CN117439544A - 工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备 - Google Patents

工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备 Download PDF

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CN117439544A CN202311754223.2A CN202311754223A CN117439544A CN 117439544 A CN117439544 A CN 117439544A CN 202311754223 A CN202311754223 A CN 202311754223A CN 117439544 A CN117439544 A CN 117439544A
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Abstract

本申请提供一种射频电路的工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备，涉及射频技术领域，射频电路的工作频率调节方法包括：控制射频电路以不同的工作频率向负载输出；检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率；将射频电路的工作频率调节为谐振频率。本申请可快速确定射频电路的谐振频率，并调节射频电路的工作频率为谐振频率。

Description

工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备
技术领域
本申请涉及射频技术领域，尤其涉及一种射频电路的工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备。
背景技术
目前，随着射频（Radio Frequency，RF）各种应用的普及，射频电路越来越多地应用于各个领域。其中，射频电路的工作频率对射频电路的输出尤为重要，以射频电路的谐振频率工作能够取得较好的效果，然而，当前的射频电路的设计越发复杂，元器件越发多样，通过调整射频电路的电感、电容等元器件的值来调整射频电路变得尤为困难，经过多次测试也很难找到射频电路的谐振频率。
因此，如何快速确定射频电路的谐振频率，并调节射频电路的工作频率为谐振频率，成为了需要考虑的问题。
发明内容
本申请提供一种射频电路的工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备，可快速确定射频电路的谐振频率，并调节射频电路的工作频率为谐振频率。
第一方面，提供一种射频电路的工作频率调节方法，所述射频电路的工作频率调节方法包括：控制射频电路以不同的工作频率向负载输出；检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率；将射频电路的工作频率调节为谐振频率。
在一种可能的实施方式中，所述射频电路包括射频电源，所述控制射频电路以不同的工作频率向负载输出，包括：控制射频电路的射频电源至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载输出。
在一种可能的实施方式中，所述检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，包括：检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数。
在一种可能的实施方式中，所述基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率，包括：基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C；进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路的谐振频率f0。
在一种可能的实施方式中，所述检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，包括：检测射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R；其中，所述第一电压值U1和所述第二电压值U2分别为所述射频电源在所述第一工作频率f1和所述第二工作频率f2输出时的输出电压值U，所述第一电流值I1和所述第二电流值I2分别为所述射频电路在所述第一工作频率f1和所述第二工作频率f2输出时的电流值I。
在一种可能的实施方式中，所述基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，包括：基于射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C。
在一种可能的实施方式中，所述基于射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，包括：根据如下关系表达式计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C：第一关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X1为所述射频电路在第一工作频率f1输出时的电抗值；第二关系表达式：/>，，其中，j为虚数单位，X2为所述射频电路在第二工作频率f2输出时的电抗值。
在一种可能的实施方式中，所述进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路的谐振频率f0，包括：进而根据等效电感值L和等效电容值C，通过关系表达式计算得到射频电路的谐振频率f0。
第二方面，还提供一种工作频率控制电路，用于调节射频电路的工作频率，所述工作频率控制电路包括：控制单元，用于控制所述射频电路以不同的工作频率向负载输出；电路参数检测单元，用于检测所述射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；其中，所述控制单元还用于基于所述射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到所述射频电路的谐振频率，并控制将所述射频电路的工作频率调节为所述谐振频率。
第三方面，还提供一种射频电源设备，包括上述的工作频率控制电路以及射频电路，所述工作频率控制电路控制执行上述的射频电路的工作频率调节方法中的步骤，以调节所述射频电路的工作频率，其中，所述射频电路具有谐振频率f0，所述射频电路并包括：射频电源，用于以不同的工作频率向所述负载输出；射频输出端，用于连接所述负载。所述工作频率控制电路包括：控制单元，用于控制所述射频电路以不同的工作频率向负载输出；电路参数检测单元，用于检测所述射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；其中，所述控制单元还用于基于所述射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到所述射频电路的谐振频率，并控制将所述射频电路的工作频率调节为所述谐振频率。所述射频电路的工作频率调节方法包括：控制射频电路以不同的工作频率向负载输出；检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率；将射频电路的工作频率调节为谐振频率。本申请可快速确定射频电路的谐振频率，并调节射频电路的工作频率为谐振频率。
本申请的射频电路的工作频率调节方法、工作频率控制电路及射频电源设备，能够基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，快速确定射频电路的谐振频率，并调节射频电路的工作频率为谐振频率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或背景技术中的技术方案，下面将对本申请实施例或背景技术中所需要使用的附图进行说明。
图1为本申请一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。
图2为本申请又一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。
图3为本申请另一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。
图4为本申请再一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。
图5为本申请一实施例中的工作频率控制电路的结构示意图。
图6为本申请一实施例中的射频电源设备的结构示意图。
图7为本申请一实施例中的射频电源设备的电路示意图。
附图标记说明：1、射频电源设备，10、工作频率控制电路，110、控制单元，120、电路参数检测单元，20、射频电路，210、射频电源，220、射频输出端，230、电感电容网络，L1、等效电感，C1、等效电容，U、输出电压值，I、电流值，RL、负载，GND、地。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是暗示或指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请实施例的描述中，需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或服务器不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
请参阅图1，图1为本申请一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。如图1所示，本申请提供一种射频电路的工作频率调节方法，射频电路的工作频率调节方法包括：
步骤S100：控制射频电路以不同的工作频率向负载输出；
步骤S200：检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；
步骤S300：基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率；
步骤S400：将射频电路的工作频率调节为谐振频率。
从而，本申请中的上述射频电路的工作频率调节方法，能够基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，快速确定射频电路的谐振频率，并调节射频电路的工作频率为谐振频率。
其中，现有往往要确定射频电路中电感、电容等元器件的值来计算谐振频率，或者通过调整射频电路中电感、电容等元器件的值来确定是否达到最大输出功率。本申请的工作频率调节方法，无论射频电路的设计是否复杂，均能够基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率，而无需一一确定射频电路中电感、电容等元器件的值，也无需调整射频电路中的电感、电容等元器件的值，就能够确定射频电路的谐振频率，计算简单，效率更高。
在一个或多个实施例中，射频电路以谐振频率输出的持续时间达到预设时间时，则可以控制射频电路重新执行前述的步骤S100~S400，以避免射频电路的谐振频率发生变化，因长时间未对射频电路的工作频率进行调节而导致的输出功率下降。
其中，射频电路以谐振频率输出的持续时间达到预设时间时，还可以检测射频电路在谐振频率输出时的电路参数，基于射频电路在谐振频率输出时的电路参数，判断是否控制射频电路重新执行前述的步骤S100~S400，以在需要重新确定射频电路的谐振频率时执行前述的步骤S100~S400。
其中，电路参数至少可以包括射频电路在谐振频率输出时的电流值I，通过确定电流值I的初相角，在初相角不为零时，控制射频电路重新执行前述的步骤S100~S400。
在一个或多个实施例中，射频电路中连接的负载发生变化时，则可以控制射频电路重新执行前述的步骤S100~S400，以避免负载的变化导致射频电路的谐振频率发生变化，未对射频电路的工作频率进行调节，将导致的输出功率下降。
请一并参阅图2，图2为本申请又一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。射频电路包括射频电源，如图2所示，步骤S100：控制射频电路以不同的工作频率向负载输出，包括：
步骤S110：控制射频电路的射频电源至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载输出。
从而，仅需要控制射频电路的射频电源至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载输出，即可确定射频电路的谐振频率。
如图2所示，步骤S200：检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，包括：
步骤S210：检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数。
从而，通过检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，以用于射频电路的谐振频率的计算。
如图2所示，步骤S300：基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率，包括：
步骤S310：基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C；
步骤S320：进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路的谐振频率f0。
从而，仅基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，就能够计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，进而也就得到了射频电路的谐振频率f0。
具体的，如果不调整射频电路中的电感、电容等元器件的值，射频电路的谐振频率一般不会发生变化，但如果一一确定射频电路中电感、电容等元器件的值，或者调整射频电路中的电感、电容等元器件的值，往往会造成计算的复杂、测试次数的增多以及测试难度的增大，而本申请的工作频率调节方法，仅基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，就能够计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，进而也就得到了射频电路的谐振频率f0。
请一并参阅图3，图3为本申请另一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。如图2、图3所示，步骤S210：检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，包括：
步骤S211：检测射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R；
其中，第一电压值U1和第二电压值U2分别为射频电源在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的输出电压值U，第一电流值I1和第二电流值I2分别为射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电流值I。
从而，通过检测射频电源在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的输出电压值U，并检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电流值I，以及负载的电阻值R，仅检测几个射频电路的电路参数就可以得到复杂的射频电路的谐振频率。
如图2、图3所示，步骤S310：基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，包括：
步骤S311：基于射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C。
从而，通过第一电压值U1、第一电流值I1、第二电压值U2、第二电流值I2以及负载的电阻值R，能够计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C。
需要说明的是，无论射频电路包括哪些元器件，如果不调整射频电路中的电感、电容等元器件的值，射频电路均具有基本不变的谐振频率，也就具有等效电感值L和等效电容值C，等效电感值L和等效电容值C可能来自于射频电路中的电感、电容等元器件，也可能来自于射频电路中的射频电源或射频电路外的负载，还可能仅是射频电路中的寄生电感和寄生电容。
请一并参阅图4，图4为本申请再一实施例中的射频电路的工作频率调节方法的流程图。如图3、图4所示，步骤S311：基于射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，包括：
步骤S3110：根据如下关系表达式计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C：
第一关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X1为射频电路在第一工作频率f1输出时的电抗值；第二关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X2为射频电路在第二工作频率f2输出时的电抗值。
从而，联立第一关系表达式和第二关系表达式，即可求出关系表达式中的两个未知量，即射频电路的等效电感值L和等效电容值C。
如图2、图3、图4所示，步骤S320：进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路的谐振频率f0，包括：
步骤S3210：进而根据等效电感值L和等效电容值C，通过关系表达式计算得到射频电路的谐振频率f0。
从而，得到了射频电路的等效电感值L和等效电容值C，也就能够计算得到射频电路的谐振频率f0。
本申请的射频电路的工作频率调节方法，通过上述步骤，无论射频电路的设计是否复杂，均能够基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率，而无需一一确定射频电路中电感、电容等元器件的值，也无需调整射频电路中的电感、电容等元器件的值，并且仅需要控制射频电路的射频电源至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载输出，就能够计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，进而也就得到了射频电路的谐振频率f0。
请参阅图5，图5为本申请一实施例中的工作频率控制电路的结构示意图。如图5所示，本申请还提供一种工作频率控制电路10，用于调节射频电路20的工作频率，工作频率控制电路10包括：控制单元110，用于控制射频电路20以不同的工作频率向负载RL输出；电路参数检测单元120，用于检测射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数；其中，控制单元110还用于基于射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路20的谐振频率，并控制将射频电路20的工作频率调节为谐振频率。
从而，控制单元110能够基于电路参数检测单元120检测的射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数，快速确定射频电路20的谐振频率，并调节射频电路20的工作频率为谐振频率。
在一个或多个实施例中，控制单元110控制射频电路20的射频电源210至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载RL输出，射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数至少包括在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路20在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载RL的电阻值R，电路参数检测单元120用于检测射频电路20在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路20在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载RL的电阻值R，其中，第一电压值U1和第二电压值U2分别为射频电源210在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的输出电压值U，第一电流值I1和第二电流值I2分别为射频电路20在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电流值I。
其中，控制单元110控制射频电路20的射频电源210至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载RL输出时，可以直接采用电阻值为50Ω标准电阻值的负载RL，则电路参数检测单元120仅检测一次负载RL的电阻值是否为50Ω，即可带入如下关系表达式计算得到射频电路20的等效电感值L和等效电容值C，更便于检测和计算。
在一个或多个实施例中，控制单元110并基于射频电路20在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路20的等效电感值L和等效电容值C，进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路20的谐振频率f0。
其中，控制单元110根据如下关系表达式计算得到射频电路20的等效电感值L和等效电容值C：
第一关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X1为射频电路20在第一工作频率f1输出时的电抗值；第二关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X2为射频电路20在第二工作频率f2输出时的电抗值。
进而根据等效电感值L和等效电容值C，通过关系表达式计算得到射频电路20的谐振频率f0。
在一个或多个实施例中，电路参数检测单元120可以包括电压检测单元、电流检测单元等，其中，电压检测单元可以是电压表，也可以是电压传感器等其他电压检测器件，还可以是由电阻、电容以及二极管等元件组成的电压检测电路，电流检测单元可以是电流表，也可以是霍尔传感器等其他电流检测器件，还可以是由电阻、电容以及二极管等元件组成的电流检测电路。
在一个或多个实施例中，控制单元110可以是中央处理器(Central ProcessingUnit，CPU)等通用处理器，也可以是数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现场可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其它可编程逻辑器件、分立门逻辑器件、晶体管逻辑器件等逻辑控制器件，还可以是微控制单元(Micro Control Unit，MCU)等微处理器。
本申请的射频电路20的工作频率调节方法以及工作频率控制电路10，通过上述步骤和结构，无论射频电路20的设计是否复杂，控制单元110均能够基于电路参数检测单元120检测的射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路20的谐振频率，而无需一一确定射频电路20中电感、电容等元器件的值，也无需调整射频电路20中的电感、电容等元器件的值，并且仅需要控制单元110控制射频电路20的射频电源210至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载RL输出，就能够计算得到射频电路20的等效电感值L和等效电容值C，进而也就得到了射频电路20的谐振频率f0。
请一并参阅图6、图7，图6为本申请一实施例中的射频电源设备的结构示意图，图7为本申请一实施例中的射频电源设备的电路示意图。如图6、图7所示，本申请还提供一种射频电源设备1，包括上述的工作频率控制电路10以及射频电路20，工作频率控制电路10控制执行上述的射频电路20的工作频率调节方法中的步骤，以调节射频电路20的工作频率，其中，射频电路20具有谐振频率f0，射频电路20并包括：射频电源210，用于以不同的工作频率向负载RL输出；射频输出端220，用于连接负载RL。
如图5所示，工作频率控制电路10包括：控制单元110，用于控制射频电路20以不同的工作频率向负载RL输出；电路参数检测单元120，用于检测射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数；其中，控制单元110还用于基于射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路20的谐振频率，并控制将射频电路20的工作频率调节为谐振频率。
如图1所示，射频电路的工作频率调节方法包括：
步骤S100：控制射频电路以不同的工作频率向负载输出；
步骤S200：检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；
步骤S300：基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率；
步骤S400：将射频电路的工作频率调节为谐振频率。
其中，工作频率控制电路10更具体的结构可参见前述任一实施例中工作频率控制电路10的相关内容，射频电路的工作频率调节方法更具体的步骤可参见前述任一实施例中射频电路的工作频率调节方法的相关内容，在此不再赘述。
从而，控制单元110能够基于电路参数检测单元120检测的射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数，快速确定射频电路20的谐振频率，并调节射频电路20的工作频率为谐振频率。
如图7所示，射频电路20还可以包括电容电感网络，电容电感网络包括至少一个等效电感L1和至少一个等效电容C1，至少一个等效电感L1与至少一个等效电容C1串联或并联连接。
需要说明的是，射频电路20可以进行阻抗匹配，则电感电容网络230可以用于射频电源210的内部阻抗与负载RL的阻抗进行阻抗匹配。射频电路20也可以不进行阻抗匹配，图7所示的电感电容网络230的等效电感L1和等效电容C1仅仅表示射频电路20中的射频电源210或射频电路20外的负载RL具有与等效电感L1等同大小的等效电感值L以及与等效电容C1等同大小的等效电容值C，或者仅仅表示将射频电路20中的寄生电感和寄生电容等同于等效电感L1和等效电容C1。
在一个或多个实施例中，电路参数检测单元120可以检测如图7所示的射频电路20分别在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时射频电路20的射频电源210的输出电压值U和射频电路20的电流值I，其中，射频电路20的电流值I为射频电路20的干路电流值，即，如图7所示的射频电路20包括串联连接的射频电源210、电感电容网络230以及射频输出端220，则电路参数检测单元120也可以检测射频电路20在射频电源210与电感电容网络230之间的电流值I，或者射频电路20在其他处的电流值I，均为射频电路20的干路电流值，本申请不以此为限。
在一个或多个实施例中，射频电源210的一端与电感电容网络230或射频输出端220的一端连接，射频电源210的另一端可以接地GND。
本申请的射频电路20的工作频率调节方法、工作频率控制电路10以及射频电源设备1，通过上述步骤和结构，无论射频电路20的设计是否复杂，控制单元110均能够基于电路参数检测单元120检测的射频电路20在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路20的谐振频率，而无需一一确定射频电路20中电感、电容等元器件的值，也无需调整射频电路20中的电感、电容等元器件的值，并且仅需要控制单元110控制射频电路20的射频电源210至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载RL输出，就能够计算得到射频电路20的等效电感值L和等效电容值C，进而也就得到了射频电路20的谐振频率f0。
以上描述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内；在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，包括：
控制射频电路以不同的工作频率向负载输出；
检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；
基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率；
将射频电路的工作频率调节为谐振频率。
2.根据权利要求1所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述射频电路包括射频电源，所述控制射频电路以不同的工作频率向负载输出，包括：
控制射频电路的射频电源至少以第一工作频率f1和第二工作频率f2向负载输出。
3.根据权利要求2所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述检测射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，包括：
检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数。
4.根据权利要求3所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述基于射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到射频电路的谐振频率，包括：
基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C；
进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路的谐振频率f0。
5.根据权利要求4所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述检测射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，包括：
检测射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R；
其中，所述第一电压值U1和所述第二电压值U2分别为所述射频电源在所述第一工作频率f1和所述第二工作频率f2输出时的输出电压值U，所述第一电流值I1和所述第二电流值I2分别为所述射频电路在所述第一工作频率f1和所述第二工作频率f2输出时的I。
6.根据权利要求5所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述基于射频电路在第一工作频率f1和第二工作频率f2输出时的电路参数，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，包括：
基于射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C。
7.根据权利要求6所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述基于射频电路在第一工作频率f1输出时的第一电压值U1、第一电流值I1，与射频电路在第二工作频率f2输出时的第二电压值U2、第二电流值I2，以及负载的电阻值R，计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C，包括：
根据如下关系表达式计算得到射频电路的等效电感值L和等效电容值C：
第一关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X1为所述射频电路在第一工作频率f1输出时的电抗值；
第二关系表达式：，/>，其中，j为虚数单位，X2为所述射频电路在第二工作频率f2输出时的电抗值。
8.根据权利要求7所述的射频电路的工作频率调节方法，其特征在于，所述进而根据等效电感值L和等效电容值C计算得到射频电路的谐振频率f0，包括：
进而根据等效电感值L和等效电容值C，通过关系表达式计算得到射频电路的谐振频率f0。
9.一种工作频率控制电路，用于调节射频电路的工作频率，其特征在于，所述工作频率控制电路包括：
控制单元，用于控制所述射频电路以不同的工作频率向负载输出；
电路参数检测单元，用于检测所述射频电路在每个工作频率输出时的电路参数；
其中，所述控制单元还用于基于所述射频电路在每个工作频率输出时的电路参数，计算得到所述射频电路的谐振频率，并控制将所述射频电路的工作频率调节为所述谐振频率。
10.一种射频电源设备，其特征在于，包括如权利要求9所述的工作频率控制电路以及射频电路，所述工作频率控制电路控制执行如权利要求1-8任一项所述的射频电路的工作频率调节方法中的步骤，以调节所述射频电路的工作频率，其中，所述射频电路具有谐振频率f0，所述射频电路并包括：
射频电源，用于以不同的工作频率向所述负载输出；
射频输出端，用于连接所述负载。
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