間Ｔが、所定の値Ｔｃ以上であるか否かについて判断をしてもよい。所定の値Ｔｃは、レーザ装置１０１０の消費電力量Ｗｈの計測の周期であってもよい。Ｔｃは、例えば、（１／３６００）時間以上（１／６０）時間以下であってもよい。時間ＴがＴｃ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１３０６に進んでもよい。時間ＴがＴｃ未満である場合には、ステップＳ１３０５を繰り返してもよい。

ステップＳ１３０６において、レーザ制御部８００は、風速センサ１５０によって時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の風速ｖ（Ｔ）を計測してもよい。

ステップＳ１３０７において、レーザ制御部８００は、空気の風速ｖ（Ｔ）に基づいて、時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の流量Ｑｖ（Ｔ）を算出してもよい。時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の流量Ｑｖ（Ｔ）は、ベンチレーションポート１１０が直径Ｄの円形の開口を有する場合には、Ｑｖ（Ｔ）＝π（Ｄ／２）²・ｖ（Ｔ）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ１３０８において、レーザ制御部８００は、時間Ｔにおけるレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の流量Ｑｖ（Ｔ）等に基づいて、レーザ装置１０１０のベンチレーションによる空気の消費量Ｌｖｅ（Ｔ）を算出してもよい。時間０からＴまでの間にレーザ装置１０１０の内部を通過する空気の流量がＱｖ（０）からＱｖ（Ｔ）まで線形に変動することを仮定してもよい。レーザ装置１０１０のベンチレーションによる空気の消費量Ｌｖｅ（Ｔ）は、Ｌｖｅ（Ｔ）＝｛Ｑｖ（Ｔ）＋Ｑｖ（０）｝（Ｔ／２）＋Ｌｖｅ（０）の式に従って、算出されてもよい。

ステップＳ１３０９において、レーザ制御部８００は、算出された空気の消費量Ｌｖｅ（Ｔ）をユーザインターフェース４０２０に送信すると共に表示してもよい。

ステップＳ１３１０において、レーザ制御部８００は、空気の消費量Ｌｖｅ（Ｔ）の積算値を得るために、Ｑｖ（０）にＱｖ（Ｔ）の値を代入すると共にＬｖｅ（０）にＬｖｅ（Ｔ）の値を代入してもよい。

ステップＳ１３１１において、レーザ制御部８００は、空気の消費量の算出を終了するか否かについて判断してもよい。空気の消費量の算出を終了しない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１３０４に進んでもよい。

このようにして、レーザ装置１０１０のベンチレーションによる空気の消費量が算出されてもよい。

表１は、本発明の実施形態に係るレーザ装置において得られるパラメータを例示する。

上述したパラメータの値は、露光装置制御部２０１０に送信されてもよい。上述したパラメータの値は、インターネット回線４０１０を通じてコンピュータに送信されてもよい。上述したパラメータの値は、ユーザインターフェース４０２０に表示されてもよい。レーザ制御部８００は、上述した消費量のパラメータの基準値に対する上述した消費量のパラメータの値の比（％）を算出してもよい。上述した消費量のパラメータの基準値に対する上述した消費量のパラメータの値の比（％）は、ユーザインターフェース４０２０に表示されてもよい。レーザ制御部８００は、上述した消費量のパラメータに関する一パルス毎のコストを算出してもよい。上述した消費量のパラメータに関する一パルス毎のコストは、ユーザインターフェース４０２０に表示されてもよい。レーザ制御部８００は、上述した消費量のパラメータに関する複数のパルスにわたる累積コストを算出してもよい。上述した消費量のパラメータに関する複数のパルスにわたる累積コストは、ユーザインターフェース４０２０に表示されてもよい。上述したパラメータの値は、ＦＤＣシステム４０３０に送信されてもよい。

３．３ 本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における省エネルギ化及び省資源化
図１６は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるレーザガスの条件に依存する省エネルギ化のための動作を例示する図である。

ステップＳ１４０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の動作モードを通常モードに設定する。

ステップＳ１４０２において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０から動作モードの変更が要求されたか否かについて判断してもよい。動作モードの変更は、通常モードから省エネルギモードへの変更であってもよい。露光装置制御部２０１０から動作モードの変更を要求された場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１４０３に進んでもよい。露光装置制御部２０１０から動作モードの変更が要求されてない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１４０２を繰り返してもよい。

ステップＳ１４０３において、レーザ制御部８００は、動作モードを通常モードから省エネルギモードに変更した場合におけるレーザ装置１０１０についての性能劣化予測データを露光装置制御部２０１０に送信してもよい。レーザ装置１０１０についての性能劣化予測データは、レーザ制御部８００に含まれる記憶部（不図示）に記憶されてもよい。レーザ装置１０１０についての性能劣化予測データは、レーザ光のエネルギ分散σＥの範囲（例えば、レーザ光のエネルギ分散σＥの最大値及び最小値）であってよい。レーザ光のエネルギ分散σＥは、パルスエネルギセンサ５２０によって計測された複数のパルスについてのレーザ光のエネルギ値の分散であってもよい。

ステップＳ１４０４において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０に送信された性能劣化予測データが露光装置制御部２０１０によって許容されたか否かについて判断してもよい。性能劣化予測データが露光装置制御部２０１０によって許容された場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１４０５に進んでもよい。性能劣化予測データが露光装置制御部２０１０によって許容されなかった場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１４０２に戻ってもよい。

ステップＳ１４０５において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の運転モードを通常モードから省エネルギモードに変更してもよい。

ステップＳ１４０６において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０から動作モードの変更が要求されたか否かについて判断してもよい。動作モードの変更は、省エネルギモードから通常モードへの変更であってもよい。露光装置制御部２０１０から動作モードの変更を要求された場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１４０７に進んでもよい。露光装置制御部２０１０から動作モードの変更が要求されてない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１４０６を繰り返してもよい。

ステップＳ１４０７において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の運転モードを省エネルギモードから通常エネルギモードに変更してもよい。

このように、露光装置制御部２０１０からの運転モードの変更の要求に応じてレーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の運転モードを変更すると共に、レーザ装置１０１０の省エネルギ化を達成してもよい。

図１７は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるレーザガスの全圧と充電電圧及びエネルギ分散との間の関係性を例示する図である。図１７における横軸は、チャンバ２００におけるレーザガスの全圧を示してもよい。図１７における縦軸は、充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される受電電圧Ｖｈｖ又はレーザ光のエネルギ分散σＥを示してもよい。

レーザ装置１０１０において、レーザ光のエネルギの設定値及びレーザガスに含まれるフッ素ガスの分圧は、一定であってもよい。レーザ光のエネルギの設定値及びレーザガスに含まれるフッ素ガスの分圧が一定である場合、レーザガスの全圧Ｐｔの増加と共に充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される充電電圧Ｖｈｖが低減されてもよい。レーザガスの全圧Ｐｔの増加と共に充電器６００の消費電力及び消費電力量が低減されてもよい。しかしながら、レーザガスの全圧Ｐｔの増加と共にレーザ光のパルスエネルギ分散σＥは増加し得る。露光装置制御部２０１０に送信される性能劣化データは、レーザガスの全圧Ｐｔの増加に対するレーザ光のパルスエネルギ分散σＥの増加に関するデータであってもよい。

図１８は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置においてレーザガスの全圧の増加によって通常モードから省エネルギモードに変更するサブルーチンを例示する図である。

図１８に例示されるサブルーチンは、図１６に例示されるメインルーチンにおけるステップＳ１４０５を実行するためのルーチンであってもよい。

ステップＳ１５０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０がレーザ発振を行うように、レーザ装置１０１０を制御してもよい。

ステップＳ１５０２において、レーザ制御部８００は、パルスエネルギセンサ５２０を使用することによって、レーザ光のエネルギ分散σＥを計測してもよい。レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０を使用することによって、レーザガスの全圧Ｐｔを計測してもよい。

ステップＳ１５０３において、レーザ制御部８００は、レーザガスの全圧Ｐｔの設定値を増加させてもよい。

ステップＳ１５０４において、レーザ制御部８００は、レーザガスの全圧Ｐｔの設定値に基づいて、ガス制御部８１０を通じてチャンバ２００へのレーザガスの供給を制御してもよい。レーザガスの全圧Ｐｔが、レーザガスの全圧Ｐｔの変更された設定値になるように、チャンバ２００へのレーザガスの供給を制御してもよい。

ステップＳ１５０５において、レーザ制御部８００は、パルスエネルギセンサ５２０を使用することによって、レーザ光のエネルギ分散σＥを計測してもよい。レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０を使用することによって、レーザガスの全圧Ｐｔを計測してもよい。

ステップＳ１５０６において、レーザ制御部８００は、レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎよりも大きいか否かについて判断してもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎは、半導体露光装置２０００の使用条件によって決定されてもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎよりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１５０７に進んでもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎ以下である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１５０３に進んでもよい。

ステップＳ１５０７において、レーザ制御部８００は、レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘよりも小さいか否かについて判断してもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘは、半導体露光装置２０００の使用条件によって決定されてもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘよりも小さい場合には、レーザ制御部８００は、メインルーチンに戻ってもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１５０８に進んでもよい。

ステップＳ１５０８において、レーザ制御部８００は、レーザガスの全圧Ｐｔの設定値を減少させてもよい。レーザガスの全圧Ｐｔの設定値を減少させた後、レーザ制御部８００は、ステップＳ１５０４に進んでもよい。

このように、レーザ制御部８００は、レーザ光のエネルギ分散σＥが、σＥｍｉｎ＜σＥ＜σＥｍａｘを満たすように、レーザガスの全圧Ｐｔの設定値を調節してもよい。

レーザ光のエネルギ分散σＥが、半導体露光装置２０００の使用条件において許容される場合には、省エネルギモードにおけるレーザガスの全圧Ｐｔの設定値を、通常モードにおけるレーザガスの全圧Ｐｔの設定値に対して増加させてもよい。それにより、充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される充電電圧Ｖｈｖを低減させると共に充電器６００の消費電力を低減させてもよい。

図１９は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるレーザガスにおけるフッ素ガスの分圧及び充電電圧又はエネルギ分散の間の関係性を例示する図である。図１９における横軸は、チャンバ２００におけるレーザガスにおけるフッ素ガスの分圧を示してもよい。図１９における縦軸は、充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される受電電圧Ｖｈｖ又はレーザ光のエネルギ分散σＥを示してもよい。

レーザ装置１０１０において、レーザ光のエネルギの設定値及びレーザガスの全圧は、一定であってもよい。レーザ光のエネルギの設定値及びレーザガスの全圧が一定である場合、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2の増加と共に充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される印加される充電電圧Ｖｈｖが低減されてもよい。レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2の増加と共に充電器６００の消費電力及び消費電力量が低減されてもよい。しかしながら、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2の増加と共にレーザ光のパルスエネルギ分散σＥは増加し得る。露光装置制御部２０１０に送信される性能劣化データは、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2の増加に対するレーザ光のパルスエネルギ分散σＥの増加に関するデータであってもよい。

図２０は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置において、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧の増加によって通常モードから省エネルギモードに変更するサブルーチンを例示する図である。

図２０に例示されるサブルーチンは、図１６に例示されるメインルーチンにおけるステップＳ１４０５を実行するためのルーチンであってもよい。

ステップＳ１６０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０がレーザ発振を行うように、レーザ装置１０１０を制御してもよい。

ステップＳ１６０２において、レーザ制御部８００は、パルスエネルギセンサ５２０を使用することによって、レーザ光のエネルギ分散σＥを計測してもよい。レーザ制御部８００は、圧力センサ２７０を使用することによって、レーザガスの全圧Ｐｔを計測してもよい。レーザ制御部８００は、レーザガスの全圧Ｐｔ、第一のガスボンベ３０１０からチャンバ２００へ供給されるレーザガスの流量、及び第二のガスボンベ３０２０からチャンバ２００へ供給されるレーザガスの流量から、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2を算出してもよい。

ステップＳ１６０３において、レーザ制御部８００は、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2を増加させるように、ガス制御部８１０を通じてチャンバ２００へのレーザガスの供給を制御してもよい。

ステップＳ１６０４において、レーザ制御部８００は、パルスエネルギセンサ５２０を使用することによって、レーザ光のエネルギ分散σＥを計測してもよい。

ステップＳ１６０５において、レーザ制御部８００は、レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎよりも大きいか否かについて判断してもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎは、半導体露光装置２０００の使用条件によって決定されてもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎよりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１６０６に進んでもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最小値σＥｍｉｎ以下である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１６０３に進んでもよい。

ステップＳ１６０６において、レーザ制御部８００は、レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘよりも小さいか否かについて判断してもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘは、半導体露光装置２０００の使用条件によって決定されてもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘよりも小さい場合には、レーザ制御部８００は、メインルーチンに戻ってもよい。レーザ光のエネルギ分散σＥが、レーザ光のエネルギ分散σＥの所定の最大値σＥｍａｘ以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１６０７に進んでもよい。

ステップＳ１６０７において、レーザ制御部８００は、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2を減少させるように、ガス制御部８１０を通じてチャンバ２００へのレーザガスの供給を制御してもよい。レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2を減少させた後、レーザ制御部８００は、ステップＳ１６０４に進んでもよい。

このように、レーザ制御部８００は、レーザ光のエネルギ分散σＥが、σＥｍｉｎ＜σＥ＜σＥｍａｘを満たすように、レーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2を調節してもよい。

レーザ光のエネルギ分散σＥが、半導体露光装置２０００の使用条件において許容される場合には、省エネルギモードにおけるレーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2を、通常モードにおけるレーザガスにおけるフッ素ガスの分圧Ｐ_F2に対して増加させてもよい。それにより、充電器６００によって第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される充電電圧Ｖｈｖを低減させると共に充電器６００の消費電力を低減させてもよい。

図２１は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における停止時間に依存する省エネルギ化及び省資源化のための動作を例示する図である。

ステップＳ１７０１において、レーザ制御部８００は、半導体露光装置２０００における露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信したか否かについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０２に進んでもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップ１７０３に進んでもよい。

ステップＳ１７０２において、レーザ制御部８００は、パージガス供給装置９２０を通じて狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００にそれぞれヘリウムガス及び窒素ガスを供給してもよい。次に、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０に冷却水を供給してもよい。次に、レーザ制御部８００は、クロスフローファン２３０を回転させるように構成されたモータ２４０を駆動させてもよい。次に、レーザ制御部８００は、充電器６００から第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に充電電圧を印加してもよい。

ステップＳ１７０３において、レーザ制御部８００は、半導体露光装置２０００における露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の停止の信号及び停止時間Ｔｓを受信したか否かについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の停止の信号及び停止時間Ｔｓを受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０４に進んでもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の停止の信号及び停止時間Ｔｓを受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０１に進んでもよい。

ステップＳ１７０４において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ１よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ１は、例えば、３０秒であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ１よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０５に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ１よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０１に進んでもよい。

ステップＳ１７０５において、レーザ制御部８００は、充電器６００からの第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間における充電電圧の印加を停止してもよい。

ステップＳ１７０６において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ２よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ２は、所定の停止時間Ｔｓ１より大きくてもよい。所定の停止時間Ｔｓ２は、例えば、３分以上５分以下の時間であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ２よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０７に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ２よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０１に進んでもよい。

ステップＳ１７０７において、レーザ制御部８００は、クロスフローファン２３０を回転させるように構成されたモータ２４０を停止してもよい。クロスフローファン２３０の回転は、モータ２４０の停止によって停止させられてもよい。

ステップＳ１７０８において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ３よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ３は、所定の停止時間Ｔｓ２より大きくてもよい。所定の停止時間Ｔｓ３は、例えば、１時間以上５時間以下の時間であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ３よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０９に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ３よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０１に進んでもよい。

ステップＳ１７０９において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０への冷却水の供給を低減又は停止してもよい。レーザ装置１０１０への冷却水の供給は、冷却水の最低の流量まで低減させられてもよい。レーザ装置１０１０への冷却水の供給の低減又は停止によって、レーザ装置１０１０の構成要素の冷却は、低減又は停止させられてもよい。

ステップＳ１７１０において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ４よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ４は、所定の停止時間Ｔｓ３より大きくてもよい。所定の停止時間Ｔｓ４は、例えば、５時間以上２４時間以下の時間であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ４よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７１１に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ４よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１７０１に進んでもよい。

ステップＳ１７１１において、レーザ制御部８００は、狭帯域化モジュール３００へのヘリウムガスの供給及びエネルギモニタ５００への窒素ガスの供給を停止してもよい。それによって、ヘリウムガス及び窒素ガスレーザによる装置１０１０の光学系のクリーニングは、停止させられてもよい。

このように、露光装置制御部２０１０から送信された停止時間Ｔｓに依存して、レーザ装置１０１０へのパージガスの供給、レーザ装置１０１０への冷却水の供給、モータ２４０の駆動、及び、充電電圧の印加の少なくとも一つが低減又は停止させられてもよい。露光装置制御部２０１０から送信された停止時間Ｔｓに依存して、レーザ装置１０１０における省エネルギ化及び省資源化が行われてもよい。

図２２は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における停止時間のモニタリングによる省エネルギ化及び省資源化のための動作を例示する図である。

ステップＳ１８０１において、レーザ制御部８００は、パージガス供給装置９２０を通じて狭帯域化モジュール３００及びエネルギモニタ５００にそれぞれヘリウムガス及び窒素ガスを供給してもよい。

ステップＳ１８０２において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０に冷却水を供給してもよい。

ステップＳ１８０３において、レーザ制御部８００は、クロスフローファン２３０を回転させるように構成されたモータ２４０を駆動させてもよい。

ステップＳ１８０４において、レーザ制御部８００は、充電器６００から第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に充電電圧を印加してもよい。

ステップＳ１８０５において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０にトリガ受付信号を送信してもよい。トリガ受付信号は、露光装置制御部２０１０からトリガを受信するためにレーザ制御部８００が待機していることを示す信号であってもよい。

ステップＳ１８０６において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ１８０７において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない（レーザ装置１０１０の動作の信号はオフである）かどうかについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０８に進んでもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０６に進んでもよい。

ステップＳ１８０８において、レーザ制御部８００は、Ｔが所定の停止時間Ｔｓ１よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ１は、例えば、５秒であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ１よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０９に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ１よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１０に進んでもよい。

ステップＳ１８０９において、レーザ制御部８００は、充電器６００からの第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間における充電電圧の印加を停止してもよい。

ステップＳ１８１０において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない（レーザ装置１０１０の動作の信号はオフである）かどうかについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０８を繰り返してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０６に進んでもよい。

ステップＳ１８１１において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ２よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ２は、所定の停止時間Ｔｓ１より大きくてもよい。所定の停止時間Ｔｓ２は、例えば、１分であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ２よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１２に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ２よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１３に進んでもよい。

ステップＳ１８１２において、レーザ制御部８００は、クロスフローファン２３０を回転させるように構成されたモータ２４０を停止してもよい。クロスフローファン２３０の回転は、モータ２４０の停止によって停止させられてもよい。

ステップＳ１８１３において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない（レーザ装置１０１０の動作の信号はオフである）かどうかについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１１を繰り返してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０４に進んでもよい。

ステップＳ１８１４において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ３よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ３は、所定の停止時間Ｔｓ２より大きくてもよい。所定の停止時間Ｔｓ３は、例えば、１０分であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ３よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１５に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ３よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１６に進んでもよい。

ステップＳ１８１５において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０への冷却水の供給を低減又は停止してもよい。レーザ装置１０１０への冷却水の供給は、冷却水の最低の流量まで低減させられてもよい。レーザ装置１０１０への冷却水の供給の低減又は停止によって、レーザ装置１０１０の構成要素の冷却は、低減又は停止させられてもよい。

ステップＳ１８１６において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない（レーザ装置１０１０の動作の信号はオフである）かどうかについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１４を繰り返してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０３に進んでもよい。

ステップＳ１８１７において、レーザ制御部８００は、Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ４よりも大きいか否かについて判断してもよい。所定の停止時間Ｔｓ４は、所定の停止時間Ｔｓ３より大きくてもよい。所定の停止時間Ｔｓ４は、例えば、１時間であってもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ４よりも大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１８に進んでもよい。Ｔｓが所定の停止時間Ｔｓ４よりも大きくない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１９に進んでもよい。

ステップＳ１８１８において、レーザ制御部８００は、狭帯域化モジュール３００へのヘリウムガスの供給及びエネルギモニタ５００への窒素ガスの供給を停止してもよい。それによって、ヘリウムガス及び窒素ガスレーザによる装置１０１０の光学系のクリーニングは、停止させられてもよい。

ステップＳ１８１９において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない（レーザ装置１０１０の動作の信号はオフである）かどうかについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８１７を繰り返してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０２に進んでもよい。

ステップＳ１８２０において、レーザ制御部８００は、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない（レーザ装置１０１０の動作の信号はオフである）かどうかについて判断してもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない場合には、レーザ制御部８００は、待機中であってもよい。露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信した場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ１８０１に進んでもよい。

このように、露光装置制御部２０１０からレーザ装置１０１０の動作の信号を受信していない時間（レーザ装置１０１０が停止している時間）Ｔをモニタしてもよい。レーザ装置１０１０が停止している時間Ｔに依存して、レーザ装置１０１０へのパージガスの供給、レーザ装置１０１０への冷却水の供給、モータ２４０の駆動、及び、充電電圧の印加の少なくとも一つが低減又は停止させられてもよい。レーザ装置１０１０が停止している時間Ｔに依存して、レーザ装置１０１０における省エネルギ化及び省資源化が行われてもよい。

図２３は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置における冷却水の消費量を低減するための動作を例示する図である。

ステップＳ１９０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の電力を読み出してもよい。レーザ制御部８００は、電力計５０１０によって計測された電力を読み出してもよい。レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０に含まれるモータ２４０、充電器６００、レーザ制御部８００及び他のデバイスの電力の合計の値を読み出してもよい。充電器６００の電力Ｅｄは、Ｅｄ＝（ａ・Ｖｈｖ²＋ｂ・Ｖｈｖ＋ｃ）・ｆの式に従って算出されてもよい。ここで、Ｖｈｖは第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加される充電電圧、ａ、ｂ、及びｃは所定の係数、ｆはパルスの繰り返し周波数であってよい。

ステップＳ１９０２において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の電力に基づいて、レーザ装置１０１０における冷却水の流量Ｌを制御してもよい。レーザ装置１０１０における冷却水の流量Ｌは、流量調節バルブＶｗを使用することによって、制御されてもよい。レーザ装置１０１０における冷却水の流量Ｌは、レーザ装置１０１０の電力Ｅｄに比例するように制御されてもよい。レーザ装置１０１０における冷却水用の配管の各々に流量調節バルブを設けてもよい。レーザ装置１０１０における冷却水の流量Ｌは、レーザ装置１０１０における冷却水用の配管に設けられた流量調節バルブによって制御されてもよい。充電器６００を通過する冷却水の流量は、充電器６００の電力Ｅｄに比例するように、充電器６００を通過する冷却水用の配管に設けられた流量調節バルブによって制御されてもよい。パルスパワーモジュール７００を通過する冷却水の流量は、充電器６００の電力Ｅｄに比例するように、パルスパワーモジュール７００を通過する冷却水用の配管に設けられた流量調節バルブによって制御されてもよい。熱交換器２８０を通過する冷却水の流量は、充電器６００の電力Ｅｄに比例するように、熱交換器２８０を通過する冷却水用の配管に設けられた流量調節バルブによって制御されてもよい。モータ２４０を通過する冷却水の流量は、モータの電力Ｅｍに比例するように、モータ２４０を通過する冷却水用の配管に設けられた流量調節バルブによって制御されてもよい。

このように、レーザ装置１０１０の電力に基づいてレーザ装置１０１０における冷却水の流量を制御することによって、レーザ装置１０１０における冷却水の消費量が低減されてもよい。

図２４は、本開示の第一の実施形態に係るレーザ装置におけるベンチレーションによる空気の消費量を低減する構成を例示する図である。図８に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図２４に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図８に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図２４に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０１０におけるベンチレーションポート１１０には自動バタフライバルブ１６０が設けられてもよい。自動バタフライバルブ１６０は、レーザ制御部８００と接続されてもよい。レーザ制御部８００は、レーザ装置１０１０の電力に基づいて、自動バタフライバルブ１６０を制御してもよい。レーザ装置１０１０におけるベンチレーションによる空気の流量は、自動バタフライバルブ１６０を制御することによって、調節されてもよい。レーザ装置１０１０におけるベンチレーションによる空気の流量は、レーザ装置１０１０の電力に比例するように調節されてもよい。レーザ装置１０１０におけるベンチレーションによる空気の消費量は、自動バタフライバルブ１６０を制御することによって、低減されてもよい。

４．本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置
４．１ 本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の構成及び動作
図２５は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の構成を例示する図である。図３又は図８に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図２５に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図３又は図８に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図２５に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

図２５に例示するレーザ装置１０２０は、マスタオシレータ及びパワーオシレータを含んでもよい。

マスタオシレータは、第一のチャンバ２０１、第一のチャンバ２０１に設けられた第一のモータ２４１及び第一のパルスパワーモジュール７０１、狭帯域化モジュール３００、並びに、第一の出力結合ミラー４０１を含んでもよい。第一のチャンバ２０１、第一の出力結合ミラー４０１、及び狭帯域化モジュール３００は、レーザ共振器を形成するように構成されてもよい。第一のパルスパワーモジュール７０１は、第一の半導体スイッチ７１１を含んでもよい。第一のパルスパワーモジュール７０１は、第一のチャンバ２０１に含まれる一対の電極の間にパルス電圧を印加するように構成されてもよい。第一のモータ２４１は、第一のチャンバ２０１に含まれるクロスフローファンを駆動するように設けられてもよい。

パワーオシレータは、第二のチャンバ２０２、第二のチャンバ２０２に設けられた第二のモータ２４２及び第二のパルスパワーモジュール７０２、第二の出力結合ミラー４０２、並びに部分反射ミラー４０５を含んでもよい。第二のチャンバ２０２、第二の出力結合ミラー４０２、及び部分反射ミラー４０５は、レーザ共振器を形成するように構成されてもよい。第二のパルスパワーモジュール７０２は、第二の半導体スイッチ７１２を含んでもよい。第二のパルスパワーモジュール７０１は、第二のチャンバ２０２に含まれる一対の電極の間にパルス電圧を印加するように構成されてもよい。第二のモータ２４２は、第二のチャンバ２０２に含まれるクロスフローファンを駆動するように設けられてもよい。

レーザ装置１０２０は、第一の高反射ミラー４０３、第二の高反射ミラー４０４、第一のエネルギモニタ５０１、第二のエネルギモニタ５０２、第一の充電器６０１、及び第二の充電器６０２を含んでもよい。

第一のガスボンベ３０１０に含まれるフッ素、アルゴン、及びネオンの混合ガスは、レーザガス供給装置９１０を通じて、第一のチャンバ２０１及び第二のチャンバ２０２に供給されてもよい。第二のガスボンベ３０２０に含まれるアルゴン及びネオンの混合ガスは、レーザガス供給装置９１０を通じて、第一のチャンバ２０１及び第二のチャンバ２０２に供給されてもよい。第一のチャンバ２０１に含まれるガス及び第二のチャンバ２０２に含まれるガスは、排気装置９３０を通じて、筐体１００の内部に排気されてもよい。

第一の半導体スイッチ７１１がオンになるとき、第一の充電器６０１及び第一のパルスパワーモジュール７０１によって第一のチャンバ２０１に含まれる一対の電極間にパルス電圧Ｖｈｖ１が印加されてもよい。第二の半導体スイッチ７１２がオンになるとき、第二の充電器６０１及び第二のパルスパワーモジュール７０２によって第二のチャンバ２０２に含まれる一対の電極間にパルス電圧Ｖｈｖ２が印加されてもよい。

第一のチャンバ２０１に含まれる一対の電極の間における放電によって生じるレーザ光の波長帯域は、狭帯域化モジュール３００によって狭くされてもよい。狭帯域化モジュール３００によって狭くされた波長帯域を備えたレーザ光は、第一の出力結合ミラー４０１から出力されてもよい。第一の出力結合ミラー４０１から出力されたレーザ光は、第一の高反射ミラー４０３及び第二の高反射ミラー４０４によって反射されてもよい。第一の高反射ミラー４０３及び第二の高反射ミラー４０４から反射されたレーザ光の一部は、部分反射ミラー４０５を通じて第二のチャンバ２０２に入射する。第二のチャンバ２０２に入射する光は、部分反射ミラー４０５及び第二の出力結合ミラー４０２の間で増幅されてもよい。増幅されたレーザ光は、第二の出力結合ミラー４０２を通じて半導体露光装置２０００に入射してもよい。

第一の高反射ミラー４０３及び第二の高反射ミラー４０４の間に第一のエネルギセンサ５０１が設けられてもよい。第一のエネルギセンサ５０１によって第一のチャンバ２０１から出力されたレーザ光のエネルギがモニタされてもよい。第二の出力結合ミラー４０２及び半導体露光装置２０００の間に第二のエネルギセンサ５０２が設けられてもよい。第二のエネルギセンサ５０２によって第二のチャンバ２０２から出力されたレーザ光のエネルギがモニタされてもよい。第一のチャンバ２０１に含まれるレーザガスの圧力は、第一のチャンバ２０１に設けられた圧力センサによって計測されてもよい。第二のチャンバ２０２に含まれるレーザガスの圧力は、第二のチャンバ２０２に設けられた圧力センサによって計測されてもよい。

図２６は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の電力系統の構成を例示する図である。図４又は図２５に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図２６に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図４又は図２５に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図２６に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０２０の電力系統については、第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、レーザ制御部８００、及び他のデバイス（不図示）が、電源（不図示）に接続されてもよい。他のデバイスは、ガス制御部８１０のような制御部、及びレーザ装置１０２０の待機中に電力を保持するシステムを含んでもよい。第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、レーザ制御部８００、及び他のデバイスには、電源から電力が供給されてもよい。第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の充電器６０１、及び第二の充電器６０２には、端子台５０２０等を通じて、電源から電力が供給されてもよい。

電源から第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、レーザ制御部８００、及び他のデバイスに供給される電力は、電力計５０１０によって計測されてもよい。

電源から第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、レーザ制御部８００、及び他のデバイスに供給される電力は、レーザ制御部８００によって算出されてもよい。

レーザ装置１０２０の全体の消費電力量Ｗｈは、第一のモータ２４１の消費電力量Ｗｈｍ１、第二のモータ２４２の消費電力量Ｗｈｍ２、第一の充電器６０１の消費電力量Ｗｈｃ１、第二の充電器６０２の消費電力量Ｗｈｃ２、並びに、レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量Ｗｈｌに基づいて、算出されてもよい。レーザ装置１０１０の全体の消費電力量Ｗｈは、Ｗｈ＝Ｗｈｍ１＋Ｗｈｍ２＋Ｗｈｃ１＋Ｗｈｃ２＋Ｗｈｌの式に従って、算出されてもよい。

第一のモータ２４１の消費電力量Ｗｈｍ１及び第二のモータ２４２の消費電力量Ｗｈｍ２は、
Ｅｍ１＝α１・Ｐ１＋β１
Ｗｈｍ１＝Ｅｍ１・Ｈｍ
Ｅｍ２＝α２・Ｐ２＋β２
Ｗｈｍ２＝Ｅｍ２・Ｈｍ
の式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｐ１及びＰ２がそれぞれ第一のチャンバ２０１におけるレーザガスの圧力及び第二のチャンバ２０２におけるレーザガスの圧力、α１及びα２がそれぞれ第一のチャンバ２０１のガス圧係数及び第二のチャンバ２０２のガス圧係数、β１及びβ２がそれぞれ第一のチャンバ２０１のオフセット定数及び第二のチャンバ２０２のオフセット定数、Ｅｍ１及びＥｍ２がそれぞれ第一のモータ２４１及び第二のモータ２４２の消費電力、Ｈｍが第一のモータ２０１及び第二のモータ２０２の動作の時間であってよい。
α１、α２、β１、及びβ２は、予め測定されてもよく、設計値であってもよい。α１、α２、β１、及びβ２は、レーザ制御部８００に含まれる記憶部（不図示）に記憶されてもよい。レーザ制御部８００は、記憶部からα１、α２、β１、及びβ２は、を読み出してもよい。

第一の充電器６０１の消費電力量Ｗｈｃ１及び第二の充電器６０２の消費電力量Ｗｈｃ２は、次のように算出されてもよい。

第一の充電器６０１及び第二の充電器６０２についての一パルスの放電エネルギＥｄ１及びＥｄ２は、
Ｅｄ１＝ａ１（Ｖｈｖ１）²＋ｂ２（Ｖｈｖ１）＋ｃ２
Ｅｄ２＝ａ２（Ｖｈｖ２）²＋ｂ２（Ｖｈｖ２）＋ｃ２
の式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｖｈｖ１及びＶｈｖ２がそれぞれ第一のチャンバ２０１における一対の電極の間に印加される充電電圧及び第二のチャンバ２０２における一対の電極の間に印加される充電電圧、ａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２、ｃ１、及びｃ２が所定の係数であってよい。
所定の係数ａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２、ｃ１、及びｃ２は、予め測定されてもよく、設計値であってもよい。所定の係数ａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２、ｃ１、及びｃ２は、レーザ制御部８００に含まれる記憶部（不図示）に記憶されてもよい。レーザ制御部８００は、記憶部から所定の係数ａ１、ａ２、ｂ１、ｂ２、ｃ１、及びｃ２を読み出してもよい。

第一の充電器６０１の消費電力量Ｗｈｃ１及び第二の充電器６０２の消費電力量Ｗｈｃ２は、γを換算係数として、第一の充電器６０１及び第二の充電器６０２についての複数のパルスの放電エネルギＥｄ１及びＥｄ２の積算値ΣＥｄ１及びΣＥｄ２から、
Ｗｈｃ１＝γ・ΣＥｄ１
Ｗｈｃ２＝γ・ΣＥｄ２
の式に従って、算出されてもよい。γは、１／３６０００００ｋｗ時／Ｊであってもよい。

レーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力量Ｗｈｌは、Ｗｈｌ＝Ｅｌ・Ｈｌの式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｅｌはレーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力、Ｈｌはレーザ制御部８００及び他のデバイスの消費電力の計算の開始から終了までの時間であってよい。Ｈ１は、レーザ装置１０２０の動作の状態に独立な固定値であってもよい。

このようにして、レーザ装置１０２０の消費電力量Ｗｈが算出されてもよい。

電源から第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、レーザ制御部８００、及び他のデバイスに供給される電力は、レーザ制御部８００によって制御されてもよい。

図２７は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置の冷却系統の構成を例示する図である。図５又は図２５に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図２７に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図５又は図２５に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図２７に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０２０の冷却系統については、第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一のチャンバ２０１内に設けられた第一の熱交換器２８１、第二のチャンバ２０２内に設けられた第二の熱交換器２８２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、第一のパルスパワーモジュール７０１、及び第二のパルスパワーモジュール７０２が、第一のマニホールド６０１１、第二のマニホールド６０１２、及び配管を通じて冷却水タンク（不図示）に接続されてもよい。第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の熱交換器２８１、第二の熱交換器２８２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、第一のパルスパワーモジュール７０１、及び第二のパルスパワーモジュール７０２には、冷却水タンクから第一のマニホールド６０１１及び配管を通じて冷却水が供給されてもよい。第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の熱交換器２８１、第二の熱交換器２８２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、第一のパルスパワーモジュール７０１、及び第二のパルスパワーモジュール７０２は、冷却水によって冷却されてもよい。第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の熱交換器２８１、第二の熱交換器２８２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、第一のパルスパワーモジュール７０１、及び第二のパルスパワーモジュール７０２に供給された冷却水は、第二のマニホールド６０１２及び配管を通じて冷却水タンクに戻されてもよい。

第一のモータ２４１、第二のモータ２４２、第一の熱交換器２８１、第二の熱交換器２８２、第一の充電器６０１、第二の充電器６０２、第一のパルスパワーモジュール７０１、及び第二のパルスパワーモジュール７０２に供給される冷却水の流量は、配管に設けられた流量調節バルブＶｗによって調節されてもよい。流量調節バルブＶｗは、レーザ制御部８００によって制御されてもよい。

第一の充電器６０１を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ１１によって計測されてもよい。第一のパルスパワーモジュール７０１を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ１２によって計測されてもよい。第一の熱交換器２８１を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ１３によって計測されてもよい。第一のモータ２４１を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ１４によって計測されてもよい。第二の充電器６０２を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ２１によって計測されてもよい。第二のパルスパワーモジュール７０２を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ２２によって計測されてもよい。第二の熱交換器２８２を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ２３によって計測されてもよい。第二のモータ２４２を通過する冷却水の流量は、流量計Ｆ２４によって計測されてもよい。流量計Ｆ１１、流量計Ｆ１２、流量計Ｆ１３、流量計Ｆ１４、流量計Ｆ２１、流量計Ｆ２２、流量計Ｆ２３、及び流量計Ｆ２４によって計測された冷却水の流量は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。

時間Ｔにおけるレーザ装置１０２０に流れる冷却水の流量の合計Ｆ（Ｔ）は、Ｆ＝Ｆ１１（Ｔ）＋Ｆ１２（Ｔ）＋Ｆ１３（Ｔ）＋Ｆ１４（Ｔ）＋Ｆ２１（Ｔ）＋Ｆ２２（Ｔ）＋Ｆ２３（Ｔ）＋Ｆ２４（Ｔ）の式に従って、算出されてもよい。ここで、Ｆ１１（Ｔ）、Ｆ１２（Ｔ）、Ｆ１３（Ｔ）、Ｆ１４（Ｔ）、Ｆ２１（Ｔ）、Ｆ２２（Ｔ）、Ｆ２３（Ｔ）、及びＦ２４（Ｔ）は、それぞれ流量計Ｆ１１、Ｆ１２、Ｆ１３、Ｆ１４、Ｆ２１、Ｆ２２、Ｆ２３、及びＦ２４によって計測された冷却水の流量であってよい。

４．２ 本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における省エネルギー及び省資源
図２８は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置におけるベンチレーションによる空気の消費量を低減する構成を例示する図である。図２４又は図２５に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図２８に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図２４又は図２５に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図２８に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０２０におけるベンチレーションポート１１０には自動バタフライバルブ１６０が設けられてもよい。自動バタフライバルブ１６０は、レーザ制御部８００と接続されてもよい。レーザ制御部８００は、レーザ装置１０２０の電力に基づいて、自動バタフライバルブ１６０を制御してもよい。レーザ装置１０２０におけるベンチレーションによる空気の流量は、自動バタフライバルブ１６０を制御することによって、調節されてもよい。レーザ装置１０２０におけるベンチレーションによる空気の流量は、レーザ装置１０２０の電力に比例するように調節されてもよい。レーザ装置１０２０におけるベンチレーションによる空気の消費量は、自動バタフライバルブ１６０を制御することによって、低減されてもよい。

図２９は、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置のパージガス系統の構成を例示する図である。図６又は図２５に例示するレーザ装置の構成要素と同一の図２９に例示するレーザ装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。図６又は図２５に例示する半導体露光装置の構成要素と同一の図２９に例示する半導体露光装置の構成要素には同一の参照符号を付与すると共にその構成要素についての記述を省略することにする。

レーザ装置１０２０のパージガス系統については、窒素ガスを含む第四のガスボンベ３０４０及びヘリウムガスを含む第五のガスボンベ３０５０が設けられてもよい。

窒素ガスは、第四のガスボンベ３０４０から、第一のガスマニホールド７０１０及び配管を通じて、第一のチャンバ２０１、第二のチャンバ２０２、第二のエネルギモニタ５０２、及び光学パルスストレッチャ（ＯＰＳ）７０４０に供給されてもよい。窒素ガスは、第一のチャンバ２０１又は第二のガスマニホールド７０２０を通じて筐体１００内に排気されてもよい。第一のチャンバ２０１、第二のチャンバ２０２、第二のエネルギモニタ５０２、及び光学パルスストレッチャ７０４０は、窒素ガスによってクリーニングされてもよい。

光学パルスストレッチャ７０４０は、レーザ装置１０２０から出力されるレーザ光のパルス幅を増加させるように構成されてもよい。光学パルスストレッチャ７０４０は、ハーフミラーを透過するレーザ光及びハーフミラーから反射されるレーザ光が、光路差又は位相差を有するように、ハーフミラー及びミラーを含んでもよい。

ヘリウムガスは、第五のガスボンベ３０５０から、配管を通じて、狭帯域化モジュール３００に供給されてもよい。ヘリウムガスは、第一のチャンバ２０１を通じて筐体１００内に排気されてもよい。狭帯域化モジュール３００は、ヘリウムガスによってクリーニングされてもよい。

第四のガスボンベ３０４０及び第一のガスマニホールド７０１０の間にバルブが設けられてもよい。第四のガスボンベ３０４０及び第一のガスマニホールド７０１０の間にレーザ制御部８００に接続されると共に制御される自動の窒素ガス流量調節器（不図示）が設けられてもよい。第一のガスマニホールド７０１０から第一のチャンバ２０１、第二のチャンバ２０２、第二のエネルギモニタ５０２、及び光学パルスストレッチャ７０４０までの配管にバイパスバルブ及び窒素ガス流量調節器が設けられてもよい。第四のガスボンベ３０４０から第一のチャンバ２０１、第二のチャンバ２０２、第二のエネルギモニタ５０２、及び光学パルスストレッチャ７０４０に供給される窒素ガスの流量は、バルブ、バイパスバルブ、及び窒素ガス流量調節器によって調節されてもよい。第四のガスボンベ３０４０から第一のチャンバ２０１、第二のチャンバ２０２、第二のエネルギモニタ５０２、及び光学パルスストレッチャ７０４０に供給される窒素ガスの流量は、バイパスバルブを調節することによって、より効率的に調節されてもよい。第二のマニホールド７０２０を通じて筐体１００内に窒素ガスを排気されるように設けられた配管に窒素ガス流量計が設けられてもよい。あるいは、第四のガスボンベ３０４０及び第一のガスマニホールド７０１０の間における配管に窒素ガス流量計が設けられてもよい。第四のガスボンベ３０４０から筐体１００内に排気される窒素ガスの流量は、窒素ガス流量計によって計測されてもよい。

第五のガスボンベ３０５０から狭帯域化モジュール３００までの配管にバルブ及びヘリウムガス流量調節器が設けられてもよい。第五のガスボンベ３０５０から狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量は、バルブ及びヘリウムガス流量調節器によって調節されてもよい。第五のガスボンベ３０５０から狭帯域化モジュール３００までの配管にヘリウムガス流量計が設けられてもよい。第五のガスボンベ３０５０から狭帯域化モジュール３００に供給されるヘリウムガスの流量は、ヘリウムガス流量計によって計測されてもよい。

第四のガスボンベ３０４０から第一のチャンバ２０１、第二のチャンバ２０２、第二のエネルギモニタ５０２、及び光学パルスストレッチャ７０４０までの配管に設けられたバルブ、並びに、第五のガスボンベ３０５０から狭帯域化モジュール３００までの配管に設けられたバルブは、レーザ制御部８００に接続されると共にレーザ制御部８００によって制御されてもよい。窒素ガス流量計によって計測された窒素ガスの流量は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。ヘリウムガス流量計によって計測されたヘリウムガスの流量は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。

第二のマニホールド７０２０を通じて筐体１００内に窒素ガスを排気されるように設けられた配管に酸素濃度計７０３０が設けられてもよい。酸素濃度計７０３０は、第二のマニホールド７０２０を通じて筐体１００内に排気される窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度を計測するように設けられてもよい。窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度は、レーザ制御部８００へ送信されてもよい。酸素濃度計７０３０によって計測された不純物としての酸素ガスの濃度は、窒素ガス用のバルブ及び窒素ガス流量調節器の少なくとも一つを調節することによって、制御されてもよい。

図３０Ａは、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度及び窒素ガスを供給する時間の間の関係性を例示する図である。図３０Ａにおいて、点線は、レーザ装置１０２０においてバイパスバルブを閉じる場合を例示する。図３０Ａにおいて、実線は、レーザ装置１０２０においてバイパスバルブを開ける場合を例示する。図３０Ａに例示されるように、窒素ガスを供給する時間を増加させると、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度は、減少してもよい。図３０Ａに例示されるように、バイパスバルブを開ける場合における酸素ガスの濃度は、バイパスバルブを閉じる場合と比較して、より少ない時間で減少させられてもよい。図３０ＡにおけるＨは、窒素ガスの供給の開始から、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度が、許容酸素ガス濃度（窒素ガスに不純物として含まれてもよい酸素ガスの濃度の最大値）になるまでの時間を示す。許容酸素ガス濃度は、例えば、１０ｐｐｍであってもよい。

図３０Ｂは、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量を低減する方法の第一の例を例示する図である。

ステップＳ２００１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給するか否かについて判断してもよい。レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給する場合には、レーザ制御部８００は、配管に設けられたバルブ及び窒素ガス流量調節器を使用することによって、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給すると共に、ステップＳ２００２に進んでもよい。レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給しない場合には、ステップＳ２００１を繰り返してもよい。

ステップＳ２００２において、レーザ制御部８００は、レーザ制御部８００に含まれたタイマ（不図示）の時間Ｔをリセットすると共にタイマによる時間Ｔの計測を開始してもよい。

ステップＳ２００３において、レーザ制御部８００は、配管に設けられたバイパスバルブを開けてもよい。

ステップＳ２００４において、タイマによって計測された時間Ｔが所定の時間Ｈより大きいか否かについて判断してもよい。タイマによって計測された時間Ｔが所定の時間Ｈより大きい場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ２００５に進んでもよい。タイマによって計測された時間Ｔが所定の時間Ｈ以下である場合には、ステップＳ２００４を繰り返してもよい。

ステップＳ２００５において、レーザ制御部８００は、配管に設けられたバイパスバルブを閉じてもよい。

レーザ装置１０２０における窒素ガスの供給からの時間が所定の時間Ｈになるまで、バイパスバルブを開けることによって、レーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を増加させてもよい。窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度が許容酸素ガス濃度になるまで、バイパスバルブを開けることによってレーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を増加させてもよい。バイパスバルブを開けることによって、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度をより効率的に減少させるように、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給してもよい。

レーザ装置１０２０における窒素ガスの供給からの時間が所定の時間Ｈになったとき、バイパスバルブを閉じることによって、レーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を減少させてもよい。窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度が許容酸素ガス濃度になったとき、バイパスバルブを閉じることによってレーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を減少させてもよい。バイパスバルブを閉じることによって、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度が許容酸素ガス濃度以下であるように、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給してもよい。

レーザ装置１０２０に設けられたバイパスバルブ代わりに、第四のガスボンベ３０４０及び第一のガスマニホールド７０１０の間にレーザ制御部８００に接続されると共に制御される自動の窒素ガス流量調節器が設けられてもよい。レーザ装置１０２０における窒素ガスの供給からの時間が所定の時間Ｈになるまで、自動の窒素ガス流量調節器によって、レーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を増加させてもよい。

このように、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量は、低減されてもよい。

図３０Ｃは、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量を低減する方法の第二の例を例示する図である。

ステップＳ２１０１において、レーザ制御部８００は、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給するか否かについて判断してもよい。レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給する場合には、レーザ制御部８００は、配管に設けられたバルブ及び窒素ガス流量調節器を使用することによって、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給すると共に、ステップＳ２１０２に進んでもよい。レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給しない場合には、ステップＳ２１０１を繰り返してもよい。

ステップＳ２１０２において、レーザ制御部８００は、酸素濃度計７０３０を使用することによって、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度Ｃを計測してもよい。

ステップＳ２１０３において、レーザ制御部８００は、配管に設けられたバイパスバルブを開けてもよい。

ステップＳ２１０４において、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度Ｃの計測値が許容酸素ガス濃度以上であるか否かについて判断してもよい。窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度Ｃの計測値が許容酸素ガス濃度Ｃ_O2以上である場合には、レーザ制御部８００は、ステップＳ２１０５に進んでもよい。窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度Ｃの計測値が許容酸素ガス濃度Ｃ_O2より小さい場合には、ステップＳ２１０４を繰り返してもよい。

ステップＳ２１０５において、レーザ制御部８００は、配管に設けられたバイパスバルブを閉じてもよい。

窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度の計測値が許容酸素ガス濃度になるまで、バイパスバルブを開けることによってレーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を増加させてもよい。バイパスバルブを開けることによって、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度をより効率的に減少させるように、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給してもよい。

窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度の計測値が許容酸素ガス濃度になったとき、バイパスバルブを閉じることによってレーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を減少させてもよい。バイパスバルブを閉じることによって、窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度が許容酸素ガス濃度以下であるように、レーザ装置１０２０に窒素ガスを供給してもよい。

レーザ装置１０２０に設けられたバイパスバルブ代わりに、第四のガスボンベ３０４０及び第一のガスマニホールド７０１０の間にレーザ制御部８００に接続されると共に制御される自動の窒素ガス流量調節器が設けられてもよい。窒素ガスに含まれる不純物としての酸素ガスの濃度の計測値が許容酸素ガス濃度になるまで、自動の窒素ガス流量調節器によって、レーザ装置１０２０に供給される窒素ガスの量を増加させてもよい。

このように、本開示の第二の実施形態に係るレーザ装置における窒素ガスの消費量は、低減されてもよい。

５．その他
５．１ パルスパワーモジュール
図３１は、本開示の実施形態におけるパルスパワーモジュールを例示する図である。

パルスパワーモジュール７００は、充電器６００及びチャンバ２００に接続されてもよい。パルスパワーモジュール７００及び充電器６００は、レーザ制御部８００に接続されてもよい。

充電器６００は、レーザ制御器８００から充電の信号を受信すると、パルスパワーモジュール７００に含まれる容量Ｃ₀を備えた充電コンデンサに充電電圧Ｖｈｖを印加してもよい。充電器６００による充電電圧Ｖｈｖによって容量Ｃ₀を備えた充電コンデンサに蓄えられるエネルギは、（１／２）Ｃ₀（Ｖｈｖ）²であってもよい。チャンバ２００における一パルス当たりの放電のエネルギは、（１／２）Ｃ₀（Ｖｈｖ）²であってもよい。

レーザ制御部８００からパルスパワーモジュール７００に含まれる半導体スイッチに放電に関するトリガＴｒを送信することによって、パルス電圧を生じさせてもよい。

パルスパワーモジュール７００は、半導体スイッチ７１０及び容量Ｃ₀を備えた充電コンデンサに加えて、トランスＴＣ₁、磁気スイッチＭＳ₁、ＭＳ₂、及びＭＳ₃、並びに、コンデンサＣ₁、Ｃ₂、及びＣ₃を含んでもよい。パルスパワーモジュール７００に含まれるトランスＴＣ₁、磁気スイッチＭＳ₁、ＭＳ₂、及びＭＳ₃、並びに、コンデンサＣ₁、Ｃ₂、及びＣ₃は、磁気パルス圧縮回路を形成してもよい。パルスパワーモジュール７００における磁気パルス圧縮回路によって、パルス電圧のパルス幅は、圧縮されてもよい。

圧縮されたパルス幅を備えたパルス電圧は、チャンバ２００に含まれる電流導入端子２５０ｃ及び電極ホルダ２９０に印加されてもよい。圧縮されたパルス幅を備えたパルス電圧は、電流導入端子２５０ｃに接続されると共に電気絶縁体２６０によって整形された第一の電極２５０ａ及び電極ホルダ２９０に接続された第二の電極２５０ｂの間に印加されてもよい。第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に印加されたパルス電圧によって、第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に供給されたレーザガスの放電を生じさせてもよい。レーザガスの放電によってレーザ光を生じさせてもよい。

第一の電極２５０ａ及び第二の電極２５０ｂの間に供給されるレーザガスは、クロスフローファン２３０によってチャンバ２００内で循環させられてもよい。クロスフローファン２３０によって循環させられるレーザガスは、熱交換器２８０によって冷却させられてもよい。

５．２ 制御部（コントローラ）
図３２は、本開示の実施形態における制御部を例示する図である。

上述した実施の形態における各制御部は、コンピュータやプログラマブルコントローラ等汎用の制御機器によって構成されてもよい。たとえば、以下のように構成されてもよい。

＜構成＞
制御部は、処理部８０００と、処理部８０００に接続される、ストレージメモリ８００５と、ユーザインターフェース８０１０と、パラレルＩ／Ｏコントローラ８０２０と、シリアルＩ／Ｏコントローラ８０３０と、Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ８０４０とによって構成されてもよい。また、処理部８０００は、ＣＰＵ８００１と、ＣＰＵ８００１に接続された、メモリ８００２、タイマ８００３、ＧＰＵ８００４とから構成されてもよい。

＜動作＞
処理部８０００は、ストレージメモリ８００５に記憶されたプログラムを読み出してもよい。また、処理部８０００は、読み出したプログラムを実行したり、プログラムの実行に従ってストレージメモリ８００５からデータを読み出したり、ストレージメモリ８００５にデータを記憶させたりしてもよい。

パラレルＩ／Ｏコントローラ８０２０は、パラレルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器に接続されてもよい。パラレルＩ／Ｏコントローラ８０２０は、処理部８０００がプログラムを実行する過程で行う、パラレルＩ／Ｏポートを介したデジタル信号による通信を制御してもよい。

シリアルＩ／Ｏコントローラ８０３０は、シリアルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器に接続されてもよい。シリアルＩ／Ｏコントローラ８０３０は、処理部８０００がプログラムを実行する過程で行う、シリアルＩ／Ｏポートを介したデジタル信号による通信を制御してもよい。

Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ８０４０は、アナログポートを介して通信可能な機器に接続されてもよい。Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ８０４０は、処理部８０００がプログラムを実行する過程で行う、アナログポートを介したアナログ信号による通信を制御してもよい。

ユーザインターフェース８０１０は、オペレータが処理部８０００によるプログラムの実行過程を表示したり、オペレータによるプログラム実行の中止や割り込み処理を処理部８０００に行わせるよう構成されてもよい。

処理部８０００のＣＰＵ８００１はプログラムの演算処理を行ってもよい。メモリ８００２は、ＣＰＵ８００１がプログラムを実行する過程で、プログラムの一時記憶や、演算過程でのデータの一時記憶を行ってもよい。タイマ８００３は、時刻や経過時間を計測し、プログラムの実行に従ってＣＰＵ８００１に時刻や経過時間を出力してもよい。ＧＰＵ８００４は、処理部８０００に画像データが入力された際、プログラムの実行に従って画像データを処理し、その結果をＣＰＵ８００１に出力してもよい。

＜接続機器＞
パラレルＩ／Ｏコントローラ８０２０に接続される、パラレルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器は、他の制御部等であってもよい。

シリアルＩ／Ｏコントローラ８０３０に接続される、シリアルＩ／Ｏポートを介して通信可能な機器は、ＤＣ高圧電源等であってもよい。

Ａ／Ｄ、Ｄ／Ａコンバータ８０４０接続される、アナログポートを介して通信可能な機器は、圧力センサ等であってもよい。

５．３ コンピュータ読み取り可能な記録媒体
図３３は、本開示の実施形態に係るコンピュータ読み取り可能な記録媒体を例示する図である。

コンピュータ読み取り可能な記録媒体としてのＣＤ−ＲＯＭ９０１０には、本開示の実施形態に係るレーザ装置におけるエネルギの消費量及び資源の消費量を算出すると共にディスプレイに表示するプログラムが記録されている。ＣＤ−ＲＯＭ９０１０に記録されたプログラムは、汎用のコンピュータで読み出されると共に実行されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記録媒体は、フロッピー（登録商標）ディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＢＤ−ＲＯＭ、又はハードディスクであってもよい。

上記の説明は、制限ではなく単なる例示を意図したものである。従って、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本開示の実施形態に変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。

本明細書及び添付の特許請求の範囲全体で使用される用語は、「限定的でない」用語と解釈されるべきである。例えば、「含む」又は「含まれる」という用語は、「含まれるものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。「有する」という用語は、「有するものとして記載されたものに限定されない」と解釈されるべきである。また、本明細書、及び添付の特許請求の範囲に記載される不定冠詞「１つの」は、「少なくとも１つ」又は「１又はそれ以上」を意味すると解釈されるべきである。

１００ 筺体
１１０ ベンチレーションポート
１２０ レーザ射出ウィンドウ
１３０ 第一の吸気口
１４０ 第二の吸気口
１５０ 風速センサ
１６０ 自動バタフライバルブ
２００ チャンバ
２０１ 第一のチャンバ
２０２ 第二のチャンバ
２１０ 第一のウィンドウ
２２０ 第二のウィンドウ
２３０ クロスフローファン
２４０ モータ
２４１ 第一のモータ
２４２ 第二のモータ
２５０ａ 第一の電極
２５０ｂ 第二の電極
２５０ｃ 電流導入端子
２６０ 電気絶縁体
２７０ 圧力センサ
２８０ 熱交換器
２８１ 第一の熱交換器
２８２ 第二の熱交換器
２９０ 電極ホルダ
３００ 狭帯域化モジュール
３１０ プリズムビームエキスパンダ
３２０ グレーティング
４００ 出力結合ミラー
４０１ 第一の出力結合ミラー
４０２ 第二の出力結合ミラー
４０３ 第一の高反射ミラー
４０４ 第二の高反射ミラー
４０５ 部分反射ミラー
５００ エネルギモニタ
５０１ 第一のエネルギモニタ
５０２ 第二のエネルギモニタ
５１０ ビームスプリッタ
５２０ パルスエネルギセンサ
６００ 充電器
６０１ 第一の充電器
６０２ 第二の充電器
７００ パルスパワーモジュール
７０１ 第一のパルスパワーモジュール
７０２ 第二のパルスパワーモジュール
７１０ 半導体スイッチ
７１１ 第一の半導体スイッチ
７１２ 第二の半導体スイッチ
８００ レーザ制御部
８１０ ガス制御部
８２０ 他のデバイス
９１０ レーザガス供給装置
９２０ パージガス供給装置
９３０ 排気装置
９４０ 真空ポンプ
９５０ フッ素ガストラップ
１０００，１０１０，１０２０ レーザ装置
２０００ 半導体露光装置
２０１０ 露光装置制御部
３０１０ 第一のガスボンベ
３０２０ 第二のガスボンベ
３０３０ 第三のガスボンベ
３０４０ 第四のガスボンベ
３０５０ 第五のガスボンベ
４０１０ インターネット回線
４０２０ ユーザインターフェース
４０３０ ＦＤＣシステム
５０１０ 電力計
５０２０ 端子台
６０１１ 第一のマニホールド
６０１２ 第二のマニホールド
７０１０ 第一のガスマニホールド
７０２０ 第二のガスマニホールド
７０３０ 酸素濃度計
７０４０ 光学パルスストレッチャ
９０１０ ＣＤ−ＲＯＭ

Claims (16)

1. クロスフローファンにより一対の電極の間にレーザガスを供給し、充電器を用いて前記一対の電極に電圧を印加することでレーザ発振する放電励起式ガスレーザ装置であって、
   レーザ発振の停止時間が第１の所定停止時間より大きい場合、前記充電器による電圧の印加を停止し、
   前記停止時間が前記第１の所定停止時間より大きい第２の所定停止時間よりさらに大きい場合、前記クロスフローファンを回転させるモータを停止するように構成された
   放電励起式ガスレーザ装置。
2. 請求項１に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   露光装置制御部から前記停止時間を受信する、放電励起式ガスレーザ装置。
3. 請求項１に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   露光装置制御部からレーザ発振の停止信号及び前記停止時間を受信する、放電励起式ガスレーザ装置。
4. 請求項２又は請求項３に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   前記第１の所定停止時間は３０秒である、放電励起式ガスレーザ装置。
5. 請求項２又は請求項３に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   前記第２の所定停止時間は３分以上５分以下である、放電励起式ガスレーザ装置。
6. 請求項２又は請求項３に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   前記放電励起式ガスレーザ装置の構成要素に冷却水を供給し、
   前記放電励起式ガスレーザ装置に含まれる光学素子にパージガスを供給するように構成され、
   前記停止時間が前記第２の所定停止時間より大きい第３の所定停止時間よりさらに大きい場合、前記冷却水の供給を低減又は停止するように構成され、
   前記停止時間が前記第３の所定停止時間より大きい第４の所定停止時間よりさらに大きい場合、前記パージガスの供給を停止するように構成された
   放電励起式ガスレーザ装置。
7. 請求項６に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   前記第３の所定停止時間は１時間以上５時間以下である、放電励起式ガスレーザ装置。
8. 請求項６に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   前記第４の所定停止時間は５時間以上２４時間以下である、放電励起式ガスレーザ装置。
9. 請求項１に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
   タイマにより前記停止時間を計測する、放電励起式ガスレーザ装置。
10. 請求項９に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    露光装置制御部から動作信号を受信してレーザ発振するように構成され、
    前記停止時間として、前記動作信号がオフである時間を計測する、放電励起式ガスレーザ装置。
11. 請求項９又は請求項１０に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    前記クロスフローファンにより前記一対の電極の間にレーザガスを供給しており、前記充電器による電圧の印加をしている状態で、露光装置制御部にトリガ受付信号を送信するように構成され、
    前記露光装置制御部に前記トリガ受付信号を送信した後、前記停止時間の計測を開始する、放電励起式ガスレーザ装置。
12. 請求項９〜請求項１１のいずれか一項に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    前記第１の所定停止時間は５秒である、放電励起式ガスレーザ装置。
13. 請求項９〜請求項１１のいずれか一項に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    前記第２の所定停止時間は１分である、放電励起式ガスレーザ装置。
14. 請求項９〜請求項１１のいずれか一項に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    前記放電励起式ガスレーザ装置の構成要素に冷却水を供給し、
    前記放電励起式ガスレーザ装置に含まれる光学素子にパージガスを供給するように構成され、
    前記停止時間が前記第２の所定停止時間より大きい第３の所定停止時間よりさらに大きい場合、前記冷却水の供給を低減又は停止するように構成され、
    前記停止時間が前記第３の所定停止時間より大きい第４の所定停止時間よりさらに大きい場合、前記パージガスの供給を停止するように構成された
    放電励起式ガスレーザ装置。
15. 請求項１４に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    前記第３の所定停止時間は１０分である、放電励起式ガスレーザ装置。
16. 請求項１４に記載の放電励起式ガスレーザ装置において、
    前記第４の所定停止時間は１時間である、放電励起式ガスレーザ装置。

Images