CN117142487B - 超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，涉及气体干燥设备技术领域，包括下底座与上底座，下底座下端固定安装有多个支撑腿，下底座下端中心位置还固定安装有入气管，上底座上端中心位置固定安装有出气管，下底座与上底座相对一侧分别固定安装有第一固定座，两个第一固定座之间固定连接有固定轴，下底座与上底座之间还活动连接有干燥罐，干燥罐外侧设有固定机构，固定机构包括两个密封环，密封环上设有连接环，密封环与连接环通过第一连接螺丝活动连接。在下底座与上底座直接设置可转动的干燥罐，一方面利于对存料筒内的氧化钙进行更换，另外一方面也便于对螺旋状的螺旋吸附管进行一个拆装维护。

Description

超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置

技术领域

本发明涉及气体干燥设备技术领域，特别涉及超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置。

背景技术

超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，且超纯氨是超净高纯电子化学品，是超大规模集成电路（即芯片）制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、蚀刻、掺杂和沉淀工艺，超净高纯电子化学品的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响；

超纯氨的制备过程中，通过压缩空气制取气体混合物，随后，将气体混合物冷却至液化状态，将液化气体在加热炉中进行蒸发，得到含有氨的混合气体，而后将混合气体经过压缩冷却，使氨冷凝成液体，再通过特定的膜过滤和干燥工艺，去除其他杂质，并进一步将氨进行纯化，并且通过不同的加工方式，可以生产出不同纯度的氨，而氨气中的水分如不有效的去除会影响到半导体材料，且现有技术方案在通过氧化钙将氨气中的水分进行吸附去除时，其氧化钙中的其它杂质会混合到氨气中，进而会影响到氨气的纯度，另外，现有技术方案在对干燥容器中的氧化钙进更换时，需要将干燥容器进行拆卸，导致氧化钙的更换不便捷。

发明内容

本发明的目的在于提供超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，包括下底座与上底座，所述下底座下端固定安装有多个支撑腿，所述下底座下端中心位置还固定安装有入气管，所述上底座上端中心位置固定安装有出气管，所述下底座与上底座相对一侧分别固定安装有第一固定座，两个所述第一固定座之间固定连接有固定轴，所述下底座与上底座之间还活动连接有干燥罐，所述干燥罐外侧设有固定机构，所述固定机构包括两个密封环，所述密封环上设有连接环，所述密封环与连接环通过第一连接螺丝活动连接，所述连接环上通过拉杆活动连接有两个调节环，所述下底座内活动安装有存料筒，所述存料筒内固定安装有螺旋吸附管，所述螺旋吸附管两端均活动安装有连接管，所述连接管一端活动安装有密封管。

作为本发明的进一步优选方案，所述下底座与上底座相对一侧分别开设有密封槽。

作为本发明的进一步优选方案，所述干燥罐外侧设有多个导向座，所述导向座通过焊接的方式固定安装在干燥罐外侧，且三个同水平位置的导向座为一组，其中一个所述导向座内开设有转孔，所述干燥罐通过外侧导向座转动安装在固定轴上，所述干燥罐上端与下端还均设有第一限位环，所述第一限位环通过焊接的方式固定安装在干燥罐上。

作为本发明的进一步优选方案，两个所述密封环相对一侧分别设有第二限位环，所述第二限位环通过焊接的方式固定安装在密封环上，所述第二限位环内开设有多个第一螺槽，所述密封环一侧开设有第一滑槽，且所述密封环穿插安装在干燥罐外侧，而所述第一滑槽则滑动安装在对应的第一固定座上。

作为本发明的进一步优选方案，所述连接环内侧开设有多个第二滑槽，所述连接环内还开设有多个第一安装孔，所述连接环穿插安装在干燥罐外侧，且所述第二滑槽穿插安装在对应的导向座上。

作为本发明的进一步优选方案，所述第一连接螺丝内开设有第二安装孔，第二安装孔内侧下方位置开设有限位槽，所述拉杆下端设有第一限位块，所述拉杆上端设有第二限位块，所述拉杆与第一限位块、第二限位块为一体浇铸成型，所述拉杆穿插安装在第二安装孔内，而所述第一限位块则限位转动安装在限位槽内，且所述第一连接螺丝穿插安装在对应的第一安装孔，而所述第一连接螺丝下端则螺纹连接在对应的第一螺槽内。

作为本发明的进一步优选方案，所述调节环为两个一组，两个所述调节环两端分别设有第二固定座，所述第二固定座通过焊接的方式固定安装在调节环一端，所述第二固定座一端设有销杆，所述销杆通过焊接的方式固定安装在第二固定座一侧，且两个相邻所述第二固定座之间通过螺栓固定连接，且两个所述销杆为一组，垂直方向的两个销杆之间设有把杆，所述把杆上端与下端分别利用其凹槽穿插安装在对应的两个销杆上，且该凹槽与两个销杆的组合体形同，所述调节环内侧开设有转槽，两个所述调节环内侧螺纹连接在三个导向座外侧，而所述第二限位块一侧则滑动安装在转槽内，所述第二限位块另一侧抵触在干燥罐外侧。

作为本发明的进一步优选方案，所述干燥罐内侧下方位置设有承托环，所述承托环通过焊接的方式固定安装在干燥罐内侧，所述存料筒内侧上方位置设有两个把手，所述把手通过焊接的方式固定安装在存料筒内侧，所述螺旋吸附管壁体呈多气孔结构，且螺旋吸附管内的气孔之间为5mm，所述存料筒内放置有氧化钙颗粒。

作为本发明的进一步优选方案，所述螺旋吸附管上端与下端均开设有第二螺槽，所述连接管内设有多个第一固定块，所述第一固定块通过焊接的方式固定安装在连接管内侧，所述连接管内侧螺纹连接在第二螺槽内，所述第一固定块内穿插安装有第二连接螺丝，所述密封管内侧设有多个第二固定块，所述密封管为橡胶材质，且所述第二固定块一侧通过熔接的方式固定安装在密封管内侧，所述密封管内开设有伸缩槽，所述伸缩槽穿插安装在连接管一端，而所述第二连接螺丝下端则螺纹连接在对应的第二固定块内，位于所述第二固定块与第一固定块之间的第二连接螺丝上套装有第二压缩弹簧。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，在下底座与上底座直接设置可转动的干燥罐，一方面利于对存料筒内的氧化钙进行更换，另外一方面也便于对螺旋状的螺旋吸附管进行一个拆装维护；

干燥罐外侧的固定机构设置，可快速的将干燥罐固定在下底座与上底座之间或者解除干燥罐与下底座、上底座之间的限位；

螺旋吸附管两端设置的可活动伸缩的密封管，能够在干燥罐转动复位后使得第一固定座两端通过对应的干燥罐分别与入气管、出气管一端紧密连接。

附图说明

图1为本发明的主体结构示意图；

图2为本发明的干燥罐展开示意图；

图3为本发明的干燥罐结构拆分图；

图4为本发明的固定机构结构拆分图；

图5为本发明的第一连接螺丝结构拆分图；

图6为本发明的干燥罐剖视图；

图7为本发明的连接管剖视图。

图中：1、下底座；2、上底座；3、支撑腿；4、入气管；5、出气管；6、第一固定座；7、固定轴；8、干燥罐；9、固定机构；10、密封环；11、连接环；12、第一连接螺丝；13、拉杆；14、调节环；15、存料筒；16、螺旋吸附管；17、连接管；18、密封管；19、密封槽；20、导向座；21、转孔；22、第一限位环；23、第二限位环；24、第一螺槽；25、第一滑槽；26、第二滑槽；27、第一安装孔；28、第二安装孔；29、限位槽；30、第一限位块；31、第二限位块；32、第一压缩弹簧；33、转槽；34、第二固定座；35、销杆；36、把杆；37、承托环；38、把手；39、第二螺槽；40、第一固定块；41、第二连接螺丝；42、伸缩槽；43、第二固定块；44、第二压缩弹簧。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

如图1-图7所示，本发明提供的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，包括下底座1与上底座2，下底座1下端固定安装有多个支撑腿3，下底座1下端中心位置还固定安装有入气管4，上底座2上端中心位置固定安装有出气管5，下底座1与上底座2相对一侧分别固定安装有第一固定座6，两个第一固定座6之间固定连接有固定轴7，下底座1与上底座2之间还活动连接有干燥罐8，干燥罐8外侧设有固定机构9，固定机构9包括两个密封环10，密封环10上设有连接环11，密封环10与连接环11通过第一连接螺丝12活动连接，连接环11上通过拉杆13活动连接有两个调节环14，下底座1内活动安装有存料筒15，存料筒15内固定安装有螺旋吸附管16，螺旋吸附管16两端均活动安装有连接管17，连接管17一端活动安装有密封管18。

下底座1与上底座2相对一侧分别开设有密封槽19，干燥罐8外侧设有多个导向座20，导向座20通过焊接的方式固定安装在干燥罐8外侧，且三个同水平位置的导向座20为一组，其中一个导向座20内开设有转孔21，干燥罐8通过外侧导向座20转动安装在固定轴7上，干燥罐8上端与下端还均设有第一限位环22，第一限位环22通过焊接的方式固定安装在干燥罐8上，两个密封环10相对一侧分别设有第二限位环23，第二限位环23通过焊接的方式固定安装在密封环10上，第二限位环23内开设有多个第一螺槽24，密封环10一侧开设有第一滑槽25，且密封环10穿插安装在干燥罐8外侧，而第一滑槽25则滑动安装在对应的第一固定座6上，连接环11内侧开设有多个第二滑槽26，连接环11内还开设有多个第一安装孔27，连接环11穿插安装在干燥罐8外侧，且第二滑槽26穿插安装在对应的导向座20上，第一连接螺丝12内开设有第二安装孔28，第二安装孔28内侧下方位置开设有限位槽29，拉杆13下端设有第一限位块30，拉杆13上端设有第二限位块31，拉杆13与第一限位块30、第二限位块31为一体浇铸成型，拉杆13穿插安装在第二安装孔28内，而第一限位块30则限位转动安装在限位槽29内，且第一连接螺丝12穿插安装在对应的第一安装孔27，而第一连接螺丝12下端则螺纹连接在对应的第一螺槽24内，调节环14为两个一组，两个调节环14两端分别设有第二固定座34，第二固定座34通过焊接的方式固定安装在调节环14一端，第二固定座34一端设有销杆35，销杆35通过焊接的方式固定安装在第二固定座34一侧，且两个相邻第二固定座34之间通过螺栓固定连接，且两个销杆35为一组，垂直方向的两个销杆35之间设有把杆36，把杆36上端与下端分别利用其凹槽穿插安装在对应的两个销杆35上，且该凹槽与两个销杆35的组合体形同，调节环14内侧开设有转槽33，两个调节环14内侧螺纹连接在三个导向座20外侧，而第二限位块31一侧则滑动安装在转槽33内，第二限位块31另一侧抵触在干燥罐8外侧，通过两个可同步驱动的固定机构9能够将干燥罐8快速的固定安装在下底座1与上底座2之间，同时，也能够使得干燥罐8从下底座1与上底座2之间快速的打开，利于存料筒15内氧化钙更换；

干燥罐8内侧下方位置设有承托环37，承托环37通过焊接的方式固定安装在干燥罐8内侧，存料筒15内侧上方位置设有两个把手38，把手38通过焊接的方式固定安装在存料筒15内侧，螺旋吸附管16壁体呈多气孔结构，且螺旋吸附管16内的气孔之间为5mm，存料筒15内放置有氧化钙颗粒，螺旋吸附管16上端与下端均开设有第二螺槽39，连接管17内设有多个第一固定块40，第一固定块40通过焊接的方式固定安装在连接管17内侧，连接管17内侧螺纹连接在第二螺槽39内，第一固定块40内穿插安装有第二连接螺丝41，密封管18内侧设有多个第二固定块43，密封管18为橡胶材质，且第二固定块43一侧通过熔接的方式固定安装在密封管18内侧，密封管18内开设有伸缩槽42，伸缩槽42穿插安装在连接管17一端，而第二连接螺丝41下端则螺纹连接在对应的第二固定块43内，位于第二固定块43与第一固定块40之间的第二连接螺丝41上套装有第二压缩弹簧44，螺旋吸附管16两端可伸缩的密封管18，能够借助多个第二压缩弹簧44的施压，使得密封管18一端始终贴附于下底座1或者上底座2一端，保障氨气在螺旋吸附管16内的一个流通速率。

需要说明的是，本发明为超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，在对氨气进行水分的去除时，可将氨气的输入管固定连接在入气管4上，并将出气管5通过连接管道连接在其它的收集设备上，而后，通过正负极连接线分别对入气管4与出气管5进行电性连接，并经过螺旋吸附管16传导，即可对进入螺旋吸附管16内的氨气进行电极保护，其氧化钙中的金属元素不会因氨气经过螺旋吸附管16而掺杂其它金属元素，当氨气进入到螺旋吸附管16内后，会通过螺旋吸附管16壁体的多气孔结构与存料筒15内的氧化钙进行反应，即可使得氧化钙将螺旋吸附管16内的氨气中的水分进行吸附，干燥后的氨气则通过出气管5输送至其它的设备中；

当需要将干燥罐8打开对存料筒15内的氧化钙进行更换或者对螺旋吸附管16进行维护时，可握住两个把杆36，于是，两个把杆36两端分别带动对应的两个销杆35转动，于是，通过两个调节环14两端的销杆35使得两个调节环14在对应的导向座20外侧旋动，进而使得干燥罐8外侧的两组调节环14分别在对应的导向座20外侧相对旋动，于是，两组调节环14内侧的转槽33分别在对应拉杆13一端的第二限位块31一侧转动，并使得调节环14通过第二限位块31与拉杆13带动对应的第一连接螺丝12移动，进而使得第一连接螺丝12带动密封环10移动，同时，密封环10还通过第二限位块31将连接环11同步移动，于是，可使得干燥罐8上端与下端的两个密封环10分别从下底座1与上底座2一端脱离，而后，我们可将干燥罐8通过外侧其中两个导向座20在固定轴7上转动一百八十度，进而将干燥罐8上端与下端打开，随后，可通过存料筒15内的两个把手38将存料筒15从干燥罐8内提出，进而对密封管18内的氧化钙进行更换，而后，对螺旋吸附管16进行维护时，可将螺旋吸附管16进行转动，于是螺旋吸附管16下端的第二螺槽39从连接管17内旋出，即可将螺旋吸附管16取下维护，当螺旋吸附管16维护完成后，可重新将螺旋吸附管16安装在存料筒15内底部的连接管17上，并重新对存料筒15内进行氧化钙的填充，并使得干燥罐8利用外侧的两个导向座20在固定轴7上转动至下底座1与上之间，当干燥罐8转动至下底座1与上底座2之间后，螺旋吸附管16两端的密封管18分别受到下底座1与上底座2的挤压，于是，密封管18带动内侧的第二固定块43在对应的第二连接螺丝41上移动并向连接管17方向移动，进而使得密封管18能够借助多个第二压缩弹簧44的施压，使得密封管18一端始终贴附于下底座1或者上底座2一端，保障氨气在螺旋吸附管16内的一个流通速率。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：包括下底座（1）与上底座（2），所述下底座（1）下端固定安装有多个支撑腿（3），所述下底座（1）下端中心位置还固定安装有入气管（4），所述上底座（2）上端中心位置固定安装有出气管（5），所述下底座（1）与上底座（2）相对一侧分别固定安装有第一固定座（6），两个所述第一固定座（6）之间固定连接有固定轴（7），所述下底座（1）与上底座（2）之间还活动连接有干燥罐（8），所述干燥罐（8）外侧设有固定机构（9）；

所述固定机构（9）包括两个密封环（10），所述密封环（10）上设有连接环（11），所述密封环（10）与连接环（11）通过第一连接螺丝（12）活动连接，所述连接环（11）上通过拉杆（13）活动连接有两个调节环（14）；

所述下底座（1）内活动安装有存料筒（15），所述存料筒（15）内固定安装有螺旋吸附管（16），所述螺旋吸附管（16）两端均活动安装有连接管（17），所述连接管（17）一端活动安装有密封管（18），所述干燥罐（8）内侧下方位置设有承托环（37），所述承托环（37）通过焊接的方式固定安装在干燥罐（8）内侧，所述存料筒（15）内侧上方位置设有两个把手（38），所述把手（38）通过焊接的方式固定安装在存料筒（15）内侧，所述螺旋吸附管（16）壁体呈多气孔结构，且螺旋吸附管（16）内的气孔之间为5mm，所述存料筒（15）内放置有氧化钙颗粒，所述螺旋吸附管（16）上端与下端均开设有第二螺槽（39），所述连接管（17）内设有多个第一固定块（40），所述第一固定块（40）通过焊接的方式固定安装在连接管（17）内侧，所述连接管（17）内侧螺纹连接在第二螺槽（39）内，所述第一固定块（40）内穿插安装有第二连接螺丝（41），所述密封管（18）内侧设有多个第二固定块（43），所述密封管（18）为橡胶材质，且所述第二固定块（43）一侧通过熔接的方式固定安装在密封管（18）内侧，所述密封管（18）内开设有伸缩槽（42），所述伸缩槽（42）穿插安装在连接管（17）一端，而所述第二连接螺丝（41）下端则螺纹连接在对应的第二固定块（43）内，位于所述第二固定块（43）与第一固定块（40）之间的第二连接螺丝（41）上套装有第二压缩弹簧（44）。

2.根据权利要求1所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：所述下底座（1）与上底座（2）相对一侧分别开设有密封槽（19）。

3.根据权利要求2所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：所述干燥罐（8）外侧设有多个导向座（20），所述导向座（20）通过焊接的方式固定安装在干燥罐（8）外侧，且三个同水平位置的导向座（20）为一组，其中一个所述导向座（20）内开设有转孔（21），所述干燥罐（8）通过外侧导向座（20）转动安装在固定轴（7）上，所述干燥罐（8）上端与下端还均设有第一限位环（22），所述第一限位环（22）通过焊接的方式固定安装在干燥罐（8）上。

4.根据权利要求3所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：两个所述密封环（10）相对一侧分别设有第二限位环（23），所述第二限位环（23）通过焊接的方式固定安装在密封环（10）上，所述第二限位环（23）内开设有多个第一螺槽（24），所述密封环（10）一侧开设有第一滑槽（25），且所述密封环（10）穿插安装在干燥罐（8）外侧，而所述第一滑槽（25）则滑动安装在对应的第一固定座（6）上。

5.根据权利要求4所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：所述连接环（11）内侧开设有多个第二滑槽（26），所述连接环（11）内还开设有多个第一安装孔（27），所述连接环（11）穿插安装在干燥罐（8）外侧，且所述第二滑槽（26）穿插安装在对应的导向座（20）上。

6.根据权利要求5所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：所述第一连接螺丝（12）内开设有第二安装孔（28），第二安装孔（28）内侧下方位置开设有限位槽（29），所述拉杆（13）下端设有第一限位块（30），所述拉杆（13）上端设有第二限位块（31），所述拉杆（13）与第一限位块（30）、第二限位块（31）为一体浇铸成型，所述拉杆（13）穿插安装在第二安装孔（28）内，而所述第一限位块（30）则限位转动安装在限位槽（29）内，且所述第一连接螺丝（12）穿插安装在对应的第一安装孔（27），而所述第一连接螺丝（12）下端则螺纹连接在对应的第一螺槽（24）内。

7.根据权利要求6所述的超纯氨制备过程中水分杂质的去除装置，其特征在于：所述调节环（14）为两个一组，两个所述调节环（14）两端分别设有第二固定座（34），所述第二固定座（34）通过焊接的方式固定安装在调节环（14）一端，所述第二固定座（34）一端设有销杆（35），所述销杆（35）通过焊接的方式固定安装在第二固定座（34）一侧，且两个相邻所述第二固定座（34）之间通过螺栓固定连接，且两个所述销杆（35）为一组，垂直方向的两个销杆（35）之间设有把杆（36），所述把杆（36）上端与下端分别利用其凹槽穿插安装在对应的两个销杆（35）上，且该凹槽与两个销杆（35）的组合体形同，所述调节环（14）内侧开设有转槽（33），两个所述调节环（14）内侧螺纹连接在三个导向座（20）外侧，而所述第二限位块（31）一侧则滑动安装在转槽（33）内，所述第二限位块（31）另一侧抵触在干燥罐（8）外侧。