CN117238835B - 一种晶圆用夹持旋转工装平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆用夹持旋转工装平台，包括工作台面；旋转部设于工作台面的底部；定位基板可上下移动的设置在旋转部上，并位于工作台面的下方；多个夹持部可转动的从工作台面的上表面穿出，夹持部的底部通过连杆机构与定位基板活动相连；拉伸部的底部设于定位基板上，拉伸部的顶部设于定位基板的上方并与旋转部的周向相连；旋转下压部可转动的设置在定位基板一侧；硬限位组件设置在定位基板的上表面，并位于工作台面的下方；平缓移动组件设于工作台面和定位基板之间；本发明通过拉伸部和平缓移动组件的配合在定位基板下降和上升时实现多个夹持部的顶部平整缓慢的分散松开和聚拢夹持，夹持的晶圆无损坏，晶圆旋转清洗时无需额外的夹持动力。

Description

一种晶圆用夹持旋转工装平台

技术领域

本发明涉及一种工装平台，尤其涉及一种用于晶圆的夹持旋转工装平台。

背景技术

晶圆在成型加工中需要经过多步清洗和蚀刻，目前的工作流程如下：夹持机构夹持头打开，上游机械手放入晶圆，夹持机构夹持头缩回夹持好晶圆，旋转机构带动夹持机构进行旋转，药液喷淋机构开始对晶圆表面进行喷淋药液，对晶圆表面进行蚀刻清洗，清洗完成后，根据工艺需要可以对晶圆甩干或不甩干。

在实际的应用中发现，现有的夹持头在对晶圆夹持时，很可能会由于速度过快或夹持的力不均匀造成晶圆的损坏，韩国专利KR1020220061412A披露了一种铰接式平行作动器夹持器，该铰接式平行作动器夹持器包括夹具主体、嵌入夹具主体中的驱动马达、螺杆轴、沿着螺杆轴提升的提升螺母构件、以及弹性支撑提升螺母构件的复位弹簧、安装在夹具主体上的导轨、安装在导轨上的滑块、升降螺母构件和安装在导轨上的滑块以及根据升降螺母构件的高度移动滑块的操作连杆，用于密封导轨和滑块的盖构件，以及用于根据联接到盖构件和滑块上的提升螺母构件的提升和下降提供夹持力的指状组件。

专利KR1020220061412A主要是通过驱动马达带来的驱动力通过滑块带动指状组件做向内或向外的移动来实现夹持和松开；当提升螺母构件上升时，复位弹簧的膨胀力起作用，并且当提升螺母构件下降时，工作连杆和连接连杆具有像撬棍一样推动第二连杆构件的功能，使得能够始终在防振材料侧提供均匀的压力，从而提供均匀的夹持力。

但是该夹持器存在以下缺点：

1.在对晶圆进行旋转清洗时，该夹持器需要驱动马达全程提供驱动力来确保夹持器对晶圆进行夹持，即驱动马达工作时带动提升螺母构件往上移动，驱动马达一直处于工作状态，这样就导致整个生产过程中的使用成本较高；

2.其次，该夹持器中当提升螺母构件上升时，复位弹簧通过其被压紧后释放的膨胀力带动提升螺母构件向上推，提升螺母构件带动滑块移动后通过工作连杆和连接连杆带动部件向内移动从而实现均匀的弹性夹持，其主要确保的是对晶圆受力均匀的夹持，但是其夹持时的速度还是不可控，进而可能由于夹持速度快而对晶圆造成损坏。

发明内容

本发明目的是为了克服现有技术的不足而提供一种晶圆用夹持旋转工装平台，晶圆夹持时无损伤无形变，夹持后的平整度高，同时在对晶圆旋转清洗时，无需利用额外的驱动力来保持对晶圆的夹持，使用成本低。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种晶圆用夹持旋转工装平台，包括：

工作台面；

旋转部，设于所述工作台面的底部，用以带动所述工作台面转动；

定位基板，可上下移动的设置在所述旋转部上，并位于所述工作台面的下方；

夹持部，多个所述夹持部可转动的从工作台面的上表面穿出，所述夹持部的底部通过连杆机构与所述定位基板活动相连；

拉伸部，所述拉伸部的底部设于所述定位基板上，且，所述拉伸部的顶部设于所述定位基板的上方并与所述旋转部的周向相连；

旋转下压部，可转动的设置在所述定位基板一侧，用以转动后驱动所述定位基板下降；

硬限位组件，设置在所述定位基板的上表面，并位于所述工作台面的下方，用以对定位基板上移时的位置限位；

平缓移动组件，设于所述工作台面和定位基板之间；

其中，当所述旋转下压部带动定位基板下降时，所述定位基板经由平缓移动组件带动后通过连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的分散松开，拉伸部拉伸至第一拉伸位；

当所述旋转下压部远离定位基板时，拉伸部从第一拉伸位回位至由所述硬限位组件限位的第二拉伸位，同时拉伸部带动定位基板上移，所述定位基板上移时经由平缓移动组件带动后通过连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的聚拢夹持。

进一步的，所述平缓移动组件包括：

丝杆，所述丝杆可转动的设置在所述工作台面和定位基板之间，且所述丝杆的底部贯穿出所述定位基板；

固定块，设置在所述丝杆的顶部，用以将所述丝杆的顶部设于所述工作台面内；

丝杆螺母，通过钢球与所述丝杆可转动的升降相连，且所述丝杆螺母的外部与所述定位基板相连；

其中，当旋转下压部带动定位基板下压时带动所述丝杆螺母下移，所述丝杆螺母通过钢球带动所述丝杆被动旋转，所述丝杆被动旋转后通过丝杆螺母带动所述定位基板平缓下移；

当所述拉伸部从第一拉伸位回位至第二拉伸位时，拉伸部带动所述定位基板上移，从而带动所述丝杆螺母上移，所述丝杆螺母通过钢球带动所述丝杆被动旋转，所述丝杆被动旋转后通过丝杆螺母带动所述定位基板平缓上移。

进一步的，所述工作台面内设有与丝杆适配的轴套，所述轴套的上下两端内设有位于工作台面内的推力球轴承，两个所述推力球轴承之间设有深沟球轴承。

进一步的，所述丝杆螺母下方还设有用以限位丝杆螺母往下移动的限位组件，所述限位组件包括依次套设在丝杆上且位于设于所述丝杆螺母的下方的卡簧、限位螺母和第一并紧螺母。

进一步的，所述硬限位组件包括硬限位螺母，所述硬限位螺母用于硬限位定位基板上移高度，所述硬限位螺母上设有第二并紧螺母。

进一步的，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆和第三连杆；所述第一连杆一端与夹持部的底部铰接相连，另一端与定位基板铰接相连；所述第二连杆的两端分别与夹持部的上端铰接相连，另一端与第三连杆铰接相连，且第二连杆与夹持部的铰接点高于第一连杆与夹持部的铰接点；所述第三连杆的另一端与定位基板铰接相连。

进一步的，所述拉伸部包括上下设置的上固定件和下固定件，所述上固定件设置在旋转部上，且位于所述定位基板的上方，所述下固定件设置在所述定位基板的下方；所述上固定件和下固定件之间设有穿过定位基板的拉伸弹簧。

进一步的，所述定位基板上还设有若干个贯穿设置在所述定位基板上的缓冲器，所述缓冲器的顶部位于所述工作台面的下方。

进一步的，所述夹持部包括夹持本体；所述夹持本体的顶部往上通过贯穿孔从所述工作台面穿出，所述夹持本体的顶部设有可拆卸的夹持头。

进一步的，所述工作台面和定位基板的台面分别设有上罩壳和下罩壳；所述上罩壳和下罩壳之间为回形结构相连设置。

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

1. 本发明的夹持旋转工装平台，当旋转下压部带动定位基板下降时，定位基板带动丝杆螺母在丝杆上平缓下移，从而通过连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的分散松开，拉伸弹簧处于第一拉伸位，此时夹持部处于将晶圆松开的状态，可以对晶圆进行取放动作；当旋转下压部远离定位基板时，拉伸弹簧从第一拉伸位回位至第二拉伸位处，从而带动定位基板上移，定位基板上移后通过丝杆螺母和连杆机构带动多个夹持部平整缓慢的聚拢夹持，此时的拉伸弹簧处于第二拉伸位时还具有一定的拉伸力，能稳定的通过夹持部将晶圆夹持，从而实现对晶圆平整缓慢的夹持，晶圆无损坏和形变。

2.本夹持旋转工装平台在对晶圆进行旋转清洗时，无需另外的动力来对驱动夹持部对晶圆持续保持夹持，这样不但降低了使用成本，也可以确保晶圆旋转清洗时的稳定性。

3.夹持部由可拆卸的设置在夹持本体上的夹持头构成，这样就便于对更换的夹持头进行更换，同时可以将夹持本体穿出工作台面的贯穿孔开的足够小，避免由于背部气流的原因对晶圆背面造成污染。

附图说明

下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：

图1为本发明一实施例中夹持晶圆时的立体结构示意图；

图2为本发明一实施例中略去上罩壳和下罩壳后的立体结构示意图；

图3为本发明一实施例中夹持部和平缓移动组件和连杆机构相连时的立体结构示意图；

图4为图 3的俯视图；

图5为图4中的A-A的局部剖视图；

图6为图4中的B-B的局部剖视图；

图7为图4中的C-C的局部剖视图；

图8为本发明一实施例的另一视角的立体结构示意图；

图9为本发明一实施例中设有上罩壳和下罩壳时的局部剖视图；

其中：1、晶圆；2、夹持部；3、平缓移动组件；4、旋转部；5、定位基板；6、工作台面；7、连杆机构；8、上罩壳；9、下罩壳；20、夹持本体；21、夹持头；30、固定块；31、丝杆；32、丝杆螺母；33、卡簧；34、限位螺母；35、第一并紧螺母；36、旋转下压气缸；37、下压条；40、旋转马达；41、连接板；42、旋转台；50、导向轴套；51、上固定件；52、下固定件；53、拉伸弹簧；54、缓冲器；55、硬限位螺母；56、第二并紧螺母；70、第一连杆；71、第二连杆；73、第三连杆；300、深沟球轴承；301、推力球轴承；302、轴套。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

本发明提供了一种晶圆用夹持旋转工装平台，以解决现有技术中夹持晶圆时速射过快从而容易丢失晶圆，并可能产生由于对晶圆的机械碰撞造成的损伤以及夹持形变；同时现有的晶圆旋转清洗时需要额外动力保持对晶圆夹持的状态，生产成本高的问题。

为了便于理解，下面对本申请实施例中的具体流程进行描述，请参阅图1至图3，本申请实施例中的一种晶圆用夹持旋转工装平台，包括工作台面6、旋转部4、定位基板5、夹持部2、拉伸部、旋转下压部、硬限位组件和平缓移动组件3；所述旋转部4安装在所述工作台面6的底部，用以带动所述工作台面6进行360°的旋转，工作台面6旋转时带动晶圆进行旋转清洗；定位基板5可上下移动的设置在所述旋转部4上，且位于所述工作台面6的下方；多个所述夹持部2可转动的从所述工作台面6的上表面穿出，所述夹持部2的底部通过连杆机构7与所述定位基板5活动相连；平缓移动组件3设置在所述工作台面6和定位基板5之间。

所述拉伸部的底部设于所述定位基板5上，且所述拉伸部的顶部设于所述定位基板5的上方并与所述旋转部4的周向相连；旋转下压部可转动的设置在所述定位基板一侧，用以转动后驱动所述定位基板5下降；硬限位组件设置在所述定位基板5的上表面，并位于所述工作台面6的下方，用以对定位基板5上移时的位置限位；平缓移动组件3设于所述工作台面6和定位基板5之间。

工作时，当所述下压部带动定位基板5下降时，所述定位基板5经由平缓移动组件3带动后通过连杆机构7带动多个夹持部2平整缓慢的分散松开，拉伸部往下拉伸至第一拉伸位，此时夹持部2处于将晶圆松开的状态，可以对晶圆进行取放动作。

当所述下压部远离定位基板5时，拉伸部回位至由所述硬限位组件限位的第二拉伸位，同时回位时带动定位基板5上移，所述定位基板5经由平缓移动组件3带动后通过连杆机构7带动多个夹持部2平整缓慢的聚拢夹持，此时夹持部2处于将晶圆夹持的状态，此时可以在无动力驱动的情况下对晶圆夹持进行旋转清洗，此时第二拉伸位的拉伸力小于第一拉伸位的拉伸力，但是拉伸部还是具有一定的拉伸力，从而实现夹持部对晶圆的夹持。

本发明的晶圆用夹持旋转工装平台，通过拉伸部和平缓移动组件的配合让晶圆的夹持过程为平整缓慢的聚拢夹持，从而避免夹持速度快而丢失晶圆1，防止产生机械撞击对晶圆造成损伤或者夹持变形；同时晶圆在进行旋转清洗时，只需将旋转下压部远离定位基板即可，无需额外的动力对晶圆进行夹持，降低了成本。

本实施例中，基于图2至图3和图5，所述平缓移动组件3包括垂直可转动的安装在工作台面6和定位基板之间的丝杆31，且所述丝杆31的底部贯穿出所述定位基板5，所述丝杆31的顶部设有将丝杆31设置在工作台面6内的固定块30；所述丝杆螺母32通过钢球可上下移动的设于所述丝杆31上，且丝杆螺母32的外部与所述定位基板5相连，这样丝杆31的一端与固定块30固定，另一端通过丝杆螺母32可以引导定位基板5在旋转部4的轴向上进行平整缓慢的上下移动；当丝杆螺母32在丝杆31上进行上下升降时，由于丝杆螺母是按照一定轨迹传动的，故这样的上下移动方式较为稳定平缓。

本实施例中，旋转下压部为一个或多个，旋转下压部包括旋转下压气缸36，旋转下压气缸36设置在所述定位基板5一侧，所述旋转下压气缸36用以驱动压紧条37旋转后位于定位基板5的上方，然后再带动定位基板5往下压，而由于定位基板5是与丝杆螺母32相连的，这样丝杆螺母32通过钢球沿着丝杆就往下移动，从而带动丝杆31被动在工作台面6内转动，丝杆螺母32就驱动定位基板5在旋转部4的轴向进行缓慢平整的往下移动。

另外，在所述工作台面6内设有与丝杆31的顶部适配的轴套302，所述轴套302的上下两端适配有位于工作台面6内的推力球轴承301，两个所述推力球轴承301之间设有位于工作台面6内的深沟球轴承300，深沟球轴承300和推力球轴承301分别用于承载丝杆31径向的承载力和轴向的承载力，保证丝杆31转动、定位基板5上下运动时的丝滑顺畅。

同时，为了对丝杆螺母32在丝杆31上往下移动的位置进行限制，所以在丝杆螺母32的下方上设置了限位组件，限位组件包括限制丝杆螺母32下移的限位螺母34，在限位螺母34的下方设有限位螺母34滑动的第一并紧螺母35以及起到锁紧限位螺母34的卡簧33。

本实施例中，基于图6和图7，所述拉伸部包括上下设置的上固定件51和下固定件52，所述上固定件设置在旋转部4的周向上，且位于所述定位基板5的上方，所述下固定件52设置在所述定位基板5的下方；所述上固定件51和下固定件52之间设有穿过定位基板5的拉伸弹簧53。

这样当旋转下压气缸36驱动下压条37旋转回位后，拉伸弹簧53的自动收缩力带动拉伸弹簧53从第一拉伸位回到第二拉伸位，第二拉伸位的拉伸力小，此时的自动回缩力自动带动定位基板5沿着旋转部4的轴向往上移动，定位基板5与丝杆螺母32相连，丝杆螺母32通过滚轴在丝杆31上移动，同时丝杆被动旋转，从而能缓慢平移带动定位基板6上移，然后多个夹持部2就缓慢的向工作台面6的中心处聚拢后夹持晶圆。

基于图6，所述硬限位组件包括设置在定位基板上的硬限位螺母55，所述硬限位螺母55上设有第二并紧螺母56，当定位基板5由于拉伸弹簧53往上移动复位时，由于硬限位螺母55的存在，使得定位基板5不能往上移动，同时确定拉伸弹簧从第一拉伸位回位到第二拉伸位时，其整体还是处于拉伸状态，确保夹持部具有力能夹紧晶圆时。

本实施例中，基于图2和图7，所述连杆机构7包括第一连杆70、第二连杆71和第三连杆72，所述第一连杆70一端与夹持部2的底部铰接相连，另一端与所述定位基板5铰接相连；所述第二连杆71的两端分别与夹持部2的上端铰接相连，另一端与第三连杆72铰接相连，且第二连杆71与夹持部2的铰接点高于第一连杆70与夹持部2的铰接点，所述第三连杆72的另一端与定位基板5铰接相连。

当旋转下压气缸36通过下压条37带动定位基板5往下移动时，第一连杆70和第二连杆71以及第三连杆72之间分别进行转动，从而带动夹持部2在工作台面6处转动后，多个夹持部2相对工作台面6的中心往四周打开，实现对晶圆1的平缓松开。

同时，在所述定位基板5与旋转部4之间还设有导向轴套50，这样定位基板5可以通过导向轴套50导向后在旋转部4上进行精准的上下移动。

本实施例中，基于图6，所述定位基板5上还设有若干个贯穿设置的缓冲器54，所述缓冲器54的顶部位于所述工作台面6下方，这样由于缓冲器5的存在，能够使得定位基板5上移复位夹紧晶圆时，最后距离的动作更为平缓 ，进一步避免对夹持的晶圆造成损伤。

本实施例中，基于图7和图8，所述夹持部2包括夹持本体20，所述夹持本体20的顶部往上贯穿出所述工作台面6，所述夹持本体的顶部设有可拆卸的夹持头21，这样分体式的夹持头21能快速更换夹头，从而大大降低工作量。

同时，夹持本体20从贯穿孔内穿出，由于夹持头21和夹持本体20之间为可拆卸相连，这样就可以避免由于贯穿孔开的过大，导致背部气流更易溢出，污染晶圆的背面。

本实施例中，基于图2和图6，所述旋转部4包括旋转马达40，所述旋转马达40设置在连接板41上，所述旋转马达40带动位于旋转板41上方的旋转台42进行转动；所述旋转台42与工作台面6相连，定位基板5设置在旋转台42上。

本实施例中，基于图8和图9，所述工作台面的外圆周面设有上罩壳8，所述定位基板的外圆周面设有下罩壳9，起到密封的作用，并且所述上罩壳8和下罩壳9之间采用的是回字形的连接结构，尽量避免内外气流直接互通，污染整体工艺环境。

实际的操作流程如下：

首先由上游机械手将晶圆1送至多个夹持头21之间，此时的夹持头21需要处于打开状态，故旋转下压气缸36先旋转90°，使下压条37移动至定位基板5的上方，然后下压条37下移后将定位基板5下压，定位基板5在克服拉伸弹簧35的拉力，即将拉伸弹簧35拉伸至第一拉伸位，以及丝杆螺母32在丝杆的导向下通过连杆机构7带动多个夹持头21平整缓慢往工作台面6的四周分散开去，接着上游机械手将晶圆1送至多个夹持头21之间。

然后，旋转下压气缸36反向旋转90°后回到原来的位置，定位基板5在拉伸弹簧53从第一拉伸位回位至第二拉伸位时产生的回缩力的带动下以及丝杆螺母32的导向下往上缓慢移动到硬限位组件的位置，此时的拉伸弹簧在第二拉伸位时还是具有拉伸力的，通过第二拉伸位时的拉伸力来带动定位基板5上移时，通过丝杆螺母和连杆机构7带动多个夹持头21平整缓慢往工作台面中心聚拢后将晶圆夹持。

综上所述，本发明的夹持旋转工装平台，通过拉伸弹簧和平缓移动组件的配合在对晶圆夹持时为平整缓慢进行，不会对晶圆造成损伤，也不会因有夹持晶圆时的夹持形变现象产生，确保晶圆夹持时的平整度，晶圆的清洁效果佳。

另外，本旋转工装平台在旋转清洗的过程中，只需将旋转下压部移开即可，无需利用额外的动力来驱动夹持部全程保持对晶圆的夹持，而是通过拉伸弹簧53从第一拉伸位回位到第二拉伸时留有的拉伸力对晶圆进行夹持，这样晶圆在进行夹持旋转清洗时，更加稳定可靠，降低了成本，满足了实际的使用需求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于，包括：

工作台面(6)；

旋转部(4)，设于所述工作台面(6)的底部，用以带动所述工作台面(6)转动；

定位基板(5)，可上下移动的设置在所述旋转部(4)上，并位于所述工作台面(6)的下方；

夹持部(2)，多个所述夹持部(2)可转动的从工作台面(6)的上表面穿出，所述夹持部(2)的底部通过连杆机构(7)与所述定位基板(5)活动相连；

拉伸部，所述拉伸部的底部设于所述定位基板(5)上，且，所述拉伸部的顶部设于所述定位基板(5)的上方并与所述旋转部(4)的周向相连；

旋转下压部，可转动的设置在所述定位基板(5)一侧，用以转动后驱动所述定位基板(5)下降；

硬限位组件，设置在所述定位基板(5)的上表面，并位于所述工作台面(6)的下方，用以对定位基板(5)上移时的位置限位；

平缓移动组件(3)，设于所述工作台面(6)和定位基板(5)之间；

其中，当所述旋转下压部带动定位基板(5)下降时，所述定位基板(5)经由平缓移动组件(3)带动后通过连杆机构(7)带动多个夹持部（2）平整缓慢的分散松开，拉伸部拉伸至第一拉伸位；

当所述旋转下压部远离定位基板(5)时，拉伸部从第一拉伸位回位至由所述硬限位组件限位的第二拉伸位，同时拉伸部带动定位基板(5)上移，所述定位基板(5)上移时经由平缓移动组件(3)带动后通过连杆机构(7)带动多个夹持部(2)平整缓慢的聚拢夹持。

2.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于，所述平缓移动组件(3)包括：

丝杆(31)，所述丝杆(31)可转动的设置在所述工作台面(6)和定位基板(5)之间，且所述丝杆的底部贯穿出所述定位基板(5)；

固定块(30)，设置在所述丝杆(31)的顶部，用以将所述丝杆的顶部设于所述工作台面内；

丝杆螺母(32)，通过钢球与所述丝杆(31)可转动的升降相连，且所述丝杆螺母(32)的外部与所述定位基板(5)相连；

其中，当旋转下压部带动定位基板(5)下压时带动所述丝杆螺母(32)下移，所述丝杆螺母(32)通过钢球带动所述丝杆(31)被动旋转，所述丝杆(31)被动旋转后通过丝杆螺母(32)带动所述定位基板(5)平缓下移；

当所述拉伸部从第一拉伸位回位至第二拉伸位时，拉伸部带动所述定位基板(5)上移，从而带动所述丝杆螺母(32)上移，所述丝杆螺母(32)通过钢球带动所述丝杆(31)被动旋转，所述丝杆(31)被动旋转后通过丝杆螺母(32)带动所述定位基板(5)平缓上移。

3.如权利要求2所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述工作台面(6)内设有与丝杆(31)适配的轴套(302)，所述轴套(302)的上下两端内设有位于工作台面(6)内的推力球轴承(301)，两个所述推力球轴承(301)之间设有深沟球轴承(300)。

4.如权利要求2所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述丝杆螺母(32)下方还设有用以限位丝杆螺母(32)往下移动的限位组件，所述限位组件包括依次套设在丝杆(31)上且位于设于所述丝杆螺母(32)的下方的卡簧(33)、限位螺母(34)和第一并紧螺母(35)。

5.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述硬限位组件包括硬限位螺母(55)，所述硬限位螺母(55)用于硬限位定位基板(5)上移高度，所述硬限位螺母(55)上设有第二并紧螺母(56)。

6.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述连杆机构(7)包括第一连杆(70)、第二连杆(71)和第三连杆(72)；所述第一连杆(70)一端与夹持部(2)的底部铰接相连，另一端与定位基板(5)铰接相连；所述第二连杆(71)的两端分别与夹持部(2)的上端铰接相连，另一端与第三连杆(72)铰接相连，且第二连杆(71)与夹持部(2)的铰接点高于第一连杆(70)与夹持部(2)的铰接点；所述第三连杆(72)的另一端与定位基板(5)铰接相连。

7.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述拉伸部包括上下设置的上固定件(51)和下固定件(52)，所述上固定件(51)设置在旋转部(4)上，且位于所述定位基板(5)的上方，所述下固定件(52)设置在所述定位基板(5)的下方；所述上固定件(51)和下固定件(52)之间设有穿过定位基板(5)的拉伸弹簧(53)。

8.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述定位基板(5)上还设有若干个贯穿设置在所述定位基板(5)上的缓冲器(54)，所述缓冲器(54)的顶部位于所述工作台面(6)的下方。

9.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述夹持部(2)包括夹持本体(20)；所述夹持本体(20)的顶部往上通过贯穿孔从所述工作台面(6)穿出，所述夹持本体(20)的顶部设有可拆卸的夹持头(21)。

10.如权利要求1所述的晶圆用夹持旋转工装平台，其特征在于：所述工作台面(6)和定位基板(5)的台面分别设有上罩壳(8)和下罩壳(9)；所述上罩壳(8)和下罩壳(9)之间为回形结构相连设置。