CN117414982A - 涂布设备及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种涂布设备及检测方法，包括支撑装置、涂布头、第一拍摄装置以及控制装置；支撑装置具有放置区，所述放置区用于放置待涂布物体；涂布头用于向待涂布物体上涂布浆料，以形成浆料薄膜；第一拍摄装置用于拍摄涂布于待涂布物体上的浆料薄膜；控制装置与第一拍摄装置连接。在本发明中，可以根据拍摄到的浆料薄膜干湿分界线的位置信息等来判断当前浆料薄膜的厚度是否符合要求，进而通过控制装置快速地调整流量供给等参数，以便更迅速地达到稳定涂布的效果。因此，通过本发明的设置，可以使涂布装置在应用于基片长度有限的场景中，减少涂布参数的调试次数和时间，从而快速达到目标膜厚的涂布效果。

Description

涂布设备及检测方法

技术领域

本发明属于涂布技术领域，尤其涉及一种涂布设备及检测方法。

背景技术

狭缝涂布技术是一种高精密沉积均匀薄膜的工艺方法，广泛用于锂离子电池极片、光刻胶、薄膜太阳能电池、燃料电池、功能性薄膜等多种领域。涂布过程中，浆料通过泵推送进涂布头的型腔，并从涂布头的狭缝挤出到基片上，挤出的浆料会在涂布头的唇面和基片间形成液桥，当基片相对涂布头移动时，液桥变成半月形，随着外部持续供料，便会在基片上形成浆料薄膜。

狭缝流量供给在决定浆料薄膜的厚度起着重要作用，当狭缝流量供给过大时，在基片上形成浆料薄膜的厚度也会变大，当狭缝流量供给过小时，在基片上形成浆料薄膜的厚度也会变小。

在卷对卷涂布或者基片较长时，可以通过不断修正狭缝流量供给的方式来实现稳定涂布。其中，稳定涂布时，得到的浆料薄膜的厚度满足要求，且厚度保持不变。在修正过程中，可以根据浆料薄膜的厚度来调节狭缝流量供给，当厚度较大时，可以减小狭缝流量供给，当厚度较小时，可以增大狭缝流量供给。

但是现有技术中，需要通过较长时间的调试，才能判断出浆料薄膜的当前厚度是否满足目标膜厚，不利于应用于基片长度有限的场景中。

发明内容

本发明提供一种涂布设备及检测方法，旨在提高对浆料薄膜的当前厚度是否满足需求的检测速度。

为解决上述技术问题，一方面，本发明实施例提供一种涂布设备，包括支撑装置、涂布头、第一拍摄装置以及控制装置；所述支撑装置具有放置区，所述放置区用于放置待涂布物体；所述涂布头用于向放置于所述放置区的待涂布物体上涂布浆料，并能够在第一方向上相对放置于所述放置区的待涂布物体运动，以在待涂布物体上涂布形成浆料薄膜；所述涂布头和放置区的排布方向与所述第一方向的夹角大于0度且小于180度；所述第一拍摄装置与所述支撑装置相对，用于拍摄涂布于待涂布物体上的浆料薄膜，所述第一拍摄装置能够在第一方向上相对放置于所述放置区的待涂布物体运动；所述控制装置与所述第一拍摄装置连接，用于识别所述第一拍摄装置拍摄到的第一图像信息，并根据所述第一图像信息，判断浆料薄膜的厚度是否符合要求；所述第一图像信息包括浆料薄膜的湿膜区域和浆料薄膜的干膜区域的干湿分界线信息。

可选的，所述涂布头和所述第一拍摄装置在所述第一方向上的相对位置保持不变。

可选的，所述涂布设备还包括第二拍摄装置，所述第二拍摄装置与所述涂布头相对，用于拍摄所述涂布头和待涂布物体之间的液桥的图像；所述控制装置与所述第二拍摄装置连接，用于识别所述第二拍摄装置拍摄到的第二图像信息，并根据所述第二图像信息，判断所述浆料薄膜的厚度是否符合要求；所述涂布头和所述第二拍摄装置在所述第一方向上的相对位置保持不变。

可选的，所述涂布设备还包括供液装置，所述供液装置分别连接所述涂布头和所述控制装置，以便根据所述控制装置的控制对所述涂布头供液。

可选的，所述涂布头具有狭缝，所述狭缝在涂布头的唇面向形成出液口，浆料从所述出液口流出至待涂布物体上；所述唇面上设有容纳槽，所述容纳槽与所述狭缝间隔设置。

可选的，所述涂布设备还包括风干装置，用于对待涂布物体上的浆料薄膜进行风干；所述风干装置包括风刀、供气模组以及抽气模组；所述风刀具有通风道和连通槽；所述通风道的一端在所述风刀的外表面上形成进风口，所述通风道的另一端在所述风刀的外表面上形成出风口；所述连通槽由所述风刀的外表面贯穿至与所述通风道连通，所述连通槽在所述通风道的内表面上形成第一开口，所述连通槽在所述风刀的外表面上形成第二开口；沿着所述通风道的延伸方向，所述进风口和所述出风口分别位于所述第一开口的两侧；所述供气模组与所述进风口连接，以便向所述通风道内通气；所述抽气模组与所述出风口连接，以便将所述通风道内的气体抽出；所述第二开口与所述放置区相对。

可选的，所述风干装置还包括第一分散组件，所述第一分散组件设置在所述通风道内，并位于所述进风口和所述第一开口之间；所述第一分散组件包括第一分散板和第一多孔棉，所述第一多孔棉设置在所述第一分散板和所述第一开口之间；所述第一分散板上设有多个第一通风孔，从所述进风口向所述出风口流动的气体能从各所述第一通风孔处穿过所述第一分散板。

可选的，所述第一分散组件包括多个所述第一分散板，多个所述第一分散板沿着所述通风道的延伸方向依次间隔设置；同一所述第一分散板上的各所述第一通风孔的横截面面积相同；沿着所述进风口至所述第一开口的方向，各所述第一分散板上的第一通风孔的横截面面积逐渐减小，且各所述第一分散板上的第一通风孔的数量逐渐增多。

为解决上述技术问题，另一方面，本发明实施例还提供一种检测方法，包括以下步骤：向第一拍摄装置发送控制指令，以控制所述第一拍摄装置工作，使所述第一拍摄装置对待涂布物体上涂布形成浆料薄膜进行拍摄；获取第一拍摄装置拍摄的第一图像信息，其中，所述第一图像信息包括浆料薄膜的湿膜区域和浆料薄膜的干膜区域的干湿分界线的信息；将所述干湿分界线信息与第一预定信息进行比对，若所述干湿分界线的信息与第一预定信息匹配，则浆料薄膜的厚度符合要求。

可选的，所述第一预定信息包括预定形状信息和预定位置信息；所述将所述干湿分界线信息与第一预定信息进行比对的步骤，包括：判断所述干湿分界线的形状信息与所述预定形状信息是否匹配；若所述干湿分界线的形状信息与所述预定形状信息匹配，则判断所述干湿分界线的位置信息与所述预定位置信息是否匹配；若所述干湿分界线的位置信息与所述预定位置信息匹配，则浆料薄膜的厚度符合要求。

在本发明实施例提供的涂布设备及检测方法中，可以根据拍摄到的浆料薄膜的干湿分界线的位置信息等来判断当前浆料薄膜的厚度是否符合要求，这样可以快速判断出当前的浆料薄膜厚度是否符合要求，从而可以更快速地调整流量供给等参数，以便更迅速地达到稳定涂布的效果。因此，通过本实施例的设置，可以使涂布装置在应用于基片长度有限的场景中，减少涂布参数的调试次数和时间，以获得快速达到目标膜厚的涂布效果。

附图说明

图1是本发明一实施例提供的涂布设备的局部结构示意图；

图2是涂布头处于涂布状态时的示意图；

图3是涂布形成的薄膜上出现竖纹的示意图；

图4是本发明一实施例提供的涂布头的结构示意图；

图5是本发明一实施例提供的涂布头的仰视图；

图6是本发明另一实施例提供的涂布头的结构示意图；

图7是本发明一实施例提供的风干装置的结构示意图；

图8是本发明一实施例提供的风干装置的仰视图；

图9是本发明一实施例提供的风干装置的第一分散板的结构示意图。

说明书中的附图标记如下：

1、涂布头；11、狭缝；111、出液口；12、唇面；13、容纳槽；131、进液口；14、第一侧面；15、第二侧面；16、连通孔；

2、第一拍摄装置；

3、待涂布物体；

4、浆料薄膜；41、湿膜区域；42、干膜区域；43、干湿分界线；

5、第二拍摄装置；

6、风干装置；

7、风刀；71、通风道；711、进风口；712、出风口；713、第一通道；714、第二通道；715、第三通道；72、连通槽；721、第一开口；722、第二开口；73、第一段结构；74、第二段结构；75、第三段结构；

8、第一分散组件；81、第一分散板；811、第一通风孔；82、第一多孔棉；

9、第二分散组件；91、第二分散板；92、第二多孔棉。

具体实施方式

为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，在一实施例中，涂布设备包括支撑装置、涂布头1、第一拍摄装置2以及控制装置；支撑装置具有放置区，放置区用于放置待涂布物体3；涂布头1用于向支撑装置上的待涂布物体3（即放置于放置区的待涂布物体3）上涂布浆料，并能够在第一方向上相对放置于放置区的待涂布物体3运动，以在待涂布物体3上涂布形成浆料薄膜4，涂布头1和放置区的排布方向与第一方向的夹角大于0度且小于180度；第一拍摄装置2与支撑装置相对，用于拍摄涂布于待涂布物体3上的浆料薄膜4，第一拍摄装置2能够在第一方向上相对放置于放置区的待涂布物体3运动；控制装置与第一拍摄装置2连接，用于识别第一拍摄装置2拍摄到的第一图像信息，并根据第一图像信息，判断浆料薄膜4的厚度是否符合要求；其中，第一图像信息包括浆料薄膜4的湿膜区域41和浆料薄膜4的干膜区域42的干湿分界线43的信息。

在一场景中，支撑装置能够驱动待涂布物体3运动，进而实现使涂布头1沿第一方向相对放置区的待涂布物体3运动，此场景中支撑装置可以是传送带等。另外，在此场景中涂布头1自身在第一方向上是不运动的。

涂布头1和放置区的排布方向与第一方向可以是垂直的，通常情况下，涂布头1是位于放置区的上方，即涂布头1和放置区沿着上下方向间隔排布，第一方向为水平方向，具体的，在图2中，第一方向为左右方向。

在涂布过程中，待涂布物体3上的浆料薄膜4中的溶液会挥发，使浆料薄膜4中的沉积材料沉积在待涂布物体3上。这样浆料薄膜4会出现干湿两个区域，即湿膜区域41和干膜区域42，湿膜区域41和干膜区域42沿着第一方向排布，湿膜区域41可以是位于涂布头1和干膜区域42之间，湿膜区域41和干膜区域42交接处会呈现明显的界线，该界线为湿膜区域41和干膜区域42的干湿分界线43。当第一拍摄装置2拍摄的第一图像信息中包括湿膜区域41的信息和干膜区域42的信息时，该图像信息中也必然包括干湿分界线43的信息。

干湿分界线43的信息包括干湿分界线43的位置信息，其中，干湿分界线43的位置信息可以看作是湿膜区域41和干膜区域42二者在第一方向上的宽度。

另外，当第一拍摄装置2在其镜头轴线方向上相对待涂布物体3的距离不变时，其取景范围是不变的，这样第一拍摄装置2所拍摄的各第一图像信息中，湿膜区域41和干膜区域42二者在第一方向上的总宽度是相同的。第一拍摄装置2可以是连接在支撑装置上，或者，第一拍摄装置2也可以是连接在其他支撑物体上。

当浆料薄膜4的厚度符合要求时，浆料薄膜4的各区域的厚度都可以是相同的。另外，当浆料薄膜4的厚度符合要求时，浆料薄膜4的厚度为基准值，此时，在第一拍摄装置2拍摄的图像中，干湿分界线43的位置为预定位置，且此时，在第一方向上，湿膜区域41的宽度为M，干膜区域42的宽度为N。

当浆料薄膜4的厚度在基准值的基础上增大时，其溶液挥发变干所需的时间变长，此时，在相同条件下拍摄的第一图像中，与干湿分界线43的预定位置相比，浆料薄膜4厚度增大后的图像中，干湿分界线43的实际位置相当于是沿着第一方向且远离涂布头1移动了一定距离，即湿膜区域的宽度变大，假定浆料薄膜4厚度增大后的图像中湿膜区域41的宽度为m，干膜区域42的宽度为n，则M+N=m+n，且M＜m，N＞n；当浆料薄膜4的厚度在基准值的基础上减小时，其溶液挥发变干所需的时间变短，此时，在相同条件下拍摄的第一图像中，与干湿分界线43的预定位置相比，浆料薄膜4厚度减小后的图像中干湿分界线43的实际位置相当于是沿着第一方向且靠近涂布头1的移动了一定距离，即湿膜区域的宽度变小。假定浆料薄膜4厚度减小后的图像中湿膜区域41的宽度为m，干膜区域42的宽度为n，则M+N=m+n，且M＞m，N＜n。故通过检测第一拍摄装置2所拍摄的各第一图像中的干膜区域42（或湿膜区域41）的宽度变化，便可以判断浆料薄膜4的实际厚度与基准值的大小关系，进而判断当前的浆料薄膜4厚度是否符合要求。

其中，浆料薄膜4的基准厚度是生产所需要的厚度（此时浆料薄膜4的厚度为基准值），在生产之前，可以先进行调试，以获取浆料薄膜4为基准厚度时的图像信息（该图像信息可以是由第一拍摄装置拍摄的），并存储该信息，该图像信息为第一预定信息，第一预定信息中也包括湿膜区域和干膜区域之间的干湿分界线的信息，该干湿分界线的信息为预定的干湿分界线的信息。预定的干湿分界线信息中干湿分界线43的位置即为预定位置信息，此时，在第一方向上，湿膜区域的宽度或干膜区域的宽度为基准宽度，其中预定位置信息可以是通过基准宽度来体现。后续生产时，在相同的条件（与调试时的条件相同）下，拍摄涂布出来的浆料薄膜4，得到第一图像信息，并判断当前第一图像信息中的干湿分界线43的位置信息（即实际位置信息）与预定位置信息之间的关系，便可以判断当前的浆料薄膜4厚度是否符合要求。

本实施例的设置，可以通过视觉识别的方式快速判断出当前的浆料薄膜4的实际厚度与基准厚度（即所需厚度）的大小关系，因此，通过本实施例的设置，可以使涂布装置在应用于基片长度有限的场景中，减少涂布参数的调试次数和时间，以获得目标厚度的涂布效果。使用时，还可以通过视觉识别反馈自动控制调整涂布参数系统，以达到快速实现目标涂布膜厚以及减少涂布起始段容易发生过厚或者过薄的现象。比如，下文描述的可以根据视觉识别结果对浆料供应装置进行自动控制等。

另外，第一预定信息可以是存储在控制装置中，且第一预定信息也可以是只包括基准厚度和其对应的基准宽度（湿膜区域的宽度或干膜区域的宽度），比如基准厚度为d1时，其对应的干膜区域的宽度为N（此时干膜区域的宽度作为基准宽度）；后续检测时，只要将第一图像信息中的实际宽度与基准宽度对比即可判断实际浆料薄膜的厚度是否符合要求，其中，基准宽度为干膜区域的宽度时，第一图像信息中的实际宽度便为干膜区域的实际宽度，基准宽度为湿膜区域的宽度时，第一图像信息中的实际宽度便为湿膜区域的实际宽度。比如，第一图像信息中的干膜区域的实际宽度n等于N，则说明实际位置信息与预定位置信息匹配，当前的浆料薄膜厚度（即浆料薄膜的实际厚度）满足厚度要求。而且在实际场景中，当n和N的差值在预定范围a内时，都可以认为实际位置信息与预定位置信息匹配，当前的浆料薄膜厚度符合要求，这个预定范围a可以是1%等，也即当N-Na≤n≤N+N/>a时，都可以认为当前的薄膜厚度符合要求。应当理解的是，当基准宽度确定时，预定位置信息便确定，同样的，实际宽度确定时，实际位置信息也便确定。

此外，在实际场景中，控制装置中也可以是存储多个第一预定信息，生产时，可以根据需求选择使用哪一个第一预定信息。其中，这些第一预定信息分别为预定信息一、预定信息二……预定信息N，这些第一预定信息对应的基准厚度依次为d1、d2……dn，这些第一预定信息对应的干膜的宽度依次为N1、N2……Nn。其中，“多个”是指大于或者等于两个，“多个”一词在各实施例中的含义相同，后文不再赘述。当第一预定信息的数量为两个时，预定信息N即为预定信息二。

另外，干湿分界线43的信息还可以包括干湿分界线43的形状信息，其中，干湿分界线43的形状信息即为干湿分界线43的形状，第一图像信息中的干湿分界线的形状为实际形状信息，在第一预定信息中干湿分界线的形状即为预定形状信息。当干湿分界线43的实际形状信息与预定形状信息不同时，也说明当前浆料薄膜4的厚度不符合要求。当浆料薄膜4的厚度符合要求时，浆料薄膜4的实际形状信息与预定形状信息相同，且实际位置信息与预定位置信息相同或在预定差值范围内。当干湿分界线43的实际形状与预定形状相同时，二者可以是能够完全重合的。干湿分界线43的实际形状与预定形状二者完全重合时，二者中的一个不会凸出另一个，即二者完全重合时，干湿分界线43的实际形状的各区域都与预定形状重合，且预定形状的各区域也都与实际形状重合，此时二者之间不存在未重合的区域。

在实际场景中，当浆料薄膜4的厚度符合要求时，干湿分界线43的形状为通常为直线（即预定形状为直线），当检测得到的干湿分界线43为曲线时，说明浆料薄膜4在第二方向上的厚度不均匀，其中，第二方向垂直于第一方向，且第二方向垂直于涂布头1和放置区的排布方向，当第一方向为左右方向，涂布头1和放置区的排布方向为上下方向时，第二方向为前后方向。而且，干湿分界线43的形状为曲线时，也说明涂布头1出液不均匀，或者涂布头1的出液口111和待涂布物体3的上下间距在不同位置是不一样的。

在实际使用时，可以先判断干湿分界线43的形状信息（即实际形状信息）是否与预定形状信息匹配（即是否相同），若匹配（即实际形状信息与预定形状信息相同），再判断干湿分界线43的位置信息（即实际位置信息）是否与预定位置信息匹配，这样可以提高检测效率。

此外，第一拍摄装置2的拍摄频率可以根据实际需求进行设置，比如，相邻两次拍摄的时间间隔可以是0.1秒等。而且，对于图像信息的识别处理的技术可以是现有设计，其并非本申请的要点。

在一实施例中，涂布头1和第一拍摄装置2二者在第一方向上的相对位置是保持不变的。

在一实施例中，涂布设备还包括供液装置，供液装置分别连接涂布头1和控制装置，以便根据控制装置的控制对涂布头1供液。控制装置可以根据干湿分界线43的信息来控制供液装置对涂布头1的浆料供应量，比如，干膜区域的宽度变大则提高浆料的供应量，干膜区域的宽度变小，则减小浆料的供应量，即，当N＜n时，增大浆料供应量，当N＞n时，减小浆料供应量。

如图1所示，在一实施例中，涂布设备还包括第二拍摄装置5，第二拍摄装置5与涂布头1相对，用于拍摄涂布头1和待涂布物体3之间的液桥的图像（参考图2，液桥为位于虚线框Q内的那部分浆料）；控制装置与第二拍摄装置5连接，用于识别第二拍摄装置5拍摄到的第二图像信息，并根据第二图像信息，判断浆料薄膜4的厚度是否符合要求。其中，涂布头1和第二拍摄装置5在第一方向上的相对位置保持不变。

当处于稳定涂布状态时，液桥的在第一方向上的长度是不变的，定义该长度为基准长度，当液桥在第一方向上的长度变大时，浆料薄膜4的厚度也会变大时，当液桥在第一方向上的长度变小时，浆料薄膜4的厚度也会变小。故当检测到料薄膜的厚度变大时，液桥在第一方向上的长度大于基准长度，当检测到料薄膜的厚度变小时，液桥在第一方向上的长度小于基准长度。

另外，在生产之前，可以先进行调试，以获取浆料薄膜4为基准值时的第二图像信息，并存储该信息（定义为第二预定信息），第二预定信息包括液桥在第一方向上的长度和浆料薄膜的基准厚度，在第二预定信息中，液桥在第一方向上的长度为基准长度。后续生产时，在相同的条件（与调试时的条件相同）下，拍摄涂布出来的浆料，并识别出此时的液桥长度，便可以得知当前的浆料薄膜4的实际厚度与基准值的大小关系。

在实际生产过程中，第二拍摄装置5可以先进行拍摄，然后第一拍摄装置2再进行拍摄；当液桥在第一方向上的长度f（即实际长度）大于基准长度F，且干膜区域42在第一方向上的宽度小于基准宽度时，则说明浆料薄膜4的厚度大于基准值；当液桥在第一方向上的长度（即实际长度）小于基准长度，且干膜区域42在第一方向上的宽度大于基准宽度，则说明浆料薄膜4的厚度小于基准值；当液桥在第一方向上的长度等于基准长度，且干膜区域42在第一方向上的宽度等于基准宽度，则说明浆料薄膜4的厚度等于基准值。这样设置可以提高检测的精准度，从而提高涂布效果。

在涂布过程中，第二拍摄装置5和第一拍摄装置2二者拍摄的时间间隔可以根据实际需求进行选择，其中，第二拍摄装置5拍摄后，其拍摄的液桥被涂布纸待涂布物体上形成浆料薄膜，后续第一拍摄装置2对这一部分浆料薄膜进行拍摄。

另外，预存的第二预定信息的数量也可是多个，涂布之前，可以选择相应的基准厚度（涂布的浆料薄膜的厚度），其中，基准厚度选择以后，与该基准厚度关联对应的基准长度和基准宽度也就被选定。

在实际场景中，当f和F的差值在预定范围b内时，都可以认为当前的浆料薄膜的厚度符合要求，这个预定范围b可以是1%等，也即当F-Fb≤f≤F+F/>b时，都可以认为当前的浆料薄膜的厚度符合要求。

在涂布过程中，浆料薄膜4上容易出现竖纹A（参考图3），研究人员发现，竖纹产生的一个原因是：涂布过程中，由于浆料的表面张力以及浆料与涂布头1之间的作用力，使得浆料会在涂布头1的薄膜形成侧的表面上出现爬壁的现象。其中，将浆料液面高出唇面12的部分成为爬液区（即图2中P区域），在爬液区的最上方，浆料最薄，当溶液挥发后，待沉积材料最先析出形成晶体，并附着在涂布头1上，随着涂布的进行，晶体不断析出长大，爬液区的最上方会在涂布头1上析出一排大小不一的晶粒B，这些大小不一晶粒B的析出造成液桥液膜不在同一平面上，最终在基材上出现竖纹A。而且，当浆料中的溶液为一种易挥发溶液，浆料薄膜的厚度较薄时，更容易在涂布头的薄膜形成侧的表面上结晶，这样涂布形成的薄膜上的竖纹现象也就越明显。

对此，如图4所示，在一实施例中，涂布头1具有狭缝11，狭缝11在涂布头1的唇面12向形成出液口111，浆料从出液口111流出至待涂布物体3上，进而形成浆料薄膜4。另外，唇面12上设有容纳槽13，容纳槽13与狭缝11间隔设置。工作时，在正式涂布前多余的预注浆料会流动填充至容纳槽13内，通过容纳槽13可以起到一定的缓冲作用，避免起始段预注浆料过量，而挤出攀爬至涂布头1的侧面，有利于避免涂布头的薄膜形成侧的表面上形成晶粒，从而可以减少爬壁现象，减少涂布形成的薄膜中竖纹的出现，从而提高涂布质量。其中，起始段预注浆料时，狭缝向待涂布物体3上挤出有浆料，但是涂布头1和待涂布物体3之间还未产生相对运动。另外，在涂布过程中，多余的浆料也可以进入到容纳槽13内，以便减少爬壁现象的出现。此外，涂布过程中，多余的浆料进入到容纳槽13内，可以避免过多的浆料涂布到待涂布物体3上形成浆料薄膜，这样可以避免出现浆料薄膜前后段膜厚不一致的问题，进而提高涂布效果。

如图4所示，沿着第一方向，涂布头1具有相背设置的第一侧面14和第二侧面15，假设涂布时，待涂布物体3沿着第二侧面15至第一侧面14的方向相对涂布头1运动，则第一侧面14所在一侧便为浆料薄膜4的形成侧，第一侧面14即为涂布头的薄膜形成侧的表面。通过本实施例的设置，可以有效避免第一侧面14上形成晶粒。另外，第一方向为出液口111的宽度方向。

其中，容纳槽13与狭缝11不连通，狭缝11内的浆料不能直接进入容纳槽13，但是，狭缝11内的浆料从出液口111处流出狭缝11后，可以沿着唇面12进入容纳槽13内。另外，唇面12为平面，待涂布物体3为平板结构，涂布时，唇面12可以与待涂布物体3平行。

如图4和图5所示，在一实施例中，容纳槽13在唇面12上形成进液口131；出液口111的长度方向上，进液口131的长度大于出液口111的长度，且进液口131的两端均凸出出液口111。出液口111的长度方向垂直于第一方向，且出液口111的长度方向垂直于涂布头1和放置区的排布方向。另外，此场景中，容纳槽13垂直于唇面12，即容纳槽13的延伸方向与唇面12之间的夹角为90度。

当然，在其他实施例中，沿着唇面12至容纳槽13的底面的方向，容纳槽13与狭缝11之间的间距逐渐增大，加工制备容纳槽13时，可以有效避免容纳槽13和狭缝11之间的那部分涂布头变形，从而可以为涂布的精度提供保障。通常情况下，唇面12为平面，且狭缝11垂直于唇面12，此时容纳槽13倾斜设置。另外，当容纳槽13倾斜设置时，容纳槽13的延伸方向与唇面12之间的夹角可以是大于等于45度，并小于90度。

在一实施例中，在第一方向上，容纳槽13的宽度L1大于0且小于1mm。另外，容纳槽13的深度L2为10mm-20mm，其中，容纳槽13的深度方向即为涂布头1和放置区的排布方向。

在一实施例中，容纳槽13设置有两个，两个容纳槽13分别设置在出液口111的宽度方向上的两侧。另外，在第一方向上，这两个容纳槽13的间距L3为0.5mm-10mm。

如图6所示，在一实施例中，涂布头1的外表面上设有连通孔16，连通孔16与容纳槽13连通；涂布头1还包括封堵件，封堵件与连通孔16连接，用于打开或者封闭连通孔16。

在涂布过程中，可以利用封堵件封闭连通孔16，这样可以使容纳槽13只在进液口131处与外部连通，存留在容纳槽13中的浆液，由于溶液的易挥发性，使得该容纳槽13空间充满该溶液气氛，进一步减少溶液的挥发。涂布完成后，可以打开连通孔16，这样容纳槽13可以通过连通孔16与外部连通，方便对容纳槽13进行清洗。

封堵件可以是橡胶塞等，其可以插入连通孔16，以封闭连通孔16。当封堵件插入连通孔16后，其也可以拔出，以打开连通孔16。当然，封堵件也可以是具有开闭功能的阀门等。

当容纳槽13的数量为两个时，连通孔16的数量也可以是两个，一个连通孔16与一个容纳槽13连通，另外，封堵件也可以是两个，一个封堵件与一个连通孔16配合，以便封闭或打开与其配合的连通孔16。

当封堵件为阀门时，在连通孔16具有多个的场景中，这些连通孔16可以是通过管路等连接于同一个阀门上，以便通过一个阀门同时打开各连通孔16或者同时关闭各连通孔16。

另外，连通孔16沿着容纳槽13的长度方向延伸，这样可以避免封堵件和/或与连通孔16连接的管路上附着的水滴等滴落至基片上涂布浆料的区域，从而为涂布效果提供保障。

如图7所示，涂布设备还包括风干装置6，风干装置6用于对待涂布物体上的浆料薄膜4进行风干；风干装置6包括风刀7、供气模组以及抽气模组；风刀7具有通风道71和连通槽72；通风道71的一端在风刀7的外表面上形成进风口711，通风道71的另一端在风刀7的外表面上形成出风口712；连通槽72由风刀7的外表面贯穿至与通风道71连通，连通槽72在通风道71的内表面上形成第一开口721，连通槽72在风刀7的外表面上形成第二开口722；沿着通风道71的延伸方向，进风口711和所述出风口712分别位于第一开口721的两侧；供气模组与进风口711连接，以便向通风道71内通气；抽气模组与出风口712连接，以便将通风道71内的气体抽出；第二开口722与放置区相对，以便实现对放置于放置区的待涂布物体3上的浆料薄膜4进行风干。

使用时，将第二开口722设置在浆料薄膜4的上方，利用供气装置在进风口711处向通风道71内通气，并利用供气装置在出风口712处抽气，这样通风道71内便形成处进风口711向出风口712流动的气流。当气流流经连通槽72时，会使连通槽72处产生一定负压，这样风刀7外部的空气便可以从连通槽72处进入通风道71内，并最终从出风口712排出通风道71。而风刀7外部的空气向第二开口722处流动时便会形成风，进而实现对浆料薄膜4进行风干。而且风刀7外部的空气向第二开口722处流动时所形成风是贴近浆料薄膜4的表面，并向上流动，这样可以减少对浆料薄膜4的干扰，进而可以提高涂布效果。另外，在第一方向上，第一拍摄装置2的拍摄区域位于涂布头1和风刀7的第二开口722之间，通常情况下，在第一方向上，第一拍摄装置2可以是设置在涂布头1和风刀7之间。

其中，通风道71位于进风口711和第一开口721之间的区域相当于是一正压腔，通风道71位于出风口712和第一开口721之间的区域相当于是一负压腔，气体进入正压腔后会先在正压腔内分散，然后再向负压腔流动，这样可以使处正压腔向负压腔流动的气流更加均匀，使得第一开口721处的气压分布也更加均匀，这样风刀7外部空气向第二开口722处流动时形成的风也更加均匀，从而进一步减少对浆料薄膜4的扰动。同时，这样也有利于实现对浆料薄膜进行均匀吹风，从而避免对第一拍摄装置的拍摄效果产生不良影响。

在一实施例中，通风道71的横截面为矩形，连通槽72为矩形槽（参考图8），此时，第一开口721和第二开口722均可以是矩形开口。当然，在其他实施例中，通风道71的横截面形状也可以是其他形状，连通槽72的横截面形状也可以是其他形状，而且，作为优选的，通风道71和连通槽72通常为规则形状，以利于使第一开口721处的气压分布更加均匀。

如图7所示，在一实施例中，风干装置6还包括第一分散组件8，第一分散组件8设置在通风道71内，并位于进风口711和第一开口721之间，第一分散组件8用于分散从进风口711向第一开口721流动的气体。通过第一分散组件8可以使流动至第一开口721处的气体分散的更加均匀，从而使正压腔向负压腔流动的气流更加均匀，这样便可以使风刀7外部空气向第二开口722处流动时形成的风也更加均匀，从而进一步减少对浆料薄膜4的扰动。

如图7和图9所示，在一实施例中，第一分散组件8包括分散板，分散板用于使气体分散，其中，定义第一分散组件8中的分散板为第一分散板81。第一分散板81位于进风口711和第一开口721之间；第一分散板81上设有多个通风孔（定义第一分散板81上的通风孔为第一通风孔811），从进风口711向出风口712流动的气体能从各第一通风孔811处穿过第一分散板81。当气体穿过第一分散板81时，便会被第一分散板81向四周分散。

第一分散板81的形状可以是与通风道71的横截面形状匹配，组装后第一分散板81的四周侧面的各部分区域都可以是与通风道71的内侧面接触，使得从进风口711通入通风道71的气体，只有从第一通风孔811处穿过第一分散板81后才能向出风口712一侧流动。比如，当通风道71的横截面为矩形时，第一分散板81为矩形板，且通风道71的横截面的长度尺寸可以是等于第一分散板81的长度尺寸，通风道71的横截面的宽度尺寸可以是等于第一分散板81的宽度尺寸。

另外，第一通风孔811在第一分散板81上均匀分布，以便使第一分散板81能够将气体分散的更加均匀。其中，第一通风孔811可以是阵列排布在第一分散板81上。

如图7所示，在一实施例中，第一分散组件8包括多个第一分散板81，多个第一分散板81沿着通风道71的延伸方向依次间隔设置；同一个第一分散板81上的各第一通风孔811的横截面面积相同；沿着进风口711至所述第一开口721的方向，各第一分散板81上的第一通风孔811的横截面面积逐渐减小，且各第一分散板81上的第一通风孔811的数量逐渐增多。这样设置可以使流过第一分散组件8的气体分散的更加均匀，从而进一步减少对浆料薄膜4的扰动。

另外，对于同一块第一分散板81而言，其上面设置的各第一通风孔811的形状可以是相同的，或者各第一通风孔811中也可以是有一些第一通风孔811的形状不相同。

如图7所示，在一实施例中，第一分散组件8还包括多孔棉，多孔棉用于使气体分散，其中，定义第一分散组件8中的多孔棉为第一多孔棉82。第一多孔棉82设置在第一分散板81和第一开口721之间，从进风口711通入的气体从第一通风孔811处穿过第一分散板81后，再从第一多孔棉82上的小孔内穿过第一多孔棉82后再向出风口712一侧流动。这样可以使流过第一分散组件8的气体分散的更加均匀。其中，第一多孔棉82上的小孔的孔径远小于第一通风孔811的孔径，第一多孔棉82上的小孔的数量远多于一个第一分散板81上的第一通风孔811的数量，所以第一多孔棉82可以将气体分散的更均匀。本实施例中，通入通风道71的气体先通过第一分散板81进行分散，然后再通过第一多孔棉82进行分散，这样可以提高对气体的分散效果。

当第一分散组件8中第一分散板81的数量为多个时，第一多孔棉82设置在最靠近第一开口721的第一分散板81和第一开口721之间。另外，第一多孔棉82可以是现有设计。

如图7所示，在一实施例中，风干装置6还包括第二分散组件9，第二分散组件9设置在通风道71内，并位于出风口712和第一开口721之间，第二分散组件9用于分散从第一开口721向出风口712流动的气体，这样可以使从正压腔向负压腔流动的气流更加均匀。

第二分散组件9可以具有分散板和多孔棉中的至少一个，定义第二分散组件9所具有的分散板为第二分散板91，第二分散板91上设有多个通风孔（定义第二分散板上的通风孔为第二通风孔，当第二分散组件9中具有第二分散板91时，从进风口711向出风口712流动的气体能从各第二通风孔处穿过第二分散板91。另外，第二分散板91的数量以及结构设置都可以是与第一分散板81相同。

第二分散组件9所具有的多孔棉为第二多孔棉92，第二多孔棉92可以是与第一多孔棉82相同。

当第二分散组件9同时包括第二分散板91和第二多孔棉92时，第二多孔棉92位于第二分散板91和第一开口721之间。

如图7所示，在一实施例中，沿通风道71的延伸方向，风刀7包括依次连接的第一段结构73、第二段结构74以及第三段结构75，通风道71包括依次连通的第一通道713、第二通道714以及第三通道715；第一通道713位于第一段结构73内，第二通道714位于第二段结构74内，第三通道715位于第三段结构75内；连通槽72设置在第二段结构74上，第一段结构73和第二段结构74均沿着连通槽72的深度方向凸出第二段结构74的同一侧；第一通道713和第二通道714均沿着连通槽72的深度方向延伸。其中，连通槽72的深度方向可以是平行于上下方向。

在本实施例中，风刀7类似于一U型结构，组装后，第一段结构73和第三段结构75均位于第二段结构74的上方，这样可以减小风刀7在水平方向上的尺寸，方便涂布设备中相应零部件的布置。另外，第一通道713和第二通道714之间平滑过渡，第二通道714和第三通道715之间也平滑过渡。

使用时，风干装置6与涂布头1在第一方向上的相对位置是不变的。

在一实施例中，在第二方向上，第二开口722的长度大于放置区的长度，且在第二方向上，第二开口722的两端均凸出放置区。在第二方向上，第二开口722的两端均凸出放置区可以是指，在一垂直于涂布头1和放置区的排布方向的平面上的正投影中，在第二方向上，第二开口722的投影的两端均位于放置区的投影的外侧。

本发明还提供一种检测方法，用于检测涂布于待涂布物体3上的浆料薄膜4的厚度是否满足需求，该检测方法可应用于上述任意一实施例所述的涂布设备。该检测方法包括：步骤S1、向第一拍摄装置2发送控制指令，以控制第一拍摄装置2工作，使第一拍摄装置2对待涂布物体3上涂布形成浆料薄膜4进行拍摄；步骤S2、获取第一拍摄装置2拍摄的第一图像信息，其中，第一图像信息包括浆料薄膜4的湿膜区域41和浆料薄膜4的干膜区域42的干湿分界线43的信息；步骤S3、将所述干湿分界线43的信息与第一预定信息进行比对，若干湿分界线43的信息与第一预定信息匹配，则浆料薄膜4的厚度符合要求。

在一实施例中，第一预定信息包括预定形状信息和预定位置信息；此时，步骤S3包括：S31、判断干湿分界线43的形状信息（即实际形状信息）与预定形状信息是否匹配；若干湿分界线43的形状信息与预定形状信息匹配，则进行S32，其中，步骤S32为判断干湿分界线43的位置信息（即实际位置信息）与预定位置信息是否匹配；若干湿分界线43的位置信息与预定位置信息匹配，则浆料薄膜4的厚度符合要求。

其中，干湿分界线43的形状信息与预定形状信息匹配，是指二者的形状相同，且尺寸相同。干湿分界线43的位置信息与预定位置信息匹配，可以是指干膜区域42的宽度（即实际宽度）等于基准宽度。

在步骤S1之前还包括步骤S01，其中，步骤S01为：向第二拍摄装置5发送控制指令，以控制第二拍摄装置5工作，使第二拍摄装置5对待涂布物体3和涂布头之间的液桥进行拍摄。在步骤S01之后还包括步骤S02和步骤S03。其中，步骤S02为：获取第二拍摄装置5拍摄的第二图像信息，第二图像信息包括液桥的长度（即液桥在第一方向上的长度）。步骤S03为：将液桥的长度与第二预定信息进行比对。

其中，步骤S03中实际对比的是液桥的长度与基准长度的大小关系。步骤S02可以是在步骤S1之前执行，也可以是在步骤S1之后执行，也可以是与步骤S1同步执行。

此外，在步骤S1之前还包括步骤S0，其中，步骤S0为：接收基准厚度确认指令，以选择确定与该基准厚度对应的第一预定信息。当在需要控制第二拍摄装置5拍摄的场景中，步骤S0在步骤S01之前执行。

在步骤S0中，接收基准厚度的确认指令可以是指接收通过输入装置输入或选择的基准厚度信息，即用户通过输入装置输入或选择基准厚度，这个输入装置可以是触控显示屏等。其中，用户通过输入装置选择基准厚度的场景中，输入装置可以对用户展示存储的各基准厚度，以供用户选择。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种涂布设备，其特征在于，包括支撑装置、涂布头、第一拍摄装置以及控制装置；

所述支撑装置具有放置区，所述放置区用于放置待涂布物体；

所述涂布头用于向放置于所述放置区的待涂布物体上涂布浆料，并能够在第一方向上相对放置于所述放置区的待涂布物体运动，以在待涂布物体上涂布形成浆料薄膜；所述涂布头和放置区的排布方向与所述第一方向的夹角大于0度且小于180度；

所述第一拍摄装置用于拍摄涂布于待涂布物体上的浆料薄膜，所述第一拍摄装置能够在第一方向上相对放置于所述放置区的待涂布物体运动；

所述控制装置与所述第一拍摄装置连接，用于识别所述第一拍摄装置拍摄到的第一图像信息，并根据所述第一图像信息，判断浆料薄膜的厚度是否符合要求。

2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布头和所述第一拍摄装置在所述第一方向上的相对位置保持不变。

3.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括第二拍摄装置，所述第二拍摄装置与所述涂布头相对，用于拍摄所述涂布头和待涂布物体之间的液桥的图像；

所述控制装置与所述第二拍摄装置连接，用于识别所述第二拍摄装置拍摄到的第二图像信息，并根据所述第二图像信息，判断所述浆料薄膜的厚度是否符合要求；

所述涂布头和所述第二拍摄装置在所述第一方向上的相对位置保持不变。

4.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括供液装置，所述供液装置分别连接所述涂布头和所述控制装置，以便根据所述控制装置的控制对所述涂布头供液。

5.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布头具有狭缝，所述狭缝在涂布头的唇面向形成出液口，浆料从所述出液口流出至待涂布物体上；

所述唇面上设有容纳槽，所述容纳槽与所述狭缝间隔设置。

6.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述涂布设备还包括风干装置，所述风干装置用于对待涂布物体上的浆料薄膜进行风干；

所述风干装置包括风刀、供气模组以及抽气模组；

所述风刀具有通风道和连通槽；

所述通风道的一端在所述风刀的外表面上形成进风口，所述通风道的另一端在所述风刀的外表面上形成出风口；

所述连通槽由所述风刀的外表面贯穿至与所述通风道连通，所述连通槽在所述通风道的内表面上形成第一开口，所述连通槽在所述风刀的外表面上形成第二开口；沿着所述通风道的延伸方向，所述进风口和所述出风口分别位于所述第一开口的两侧；

所述供气模组与所述进风口连接，以便向所述通风道内通气；

所述抽气模组与所述出风口连接，以便将所述通风道内的气体抽出；

所述第二开口与所述放置区相对。

7.根据权利要求6所述的涂布设备，其特征在于，所述风干装置还包括第一分散组件，所述第一分散组件设置在所述通风道内，并位于所述进风口和所述第一开口之间；

所述第一分散组件包括第一分散板和第一多孔棉，所述第一多孔棉设置在所述第一分散板和所述第一开口之间；

所述第一分散板上设有多个第一通风孔，从所述进风口向所述出风口流动的气体能从各所述第一通风孔处穿过所述第一分散板。

8.根据权利要求7所述的涂布设备，其特征在于，所述第一分散组件包括多个所述第一分散板，多个所述第一分散板沿着所述通风道的延伸方向依次间隔设置；

同一所述第一分散板上的各所述第一通风孔的横截面面积相同；

沿着所述进风口至所述第一开口的方向，各所述第一分散板上的第一通风孔的横截面面积逐渐减小，且各所述第一分散板上的第一通风孔的数量逐渐增多。

9.一种检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

向第一拍摄装置发送控制指令，以控制所述第一拍摄装置工作，使所述第一拍摄装置对待涂布物体上涂布形成浆料薄膜进行拍摄；

获取第一拍摄装置拍摄的第一图像信息，其中，所述第一图像信息包括浆料薄膜的湿膜区域和浆料薄膜的干膜区域的干湿分界线的信息；

将所述干湿分界线的信息与第一预定信息进行比对，若所述干湿分界线的信息与第一预定信息匹配，则浆料薄膜的厚度符合要求。

10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述第一预定信息包括预定形状信息和预定位置信息；

所述将所述干湿分界线的信息与第一预定信息进行比对的步骤，包括：

判断所述干湿分界线的形状信息与所述预定形状信息是否匹配；

若所述干湿分界线的形状信息与所述预定形状信息匹配，则判断所述干湿分界线的位置信息与所述预定位置信息是否匹配；若所述干湿分界线的位置信息与所述预定位置信息匹配，则浆料薄膜的厚度符合要求。