CN117438361A - 一种键合装置及键合方法 - Google Patents

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CN117438361A CN202311684199.XA CN202311684199A CN117438361A CN 117438361 A CN117438361 A CN 117438361A CN 202311684199 A CN202311684199 A CN 202311684199A CN 117438361 A CN117438361 A CN 117438361A
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龙俊舟
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Abstract

本申请提供一种键合装置及键合方法，该键合装置包括可移动取物台，被配置为移动第一元件；承载平台被配置为移动第二元件；图像采集装置被配置为分别读取处于图像采集装置两侧的第一元件和第二元件的对准标识，其中，读取后的第一元件的对准标识和第二元件的对准标识位于同一坐标系中，键合装置基于第一元件的对准标识的坐标信息、第二元件的对准标识的坐标信息以及预设的标定信息，确定第一元件和第二元件对准差值；其中，键合装置基于对准差值，驱动可移动取物台和/或承载平台进行调整以执行对准补偿操作，使第一元件和第二元件对准并键合；即本申请中能有效缩短耗时，并有利于提高键合效率。

Description

一种键合装置及键合方法
技术领域
本申请涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种键合装置及键合方法。
背景技术
随着半导体技术进入后摩尔时代，为满足高集成度和高性能的需求，芯片结构向着三维方向发展。其中，通过键合技术实现制造堆叠芯片是“超摩尔定律”的重要技术之一。键合精度是键合工艺的重要参数，对键合工艺的应用具有重要影响。
发明内容
本申请提供一种键合装置和键合方法，以有效缩短耗时，并有利于提高键合效率，提高产率。
为解决上述技术问题，本申请提供的第一个技术方案为：提供一种键合装置，包括：可移动取物台、承载平台、图像采集装置；可移动取物台被配置为移动第一元件；承载平台被配置为移动第二元件；图像采集装置被配置为分别读取处于所述图像采集装置两侧的所述第一元件和所述第二元件的对准标识，其中，读取后的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识位于同一坐标系中，键合装置基于所述第一元件的对准标识的坐标信息、第二元件的对准标识的坐标信息以及所述图像采集装置预设的标定信息，确定所述第一元件和所述第二元件的对准差值；其中，所述键合装置基于所述对准差值，驱动所述可移动取物台和/或所述承载平台进行调整以执行对准补偿操作，使所述第一元件和所述第二元件对准并键合。
在一些实施例中，所述图像采集装置为上下视图像采集装置，包括：上视图像采集组件和下视图像采集组件，上视图像采集组件响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述上视图像采集组件被配置为识别所述第一元件的至少一个对准标识；下视图像采集组件响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述下视图像采集组件被配置为识别所述第二元件的至少一个对准标识；其中，所述键合装置基于所述第一元件的至少一个对准标识和所述第二元件的至少一个对准标识，确定坐标差值，进而依据所述坐标差值和所述图像采集装置预设的标定信息，确定所述第一元件和第二元件的对准差值。
在一些实施例中，所述上视图像采集组件包括：上视图像采集单元和第一反射单元；上视图像采集单元响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述上视图像采集单元被配置为识别所述第一元件的至少一个对准标识；第一反射单元响应于所述上视图像采集单元识别所述第一元件的至少一个对准标识，所述第一反射单元将所述第一元件的至少一个对准标识传递至校正坐标系中；所述下视图像采集组件包括下视图像采集单元和第二反射单元；下视图像采集单元响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述下视图像采集单元被配置为识别所述第二元件的至少一个对准标识；第二反射单元响应于所述下视图像采集单元识别所述第二元件的至少一个对准标识，所述第二反射单元将所述第二元件的至少一个对准标识传递至所述校正坐标系中。
在一些实施例中，所述键合装置还被配置为基于所述图像采集装置识别的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识，调整处于对准位的所述第一元件和所述第二元件，以使处于对准位的所述第一元件和所述第二元件在高度方向上对准。
在一些实施例中，响应于所述键合装置执行对准补偿操作，在对准位对准的所述第一元件和所述第二元件被配置为移动至键合位，所述图像采集装置被配置为识别键合位上的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识，获取所述第一元件和所述第二元件的所述对准标识之间的差值，并以所述差值与预设的标定信息的对比结果作为对准差值，以执行所述对准补偿操作。
在一些实施例中，响应于所述键合装置执行键合操作，所述键合装置基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台，以对处于所述对准位的所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作，并在高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至键合位；响应于所述键合装置执行所述键合操作，所述键合装置在所述高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至所述键合位的同时，基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台以对所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作。
在一些实施例中，将处于多数对准位的所述第一元件和所述第二元件进行对准之后，且移动所述第一元件和/或所述第二元件沿高度方向移动之前，所述图像采集装置被驱动至初始位。
在一些实施例中，键合装置还包括机台，机台包括基座和机台框架，其中，所述机台框架设置在所述基座上，所述可移动取物台设置在所述机台框架上，所述承载平台设置在所述基座上，所述可移动取物台和/或所述承载平台被配置为可沿X方向、Y方向、高度方向Z移动，并可在垂直于水平面的一竖直面中旋转，以调整所述可移动取物台和/或承载平台的水平状态。
为解决上述技术问题，本申请提供的第二个技术方案为：提供一种键合方法，包括：读取第一元件的对准标识和第二元件的对准标识，其中，所述第一元件和所述第二元件位于不同侧边，读取后的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识位于同一坐标系中；根据所述第一元件的对准标识的坐标信息、第二元件的对准标识的坐标信息以及预设的标定信息，确定所述第一元件和所述第二元件的对准差值；所述键合装置基于所述对准差值，驱动所述第一元件和/或所述第二元件进行调整以执行对准补偿操作，使所述第一元件和所述第二元件对准并键合。
在一些实施例中，所述获取第一元件的对准标识以及第二元件的对准标识，包括：响应于所述键合装置执行键合操作，驱动所述键合装置的可移动取物台拾取并移动所述第一元件至对准位，以及驱动所述键合装置的承载平台承载并移动所述第二元件至对准位；驱动所述键合装置的图像采集装置至工作位，在校正坐标系中分别识别所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识。
在一些实施例中，响应于所述键合装置执行对准补偿操作，驱动所述第一元件和所述第二元件至对准位，并调整处于对准位的所述第一元件和所述第二元件，以使处于对准位的所述第一元件和所述第二元件在高度方向上对准。
在一些实施例中，响应于所述键合装置执行所述对准补偿操作，驱动所述键合装置的图像采集装置至工作位；利用所述图像采集装置的上视图像采集组件识别所述第一元件的至少一个对准标识，以及利用所述图像采集装置的下视图像采集组件识别所述第二元件的至少一个对准标识；将所述第一元件的至少一个对准标识和所述第二元件的至少一个对准标识传递至同一坐标系上，以获取所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识之间的坐标差值；以所述坐标差值和预设的标定信息的对比结果作为对准差值，以执行所述对准补偿操作。
在一些实施例中，响应于所述键合装置执行键合操作，所述第一元件被配置为待键合的芯片或晶圆，所述第二元件被配置为待键合的晶圆或芯片；利用所述键合装置的可移动取物台和/或承载平台移动所述第一元件和所述第二元件至对准位，并执行对准补偿操作，以使被驱动至对准位的所述第一元件和所述第二元件对准。
在一些实施例中，所述利用所述键合装置的可移动取物台和/或承载平台移动所述第一元件和所述第二元件至对准位，并执行对准补偿操作，以使被驱动至对准位的所述第一元件和所述第二元件对准，包括：基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台，以对处于所述对准位的所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作，然后在高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台，以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至键合位；或者在高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台，以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至所述键合位的同时，基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台，以对所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作。
在一些实施例中，在所述第一元件和所述第二元件对准之前，所述键合方法进一步包括：驱动所述键合装置的图像采集装置从初始位移动至工作位，以读取处于对准位的所述第一元件和所述第二元件的对准标识；在所述第一元件和所述第二元件对准之后，所述键合方法进一步包括：驱动所述图像采集装置从所述工作位移动至所述初始位，以便执行后续的对准补偿操作或键合操作。
区别于当前技术，本申请提供的键合装置，通过设置一体化的图像采集装置，并使得图像采集装置可以在同一坐标系中获取处于不同侧的第一元件和第二元件的对准标识，进而与标定信息进行比对，确定第一元件和第二元件的对准差值，使得键合装置基于对准差值完成第一元件和第二元件的对准并进行键合，同时也无需对每个待键合的第二元件进行多次对准，有效缩短耗时，并有利于提高键合效率，提高产率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1是本申请中键合装置第一实施例的结构示意图；
图2是本申请中键合装置第二实施例的结构示意图；
图3是对准标识传递至同一平面的结构示意图；
图4是本申请中键合装置所对应的校正坐标系示意图；
图5是本申请中键合方法一实施例的流程示意图；
图6是本申请中键合装置确定第一元件和第二元件的坐标信息的示意图；
图7是本申请中键合装置键合第一元件至第二元件的预设表面位置的过程示意图；
图8是本申请中第一元件键合至第二元件的预设表面位置时在校正坐标系中的坐标信息的示意图。
附图中，键合装置10、可移动取物台100、第一驱动组件110、承载平台200、第二驱动组件210、图像采集装置300、上视图像采集组件310、上视图像采集单元311、第一反射单元312、下视图像采集组件320、下视图像采集单元321、第二反射单元322、图像采集驱动件330、第一元件400、第二元件500、机台600、基座610、机台框架620、供给平台700。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进行详细的说明。
请参阅图1，图1是本申请提供的键合装置的第一实施例的结构示意图。
如图1所示，键合装置10包括：可移动取物台100、承载平台200、图像采集装置300；可移动取物台100被配置为拾取并移动第一元件400，承载平台200被配置为承载并移动第二元件500，图像采集装置300被配置为分别读取处于所述图像采集装置两侧的第一元件400和第二元件500的对准标识，其中，读取后的第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识位于同一坐标系中，键合装置10基于第一元件400的对准标识的坐标信息、第二元件500的对准标识的坐标信息以及图像采集装置300预设的标定信息，确定第一元件400和第二元件500的对准差值。
其中，键合装置10基于对准差值驱动可移动取物台100和/或承载平台200进行调整以执行对准补偿操作，使第一元件400和第二元件500对准并键合；对准差值也即第一元件400和第二元件500在同一坐标系中的坐标差值；其中，标定信息为图像采集装置300的坐标系(计量)比例，可以由图像采集装置300的内部参数和/或外部参数所确定。
在一些实施例中，可移动取物台100可以设置在机台框架620上，图像采集装置300也可以设置在机台框架620上，机台框架620设置在基座610上。
可以理解的是，在一些实施例中，第一元件400可以为待键合的晶圆，也可以为待键合的芯片；相应地，第二元件500可以是待键合的晶圆，也可以是待键合的芯片。
需要注意的是，图1仅示出了可移动取物台100设置于机台框架620的顶端，承载平台200设置于基座610上的一实施例；在另一实施例中，可移动取物台100可以设置于基座610上，承载平台200设置于机台框架620上，具体地以实现移动第一元件400和第二元件500至对准位即可，因此，可移动取物台100与承载平台200的位置本申请不做限定。
具体地，响应于键合装置10执行拾取操作，键合装置10驱动可移动取物台100先在拾取位拾取待键合的第一元件400，进而驱动可移动取物台100至对准位；而键合装置10还会驱动承载有待键合的第二元件500的承载平台200至对准位，并在第一元件400和第二元件500到达对准位后，驱动图像采集装置300至工作位，进而响应于图像采集装置300被驱动至工作位，图像采集装置300可以同时识别并读取处于图像采集装置300两侧的第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识；并且读取后的第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识位于同一坐标系中，并获取第一元件的对准标识在该坐标系中的坐标信息，以及获取第二元件的对准标识在该坐标系中的坐标信息；键合装置10基于第一元件的对准标识的坐标信息、第二元件的对准标识的坐标信息以及图像采集装置300预设的标定信息，确定第一元件400和第二元件500的对准差值；在获取对准差值后，键合装置10基于对准差值驱动可移动取物台100和/或承载平台200进行调整以执行对准补偿操作，以对准第一元件400和第二元件500，并在对准后沿高度方向移动可移动取物台100和/或承载平台200，如下移，使得下移后的第一元件400和第二元件500接触并进行键合。
在一些实施例中，也可以是先在垂直方向上移动到键合位后再执行对准补偿操作，对准第一元件和第二元件，最后再下移第一元件400，使得第一元件400和第二元件500键合。
在另一些实施例中，还可以是一边进行对准补偿操作，一边沿高度方向移动，使得第一元件400和第二元件500一边对准一边沿高度方向移动，提高键合效率。
其中，拾取位即为可移动取物台100拾取第一元件400的位置，对准位为第一元件400和第二元件500进行对准的位置；工作位是图像采集装置300获取第一元件400和第二元件500的对准标识的位置，一般处于键合前的第一元件400和第二元件500之间的位置，更准确的说，工作位是当第一元件400和第二元件500移动至对准位时，第一元件400和第二元件500之间的位置。
另外，将第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识所处的同一个坐标系可以是同一个相机视场，即将第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识传递至同一相机视场内，因此，并在该相机视场内设定坐标系，进而确定第一对准标识的坐标信息和第二对准标识的坐标信息。
在一些实施例中，可以驱动可移动取物台100进行调整，也可以驱动承载平台200进行调整，还可以同时驱动可移动取物台100和承载平台200进行调整，使得第一元件400快速对准第二元件500。
在一些实施例中，在可移动取物台100带动第一元件400沿高度方向移动，如下移，并在下移之前，还需要键合装置10驱动图像采集装置300至初始位，也即将图像采集装置300带离工作位，避免图像采集装置300阻挡第一元件400下移过程中的影响。
也即只需要获取一次第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识，就可以依据第一元件的对准标识、第二元件的对准标识和预设的标定信息确定第一元件400和第二元件500之间的对准差值，进而依据该对准差值可以一次完成对第一元件400和第二元件500之间的对准，避免了多次对准而造成的耗时长的问题。
在本实施例中，本申请提供的键合装置，通过设置一体化的图像采集装置，并使得图像采集装置可以在同一坐标系中获取处于不同侧的第一元件和第二元件的对准标识，进而与预设的标定信息进行比对，键合装置确定第一元件400和第二元件500的对准差值，使得键合装置基于对准差值可以一次完成第一元件400和第二元件500的对准并进行键合，同时也无需对每个待键合的第二元件500进行多次对准，有效缩短耗时，并有利于提高键合效率，提高产率。
参阅图2，图2是本申请中本申请提供的键合装置的第二实施例的结构示意图。
如图2所示，键合装置10包括：可移动取物台100、承载平台200、图像采集装置300和机台600；其中，可移动取物台100被配置为拾取并移动第一元件400，承载平台被配置为承载并移动第二元件500，图像采集装置300被配置为分别读取处于图像采集装置300两侧的第一元件400和第二元件500的对准标识，其中，读取后的所述第一元件400的对准标识和所述第二元件500的对准标识位于同一坐标系中，键合装置基于第一元件400的对准标识的坐标信息、第二元件500的对准标识的坐标信息以及图像采集装置300预设的标定信息，确定第一元件400和第二元件500的对准差值；机台600包括基座610和机台框架620，机台框架620设置在基座610上，可移动取物台100设置在机台框架620上并朝向基座610，承载平台200设置在基座610上，图像采集装置300设置在机台框架620上并朝向基座610。
需要注意的是，图2仅示出了可移动取物台100设置于机台框架的顶端，承载平台200设置于基座上的一实施例；在另一实施例中，可移动取物台100和可以设置于基座上，承载平台200设置于机台框架上，具体地以实现移动第一元件400和第二元件500至键合位即可，因此，可移动取物台100与承载平台200的位置本申请不做限定。
在一些实施例中，键合装置被配置为基于图像采集装置300识别的第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识，调整对于对准位的第一元件400和第二元件500，以使处于对准位的第一元件400和第二元件500在高度方向上对准。
并且，响应于键合装置执行对准补偿操作，在对准位对准的第一元件400和第二元件500被配置为移动至键合位，图像采集装置300被配置为识别键合位上的第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识，获取第一元件400和所述第二元件500的对准标识之间的差值，并以差值与预设的标定信息的对比结果作为对准差值，以执行对准补偿操作。
在一些实施例中，响应于键合装置执行键合操作，键合装置基于对准差值调整可移动取物台100和/或承载平台200，以对处于对准位的第一元件400和第二元件500进行对准补偿操作，并在高度方向上移动可移动取物台100和/或承载平台200以使第一元件400和第二元件500被驱动至键合位；
并且，响应于键合装置执行键合操作，键合装置在高度方向上移动可移动取物台100和/或承载平台200以使第一元件400和第二元件500被驱动至键合位的同时，基于对准差值调整可移动取物台100和/或承载平台200以对第一元件400和第二元件500进行对准补偿操作。
在一些实施例中，图像采集装置300为上下视图像采集装置，即可以获取向上视角的图像，同时可以获取向下视角的图像；具体为，包括上视图像采集组件310和下视图像采集组件320。
其中，响应于图像采集装置300被驱动至工作位，上视图像采集组件310被配置为在校正坐标系中识别第一元件400的至少一个对准标识，可以为两个，如第一对准标识和第二对准标识；而下视图像采集组件320被配置为在校正坐标系中识别第二元件500的至少一个对准标识，也可以为两个，如第三对准标识和第四对准标识。以一个对准标识为例，上视图像采集组件310识别第一元件400的第一对准标识，下视图像采集组件320识别第二元件500的第三对准标识，并基于第一对准标识、第三对准标识，即采集到的第一对准标识和第三对准标识直接在校正坐标系中，进而确定校正坐标系中第一元件400和第二元件500的坐标差值，再将坐标差值和预设的标定信息进行对比，进而确定第一元件400和第二元件500的对准差值。
其中，上视图像采集组件310可以包括上视图像采集单元311和第一反射单元312，响应于图像采集装置300被驱动至工作位，上视图像采集单元311被配置为识别第一元件400的至少一个对准标识；响应于上视图像采集单元311识别第一元件400的至少一个对准标识，第一反射单元312将第一元件400的至少一个对准标识传递至校正坐标系中；下视图像采集组件320可以包括下视图像采集单元321和第二反射单元322，响应于图像采集装置300被驱动至工作位，下视图像采集单元321被配置为识别第二元件500的至少一个对准标识；响应于下视图像采集单元321识别第二元件500的至少一个对准标识，第二反射单元322将第二元件500的至少一个对准标识传递至校正坐标系中，进而确定校正坐标系中第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识之间的坐标差值，进而确定第一元件400与第二元件500的对准差值。
在一些实施例中，为了获取更大的视角，使得对准标识的分布不受限制，也即需要识别的对准标识有多个，则上视图像采集单元311可以有多个，下视图像采集单元321也可以有多个，以实现获取第一元件400和第二元件500所需要的对准标识为准。
另外，第一反射单元312和第二反射单元322也可以有多个反射镜，具体以实现将第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识传递至同一平面中的校正坐标系中为准。
为了更清楚的表现将对准标识传递至同一平面，下面结合附图进行描述。
参阅图3，图3是对准标识传递至同一平面的结构示意图。
如图3所示，以一个上视图像采集单元、一个下视图像采集单元、两个第一反射单元和两个第二反射单元为例进行说明；上视图像采集单元311识别并获取第一元件400的对准标识后，通过两个第一反射单元312将第一元件400的对准标识传递至平面中，而下视图像采集单元321识别并获取第二元件500的对准标识后，通过两个第二反射单元322将第二元件500的对准标识传递至同一平面中，进而在该平面的校正坐标系中可以获取第一元件400和第二元件500的对准标识之间的坐标差值，再将坐标差值与标定信息对比，即坐标差值与坐标系比值对比，进而确定第一元件400和第二元件500之间的对准差值。
在一些实施例中，将处于对准位的第一元件400和第二元件500进行对准之后，并且在移动第一元件400和/或第二元件500沿高度方向移动之前，还需要将图像采集装置驱动至初始位，避免图像采集装置影响后续的键合操作。
可移动取物台100被配置为可沿水平面的X方向和Y方向移动，并可沿高度方向Z移动，以及可在垂直于水平面的一竖直面中旋转；承载平台200被配置为可沿水平面的X方向和Y方向移动，并可沿高度方向Z移动，以及可在垂直于水平面的一竖直面中旋转；图像采集装置300被配置为可在水平面上旋转，其中，旋转方向的旋转轴位于工作位之外，具体以实现图像采集装置300可以旋转至工作位，也可以旋转至初始位即可。
在一些实施例中，图像采集装置300可以沿高度方向移动，还可以沿水平面的X方向和Y方向移动。
其中，X方向和Y方向为同水平面内的相交的方向，如X方向和Y方向在同一水平面垂直，高度方向即为垂直于水平面的方向，也即垂直方向，旋转方向为在水平面进行旋转。
在一些实施例中，可移动取物台100可以是能够进行翻转的拾取件，即在拾取位拾取第一元件400后进行翻转，使得第一元件400的键合面朝向第一驱动组件110，达到键合位后再次翻转拾取件，使得第一元件400的键合面朝向第二元件500，避免移动过程中第一元件400的键合面被破坏。
其中，键合位是第一元件400和第二元件500可以进行键合所对应的位置，图像采集装置300读取对准标识所对应的位置为工作位，即第一元件400和第二元件500之间所对应的位置，初始位即为图像采集装置300非工作状态下的位置。
在一些实施例中，基座610的底部还可以设置有隔震减震装置，以用于消除由于承载平台200在将待键合的第二元件500移动中，以及在键合的工作过程中引起的震动，进而提高键合装置10的稳定性。
在一些实施例中，键合装置10还包括第一驱动组件110和第二驱动组件210，其中，第一驱动组件110设置在机台框架上，并与可移动取物台100连接，第一驱动组件110被配置为携带可移动取物台100可沿水平面的X方向和Y方向移动，并可沿高度方向移动，以及可在垂直于水平面的竖直面中旋转；第二驱动组件210设置在基座上，并与承载平台200连接，第二驱动组件210被配置为携带承载平台200可沿水平面的X方向和Y方向移动，并可沿高度方向移动，以及可在垂直于水平面的竖直面中旋转。
为了方便出现故障时及时更换相关部件，第一驱动组件110可以是可拆卸的设置在机台框架620上；第二驱动组件210也可以为可拆卸的设置在基座610上。
需要说明的是，第一驱动组件110和第二驱动组件210还可以包括：电机，例如，直线电机或旋转电机，以分别为对应的驱动件提供动力。可以理解的是，本申请实施例中的第一驱动组件110的结构设计也可以参考相关技术中的具体结构，只要可以实现在水平面内沿X方向和Y方向移动可移动取物台100，并达到纳米级精度定位的功能即可，本申请不做具体限制。相应地，第二驱动组件210的结构设计也可以参考相关技术中的具体结构，只要可以实现其对应的功能即可。
可选地，X方向、Y第二方向以及Z方向(高度方向)之间两两相互垂直。具体地，Y方向可以为平行于Y轴所在的方向，X方向可以为平行于X轴所在的方向，以及Z方向为平行于Z轴所在的方向。
可选地，承载平台200也可以为单级运动机构或其他类型的运动机构，只要可以在满足特定精度要求的情况下实现将待键合的第二元件500移动至待键合的第一元件400对应的预设表面位置，并键合在待键合的第一元件400的预设表面位置即可。
在一些实施例中，键合装置10还可以包括供给平台700，供给平台700设置在基座610上，被配置为给可移动取物台100提供待键合的第一元件400，即供给平台700上放置有多个待键合的第一元件400，可移动取物台100在拾取位拾取供给平台700上的第一元件400，进而携带第一元件400移动至对准位进行对准。
以下，对键合装置10的工作过程进行描述。
具体地，图像采集装置300的上视图像采集组件310具有第一视角，且被配置为读取待键合的第一元件400的至少一个对准标识，而图像采集装置300的下视图像采集组件320具有第二视角，且被配置为读取待键合的第二元件500的至少一个对准标识；以第一元件包括第一对准标识和第二元件包括第三对准标识为例进行说明，如第一对准标识B1，第三对准标识T1。其中，图像采集装置300可以设置在机台框架620上，在可移动取物台100携带待键合的第一元件400到达对准位，以及承载平台携带待键合的第二元件500到达对准位之后，键合装置10驱动图像采集装置300到达工作位，也即图像采集装置300到达第一元件400的下方，并且位于第二元件500的上方，进而通过上视图像采集组件310获取第一元件400对应的第一对准标识B1，并通过下视图像采集组件320获取第二元件500对应的第三对准标识T1；然后通过第一反射单元312将第一元件400的对准标识传递至校正坐标系中，通过第二反射单元322将第二元件500的对准标识传递至校正坐标系中，分别获取各对准标识的坐标信息，进而依据坐标信息确定坐标差值，并与标定信息对比，以确定第一元件400和第二元件500的对准差值。
此时，第一视角也可以被称之为向上视角，第二视角也可以被称之为向下视角；可以理解的是，图像采集装置300可以不限定与其他部件的连接关系，只要满足图像采集装置300在获取第一元件400的对准标识和第二元件500对准标识时，图像采集装置300处于第一元件400和第二元件500之间的工作位即可。
在一些实施例中，图像采集装置300还包括有图像采集驱动件330，图像采集驱动件330的一端与机台框架620连接，另一端与图像采集装置300连接，在第一元件400和第二元件500进行对准之前，驱动图像采集装置300从初始位移动至工作位，以使图像采集装置300分别通过上视图像采集组件310获取第一元件400的第一对准标识和第二对准标识，通过下视图像采集组件320获取第二元件500的第三对准标识和第四对准标识；并在第一元件400和第二元件500对准完成后，驱动图像采集装置300从工作位移动至初始位即可，避免键合装置在执行后续的对准补偿操作或键合操作的过程中，图像采集装置300对相关操作的影响。
为了更好的表现第一对准标识和第二对准标识之间的关系，可以通过建立坐标系来表示。
参阅图4，图4是本申请中键合装置所对应的校正坐标系示意图。
如图4所示，在获取第一元件400对应的第一对准标识B1以及获取第二元件500对应的第三对准标识T1之后，将第一对准标识B1、第三对准标识T1通过反射单元传递至同一平面中，基于图像采集装置300的标定信息在该平面中定义校正坐标系，进而获取校正坐标系中第一对准标识B1以及第三对准标识T1所对应的坐标信息，如B1(xB1，yB1)，T1(xT1，yT1)，进而基于各对准标识的坐标信息计算坐标差值，并与标定信息确定第一元件和第二元件的对准差值，进而依据对准差值确定第一元件400和第二元件500的键合对准位置，使得第一元件400和第二元件500依据键合对准位置进行键合。
本实施例中，通过设置一体化的图像采集装置，并使得图像采集装置可以在同一相机视场内校正坐标系中获取第一元件和第二元件的对准标识，进而与标定信息进行比对，键合装置确定第一元件和第二元件的对准差值，使得键合装置基于对准差值完成第一元件和第二元件的对准并进行键合，同时也无需对每个待键合的第二元件进行多次对准，有效缩短耗时，并有利于提高键合效率，提高产率。
进一步地，本申请中的图像采集装置上下视图像采集相机，可以同时获取上视方向和下视方向的对准标识，进而将上视方向和下视方向的对准标识传递至同一相机视场内，使得待键合的第一元件400的对准标记和待键合的第二元件500的对准标记分布不受限制。因此，有效减少了待键合的第一元件400的对准标记和待键合的第二元件500的对准标记受相机视场大小限制的影响。
进一步地，本申请中的键合装置，通过第一驱动组件、第二驱动组件以及位移采集组件的配合形成运动闭环，使得承载平台实现纳米级精度定位，从而有效提高键合精度。
基于上述的键合装置，以下对使用上述键合装置进行第二元件500和第一元件400键合的方法进行描述。
参阅图5，图5是本申请中的键合方法一实施例的流程示意图，下面结合图以及图至图对本实施例提供的键合方法的各个步骤进行详细说明。
具体地，如图5所示，该键合方法可以应用于如上述任一项实施例中的键合装置中，该键合方法包括如下步骤：
S10、读取第一元件的对准标识以及第二元件的对准标识，其中，第一元件和第二元件位于不同侧边，读取后的第一元件的对准标识和第二元件的对准标识位于同一坐标系中。
其中，为了减少多次读取对准标记的操作，因此可以在获取上视方向的对准标识和下视方向的对准标识后，将所以的对准标识传递至同一平面内，也即在同一相机视场内标记对应的上视方向和下视方向的对准标识。
具体地，驱动可移动取物台100移动至拾取位，拾取供给平台700上待键合的第一元件400，并在拾取到待键合的第一元件400后，驱动可移动取物台100移动至对准位，同时，驱动承载平台200携带第二元件500移动至对准位，此时，第一元件400对应第二元件500，因为各元件的键合位置的不同，可能会导致第一元件400和第二元件500的对准有偏差，并不能直接进行键合，因此，需要先进行对准校正；即驱动图像采集装置300移动至对准位，使得图像采集装置300的上视图像采集组件310对应第一元件400，图像采集装置300的下视图像采集组件320对应第二元件500，也即驱动图像采集装置300移动至第一元件400和第二元件500之间，使得第一元件400和第二元件500可以同时出现在图像采集装置300的相机视场内并被读取对应的对准标识。此时，图像采集装置300中的上视图像采集组件310可以读取待键合的第一元件400上的第一对准标识B1，以及图像采集装置300中的下视图像采集组件320可以读取待键合的第二元件500的第三对准标识T1。
进一步地，通过图像采集装置300的标定信息定义校正坐标系，并获取校正坐标系中第一对准标识B1和B2以及第二对准标识T1和T2所对应的坐标信息。
其中，标定信息为图像采集装置300的坐标系(计量)比例，可以由图像采集装置300的内部参数和/或外部参数所确定。
参阅图6，图6是本申请中键合装置确定第一元件和第二元件的坐标信息的示意图。
如图6所示，第一元件可以有两个对准标识，如第一对准标识B1和第二对准标识B2，第二元件可以有两个对准标识，如第三对准标识T1和第四对准标识T2，因为第一元件的对准标识和第二元件的对准标识都处于同一平面内，因此，建立一个统一的坐标系，即校正坐标系，则可以确定对准标识之间的位置关系；例如，以图像采集装置所对应的标定信息在该相机视场内确定一个原点定义校正坐标系，包括X轴和Y轴，其中，原点可以是边界交点，X轴可以是X方向的一直线，Y轴可以是Y方向的一直线；进而获取校正坐标系中第一对准标识B1和第二对准标识B2以及第三对准标识T1和第四对准标识T2所对应的坐标信息，如B1(xB1，yB1)，B2(xB2，yB2)，T1(xT1，yT1)，T2(xT2，yT2)。
为了确定第一元件和第二元件之间是否对准，需要基于校正坐标系中的坐标信息进行确定。
S20、根据第一元件的对准标识的坐标信息、第二元件的对准标识的坐标信息以及预设的标定信息，确定第一元件和第二元件的对准差值。
其中，第一元件的对准标识的坐标信息为对准标识在校正坐标系中的坐标，第二元件的对准标识的坐标信息为对准标识在校正坐标系中的坐标，预设的标定信息为图像采集装置根据内参确定的坐标系(计量)比例。
继续参阅图4，在校正坐标系中，包括X轴和Y轴，第一元件400的第一对准标识B1和第二元件500的第三对准标识T1之间的第一连线设定为L1，依据预设的标定信息，确定第一对准标识B1的坐标信息为B1(xB1，yB1)，第三对准标识T1的坐标信息为T1(xT1，yT1)，进而依据第一连线L1的距离信息和第一连线L1与X轴和Y轴的角度关系可以确定第一元件400和第二元件500之间的差值信息。
继续参阅图6，在校正坐标系中，待键合的第一元件400的第一对准标识B1和第二对准标识B2之间的第二连线设定为L2，第二连线L2与校正坐标系中X轴方向之间的第一夹角为α1；待键合的第二元件500的第三对准标识T1和第四对准标识T2之间的第三连线设定为L3，第三连线L3与校正坐标系中X轴之间的第二夹角为α2，则待键合的第一元件400和待键合的第二元件500在校正坐标系内的角度偏差△α为第一夹角α1和第二夹角α2之间的差值，即：△α为(α2-α1)的绝对值，进而可以依据角度偏差以及对准标识之间的坐标差值确定第一元件400与第二元件500对准差值。
具体地，在获取第一元件的第一对准标识B1和第二对准标识B2的坐标信息，以及第二元件的第三对准标识T1和第四对准标识T2的坐标信息之后，进行差值计算，获取对准标识之间的坐标差值，即获取B1和T1在X轴上的第一X轴差值△x1，△x1＝(xB1-xT1)的绝对值，B2和T2在X轴上的第二X轴差值△x2，△x2＝(xB2-xT2)的绝对值，以及在Y轴上B1和T1的第一Y轴差值△y1，△y1＝(yB1-yT1)的绝对值，B2和T2在X轴上的第二Y轴差值△y2，△y2＝(yB2-yT2)的绝对值，以及获取第二连线L2和第三连线L3之间的角度偏差值△α，△α＝(α2-α1)的绝对值。进而以第一X轴差值△x1、第二X轴差值△x2、第一Y轴差值△y1、第二Y轴差值△y2和角度偏差值△α和坐标系(计量)比例进行比较，进而可以确定第一元件400与第二元件500对准差值。
也即，依据第一X轴差值△x1、第二X轴差值△x2、第一Y轴差值△y1、第二Y轴差值△y2和角度偏差值△α可以确定第一元件400和第二元件500的键合对准位置，进而可以将上述差值与图像采集装置300所预设的标定信息确定第一元件400与第二元件500对准差值。
在一些实施例中，还可以依据第一元件400与图像采集装置300的第一距离和第二元件和图像采集装置300的第二距离，确定第一元件400和第二元件500的高度差值，进而后续可以依据该高度差值沿高度方向移动，如下移第一元件400，使得第一元件400和第二元件500接触，避免下移距离过大而造成第一元件400和第二元件500的损坏，或者避免下移距离过小而造成无法完成键合。
S30、键合装置基于对准差值，驱动第一元件和/或第二元件进行调整以执行对准补偿操作，使第一元件和第二元件对准并键合。
参阅图7和图8，图7是本申请中键合装置键合第一元件至第二元件的预设表面位置的过程示意图，图8是本申请中第一元件键合至第二元件的预设表面位置时在校正坐标系中的坐标信息的示意图。
其中，为了使得第一元件对准第二元件，可以驱动可移动取物台100以带动第一元件400进行移动，也可以驱动承载平台200以带动第二元件进行移动；即响应于键合装置执行对准补偿操作，驱动第一元件400和第二元件500至对准位，并调整处于对准位的第一元件400和第二元件500，以使处于对准位的第一元件400和第二元件500在高度方向上对准，进而利用图像采集装置的上视图像采集单元识别第一元件400的对准标识，以及利用图像采集装置的下视图像采集组件320识别第二元件500的对准标识，进而将第一元件400的对准标识和第二元件500的对准标识传递至同一平面上，获取相应的坐标差值；并以坐标差值和预设的标定信息的对比结果作为对准差值，以执行对准补偿操作，使得第一元件400对准第二元件500。
在一些实施例中，响应于键合装置执行键合操作，第一元件400被配置为待键合的芯片或晶圆，第二元件500被配置为待键合的晶圆或芯片；利用可移动取物台和/或承载平台移动第一元件400和第二元件500至对准位，并执行对准补偿操作，以使驱动至对准位的第一元件400和第二元件500对准。
其中，基于对准差值调整可移动取物台100和/或承载平台200，以处于对准位的第一元件400和第二元件500进行对准补偿操作，然后在高度方向上移动可移动取物台100，使第一元件400和第二元件500被驱动至键合位；或者在高度方向上移动可移动取物台100和/或承载平台200，以使第一元件400和第二元件500被驱动至键合位的同时，基于对准差值调整可移动取物台100和/或承载平台200，以对第一元件400和第二元件500进行对准补偿操作。
在一些实施例中，在获取X轴坐标差值和Y轴坐标差值之后，依据X轴坐标差值驱动可移动取物台100在X轴方向移动，并依据Y轴坐标差值驱动可移动取物台100在Y轴方向移动。
进一步地，还可以依据角度偏差值△α驱动可移动取物台100进行精调，并依据图像采集装置300预设的标定信息确定第一元件400和第二元件500的对准位，使得第一元件400和第二元件500对准。
在另一些实施例中，在获取X轴坐标差值和Y轴坐标差值之后，依据X轴坐标差值驱动承载平台200在X轴方向移动，并依据Y轴坐标差值驱动承载平台200在Y轴方向移动。
在另一些实施例中，在获取X轴坐标差值和Y轴坐标差值之后，依据X轴坐标差值同时驱动承载平台200和可移动取物台100在X轴方向上移动，并依据Y轴坐标差值同时驱动承载平台200和可移动取物台100在Y轴方向上移动。
进一步地，还可以依据角度偏差值△α同时驱动承载平台200和可移动取物台100进行精调，并依据图像采集装置300预设的标定信息确定第一元件400和第二元件500的对准位，使得第一元件400和第二元件500对准。
如图7所示，在第一元件400和第二元件500对准后，基于高度差值驱动可移动取物台100沿高度方向移动，如下移，以带动第一元件400下移，并使得下移之后的第一元件400接触承载平台200上的第二元件500，并进行键合，键合后的第一元件400的第一对准标识B1与第二元件500的第三对准标识T1在校正坐标系中的坐标信息如图8所示。
在一些实施例中，在第一元件400和第二元件500对准之前，还需要驱动键合装置的图像采集装置300从初始位移动至工作位，以使得图像采集装置300读取处于对准位的第一元件和第二元件的对准标识；并在第一元件400和第二元件500对准之后，驱动图像采集装置300从工作位移动至初始位，以便执行后续的对准补偿操作或键合操作，以避免第一元件400下移过程中被阻挡。
具体地，第一元件400和第二元件500对准，且在第一元件400沿高度方向移动前，如下移前，键合装置10驱动图像采集装置300由工作位移动至初始位，进而驱动第二驱动组件210以携带可移动取物台100上的第一元件400下移，并且是依据高度差值进行下移，使得第一元件400与承载平台200上的第二元件接触，并进行键合。
本实施例中，通过将获取的第一元件的对准标识和第二元件的对准标识传递至同一坐标系中，以确定第一元件的对准标识和第二元件的对准标识在同一坐标系内的坐标信息，因此可以依据坐标信息确定第一元件和第二元件的对准差值，进而依据对准差值对第一元件和/或第二元件进行调整，以对准第一元件和第二元件；即本申请中的键合方法应用于上述的键合装置，因此与键合装置具有相同的有益效果，在此不再赘述。
以上仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (15)

1.一种键合装置，其特征在于，包括：
可移动取物台，被配置为移动第一元件；
承载平台，被配置为移动第二元件；
图像采集装置，被配置为分别读取处于所述图像采集装置两侧的所述第一元件和所述第二元件的对准标识，其中，读取后的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识位于同一坐标系中，键合装置基于所述第一元件的对准标识的坐标信息、所述第二元件的对准标识的坐标信息以及所述图像采集装置预设的标定信息，确定所述第一元件和所述第二元件的对准差值；
其中，所述键合装置基于所述对准差值，驱动所述可移动取物台和/或所述承载平台进行调整以执行对准补偿操作，使所述第一元件和所述第二元件对准并键合。
2.根据权利要求1所述的键合装置，其特征在于，
所述图像采集装置为上下视图像采集装置，包括：
上视图像采集组件，响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述上视图像采集组件被配置为在校正坐标系识别所述第一元件的至少一个对准标识；
下视图像采集组件，响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述下视图像采集组件被配置为在所述校正坐标系识别所述第二元件的至少一个对准标识；
其中，所述键合装置基于所述第一元件的至少一个对准标识、所述第二元件的至少一个对准标识，确定坐标差值，进而依据所述坐标差值和所述图像采集装置预设的标定信息，确定所述第一元件和所述第二元件的对准差值。
3.根据权利要求2所述的键合装置，其特征在于，
所述上视图像采集组件包括：
上视图像采集单元，响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述上视图像采集单元被配置为识别所述第一元件的至少一个对准标识；
第一反射单元，响应于所述上视图像采集单元识别所述第一元件的至少一个对准标识，所述第一反射单元将所述第一元件的至少一个对准标识传递至校正坐标系中；
所述下视图像采集组件包括：
下视图像采集单元，响应于所述图像采集装置被驱动至工作位，所述下视图像采集单元被配置为识别所述第二元件的至少一个对准标识；
第二反射单元，响应于所述下视图像采集单元识别所述第二元件的至少一个对准标识，所述第二反射单元将所述第二元件的至少一个对准标识传递至所述校正坐标系中。
4.根据权利要求1所述的键合装置，其特征在于，
所述键合装置还被配置为基于所述图像采集装置分别识别的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识，调整处于对准位的所述第一元件和所述第二元件，以使处于对准位的所述第一元件和所述第二元件在高度方向上对准。
5.根据权利要求4所述的键合装置，其特征在于，
响应于所述键合装置执行对准补偿操作，在对准位对准的所述第一元件和所述第二元件被配置为移动至键合位，所述图像采集装置被配置为识别处于键合位的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识，获取所述第一元件和所述第二元件的所述对准标识之间的差值，并以所述差值与预设的标定信息的对比结果作为对准差值，以执行所述对准补偿操作。
6.根据权利要求5所述的键合装置，其特征在于，
响应于所述键合装置执行键合操作，所述键合装置基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台，以对处于所述对准位的所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作，并在高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至键合位；
响应于所述键合装置执行所述键合操作，所述键合装置在所述高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至所述键合位的同时，基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台以对所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作。
7.根据权利要求6所述的键合装置，其特征在于，
将处于对准位的所述第一元件和所述第二元件进行对准之后，且移动所述第一元件和/或所述第二元件沿高度方向移动之前，所述图像采集装置被驱动至初始位。
8.根据权利要求1所述的键合装置，其特征在于，还包括：
机台，包括基座和机台框架，其中，所述机台框架设置在所述基座上，所述可移动取物台设置在所述机台框架上，所述承载平台设置在所述基座上，所述可移动取物台和/或所述承载平台被配置为可沿X方向、Y方向、高度方向Z移动，并可在垂直于水平面的一竖直面中旋转，以调整所述可移动取物台和/或承载平台台的水平状态。
9.一种键合方法，其特征在于，应用于键合装置，包括：
读取第一元件的对准标识和第二元件的对准标识，其中，所述第一元件和所述第二元件位于不同侧边，读取后的所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识位于同一坐标系中；
根据所述第一元件的对准标识的坐标信息、所述第二元件的对准标识的坐标信息以及预设的标定信息，确定所述第一元件和所述第二元件的对准差值；
所述键合装置基于所述对准差值，驱动所述第一元件和/或所述第二元件进行调整以执行对准补偿操作，使所述第一元件和所述第二元件对准并键合。
10.根据权利要求9所述的键合方法，其特征在于，
所述读取第一元件的对准标识以及第二元件的对准标识，包括：
响应于所述键合装置执行键合操作，驱动所述键合装置的可移动取物台拾取并移动所述第一元件至对准位，以及驱动所述键合装置的承载平台承载并移动所述第二元件至对准位；
驱动所述键合装置的图像采集装置至工作位，在校正坐标系中分别识别所述第一元件的对准标识和所述第二元件的对准标识。
11.根据权利要求9所述的键合方法，其特征在于，
响应于所述键合装置执行对准补偿操作，驱动所述第一元件和所述第二元件至对准位，并调整处于对准位的所述第一元件和所述第二元件，以使处于对准位的所述第一元件和所述第二元件在高度方向上对准。
12.根据权利要求9所述的键合方法，其特征在于，
响应于所述键合装置执行所述对准补偿操作，驱动所述键合装置的图像采集装置至工作位；
利用所述图像采集装置的上视图像采集组件识别所述第一元件的至少一个对准标识，以及利用所述图像采集装置的下视图像采集组件识别所述第二元件的至少一个对准标识；
将所述第一元件的至少一个对准标识和所述第二元件的至少一个对准标识传递至同一坐标系中，以获取所述第一元件的至少一个对准标识和所述第二元件的至少一个对准标识之间的坐标差值；
以所述坐标差值和预设的标定信息的对比结果作为对准差值，以执行所述对准补偿操作。
13.根据权利要求9所述的键合方法，其特征在于，
响应于所述键合装置执行键合操作，所述第一元件被配置为待键合的芯片或晶圆，所述第二元件被配置为待键合的晶圆或芯片；
利用所述键合装置的可移动取物台和/或承载平台移动所述第一元件和所述第二元件至对准位，并执行对准补偿操作，以使被驱动至对准位的所述第一元件和所述第二元件对准。
14.根据权利要求13所述的键合方法，其特征在于，
所述利用所述键合装置的可移动取物台和/或承载平台移动所述第一元件和所述第二元件至对准位，并执行对准补偿操作，以使被驱动至对准位的所述第一元件和所述第二元件对准，包括：
基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台，以对处于所述对准位的所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作，然后在高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台，以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至键合位；或者
在高度方向上移动所述可移动取物台和/或所述承载平台，以使所述第一元件和所述第二元件被驱动至所述键合位的同时，基于所述对准差值调整所述可移动取物台和/或所述承载平台，以对所述第一元件和所述第二元件进行对准补偿操作。
15.根据权利要求9所述的键合方法，其特征在于，
在所述第一元件和所述第二元件对准之前，所述键合方法进一步包括：
驱动所述键合装置的图像采集装置从初始位移动至工作位，以读取处于对准位的所述第一元件和所述第二元件的对准标识；
在所述第一元件和所述第二元件对准之后，所述键合方法进一步包括：
驱动所述图像采集装置从所述工作位移动至所述初始位，以便执行后续的对准补偿操作或键合操作。
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