CN117316850B - 一种半导体封装装置 - Google Patents
一种半导体封装装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117316850B CN117316850B CN202311601888.XA CN202311601888A CN117316850B CN 117316850 B CN117316850 B CN 117316850B CN 202311601888 A CN202311601888 A CN 202311601888A CN 117316850 B CN117316850 B CN 117316850B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- box body
- fixedly connected
- driving
- positioning
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title abstract description 19
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 26
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 18
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by edge clamping, e.g. clamping ring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68792—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the construction of the shaft
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/60—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation
- H01L2021/60007—Attaching or detaching leads or other conductive members, to be used for carrying current to or from the device in operation involving a soldering or an alloying process
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明涉及半导体封装技术领域,且公开了一种半导体封装装置,包括箱体结构,所述箱体结构包括箱体,所述箱体内开设有驱动仓,所述驱动仓内设置有驱动组件,所述箱体内底壁上固定连接有固定台和两个支撑仓。该半导体封装装置,在对半导体结构进行封装前的检测时,可以将半导体结构定位在放置板上,而后通过启动驱动电机,两个螺纹杆开始旋转,移动座通过转动轴和定位板带动放置板整体进行上下移动,从而可以调节到适合进行检测的高度,调节完成后启动转动电机,转动轴带动放置板进行旋转,以便于对半导体结构的正反面均进行检测,提高了检测效率,使得检测和封装工作一体化,提高了工序制作的效率,十分方便快捷。
Description
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域,具体为一种半导体封装装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种,半导体元件在生产过程中通过封装装置进行焊接封装。
目前半导体元件在进行封装之前往往需要对半导体进行检测,需要额外通过检测装置进行,检测完成后再移动到封装装置内进行封装操作,工序十分繁琐,同时需要人工精力来进行半导体的搬运,十分不方便,因此,提出一种半导体封装装置,用于解决上述背景中提到的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体封装装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为了解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:一种半导体封装装置,包括箱体结构,所述箱体结构包括箱体,所述箱体内开设有驱动仓,所述驱动仓内设置有驱动组件,所述箱体内底壁上固定连接有固定台和两个支撑仓,两个所述支撑仓内设置有移动结构,所述箱体内顶壁上固定设置有液压缸,所述液压缸底部固定设置有焊接头,所述箱体顶部固定设置有除尘结构;
所述驱动组件包括与所述箱体左侧固定连接的驱动电机,所述驱动电机轴贯穿所述箱体并在驱动仓内同轴固定连接有两个第一主动齿轮;
所述移动结构包括与所述两个支撑仓内顶壁固定连接的螺纹杆,两个所述螺纹杆底端均贯穿所述支撑仓和箱体并连接有第一从动齿轮,两个所述第一从动齿轮与所述第一主动齿轮均相啮合;
两个所述螺纹杆外侧均螺纹连接有移动座,两个所述移动座外侧均设置有转动轴,两个所述转动轴另一端均贯穿连接有定位板,两个所述定位板内转动设置有放置板,所述放置板与两个所述转动轴固定连接,所述放置板内设置有定位结构;
左侧转动轴外侧同轴固定连接有第二从动齿轮,左侧定位板左侧设置有转动电机,所述转动电机轴外侧同轴连接有第二主动齿轮,所述第二主动齿轮与所述第二从动齿轮相啮合。
优选的,所述除尘结构包括与所述箱体顶部固定连接的抽气泵和集尘箱,所述抽气泵连通有抽气管,所述抽气管一端贯穿所述箱体,所述抽气管另一端与所述集尘箱连通。
通过设置除尘结构,使得在进行封装工作过程中可以通过启动抽气泵,抽气泵通过抽气管对箱体内的灰尘杂质进行吸取操作,而后进入集尘箱进行集中收集处理,对装置内部的清洁提供了保障。
优选的,所述定位结构包括开设在所述放置板内的定位槽,所述定位槽两侧壁上均固定连接有两个弹簧伸缩柱,四个所述弹簧伸缩柱另一端均固定连接有定位夹板。
通过设置定位结构,使得在对不同大小的半导体结构进行检测和封装时可以通过移动定位夹板,而后将半导体结构放置在定位夹板之间,在弹簧伸缩柱的作用下,两个定位夹板会将半导体结构进行夹紧操作,方便进行后续工序。
优选的,两个所述定位夹板再所述定位槽外侧的一端均固定连接有推杆。
通过设置推杆使得使用人员对定位夹板的位置调节固定更加方便快捷。
优选的,两个所述定位夹板相对的一侧均设置有防滑层。
在两个定位夹板内设置防滑层,使得对半导体结构进行夹紧定位操作时可以有效防止出现滑动打滑现象,从而导致半导体结构松动脱落。
优选的,所述箱体外侧设置有开关门。
通过设置开关门,使得工作人员可以通过打开开关门对内部结构装置进行维护更换操作,优化了相应步骤。
优选的,所述驱动电机通过电机座与所述箱体左侧固定连接。
通过电机座对驱动电机进行固定,保证了驱动电机工作时的稳定性。
优选的,两个所述支撑仓相对的一侧均开设有移动槽。
在支撑仓外侧开设移动槽,以方便调节高度时移动座和转动轴进行上下位置移动。
与现有技术相比,本发明提供了一种半导体封装装置,具备以下有益效果:
1、该半导体封装装置,通过设置驱动组件和移动结构,使得在对半导体结构进行封装前的检测时,可以将半导体结构定位在放置板上,而后通过启动驱动电机,第一主动齿轮带动第一从动齿轮转动,从而两个螺纹杆开始旋转,移动座通过转动轴和定位板带动放置板整体进行上下移动,从而可以调节到适合进行检测的高度,调节完成后启动转动电机,第二主动齿轮带动第二从动齿轮转动,从而转动轴带动放置板进行旋转,以便于对半导体结构的正反面均进行检测,提高了检测效率,检测完成后将放置板移动到合适位置,而后启动液压缸,此时焊接头开始对半导体结构进行焊接封装工作,使得检测和封装工作一体化,提高了工序制作的效率,十分方便快捷。
2、该半导体封装装置,通过设置除尘结构,使得在进行封装焊接工作时,可以通过抽气泵和抽气管对工作产生的灰尘颗粒等杂质进行吸取操作,吸取到集尘箱内进行集中处理,有效保证了装置内部的环境整洁。
3、该半导体封装装置,通过设置定位结构,使得可以通过推杆移动两个定位夹板来对不同尺寸的半导体结构进行夹紧定位,有效的提高了固定的稳定性,避免出现掉落现象。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明结构正视图;
图3为本发明图1中A处结构放大示意图;
图4为本发明图1中B处结构放大示意图。
其中:1、箱体结构;11、箱体;12、驱动仓;13、固定台;14、支撑仓;15、液压缸;16、焊接头;17、开关门;2、驱动组件;21、驱动电机;22、第一主动齿轮;3、移动结构;31、螺纹杆;32、第一从动齿轮;33、移动座;34、转动轴;35、定位板;36、放置板;37、第二从动齿轮;38、转动电机;39、第二主动齿轮;4、除尘结构;41、抽气泵;42、集尘箱;43、抽气管;5、定位结构;51、定位槽;52、弹簧伸缩柱;53、定位夹板;54、推杆;55、防滑层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4,本发明提供如下技术方案:一种半导体封装装置,包括箱体结构1,箱体结构1包括箱体11,箱体11内开设有驱动仓12,驱动仓12内设置有驱动组件2,箱体11内底壁上固定连接有固定台13和两个支撑仓14,两个支撑仓14内设置有移动结构3,箱体11内顶壁上固定设置有液压缸15,液压缸15底部固定设置有焊接头16,箱体11顶部固定设置有除尘结构4;
驱动组件2包括与箱体11左侧固定连接的驱动电机21,驱动电机21轴贯穿箱体11并在驱动仓12内同轴固定连接有两个第一主动齿轮22;
移动结构3包括与两个支撑仓14内顶壁固定连接的螺纹杆31,两个螺纹杆31底端均贯穿支撑仓14和箱体11并连接有第一从动齿轮32,两个第一从动齿轮32与第一主动齿轮22均相啮合;
两个螺纹杆31外侧均螺纹连接有移动座33,两个移动座33外侧均设置有转动轴34,两个转动轴34另一端均贯穿连接有定位板35,两个定位板35内转动设置有放置板36,放置板36与两个转动轴34固定连接,放置板36内设置有定位结构5;
左侧转动轴34外侧同轴固定连接有第二从动齿轮37,左侧定位板35左侧设置有转动电机38,转动电机38轴外侧同轴连接有第二主动齿轮39,第二主动齿轮39与第二从动齿轮37相啮合。
通过上述技术方案,通过设置驱动组件2和移动结构3,使得在对半导体结构进行封装前的检测时,可以将半导体结构定位在放置板36上,而后通过启动驱动电机21,第一主动齿轮22带动第一从动齿轮32转动,从而两个螺纹杆31开始旋转,移动座33通过转动轴34和定位板35带动放置板36整体进行上下移动,从而可以调节到适合进行检测的高度,调节完成后启动转动电机38,第二主动齿轮39带动第二从动齿轮37转动,从而转动轴34带动放置板36进行旋转,以便于对半导体结构的正反面均进行检测,提高了检测效率,检测完成后将放置板36移动到合适位置,而后启动液压缸15,此时焊接头16开始对半导体结构进行焊接封装工作,使得检测和封装工作一体化,提高了工序制作的效率,十分方便快捷。
具体的,除尘结构4包括与箱体11顶部固定连接的抽气泵41和集尘箱42,抽气泵41连通有抽气管43,抽气管43一端贯穿箱体11,抽气管43另一端与集尘箱42连通。
通过上述技术方案,通过设置除尘结构4,使得在进行封装工作过程中可以通过启动抽气泵41,抽气泵41通过抽气管43对箱体11内的灰尘杂质进行吸取操作,而后进入集尘箱42进行集中收集处理,对装置内部的清洁提供了保障,通过设置除尘结构4,使得在进行封装焊接工作时,可以通过抽气泵41和抽气管43对工作产生的灰尘颗粒等杂质进行吸取操作,吸取到集尘箱42内进行集中处理,有效保证了装置内部的环境整洁。
具体的,定位结构5包括开设在放置板36内的定位槽51,定位槽51两侧壁上均固定连接有两个弹簧伸缩柱52,四个弹簧伸缩柱52另一端均固定连接有定位夹板53。
通过上述技术方案,通过设置定位结构5,使得在对不同大小的半导体结构进行检测和封装时可以通过移动定位夹板53,而后将半导体结构放置在定位夹板53之间,在弹簧伸缩柱52的作用下,两个定位夹板53会将半导体结构进行夹紧操作,方便进行后续工序,通过设置定位结构5,使得可以通过推杆54移动两个定位夹板53来对不同尺寸的半导体结构进行夹紧定位,有效的提高了固定的稳定性,避免出现掉落现象。
具体的,两个定位夹板53再定位槽51外侧的一端均固定连接有推杆54。
通过上述技术方案,通过设置推杆54使得使用人员对定位夹板53的位置调节固定更加方便快捷。
具体的,两个定位夹板53相对的一侧均设置有防滑层55。
通过上述技术方案,在两个定位夹板53内设置防滑层55,使得对半导体结构进行夹紧定位操作时可以有效防止出现滑动打滑现象,从而导致半导体结构松动脱落。
具体的,箱体11外侧设置有开关门17。
通过上述技术方案,通过设置开关门17,使得工作人员可以通过打开开关门17对内部结构装置进行维护更换操作,优化了相应步骤。
具体的,驱动电机21通过电机座与箱体11左侧固定连接。
通过上述技术方案,通过电机座对驱动电机21进行固定,保证了驱动电机21工作时的稳定性。
具体的,两个支撑仓14相对的一侧均开设有移动槽。
通过上述技术方案,在支撑仓14外侧开设移动槽,以方便调节高度时移动座33和转动轴34进行上下位置移动。
在使用时,对半导体结构进行封装前的检测时,可以将半导体结构定位在放置板36上,而后通过启动驱动电机21,第一主动齿轮22带动第一从动齿轮32转动,从而两个螺纹杆31开始旋转,移动座33通过转动轴34和定位板35带动放置板36整体进行上下移动,从而可以调节到适合进行检测的高度,调节完成后启动转动电机38,第二主动齿轮39带动第二从动齿轮37转动,从而转动轴34带动放置板36进行旋转,以便于对半导体结构的正反面均进行检测,提高了检测效率,检测完成后将放置板36移动到合适位置,而后启动液压缸15,此时焊接头16开始对半导体结构进行焊接封装工作,使得检测和封装工作一体化,提高了工序制作的效率,十分方便快捷。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种半导体封装装置,包括箱体结构(1),其特征在于:所述箱体结构(1)包括箱体(11),所述箱体(11)内开设有驱动仓(12),所述驱动仓(12)内设置有驱动组件(2),所述箱体(11)内底壁上固定连接有固定台(13)和两个支撑仓(14),两个所述支撑仓(14)内设置有移动结构(3),所述箱体(11)内顶壁上固定设置有液压缸(15),所述液压缸(15)底部固定设置有焊接头(16),所述箱体(11)顶部固定设置有除尘结构(4);
所述驱动组件(2)包括与所述箱体(11)左侧固定连接的驱动电机(21),所述驱动电机(21)轴贯穿所述箱体(11)并在驱动仓(12)内同轴固定连接有两个第一主动齿轮(22);
所述移动结构(3)包括与所述两个支撑仓(14)内顶壁固定连接的螺纹杆(31),两个所述螺纹杆(31)底端均贯穿所述支撑仓(14)和箱体(11)并连接有第一从动齿轮(32),两个所述第一从动齿轮(32)与所述第一主动齿轮(22)均相啮合;
两个所述螺纹杆(31)外侧均螺纹连接有移动座(33),两个所述移动座(33)外侧均设置有转动轴(34),两个所述转动轴(34)另一端均贯穿连接有定位板(35),两个所述定位板(35)内转动设置有放置板(36),所述放置板(36)与两个所述转动轴(34)固定连接,所述放置板(36)内设置有定位结构(5);
左侧的转动轴(34)外侧同轴固定连接有第二从动齿轮(37),左侧的定位板(35)左侧设置有转动电机(38),所述转动电机(38)轴外侧同轴连接有第二主动齿轮(39),所述第二主动齿轮(39)与所述第二从动齿轮(37)相啮合;
所述除尘结构(4)包括与所述箱体(11)顶部固定连接的抽气泵(41)和集尘箱(42),所述抽气泵(41)连通有抽气管(43),所述抽气管(43)一端贯穿所述箱体(11),所述抽气管(43)另一端与所述集尘箱(42)连通;
所述定位结构(5)包括开设在所述放置板(36)内的定位槽(51),所述定位槽(51)两侧壁上均固定连接有两个弹簧伸缩柱(52),四个所述弹簧伸缩柱(52)另一端均固定连接有定位夹板(53),两个所述定位夹板(53)再所述定位槽(51)外侧的一端均固定连接有推杆(54)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体封装装置,其特征在于:两个所述定位夹板(53)相对的一侧均设置有防滑层(55)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体封装装置,其特征在于:所述箱体(11)外侧设置有开关门(17)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体封装装置,其特征在于:所述驱动电机(21)通过电机座与所述箱体(11)左侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体封装装置,其特征在于:两个所述支撑仓(14)相对的一侧均开设有移动槽。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311601888.XA CN117316850B (zh) | 2023-11-28 | 2023-11-28 | 一种半导体封装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311601888.XA CN117316850B (zh) | 2023-11-28 | 2023-11-28 | 一种半导体封装装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117316850A CN117316850A (zh) | 2023-12-29 |
CN117316850B true CN117316850B (zh) | 2024-01-26 |
Family
ID=89288764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311601888.XA Active CN117316850B (zh) | 2023-11-28 | 2023-11-28 | 一种半导体封装装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117316850B (zh) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170475A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Panasonic Corp | 半導体装置製造設備および半導体装置の製造方法 |
CN213401137U (zh) * | 2020-11-27 | 2021-06-08 | 苏州荣恩诗机械科技有限公司 | 一种半导体封装用芯片定位夹片 |
CN216528831U (zh) * | 2021-10-29 | 2022-05-13 | 联测优特半导体(东莞)有限公司 | 一种用于集成电路制造的新型半导体封装设备 |
CN217098375U (zh) * | 2021-12-24 | 2022-08-02 | 广州仕上科技有限公司 | 一种自适配夹持结构 |
CN217691063U (zh) * | 2022-06-07 | 2022-10-28 | 深圳市伟业永升科技有限公司 | 一种半导体封装检测装置 |
CN218215261U (zh) * | 2022-09-30 | 2023-01-03 | 日月科技(辽阳)有限公司 | 一种基于super220半导体封装元件的测试装置 |
CN218333705U (zh) * | 2022-09-13 | 2023-01-17 | 陕西希芯至成半导体科技有限公司 | 一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20230003794A1 (en) * | 2019-12-13 | 2023-01-05 | Shandong Caiju Electronic Technology Co., Ltd | Chip detection device, chip detection system, and control method |
-
2023
- 2023-11-28 CN CN202311601888.XA patent/CN117316850B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170475A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Panasonic Corp | 半導体装置製造設備および半導体装置の製造方法 |
CN213401137U (zh) * | 2020-11-27 | 2021-06-08 | 苏州荣恩诗机械科技有限公司 | 一种半导体封装用芯片定位夹片 |
CN216528831U (zh) * | 2021-10-29 | 2022-05-13 | 联测优特半导体(东莞)有限公司 | 一种用于集成电路制造的新型半导体封装设备 |
CN217098375U (zh) * | 2021-12-24 | 2022-08-02 | 广州仕上科技有限公司 | 一种自适配夹持结构 |
CN217691063U (zh) * | 2022-06-07 | 2022-10-28 | 深圳市伟业永升科技有限公司 | 一种半导体封装检测装置 |
CN218333705U (zh) * | 2022-09-13 | 2023-01-17 | 陕西希芯至成半导体科技有限公司 | 一种用于半导体封装装置的吹气除尘装置 |
CN218215261U (zh) * | 2022-09-30 | 2023-01-03 | 日月科技(辽阳)有限公司 | 一种基于super220半导体封装元件的测试装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
半导体探测器封前外观自动光学检验系统研究;梁师国;曾志红;陈晓莉;何俊;梁飞;张颉;罗勇;;光通信研究(第03期);全文 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN117316850A (zh) | 2023-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN117316850B (zh) | 一种半导体封装装置 | |
CN210848655U (zh) | 一种信号齿加工用铣齿机 | |
CN111687442A (zh) | 一种用于机械加工的立式钻床 | |
CN116923834A (zh) | 一种适用有无底托瓶体的自动拆包机 | |
CN209957841U (zh) | 一种农业机械工件热处理用夹持装置 | |
CN208529763U (zh) | 用于塑料产品制作的超声波自动焊接设备 | |
CN111824476B (zh) | 一种多层尿布生产用打包机及其工作方法 | |
CN211104361U (zh) | 一种包装用包装袋裁切机 | |
CN111038754B (zh) | 一种全自动医疗器具填装机 | |
CN211652491U (zh) | 一种基于精密视觉系统的机器人测试机 | |
CN212608060U (zh) | 一种芯片加工用多工位吸盘夹具 | |
CN220218650U (zh) | 一种包装纸箱废料裁切机 | |
CN211191248U (zh) | 一种高速精密冲床的除尘装置 | |
CN206869214U (zh) | 一种管材切割装置 | |
CN220700546U (zh) | 一种铝箔袋生产用素箔分切装置 | |
CN212738647U (zh) | 一种新型立式真空包装机 | |
CN219030975U (zh) | 多功能物料自动化摆放装置 | |
CN110238211A (zh) | 一种金刚线母线加工用拉伸装置 | |
CN216831408U (zh) | 一种方便回收废屑的木箱加工设备 | |
CN219151651U (zh) | 一种自动化机械设计冲钻孔装置 | |
CN213765492U (zh) | 一种便于清洁的配件加工夹持装置 | |
CN220464890U (zh) | 彩色包装箱折边机构 | |
CN219790664U (zh) | 一种洁厕块包装机 | |
CN218110307U (zh) | 一种用于半导体的加工设备 | |
CN219748289U (zh) | 一种电池热缩膜旋转切断装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |